JP2010187196A5 - - Google Patents
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Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2009029885A JP5347546B2 (ja) | 2009-02-12 | 2009-02-12 | 振動片、振動片の製造方法および振動子 |
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JP2009029885A JP5347546B2 (ja) | 2009-02-12 | 2009-02-12 | 振動片、振動片の製造方法および振動子 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
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JP2010187196A JP2010187196A (ja) | 2010-08-26 |
JP2010187196A5 true JP2010187196A5 (zh) | 2012-03-08 |
JP5347546B2 JP5347546B2 (ja) | 2013-11-20 |
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ID=42767578
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009029885A Expired - Fee Related JP5347546B2 (ja) | 2009-02-12 | 2009-02-12 | 振動片、振動片の製造方法および振動子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5347546B2 (zh) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5369741B2 (ja) * | 2009-02-12 | 2013-12-18 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片および振動子 |
JP5685962B2 (ja) | 2011-02-02 | 2015-03-18 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、発振器及び電子機器 |
US8581669B2 (en) | 2011-02-02 | 2013-11-12 | Seiko Epson Corporation | Vibrator element, vibrator, oscillator, and electronic apparatus |
JP6482169B2 (ja) | 2013-07-19 | 2019-03-13 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、発振器、電子機器及び移動体 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08178672A (ja) * | 1994-12-27 | 1996-07-12 | Canon Inc | 振動ジャイロ |
JPH09166442A (ja) * | 1995-12-15 | 1997-06-24 | Japan Aviation Electron Ind Ltd | 振動ジャイロ |
JPH10213440A (ja) * | 1997-01-29 | 1998-08-11 | Japan Aviation Electron Ind Ltd | 振動ジャイロの製造方法及びその方法により製造された振動ジャイロ |
JP2000055668A (ja) * | 1998-08-06 | 2000-02-25 | Hitachi Ltd | 角速度検出センサ |
JP5023734B2 (ja) * | 2007-02-21 | 2012-09-12 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動片の製造方法及び圧電振動素子 |
JP5067033B2 (ja) * | 2007-06-20 | 2012-11-07 | セイコーエプソン株式会社 | 音叉型振動子、発振器 |
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2009
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