CN107431475A - 谐振器 - Google Patents

Abstract

本发明提供能够降低在连接电极彼此的连接线与电极之间产生的寄生电容的影响的谐振器。具备：矩形的振动部，其进行轮廓振动；保持部，其保持该振动部；第一保持单元，其具有在保持部与第一长边之间，沿着振动部大致平行地设置的第一臂、连接该第一臂与振动部的多个第二臂、以及连接第一臂与保持部的第三臂，并连接该振动部与保持部；第一连接线，其设置在第一臂上；第一端子，其设置于保持部；至少三个以上的电极，它们设置在振动部上；以及多个第一引出线，它们设置在多个第二臂上，将三个以上的电极中的第一以及第二电极与第一连接线连接，多个第一引出线与第一连接线连接，第一连接线与第一端子电连接，从第一端子向第一以及第二电极施加同相位的电场。

Description

谐振器

技术领域

本发明涉及谐振器。

背景技术

以往，使用了MEMS(Micro Electro Mechanical Systems：微机电系统)技术的压电共振装置例如作为计时设备使用。该压电共振装置安装在设置在智能手机等电子设备内的印刷电路基板上。

这样的压电共振装置所使用的谐振器中，进行高次轮廓振动的谐振器经由设置在振动部上的端部电极连接同相位的电极彼此。专利文献1公开了在以母线连接上部电极彼此之后，从振动部向外周的保持部引出电极的谐振器的结构。

专利文献1：美国专利第784328号说明书

但是，在专利文献1所记载的以往的谐振器中，有由于在端部电极与上部电极之间产生的寄生电容的影响，而导致特性的恶化这样的技术问题。另外，由于需要在振动部的端部设置端部电极，所以也有无法将上部电极配置到振动部的端部的情况。

发明内容

本发明是鉴于这样的情况而提出的，目的在于提供能够降低在连接电极彼此的连接线与电极之间产生的寄生电容的影响的谐振器。

本发明的一侧面所涉及的谐振器具备：矩形的振动部，其具有第一长边、第二长边及第一短边、第二短边，并进行轮廓振动；保持部，其设置为包围振动部的周围，并保持该振动部；第一保持单元，其具有在保持部与第一长边之间，沿着振动部大致平行地设置的第一臂、连接该第一臂与振动部的多个第二臂、以及连接第一臂与保持部的第三臂，并连接该振动部与保持部；第一连接线，其设置在第一臂上；第一端子，其设置于保持部；至少三个以上的电极，它们设置在振动部上；以及多个第一引出线，它们设置在多个第二臂上，并将三个以上的电极中的第一以及第二电极与第一连接线连接，多个第一引出线与第一连接线连接，第一连接线与第一端子电连接，第一以及第二电极从第一端子施加同相位的电场。

第一端子在保持部中，既可以设置在与第一长边对置的位置，也可以迂回地设置到与第一短边对置的位置。

另外，优选谐振器具备四个以上的电极，并且，具备：第二保持单元，其具有在保持部与第二长边之间，沿着振动部大致平行地设置的第一臂、连接该第一臂与振动部的多个第二臂、以及连接第一臂与保持部的第三臂，并连接该振动部与保持部；第二连接线，其设置在第二保持单元的第一臂上；第二端子，其设置于保持部；以及多个第二引出线，它们设置在多个第二臂上，将四个以上的电极中的第三以及第四电极与第二连接线连接，多个第二引出线与第二连接线连接，第二连接线与第二端子电连接，第三以及第四电极施加与施加给第一以及第二电极的电场不同的相位的电场。

第二端子在保持部中既可以设置在与第二长边对置的位置，也可以设置在与第二短边对置的位置。

根据这样的谐振器，成为在振动部的外部设置连接施加同相位的电场的电极彼此的连接线的构成。由此，通过在振动部的外部设置连接线，能够在连接线与特别是施加了与利用该连接线连接的电极的电场相反相位的电场的电极之间设置恒定的缝隙，所以能够降低寄生电容的影响。因此，能够改善振动部的振动特性。并且，也可以不在振动部设置母线，所以能够将电极配置到振动部的端部。

另外，优选第一保持单元的多个第二臂中的两个分别与第一以及第二电极对应地设置，第二保持单元的多个第二臂中的两个分别与第三以及第四电极对应地设置。

在该优选的方式中，谐振器具有的一对保持单元成为上下左右对称的构成。由此，能够抑制由于不需要的振动模式与高次轮廓振动耦合而产生的振动障碍。

另外，本发明的其它的侧面所涉及的谐振器具备：矩形的振动部，其具有相互对置的一对第一边、以及相互对置的一对第二边，并进行轮廓振动；保持部，其设置为包围振动部的周围，并保持该振动部；第一保持单元，其具有在保持部与第一边之间，连接振动部与保持部的多个臂；第一连接线，其在保持部中，设置在与一对第一边中至少一边对置的位置；第一端子，其设置于保持部；至少三个以上的电极，它们设置在振动部上；以及多个第一引出线，它们设置在第一保持单元的多个臂上，并将三个以上的电极中的第一以及第二电极与第一连接线连接，多个第一引出线与第一连接线连接，第一连接线与第一端子电连接，第一以及第二电极从第一端子施加同相位的电场。

第一端子在保持部中，既可以设置在与第一长边对置的位置，也可以迂回地设置到与第一短边对置的位置。

另外，优选谐振器具备四个以上的电极，并且，具备：第二保持单元，其具有在保持部与一对第一边中另一边之间，连接振动部与保持部的多个臂；第二连接线，其在保持部中，设置在与另一边对置的位置；第二端子，其设置于保持部；以及多个第二引出线，它们设置在第二保持单元的多个臂上，并将四个以上的电极中的第三以及第四电极与第二连接线连接，多个第二引出线与第二连接线连接，第二连接线与第二端子电连接，第三以及第四电极施加与施加给第一以及第二电极的电场不同的相位的电场。

第二端子在保持部中既可以设置在与第二长边对置的位置，也可以设置在与第二短边对置的位置。

根据这样的谐振器，能够将连接线设置在保持部上，能够缩短保持单元。因此，即使在为了降低振动的损耗，而缩窄保持单元的宽度的情况下，也能够减小保持单元的共振电阻。

根据本发明，能够降低以往产生的寄生电容的影响。

附图说明

图1是示意地表示第一实施方式所涉及的共振装置的外观的立体图。

图2是示意地表示第一实施方式所涉及的共振装置的结构的分解立体图。

图3是示意地表示第一实施方式所涉及的谐振器的结构的一个例子的俯视图。

图4是示意地表示第一实施方式所涉及的谐振器的剖面的结构的一个例子的图。

图5是示意地表示第二实施方式所涉及的谐振器的结构的一个例子的俯视图。

图6是示意地表示第三实施方式所涉及的谐振器的结构的一个例子的俯视图。

图7是示意地表示第四实施方式所涉及的谐振器的结构的一个例子的俯视图。

图8是示意地表示第五实施方式所涉及的谐振器的结构的一个例子的俯视图。

图9是示意地表示第六实施方式所涉及的谐振器的结构的一个例子的俯视图。

具体实施方式

[第一实施方式]

以下，参照附图对本发明的第一实施方式进行说明。图1是示意地表示本发明的第一实施方式所涉及的共振装置1的外观的立体图。该共振装置1具备下侧基板14、在与下侧基板14之间形成振动空间的上侧基板13、以及夹在下侧基板14以及上侧基板13之间并保持的谐振器10。谐振器10是使用MEMS技术制造的MEMS振子。

图2是示意地表示本发明的第一实施方式所涉及的共振装置1的结构的分解立体图。下侧基板14沿着XY平面扩展为平板状，在其上面例如形成平坦的立方体形状的凹部17。凹部17形成谐振器10的振动空间的一部分。另一方面，上侧基板13沿着XY平面扩展为平板状，在其下面例如形成平坦的立方体形状的凹部18。凹部18形成谐振器10的振动空间的一部分。在该振动空间维持真空状态。下侧基板14以及上侧基板13例如由Si(硅)形成。

图3是示意地表示本实施方式所涉及的谐振器10的结构的俯视图。使用图3对本实施方式所涉及的谐振器10的各构成进行说明。谐振器10具备振动部120、保持部11、保持单元111(第一保持单元的一个例子。)、112(第二保持单元的一个例子。)、连接线B121(第一连接线的一个例子。)、B122(第二连接线的一个例子。)、引出线W111、W121(第一引出线的一个例子。)、W123(第一引出线的一个例子。)、W112、W122(第二引出线的一个例子。)、W124(第二引出线的一个例子。)。

(1.振动部120)

(1－1.详细构成)

振动部120具有沿着图3的正交坐标系上的XY平面扩展为平板状的大致长方体的轮廓。在振动部120上设有具有长度方向和宽度方向的矩形板状的四个上部电极121～124(第一电极～第四电极的一个例子。)。在图3中，振动部120在X轴方向具有长边，在Y轴方向具有短边，四个上部电极121～124均在Y轴方向具有长边，在X轴方向具有短边。

在振动部120与保持部11之间以规定的间隔形成空间。在图3的例子中，振动部120在一对长边，分别通过后述的保持单元111、112与保持部11连接并被保持。另一方面，振动部120在一对短边，不被保持部11保持。

(1－2.层叠结构)

使用图4(A)对振动部120的层叠结构进行说明。图4(A)是图3的AA′剖视图。

如图4(A)所示，振动部120在由简并半导体构成的Si基板130上层叠下部电极129。期望Si基板130的长度140μm左右，宽度400μm左右，厚度10μm左右。下部电极129例如使用钼(Mo)、铝(Al)等金属形成，厚度0.1μm左右。此外，也可以不形成下部电极129，而将简并的半导体亦即Si基板130作为下部电极使用。

另外，在下部电极129上层叠有压电薄膜128以覆盖下部电极129，并且，在压电薄膜128上层叠有上部电极121～124。上部电极121～124在形成到振动部120之后，通过蚀刻等加工分割为四个。

压电薄膜128是将施加的电压转换为振动的压电体的薄膜，例如，能够以氮化铝等氮化物、氧化物为主成分。具体而言，压电薄膜128能够由氮化钪铝(ScAlN)形成。ScALN是将氮化铝(AlN)中的铝(Al)的一部分置换为钪(Sc)后的物质。另外，压电薄膜128例如具有0.8μm的厚度。

另外，上部电极121～124与下部电极129相同，例如使用钼(Mo)铝(Al)等金属形成，厚度0.1μm左右。

(1－3.功能)

接下来，对振动部120的功能进行说明。振动部120通过施加交变电场，沿着X轴方向进行轮廓振动。

具体而言，压电薄膜128向c轴方向取向，因此，若在上部电极121～124施加规定的电场，在下部电极129与上部电极121～124之间形成规定的电位差，则与该电位差对应地压电薄膜128在XY面内方向伸缩，从而振动部120进行轮廓振动。

如图4(A)所示，振动部120划分为与上部电极121～124对应的振动区域A121～A124。即，在振动区域A121～A124分别形成有上部电极121～124。上部电极121～124的邻接的电极成为相反相位，若对压电薄膜128的c轴方向施加交变电场，则邻接的振动区域A121～124机械耦合。由此，各区域的X轴方向上的中心附近成为振动的节，四个振动区域A121～A124的邻接的区域彼此以相反相位在面内方向振动。由此，振动部120作为整体进行高次轮廓振动。

此外，Si基板130、下部电极129以及压电薄膜128被振动区域A121～A124共享。

返回到图3，对谐振器10的其它的结构进行说明。

(2.保持部11)

(2－1.详细构成)

在本实施方式中，保持部11沿着XY平面形成为矩形的框状。此外，保持部11设置在振动部120的周围的至少一部分即可，并不限定于框状的形状。保持部11设置为沿着XY平面包围振动部120的外侧。更具体而言，保持部11具备与X轴方向平行，并与振动部120的长边对置地延伸的一对长边板状的框体11a、11b、和与振动部120的短边对置地与Y轴方向平行地延伸，且在其两端分别与框体11a、11b的两端连接的一对短边的框体11c、11d。

在框体11a以及框体11b形成有电压施加部110a(第一端子的一个例子。)、110b(第二端子的一个例子。)。电压施加部110a、110b能够经由保持单元111、112对上部电极121～124施加交变电场。在本实施方式中，电压施加部110a形成在框体11a的中央附近，电压施加部110b形成在框体11b的中央附近，但也可以进一步形成在11c、11d。

此外，在以下的说明中，将框体11a侧作为谐振器10的上侧，并将框体11b侧作为谐振器10的下侧进行说明。

(2－2.层叠结构)

如图4(A)所示，保持部11在由简并半导体构成的Si基板130上形成利用同一工序与振动部120的下部电极129一体形成的金属层Z129，并且层叠压电薄膜128以覆盖金属层Z129。保持部11在Si基板130上按照金属层Z129、压电薄膜128的顺序与振动部120一体形成，并通过蚀刻等加工进行除去以成为期望的形状从而形成。此外，设置在保持部11的金属层Z129也可以在通过蚀刻等将下部电极129形成为规定的形状时除去。

(3.保持单元111、112)

(3－1.保持单元111的详细构成)

保持单元111连接振动部120与保持部11。保持单元111沿着XY平面设置在保持部11的内侧，且设置在振动部120的长边与框体11a之间。保持单元111具有主臂111n(第一保持单元的第三臂的一个例子。)、支承臂111m(第一保持单元的第一臂的一个例子。)、以及子臂111a～111d(第一保持单元的多个第二臂的一个例子。)。

支承臂111m在振动部120与框体11a之间的空间，与X轴方向平行，且遍及上部电极121～124与振动部120的长边对置地设置。

主臂111n与Y轴方向平行，并与振动部120的长边对置地设置，连接支承臂111m与框体11a。

子臂111a～111d在振动部120与框体11a之间的空间，与Y轴方向平行，并与振动部120的长边对置地设置。子臂111a的下端在上部电极121的上侧的短边的中央附近与振动部120的长边连接，上端与支承臂111m的一个端部连接。子臂111d的下端在上部电极124的上侧的短边的中央附近与振动部120的长边连接，上端与支承臂111m的另一个端部连接。另外，子臂111b的下端在上部电极122的上侧的短边的中央附近与振动部120的长边连接，上端与支承臂111m连接。子臂111c的下端在上部电极123的上侧的短边的中央附近与振动部120的长边连接，上端与支承臂111m连接。

支承臂111m、主臂111n、子臂111a～111d均为宽度5μm左右的长边的矩形的板。在本实施方式中，保持单元111具有与振动部120的电极的数目相同的数目的子臂，在X轴方向呈以主臂111n为中心左右对称的构成。由此，能够抑制由于不需要的振动模式与高次轮廓振动耦合所产生的振动障碍。

(3－2.保持单元112的详细构成)

保持单元112连接振动部120和保持部11。保持单元112设置在振动部120的长边与框体11b之间。保持单元112具有主臂112n(第二保持单元的第三臂的一个例子。)、支承臂112m(第二保持单元的第一臂的一个例子。)、以及子臂112a～112d(第二保持单元的多个第二臂的一个例子。)。

支承臂112m在振动部120与框体11b之间的空间，与X轴方向平行，且遍及上部电极121～124与振动部120的长边对置地设置。

主臂112n与Y轴方向平行，并与振动部120的短边对置地设置，连接支承臂112m和框体11b。

子臂112a～112d在振动部120与框体11b之间的空间，与Y轴方向平行，并与振动部120的长边对置地设置。子臂112a的上端在上部电极121的下侧的短边的中央附近与振动部120的长边连接，下端与支承臂112m的一个端部连接。子臂112d的上端在上部电极124的下侧的短边的中央附近与振动部120的长边连接，下端与支承臂112m的另一个端部连接。另外，子臂112b的上端在上部电极122的下侧的短边的中央附近与振动部120的长边连接，下端与支承臂112m连接。子臂112c的上端在上部电极123的下侧的短边的中央附近与振动部120的长边连接，下端与支承臂112m连接。

另外，支承臂112m、主臂112n、子臂112a～112d均为宽度5μm左右的长边的矩形的板。在本实施方式中，保持单元112具有与振动部120的电极的数目相同的数目的子臂，在X轴方向呈以主臂112n为中心左右对称的构成。由此，能够抑制由于不需要的振动模式与高次轮廓振动耦合而产生的振动障碍。

并且，上述的保持单元111与保持单元112成为相互对称的构成。由此，能够进一步抑制振动阻碍。

(3－3.层叠结构)

使用图4(B)对保持单元111、112的层叠结构进行说明。图4(B)是图3的BB′剖视图。

如图4(B)所示，保持单元111、112在由简并半导体构成的Si基板130上层叠金属层Z129，在金属层Z129上层叠压电薄膜128以覆盖金属层Z129。并且，在压电薄膜128上层叠有利用同一工序与振动部120的上部电极121～124一体形成的后述的连接线B121、B122、引出线W111、W121、W123、W112、W122、W124。保持单元111、112的Si基板130、金属层Z129、压电薄膜128、连接线B121、B122、引出线W111、W121、W123、W112、W122、W124与振动部120一体形成，并通过蚀刻等加工进行除去以成为期望的形状从而形成。此外，设置于保持单元111、112的金属层Z129也可以在通过蚀刻等将下部电极129形成为规定的形状时除去。

(4.连接线B121)

连接线B121设置在振动部120的长边与框体11a之间的空间。连接线B121设置在支承臂111m的表面，与X轴方向平行，且遍及上部电极121～124与振动部120的长边对置地延伸。

连接线B121将设置在振动部120上的四个上部电极121～124中，通过引出线W121以及W123延伸突出的同相位的电场的上部电极121与123连接。

这样，本实施方式所涉及的谐振器10成为连接设置在振动部120的同相位的上部电极121、123的连接线B121设置在振动部120的外部的构成。因此，能够在连接线B121与上部电极122之间形成缝隙，所以能够降低寄生电容的影响。另外，由于不需要在振动部120上设置母线，所以能够设置上部电极122到振动部120的端部。

并且，由于连接线B121设置在保持单元111上，所以能够减少保持单元111与保持部11的连接点亦即主臂的数目，能够降低振动部120的振动的衰减。

(5.引出线W111、W121、W123)

引出线W111、W121、W123在振动部120的长边与框体11a之间的空间，分别与Y轴方向平行地设置。

引出线W121设置在子臂111a的表面，使上部电极121延伸突出到子臂111a上，并使其与连接线B121连接。引出线W123设置在子臂111c的表面，使施加与上部电极121的电场同相位的电场的上部电极123延伸突出到子臂111c上，并使其与连接线B121连接。

另外，引出线W111设置在主臂111n上，将电压施加部110a与连接线B121连接。

(6.连接线B122)

连接线B122设置在振动部120的长边与框体11b之间的空间。连接线B122设置在支承臂112m的表面，与X轴方向平行，且遍及上部电极121～124与振动部120的长边对置地延伸。

连接线B122将设置在振动部120上的四个上部电极121～124中，通过引出线W122以及W124延伸突出的同相位的上部电极122与124连接。

这样，本实施方式所涉及的谐振器10成为连接设置于振动部120的同相位的上部电极彼此的连接线B122设置于振动部120的外部的构成。因此，能够在连接线B122与上部电极123之间形成缝隙，所以能够降低寄生电容的影响。另外，由于不需要在振动部120上设置母线，所以能够设置上部电极123到振动部120的端部。

并且，由于连接线B122设置在保持单元112上，所以能够减少保持单元112与保持部11的连接点亦即主臂的数目，能够降低振动部120的振动的衰减。

(7.引出线W112、W122、W124)

引出线W112、W122、W124在振动部120的长边与框体11b之间的空间，分别设置在与Y轴方向平行的方向。

引出线W122设置在子臂112b的表面，使上部电极122延伸突出到子臂112b上，并使其与连接线B122连接。引出线W124设置在子臂112d的表面，使施加与上部电极122同相位的电场的上部电极124延伸突出到子臂112d，并使其与连接线B122连接。

另外，引出线W112设置在主臂112n的表面，连接电压施加部110b与连接线B122。

[第二实施方式]

在第二实施方式以后省略与第一实施方式共同的事项的记述，仅对不同的点进行说明。特别是，对于相同的构成所带来的相同的作用效果并不在每个实施方式依次提及。

图5是示意地表示本实施方式所涉及的谐振器10的结构的一个例子的俯视图。以下，以本实施方式所涉及的谐振器10的详细构成中，与第一实施方式的差异点为中心进行说明。

(1.振动部120)

在本实施方式中，振动部120具有三个上部电极121～123。其它的振动部120的构成与第一实施方式相同。

(2.保持部11)

在本实施方式中，电压施加部110a、110b分别设置在框体11a、11b的端部。其它的保持部11的构成与第一实施方式相同。

(3.保持单元111)

在本实施方式中，保持单元111仅具有子臂111a～111c三个臂，不具有与支承臂111m以及主臂111n对应的构成。其它的保持单元111的构成与第一实施方式相同。

(4.保持单元112)

在本实施方式中，保持单元112仅具有子臂112a～112c三个臂，不具有与支承臂112m以及主臂112n对应的构成。其它的保持单元112的构成与第一实施方式相同。

(5.连接线B121)

在本实施方式中，连接线B121在框体11a上，与振动部120的长边对置并与X轴方向平行地设置。连接线B121连接通过引出线W121、W123延伸突出的上部电极121、123，并与设置在框体11a的端部的电压施加部110a连接。这样，本实施方式所涉及的谐振器10通过在框体11a上设置连接线B121，能够缩短保持单元111。因此，即使在为了降低振动的损耗，而缩窄保持单元111的宽度的情况下，也能够减小保持单元111的共振电阻。

其它的连接线B121的构成与第一实施方式相同。

(6.引出W111，W121，W123)

在本实施方式中，谐振器10不具有引出线W111。引出线W121、W123的构成与第一实施方式相同。

(7.连接线B122)

在本实施方式中，谐振器10不具有连接线B122。

(8.引出线W112，W122，W124)

在本实施方式中，谐振器10不具有引出线W124。另外，引出线W112与X轴方向平行，并与振动部120的长边对置地设置在框体11b上。引出线W112将通过引出线W122延伸突出的上部电极122与电压施加部110b连接。此外，引出线W122的构成与第一实施方式相同。

其它的结构、效果与第一实施方式相同。

[第三实施方式]

图6是示意地表示本实施方式所涉及的谐振器10的结构的一个例子的俯视图。以下，对本实施方式所涉及的谐振器10的各构成中与第一实施方式的差异点进行说明。

(1.振动部120)

振动部120的构成与第一实施方式相同。

(2.保持部11)

在本实施方式中，电压施加部110a、110b分别设置在框体11a、11b的端部。其它的保持部11的构成与第一实施方式相同。

(3.保持单元111)

在本实施方式中，保持单元111仅具有子臂111a、111b两个臂，并且，设置在振动部120上的电极的数目与子臂的数目不一致。另外，保持单元111不具有与支承臂111m以及主臂111n对应的构成。这样，在本实施方式中，保持单元111具有比设置在振动部120上的电极的数目少的子臂的数目。由此，与振动部120连接的子臂的数目减少，相应地能够降低从臂泄露的振动能量的损耗，振动特性提高。这样，通过构成为对保持单元111的子臂中，振动部120的长边的外侧的子臂进行间隔剔除，能够使能量损耗的降低的效果进一步提高。

其它的保持单元111的构成与第一实施方式相同。

(4.保持单元112)

在本实施方式中，保持单元112仅具有子臂112a、112b两个臂，并且，设置在振动部120上的电极的数目与子臂的数目不一致。另外，保持单元112不具有与支承臂112m以及主臂112n对应的构成。这样，在本实施方式中，保持单元112具有比设置在振动部120上的电极的数目少的子臂的数目。由此，与振动部120连接的子臂的数目减少，相应地能够降低从臂泄露的振动能量的损耗，振动特性提高。这样，通过构成为对112的子臂中振动部120的长边的外侧的子臂进行间隔剔除，能够使能量损耗的降低的效果进一步提高。

其它的保持单元112的构成与第一实施方式相同。

(5.连接线B121)

在本实施方式中，连接线B121在框体11a上，与振动部120的长边对置，并设置在与X轴方向平行的方向。连接线B121将通过引出线W121、W123延伸突出的上部电极121、123连接，并与设置在框体11a的端部的电压施加部110a连接。其它的连接线B121的构成与第一实施方式相同。

(6.引出线W121、W123)

在本实施方式中，谐振器10不具有引出线W111。引出线W121、W123的构成与第一实施方式相同。

(7.连接线B122)

在本实施方式中，连接线B122在框体11b上，与振动部120的长边对置，并设置在与X轴方向平行的方向。连接线B122将通过引出线W122、W124延伸突出的上部电极122、124连接，并与设置在框体11b的端部的电压施加部110b连接。其它的连接线B122的构成与第一实施方式相同。

(8.引出线W122、W124)

在本实施方式中，谐振器10不具有引出线W112。引出线W122、W124的构成与第一实施方式相同。

其它的结构、效果与第一实施方式相同。

[第四实施方式]

图7是示意地表示本实施方式所涉及的谐振器10的结构的一个例子的俯视图。以下，对本实施方式所涉及的谐振器10的各构成中与第一实施方式的差异点进行说明。

(1.振动部120)

在本实施方式中，振动部120具有七个上部电极121～127、母线b121以及母线b125。母线b121在振动部120的上侧的端部，设置在上部电极122的上部，并与振动部120的长边平行地沿着X轴方向延伸。另外，母线b125在振动部120的上侧的端部，设置在上部电极126的上部，并与振动部120的长边平行地沿着X轴方向延伸。

七个上部电极121～127中施加同相位的电场的上部电极121和123、上部电极125和127分别通过母线b121、b125，在振动部120上连接。

像这样本实施方式所涉及的振动部120具有母线b121以及b125。由此，能够减少振动部120与保持单元111的连接点，能够降低振动部120的振动能量的损耗。另一方面，在振动部120的中央在振动部120上不设置母线，从而能够实现寄生电容的减少、将上部电极配置到端部，能够得到电容较大共振电阻较小的高效的振动。

其它的振动部120的构成与第一实施方式相同。

(2.保持部11)

保持部11的构成与第一实施方式相同。

(3.保持单元111)

在本实施方式中，保持单元111具有子臂111a、111b、111c、支承臂111m、主臂111n。在本实施方式中，保持单元111的子臂的数目不与设置在振动部120上的电极的数目一致。

像这样本实施方式所涉及的保持单元111不具有与振动部120的最端部或者其附近的振动区域连接的子臂。即，保持单元111仅具有与振动部120的中心或者其附近的振动区域连接的子臂。由此，能够降低振动能量的损耗。

其它的保持单元111的构成与第一实施方式相同。

(4.保持单元112)

在本实施方式中，保持单元112具有子臂112a、112b、112c、支承臂112m、主臂112n。在本实施方式中，保持单元112的子臂的数目不与设置在振动部120上的电极的数目一致。

像这样本实施方式所涉及的保持单元112不具有与振动部120的最端部或者其附近的振动区域连接的子臂。即，保持单元112仅具有与振动部120的中心或者其附近的振动区域连接的子臂。由此，能够降低振动能量的损耗。

其它的保持单元111的构成与第一实施方式相同。

(5.连接线B121)

本实施方式的连接线B121的构成与第一实施方式相同。

(6.引出线W111、W121、W125)

在本实施方式中，引出线W121、W125分别在振动部120的长边与框体11a之间，设置在与Y轴方向平行的方向。引出线W121设置在子臂111a上，将连接同相位彼此的上部电极121、123的母线b121与连接线B121连接。

引出线W125设置在子臂111c上，将连接同相位彼此的上部电极125、127的母线b125与连接线B121连接。

此外，引出线W111的构成与第一实施方式相同。

(7.连接线B122)

本实施方式的连接线B122的构成与第一实施方式相同。

(8.引出线W112、W122、W124、W126)

在本实施方式中，引出线W122、W124、W126分别在振动部120的长边与框体11b之间，设置在与Y轴方向平行的方向。引出线W122设置在子臂112a上，使同相位彼此的上部电极122延伸突出，并连接到连接线B122。

引出线W124设置在子臂111b上，使上部电极124延伸突出，并连接到连接线B122。

引出线W126设置在子臂112c上，使上部电极126延伸突出，并连接到连接线B122。

此外，引出线W112的构成与第一实施方式相同。

其它的结构、效果与第一实施方式相同。

[第五实施方式]

图8是示意地表示本实施方式所涉及的谐振器10的结构的一个例子的俯视图。以下，对本实施方式所涉及的谐振器10的各构成中与第一实施方式的差异点进行说明。

(1.振动部120)

振动部120的构成与第一实施方式相同。

(2.保持部11)

保持部11的构成与第一实施方式相同。

(3.保持单元111、112)

本实施方式所涉及的保持单元111、112的主臂111n、112n分别具有向与主臂111n、112n正交的方向突出的振动缓冲部4。振动缓冲部4分别由相互对置的两对臂41、42形成。臂41向与振动部120的长边大致平行的方向延伸。臂42设置在与臂41大致垂直的方向，在其两端与臂41各自的两端连接。

在本实施方式中，保持单元111、112中的主臂111n、112n具有振动缓冲部4，从而能够抑制向保持部11的振动的传播，能够高效地封闭从振动部120传播来的轮廓振动的高次谐波的振动。

其它的保持单元111、112的构成与第一实施方式相同。

(4.连接线B121)

本实施方式的连接线B121的构成与第一实施方式相同。

(5.引出线W111、W121、W125)

在本实施方式中，引出线W111沿着两对臂41、42形成并覆盖主臂111n中的振动缓冲部4的表面。具体而言，引出线W111从与连接线B121的连接位置相对于连接线B121大致垂直地延伸，并在振动缓冲部4上的臂41与支承臂111m的连接位置分支为两股，沿着臂41延伸。分支为两股的引出线W111在臂41与臂42的连接位置(支承臂111m侧)，向与臂41大致垂直的方向弯曲并沿着臂42延伸，并在臂42与臂41的连接位置(框体11a侧)，再次向与臂42大致垂直的方向弯曲并沿着臂41延伸，合流为一根。并且合流为一根的引出线W111从该合流位置向相对于臂41大致垂直的方向延伸，并与电压施加部110a连接。

此外，引出线W121、125的构成与第一实施方式相同。

(6.连接线B122)

本实施方式的连接线B122的构成与第一实施方式相同。

(7.引出线W112、W122、W124)

在本实施方式中，引出线W112沿着两对臂41、42形成并覆盖主臂111n中的振动缓冲部4的表面。具体而言，引出线W112从与连接线B122的连接位置相对于连接线B122大致垂直地延伸，在振动缓冲部4上的臂41与支承臂112m的连接位置分支为两股，并沿着臂41延伸。分支为两股的引出线W112在臂41与臂42的连接位置(支承臂112m侧)，向与臂41大致垂直的方向弯曲并沿着臂42延伸，并且在臂42与臂41的连接位置(框体11b侧)，再次向与臂42大致垂直的方向弯曲并沿着臂41延伸，合流成一根。并且合流成一根的引出线W112从该合流位置向相对于臂41大致垂直的方向延伸，并与电压施加部110b连接。

此外，引出线W122、124的构成与第一实施方式相同。

其它的结构、效果与第一实施方式相同。

[第六实施方式]

图9是示意地表示本实施方式所涉及的谐振器10的结构的一个例子的俯视图。以下，对本实施方式所涉及的谐振器10的各构成中与第一实施方式的差异点进行说明。

(1.振动部120)

振动部120的构成与第一实施方式相同。

(2.保持部11)

保持部11的构成与第一实施方式相同。

(3.保持单元111)

本实施方式所涉及的保持单元111代替主臂111n，而具有连接臂111f、保持臂111g、以及节点生成部130A。

节点生成部130A设置在振动部120的长边与保持部11的框体11a之间的区域。节点生成部130A具有与支承臂111m的长边对置的边131a，在该边131a，与连接臂111f连接。另外，边131a以恒定间隔相对于支承臂111m的长边大致平行地设置。节点生成部130A通过连接臂111f与支承臂111m连接，通过保持臂111g与保持部11连接。

节点生成部130A具有沿着X轴方向的宽度随着从连接臂111f朝向保持臂111g变窄的形状。另外，节点生成部130A具有相对于边131a的垂直二等分线线对称的形状。节点生成部130A在与Y轴方向的中心相比在连接臂111f侧具有沿着X轴方向的宽度最大的位置。在本实施方式中，节点生成部130A的沿着X轴方向的宽度在边131a最大，随着从连接臂111f朝向保持臂111g，逐渐变窄，在节点生成部130A的顶点与保持臂111g的连接位置最窄。此外，节点生成部130A的沿着X轴方向的宽度不需要连续地变窄，例如，即使阶段性地变窄，或者具有一部分变宽的部分，只要作为整体逐渐变窄即可。另外，节点生成部130A的周边并不限定于圆滑的形状，也可以具有凹凸。

在本实施方式中，节点生成部130A呈以边131a为直径的半径30μm左右的半圆的形状。该情况下，形成节点生成部130A的圆弧的圆的中心位于边131a的中心。此外，形成节点生成部130A的圆弧的圆的中心也可以位于支承臂111m的中心。

另外，边131a并不限定于直线形状也可以是圆弧形状。该情况下，连接臂111f与边131a的顶点连接。并且该情况下，形成边131a的圆弧的圆的中心既可以位于连接臂111f侧，也可以位于保持臂111g侧。优选边131a的长度比连接臂111f的沿着X轴方向的宽度大，且比振动部120的长边小。

在本实施方式中，连接臂111f呈大致矩形的形状。连接臂111f的一端与支承臂111m的长边的中央附近连接，并由此朝向节点生成部130A相对于支承臂111m的长边大致垂直地延伸。连接臂111f的另一端与节点生成部130A的边131a连接。在本实施方式中，连接臂111f的沿着X轴方向的宽度为10μm左右。

保持臂111g呈大致矩形的形状。保持臂111g的一端与节点生成部130A的沿着X轴方向的宽度最窄的位置连接。保持臂111g的另一端与保持部11的与节点生成部130A对置的区域连接。优选保持臂111g的沿着X轴方向的宽度在连接臂111f的宽度以下。通过使保持臂111g的宽度比连接臂111f的宽度小，能够抑制振动从节点生成部130A向保持部11传播。此外，在本实施方式中，保持臂111g的沿着X轴方向的宽度比连接臂111f的宽度小，为5μm左右。

本实施方式中的保持单元111的节点生成部130A是沿着X轴方向的宽度随着从连接臂111f朝向保持臂111g而逐渐变窄的结构。因此，即使在从振动部120传播的振动的传播状态变化的情况下，也在节点生成部130A形成与振动所引起的位移较大的部位邻接地位移较小的部位。由此，节点生成部130A能够对从振动部120泄露的振动，调整位移部位，在节点生成部130A上形成振动的节点。节点生成部130A通过在该形成的节点与保持臂111g连接，能够抑制振动从振动部120向保持部11传播。其结果，能够使谐振器10的锚定损耗降低，能够使Q值提高。

其它的保持单元111的构成与第一实施方式相同。

(4.保持单元112)

本实施方式所涉及的保持单元112代替主臂112n，而具有连接臂112f、保持臂112g、以及节点生成部130B。连接臂112f的构成、功能与连接臂111f的构成、功能相同，保持臂112g的构成、功能与保持臂111g的构成、功能相同，并且，节点生成部130B的构成、功能与节点生成部130A的构、功能相同。

(4.连接线B121)

本实施方式的连接线B121的构成与第一实施方式相同。

(5.引出线W111、W121、W123)

在本实施方式中，引出线W111与连接线B121的中央附近连接，并由此沿着节点生成部130A的边131a的垂直二等分线，从连接臂111f遍及保持臂111g形成。此外，引出线W121、123的构成与第一实施方式相同。

(6.连接线B122)

本实施方式的连接线B122的构成与第一实施方式相同。

(7.引出线W112、W122、W124)

在本实施方式中，引出线W112与连接线B122的中央附近连接，并由此沿着节点生成部130B的边131b的垂直二等分线，从连接臂112f遍及保持臂112g形成。此外，引出线W122、124的构成与第一实施方式相同。

其它的结构、效果与第一实施方式相同。

以上说明的各实施方式是用于使本发明的理解变得容易的实施方式，并不对本发明进行限定解释。本发明在不脱离其主旨的范围内，能够进行变更/改进，并且本发明也包含有其等效物。即，在各实施方式附加本领域技术人员适当进行的设计变更后的实施方式只要具备本发明的特征，就包含于本发明的范围。例如，各实施方式具备的各要素及其配置、材料、条件、形状、尺寸等并不限定于例示的方式而能够适当地变更。另外，各实施方式是例示，当然能够进行不同的实施方式所示的构成的部分的置换或者组合，这些方式只要包含本发明的特征则包含于本发明的范围。

附图标记说明

10…谐振器；11…保持部；11a～d…框体；110a、b…电压施加部；111…保持单元；111a～e…子臂；111m…支承臂；111n…主臂；112…保持单元；112a～e…子臂；112m…支承臂；112n…主臂；120…振动部；121～127…上部电极；128…压电薄膜；129…下部电极；130…Si基板；B121、122…连接线；b121、125…母线；W111、112、121、123、122、124…引出线。

Claims (5)

1.一种谐振器，具备：

矩形的振动部，其具有第一长边、第二长边及第一短边、第二短边，并进行轮廓振动；

保持部，其设置为包围上述振动部的周围，并保持该振动部；

第一保持单元，其具有在上述保持部与上述第一长边之间，沿着上述振动部大致平行地设置的第一臂、连接该第一臂与上述振动部的多个第二臂、以及连接上述第一臂与上述保持部的第三臂，上述第一保持单元连接该振动部与上述保持部；

第一连接线，其设置在上述第一臂上；

第一端子，其设置于上述保持部；

至少三个以上的电极，它们设置在上述振动部上；以及

多个第一引出线，它们设置在上述多个第二臂上，并将上述三个以上的电极中的第一电极以及第二电极与上述第一连接线连接，

上述多个第一引出线与上述第一连接线连接，

上述第一连接线与上述第一端子电连接，

从上述第一端子向上述第一电极以及第二电极施加同相位的电场。

2.根据权利要求1所述的谐振器，其中，

上述谐振器具备四个以上的电极，

上述谐振器还具备：

第二保持单元，其具有在上述保持部与上述第二长边之间，沿着上述振动部大致平行地设置的第一臂、连接该第一臂与上述振动部的多个第二臂、以及连接上述第一臂与上述保持部的第三臂，上述第二保持单元连接该振动部与上述保持部；

第二连接线，其设置在上述第二保持单元的上述第一臂上；

第二端子，其设置于上述保持部；以及

多个第二引出线，它们设置在上述多个第二臂上，并将上述四个以上的电极中的第三电极以及第四电极与上述第二连接线连接，

上述多个第二引出线与上述第二连接线连接，

上述第二连接线与上述第二端子电连接，

上述第三电极以及第四电极被施加与上述第一电极以及第二电极被施加的电场不同的相位的电场。

3.根据权利要求2述的谐振器，其中，

上述第一保持单元的上述多个第二臂中的两个分别与上述第一电极以及第二电极对应地设置，

上述第二保持单元的上述多个第二臂中的两个分别与上述第三电极以及第四电极对应地设置。

4.一种谐振器，具备：

矩形的振动部，其具有相互对置的一对第一边、以及相互对置的一对第二边，并进行轮廓振动；

保持部，其设置为包围上述振动部的周围，并保持该振动部；

第一保持单元，其设置于上述保持部与上述第一边之间，具有连接上述振动部与上述保持部的多个臂；

第一连接线，其在上述保持部设置在与上述一对第一边中至少一边对置的位置；

第一端子，其设置于上述保持部；

至少三个以上的电极，它们设置在上述振动部上；以及

多个第一引出线，它们设置在上述第一保持单元的上述多个臂上，并将上述三个以上的电极中的第一电极以及第二电极与上述第一连接线连接，

上述多个第一引出线与上述第一连接线连接，

上述第一连接线与上述第一端子电连接，

从上述第一端子向上述第一电极以及第二电极施加同相位的电场。

5.根据权利要求4所述的谐振器，其中，

上述谐振器具备四个以上的电极，

上述谐振器还具备：

第二保持单元，其设置于上述保持部与上述一对第一边中另一边之间，具有连接上述振动部与上述保持部的多个臂；

第二连接线，其在上述保持部设置在与上述另一边对置的位置；

第二端子，其设置于上述保持部；以及

多个第二引出线，它们设置在上述第二保持单元的上述多个臂上，并将上述四个以上的电极中的第三电极以及第四电极与上述第二连接线连接，

上述多个第二引出线与上述第二连接线连接，

上述第二连接线与上述第二端子电连接，

上述第三电极以及第四电极被施加与上述第一电极以及第二电极被施加的电场不同的相位的电场。