JP2002233805A - 塗布ヘッド及びこの塗布ヘッドを用いた塗布装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 安定したビードを形成し、筋ムラ等の不良の
発生はない塗布ヘッド及びこの塗布ヘッドを用いた塗布
装置を提供する。 【解決手段】 塗布ヘッド２１は前壁２２と後壁２３と
前記両壁間を仕切る隔壁２４を備え、前壁、後壁及び隔
壁の両側部には夫々側壁２５が固着されている。前壁と
隔壁の間に第１液溜め部２１Ａが形成され、後壁と隔壁
の間に第２液溜め部２１Ｂが形成されている。隔壁の先
端には曲面状端部２６が形成され、隔壁の前壁に対面す
る側には曲面状端部の面に連続する鉛直面２７が形成さ
れ、隔壁の後壁に対面する側には曲面状端部に連続する
鉛直面に対して１５°〜３０°の傾斜角度で傾斜した傾
斜面２８が形成されている。前壁及び隔壁は後壁より高
く形成され、前壁の上端とそれに対向する隔壁面間に吐
出スリットＳ１が形成され、後壁の上端とそれに対向す
る隔壁面間に塗布液の吸込スリットＳ２が形成されてい
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ＬＣＤ用カラーフ
ィルターのガラス基板等に塗布液を塗布する塗布ヘッド
並びにこの塗布ヘッドを用いた塗布装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】ＷＯ９４／２７７３７には、ＬＣＤカラ
ーフィルター用大型ガラス基板に感光性樹脂の塗布液を
基板の主面に凹凸の影響を受けない均一な塗布膜として
形成する装置が開示されている。この装置は、図５に示
すように、装置本体１の一対の支持フレーム１Ａ間に基
板Ｓのスライド方向において下流側の端部が高くなるよ
うに傾斜した状態で取り付けられた直線状のガイドフレ
ーム２にスライド自在に取り付けられた基板ホルダー３
と、上向きに開口する直線状のスリット４ａを有し、こ
のスリット４ａがガイドフレーム２の軸方向と直交する
方向に延びるようにガイドフレーム２の下方に配置され
た塗布ヘッド４とを備える。

【０００３】基板ホルダー３は、ガイドフレーム２に沿
って設置されたボールねじ５に螺合されており、ボール
ねじ５がモータＭに沿ってスライドされるように構成さ
れており、また吸引管接続部３Ａに接続される図示しな
い吸引機構の作動によりその下向きの吸着面に基板Ｓを
吸着して保持するように構成されている。

【０００４】図６は、上記塗布装置の塗布開始時の状態
を示しており、基板ホルダー３の吸着面に吸着された基
板Ｓが、その先端部が塗布ヘッド４のスリット４ａの直
上に所定のクリアランスを介して対向するように位置せ
しめられている。

【０００５】塗布ヘッド４には塗布液供給機構から塗布
液Ｒが供給されると、図７に拡大図示するように、供給
された塗布液Ｒはスリット４ａから吐出されてビードＢ
が形成され、基板Ｓの先端部下面に付着する。このと
き、スリット４ａの開口部と基板ホルダー３に吸着され
た基板Ｓの下面との間の最小クリアランスＣ１は、ビー
ドＢから塗布液Ｒが零れ出さないように、塗布液Ｒの粘
度や表面張力等の物性を考慮して設定されている。

【０００６】図７において、ビードＢの基板Ｓの後端側
（図において左側）にメニスカスＬ１が形成され、基板
Ｓの後端側（図において左側）にメニスカスＬ２が形成
されており、このメニスカスＬ１の高さ寸法ｈ１とメニ
スカスＬ２の高さ寸法ｈ２は、ガイドフレーム２が角度
θで傾斜していることによってｈ１＜ｈ２の関係になっ
ている。

【０００７】図６の状態からモータＭが駆動され、ボー
ルねじ５が回転されることによって、基板ホルダー３が
ガイドフレーム２に沿って斜め上方にスライドされる。

【０００８】これによって図８及び図９に示されるよう
に、ビードＢから塗布液が基板Ｓの下面に順次付着さ
れ、塗布液Ｒの層Ｒａが形成される。このとき、塗布ヘ
ッド４には連続して塗布液Ｒの供給が行われ、ビードＢ
における塗布液Ｒの量が一定に保たれている。

【０００９】上記のように基板Ｓに対する塗布液の塗布
が行われている間、塗布ヘッド４への塗布液の供給は図
１０に示される塗布液供給機構から行われる。

【００１０】この塗布液供給機構は、加圧タンク（図示
せず）内に収容されている塗布液を手動バルブ３１を介
して供給される空気圧によって自動的に作動して、塗布
ヘッド４への塗布液の供給を停止する。そして、空気作
動弁３６の閉鎖と同時に、サックバックバルブ３７のピ
ストン３７ａが図１０に示す矢印の方向にスライドされ
てシリンダ３７ｂ内に負圧が発生され、これによって一
旦塗布ヘッドに供給された塗布液が、次の基板に対する
塗布開始までの間に乾燥して、その粘度が大きくなって
しまったり、更には固化してしまったりする恐れがあ
る。

【００１１】このように、塗布ヘッド内にその粘度が大
きくなったりまたは固化してしまった塗布液が残留して
いると、この塗布液が次の基板に塗布されるので、基板
の塗布面上に筋等が発生して均一な塗布を行うことがで
きなくなる。

【００１２】上記のような事情を考慮した、塗布ヘッド
における塗布液の乾燥を防止して、常に均一な塗布液の
塗布を行うことができると共に、塗布液の供給制御が容
易な塗布装置の塗布液供給機構が特開平９−１５５２７
０に開示されている。

【００１３】この塗布装置の塗布液供給機構は、図１１
に示すように、上方に向かって開口すると共に水平方向
に延びる帯状の吐出スリット１０Ａを有する塗布ヘッド
１０を備えた塗布装置において、塗布ヘッド１０の上面
に、吐出スリット１０Ａと平行に延びると共に開口面１
０Ｃが吐出スリット１０Ａの開口面１０ａよりも低い位
置に位置する吸込みスリッ１０Ｃが形成され、塗布液排
出口１０Ｇに循環ポンプＬ３を介して塗布液供給ポンプ
Ｐの吸い込み側が接続され、塗布液供給口１０Ｆに循環
パイプＬ１及びＬ２を介して塗布液供給ポンプの吐出側
が接続されて、塗布液排出口１０Ｇと塗布液供給口１０
Ｆとの間に塗布液の循環回路が形成されているものであ
る。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら特開平９
−１５５２７０に記載の塗布装置の塗布ヘッドには、図
１２に示すように、下記のような問題点がある。 (1) 塗布ヘッド１１は前壁１２と隔壁１４の間に吐出さ
れる塗布液の液溜め部１Ａと隔壁１４と後壁１３の間に
吸い込まれる塗布液の液溜め部１Ｂを備えており、吐出
スリットＳ１から吐出されてビードＢが形成され、過剰
の塗布液が吸込みスリットＳ２のほうへ流れるように構
成されているが、隔壁１４の先端が単純に鋭角に形成さ
れている場合、吸込みスリットＳ２への塗布液の流れが
幅方向に不均一となりビードから基板の塗布面に塗布液
を付着させる際に筋むら等の不良が生じる。 (2) また隔壁１４の先端の吸込みスリットＳ２側の傾斜
部１６の傾斜角度が大きいとき同様に吸込みスリットＳ
２への塗布液の流れが幅方向に不均一となりビードから
基板の塗布面に塗布液を付着させる際に筋むら等の不良
が生じる。 (3) ビードＢの液が前壁１２のエッジを越えて塗布ヘッ
ドの下方へ垂れてしまい塗布液の損失を生じる。 (4) 塗布液が塗布ヘッドの下方へ垂れることによって、
塗布ヘッドの下方に設けられたパンが汚され洗浄作業が
必要となる。 (5) 垂れた塗布液の固化したものがゴミとなって塗布面
に付着し塗布不良を起こす原因にもなる。

【００１５】本発明の目的は、塗布液が塗布ヘッドの吸
込みユニット内へ巾方向に均一に流れ落ち、安定したビ
ードを形成し、筋ムラ等の不良の発生はない塗布ヘッド
及びこの塗布ヘッドを用いた塗布装置を提供することで
ある。

【００１６】本発明の他の目的は、塗布液が塗布ヘッド
の吸込みユニット内へ巾方向に均一に流れ落ち、安定し
たビードを形成し、筋ムラ等の不良の発生はなく、且つ
塗布ヘッドの前壁のエッジからビードの液が下方へ垂れ
ることを防止した塗布ヘッド及び塗布装置を提供するこ
とである。

【００１７】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、上記の塗布ヘッドに係る第一の課題を解決するもの
で、前壁と後壁と前記両壁間を仕切る隔壁を備え、前
壁、後壁及び隔壁の両側部には夫々側壁が固着され、前
壁と隔壁の間に第１液溜め部が形成され、後壁と隔壁の
間に第２液溜め部が形成され、隔壁の先端には曲面状端
部が形成され、隔壁の前壁に対面する側には曲面状端部
の面に連続する鉛直面が形成され、隔壁の後壁に対面す
る側には曲面状端部に連続する鉛直面に対して１５°〜
３０°の傾斜角度で傾斜した傾斜面が形成されており、
前壁及び隔壁は後壁より高く形成され、前壁の上端とそ
れに対向する隔壁面間に吐出スリットが形成され、後壁
の上端とそれに対向する隔壁面間に塗布液の吸込スリッ
トが形成されていることを特徴とする。

【００１８】請求項２に記載の発明は、上記の塗布ヘッ
ドに係る第二の課題を解決するもので、前壁と後壁と前
記両壁間を仕切る隔壁を備え、前壁、後壁及び隔壁の両
側部には夫々側壁が固着され、前壁と隔壁の間に第１液
溜め部が形成され、後壁と隔壁の間に第２液溜め部が形
成され、隔壁の先端には曲面状端部が形成され、隔壁の
前壁に対面する側には曲面状端部の面に連続する鉛直面
が形成され、隔壁の後壁に対面する側には曲面状端部に
連続する鉛直面に対して１５°〜３０°の傾斜角度で傾
斜した傾斜面が形成されており、前壁及び隔壁は後壁よ
り高く形成され、前壁の上端とそれに対向する隔壁面間
に吐出スリットが形成され、後壁の上端とそれに対向す
る隔壁面間に塗布液の吸込スリットが形成されており、
前壁の先端の外側エッジは３０°〜６０°の角度に形成
されていることを特徴とする。

【００１９】本発明に係る塗布装置は請求項１又は２に
記載の塗布ヘッドを備え、この塗布ヘッドの吐出スリッ
トを上方へ塗布液を供給する手段とし、実質的に平板状
の基板を、傾斜状態で且つ傾斜角度調節可能に、しかも
基板下側の塗布をする面が下方に向くように支持する基
板支持手段と、塗布液ビードの、基板の高く位置する側
に面するメニスカスより大きい高さ寸法をもつような状
態に維持しつつ、基板の高く位置する端縁寄り部分から
低く位置する端縁寄り部分へ、基板が塗布ヘッドの吐出
スリットを横切って相対移動するように、基板と塗布ヘ
ッドを相対的に移動させる移動手段とを備える。

【００２０】本発明の塗布装置において、前壁には塗布
液の供給口が、また後壁には塗布液の排出口が夫々設け
られ、排出口には循環パイプを介して塗布液供給ポンプ
の吸い込み側が接続され、供給口には供給パイプを介し
て塗布液供給ポンプの吐出側が接続されている。

【００２１】本発明の塗布装置において、前壁には塗布
液の供給口が、また後壁には塗布液の排出口が夫々設け
られ、液面調整タンクを備え、この液面調整タンクはそ
の中間の高さ位置に吸込スリットの開口面が位置するよ
うに配置され、またこの液面調整タンクが吸込スリット
の開口面よりも低い位置において前記排出口と連通さ
れ、塗布液供給タンクを備え、この塗布液供給タンクは
塗布ヘッドよりも低い位置に配置され、液面調整タンク
は排出パイプを介して塗布液供給タンクに接続され、供
給口は塗布液供給ポンプを介して塗布液供給タンクに接
続されている。

【００２２】本発明によれば、隔壁の先端には曲面状端
部が形成され、隔壁の前壁に対面する側には曲面状端部
の面に連続する鉛直面が形成され、隔壁の後壁に対面す
る側には曲面状端部に連続する鉛直面に対して１５°〜
３０°の傾斜角度で傾斜した傾斜面が形成されているこ
とにより、塗布液が塗布ヘッドの吸込みユニット内へ巾
方向に均一に流れ落ち、安定したビードを形成し、筋ム
ラ等の不良の発生はなくなる。

【００２３】また、前壁の先端の外側角部は３０°〜６
０°に形成されていることにより、塗布ヘッドの前壁の
エッジからビードの液が下方へ垂れることが防止され
る。

【００２４】

【発明の実施の形態】以下に図面を参照して本発明につ
き説明する。図１及び図２は本発明の塗布ヘッドを示
し、図１は斜視図、図２は図１のＩ−Ｉ線で切断した状
態を示す。

【００２５】本発明の塗布ヘッド２１は前壁２２、後壁
２３及び隔壁２４を備える。前壁２２、後壁２３及び隔
壁２４の両側部には夫々側壁２５が固着され、前壁２２
と隔壁２４の間に第１液溜め部２１Ａが形成され、後壁
２３と隔壁２４の間に第２液溜め部２１Ｂが形成されて
いる。隔壁２４の先端には曲面状端部２６が形成され、
隔壁２４の前壁２２に対面する側には曲面状端部２６の
面に連続する鉛直面２７が形成され、隔壁２４の後壁２
３に対面する側には曲面状端部２６に連続する鉛直面に
対して１５°〜３０°の傾斜角度で傾斜した傾斜面２８
が形成されている。前壁２２及び隔壁２４は後壁２３よ
り高く形成され、前壁２２の上端とそれに対向する隔壁
２４面間に吐出スリットＳ１が形成され、後壁２３の上
端とそれに対向する隔壁２４面間に塗布液の吸込スリッ
トＳ２が形成されている。また、パッキングＤが設けら
れている。また、前壁２２には塗布液供給口（図示せ
ず）が設けられ、塗布液供給口から供給された塗布液が
第１液溜め部２１Ａを通って吐出スリットＳ１を経て吐
出され。ビードＢが形成される。また、後壁２３には塗
布液排出口（図示せず）が設けられており、ビードＢか
ら吸込スリットＳ２を経て第２液溜め部２１Ｂに流れた
塗布液はこの塗布液排出口から排出されるように構成さ
れている。

【００２６】隔壁２４の先端には曲面状端部２６が形成
され、隔壁２４の後壁２３に対面する側には曲面状端部
２６に連続する鉛直面に対して１５°〜３０°の傾斜角
度で傾斜した傾斜面２８が形成されていることにより、
吐出スリットＳ１２から吐出された塗布液は塗布ヘッド
の軸方向に均一に吸込みスリットＳ２に流れ落ちる。こ
れにより、ビードＢは軸方向に常時安定した形状を保つ
ことができ、ビードＢから基板（図示せず）の塗布面に
液を付着させる際、筋ムラ等の不良は発生しない。これ
に対し傾斜角度が１５°よりも小さいとき或いは３０°
よりも大きいときは、吸込みスリットＳ２への塗布液の
流れが幅方向に不均一となりビードから基板の塗布面に
塗布液を付着させる際に筋むら等の不良が生じる。

【００２７】また本発明の塗布ヘッドにおいて前壁２２
の先端の外側エッジ２９の角度βは３０°〜６０°であ
るのでビートＢの表面張力によりビードＢから基板の塗
布面への塗布を開始する等の塗布動作時の変化が生じる
際でもビードＢの液が外側エッジ２９を越えて前壁２２
の外壁を伝わり塗布ヘッド２１の下方へ垂れてしまうこ
とはない。これに対し外側エッジ２９の角度βが６０°
よりも大きいときは吐出側の液溜め部の前壁２２のエッ
ジを越えて塗布ヘッドの下方へ垂れてしまい塗布液の損
失を生じる。また、塗布液が塗布ヘッドの下方へ垂れる
ことによって、塗布ヘッドの下方に設けられたパンが汚
され洗浄作業が必要となる。さらには垂れた塗布液の固
化したものがゴミとなって塗布面に付着し塗布不良を起
こす原因にもなる。一方、角度βが３０°より小さいと
きは外側エッジ２９の加工が困難となる。

【００２８】図３は本発明の塗布ヘッドに塗布液を供給
する機構を示す。塗布ヘッド２１の前壁２２には第１液
溜め部２１Ａに連通する塗布液供給口１０Ｆが設けられ
ており、この塗布液供給口１０Ｆから第１液溜め部２１
Ａ内に塗布液が供給されるように構成されている。この
塗布液供給口１０Ｆは、塗布ヘッド２１の長手方向の中
央部に１個設けられていればよい。尚、複数の塗布液供
給口が存在すると筋ムラが発生するので好ましくない。

【００２９】塗布液供給口１０Ｆには供給パイプＬ１及
びＬ２を介して塗布液供給ポンプＰの吐出側が接続され
ており、この塗布液供給ポンプＰから塗布液供給口１０
Ｆに塗布液が供給されるように構成されている。供給パ
イプＬ１とＬ２の間には、フィルターＦが接続されてい
る。

【００３０】後壁２３に設けられた塗布液排出口１０Ｇ
には塗布液の循環パイプＬ３の一端部が接続され、この
循環パイプＬ３の他端部が塗布液供給ポンプＰの吸込み
側に接続されている。

【００３１】本発明の塗布装置は、図１、図２に示す塗
布ヘッド２１を備え、図５の従来の塗布装置の場合と同
様に、この塗布ヘッド２１の吐出スリットＳ１を上方へ
塗布液を供給する手段とし、実質的に平板状の基板を、
傾斜状態で且つ傾斜角度調節可能に、しかも基板下側の
塗布をする面が下方に向くように支持する基板支持手段
（基板ホルダー３）と、塗布液ビードＢの、基板の高く
位置する側に面するメニスカスより大きい高さ寸法をも
つような状態に維持しつつ、基板の高く位置する端縁寄
り部分から低く位置する端縁寄り部分へ、基板が塗布ヘ
ッドの吐出スリットＳ１を横切って相対移動するよう
に、基板と塗布ヘッドＳ１を相対的に移動させる移動手
段（ガイドフレーム２、ガイドフレーム２に沿って設置
されたボールねじ５及びボールねじを駆動するモーター
Ｍからなる）とを備える。

【００３２】上記塗布液供給機構を備える塗布ヘッド２
１は、図５の従来の塗布装置の場合と同様に、塗布装置
と同様に、塗布ヘッド２１が傾斜したガイドフレームに
沿って搬送される基板の搬送路の下方位置に吐出スリッ
トＳ１を上方に向けて配置され、塗布ヘッド２１の第１
液溜め部２１Ａ及び第２液溜め部２１Ｂ、供給パイプＬ
１、Ｌ２及び循環パイプＬ３内に塗布液が充満される。

【００３３】そして、塗布液供給ポンプＰが常時駆動さ
れており、この塗布液供給ポンプＰから塗布液供給口１
０Ｆに塗布液が供給される。

【００３４】塗布液供給口１０Ｆから第１液溜め部２１
Ａに導入された塗布液は、吐出スリットＳ１から塗布ヘ
ッドの上面上に吐出され、ビードＢが形成される。

【００３５】このビードＢには、塗布液供給ポンプＰが
常時駆動されていることによって常時吐出スリットＳ１
から塗布液が供給され、この塗布液の供給によってビー
ドＢこおける塗布液が供給され、この塗布液の供給によ
ってビードＢにおける塗布液の量が増加するが、この増
加分の塗布液は、吐出スリットＳ１の開口面よりも若干
低い位置に形成された開口面を有する吸込みスリットＳ
２の方向に流れる。

【００３６】そして、塗布液排出口１０Ｇ及び循環パイ
プＬ３を介して接続されている塗布液供給ポンプＰの吸
引力によって、ビードＢから吸込みスリットＳ２に流れ
た塗布液が第２液溜め部２１Ｂ内に吸い込まれる。この
第２液溜め部２１Ｂ内に吸込まれた塗布液は、塗布液排
出口１０Ｇ−循環パイプＬ３−塗布液供給ポンプＰ−供
給パイプＬ１−フィルターＦ−供給パイプＬ１−フィル
ターＦ−供給パイプＬ２の経路で循環して塗布液供給口
１０Ｆから再び第１液溜め部２１Ａ内に導入される。

【００３７】上記のように塗布ヘッド１０内には常時塗
布液が充満され、且つこの塗布液が循環されているの
で、塗布液の粘度上昇や固化が生じて基板への塗布が不
均一なことが有効に防止される。

【００３８】また、前述したように、隔壁２４の曲面状
端部２６及び曲面状端部２６に連続する鉛直面に対して
１５°〜３０°の傾斜角度で傾斜した傾斜面２８は、吐
出スリットＳ１２から吐出された塗布液が塗布ヘッドの
軸方向に均一に吸込みスリットＳ２に流れ落ちるように
する役目を果たすので、筋ムラ等の発生は防止される。

【００３９】また、塗布液が塗布液供給ポンプＰから塗
布ヘッド２１に供給される際に、塗布液がフィルターＦ
を通過することによって循環路内における塗布液の量が
徐々に減っていくことになるが、塗布液供給機構の循環
路の総面積を十分に大きくすることによって、塗布液の
減少による塗布膜の厚さへの影響を少なくすることがで
きる。

【００４０】なお、塗布液供給機構への塗布液の補給
は、供給パイプＬ１、Ｌ２又は循環パイプＬ３内に図示
しない三方弁を介して補給タンクから塗布液を供給する
方法等の方法によって行うことができる。

【００４１】図４は本発明の塗布ヘッド２１と組み合わ
せて瀬使用する他の塗布液供給機構を示す。

【００４２】塗布液排出口１０Ｇには排出パイプＬ４を
介してサブタンク４１が接続され、このサブタンク４１
には、下端部が塗布液供給タンク１２内に挿入された排
出パイプＬ５が接続されている。

【００４３】サブタンク４１は中を循環する塗布液の液
位が塗布ヘッド２１の吸込みスリットＳ１の開口面と同
じ高さを取ることができる位置に配置されており、排出
パイプＬ４はこのサブタンク４１の底部に接続され、排
出パイプＬ５はサブタンク４１の側壁の吸込みスリット
Ｓ２の開口面とほぼ同じ高さ程度に接続されている。

【００４４】塗布液供給ポンプＰの吸引側には吸引パイ
プＬ６が接続され、この吸引パイプＬ６の下端部は塗布
液供給タンク４２内に挿入されている。この塗布液供給
タンク４２の上部は開放されている。

【００４５】塗布ヘッド２１の第１液溜め部２１Ａ、第
２液溜め部２１Ｂ、供給パイプＬ１、Ｌ２、排出パイプ
Ｌ４及びサブタンク４１内には塗布液が充満されてい
る。

【００４６】塗布供給タンク４２内の塗布液は、塗布液
供給ポンプＰの駆動によって吸引パイプＬ６に吸い上げ
られることにより、供給パイプＬ１、フィルターＦ及び
供給パイプＬ２を介して塗布液供給口１０Ｆから塗布ヘ
ッド２１の第１液溜め部２１Ｂに導入される。

【００４７】そして、第１液溜め部２１Ａに導入された
塗布液は、図３の塗布液供給機構の場合と同様に、吐出
スリットＳ１から塗布ヘッド２１の上面上に吐出されて
ビードＢを形成し、さらにこのビードＢから過剰な塗布
液が吸込みスリットＳ２の方向に流れる。

【００４８】このとき、塗布液排出口１０Ｇとサブタン
ク４１の底部とが排出パイプＬ４を介して連通されてい
ることによりサブタンク１１内の塗布液の液面と吸込ス
リットＳ２における塗布液の液面とが平衡して同一高さ
に維持されるので、ビードＢから吸込みスリットＳ２に
流れる塗布液によってスリット１０Ｃにおける塗布液の
液面が上昇するとサブタンク４１内の塗布液の液面も上
昇して、上昇分だけ塗布液がサブタンク４１から排出パ
イプＬ５を介して塗布液供給タンク４２内に排出され
る。

【００４９】上述のようにサブタンク１１が設けられて
いることによって、吸込みスリットＳ２における塗布液
の液位が一定の高さに維持されるので第２液溜め部２１
Ｂから塗布液が流出して塗布液と空気との接触面積が増
大することが防止される。

【００５０】また、本発明の塗布ヘッドにおいては筋ム
ラ等の発生がないことから循環ポンプとして例えばシリ
ンジ型ポンプを使用し、基板への塗布動作時に塗布液を
シリンジ型ポンプから吐出スリットへ吐出し、塗布動作
外においては塗布液タンクからシリンジ型ポンプに吸入
され、その際には吐出スリットから吐出しない、間欠塗
布動作時においても、吐出初期時でも瞬時に液の流れが
塗布ヘッド２１の幅方向にわたり均一となりビードＢか
ら基板の塗布面に塗布液を付着させる際に筋ムラ等の不
良は発生しない。

【００５１】

【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明の塗布
ヘッドは吐出スリットから吐出される塗布液が吸込みス
リットへ流れ落ちる際、幅方向に均一に流れるために安
定したビードを形成することができ、筋ムラ等の不良が
発生しないという利点を有する。

【００５２】また塗布液が前壁の外側エッジから前壁の
外壁面を伝って塗布ヘッドの下方へ垂れることがないた
め、塗布液の損失がないという利点を有する。また、垂
れる塗布液を受けるパンの洗浄の必要がなく垂れた塗布
液が固着しゴミとなって基材の塗布面に付着することが
なてという利点を有する。

【００５３】また本発明の塗布ヘッドを備える塗布装置
によれば筋ムラ等の不良のない製品を提供することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の塗布ヘッドの斜視図である。

【図２】図１に示すＩ−Ｉ線で切断した断面を図示する
一部断面図示斜視図である。

【図３】塗布液供給機構を備える本発明の塗布ヘッドの
一例の略図である。

【図４】塗布液供給機構を備える本発明の塗布ヘッドの
他の例の略図である。

【図５】従来の塗布装置を示す略図である。

【図６】図５に図示する従来例における塗布開始時の基
板とビードとの関係を示す略図である。

【図７】図５に図示する従来例における塗布開始時のビ
ードの状態を示す説明図である。

【図８】図５に図示する従来例における塗布途中の基板
とビードとの関係を示す略図である。

【図９】図５に図示する従来例における塗布途中のビー
ドの状態を示す説明図である。

【図１０】図５に図示する従来例の塗布液供給機構の略
図である。

【図１１】特開平９−１５５２７０に記載の塗布装置の
塗布液供給機構の説明図である。

【図１２】図５に図示する塗布ヘッドの問題点の説明図
である。

【符号の説明】

２１ 塗布ヘッド ２２ 前壁 ２３ 後壁 ２４ 隔壁 ２５ 側壁 ２６ 隔壁の曲面状端部 ２７ 側壁鉛直面 ２８ 隔壁の傾斜面 ２９ 前壁の先端の外側エッジ α 鉛直面に対する隔壁の傾斜角度 β 前壁の先端の外側エッジの角度

フロントページの続き (72)発明者 中島 泰秀 東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号 大日本印刷株式会社内 (72)発明者 宮川 俊二 東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号 大日本印刷株式会社内 Ｆターム(参考） 4F041 AA02 AA05 AB02 BA05 BA12 CA03 CA12 CA16 CA23 CA28 4F042 AA08 CA01 CB02 CB20 CC07 DF09 DF24

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 前壁と後壁と前記両壁間を仕切る隔壁を
   備え、前壁、後壁及び隔壁の両側部には夫々側壁が固着
   され、前壁と隔壁の間に第１液溜め部が形成され、後壁
   と隔壁の間に第２液溜め部が形成され、隔壁の先端には
   曲面状端部が形成され、隔壁の前壁に対面する側には曲
   面状端部の面に連続する鉛直面が形成され、隔壁の後壁
   に対面する側には曲面状端部に連続する鉛直面に対して
   １５°〜３０°の傾斜角度で傾斜した傾斜面が形成され
   ており、前壁及び隔壁は後壁より高く形成され、前壁の
   上端とそれに対向する隔壁面間に吐出スリットが形成さ
   れ、後壁の上端とそれに対向する隔壁面間に塗布液の吸
   込スリットが形成されていることを特徴とする塗布ヘッ
   ド。
2. 【請求項２】 前壁と後壁と前記両壁間を仕切る隔壁を
   備え、前壁、後壁及び隔壁の両側部には夫々側壁が固着
   され、前壁と隔壁の間に第１液溜め部が形成され、後壁
   と隔壁の間に第２液溜め部が形成され、隔壁の先端には
   曲面状端部が形成され、隔壁の前壁に対面する側には曲
   面状端部の面に連続する鉛直面が形成され、隔壁の後壁
   に対面する側には曲面状端部に連続する鉛直面に対して
   １５°〜３０°の傾斜角度で傾斜した傾斜面が形成され
   ており、前壁及び隔壁は後壁より高く形成され、前壁の
   上端とそれに対向する隔壁面間に吐出スリットが形成さ
   れ、後壁の上端とそれに対向する隔壁面間に塗布液の吸
   込スリットが形成されており、前壁の先端の外側エッジ
   は３０°〜６０°の角度に形成されていることを特徴と
   する塗布ヘッド。
3. 【請求項３】 請求項１又は２に記載の塗布ヘッドを備
   え、この塗布ヘッドの吐出スリットを上方へ塗布液を供
   給する手段とし、実質的に平板状の基板を、傾斜状態で
   且つ傾斜角度調節可能に、しかも基板下側の塗布をする
   面が下方に向くように支持する基板支持手段と、塗布液
   ビードの、基板の高く位置する側に面するメニスカスよ
   り大きい高さ寸法をもつような状態に維持しつつ、基板
   の高く位置する端縁寄り部分から低く位置する端縁寄り
   部分へ、基板が塗布ヘッドの吐出スリットを横切って相
   対移動するように、基板と塗布ヘッドを相対的に移動さ
   せる移動手段とを備えることを特徴とする塗布装置。
4. 【請求項４】 前壁には塗布液の供給口が、また後壁に
   は塗布液の排出口が夫々設けられ、排出口には循環パイ
   プを介して塗布液供給ポンプの吸い込み側が接続され、
   供給口には供給パイプを介して塗布液供給ポンプの吐出
   側が接続されていることを特徴とする請求項３に記載の
   塗布装置。
5. 【請求項５】 前壁には塗布液の供給口が、また後壁に
   は塗布液の排出口が夫々設けられ、液面調整タンクを備
   え、この液面調整タンクはその中間の高さ位置に吸込ス
   リットの開口面が位置するように配置され、またこの液
   面調整タンクが吸込スリットの開口面よりも低い位置に
   おいて前記排出口と連通され、塗布液供給タンクを備
   え、この塗布液供給タンクは塗布ヘッドよりも低い位置
   に配置され、液面調整タンクは排出パイプを介して塗布
   液供給タンクに接続され、供給口は塗布液供給ポンプを
   介して塗布液供給タンクに接続されていることを特徴と
   する請求項３に記載の塗布装置。