JP6086038B2 - 誘電体セラミックの製造方法および誘電体セラミック - Google Patents
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以下にこの発明の実施形態を示して、この発明の特徴とするところをさらに詳しく説明する。
この発明に係る誘電体セラミックの製造方法は、以下の第1〜第3の工程を含む。各工程について、工程順に説明する。
第1の工程は、未焼成の成形体を得る工程である。
第2の工程は、還元性雰囲気下での焼成により、焼結体を得る工程である。
第3の工程は、酸化性雰囲気下での熱処理により、ペロブスカイト型化合物におけるSnの存在位置を調整する工程である。
この発明に係る誘電体セラミックは、元素として、種類と量とがこの発明で規定される各条件を満たす。かつ、化合物として、組成式がABO3で表され、Aサイトに存在する元素がSrとSnとを含み、Bサイトに存在する元素がTiとSnとを含んで構成されるペロブスカイト型化合物を含む。
次に、この発明を実験例に基づいて、より具体的に説明する。これらの実験例は、この発明に係る誘電体セラミックに含まれる元素の量の条件を規定する根拠を与えるためのものでもある。
誘電体セラミックに含まれるSrの素材としてSrCO3、Tiの素材としてTiO2、およびSnの素材としてSnO2の各粉末を準備した。各粉末は、純度99重量%以上のものを用いた。
上記で準備した誘電体セラミックの原料粉末に、ポリビニルブチラール系のバインダー、可塑剤およびトルエンなどの有機溶剤を加え、ボールミルにより24時間湿式混合して、誘電体セラミックの原料粉末を含むスラリーを得た。
上記の誘電体セラミックの単板の両主面に、Agを導電性材料とし、B2O3−SiO2−BaO系のガラスフリットを含有する導電性ペーストを塗布し、N2雰囲気中において、温度600℃で焼き付けて電極を形成した。これにより、試料1〜11に係る誘電体セラミックの単板を2枚の電極で挟んだ単板型のセラミックコンデンサを製造した。
試料1〜11に係るセラミックコンデンサの電極を除去し、得られた誘電体セラミックを酸により溶解し、得られた溶液についてICP発光分光分析を行なった。その際、1つの試料につき10個の誘電体セラミックの単板を溶液化した。ここで、一旦焼き付けた電極を除去して得た誘電体セラミックの単板を溶解し、ICP発光分光分析したのは、電極の焼き付けの影響を受けた、実使用状態にある誘電体セラミックを分析の対象とするためである。以後の分析および測定も、同じ考え方に基づいている。なお、誘電体セラミックの単板を溶解処理して溶液とする方法に特別の制約はない。
試料1〜11に係るセラミックコンデンサについて、静電容量温度特性の測定システムを用い、電圧が1Vrms、周波数が1kHzの交流電圧を印加して、−225℃〜200℃の温度範囲で静電容量を測定した。その際、1つの試料につき3個のセラミックコンデンサの静電容量を測定し、それらの平均値を求めて各測定温度での静電容量とした。
2 Aサイト原子列
3 酸素−Bサイト原子列
Claims (4)
- 元素として、Srと、Tiと、Snとを含み、前記各元素の量をモル部で表した場合、
Srの量のTiの量に対する比xが0.77≦x≦0.99、および
Snの量のTiの量に対する比yが0.01≦y≦0.23
の各条件を満たす、未焼成の成形体を準備する、第1の工程と、
前記未焼成の成形体を、Snが正4価から正2価に還元され得る雰囲気下で焼成することにより、化合物として、組成式をABO3で表した場合、Aサイトに存在する元素がSrとSnとを含み、Bサイトに存在する元素がTiを含んで構成されるペロブスカイト型化合物を含む焼結体を得る、第2の工程と、
前記焼結体を、Snが正2価から正4価に酸化され得る雰囲気下で熱処理することにより、前記ペロブスカイト型化合物においてAサイトに存在しているSnの一部をBサイトに移動させる、第3の工程と
を含む、誘電体セラミックの製造方法。 - 前記第3の工程の熱処理において適用される温度は、前記第2の工程の焼成において適用される温度より低い、請求項1に記載の誘電体セラミックの製造方法。
- 前記第3の工程の熱処理は、前記第2の工程の焼成の降温過程において、雰囲気をSnが正2価から正4価に酸化され得る雰囲気に変更して実施される、請求項2に記載の誘電体セラミックの製造方法。
- 元素として、Srと、Tiと、Snとを含み、前記各元素の量をモル部で表した場合、
Srの量のTiの量に対する比xが0.77≦x≦0.99、および
Snの量のTiの量に対する比yが0.01≦y≦0.23
の各条件を満たし、
化合物として、組成式がABO3で表され、Aサイトに存在する元素がSrとSnとを含み、Bサイトに存在する元素がTiとSnとを含んで構成されるペロブスカイト型化合物を含む、誘電体セラミック。
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