JP2002332481A - 真空紫外線励起発光素子用の蛍光体 - Google Patents
真空紫外線励起発光素子用の蛍光体Info
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- JP2002332481A JP2002332481A JP2001259235A JP2001259235A JP2002332481A JP 2002332481 A JP2002332481 A JP 2002332481A JP 2001259235 A JP2001259235 A JP 2001259235A JP 2001259235 A JP2001259235 A JP 2001259235A JP 2002332481 A JP2002332481 A JP 2002332481A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】発光輝度が高く、プラズマ暴露による輝度低下
が少ない真空紫外線励起発光素子用の蛍光体を提供す
る。 【解決手段】一般式ｍＭ1Ｏ・ｎＭ2Ｏ・２Ｍ3Ｏ2（式中
のＭ1はＣａ、ＳｒおよびＢａからなる群より選ばれる
１種以上、Ｍ2はＭｇおよびＺｎからなる群より選ばれ
る１種以上、Ｍ3はＳｉおよびＧｅからなる群より選ば
れる１種以上、０．５≦ｍ≦３．５、０．５≦ｎ≦２．
５、ただしｍ＝ｎ＝１のときはＭ1はＣａ、Ｓｒおよび
Ｂａからなる群より選ばれる２種以上またはＳｒまたは
Ｂａである。）で表される化合物に付活剤としてＥｕお
よびＭｎからなる群より選ばれる１種以上が含有されて
なる真空紫外線励起発光素子用の蛍光体。ディオプサイ
ド、オケルマナイト、メルウィナイトのいずれかと同じ
結晶構造を有する上記記載の蛍光体。
が少ない真空紫外線励起発光素子用の蛍光体を提供す
る。 【解決手段】一般式ｍＭ1Ｏ・ｎＭ2Ｏ・２Ｍ3Ｏ2（式中
のＭ1はＣａ、ＳｒおよびＢａからなる群より選ばれる
１種以上、Ｍ2はＭｇおよびＺｎからなる群より選ばれ
る１種以上、Ｍ3はＳｉおよびＧｅからなる群より選ば
れる１種以上、０．５≦ｍ≦３．５、０．５≦ｎ≦２．
５、ただしｍ＝ｎ＝１のときはＭ1はＣａ、Ｓｒおよび
Ｂａからなる群より選ばれる２種以上またはＳｒまたは
Ｂａである。）で表される化合物に付活剤としてＥｕお
よびＭｎからなる群より選ばれる１種以上が含有されて
なる真空紫外線励起発光素子用の蛍光体。ディオプサイ
ド、オケルマナイト、メルウィナイトのいずれかと同じ
結晶構造を有する上記記載の蛍光体。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマディスプ
レイパネル（以下「ＰＤＰ」という。）および希ガスラ
ンプなどの真空紫外線励起発光素子に好適な蛍光体に関
するものである。
レイパネル（以下「ＰＤＰ」という。）および希ガスラ
ンプなどの真空紫外線励起発光素子に好適な蛍光体に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】真空紫外線等によって励起して発光させ
る蛍光体はすでに知られている。例えば、Ｂａ、Ｍｇ、
Ａｌ、Ｏと付活剤（Ｅｕ）とからなるＢａＭｇＡｌ10Ｏ
17：Ｅｕが真空紫外線励起発光素子用の青色蛍光体とし
て、また例えば、Ｚｎ、Ｓｉ、Ｏと付活剤（Ｍｎ）とか
らなるＺｎ2ＳｉＯ4：Ｍｎが緑色蛍光体として、また例
えば、Ｙ、Ｇｄ、Ｂ、Ｏと付活剤（Ｅｕ）とからなる
（Ｙ，Ｇｄ）ＢＯ3：Ｅｕ赤色蛍光体として実用化され
ており、ＰＤＰや希ガスランプ等の真空紫外線励起発光
素子用に用いられている。
る蛍光体はすでに知られている。例えば、Ｂａ、Ｍｇ、
Ａｌ、Ｏと付活剤（Ｅｕ）とからなるＢａＭｇＡｌ10Ｏ
17：Ｅｕが真空紫外線励起発光素子用の青色蛍光体とし
て、また例えば、Ｚｎ、Ｓｉ、Ｏと付活剤（Ｍｎ）とか
らなるＺｎ2ＳｉＯ4：Ｍｎが緑色蛍光体として、また例
えば、Ｙ、Ｇｄ、Ｂ、Ｏと付活剤（Ｅｕ）とからなる
（Ｙ，Ｇｄ）ＢＯ3：Ｅｕ赤色蛍光体として実用化され
ており、ＰＤＰや希ガスランプ等の真空紫外線励起発光
素子用に用いられている。
【０００３】しかしながら、これら真空紫外線励起発光
素子用の蛍光体にはさらなる輝度の向上が望まれてい
た。また、ＰＤＰおよび希ガスランプ等の真空紫外線励
起発光素子においては、希ガス中で放電を行いプラズマ
を生成させることにより真空紫外線を発生しているが、
プラズマに暴露されることにより蛍光体の輝度が低下す
る問題があり、プラズマ暴露による輝度低下の少ない真
空紫外線励起発光素子用の蛍光体が求められており、上
記したようなアルミン酸塩、ケイ酸塩、ホウ酸塩からな
る蛍光体が検討されている。ケイ酸塩からなる蛍光体と
しては、例えば、Ｅｘｔｅｎｄｅｄ ａｂｓｔｒａｃｔ
ｓ ｏｆ ｔｈｅ ｓｉｘｔｈ ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏ
ｎａｌ ｃｏｎｆｅｒｅｎｃｅ ｏｎ ｔｈｅ ｓｃｉ
ｅｎｃｅ ａｎｄ ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙｏｆ ｄｉｓ
ｐｌａｙ ｐｈｏｓｐｈｏｒｓ，２１−２４には真空紫
外線励起発光素子用の蛍光体としてＣａＭｇＳｉ2Ｏ6：
Ｅｕが開示されているが、輝度が十分ではなかった。な
お、米国特許第５８３９７１８号明細書にはＳｒ1.995
ＭｇＳｉ2Ｏ7：Ｅｕ0 .005，Ｄｙ0.025，Ｃｌ0.025およ
びＳｒ0.445Ｂａ1.55ＭｇＳｉ2Ｏ7：Ｅｕ0.005，Ｄｙ
0.025，Ｃｌ0.025が開示されているが、暗所の表示用等
に用いられる蓄光体用の蛍光体であり、真空紫外線励起
については記載されていなかった。
素子用の蛍光体にはさらなる輝度の向上が望まれてい
た。また、ＰＤＰおよび希ガスランプ等の真空紫外線励
起発光素子においては、希ガス中で放電を行いプラズマ
を生成させることにより真空紫外線を発生しているが、
プラズマに暴露されることにより蛍光体の輝度が低下す
る問題があり、プラズマ暴露による輝度低下の少ない真
空紫外線励起発光素子用の蛍光体が求められており、上
記したようなアルミン酸塩、ケイ酸塩、ホウ酸塩からな
る蛍光体が検討されている。ケイ酸塩からなる蛍光体と
しては、例えば、Ｅｘｔｅｎｄｅｄ ａｂｓｔｒａｃｔ
ｓ ｏｆ ｔｈｅ ｓｉｘｔｈ ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏ
ｎａｌ ｃｏｎｆｅｒｅｎｃｅ ｏｎ ｔｈｅ ｓｃｉ
ｅｎｃｅ ａｎｄ ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙｏｆ ｄｉｓ
ｐｌａｙ ｐｈｏｓｐｈｏｒｓ，２１−２４には真空紫
外線励起発光素子用の蛍光体としてＣａＭｇＳｉ2Ｏ6：
Ｅｕが開示されているが、輝度が十分ではなかった。な
お、米国特許第５８３９７１８号明細書にはＳｒ1.995
ＭｇＳｉ2Ｏ7：Ｅｕ0 .005，Ｄｙ0.025，Ｃｌ0.025およ
びＳｒ0.445Ｂａ1.55ＭｇＳｉ2Ｏ7：Ｅｕ0.005，Ｄｙ
0.025，Ｃｌ0.025が開示されているが、暗所の表示用等
に用いられる蓄光体用の蛍光体であり、真空紫外線励起
については記載されていなかった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、輝度
が高く、プラズマ暴露による輝度低下が少ない真空紫外
線励起発光素子用の蛍光体を提供することにある。
が高く、プラズマ暴露による輝度低下が少ない真空紫外
線励起発光素子用の蛍光体を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、かかる状
況下、上記の課題を解決すべく鋭意研究を重ねた結果、
真空紫外線励起発光素子用には、ケイ酸塩またはゲルマ
ン酸塩蛍光体の中でも、一般式ｍＭ1Ｏ・ｎＭ2Ｏ・２Ｍ
3Ｏ2（式中のＭ1はＣａ、ＳｒおよびＢａからなる群よ
り選ばれる１種以上、Ｍ2はＭｇおよびＺｎからなる群
より選ばれる１種以上、Ｍ3はＳｉおよびＧｅからなる
群より選ばれる１種以上、０．５≦ｍ≦３．５、０．５
≦ｎ≦２．５、ただしｍ＝ｎ＝１のとき、Ｍ1はＣａ、
ＳｒおよびＢａからなる群より選ばれる２種以上または
ＳｒまたはＢａである。）で表される化合物に付活剤と
してＥｕおよびＭｎからなる群より選ばれる１種以上が
含有されてなる特定組成のケイ酸塩またはゲルマン酸塩
蛍光体は輝度が高くかつプラズマ暴露による輝度低下が
少ないことを見出し、本発明を完成するに至った。
況下、上記の課題を解決すべく鋭意研究を重ねた結果、
真空紫外線励起発光素子用には、ケイ酸塩またはゲルマ
ン酸塩蛍光体の中でも、一般式ｍＭ1Ｏ・ｎＭ2Ｏ・２Ｍ
3Ｏ2（式中のＭ1はＣａ、ＳｒおよびＢａからなる群よ
り選ばれる１種以上、Ｍ2はＭｇおよびＺｎからなる群
より選ばれる１種以上、Ｍ3はＳｉおよびＧｅからなる
群より選ばれる１種以上、０．５≦ｍ≦３．５、０．５
≦ｎ≦２．５、ただしｍ＝ｎ＝１のとき、Ｍ1はＣａ、
ＳｒおよびＢａからなる群より選ばれる２種以上または
ＳｒまたはＢａである。）で表される化合物に付活剤と
してＥｕおよびＭｎからなる群より選ばれる１種以上が
含有されてなる特定組成のケイ酸塩またはゲルマン酸塩
蛍光体は輝度が高くかつプラズマ暴露による輝度低下が
少ないことを見出し、本発明を完成するに至った。
【０００６】すなわち本発明は、以下の（１）〜（１
０）に関するものである。 （１）一般式ｍＭ1Ｏ・ｎＭ2Ｏ・２Ｍ3Ｏ2（式中のＭ1
はＣａ、ＳｒおよびＢａからなる群より選ばれる１種以
上、Ｍ2はＭｇおよびＺｎからなる群より選ばれる１種
以上、Ｍ3はＳｉおよびＧｅからなる群より選ばれる１
種以上、０．５≦ｍ≦３．５、０．５≦ｎ≦２．５、た
だしｍ＝ｎ＝１のときはＭ1はＣａ、ＳｒおよびＢａか
らなる群より選ばれる２種以上またはＳｒまたはＢａで
ある。）で表される化合物に付活剤としてＥｕおよびＭ
ｎからなる群より選ばれる１種以上が含有された真空紫
外線励起発光素子用の蛍光体。 （２）ディオプサイド（Ｄｉｏｐｓｉｄｅ、透輝石）と
同じ結晶構造を有する上記（１）記載の蛍光体。 （３）一般式（Ｍ4 1-aＥｕa）（Ｍ5 1-bＭｎb）Ｍ6 2Ｏ6
（式中のＭ4はＣａ、ＳｒおよびＢａからなる群より選
ばれる２種以上またはＳｒまたはＢａ、Ｍ5はＭｇおよ
びＺｎからなる群より選ばれる１種以上、Ｍ6はＳｉお
よびＧｅからなる群より選ばれる１種以上、０≦ａ≦
０．５、０≦ｂ≦０．５、０＜ａ＋ｂ。）により表され
る組成を有する上記（２）記載の蛍光体。 （４）一般式Ｃａ1-c-dＳｒcＥｕdＭｇＳｉ2Ｏ6（０＜
ｃ≦０．１、０＜ｄ≦０．１。）で表される上記（２）
記載の蛍光体。 （５）上記（１）記載の真空紫外線励起発光素子用の蛍
光体であって、オケルマナイト（Ａｋｅｒｍａｎｉｔ
ｅ、オケルマン石）と同じ結晶構造を有する蛍光体。 （６）一般式（Ｍ7 1-eＥｕe）2（Ｍ8 1-fＭｎf）Ｍ9 2Ｏ7
（式中のＭ7はＣａ、ＳｒおよびＢａからなる群より選
ばれる１種以上、Ｍ8はＭｇおよびＺｎからなる群より
選ばれる１種以上、Ｍ9はＳｉおよびＧｅからなる群よ
り選ばれる１種以上、０≦ｅ≦０．５、０≦ｆ≦０．
５、０＜ｅ＋ｆ。）で表される組成を有する上記（５）
記載の蛍光体。 （７）一般式（Ｍ10 1-gＥｕg）2Ｍ11Ｓｉ2Ｏ7（式中の
Ｍ10はＣａ、ＳｒおよびＢａからなる群より選ばれる１
種以上、Ｍ11はＭｇおよびＺｎからなる群から選ばれる
１種以上、０．００１≦ｇ≦０．１）で表される組成を
有する上記（５）記載の蛍光体。 （８）一般式（Ｍ12 1-hＥｕh）（Ｍ13 1-iＭｎi）2Ｍ14 2
Ｏ7（式中のＭ12はＣａ、ＳｒおよびＢａからなる群よ
り選ばれる１種以上、Ｍ13はＭｇおよびＺｎからなる群
より選ばれる１種以上、Ｍ14はＳｉおよびＧｅからなる
群より選ばれる１種以上、０≦ｈ≦０．５、０≦ｉ≦
０．５、０＜ｈ＋ｉ。）で表される組成を有する上記
（５）記載の蛍光体。 （９）上記（１）記載の真空紫外線励起発光素子用の蛍
光体であって、メルウィナイト（Ｍｅｒｗｉｎｉｔｅ）
と同じ結晶構造を有する蛍光体。 （１０）一般式（Ｍ15 1-jＥｕj）3（Ｍ16 1-kＭｎk）Ｍ
17 2Ｏ8（式中のＭ15はＣａ、ＳｒおよびＢａからなる群
より選ばれる１種以上、Ｍ16はＭｇおよびＺｎからなる
群より選ばれる１種以上、Ｍ17はＳｉおよびＧｅからな
る群より選ばれた１種以上、０≦ｊ≦０．５、０≦ｋ≦
０．５、０＜ｊ＋ｋ。）で表される組成を有する上記
（９）記載の蛍光体。
０）に関するものである。 （１）一般式ｍＭ1Ｏ・ｎＭ2Ｏ・２Ｍ3Ｏ2（式中のＭ1
はＣａ、ＳｒおよびＢａからなる群より選ばれる１種以
上、Ｍ2はＭｇおよびＺｎからなる群より選ばれる１種
以上、Ｍ3はＳｉおよびＧｅからなる群より選ばれる１
種以上、０．５≦ｍ≦３．５、０．５≦ｎ≦２．５、た
だしｍ＝ｎ＝１のときはＭ1はＣａ、ＳｒおよびＢａか
らなる群より選ばれる２種以上またはＳｒまたはＢａで
ある。）で表される化合物に付活剤としてＥｕおよびＭ
ｎからなる群より選ばれる１種以上が含有された真空紫
外線励起発光素子用の蛍光体。 （２）ディオプサイド（Ｄｉｏｐｓｉｄｅ、透輝石）と
同じ結晶構造を有する上記（１）記載の蛍光体。 （３）一般式（Ｍ4 1-aＥｕa）（Ｍ5 1-bＭｎb）Ｍ6 2Ｏ6
（式中のＭ4はＣａ、ＳｒおよびＢａからなる群より選
ばれる２種以上またはＳｒまたはＢａ、Ｍ5はＭｇおよ
びＺｎからなる群より選ばれる１種以上、Ｍ6はＳｉお
よびＧｅからなる群より選ばれる１種以上、０≦ａ≦
０．５、０≦ｂ≦０．５、０＜ａ＋ｂ。）により表され
る組成を有する上記（２）記載の蛍光体。 （４）一般式Ｃａ1-c-dＳｒcＥｕdＭｇＳｉ2Ｏ6（０＜
ｃ≦０．１、０＜ｄ≦０．１。）で表される上記（２）
記載の蛍光体。 （５）上記（１）記載の真空紫外線励起発光素子用の蛍
光体であって、オケルマナイト（Ａｋｅｒｍａｎｉｔ
ｅ、オケルマン石）と同じ結晶構造を有する蛍光体。 （６）一般式（Ｍ7 1-eＥｕe）2（Ｍ8 1-fＭｎf）Ｍ9 2Ｏ7
（式中のＭ7はＣａ、ＳｒおよびＢａからなる群より選
ばれる１種以上、Ｍ8はＭｇおよびＺｎからなる群より
選ばれる１種以上、Ｍ9はＳｉおよびＧｅからなる群よ
り選ばれる１種以上、０≦ｅ≦０．５、０≦ｆ≦０．
５、０＜ｅ＋ｆ。）で表される組成を有する上記（５）
記載の蛍光体。 （７）一般式（Ｍ10 1-gＥｕg）2Ｍ11Ｓｉ2Ｏ7（式中の
Ｍ10はＣａ、ＳｒおよびＢａからなる群より選ばれる１
種以上、Ｍ11はＭｇおよびＺｎからなる群から選ばれる
１種以上、０．００１≦ｇ≦０．１）で表される組成を
有する上記（５）記載の蛍光体。 （８）一般式（Ｍ12 1-hＥｕh）（Ｍ13 1-iＭｎi）2Ｍ14 2
Ｏ7（式中のＭ12はＣａ、ＳｒおよびＢａからなる群よ
り選ばれる１種以上、Ｍ13はＭｇおよびＺｎからなる群
より選ばれる１種以上、Ｍ14はＳｉおよびＧｅからなる
群より選ばれる１種以上、０≦ｈ≦０．５、０≦ｉ≦
０．５、０＜ｈ＋ｉ。）で表される組成を有する上記
（５）記載の蛍光体。 （９）上記（１）記載の真空紫外線励起発光素子用の蛍
光体であって、メルウィナイト（Ｍｅｒｗｉｎｉｔｅ）
と同じ結晶構造を有する蛍光体。 （１０）一般式（Ｍ15 1-jＥｕj）3（Ｍ16 1-kＭｎk）Ｍ
17 2Ｏ8（式中のＭ15はＣａ、ＳｒおよびＢａからなる群
より選ばれる１種以上、Ｍ16はＭｇおよびＺｎからなる
群より選ばれる１種以上、Ｍ17はＳｉおよびＧｅからな
る群より選ばれた１種以上、０≦ｊ≦０．５、０≦ｋ≦
０．５、０＜ｊ＋ｋ。）で表される組成を有する上記
（９）記載の蛍光体。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下に本発明について詳しく説明
する。本発明の真空紫外線励起発光素子用の蛍光体は、
一般式ｍＭ1Ｏ・ｎＭ2Ｏ・２Ｍ3Ｏ2（式中のＭ1はＣ
ａ、ＳｒおよびＢａからなる群より選ばれる１種以上、
Ｍ2はＭｇおよびＺｎからなる群より選ばれる１種以
上、Ｍ3はＳｉおよびＧｅからなる群より選ばれる１種
以上、０．５≦ｍ≦３．５、０．５≦ｎ≦２．５、ただ
しｍ＝ｎ＝１のとき、Ｍ1はＣａ、ＳｒおよびＢａから
なる群より選ばれる２種以上またはＳｒまたはＢａであ
る。）を母結晶とし、付活剤としてＥｕおよびＭｎから
なる群より選ばれる１種以上が含有されてなることを特
徴とし、ディオプサイド、オケルマナイト、メルウィナ
イトと同じ結晶構造をもつものが好ましい。
する。本発明の真空紫外線励起発光素子用の蛍光体は、
一般式ｍＭ1Ｏ・ｎＭ2Ｏ・２Ｍ3Ｏ2（式中のＭ1はＣ
ａ、ＳｒおよびＢａからなる群より選ばれる１種以上、
Ｍ2はＭｇおよびＺｎからなる群より選ばれる１種以
上、Ｍ3はＳｉおよびＧｅからなる群より選ばれる１種
以上、０．５≦ｍ≦３．５、０．５≦ｎ≦２．５、ただ
しｍ＝ｎ＝１のとき、Ｍ1はＣａ、ＳｒおよびＢａから
なる群より選ばれる２種以上またはＳｒまたはＢａであ
る。）を母結晶とし、付活剤としてＥｕおよびＭｎから
なる群より選ばれる１種以上が含有されてなることを特
徴とし、ディオプサイド、オケルマナイト、メルウィナ
イトと同じ結晶構造をもつものが好ましい。
【０００８】ディオプサイド（Ｄｉｏｐｓｉｄｅ、透輝
石）と同型の結晶構造を有する場合の中でも、上記
（１）の一般式においてｍ＝１およびｎ＝１の場合の一
つである一般式（Ｍ4 1-aＥｕa）（Ｍ5 1-bＭｎb）Ｍ6 2Ｏ
6（式中のＭ4はＣａ、ＳｒおよびＢａからなる群より選
ばれる２種以上またはＳｒまたはＢａ、Ｍ5はＭｇおよ
びＺｎからなる群より選ばれる１種以上、Ｍ6はＳｉお
よびＧｅからなる群より選ばれる１種以上、０≦ａ≦
０．５、０≦ｂ≦０．５、０＜ａ＋ｂ。）で表される組
成を有する蛍光体が真空紫外線励起発光素子用として好
ましい。さらに、ディオプサイド（Ｄｉｏｐｓｉｄｅ、
透輝石）と同型の結晶構造を有する場合の中でも、上記
（１）の一般式においてｍ＝１およびｎ＝１の場合の一
つでありＣａとＳｒを含む一般式Ｃａ1-c-dＳｒcＥｕd
ＭｇＳｉ2Ｏ6（０＜ｃ≦０．１、０＜ｄ≦０．１。）で
表される組成を有する蛍光体がさらに好ましい。
石）と同型の結晶構造を有する場合の中でも、上記
（１）の一般式においてｍ＝１およびｎ＝１の場合の一
つである一般式（Ｍ4 1-aＥｕa）（Ｍ5 1-bＭｎb）Ｍ6 2Ｏ
6（式中のＭ4はＣａ、ＳｒおよびＢａからなる群より選
ばれる２種以上またはＳｒまたはＢａ、Ｍ5はＭｇおよ
びＺｎからなる群より選ばれる１種以上、Ｍ6はＳｉお
よびＧｅからなる群より選ばれる１種以上、０≦ａ≦
０．５、０≦ｂ≦０．５、０＜ａ＋ｂ。）で表される組
成を有する蛍光体が真空紫外線励起発光素子用として好
ましい。さらに、ディオプサイド（Ｄｉｏｐｓｉｄｅ、
透輝石）と同型の結晶構造を有する場合の中でも、上記
（１）の一般式においてｍ＝１およびｎ＝１の場合の一
つでありＣａとＳｒを含む一般式Ｃａ1-c-dＳｒcＥｕd
ＭｇＳｉ2Ｏ6（０＜ｃ≦０．１、０＜ｄ≦０．１。）で
表される組成を有する蛍光体がさらに好ましい。
【０００９】オケルマナイト（Ａｋｅｒｍａｎｉｔｅ、
オケルマン石）と同じ結晶構造を有する場合の中でも、
上記（１）の一般式においてｍ＝２およびｎ＝１の場合
の一つである一般式（Ｍ7 1-eＥｕe）2（Ｍ8 1-fＭｎf）
Ｍ9 2Ｏ7（式中のＭ7はＣａ、ＳｒおよびＢａからなる群
より選ばれる１種以上、Ｍ8はＭｇおよびＺｎからなる
群より選ばれる１種以上、Ｍ9はＳｉおよびＧｅからな
る群より選ばれる１種以上、０≦ｅ≦０．５、０≦ｆ≦
０．５、０＜ｅ＋ｆ。）で表される組成を有する蛍光体
が真空紫外線励起発光素子用として好ましい。さらに、
前記一般式においてｆ＝０でＭ9がＳｉの場合の一般式
（Ｍ10 1-gＥｕg）2Ｍ11Ｓｉ2Ｏ7（式中のＭ10はＣａ、
ＳｒおよびＢａからなる群より選ばれる１種以上、Ｍ11
はＭｇおよびＺｎからなる群から選ばれる１種以上、
０．００１≦ｇ≦０．１）で表される組成を有する蛍光
体がさらに好ましい。
オケルマン石）と同じ結晶構造を有する場合の中でも、
上記（１）の一般式においてｍ＝２およびｎ＝１の場合
の一つである一般式（Ｍ7 1-eＥｕe）2（Ｍ8 1-fＭｎf）
Ｍ9 2Ｏ7（式中のＭ7はＣａ、ＳｒおよびＢａからなる群
より選ばれる１種以上、Ｍ8はＭｇおよびＺｎからなる
群より選ばれる１種以上、Ｍ9はＳｉおよびＧｅからな
る群より選ばれる１種以上、０≦ｅ≦０．５、０≦ｆ≦
０．５、０＜ｅ＋ｆ。）で表される組成を有する蛍光体
が真空紫外線励起発光素子用として好ましい。さらに、
前記一般式においてｆ＝０でＭ9がＳｉの場合の一般式
（Ｍ10 1-gＥｕg）2Ｍ11Ｓｉ2Ｏ7（式中のＭ10はＣａ、
ＳｒおよびＢａからなる群より選ばれる１種以上、Ｍ11
はＭｇおよびＺｎからなる群から選ばれる１種以上、
０．００１≦ｇ≦０．１）で表される組成を有する蛍光
体がさらに好ましい。
【００１０】また、オケルマナイトと同じ結晶構造を有
する場合の中でも、上記（１）の一般式においてｍ＝１
およびｎ＝２の場合の一つである一般式一般式（Ｍ12
1-hＥｕh）（Ｍ13 1-iＭｎi）2Ｍ14 2Ｏ7（式中のＭ12は
Ｃａ、ＳｒおよびＢａからなる群より選ばれる１種以
上、Ｍ13はＭｇおよびＺｎからなる群より選ばれる１種
以上、Ｍ14はＳｉおよびＧｅからなる群より選ばれる１
種以上、０≦ｈ≦０．５、０≦ｉ≦０．５、０＜ｈ＋
ｉ。）で表される組成を有する蛍光体も真空紫外線励起
発光素子用として好ましい。
する場合の中でも、上記（１）の一般式においてｍ＝１
およびｎ＝２の場合の一つである一般式一般式（Ｍ12
1-hＥｕh）（Ｍ13 1-iＭｎi）2Ｍ14 2Ｏ7（式中のＭ12は
Ｃａ、ＳｒおよびＢａからなる群より選ばれる１種以
上、Ｍ13はＭｇおよびＺｎからなる群より選ばれる１種
以上、Ｍ14はＳｉおよびＧｅからなる群より選ばれる１
種以上、０≦ｈ≦０．５、０≦ｉ≦０．５、０＜ｈ＋
ｉ。）で表される組成を有する蛍光体も真空紫外線励起
発光素子用として好ましい。
【００１１】メルウィナイト（Ｍｅｒｗｉｎｉｔｅ）と
同型の結晶構造を有する場合の中でも、上記（１）の一
般式においてｍ＝３およびｎ＝１の場合の一つである、
一般式（Ｍ15 1-jＥｕj）3（Ｍ16 1-kＭｎk）Ｍ17 2Ｏ
8（式中のＭ15はＣａ、ＳｒおよびＢａからなる群より
選ばれる１種以上、Ｍ16はＭｇおよびＺｎからなる群よ
り選ばれる１種以上、Ｍ17はＳｉおよびＧｅからなる群
より選ばれた１種以上、０≦ｊ≦０．５、０≦ｋ≦０．
５、０＜ｊ＋ｋ。）で表される組成を有する蛍光体が真
空紫外線励起発光素子用として好ましい。上記ディオプ
サイド、オケルマナイト、メルウィナイトと同じ結晶構
造を持つ蛍光体のなかでも、ディオプサイド、メルウィ
ナイトと同じ結晶構造を持つ蛍光体が好ましく、ディオ
プサイドと同じ結晶構造を持つ蛍光体がさらに好まし
い。
同型の結晶構造を有する場合の中でも、上記（１）の一
般式においてｍ＝３およびｎ＝１の場合の一つである、
一般式（Ｍ15 1-jＥｕj）3（Ｍ16 1-kＭｎk）Ｍ17 2Ｏ
8（式中のＭ15はＣａ、ＳｒおよびＢａからなる群より
選ばれる１種以上、Ｍ16はＭｇおよびＺｎからなる群よ
り選ばれる１種以上、Ｍ17はＳｉおよびＧｅからなる群
より選ばれた１種以上、０≦ｊ≦０．５、０≦ｋ≦０．
５、０＜ｊ＋ｋ。）で表される組成を有する蛍光体が真
空紫外線励起発光素子用として好ましい。上記ディオプ
サイド、オケルマナイト、メルウィナイトと同じ結晶構
造を持つ蛍光体のなかでも、ディオプサイド、メルウィ
ナイトと同じ結晶構造を持つ蛍光体が好ましく、ディオ
プサイドと同じ結晶構造を持つ蛍光体がさらに好まし
い。
【００１２】次に本発明の蛍光体の製造方法について説
明する。本発明の蛍光体を製造するための原料となるカ
ルシウム源、ストロンチウム源、バリウム源としては、
高純度（９９％以上）の水酸化物、炭酸塩、硝酸塩、ハ
ロゲン化物、シュウ酸塩など高温で分解し酸化物になり
うるものかまたは高純度（９９．９％以上）の酸化物が
使用できる。マグネシウム源、亜鉛源となる原料として
は、高純度（９９％以上）の水酸化物、炭酸塩、硝酸
塩、ハロゲン化物、シュウ酸塩など高温で分解し酸化物
になりうるものかまたは高純度（９９％以上）の酸化物
が使用できる。ケイ素源、ゲルマニウム源となるとなる
原料としては、高純度（９９％以上）の水酸化物、炭酸
塩、硝酸塩、ハロゲン化物、シュウ酸塩など高温で分解
し酸化物になりうるものかまたは高純度（９９％以上）
の酸化物が使用できる。
明する。本発明の蛍光体を製造するための原料となるカ
ルシウム源、ストロンチウム源、バリウム源としては、
高純度（９９％以上）の水酸化物、炭酸塩、硝酸塩、ハ
ロゲン化物、シュウ酸塩など高温で分解し酸化物になり
うるものかまたは高純度（９９．９％以上）の酸化物が
使用できる。マグネシウム源、亜鉛源となる原料として
は、高純度（９９％以上）の水酸化物、炭酸塩、硝酸
塩、ハロゲン化物、シュウ酸塩など高温で分解し酸化物
になりうるものかまたは高純度（９９％以上）の酸化物
が使用できる。ケイ素源、ゲルマニウム源となるとなる
原料としては、高純度（９９％以上）の水酸化物、炭酸
塩、硝酸塩、ハロゲン化物、シュウ酸塩など高温で分解
し酸化物になりうるものかまたは高純度（９９％以上）
の酸化物が使用できる。
【００１３】付活剤となるユーロピウム、マンガンを含
む原料としては、高純度（９９％以上）の水酸化物、炭
酸塩、硝酸塩、ハロゲン化物、シュウ酸塩など高温で分
解し酸化物になりうるものかまたは高純度（９９％以
上）の酸化物が使用できる。
む原料としては、高純度（９９％以上）の水酸化物、炭
酸塩、硝酸塩、ハロゲン化物、シュウ酸塩など高温で分
解し酸化物になりうるものかまたは高純度（９９％以
上）の酸化物が使用できる。
【００１４】本発明の蛍光体の製造方法は特に限定され
るものではなく、例えば、上記それぞれの原料を混合し
焼成することにより製造することができる。好ましい組
成の一つである一般式（Ｍ4 1-aＥｕa）（Ｍ5 1-bＭｎb）
Ｍ6 2Ｏ6（式中のＭ4はＣａ、ＳｒおよびＢａからなる群
より選ばれる２種以上またはＳｒまたはＢａ、Ｍ5はＭ
ｇおよびＺｎからなる群より選ばれる１種以上、Ｍ6は
ＳｉおよびＧｅからなる群より選ばれる１種以上、０≦
ａ≦０．５、０≦ｂ≦０．５、０＜ａ＋ｂ。）で表され
る組成を有する蛍光体は、上記原料を所定の組成となる
ように秤量し配合し、混合して焼成することにより製造
することができる。これらの原料の混合には通常工業的
に用いられているボールミル、Ｖ型混合機、または攪拌
装置等を用いることができる。
るものではなく、例えば、上記それぞれの原料を混合し
焼成することにより製造することができる。好ましい組
成の一つである一般式（Ｍ4 1-aＥｕa）（Ｍ5 1-bＭｎb）
Ｍ6 2Ｏ6（式中のＭ4はＣａ、ＳｒおよびＢａからなる群
より選ばれる２種以上またはＳｒまたはＢａ、Ｍ5はＭ
ｇおよびＺｎからなる群より選ばれる１種以上、Ｍ6は
ＳｉおよびＧｅからなる群より選ばれる１種以上、０≦
ａ≦０．５、０≦ｂ≦０．５、０＜ａ＋ｂ。）で表され
る組成を有する蛍光体は、上記原料を所定の組成となる
ように秤量し配合し、混合して焼成することにより製造
することができる。これらの原料の混合には通常工業的
に用いられているボールミル、Ｖ型混合機、または攪拌
装置等を用いることができる。
【００１５】混合した後、例えば１０００℃から１５０
０℃の温度範囲にて１〜１００時間焼成することにより
本発明の蛍光体が得られる。原料に水酸化物、炭酸塩、
硝酸塩、ハロゲン化物、シュウ酸塩など高温で分解し酸
化物になりうるものが使用した場合、本焼成の前に、例
えば６００℃から９００℃の温度範囲にて仮焼すること
も可能である。焼成雰囲気としては、特に限定されるも
のではないが、例えば水素を０．１〜１０体積％含む窒
素やアルゴン等の還元性雰囲気で焼成することが好まし
い。また仮焼の雰囲気は大気雰囲気、還元性雰囲気のい
ずれでもよい。また、反応を促進するために、適量のフ
ラックスを添加してもよい。
０℃の温度範囲にて１〜１００時間焼成することにより
本発明の蛍光体が得られる。原料に水酸化物、炭酸塩、
硝酸塩、ハロゲン化物、シュウ酸塩など高温で分解し酸
化物になりうるものが使用した場合、本焼成の前に、例
えば６００℃から９００℃の温度範囲にて仮焼すること
も可能である。焼成雰囲気としては、特に限定されるも
のではないが、例えば水素を０．１〜１０体積％含む窒
素やアルゴン等の還元性雰囲気で焼成することが好まし
い。また仮焼の雰囲気は大気雰囲気、還元性雰囲気のい
ずれでもよい。また、反応を促進するために、適量のフ
ラックスを添加してもよい。
【００１６】さらに、上記方法にて得られる蛍光体を、
例えばボールミル、ジェットミル等を用いて粉砕するこ
とができる。また、洗浄、分級することができる。得ら
れる蛍光体の結晶性を高めるために、再焼成を行うこと
もできる。
例えばボールミル、ジェットミル等を用いて粉砕するこ
とができる。また、洗浄、分級することができる。得ら
れる蛍光体の結晶性を高めるために、再焼成を行うこと
もできる。
【００１７】以上のようにして得られる本発明の蛍光体
は真空紫外線励起によって高い輝度が得られ、プラズマ
暴露による輝度低下が少ない。さらに、ＰＤＰおよび希
ガスランプの製造においては、蛍光体にバインダーを加
えて溶媒に分散させ、発光部に塗布して５００℃程度で
熱処理してバインダーを除去することにより蛍光体を設
置する工程が一般的であるが、本発明の蛍光体は、この
熱処理工程における輝度低下も少ない。従って、本発明
の蛍光体をＰＤＰおよび希ガスランプなどの真空紫外線
励起発光素子用に用いた場合、高輝度で寿命の長いＰＤ
Ｐおよび希ガスランプが実現できるので、真空紫外線励
起発光素子用として好適である。
は真空紫外線励起によって高い輝度が得られ、プラズマ
暴露による輝度低下が少ない。さらに、ＰＤＰおよび希
ガスランプの製造においては、蛍光体にバインダーを加
えて溶媒に分散させ、発光部に塗布して５００℃程度で
熱処理してバインダーを除去することにより蛍光体を設
置する工程が一般的であるが、本発明の蛍光体は、この
熱処理工程における輝度低下も少ない。従って、本発明
の蛍光体をＰＤＰおよび希ガスランプなどの真空紫外線
励起発光素子用に用いた場合、高輝度で寿命の長いＰＤ
Ｐおよび希ガスランプが実現できるので、真空紫外線励
起発光素子用として好適である。
【００１８】本発明の蛍光体は真空紫外域以外の紫外
線、Ｘ線および電子線などによっても励起可能であり、
真空紫外域以外の紫外線、Ｘ線および電子線を励起源と
した素子にも用いることができる。
線、Ｘ線および電子線などによっても励起可能であり、
真空紫外域以外の紫外線、Ｘ線および電子線を励起源と
した素子にも用いることができる。
【００１９】
【実施例】次に、本発明を実施例によりさらに詳しく説
明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるもので
はない。
明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるもので
はない。
【００２０】実施例１ 炭酸カルシウム（和光純薬工業（株）製）ＣａＣＯ3、
炭酸ストロンチウム（和光純薬工業（株）製）ＳｒＣＯ
3、酸化ユーロピウム（信越化学工業（株）製）Ｅｕ2Ｏ
3、塩基性炭酸マグネシウム（和光純薬工業（株）製）
（ＭｇＣＯ3）4Ｍｇ（ＯＨ）2・５Ｈ2Ｏ、酸化珪素（和
光純薬工業（株）製）ＳｉＯ2各原料をＣａＣＯ3：Ｓｒ
ＣＯ3：Ｅｕ2Ｏ3：（ＭｇＣＯ3）4Ｍｇ（ＯＨ）2・５Ｈ
2Ｏ：ＳｉＯ2のモル比が０．９２１５：０．０４８５：
０．０１５：０．２：２になるように配合し混合した
後、２体積％Ｈ2含有Ａｒ雰囲気中で１２００℃の温度
で２時間焼成、解砕後、再度２体積％Ｈ2含有Ａｒ雰囲
気中で１２００℃の温度で２時間焼成した。このように
して、組成式がＣａ0.9215Ｓｒ0.0485Ｅｕ0.03ＭｇＳｉ
2Ｏ6で表される蛍光体を得た。この蛍光体に、６．７Ｐ
ａ（５×１０-2Ｔｏｒｒ）以下の真空槽内で、得られた
蛍光体にエキシマ１４６ｎｍランプ（ウシオ電機社製、
Ｈ００１２型）を用いて紫外線を照射したところ、青色
の発光を示し、輝度は２４ｃｄ／ｍ2を示した。
炭酸ストロンチウム（和光純薬工業（株）製）ＳｒＣＯ
3、酸化ユーロピウム（信越化学工業（株）製）Ｅｕ2Ｏ
3、塩基性炭酸マグネシウム（和光純薬工業（株）製）
（ＭｇＣＯ3）4Ｍｇ（ＯＨ）2・５Ｈ2Ｏ、酸化珪素（和
光純薬工業（株）製）ＳｉＯ2各原料をＣａＣＯ3：Ｓｒ
ＣＯ3：Ｅｕ2Ｏ3：（ＭｇＣＯ3）4Ｍｇ（ＯＨ）2・５Ｈ
2Ｏ：ＳｉＯ2のモル比が０．９２１５：０．０４８５：
０．０１５：０．２：２になるように配合し混合した
後、２体積％Ｈ2含有Ａｒ雰囲気中で１２００℃の温度
で２時間焼成、解砕後、再度２体積％Ｈ2含有Ａｒ雰囲
気中で１２００℃の温度で２時間焼成した。このように
して、組成式がＣａ0.9215Ｓｒ0.0485Ｅｕ0.03ＭｇＳｉ
2Ｏ6で表される蛍光体を得た。この蛍光体に、６．７Ｐ
ａ（５×１０-2Ｔｏｒｒ）以下の真空槽内で、得られた
蛍光体にエキシマ１４６ｎｍランプ（ウシオ電機社製、
Ｈ００１２型）を用いて紫外線を照射したところ、青色
の発光を示し、輝度は２４ｃｄ／ｍ2を示した。
【００２１】得られた蛍光体を、空気中で５００℃、３
０分間熱処理を行った。蛍光体を取出して輝度を測定し
た結果、熱処理前に比較して輝度は全く低下しなかっ
た。
０分間熱処理を行った。蛍光体を取出して輝度を測定し
た結果、熱処理前に比較して輝度は全く低下しなかっ
た。
【００２２】得られた熱処理前の蛍光体を、圧力が１
３．２Ｐａで５体積％Ｘｅ−９５体積％Ｎｅの組成の雰
囲気中に設置し、１０Ｗのプラズマに３０分間、ついで
５０Ｗのプラズマに１５分間曝露させた。蛍光体を取出
して輝度を測定した結果、プラズマ曝露前に比較して輝
度は全く低下しなかった。
３．２Ｐａで５体積％Ｘｅ−９５体積％Ｎｅの組成の雰
囲気中に設置し、１０Ｗのプラズマに３０分間、ついで
５０Ｗのプラズマに１５分間曝露させた。蛍光体を取出
して輝度を測定した結果、プラズマ曝露前に比較して輝
度は全く低下しなかった。
【００２３】得られた熱処理、プラズマ暴露前の蛍光体
を、空気中で５００℃、３０分間熱処理を行った。次い
で、圧力が１３．２Ｐａで５体積％Ｘｅ−９５体積％Ｎ
ｅの組成の雰囲気中に設置し、１０Ｗのプラズマに３０
分間、ついで５０Ｗのプラズマに１５分間曝露させた。
蛍光体を取出して輝度を測定した結果、熱処理、プラズ
マ曝露前に比較して輝度の低下は４％であった。
を、空気中で５００℃、３０分間熱処理を行った。次い
で、圧力が１３．２Ｐａで５体積％Ｘｅ−９５体積％Ｎ
ｅの組成の雰囲気中に設置し、１０Ｗのプラズマに３０
分間、ついで５０Ｗのプラズマに１５分間曝露させた。
蛍光体を取出して輝度を測定した結果、熱処理、プラズ
マ曝露前に比較して輝度の低下は４％であった。
【００２４】実施例２ 炭酸ストロンチウム（和光純薬工業（株）製）ＳｒＣＯ
3、炭酸バリウム（和光純薬工業（株）製）ＢａＣＯ3、
酸化ユーロピウム（信越化学工業（株）製）Ｅｕ2Ｏ3、
塩基性炭酸マグネシウム（和光純薬工業（株）製）（Ｍ
ｇＣＯ3）4Ｍｇ（ＯＨ）2・５Ｈ2Ｏ、酸化珪素（和光純
薬工業（株）製）ＳｉＯ2各原料をＳｒＣＯ3：ＢａＣＯ
3：Ｅｕ2Ｏ3：（ＭｇＣＯ3）4Ｍｇ（ＯＨ）2・５Ｈ
2Ｏ：ＳｉＯ2のモル比が２．２８：０．５７：０．０７
５：０．２：２になるように配合、混合した後、２体積
％Ｈ2含有Ａｒ雰囲気中で１２００℃の温度で２時間焼
成した。このようにして、組成式がＳｒ2.28Ｂａ0.57Ｅ
ｕ0.15ＭｇＳｉ2Ｏ8で表される蛍光体を得た。この蛍光
体に、６．７Ｐａ（５×１０-2Ｔｏｒｒ）以下の真空槽
内で、得られた蛍光体にエキシマ１４６ｎｍランプ（ウ
シオ電機社製、Ｈ００１２型）を用いて紫外線を照射し
たところ、青色の発光を示し、輝度は３０ｃｄ／ｍ2を
示した。
3、炭酸バリウム（和光純薬工業（株）製）ＢａＣＯ3、
酸化ユーロピウム（信越化学工業（株）製）Ｅｕ2Ｏ3、
塩基性炭酸マグネシウム（和光純薬工業（株）製）（Ｍ
ｇＣＯ3）4Ｍｇ（ＯＨ）2・５Ｈ2Ｏ、酸化珪素（和光純
薬工業（株）製）ＳｉＯ2各原料をＳｒＣＯ3：ＢａＣＯ
3：Ｅｕ2Ｏ3：（ＭｇＣＯ3）4Ｍｇ（ＯＨ）2・５Ｈ
2Ｏ：ＳｉＯ2のモル比が２．２８：０．５７：０．０７
５：０．２：２になるように配合、混合した後、２体積
％Ｈ2含有Ａｒ雰囲気中で１２００℃の温度で２時間焼
成した。このようにして、組成式がＳｒ2.28Ｂａ0.57Ｅ
ｕ0.15ＭｇＳｉ2Ｏ8で表される蛍光体を得た。この蛍光
体に、６．７Ｐａ（５×１０-2Ｔｏｒｒ）以下の真空槽
内で、得られた蛍光体にエキシマ１４６ｎｍランプ（ウ
シオ電機社製、Ｈ００１２型）を用いて紫外線を照射し
たところ、青色の発光を示し、輝度は３０ｃｄ／ｍ2を
示した。
【００２５】実施例３ 炭酸バリウム（関東化学（株）製）ＢａＣＯ3、酸化ユ
ーロピウム（信越化学工業（株）製）Ｅｕ2Ｏ3、酸化マ
グネシウム（関東化学（株）製）ＭｇＯ、酸化珪素
（（株）高純度化学研究所製）ＳｉＯ2各原料をＢａＣ
Ｏ3：Ｅｕ2Ｏ3：ＭｇＯ：ＳｉＯ2のモル比が１．９８：
０．０１：１：２になるように配合し、また、生成物１
モルに対してＢ2Ｏ3をフラックスとして０．１モル添加
し、アセトン中、乳鉢で十分湿式混合し、乾燥した。得
られた混合原料をステンレス製の金型に入れ、４０ＭＰ
ａの圧力で加圧して直径１５ｍｍ×厚さ３ｍｍの円形ペ
レットに成形した。得られたペレットをアルミナ坩堝に
入れ、５体積％Ｈ2−９５体積％Ａｒ雰囲気中で１２０
０℃で３時間焼成した。このようにして、組成式がＢａ
1.98Ｅｕ0.02ＭｇＳｉ2Ｏ7で表される蛍光体を得た。こ
の蛍光体に、６．７Ｐａ（５×１０-2Ｔｏｒｒ）以下の
真空槽内で、得られた蛍光体にエキシマ１４６ｎｍラン
プ（ウシオ電機社製、Ｈ００１２型）を用いて紫外線を
照射したところ、緑色の発光を示し、輝度は９５ｃｄ／
ｍ2を示した。
ーロピウム（信越化学工業（株）製）Ｅｕ2Ｏ3、酸化マ
グネシウム（関東化学（株）製）ＭｇＯ、酸化珪素
（（株）高純度化学研究所製）ＳｉＯ2各原料をＢａＣ
Ｏ3：Ｅｕ2Ｏ3：ＭｇＯ：ＳｉＯ2のモル比が１．９８：
０．０１：１：２になるように配合し、また、生成物１
モルに対してＢ2Ｏ3をフラックスとして０．１モル添加
し、アセトン中、乳鉢で十分湿式混合し、乾燥した。得
られた混合原料をステンレス製の金型に入れ、４０ＭＰ
ａの圧力で加圧して直径１５ｍｍ×厚さ３ｍｍの円形ペ
レットに成形した。得られたペレットをアルミナ坩堝に
入れ、５体積％Ｈ2−９５体積％Ａｒ雰囲気中で１２０
０℃で３時間焼成した。このようにして、組成式がＢａ
1.98Ｅｕ0.02ＭｇＳｉ2Ｏ7で表される蛍光体を得た。こ
の蛍光体に、６．７Ｐａ（５×１０-2Ｔｏｒｒ）以下の
真空槽内で、得られた蛍光体にエキシマ１４６ｎｍラン
プ（ウシオ電機社製、Ｈ００１２型）を用いて紫外線を
照射したところ、緑色の発光を示し、輝度は９５ｃｄ／
ｍ2を示した。
【００２６】実施例４ （Ｓｒ0.99Ｅｕ0.01）2ＭｇＳｉ2Ｏ7を製造するにあた
り、出発原料として、炭酸ストロンチウム（関東化学
（株）製）ＳｒＣＯ3、酸化ユーロピウム（信越化学工
業（株）製）Ｅｕ2Ｏ3、酸化マグネシウム（関東化学
（株）製）ＭｇＯ、酸化珪素（（株）高純度化学研究所
製）ＳｉＯ2を用いた。これら原料をＳｒＣＯ3：Ｅｕ2
Ｏ3：ＭｇＯ：ＳｉＯ2のモル比が１．９８：０．０１：
１：２になるように配合し、また、生成物（Ｓｒ0.99Ｅ
ｕ0.01）2ＭｇＳｉ2Ｏ7１モルに対してＢ2Ｏ3をフラッ
クスとして０．１モル添加し、アセトン中、乳鉢で十分
湿式混合し、乾燥した。得られた混合原料をステンレス
製の金型に入れ、４０ＭＰａの圧力で加圧して直径１５
ｍｍ×厚さ３ｍｍの円形ペレットに成形した。得られた
ペレットをアルミナ坩堝に入れ、５％Ｈ2−９５％Ａｒ
雰囲気中で１２００℃で３時間焼成した。焼成後得られ
た試料に、波長２５４ｎｍまたは３６５ｎｍの紫外線を
照射すると、いずれの場合も高輝度の水色発光を示し
た。６．７Ｐａ（５×１０-2Ｔｏｒｒ）以下の真空槽内
でエキシマ１４６ｎｍランプ（ウシオ電機社製）を用い
て真空紫外線を照射したところ、水色の発光を示し、輝
度は２５ｃｄ／ｃｍ2を示した。
り、出発原料として、炭酸ストロンチウム（関東化学
（株）製）ＳｒＣＯ3、酸化ユーロピウム（信越化学工
業（株）製）Ｅｕ2Ｏ3、酸化マグネシウム（関東化学
（株）製）ＭｇＯ、酸化珪素（（株）高純度化学研究所
製）ＳｉＯ2を用いた。これら原料をＳｒＣＯ3：Ｅｕ2
Ｏ3：ＭｇＯ：ＳｉＯ2のモル比が１．９８：０．０１：
１：２になるように配合し、また、生成物（Ｓｒ0.99Ｅ
ｕ0.01）2ＭｇＳｉ2Ｏ7１モルに対してＢ2Ｏ3をフラッ
クスとして０．１モル添加し、アセトン中、乳鉢で十分
湿式混合し、乾燥した。得られた混合原料をステンレス
製の金型に入れ、４０ＭＰａの圧力で加圧して直径１５
ｍｍ×厚さ３ｍｍの円形ペレットに成形した。得られた
ペレットをアルミナ坩堝に入れ、５％Ｈ2−９５％Ａｒ
雰囲気中で１２００℃で３時間焼成した。焼成後得られ
た試料に、波長２５４ｎｍまたは３６５ｎｍの紫外線を
照射すると、いずれの場合も高輝度の水色発光を示し
た。６．７Ｐａ（５×１０-2Ｔｏｒｒ）以下の真空槽内
でエキシマ１４６ｎｍランプ（ウシオ電機社製）を用い
て真空紫外線を照射したところ、水色の発光を示し、輝
度は２５ｃｄ／ｃｍ2を示した。
【００２７】実施例５ （Ｓｒ0.99Ｅｕ0.01）2ＺｎＳｉ2Ｏ7を製造するにあた
り、出発原料として、炭酸ストロンチウムＳｒＣＯ3、
酸化ユーロピウムＥｕ2Ｏ3、酸化亜鉛ＺｎＯ、酸化珪素
ＳｉＯ2を用いた。これら原料をＳｒＣＯ3：Ｅｕ2Ｏ3：
ＺｎＯ：ＳｉＯ 2のモル比が１．９８：０．０１：１：
２になるように配合し、フラックスとして生成物（Ｓｒ
0.99Ｅｕ0.01）2ＺｎＳｉ2Ｏ7１モルに対してＢ2Ｏ3を
０．１モル添加し、アセトン中で乳鉢で十分湿式混合
し、乾燥した。得られた混合原料をステンレス製の金型
に入れ、４０ＭＰａの圧力で加圧して直径１５ｍｍ×厚
さ３ｍｍの円形ペレットに成形した。得られたペレット
をアルミナ坩堝に入れ、５％Ｈ2−９５％Ａｒ雰囲気中
で１２００℃で３時間焼成した。焼成後得られた試料に
つき、２５４ｎｍもしくは３６５ｎｍの紫外線にて励起
するといずれも高輝度の青緑色発光を示した。６．７Ｐ
ａ（５×１０-2Ｔｏｒｒ）以下の真空槽内で得られた蛍
光体にエキシマ１４６ｎｍランプ（ウシオ電機社製）を
用いて真空紫外線を照射したところ、青緑色の発光を示
した。
り、出発原料として、炭酸ストロンチウムＳｒＣＯ3、
酸化ユーロピウムＥｕ2Ｏ3、酸化亜鉛ＺｎＯ、酸化珪素
ＳｉＯ2を用いた。これら原料をＳｒＣＯ3：Ｅｕ2Ｏ3：
ＺｎＯ：ＳｉＯ 2のモル比が１．９８：０．０１：１：
２になるように配合し、フラックスとして生成物（Ｓｒ
0.99Ｅｕ0.01）2ＺｎＳｉ2Ｏ7１モルに対してＢ2Ｏ3を
０．１モル添加し、アセトン中で乳鉢で十分湿式混合
し、乾燥した。得られた混合原料をステンレス製の金型
に入れ、４０ＭＰａの圧力で加圧して直径１５ｍｍ×厚
さ３ｍｍの円形ペレットに成形した。得られたペレット
をアルミナ坩堝に入れ、５％Ｈ2−９５％Ａｒ雰囲気中
で１２００℃で３時間焼成した。焼成後得られた試料に
つき、２５４ｎｍもしくは３６５ｎｍの紫外線にて励起
するといずれも高輝度の青緑色発光を示した。６．７Ｐ
ａ（５×１０-2Ｔｏｒｒ）以下の真空槽内で得られた蛍
光体にエキシマ１４６ｎｍランプ（ウシオ電機社製）を
用いて真空紫外線を照射したところ、青緑色の発光を示
した。
【００２８】比較例１ 炭酸カルシウム（和光純薬工業（株）製）ＣａＣＯ3、
酸化ユーロピウム（信越化学工業（株）製）Ｅｕ2Ｏ3、
塩基性炭酸マグネシウム（和光純薬工業（株）製）（Ｍ
ｇＣＯ3）4Ｍｇ（ＯＨ）2・５Ｈ2Ｏ）、酸化珪素（和光
純薬工業（株）製）ＳｉＯ2各原料をＣａＣＯ3：Ｅｕ2
Ｏ3：（ＭｇＣＯ3）4Ｍｇ（ＯＨ）2・５Ｈ2Ｏ）：Ｓｉ
Ｏ2のモル比が０．９５：０．０２５：０．２：２にな
るように配合、混合した後、２体積％Ｈ2含有Ａｒ雰囲
気中で１２００℃の温度で２時間焼成した。このように
して、組成式がＣａ0.95Ｅｕ0.05ＭｇＳｉ2Ｏ6で表され
る蛍光体を得た。この蛍光体に、６．７Ｐａ（５×１０
-2Ｔｏｒｒ）以下の真空槽内で、得られた蛍光体にエキ
シマ１４６ｎｍランプ（ウシオ電機社製、Ｈ００１２
型）を用いて紫外線を照射したところ、青色の発光を示
し、輝度は１２ｃｄ／ｍ 2を示した。
酸化ユーロピウム（信越化学工業（株）製）Ｅｕ2Ｏ3、
塩基性炭酸マグネシウム（和光純薬工業（株）製）（Ｍ
ｇＣＯ3）4Ｍｇ（ＯＨ）2・５Ｈ2Ｏ）、酸化珪素（和光
純薬工業（株）製）ＳｉＯ2各原料をＣａＣＯ3：Ｅｕ2
Ｏ3：（ＭｇＣＯ3）4Ｍｇ（ＯＨ）2・５Ｈ2Ｏ）：Ｓｉ
Ｏ2のモル比が０．９５：０．０２５：０．２：２にな
るように配合、混合した後、２体積％Ｈ2含有Ａｒ雰囲
気中で１２００℃の温度で２時間焼成した。このように
して、組成式がＣａ0.95Ｅｕ0.05ＭｇＳｉ2Ｏ6で表され
る蛍光体を得た。この蛍光体に、６．７Ｐａ（５×１０
-2Ｔｏｒｒ）以下の真空槽内で、得られた蛍光体にエキ
シマ１４６ｎｍランプ（ウシオ電機社製、Ｈ００１２
型）を用いて紫外線を照射したところ、青色の発光を示
し、輝度は１２ｃｄ／ｍ 2を示した。
【００２９】比較例２ 市販の青色発光蛍光体ＢａＭｇＡｌ10Ｏ17：Ｅｕを、空
気中で５００℃、３０分間熱処理を行った。蛍光体を取
出して輝度を測定した結果、熱処理前に比較して輝度が
１％低下した。
気中で５００℃、３０分間熱処理を行った。蛍光体を取
出して輝度を測定した結果、熱処理前に比較して輝度が
１％低下した。
【００３０】上記市販の青色発光蛍光体を、圧力が１
３．２Ｐａで５体積％Ｘｅ−９５体積％Ｎｅの組成の雰
囲気中に設置し、１０Ｗのプラズマに３０分間、ついで
５０Ｗのプラズマに１５分間曝露させた。蛍光体を取出
して輝度を測定した結果、プラズマ曝露前に比較して輝
度が２５％低下した。
３．２Ｐａで５体積％Ｘｅ−９５体積％Ｎｅの組成の雰
囲気中に設置し、１０Ｗのプラズマに３０分間、ついで
５０Ｗのプラズマに１５分間曝露させた。蛍光体を取出
して輝度を測定した結果、プラズマ曝露前に比較して輝
度が２５％低下した。
【００３１】上記市販の青色発光蛍光体を、空気中で５
００℃、３０分間熱処理を行った。次いで、圧力が１
３．２Ｐａで５体積％Ｘｅ−９５体積％Ｎｅの組成の雰
囲気中に設置し、１０Ｗのプラズマに３０分間、ついで
５０Ｗのプラズマに１５分間曝露させた。蛍光体を取出
して輝度を測定した結果、熱処理、プラズマ曝露前に比
較して輝度が２８％低下した。
００℃、３０分間熱処理を行った。次いで、圧力が１
３．２Ｐａで５体積％Ｘｅ−９５体積％Ｎｅの組成の雰
囲気中に設置し、１０Ｗのプラズマに３０分間、ついで
５０Ｗのプラズマに１５分間曝露させた。蛍光体を取出
して輝度を測定した結果、熱処理、プラズマ曝露前に比
較して輝度が２８％低下した。
【００３２】
【発明の効果】本発明の蛍光体は輝度が高く、プラズマ
暴露による輝度低下が少なく、特にＰＤＰや希ガスラン
プなどの真空紫外線励起発光素子用に好適であり、高輝
度の真空紫外線励起発光素子が実現できるので、工業的
に極めて有用である。
暴露による輝度低下が少なく、特にＰＤＰや希ガスラン
プなどの真空紫外線励起発光素子用に好適であり、高輝
度の真空紫外線励起発光素子が実現できるので、工業的
に極めて有用である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 宮崎 進 茨城県つくば市北原６ 住友化学工業株式 会社内 (72)発明者 戸田 健司 新潟県新潟市五十嵐中島二丁目12番５号 (72)発明者 佐藤 峰夫 新潟県新潟市五十嵐一の町7793番地12 Ｆターム(参考） 4G073 BA10 BA11 BA12 BA13 BA17 BA32 BA52 BA63 BA64 BD01 CD01 UB14 4H001 CA02 CA04 CA07 XA08 XA12 XA14 XA20 XA30 XA32 XA38 XA56 YA25 YA63 5C040 FA10 GG08 MA03 MA10 5C043 AA07 CC16 EB01
Claims (10)
- 【請求項１】一般式ｍＭ1Ｏ・ｎＭ2Ｏ・２Ｍ3Ｏ2（式中
のＭ1はＣａ、ＳｒおよびＢａからなる群より選ばれる
１種以上、Ｍ2はＭｇおよびＺｎからなる群より選ばれ
る１種以上、Ｍ3はＳｉおよびＧｅからなる群より選ば
れる１種以上、０．５≦ｍ≦３．５、０．５≦ｎ≦２．
５、ただしｍ＝ｎ＝１のときはＭ1はＣａ、Ｓｒおよび
Ｂａからなる群より選ばれる２種以上またはＳｒまたは
Ｂａである。）で表される化合物に付活剤としてＥｕ、
Ｍｎからなる群より選ばれる１種以上が含有されてなる
ことを特徴とする真空紫外線励起発光素子用の蛍光体。 - 【請求項２】請求項１記載の真空紫外線励起発光素子用
の蛍光体であって、ディオプサイド（Ｄｉｏｐｓｉｄ
ｅ、透輝石）と同じ結晶構造を有する蛍光体。 - 【請求項３】一般式（Ｍ4 1-aＥｕa）（Ｍ5 1-bＭｎb）Ｍ
6 2Ｏ6（式中のＭ4はＣａ、ＳｒおよびＢａからなる群よ
り選ばれる２種以上またはＳｒまたはＢａ、Ｍ5はＭｇ
およびＺｎからなる群より選ばれる１種以上、Ｍ6はＳ
ｉおよびＧｅからなる群より選ばれる１種以上、０≦ａ
≦０．５、０≦ｂ≦０．５、０＜ａ＋ｂ。）で表される
組成を有する請求項２記載の蛍光体。 - 【請求項４】一般式Ｃａ1-c-dＳｒcＥｕdＭｇＳｉ2Ｏ6
（０＜ｃ≦０．１、０＜ｄ≦０．１。）で表される組成
を有する請求項２記載の蛍光体。 - 【請求項５】請求項１記載の真空紫外線励起発光素子用
の蛍光体であって、オケルマナイト（Ａｋｅｒｍａｎｉ
ｔｅ、オケルマン石）と同じ結晶構造を有する蛍光体。 - 【請求項６】一般式（Ｍ7 1-eＥｕe）2（Ｍ8 1-fＭｎf）
Ｍ9 2Ｏ7（式中のＭ7はＣａ、ＳｒおよびＢａからなる群
より選ばれる１種以上、Ｍ8はＭｇおよびＺｎからなる
群より選ばれる１種以上、Ｍ9はＳｉおよびＧｅからな
る群より選ばれる１種以上、０≦ｅ≦０．５、０≦ｆ≦
０．５、０＜ｅ＋ｆ。）で表される組成を有する請求項
５記載の蛍光体。 - 【請求項７】一般式（Ｍ10 1-gＥｕg）2Ｍ11Ｓｉ2Ｏ
7（式中のＭ10はＣａ、ＳｒおよびＢａからなる群より
選ばれる１種以上、Ｍ11はＭｇおよびＺｎからなる群か
ら選ばれる１種以上、０．００１≦ｇ≦０．１。）で表
される組成を有する請求項５記載の蛍光体。 - 【請求項８】一般式（Ｍ12 1-hＥｕh）（Ｍ13 1-iＭｎi）
2Ｍ14 2Ｏ7（式中のＭ12はＣａ、ＳｒおよびＢａからな
る群より選ばれる１種以上、Ｍ13はＭｇおよびＺｎから
なる群より選ばれる１種以上、Ｍ14はＳｉおよびＧｅか
らなる群より選ばれる１種以上、０≦ｈ≦０．５、０≦
ｉ≦０．５、０＜ｈ＋ｉ。）で表される組成を有する請
求項５記載の蛍光体。 - 【請求項９】請求項１記載の真空紫外線励起発光素子用
の蛍光体であって、メルウィナイト（Ｍｅｒｗｉｎｉｔ
ｅ）と同じ結晶構造を有する蛍光体。 - 【請求項１０】一般式（Ｍ15 1-jＥｕj）3（Ｍ16 1-kＭｎ
k）Ｍ17 2Ｏ8（式中のＭ15はＣａ、ＳｒおよびＢａから
なる群より選ばれる１種以上、Ｍ16はＭｇおよびＺｎか
らなる群より選ばれる１種以上、Ｍ17はＳｉおよびＧｅ
からなる群より選ばれた１種以上、０≦ｊ≦０．５、０
≦ｋ≦０．５、０＜ｊ＋ｋ。）で表される組成を有する
請求項９記載の蛍光体。
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