CN107346962A

CN107346962A - 体声波共振器的共振结构

Info

Publication number: CN107346962A
Application number: CN201610297594.6A
Authority: CN
Inventors: 张家达; 林瑞钦; 覃永忠; 江志烽
Original assignee: WIN Semiconductors Corp
Current assignee: WIN Semiconductors Corp
Priority date: 2016-05-06
Filing date: 2016-05-06
Publication date: 2017-11-14

Abstract

本发明提供一种体声波共振器的共振结构，包括一底电极、一压电层以及一顶电极，其中压电层形成于底电极之上，顶电极形成于压电层之上。底电极、压电层以及顶电极三个相重叠的区域形成一共振区域，共振区域具有一轮廓，轮廓由包含至少三个弧形边所连接而成，其中每一弧形边凹向轮廓的一几何中心。本发明可降低突波模态对体声波共振器的滤波特性的影响，并有效增强体声波共振器的质量因子。

Description

体声波共振器的共振结构

技术领域

本发明涉及一种体声波共振器的共振结构，尤其涉及一种具有由至少三个弧形边所构成的轮廓的体声波共振器的共振结构。

背景技术

全球的通信系统中所使用的带通滤波器，尤其是工作频率适用于2GHz以上的体声波共振器(BAW Resonator：Bulk Acoustic Wave Resonator)，被广泛地应用在智能型手机上。请参阅图9A以及图9B，为已知技术的体声波共振器的剖面图，并显示压电材料的垂直方向上的震动引发水平方向上的震动的示意图。体声波共振器14的结构通常于一压电材料12的上下分别设置一底电极11以及一顶电极13。于顶电极13及底电极11之间施加一电场，利用压电材料12的特性，将电能转换成机械能，进而产生垂直方向上的垂直纵波共振效应，使得特定频率范围内的高频阻抗(Impedance)特别小，以达到滤波的目的。然而在压电材料12垂直方向上的震动，通常也会伴随着水平方向上的震动，而产生了水平横波。图9A中显示当压电材料12沿着垂直方向伸展时，会伴随着压电材料12于水平方向的压缩。而图9B中则显示当压电材料12沿着垂直方向压缩时，会伴随着压电材料12于水平方向的伸展。此外请同时参阅图9C，为已知技术的体声波共振器的剖面图，并显示施加于顶电极及底电极之间的电场的示意图。顶电极13及底电极11之间所施加的电场在体声波共振器14的轮廓边界附近具有水平方向上的分量，因而使得压电材料12于水平方向上的电能与机械能的转换，而产生水平方向上的水平横波。

请参阅图9D、图9E以及图9F，为已知技术的体声波共振器的俯视图，并分别显示水平横波三种共振态示意图。前述两因素所产生的水平横波，在体声波共振器内经过全反射，而有机会产生水平方向上的水平横波共振效应。此水平横波共振效应又称为突波模态(SpuriousMode)。图9D显示水平横波于已知技术的体声波共振器14的轮廓15(一正方形轮廓)的左右方向上产生共振态。图9E显示水平横波于轮廓15的上下方向上产生共振态。图9F则显示水平横波于轮廓15内全反射所产生的另一种共振态。若水平横波振效应的频率与垂直纵波共振频率过于接近时，则垂直纵波共振效应会受到干扰，因而影响到体声波共振器14的滤波特性。请同时参阅图9G，为已知技术的体声波共振器(正方形轮廓)的频率响应图。其中S₁₁为穿透波与入射波的比例，而S₂₁则为反射波与入射波的比例。图9G中所指出的突波模态，介于S₁₁的最低点与S₂₁的最低点之间的突波模态，这些突波模态都会严重影响到体声波共振器14的滤波特性。此外，体声波共振器的质量因子(Q Factor)的效能亦不尽理想。

图9H为另一已知技术的体声波共振器的俯视图，并显示水平横波的示意图。此体声波共振器的轮廓15为一不等边长的四边形，藉此拉长轮廓15内的水平横波产生水平横波共振效应所需的距离，使得水平横波共振效应的能量降低，或水平横波共振频率远离垂直纵波共振频率。然而已知技术并未揭示以至少三个弧形边所构成的体声波共振器的轮廓的技术方案。

有鉴于此，发明人开发出简便的设计，能够避免上述的缺点，又具有成本低廉的优点，以兼顾使用弹性与经济性等考虑，因此遂有本发明的产生。

发明内容

本发明提供的体声波共振器的共振结构所欲解决的技术问题在于如何有效地去除突波模态(Spurious Mode)，以降低突波模态对体声波共振器的滤波特性的影响，并同时有效增强体声波共振器的质量因子(Q Factor)。

为解决前述问题，以达到所预期的功效，本发明提供一种体声波共振器的共振结构，包括一底电极、一压电层以及一顶电极；其中压电层，形成于底电极之上；顶电极，形成于压电层之上；其中该底电极、该压电层以及该顶电极三个相重叠的区域形成一共振区域，该共振区域具有一轮廓，该轮廓由包含至少三个弧形边所连接而成，其中每一弧形边凹向该轮廓的一几何中心。本发明的体声波共振器的共振结构的轮廓，以弧形边来取代已知技术的多边形的直线形的边，藉此增长水平横波(Lateral Wave)的共振路径(Resonant Path)，使得突波模态的能量降低以抑制接近垂直纵波共振频率的突波模态，和/或使得突波模态的频率远离垂直纵波共振频率，从而降低突波模态对体声波共振器的滤波特性的影响，并有效增强体声波共振器的质量因子。

于一实施例中，前述的体声波共振器的共振结构，其中该至少三个弧形边包括选自以下群组的至少一个：一椭圆弧、一圆弧、一拋物线弧、一双曲线弧以及一摆线弧。

于一实施例中，前述的体声波共振器的共振结构，其中该至少三个弧形边包含偶数个弧形边，每一弧形边的两端点可连接而形成具有一弦长a的一弦线段，每一弧形边与其相对应的弦线段间具有一最长距离d。

于一实施例中，前述的体声波共振器的共振结构，其中该至少三个弧形边包含奇数个弧形边，每一弧形边的两端点可连接而形成具有一弦长a的一弦线段，每一弧形边与其相对应的弦线段间具有一最长距离d。

于一实施例中，前述的体声波共振器的共振结构，其中该至少三个弧形边包含至少一圆弧，每一弧形边的两端点可连接而形成一弦线段，每一圆弧的一圆心位于其相对应的弦线段的一中垂在线。

于一实施例中，前述的体声波共振器的共振结构，其中每一圆弧为一劣弧或一半圆弧。

于一实施例中，前述的体声波共振器的共振结构，其中每一圆弧具有相同的弧长。

于一实施例中，前述的体声波共振器的共振结构，其中每一弧形边为一圆弧。

于一实施例中，前述的体声波共振器的共振结构，其中每一弧形边的两端点可连接而形成一弦线段，一凸多边形由连接所有弦线段所形成。

于一实施例中，前述的体声波共振器的共振结构，其中该至少三个弧形边包含三个弧形边，该凸多边形为一三角形，该凸多边形的每一内角的角度大于或等于45度且小于或等于90度。

于一实施例中，前述的体声波共振器的共振结构，其中该至少三个弧形边包含四个弧形边，该凸多边形为一凸四边形，该凸多边形的每一内角的角度大于或等于60度且小于或等于135度。

于一实施例中，前述的体声波共振器的共振结构，其中该至少三个弧形边包含五个弧形边，该凸多边形为一凸五边形，该凸多边形的每一内角的角度大于或等于65度且小于或等于170度。

于一实施例中，前述的体声波共振器的共振结构，其中每一弧形边的两端点可连接而形成一弦线段，至少一弧形边对称于其相对应的弦线段的一中垂线。

于一实施例中，前述的体声波共振器的共振结构，其中每一弧形边的两端点可连接而形成一弦线段，每一弧形边对称于其相对应的弦线段的一中垂线。

于一实施例中，前述的体声波共振器的共振结构，其中每一弧形边的两端点可连接而形成一弦线段，每一弧形边的范围介于分别通过其两端点且垂直于其相对应的弦线段的两垂直线之间。

于一实施例中，前述的体声波共振器的共振结构，其中每一弧形边具有相同的弧长。

本发明更提供一种体声波共振器的共振结构，包括一底电极、一压电层以及一顶电极；其中压电层，形成于底电极之上；顶电极，形成于压电层之上；其中该底电极、该压电层以及该顶电极三个相重叠的区域形成一共振区域，该共振区域具有一轮廓，该轮廓由包含至少三个弧形边以及至少一连接弧所连接而成，其中每一弧形边凹向该轮廓的一几何中心，每一连接弧凸向该几何中心，其中弧形边的边数大于或等于连接弧的数目，每一连接弧与两个弧形边相连接。本发明的体声波共振器的共振结构的轮廓，以弧形边来取代已知技术的多边形的直线形的边，并藉由连接弧来去除轮廓的奇异点以形成平滑曲线的轮廓，藉此更增长水平横波的共振路径，使得突波模态的能量降低以抑制接近垂直纵波共振频率的突波模态，和/或使得突波模态的频率远离垂直纵波共振频率，从而降低突波模态对体声波共振器的滤波特性的影响，并有效增强体声波共振器的质量因子。

于一实施例中，前述的体声波共振器的共振结构，其中该轮廓由该至少三个弧形边以及该至少一连接弧连接成平滑曲线而不存在奇异点。

于一实施例中，前述的体声波共振器的共振结构，其中其中弧形边的边数等于连接弧的数目，每一弧形边与两个连接弧相连接。

于一实施例中，前述的体声波共振器的共振结构，其中每一连接弧的弧长与其相邻的两个弧形边的任一个的弧长的比例介于1：5以及1：50之间。

于一实施例中，前述的体声波共振器的共振结构，其中每一弧形边的两端点可连接而形成一弦线段，一凸多边形延伸所有的弦线段所形成，其中该至少三个弧形边的边数等于该凸多边形的边数。

于一实施例中，前述的体声波共振器的共振结构，其中每一连接弧具有相同的弧长。

为进一步了解本发明，以下举较佳的实施例，配合附图将本发明的具体构成内容及其所达成的功效详细说明如下。

附图说明

图1A为本发明一种体声波共振器的共振结构的一具体实施例的剖面图；

图1B为本发明一种体声波共振器的共振结构的一具有四个弧形边的具体实施例的俯视图；

图1C为图1B的弧形边的分解图；

图1D为本发明一种体声波共振器的共振结构的对称的弧形边的一具体实施例；

图1E为本发明一种体声波共振器的共振结构的另一具有四个弧形边的具体实施例的俯视图；

图1F为图1E的本发明一种体声波共振器的共振结构的一具有四个弧形边的具体实施例的频率响应图；

图1G为图1E的本发明一种体声波共振器的共振结构的另一具有四个弧形边的具体实施例的频率响应图；

图1H为本发明一种体声波共振器的共振结构的又一具有四个弧形边的具体实施例的俯视图；

图1I为本发明一种体声波共振器的共振结构的再一具有四个弧形边的具体实施例的俯视图；

图2A为本发明一种体声波共振器的共振结构的一具有五个弧形边的具体实施例的俯视图；

图2B为本发明一种体声波共振器的共振结构的另一具有五个弧形边的具体实施例的俯视图；

图2C为一正五形边的体声波共振器的共振结构的俯视图；

图2D为图2C的正五形边的体声波共振器的共振结构的频率响应图；

图2E为图2B的本发明一种体声波共振器的共振结构的一具有五个弧形边的具体实施例的频率响应图；

图2F为图2B的本发明一种体声波共振器的共振结构的另一具有五个弧形边的具体实施例的频率响应图；

图2G为本发明一种体声波共振器的共振结构的又一具有五个弧形边的具体实施例的俯视图；

图3A为本发明一种体声波共振器的共振结构的一具有三个弧形边的具体实施例的俯视图；

图3B为本发明一种体声波共振器的共振结构的另一具有三个弧形边的具体实施例的俯视图；

图3C为一正三形边的体声波共振器的共振结构的俯视图；

图3D为图3C的正三形边的体声波共振器的共振结构的频率响应图；

图3E为图3B的本发明一种体声波共振器的共振结构的一具有三个弧形边的具体实施例的频率响应图；

图4A为本发明一种体声波共振器的共振结构的一具有六个弧形边的具体实施例的俯视图；

图4B为本发明一种体声波共振器的共振结构的另一具有六个弧形边的具体实施例的俯视图；

图4C为本发明一种体声波共振器的共振结构的又一具有六个弧形边的具体实施例的俯视图；

图5A为本发明一种体声波共振器的共振结构的一具有四个弧形边的具体实施例的俯视图；

图5B为本发明一种体声波共振器的共振结构的另一具有四个弧形边的具体实施例的俯视图；

图5C为本发明一种体声波共振器的共振结构的又一具有四个弧形边的具体实施例的俯视图；

图5D为本发明一种体声波共振器的共振结构的再一具有四个弧形边的具体实施例的俯视图；

图6A为本发明一种体声波共振器的共振结构的一具有五个弧形边的具体实施例的俯视图；

图6B为本发明一种体声波共振器的共振结构的另一具有五个弧形边的具体实施例的俯视图；

图6C为本发明一种体声波共振器的共振结构的又一具有五个弧形边的具体实施例的俯视图；

图7A为本发明一种体声波共振器的共振结构的一具有三个弧形边的具体实施例的俯视图；

图7B为本发明一种体声波共振器的共振结构的另一具有三个弧形边的具体实施例的俯视图；

图8A为本发明一种体声波共振器的共振结构的一具有六个弧形边的具体实施例的俯视图；

图8B为本发明一种体声波共振器的共振结构的另一具有六个弧形边的具体实施例的俯视图；

图8C为本发明一种体声波共振器的共振结构的又一具有六个弧形边的具体实施例的俯视图；

图9A以及图9B为已知技术的体声波共振器的剖面图，并显示压电材料的垂直方向上的震动引发水平方向上的震动的示意图；

图9C为已知技术的体声波共振器的剖面图，并显示施加于顶电极及底电极之间的电场的示意图；

图9D、图9E以及图9F为已知技术的体声波共振器的俯视图，并分别显示水平横波三种共振态示意图；

图9G为已知技术的体声波共振器的频率响应图；

图9H为另一已知技术的体声波共振器的俯视图，并显示水平横波的示意图。

附图标记：

1：底电极

2：压电层

3：顶电极

4：共振区域

5：轮廓

6：弧形边

7：几何中心

8：弦线段

9：中垂线

10：连接弧

11：底电极

12：压电材料

13：顶电极

14：体声波共振器

15：轮廓

60、61、62、63、64、65：弧形边

80、81、82、83、84、85：弦线段

90、91：垂直线

100、101、102、103：连接弧

104、105：连接弧

a：弦长

a0、a1、a2、a3、a4、a5：弦长

d：最长距离

d0、d1、d2、d3、d4、d5：最长距离

θ：夹角

θ₀、θ₁、θ₂、θ₃、θ₄、θ₅：夹角

具体实施方式

请参阅图1A以及图1B，其分别为本发明一种体声波共振器的共振结构的一具体实施例的剖面图以及一具有四个弧形边的具体实施例的俯视图。在图1A中，显示本实施例的结构包括：一底电极1、一压电层2以及一顶电极3，其中压电层2形成于底电极1的上，顶电极3形成于压电层2之上。而底电极1、压电层2以及顶电极3三个相重叠的区域形成了一共振区域4。在图1B中，显示本实施例的共振区域4具有的一轮廓5，其中轮廓5包含了四个弧形边6，分别是弧形边60、弧形边61、弧形边62以及弧形边63。而每一个弧形边6(弧形边60、弧形边61、弧形边62以及弧形边63)都是凹向轮廓5的一几何中心7。请同时参阅图1C，为图1B的弧形边的分解图。每一个弧形边6的两端点可连成一弦线段8(即，由弧形边60的两端点连成一弦线段80、由弧形边61的两端点连成一弦线段81、由弧形边62的两端点连成一弦线段82以及由弧形边63的两端点连成一弦线段83)。每一弦线段8的长度为一弦长a(即，弦线段80的长度为一弦长a0、弦线段81的长度为一弦长a1、弦线段82的长度为一弦长a2以及弦线段83的长度为一弦长a3)。每一弧形边6与其弦线段8间具有一最长距离d(即，弧形边60与弦线段80间具有一最长距离d0、弧形边61与弦线段81间具有一最长距离d1、弧形边62与弦线段82间具有一最长距离d2以及弧形边63与弦线段83间具有一最长距离d3)。其中由四个弦线段8(弦线段80、弦线段81、弦线段82以及弦线段83)可形成一凸四边形。每一弦线段8与其相邻的弦线段间具有一夹角θ(即，弦线段83与弦线段80间具有一夹角θ₀、弦线段80与弦线段81间具有一夹角θ₁、弦线段81与弦线段82间具有一夹角θ₂以及弦线段82与弦线段83间具有一夹角θ₃)。其中四个夹角θ(θ₀、θ₁、θ₂以及θ₃)分别为凸四边形的四个内角。如图1C所示，每一弦线段8具有一中垂线9。一垂直线90以及一垂直线91分别为通过弧形边6的两端点且与弦线段8正交的两条垂直线。若以弦线段8作为一X轴，以中垂线9作为一Y轴，则弧形边6为一凹向下的函数，且弧形边6介于垂直线90以及垂直线91之间的范围内。如图1C所示，弧形边6不对称于其弦线段8的中垂线9。每一个弧形边6(弧形边60、弧形边61、弧形边62以及弧形边63)可以为一椭圆弧、一圆弧、一拋物线弧、一双曲线弧或一摆线弧，也可以是其他函数的弧。在图1B的实施例，四个弧形边6(弧形边60、弧形边61、弧形边62以及弧形边63)为四个不全同(identical)的弧形边。其中四个弧形边6分别为四种不同种类的弧，且四个弧形边6分别具有不同的弧长。四个弧形边6的相对应的弦线段8分别具有不同的长度a。四个弧形边6与其相对应的弦线段8间分别具有不同的最长距离d。四个弧形边6分别不对称于其弦线段8的中垂线9。由四个弦线段8所形成的凸四边形具有四个不同的内角θ。本发明的体声波共振器的共振结构的轮廓，以弧形边来取代多边形的直线形的边，藉此增长水平横波(Lateral Wave)的共振路径(Resonant Path)，使得突波模态(Spurious Mode)的能量降低以抑制接近垂直纵波共振频率的突波模态，和/或使得突波模态的频率远离垂直纵波共振频率，从而降低突波模态对体声波共振器的滤波特性的影响，并有效增强体声波共振器的质量因子(Q Factor)。在一实施例中，凸四边形的每一内角的角度大于或等于60度且小于或等于135度。在一较佳的实施例中，最长距离d与长度a的关系为：，藉以降低突波模态对体声波共振器的滤波特性的影响。

在本发明的所有的实施例中，弧形边6的边数大于或等于3。在一实施例中，其主要结构与图1B所示的实施例的结构大致相同，其中四个弧形边6部分相同种类的弧(例如：弧形边60为一椭圆弧、弧形边61为一拋物线弧、以及弧形边62以及弧形边63为一圆弧)。在另一实施例中，其主要结构与图1B所示的实施例的结构大致相同，其中四个弧形边6全部为相同种类的弧(例如：弧形边60、弧形边61、弧形边62以及弧形边63皆为一圆弧)。在一实施例中，其主要结构与图1B所示的实施例的结构大致相同，其中四个弧形边6部分具有相同的弧长。在另一实施例中，四个弧形边6全部具有相同的弧长。在一实施例中，其主要结构与图1B所示的实施例的结构大致相同，其中四个弧形边6的相对应的弦线段8部分具有相同的长度a。在另一实施例中，其主要结构与图1B所示的实施例的结构大致相同，其中四个弧形边6的相对应的弦线段8全部具有相同的长度a。在一实施例中，其主要结构与图1B所示的实施例的结构大致相同，其中四个弧形边6与其相对应的弦线段8间部分具有相同的最长距离d。在另一实施例中，其主要结构与图1B所示的实施例的结构大致相同，其中四个弧形边6与其相对应的弦线段8间全部具有相同的最长距离d。请同时参阅图1D，为本发明一种体声波共振器的共振结构的对称的弧形边的一实施例。此实施例的主要结构与图1C所示的实施例的结构大致相同，其中弧形边6对称于弦线段8的中垂线9。在一实施例中，其主要结构与图1B所示的实施例的结构大致相同，其中四个弧形边6部分对称于其弦线段8的中垂线9。在另一实施例中，其主要结构与图1B所示的实施例的结构大致相同，其中四个弧形边6全部对称于其弦线段8的中垂线9。在一实施例中，其主要结构与图1B所示的实施例的结构大致相同，其中由四个弦线段8所形成的凸四边形具有部分相同的内角θ。在另一实施例中，其主要结构与图1B所示的实施例的结构大致相同，其中由四个弦线段8所形成的凸四边形具有全部相同的内角θ。

请参阅图1E，其为本发明一种体声波共振器的共振结构的另一具有四个弧形边的具体实施例的俯视图。本实施例的主要结构与图1B所示的实施例的结构大致相同，其中四个弧形边6(弧形边60、弧形边61、弧形边62以及弧形边63)为四个全同(identical)的弧形边。四个弧形边6皆为一圆弧，其中圆弧可为一劣弧或一半圆弧，圆弧的一圆心(图中未显示)位于与其相对应的弦线段8的中垂线9上，且四个弧形边6皆具有相同的弧长。四个弧形边6的相对应的弦线段8皆具有相同的长度a。四个弧形边6与其相对应的弦线段8间皆具有相同的最长距离d。四个弧形边6皆分别对称于其弦线段8的中垂线9。由四个弦线段8所形成的凸四边形具有全部相同的内角θ(即，θ₀＝θ₁＝θ₂＝θ₃＝90°)。

请参阅图1F，其为图1E的本发明一种体声波共振器的共振结构的一具有四个弧形边的具体实施例的频率响应图。其中四个弧形边6皆为半圆弧，且最长距离d与长度a的关系为：。其中S₁₁为穿透波与入射波的比例，而S₂₁则为反射波与入射波的比例。相较于图9G已知技术的正四边形的体声波共振器的频率响应图，图1F中介于S₁₁的最低点与S₂₁的最低点之间的突波模态被大幅地抑制了，或突波模态的频率远离了S₁₁的最低点与S₂₁的最低点之间的区域。请参阅图1G，其为图1E的本发明一种体声波共振器的共振结构的另一具有四个弧形边的具体实施例的频率响应图。其中四个弧形边6皆为劣弧，且最长距离d与长度a的关系为：。其中S₁₁为穿透波与入射波的比例，而S₂₁则为反射波与入射波的比例。相较于图9G已知技术的正四边形的体声波共振器的频率响应图，图1G中介于S₁₁的最低点与S₂₁的最低点之间的突波模态被大幅地抑制了，或突波模态的频率远离了S₁₁的最低点与S₂₁的最低点的间的区域。此外，S₁₁的最低点以及S₂₁的最低点亦都大幅地降低，显示出体声波共振器的质量因子被有效地增强了。在一较佳的实施例中，四个弧形边6皆为劣弧或半圆弧，且最长距离d与长度a的关系为：，藉以降低突波模态对体声波共振器的滤波特性的影响。

请参阅图1H，其为本发明一种体声波共振器的共振结构的又一具有四个弧形边的具体实施例的俯视图。本实施例的主要结构与图1B所示的实施例的结构大致相同，其中四个弧形边6(弧形边60、弧形边61、弧形边62以及弧形边63)为四个全同(identical)的弧形边。四个弧形边6皆为一圆弧，其中圆弧可为一劣弧或一半圆弧，圆弧的一圆心(图中未显示)位于与其相对应的弦线段8的中垂线9上，且四个弧形边6皆具有相同的弧长。四个弧形边6的相对应的弦线段8皆具有相同的长度a。四个弧形边6与其相对应的弦线段8间皆具有相同的最长距离d。四个弧形边6皆分别对称于其弦线段8的中垂线9。由四个弦线段8所形成的凸四边形具有部分相同的内角θ(即，θ₀＝θ₂＜θ₁＝θ₃)。

请参阅图1I，其为本发明一种体声波共振器的共振结构的再一具有四个弧形边的具体实施例的俯视图。本实施例的主要结构与图1B所示的实施例的结构大致相同，其中四个弧形边6(弧形边60、弧形边61、弧形边62以及弧形边63)为部分全同(identical)的弧形边，其中弧形边60以及弧形边62为全同的弧形边；弧形边61以及弧形边63为全同的弧形边。四个弧形边6皆为一圆弧，其中圆弧可为一劣弧或一半圆弧，圆弧的一圆心(图中未显示)位于与其相对应的弦线段8的中垂线9上，且四个弧形边6部分具有相同的弧长，其中弧形边60以及弧形边62的弧长相同；弧形边61以及弧形边63的弧长相同。四个弧形边6的相对应的弦线段8部分具有相同的长度a(即，弦线段80的弦长a0＝弦线段82的弦长a2＞弦线段81的弦长a1＝弦线段83的弦长a3)。四个弧形边6与其相对应的弦线段8间皆具有相同的最长距离d。四个弧形边6皆分别对称于其弦线段8的中垂线9。由四个弦线段8所形成的凸四边形具有部分相同的内角θ(即，θ₀＝θ₂＜θ₁＝θ₃)。

请参阅图2A，其为本发明一种体声波共振器的共振结构的一具有五个弧形边的具体实施例的俯视图。本实施例的主要结构与图1B所示的实施例的结构大致相同，其中轮廓5包含了五个弧形边6，分别为弧形边60、弧形边61、弧形边62、弧形边63以及弧形边64。每一个弧形边6(弧形边60、弧形边61、弧形边62、弧形边63以及弧形边64)都是凹向轮廓5的一几何中心7。每一个弧形边6的两端点可连成一弦线段8(即，由弧形边60的两端点连成一弦线段80、由弧形边61的两端点连成一弦线段81、由弧形边62的两端点连成一弦线段82、由弧形边63的两端点连成一弦线段83以及由弧形边64的两端点连成一弦线段84)。每一弦线段8的长度为一弦长a(即，弦线段80的长度为一弦长a0、弦线段81的长度为一弦长a1、弦线段82的长度为一弦长a2、弦线段83的长度为一弦长a3以及弦线段84的长度为一弦长a4)。每一弧形边6与其弦线段8间具有一最长距离d(即，弧形边60与弦线段80间具有一最长距离d0、弧形边61与弦线段81间具有一最长距离d1、弧形边62与弦线段82间具有一最长距离d2、弧形边63与弦线段83间具有一最长距离d3以及弧形边64与弦线段84间具有一最长距离d4)。其中由五个弦线段8(弦线段80、弦线段81、弦线段82、弦线段83以及弦线段84)可形成一凸五边形。每一弦线段8与其相邻的弦线段间具有一夹角θ(即，弦线段84与弦线段80间具有一夹角θ₀、弦线段80与弦线段81间具有一夹角θ₁、弦线段81与弦线段82间具有一夹角θ₂、弦线段82与弦线段83间具有一夹角θ₃以及弦线段83与弦线段84间具有一夹角θ₄)。其中五个夹角θ(θ₀、θ₁、θ₂、θ₃以及θ₄)分别为凸五边形的五个内角。每一弦线段8具有一中垂线9(如图1C所示)。每一个弧形边6(弧形边60、弧形边61、弧形边62、弧形边63以及弧形边64)可以为一椭圆弧、一圆弧、一拋物线弧、一双曲线弧或一摆线弧，也可以是其他函数的弧。在图2A的实施例，五个弧形边6(弧形边60、弧形边61、弧形边62、弧形边63以及弧形边64)为五个不全同(identical)的弧形边。其中五个弧形边6分别为五种不同种类的弧，且五个弧形边6分别具有不同的弧长。五个弧形边6的相对应的弦线段8分别具有不同的长度a。五个弧形边6与其相对应的弦线段8间分别具有不同的最长距离d。五个弧形边6分别不对称于其弦线段8的中垂线9。由五个弦线段8所形成的凸五边形具有五个不同的内角θ。在一实施例中，凸五边形的每一内角的角度大于或等于65度且小于或等于170度。在一较佳的实施例中，最长距离d与长度a的关为：藉以降低突波模态对体声波共振器的滤波特性的影响。

请参阅图2B，其为本发明一种体声波共振器的共振结构的另一具有五个弧形边的具体实施例的俯视图。本实施例的主要结构与图2A所示的实施例的结构大致相同，其中五个弧形边6(弧形边60、弧形边61、弧形边62、弧形边63以及弧形边64)为五个全同(identical)的弧形边。五个弧形边6皆为一圆弧，其中圆弧可为一劣弧或一半圆弧，圆弧的一圆心(图中未显示)位于与其相对应的弦线段8的中垂线9上，且五个弧形边6皆具有相同的弧长。五个弧形边6的相对应的弦线段8皆具有相同的长度a。五个弧形边6与其相对应的弦线段8间皆具有相同的最长距离d。五个弧形边6皆分别对称于其弦线段8的中垂线9。由五个弦线段8所形成的凸五边形具有全部相同的内角θ(即，θ₀＝θ₁＝θ₂＝θ₃＝θ₄＝108°)。

请参阅图2C，其为一正五形边的体声波共振器的共振结构的俯视图。请同时参阅图2D，其为图2C的正五形边的体声波共振器的共振结构的频率响应图。其中S₁₁为穿透波与入射波的比例，而S₂₁则为反射波与入射波的比例。由图2D显示，突波模态严重地影响了体声波共振器的滤波特性。

请参阅图2E，其为图2B的本发明一种体声波共振器的共振结构的一具有五个弧形边的具体实施例的频率响应图。其中五个弧形边6皆为半圆弧，且最长距离d与长度a的关系为：。其中S₁₁为穿透波与入射波的比例，而S₂₁则为反射波与入射波的比例。相较于图2D的正五边形的体声波共振器的频率响应图，图2E中介于S₁₁的最低点与S₂₁的最低点之间的突波模态被大幅地抑制了，或突波模态的频率远离了S₁₁的最低点与S₂₁的最低点之间的区域。请参阅图2F，其为图2B的本发明一种体声波共振器的共振结构的另一具有五个弧形边的具体实施例的频率响应图。其中五个弧形边6皆为半圆弧，且最长距离d与长度a的关系为：。其中S₁₁为穿透波与入射波的比例，而S₂₁则为反射波与入射波的比例。相较于图2D的正五边形的体声波共振器的频率响应图，图2F中介于S₁₁的最低点与S₂₁的最低点之间的突波模态被大幅地抑制了，或突波模态的频率远离了S₁₁的最低点与S₂₁的最低点的间的区域(虽然抑制突波模态的效果不如图2E的实施例来得好，但也去除了许多突波模态)。此外，S₁₁的最低点以及S₂₁的最低点亦都大幅地降低，显示出体声波共振器的质量因子被有效地增强了。在一较佳的实施例中，五个弧形边6皆为劣弧或半圆弧，且最长距离d与长度a的关系为：，藉以降低突波模态对体声波共振器的滤波特性的影响。

请参阅图2G，其为本发明一种体声波共振器的共振结构的又一具有五个弧形边的具体实施例的俯视图。本实施例的主要结构与图2A所示的实施例的结构大致相同，其中五个弧形边6(弧形边60、弧形边61、弧形边62、弧形边63以及弧形边64)为五个全同(identical)的弧形边。五个弧形边6皆为一圆弧，其中圆弧可为一劣弧或一半圆弧，圆弧的一圆心(图中未显示)位于与其相对应的弦线段8的中垂线9上，且五个弧形边6皆具有相同的弧长。五个弧形边6的相对应的弦线段8皆具有相同的长度a。五个弧形边6与其相对应的弦线段8间皆具有相同的最长距离d。五个弧形边6皆分别对称于其弦线段8的中垂线9。由五个弦线段8所形成的凸五边形具有部分相同的内角θ(即，θ₁＞θ₃＝θ₄＞θ₀＝θ₂)。

请参阅图3A，其为本发明一种体声波共振器的共振结构的一具有三个弧形边的具体实施例的俯视图。本实施例的主要结构与图1B所示的实施例的结构大致相同，其中轮廓5包含了三个弧形边6，分别为弧形边60、弧形边61以及弧形边62。每一个弧形边6(弧形边60、弧形边61以及弧形边62)都是凹向轮廓5的一几何中心7。每一个弧形边6的两端点可连成一弦线段8(即，由弧形边60的两端点连成一弦线段80、由弧形边61的两端点连成一弦线段81以及由弧形边62的两端点连成一弦线段82)。每一弦线段8的长度为一弦长a(即，弦线段80的长度为一弦长a0、弦线段81的长度为一弦长a1以及弦线段82的长度为一弦长a2)。每一弧形边6与其弦线段8间具有一最长距离d(即，弧形边60与弦线段80间具有一最长距离d0、弧形边61与弦线段81间具有一最长距离d1以及弧形边62与弦线段82间具有一最长距离d2)。其中由三个弦线段8(弦线段80、弦线段81以及弦线段82)可形成一个三边形。每一弦线段8与其相邻的弦线段间具有一夹角θ(即，弦线段82与弦线段80间具有一夹角θ₀、弦线段80与弦线段81间具有一夹角θ₁以及弦线段81与弦线段82间具有一夹角θ₂)。其中三个夹角θ(θ₀、θ₁以及θ₂)分别为三边形的三个内角。每一弦线段8具有一中垂线9(如图1C所示)。每一个弧形边6(弧形边60、弧形边61以及弧形边62)可以为一椭圆弧、一圆弧、一拋物线弧、一双曲线弧或一摆线弧，也可以是其他函数的弧。在图3A的实施例，三个弧形边6(弧形边60、弧形边61以及弧形边62)为三个不全同(identical)的弧形边。其中三个弧形边6分别为三种不同种类的弧，且三个弧形边6分别具有不同的弧长。三个弧形边6的相对应的弦线段8分别具有不同的长度a。三个弧形边6与其相对应的弦线段8间分别具有不同的最长距离d。三个弧形边6分别不对称于其弦线段8的中垂线9。由三个弦线段8所形成的三边形具有三个不同的内角θ。在一实施例中，三边形的每一内角的角度大于或等于45度且小于或等于90度。在一较佳的实施例中，最长距离d与长度a的关系为：藉以降低突波模态对体声波共振器的滤波特性的影响。

请参阅图3B，其为本发明一种体声波共振器的共振结构的另一具有三个弧形边的具体实施例的俯视图。本实施例的主要结构与图3A所示的实施例的结构大致相同，其中三个弧形边6(弧形边60、弧形边61以及弧形边62)为三个全同(identical)的弧形边。三个弧形边6皆为一圆弧，其中圆弧可为一劣弧或一半圆弧，圆弧的一圆心(图中未显示)位于与其相对应的弦线段8的中垂线9上，且三个弧形边6皆具有相同的弧长。三个弧形边6的相对应的弦线段8皆具有相同的长度a。三个弧形边6与其相对应的弦线段8间皆具有相同的最长距离d。三个弧形边6皆分别对称于其弦线段8的中垂线9。由三个弦线段8所形成的三边形具有全部相同的内角θ(即，θ₀＝θ₁＝θ₂＝60°)。

请参阅图3C，其为一正三形边的体声波共振器的共振结构的俯视图。请同时参阅图3D，其为图3C的正三形边的体声波共振器的共振结构的频率响应图。其中S₁₁为穿透波与入射波的比例，而S₂₁则为反射波与入射波的比例。由图3D显示，不仅突波模态严重地影响了体声波共振器的滤波特性，连带地体声波共振器的品质因子也过低。

请参阅图3E，其为图3B的本发明一种体声波共振器的共振结构的一具有三个弧形边的具体实施例的频率响应图。此实施例的共振结构的轮廓，其实是将图3C的正三角形的直线的边长改成三个半圆弧的弧形边6。且其中最长距离d与长度a的关系为：。其中S₁₁为穿透波与入射波的比例，而S₂₁则为反射波与入射波的比例。相较于图3D的正三角形的体声波共振器的频率响应图，图3E中介于S₁₁的最低点与S₂₁的最低点的间的突波模态被大幅地抑制了，或突波模态的频率远离了S₁₁的最低点与S₂₁的最低点的间的区域。此外，S₂₁的最低点亦大幅地降低，显示出体声波共振器的质量因子被有效地增强了。

请参阅图4A，其为本发明一种体声波共振器的共振结构的一具有六个弧形边的具体实施例的俯视图。本实施例的主要结构与图1B所示的实施例的结构大致相同，其中轮廓5包含了六个弧形边6，分别为弧形边60、弧形边61、弧形边62、弧形边63、弧形边64以及弧形边65。每一个弧形边6(弧形边60、弧形边61、弧形边62、弧形边63、弧形边64以及弧形边65)都是凹向轮廓5的一几何中心7。每一个弧形边6的两端点可连成一弦线段8(即，由弧形边60的两端点连成一弦线段80、由弧形边61的两端点连成一弦线段81、由弧形边62的两端点连成一弦线段82、由弧形边63的两端点连成一弦线段83、由弧形边64的两端点连成一弦线段84以及由弧形边65的两端点连成一弦线段85)。每一弦线段8的长度为一弦长a(即，弦线段80的长度为一弦长a0、弦线段81的长度为一弦长a1、弦线段82的长度为一弦长a2、弦线段83的长度为一弦长a3、弦线段84的长度为一弦长a4以及弦线段85的长度为一弦长a5)。每一弧形边6与其弦线段8间具有一最长距离d(即，弧形边60与弦线段80间具有一最长距离d0、弧形边61与弦线段81间具有一最长距离d1、弧形边62与弦线段82间具有一最长距离d2、弧形边63与弦线段83间具有一最长距离d3、弧形边64与弦线段84间具有一最长距离d4以及弧形边65与弦线段85间具有一最长距离d5)。其中由六个弦线段8(弦线段80、弦线段81、弦线段82、弦线段83、弦线段84以及弦线段85)可形成一凸六边形。每一弦线段8与其相邻的弦线段间具有一夹角θ(即，弦线段85与弦线段80间具有一夹角θ₀、弦线段80与弦线段81间具有一夹角θ₁、弦线段81与弦线段82间具有一夹角θ₂、弦线段82与弦线段83间具有一夹角θ₃、弦线段83与弦线段84间具有一夹角θ₄以及弦线段84与弦线段85间具有一夹角θ₅)。其中六个夹角θ(θ₀、θ₁、θ₂、θ₃、θ₄以及θ₅)分别为凸六边形的六个内角。每一弦线段8具有一中垂线9(如图1C所示)。每一个弧形边6(弧形边60、弧形边61、弧形边62、弧形边63、弧形边64以及弧形边65)可以为一椭圆弧、一圆弧、一拋物线弧、一双曲线弧或一摆线弧，也可以是其他函数的弧。在图4A的实施例，六个弧形边6(弧形边60、弧形边61、弧形边62、弧形边63、弧形边64以及弧形边65)为六个不全同(identical)的弧形边。其中六个弧形边6分别为六种不同种类的弧，且六个弧形边6分别具有不同的弧长。六个弧形边6的相对应的弦线段8分别具有不同的长度a。六个弧形边6与其相对应的弦线段8间分别具有不同的最长距离d。六个弧形边6分别不对称于其弦线段8的中垂线9。由六个弦线段8所形成的凸六边形具有六个不同的内角θ。在一实施例中，凸六边形的每一内角的角度大于或等于75度且小于180度。在一较佳的实施例中，最长距离d与长度a的关系为：，藉以降低突波模态对体声波共振器的滤波特性的影响。

请参阅图4B，其为本发明一种体声波共振器的共振结构的另一具有六个弧形边的具体实施例的俯视图。本实施例的主要结构与图4A所示的实施例的结构大致相同，其中六个弧形边6(弧形边60、弧形边61、弧形边62、弧形边63、弧形边64以及弧形边65)为六个全同(identical)的弧形边。六个弧形边6皆为一圆弧，其中圆弧可为一劣弧或一半圆弧，圆弧的一圆心(图中未显示)位于与其相对应的弦线段8的中垂线9上，且六个弧形边6皆具有相同的弧长。六个弧形边6的相对应的弦线段8皆具有相同的长度a。六个弧形边6与其相对应的弦线段8间皆具有相同的最长距离d。六个弧形边6皆分别对称于其弦线段8的中垂线9。由六个弦线段8所形成的凸六边形具有全部相同的内角θ(即，θ₀＝θ₁＝θ₂＝θ₃＝θ₄＝θ₄＝120°)。

请参阅图4C，其为本发明一种体声波共振器的共振结构的又一具有六个弧形边的具体实施例的俯视图。本实施例的主要结构与图4A所示的实施例的结构大致相同，其中六个弧形边6(弧形边60、弧形边61、弧形边62、弧形边63、弧形边64以及弧形边65)为六个全同(identical)的弧形边。六个弧形边6皆为一圆弧，其中圆弧可为一劣弧或一半圆弧，圆弧的一圆心(图中未显示)位于与其相对应的弦线段8的中垂线9上，且六个弧形边6皆具有相同的弧长。六个弧形边6的相对应的弦线段8皆具有相同的长度a。六个弧形边6与其相对应的弦线段8间皆具有相同的最长距离d。六个弧形边6皆分别对称于其弦线段8的中垂线9。由六个弦线段8所形成的凸六边形具有部分相同的内角θ(即，θ₁＝θ₂＝θ₄＝θ₅＞θ₀＝θ₃)。

请参阅图5A，其为本发明一种体声波共振器的共振结构的一具有四个弧形边的具体实施例的俯视图。本实施例的主要结构与图1B所示的实施例的结构大致相同，其更包括四个连接弧10(分别为连接弧100、连接弧101、连接弧102以及连接弧103)。每一个连接弧10(连接弧100、连接弧101、连接弧102以及连接弧103)都是凸向轮廓5的一几何中心7。每一连接弧10的两端点分别与两个弧形边6相连接(即连接弧100与弧形边60及弧形边61相连接、连接弧101与弧形边61及弧形边62相连接、连接弧102与弧形边62及弧形边63相连接、以及连接弧103与弧形边63及弧形边60相连接)，使得轮廓5形成平滑曲线而不存在奇异点。其中一凸四边形(图上未显示)延伸四个弦线段8(弦线段80、弦线段81、弦线段82以及弦线段83)所形成。每一弦线段8与其相邻的弦线段间具有一夹角θ(即，弦线段83与弦线段80间具有一夹角θ₀、弦线段80与弦线段81间具有一夹角θ₁、弦线段81与弦线段82间具有一夹角θ₂以及弦线段82与弦线段83间具有一夹角θ₃)。其中凸四边形具有四个不同的内角θ(θ₀、θ₁、θ₂以及θ₃)。每一个连接弧10(连接弧100、连接弧101、连接弧102以及连接弧103)可以为一椭圆弧、一圆弧、一拋物线弧、一双曲线弧或一摆线弧，也可以是其他函数的弧。在图5A的实施例，四个连接弧10(连接弧100、连接弧101、连接弧102以及连接弧103)为四个不全同(identical)的连接弧。其中四个连接弧10分别为四种不同种类的弧，且四个连接弧10分别具有不同的弧长。图5A的实施例将连接弧10设置于图1B的实施例的两相邻的弧形边6之间，使得轮廓5形成平滑曲线而不存在奇异点。如此一来，使得原本图1B的实施例中两相邻的弧形边6相交的奇异点不再存在。本发明的体声波共振器的共振结构的轮廓，以弧形边来取代已知技术的多边形的直线形的边，并藉由连接弧来去除轮廓的奇异点以形成平滑曲线的轮廓，藉此更增长水平横波的共振路径，使得突波模态的能量降低以抑制接近垂直纵波共振频率的突波模态，和/或使得突波模态的频率远离垂直纵波共振频率，从而降低突波模态对体声波共振器的滤波特性的影响，并有效增强体声波共振器的质量因子。在一实施例中，每一连接弧的弧长与每一连接弧的相邻的两个弧形边的任一个的弧长的比例介于1：5以及1：50之间。在一实施例中，凸四边形的每一内角的角度大于或等于60度且小于或等于135度。在一较佳的实施例中，最长距离d与长度a的关系为：，藉以降低突波模态对体声波共振器的滤波特性的影响。

在一实施例中，其主要结构与图5A所示的实施例的结构大致相同，其中只包括三个连接弧10。在另一实施例中，其主要结构与图5A所示的实施例的结构大致相同，其中只包括两个连接弧10。在又一实施例中，其主要结构与图5A所示的实施例的结构大致相同，其中只包括一个连接弧10。在一实施例中，其主要结构与图5A所示的实施例的结构大致相同，其中四个连接弧10部分相同种类的弧。在另一实施例中，其主要结构与图5A所示的实施例的结构大致相同，其中四个连接弧10全部相同种类的弧。在一实施例中，其主要结构与图5A所示的实施例的结构大致相同，其中四个连接弧10部分具有相同的弧长。在另一实施例中，其主要结构与图5A所示的实施例的结构大致相同，其中四个连接弧10全部具有相同的弧长。在一实施例中，其主要结构与图5A所示的实施例的结构大致相同，其中由四个弦线段8所形成的凸四边形具有部分相同的内角θ。在另一实施例中，其主要结构与图5A所示的实施例的结构大致相同，其中由四个弦线段8所形成的凸四边形具有全部相同的内角θ。

请参阅图5B，其为本发明一种体声波共振器的共振结构的另一具有四个弧形边的具体实施例的俯视图。本实施例的主要结构与图5A所示的实施例的结构大致相同，其中四个弧形边6(弧形边60、弧形边61、弧形边62以及弧形边63)为四个全同(identical)的弧形边，且四个连接弧10(连接弧100、连接弧101、连接弧102以及连接弧103)为四个全同的连接弧。四个弧形边6皆为一圆弧，其中圆弧可为一劣弧或一半圆弧，圆弧的一圆心(图中未显示)位于与其相对应的弦线段8的中垂线9上，且四个弧形边6皆具有相同的弧长。四个连接弧10皆具有相同的弧长。四个弧形边6的相对应的弦线段8皆具有相同的长度a。四个弧形边6与其相对应的弦线段8间皆具有相同的最长距离d。四个弧形边6皆分别对称于其弦线段8的中垂线9。由延伸四个弦线段8所形成的凸四边形具有全部相同的内角θ(即，θ₀＝θ₁＝θ₂＝θ₃＝90°)。

请参阅图5C，其为本发明一种体声波共振器的共振结构的又一具有四个弧形边的具体实施例的俯视图。本实施例的主要结构与图5A所示的实施例的结构大致相同，其中四个弧形边6(弧形边60、弧形边61、弧形边62以及弧形边63)为四个全同(identical)的弧形边，且四个连接弧10(连接弧100、连接弧101、连接弧102以及连接弧103)为部分相同的连接弧。四个弧形边6皆为一圆弧，其中圆弧可为一劣弧或一半圆弧，圆弧的一圆心(图中未显示)位于与其相对应的弦线段8的中垂线9上，且四个弧形边6皆具有相同的弧长。四个弧形边6的相对应的弦线段8皆具有相同的长度a。四个弧形边6与其相对应的弦线段8间皆具有相同的最长距离d。四个弧形边6皆分别对称于其弦线段8的中垂线9。由延伸四个弦线段8所形成的凸四边形具有部分相同的内角θ(即，θ₀＝θ₂＜θ₁＝θ₃)。

请参阅图5D，其为本发明一种体声波共振器的共振结构的再一具有四个弧形边的具体实施例的俯视图。本实施例的主要结构与图5A所示的实施例的结构大致相同，其中四个弧形边6(弧形边60、弧形边61、弧形边62以及弧形边63)为部分全同(identical)的弧形边，且四个连接弧10(连接弧100、连接弧101、连接弧102以及连接弧103)为部分相同的连接弧，其中弧形边60以及弧形边62为全同的弧形边；弧形边61以及弧形边63为全同的弧形边。四个弧形边6皆为一圆弧，其中圆弧可为一劣弧或一半圆弧，圆弧的一圆心(图中未显示)位于与其相对应的弦线段8的中垂线9上，且四个弧形边6部分具有相同的弧长，其中弧形边60以及弧形边62的弧长相同；弧形边61以及弧形边63的弧长相同。四个弧形边6的相对应的弦线段8部分具有相同的长度a(即，弦线段80的弦长a0＝弦线段82的弦长a2＞弦线段81的弦长a1＝弦线段83的弦长a3)。四个弧形边6与其相对应的弦线段8间皆具有相同的最长距离d。四个弧形边6皆分别对称于其弦线段8的中垂线9。由延伸四个弦线段8所形成的凸四边形具有部分相同的内角θ(即，θ₀＝θ₂＜θ₁＝θ₃)。

请参阅图6A，其为本发明一种体声波共振器的共振结构的一具有五个弧形边的具体实施例的俯视图。本实施例的主要结构与图2A所示的实施例的结构大致相同，其更包括五个连接弧10(分别为连接弧100、连接弧101、连接弧102、连接弧103以及连接弧104)。每一个连接弧10(连接弧100、连接弧101、连接弧102、连接弧103以及连接弧104)都是凸向轮廓5的一几何中心7。每一连接弧10的两端点分别与两个弧形边6相连接(即连接弧100与弧形边60及弧形边61相连接、连接弧101与弧形边61及弧形边62相连接、连接弧102与弧形边62及弧形边63相连接、连接弧103与弧形边63及弧形边64相连接、以及连接弧104与弧形边64及弧形边60相连接)，使得轮廓5形成平滑曲线而不存在奇异点。其中一凸五边形(图上未显示)延伸五个弦线段8(弦线段80、弦线段81、弦线段82、弦线段83以及弦线段84)所形成。每一弦线段8与其相邻的弦线段间具有一夹角θ(即，弦线段84与弦线段80间具有一夹角θ₀、弦线段80与弦线段81间具有一夹角θ₁、弦线段81与弦线段82间具有一夹角θ₂、弦线段82与弦线段83间具有一夹角θ₃以及弦线段83与弦线段84间具有一夹角θ₄)。其中凸五边形具有五个不同的内角θ(θ₀、θ₁、θ₂、θ₃以及θ₄)。每一个连接弧10(连接弧100、连接弧101、连接弧102、连接弧103以及连接弧104)可以为一椭圆弧、一圆弧、一拋物线弧、一双曲线弧或一摆线弧，也可以是其他函数的弧。在图6A的实施例，五个连接弧10(连接弧100、连接弧101、连接弧102、连接弧103以及连接弧104)为五个不全同(identical)的连接弧。其中五个连接弧10分别为五种不同种类的弧，且五个连接弧10分别具有不同的弧长。在一实施例中，凸五边形的每一内角的角度大于或等于65度且小于或等于170度。在一较佳的实施例中，最长距离d与长度a的关系为：藉以降低突波模态对体声波共振器的滤波特性的影响。

请参阅图6B，其为本发明一种体声波共振器的共振结构的另一具有五个弧形边的具体实施例的俯视图。本实施例的主要结构与图6A所示的实施例的结构大致相同，其中五个弧形边6(弧形边60、弧形边61、弧形边62、弧形边63以及弧形边64)为五个全同(identical)的弧形边，且五个连接弧10(连接弧100、连接弧101、连接弧102、连接弧103以及连接弧104)为五个全同的连接弧。五个弧形边6皆为一圆弧，其中圆弧可为一劣弧或一半圆弧，圆弧的一圆心(图中未显示)位于与其相对应的弦线段8的中垂线9上，且五个弧形边6皆具有相同的弧长。五个连接弧10皆具有相同的弧长。五个弧形边6的相对应的弦线段8皆具有相同的长度a。五个弧形边6与其相对应的弦线段8间皆具有相同的最长距离d。五个弧形边6皆分别对称于其弦线段8的中垂线9。由延伸五个弦线段8所形成的凸五边形具有全部相同的内角θ(即，θ₀＝θ₁＝θ₂＝θ₃＝θ₄＝108°)。

请参阅图6C，其为本发明一种体声波共振器的共振结构的又一具有五个弧形边的具体实施例的俯视图。本实施例的主要结构与图6A所示的实施例的结构大致相同，其中五个弧形边6(弧形边60、弧形边61、弧形边62、弧形边63以及弧形边64)为五个全同(identical)的弧形边，且五个连接弧10(连接弧100、连接弧101、连接弧102、连接弧103以及连接弧104)为部分相同的连接弧。五个弧形边6皆为一圆弧，其中圆弧可为一劣弧或一半圆弧，圆弧的一圆心(图中未显示)位于与其相对应的弦线段8的中垂线9上，且五个弧形边6皆具有相同的弧长。五个弧形边6的相对应的弦线段8皆具有相同的长度a。五个弧形边6与其相对应的弦线段8间皆具有相同的最长距离d。五个弧形边6皆分别对称于其弦线段8的中垂线9。由五个弦线段8所形成的凸五边形具有部分相同的内角θ(即，θ₁＞θ₃＝θ₄＞θ₀＝θ₂)。

请参阅图7A，其为本发明一种体声波共振器的共振结构的一具有三个弧形边的具体实施例的俯视图。本实施例的主要结构与图3A所示的实施例的结构大致相同，其更包括三个连接弧10(分别为连接弧100、连接弧101以及连接弧102)。每一个连接弧10(连接弧100、连接弧101以及连接弧102)都是凸向轮廓5的一几何中心7。每一连接弧10的两端点分别与两个弧形边6相连接(即连接弧100与弧形边60及弧形边61相连接、连接弧101与弧形边61及弧形边62相连接、连接弧102与弧形边62及弧形边60相连接)，使得轮廓5形成平滑曲线而不存在奇异点。其中一三边形(图上未显示)延伸三个弦线段8(弦线段80、弦线段81以及弦线段82)所形成。每一弦线段8与其相邻的弦线段间具有一夹角θ(即，弦线段82与弦线段80间具有一夹角θ₀、弦线段80与弦线段81间具有一夹角θ₁以及弦线段81与弦线段82间具有一夹角θ₂)。其中三边形具有三个不同的内角θ(θ₀、θ₁以及θ₂)。每一个连接弧10(连接弧100、连接弧101以及连接弧102)可以为一椭圆弧、一圆弧、一拋物线弧、一双曲线弧或一摆线弧，也可以是其他函数的弧。在图7A的实施例，三个连接弧10(连接弧100、连接弧101以及连接弧102)为三个不全同(identical)的连接弧。其中三个连接弧10分别为三种不同种类的弧，且三个连接弧10分别具有不同的弧长。在一实施例中，三边形的每一内角的角度大于或等于45度且小于或等于90度。在一较佳的实施例中，最长距离d与长度a的关系为：藉以降低突波模态对体声波共振器的滤波特性的影响。

请参阅图7B，其为本发明一种体声波共振器的共振结构的另一具有三个弧形边的具体实施例的俯视图。本实施例的主要结构与图7A所示的实施例的结构大致相同，其中三个弧形边6(弧形边60、弧形边61以及弧形边62)为三个全同(identical)的弧形边，且三个连接弧10(连接弧100、连接弧101以及连接弧102)为三个全同的连接弧。三个弧形边6皆为一圆弧，其中圆弧可为一劣弧或一半圆弧，圆弧的一圆心(图中未显示)位于与其相对应的弦线段8的中垂线9上，且三个弧形边6皆具有相同的弧长。三个连接弧10皆具有相同的弧长。三个弧形边6的相对应的弦线段8皆具有相同的长度a。三个弧形边6与其相对应的弦线段8间皆具有相同的最长距离d。三个弧形边6皆分别对称于其弦线段8的中垂线9。由延伸三个弦线段8所形成的三边形具有全部相同的内角θ(即，θ₀＝θ₁＝θ₂＝60°)。

请参阅图8A，其为本发明一种体声波共振器的共振结构的一具有六个弧形边的具体实施例的俯视图。本实施例的主要结构与图4A所示的实施例的结构大致相同，其更包括六个连接弧10(分别为连接弧100、连接弧101、连接弧102、连接弧103、连接弧104以及连接弧105)。每一个连接弧10(连接弧100、连接弧101、连接弧102、连接弧103、连接弧104以及连接弧105)都是凸向轮廓5的一几何中心7。每一连接弧10的两端点分别与两个弧形边6相连接(即连接弧100与弧形边60及弧形边61相连接、连接弧101与弧形边61及弧形边62相连接、连接弧102与弧形边62及弧形边63相连接、连接弧103与弧形边63及弧形边64相连接、连接弧104与弧形边64及弧形边65相连接、以及连接弧105与弧形边65及弧形边60相连接)，使得轮廓5形成平滑曲线而不存在奇异点。其中一凸六边形(图上未显示)延伸六个弦线段8(弦线段80、弦线段81、弦线段82、弦线段83、弦线段84以及弦线段85)所形成。每一弦线段8与其相邻的弦线段间具有一夹角θ(即，弦线段85与弦线段80间具有一夹角θ₀、弦线段80与弦线段81间具有一夹角θ₁、弦线段81与弦线段82间具有一夹角θ₂、弦线段82与弦线段83间具有一夹角θ₃、弦线段83与弦线段84间具有一夹角θ₄以及弦线段84与弦线段85间具有一夹角θ₅)。其中凸六边形具有六个不同的内角θ(θ₀、θ₁、θ₂、θ₃、θ₄以及θ₅)。每一个连接弧10(连接弧100、连接弧101、连接弧102、连接弧103、连接弧104以及连接弧105)可以为一椭圆弧、一圆弧、一拋物线弧、一双曲线弧或一摆线弧，也可以是其他函数的弧。在图8A的实施例，六个连接弧10(连接弧100、连接弧101、连接弧102、连接弧103、连接弧104以及连接弧105)为六个不全同(identical)的连接弧。其中六个连接弧10分别为六种不同种类的弧，且六个连接弧10分别具有不同的弧长。在一实施例中，凸六边形的每一内角的角度大于或等于75度且小于180度。在一较佳的实施例中，最长距离d与长度a的关为：，藉以降低突波模态对体声波共振器的滤波特性的影响。

请参阅图8B，其为本发明一种体声波共振器的共振结构的另一具有六个弧形边的具体实施例的俯视图。本实施例的主要结构与图8A所示的实施例的结构大致相同，其中六个弧形边6(弧形边60、弧形边61、弧形边62、弧形边63、弧形边64以及弧形边65)为六个全同(identical)的弧形边，且六个连接弧10(连接弧100、连接弧101、连接弧102、连接弧103、连接弧104以及连接弧105)为六个全同的连接弧。六个弧形边6皆为一圆弧，其中圆弧可为一劣弧或一半圆弧，圆弧的一圆心(图中未显示)位于与其相对应的弦线段8的中垂线9上，且六个弧形边6皆具有相同的弧长。六个连接弧10皆具有相同的弧长。六个弧形边6的相对应的弦线段8皆具有相同的长度a。六个弧形边6与其相对应的弦线段8间皆具有相同的最长距离d。六个弧形边6皆分别对称于其弦线段8的中垂线9。由延伸六个弦线段8所形成的凸六边形具有全部相同的内角θ(即，θ₀＝θ₁＝θ₂＝θ₃＝θ₄＝θ₅＝120°)。

请参阅图8C，其为本发明一种体声波共振器的共振结构的又一具有六个弧形边的具体实施例的俯视图。本实施例的主要结构与图8A所示的实施例的结构大致相同，其中六个弧形边6(弧形边60、弧形边61、弧形边62、弧形边63、弧形边64以及弧形边65)为六个全同(identical)的弧形边，且六个连接弧10(连接弧100、连接弧101、连接弧102、连接弧103、连接弧104以及连接弧105)为部分相同的连接弧。六个弧形边6皆为一圆弧，其中圆弧可为一劣弧或一半圆弧，圆弧的一圆心(图中未显示)位于与其相对应的弦线段8的中垂线9上，且六个弧形边6皆具有相同的弧长。六个弧形边6的相对应的弦线段8皆具有相同的长度a。六个弧形边6与其相对应的弦线段8间皆具有相同的最长距离d。六个弧形边6皆分别对称于其弦线段8的中垂线9。由延伸六个弦线段8所形成的凸六边形部分具有相同的内角θ(即，θ₁＝θ₂＝θ₄＝θ₅＞θ₀＝θ₃)。

在一实施例中，弧形边6的边数大于连接弧10的数目，每一连接弧10的两端点分别与两个弧形边6相连接。在另一实施例中，弧形边6的边数等于连接弧10的数目，每一连接弧10的两端点分别与两个弧形边6相连接，且每一弧形边6的两端点分别与两个连接弧10相连接。在一实施例中，每一弧形边的两端点可连接而形成一弦线段，一凸多边形延伸所有的弦线段所形成，其中弧形边的边数等于凸多边形的边数。

以上所述乃是本发明的具体实施例及所运用的技术手段，根据本发明的揭示或教导可衍生推导出许多的更改与修正，仍可视为本发明的构想所作的等效改变，其所产生的作用仍未超出说明书及附图所涵盖的实质精神，均应视为在本发明的技术范畴的内。

综上所述，依上文所揭示的内容，本发明可达到发明的预期目的，提供一种体声波共振器的共振结构，极具产业上利用的价植。

Claims

1.一种体声波共振器的共振结构，其特征在于，包括：

一底电极；

一压电层，形成于所述底电极之上；以及

一顶电极，形成于所述压电层之上；

其中所述底电极、所述压电层以及所述顶电极三个相重叠的区域形成一共振区域，所述共振区域具有一轮廓，所述轮廓由包含至少三个弧形边所连接而成，其中每一弧形边凹向所述轮廓之一几何中心。

2.根据权利要求1所述的体声波共振器的共振结构，其特征在于，所述至少三个弧形边包括选自以下群组的至少一个：一椭圆弧、一圆弧、一拋物线弧、一双曲线弧以及一摆线弧。

3.根据权利要求1所述的体声波共振器的共振结构，其特征在于，所述至少三个弧形边包含偶数个弧形边，每一弧形边的两端点可连接而形成具有一弦长的一弦线段，每一弧形边与其相对应的弦线段间具有一最长距离。

4.根据权利要求1所述的体声波共振器的共振结构，其特征在于，所述至少三个弧形边包含奇数个弧形边，每一弧形边的两端点可连接而形成具有一弦长的一弦线段，每一弧形边与其相对应的弦线段间具有一最长距离。

5.根据权利要求1所述的体声波共振器的共振结构，其特征在于，所述至少三个弧形边包含至少一圆弧，每一弧形边的两端点可连接而形成一弦线段，每一圆弧的一圆心位于其相对应的弦线段的一中垂在线。

6.根据权利要求5所述的体声波共振器的共振结构，其特征在于，每一圆弧为一劣弧或一半圆弧。

7.根据权利要求5所述的体声波共振器的共振结构，其特征在于，每一圆弧具有相同的弧长。

8.根据权利要求5所述的体声波共振器的共振结构，其特征在于，每一弧形边为一圆弧。

9.根据权利要求1所述的体声波共振器的共振结构，其特征在于，每一弧形边的两端点可连接而形成一弦线段，一凸多边形由连接所有弦线段所形成。

10.根据权利要求9所述的体声波共振器的共振结构，其特征在于，所述至少三个弧形边包含三个弧形边，所述凸多边形为一三角形，所述凸多边形的每一内角的角度大于或等于45度且小于或等于90度。

11.根据权利要求9所述的体声波共振器的共振结构，其特征在于，所述至少三个弧形边包含四个弧形边，所述凸多边形为一凸四边形，所述凸多边形的每一内角的角度大于或等于60度且小于或等于135度。

12.根据权利要求9所述的体声波共振器的共振结构，其特征在于，所述至少三个弧形边包含五个弧形边，所述凸多边形为一凸五边形，所述凸多边形的每一内角的角度大于或等于65度且小于或等于170度。

13.根据权利要求1所述的体声波共振器的共振结构，其特征在于，每一弧形边的两端点可连接而形成一弦线段，至少一弧形边对称于其相对应的弦线段的一中垂线。

14.根据权利要求1所述的体声波共振器的共振结构，其特征在于，每一弧形边的两端点可连接而形成一弦线段，每一弧形边对称于其相对应的弦线段的一中垂线。

15.根据权利要求1所述的体声波共振器的共振结构，其特征在于，每一弧形边的两端点可连接而形成一弦线段，每一弧形边的范围介于分别通过其两端点且垂直于其相对应的弦线段的两垂直线之间。

16.根据权利要求1所述的体声波共振器的共振结构，其特征在于，每一弧形边具有相同的弧长。

17.一种体声波共振器的共振结构，其特征在于，包括：

一底电极；

一压电层，形成于所述底电极之上；以及

一顶电极，形成于所述压电层之上；

其中所述底电极、所述压电层以及所述顶电极三个相重叠的区域形成一共振区域，所述共振区域具有一轮廓，所述轮廓由包含至少三个弧形边以及至少一连接弧所连接而成，其中每一弧形边凹向所述轮廓的一几何中心，每一连接弧凸向所述几何中心，其中弧形边的边数大于或等于连接弧的数目，每一连接弧与两个弧形边相连接。

18.根据权利要求17所述的体声波共振器的共振结构，其特征在于，所述轮廓由所述至少三个弧形边以及所述至少一连接弧连接成平滑曲线而不存在奇异点。

19.根据权利要求17或18所述的体声波共振器的共振结构，其特征在于，弧形边的边数等于连接弧的数目，每一弧形边与两个连接弧相连接。

20.根据权利要求17或18所述的体声波共振器的共振结构，其特征在于，每一连接弧的弧长与其相邻的两个弧形边的任一个的弧长的比例介于1：5以及1：50之间。

21.根据权利要求17或18所述的体声波共振器的共振结构，其特征在于，所述至少三个弧形边包括选自以下群组的至少一个：一椭圆弧、一圆弧、一拋物线弧、一双曲线弧以及一摆线弧。

22.根据权利要求17或18所述的体声波共振器的共振结构，其特征在于，所述至少三个弧形边包含偶数个弧形边，每一弧形边的两端点可连接而形成具有一弦长的一弦线段，每一弧形边与其相对应的弦线段间具有一最长距离。

23.根据权利要求17或18所述的体声波共振器的共振结构，其特征在于，所述至少三个弧形边包含奇数个弧形边，每一弧形边的两端点可连接而形成具有一弦长的一弦线段，每一弧形边与其相对应的弦线段间具有一最长距离。

24.根据权利要求17或18所述的体声波共振器的共振结构，其特征在于，所述至少三个弧形边包含至少一圆弧，每一弧形边的两端点可连接而形成一弦线段，每一圆弧的一圆心位于其相对应的弦线段的一中垂在线。

25.根据权利要求24所述的体声波共振器的共振结构，其特征在于，每一圆弧为一劣弧或一半圆弧。

26.根据权利要求24所述的体声波共振器的共振结构，其特征在于，每一圆弧具有相同的弧长。

27.根据权利要求24所述的体声波共振器的共振结构，其特征在于，每一弧形边为一圆弧。

28.根据权利要求17或18所述的体声波共振器的共振结构，其特征在于，每一弧形边的两端点可连接而形成一弦线段，一凸多边形延伸所有的弦线段所形成，其中所述至少三个弧形边的边数等于所述凸多边形的边数。

29.根据权利要求28所述的体声波共振器的共振结构，其特征在于，所述至少三个弧形边包含三个弧形边，所述凸多边形为一三角形，所述凸多边形的每一内角的角度大于或等于45度且小于或等于90度。

30.根据权利要求28所述的体声波共振器的共振结构，其特征在于，所述至少三个弧形边包含四个弧形边，所述凸多边形为一凸四边形，所述凸多边形的每一内角的角度大于或等于60度且小于或等于135度。

31.根据权利要求28所述的体声波共振器的共振结构，其特征在于，所述至少三个弧形边包含五个弧形边，所述凸多边形为一凸五边形，所述凸多边形的每一内角的角度大于或等于65度且小于或等于170度。

32.根据权利要求17或18所述的体声波共振器的共振结构，其特征在于，每一弧形边的两端点可连接而形成一弦线段，至少一弧形边对称于其相对应的弦线段的一中垂线。

33.根据权利要求17或18所述的体声波共振器的共振结构，其特征在于，每一弧形边的两端点可连接而形成一弦线段，每一弧形边对称于其相对应的弦线段的一中垂线。

34.如根据权利要求17或18所述的体声波共振器的共振结构，其特征在于，每一弧形边的两端点可连接而形成一弦线段，每一弧形边的范围介于分别通过其两端点且垂直于其相对应的弦线段的两垂直线之间。

35.根据权利要求17或18所述的体声波共振器的共振结构，其特征在于，每一弧形边具有相同的弧长。

36.根据权利要求17或18所述的体声波共振器的共振结构，其特征在于，每一连接弧具有相同的弧长。