JP2003146660A5 - - Google Patents
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2001346939A JP2003146660A (ja) | 2001-11-13 | 2001-11-13 | 強誘電体および誘電体薄膜コンデンサ、圧電素子 |
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JP2003146660A JP2003146660A (ja) | 2003-05-21 |
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JP2001346939A Pending JP2003146660A (ja) | 2001-11-13 | 2001-11-13 | 強誘電体および誘電体薄膜コンデンサ、圧電素子 |
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JP (1) | JP2003146660A (de) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4171908B2 (ja) * | 2004-01-20 | 2008-10-29 | セイコーエプソン株式会社 | 強誘電体膜、強誘電体メモリ、及び圧電素子 |
WO2008004393A1 (fr) | 2006-07-07 | 2008-01-10 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Céramique diélectrique, composant électronique céramique et condensateur céramique feuilleté |
KR101557784B1 (ko) * | 2008-03-11 | 2015-10-06 | 카네기 인스티튜션 오브 워싱턴 | 순수한 압전 재료들의 새로운 종류 |
JP5152001B2 (ja) | 2009-01-16 | 2013-02-27 | 株式会社村田製作所 | 誘電体セラミックおよび積層セラミックコンデンサ |
JP5702125B2 (ja) * | 2010-12-03 | 2015-04-15 | 富士フイルム株式会社 | 静電誘導型変換素子 |
JP2012164727A (ja) * | 2011-02-04 | 2012-08-30 | Fujifilm Corp | 静電容量変化型発電素子 |
JP6086038B2 (ja) * | 2013-07-01 | 2017-03-01 | 株式会社村田製作所 | 誘電体セラミックの製造方法および誘電体セラミック |
JP6403600B2 (ja) * | 2015-02-16 | 2018-10-10 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 | 光触媒含有混合粉末、その製造方法及び水素発生方法 |
EP3564188A1 (de) | 2018-05-04 | 2019-11-06 | Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. | Sntio3-material, verfahren zur herstellung davon, verwendung davon als ferroelektrisches material und vorrichtung mit einem ferroelektrischen material |
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