JP2003110003A5 - - Google Patents

Claims (27)

1. 基板を移送するための装置であって、
   前記基板を支持するための基板支持部を有する１つのエンドエフェクターと、
   前記エンドエフェクターの前記基板支持部に設けられたモータと、前記モータは、固定部分と回転部分を有し、前記固定部分は、前基板支持部に結合され、
   前記モータの回転部分に結合された、前記基板をディスク上に支持するためのディスクとを有し、前記ディスクは、前記モータによって前記エンドエフェクターに対して回転されることを特徴とする装置。
2. 前記ディスクは、更に、ディスクに設けられた真空ポートを有することを特徴とする請求項１に記載の装置。
3. 更に、前記ディスクの半径方向外方にエンドエフェクター上に設けられた複数の基板支持シートを有することを特徴とする請求項１に記載の装置。
4. 各々のシートは、更に、前記エンドエフェクター上に設けられたベースと、
   前記ベースから延びるリップと、
   を有することを特徴とする請求項３に記載の装置。
5. 少なくとも１つのシートがディスクに対して半径方向に移動可能であることを特徴とする請求項３に記載の装置。
6. 更に、基板を支持するようにされた３つのシートを有することを特徴とする請求項３に記載の装置。
7. 更に、前記エンドエフェクターに結合された１つ以上のセンサーを有することを特徴とする請求項１に記載の装置。
8. 更に、前記エンドエフェクターから離れて設けられ、且つ基板が前記ディスク上で回転したとき基板の向きのしるしを検出するために配置され１つ以上のセンサーを有することを特徴とする請求項１に記載の装置。
9. 前記１つ以上のセンサーの少なくとも１つが前記ディスク上で回転する基板の向きを示すしるしを検出するようにされていることを特徴とする請求項７に記載の装置。
10. 前記１つ以上のセンサーの少なくとも１つが伸張されていることを特徴とする請求項７に記載の装置。
11. 前記伸張されたセンサーは、前記ディスクの中心に対して半径方向に向けられていることを特徴とする請求項１０に記載の装置。
12. 前記エンドエフェクターは、更に、
    前記ディスクを支持する中央部と、
    前記中央部から伸びる２つ以上の、前記基板を支持するようにされたタブと、
    を有することを特徴とする請求項１に記載の装置。
13. 前記２つ以上のタブは、
    第１のタブと、
    その上に設けられたセンサーを有する第２のタブと、
    を有し、前記センサーは前記第１と第２のタブ間の物体を検知するようにされていることを特徴とする請求項１２に記載の装置。
14. 前記タブの少なくとも１つは、更に、その上に配置されたセンサーを有し、前記センサーは、前記エンドエフェクター上に設けられた基板の向きのしるしを検出するようにされていることを特徴とする請求項１に記載の装置。
15. 更に、前記エンドエフェクターから離れてディスクを動かすエンドエフェクターに配置されたアクチュエータを有することを特徴とする請求項１に記載の装置。
16. 前記エンドエフェクターは、更に、モータを受けるようにされた環状ポケットによって囲まれたハブを有することを特徴とする請求項１に記載の装置。
17. 更に、前記ディスクの角度の向きを与えるようにされたエンコーダを有することを特徴とする請求項１６に記載の装置。
18. 更に、１つ以上のアームを有するロボットを有し、少なくとも１つのアームはエンドエフェクターに結合されていることを特徴とする請求項１に記載の装置。
19. 前記ロボットは、更に、前記アームの少なくとも１つと前記エンドエフェクターとの間に結合されたリストを有し、前記リストは回転アクチュエータを有することを特徴とする請求項１８に記載の装置。
20. 前記ロボットは、更に、
    本体と、
    前記エンドエフェクターを前記本体に結合するリンケージとを有し、
    前記リンケージは、前記本体の周りで半径方向に且つ回転方向に前記エンドエフェクターの位置を定めることを特徴とする請求項１８に記載の装置。
21. 前記ロボットは、フロッグ・レッグ構造を有することを特徴とする請求項１８に記載の装置。
22. 前記モータは、更に、
    前記エンドエフェクターに結合された複数の、制御可能に励磁することができるアーマチュアと、
    前記ディスクに結合された複数の永久磁石と、
    を有することを特徴とする請求項１に記載の装置。
23. 基板を移送するための装置であって、
    エンドエフェクターと、
    前記エンドエフェクターに結合されたモータと、
    前記モータの回転部分に同心円状に結合され、前記基板を支持するようにされたディスクと、
    前記エンドエフェクターに設けられ、前記基板の向きのしるしを検出するようにされた少なくとも１つのセンサーと、
    前記ディスクに結合され、前記エンドエフェクターに垂直に前記ディスクを動かすためのアクチュエータと、
    を有することを特徴とする装置。
24. 更に、前記ディスクの半径方向外方へ前記エンドエフェクターに設けられた複数の基板支持シートを有することを特徴とする請求項２３に記載の装置。
25. 少なくとも１つのシートは、ディスクに対して半径方向に移動可能であることを特徴とする請求項２３に記載の装置。
26. 前記モータは、更に、
    前記エンドエフェクターに結合された複数の制御可能に励磁することができるアーマチュアと、
    前記ディスクに結合された複数の永久磁石と、
    を有することを特徴とする請求項２３に記載の装置。
27. 更に、１つ以上のアームを有するロボットを有し、少なくとも１つのアームは前記エンドエフェクターに結合されていることを特徴とする請求項２３に記載の装置。