JP2000202346A

JP2000202346A - 塗布装置

Info

Publication number: JP2000202346A
Application number: JP11006267A
Authority: JP
Inventors: Takashi Yaguchi; 矢口　　孝; Masayuki Murata; 村田　　正幸; Shinichiro Murakami; 慎一郎村上; Jun Takemoto; 潤竹本; Shunji Miyagawa; 俊二宮川; Yasuhide Nakajima; 泰秀中島
Original assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Current assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date: 1999-01-13
Filing date: 1999-01-13
Publication date: 2000-07-25
Anticipated expiration: 2019-01-13
Also published as: JP4390886B2

Abstract

(57)【要約】【課題】塗布ヘッドを含む塗布液供給手段を、簡便迅
速に着脱できる塗布装置を得る。【解決手段】塗布液供給手段１は、塗布ヘッド２と、
塗布液循環ポンプＰと、塗布液濾過フィルタＦと、塗布
液貯留タンクＴとを含み、前記塗布ヘッド２を含む塗布
液供給手段１は、位置決め可能な結合手段５を介して塗
布装置に装着され、また、塗布装置に連接可能な移動自
在な台車４０へ移載可能に構成した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ガラス基板などの
枚葉タイプの基板に、効率よくかつ均一な膜厚の塗布膜
を形成する塗布装置に係り、特に、塗布ヘッドを含む塗
布液供給手段を、簡便かつ迅速に着脱できる塗布装置に
関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶表示装置やプラズマディスプレイな
どに用いられるガラス基板に、感光性樹脂膜や接着剤
層、保護膜などを形成するための樹脂溶液やインキなど
の塗布液を塗布する方式としては、一般に回転塗布方式
が多用されている。回転塗布方式には開放型と密閉型が
あるが、いずれも、塗布液の塗布効率が低く、しかも、
基板のコーナ部分の塗布膜厚が厚くなりすぎるという欠
点があり、今後見込まれる基板寸法の大型化にともなっ
て、塗布液の使用量、塗布膜厚の均一性、および塗布工
程の生産性などの点において課題が多い。

【０００３】そこで、回転塗布方式における欠点を解消
するとともに、塗布液自体の物性や基板の平滑度の影響
を受けることが少なく、安定して均一な膜厚の塗布膜を
枚葉基板に形成できる塗布装置を、国際出願ＰＣＴ／Ｊ
Ｐ９４／００８４５（国際出願日：１９９４年５月２７
日）において、本出願人は先に提案した。

【０００４】この塗布装置は、上方へ向かって開口する
とともに、水平方向に延びる帯状のスリットを有する塗
布ヘッドと、塗布ヘッドに塗布液を供給する塗布液供給
手段と、塗布ヘッドの上方に対向して配置され、塗布面
を下方へ向け、かつ傾斜状態に基板を吸着保持する基板
保持部材とを備えている。この塗布装置では、先ず、塗
布ヘッドに塗布液を供給してスリットから塗布液を吐出
し、基板と塗布ヘッドとの間隙に帯状の液溜まりを形成
する。次いで、この液溜まりを横切る方向へ、塗布ヘッ
ド、または基板を保持した基板保持部材を相対的に移動
させることによって、塗布液の液溜まりを基板の塗布面
に順次接触させ、基板に塗布膜を形成する。

【０００５】上記塗布装置は、塗布液の粘度や表面張力
などの物性、および基板の濡れ性や平滑度などに対応し
て、所望の均一な塗布膜厚を得るために、基板の塗布面
と塗布ヘッドとの間隙を調節する機構、および、前記間
隙を維持した状態で、基板の傾斜角度を調節する機構、
さらに、基板を吸着保持した基板保持部材と塗布ヘッド
との相対的な移動速度を調節する機構などを備えてい
る。この塗布装置によると、塗布液の塗布効率がよく、
しかも枚葉基板であっても、塗布面の平滑度に影響され
ず、基板の片面のみに、広い領域にわたって均一な膜厚
の塗布膜を形成することができる。

【０００６】次いで、上記塗布装置における塗布膜形成
基板の生産性をより向上するため、基板を吸着保持する
基板保持部材の外周の複数箇所に、塗布処理する基板の
外周よりも内側に延びた空間部を設けた。そして、前記
塗布装置へ基板を供給したり、塗布装置から基板を排出
する際、基板を着脱するための基板着脱部材が、基板着
脱位置に係止した基板保持部材の前記空間部を通過しな
がら、基板を装着、または離脱するように構成した塗布
装置を、特願平９ー１９５７５（出願日：１９９７年１
月２０日）において提案した。この塗布装置によれば、
複雑な機構を用いることなく、塗布処理後の基板排出や
塗布処理前の基板供給を、高速かつ確実に行えるので、
塗布膜形成基板の生産性を高められる。

【０００７】さらに、本出願人は、基板に形成する塗布
膜の膜厚をより均一にするため、上記塗布方式に加え、
従来の回転塗布方式を併用した塗布装置を、特願平９ー
３１２３７（出願日：１９９７年１月３０日）において
提案した。これは、すでに塗布液を塗布された基板を高
速回転することにより、均一な膜厚の塗布膜領域を拡大
し、塗布膜形成基板の有効寸法を大きくする効果があ
る。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記いずれ
の塗布装置においても、塗布処理する基板の寸法や材質
を変更する場合や、基板に塗布する塗布液を交換する場
合が生じる。また、塗布処理を終了したときは、塗布装
置に残留している塗布液の除去や清掃を行う必要があ
る。しかしながら、従来の塗布装置では、所望の塗布膜
特性を得るために、塗布ヘッド等が装置に固定され、取
り外しが困難であった。そのため、例えば、塗布液を交
換する場合、残留塗布液の除去作業や清掃作業、別種塗
布液の充填作業などを、塗布装置内の狭い空間で行わな
ければならず、作業効率上も、作業環境上も好ましいも
のではなかった。

【０００９】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであり、上向きに開口したスリットを有する塗布
ヘッドに塗布液を供給して、スリットから塗布液を吐出
し、下向きに傾斜して保持された基板に塗布液を塗布す
る塗布装置において、塗布液の交換作業や清掃作業を容
易ならしめ、かつ、塗布装置の稼働率を高めることので
きる塗布装置を得ることを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明の塗布装置では、
塗布ヘッド、塗布液循環ポンプ、塗布液濾過フィルタ、
塗布液貯留タンクを含む塗布液供給手段を、位置決め可
能な固定手段を介して、塗布装置に装着可能な構造と
し、また、塗布液供給手段を、塗布装置に連接可能な移
動自在な台車へ移載可能に構成する。

【００１１】すなわち、塗布ヘッドを含む塗布液供給手
段をユニット構造にするとともに、位置決め可能な固定
手段を用いて、塗布装置へ迅速簡便に装着可能とし、ま
た、前記固定手段を解除することによって、塗布装置に
連接した移動自在な台車へ、塗布液供給手段を移載可能
とした。

【００１２】したがって、塗布装置の本体とは別に、例
えば、２台の移動台車と、２組の塗布液供給手段とをあ
らかじめ準備して、各移動台車に、それぞれ、塗布ヘッ
ドを含む塗布液供給手段を載置し、各塗布液供給手段に
それぞれ塗布液を充填しておけば、塗布液の交換を迅速
化できる。また、塗布液供給手段を洗浄するときは、塗
布装置から移動台車に移し換えて作業できるので、作業
効率や作業環境が大幅に改善でき、塗布装置の運転効率
も飛躍的に向上する。

【００１３】

【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態を、図
面に基づいて詳細に説明する。なお、図１は、塗布処理
中の塗布装置を示す外観斜視図であり、図２は、塗布装
置に装着す塗布液供給手段の構成例を示す模式図であ
る。また、図３は、塗布液供給手段の着脱動作を示す部
分斜視図である。

【００１４】（塗布装置の構成）先ず、塗布装置本体の
構成について説明する。図１は、塗布処理中の塗布装置
を示す外観斜視図であり、１０は、塗布装置の本体を示
す。図において、１２は、基板保持部材である。基板保
持部材１２の下向きになった保持平面には、塗布処理を
施すための基板（図示せず）が吸着保持されている。基
板保持部材１２は、回動軸１３を介して塗布部躯体１１
に軸承され、駆動源Ｍ１を駆動して回動軸１３を図に示
す矢印方向に回動することにより、基板保持部材１２に
吸着保持された基板を、図に示す基板に塗布液を塗布す
るための下向きの塗布処理位置と、基板を基板保持部材
１２に装着したり離脱するときの、上向きの基板着脱位
置との間で反転移動することができる。

【００１５】２は、塗布処理位置に位置し、下向きに傾
斜した基板保持部材１２の保持平面（図では下向き）に
吸着保持された基板に、塗布液を塗布する塗布ヘッドで
ある。塗布ヘッド２は、上向きに開口した帯状に延びる
スリットを備えている。１４は、前記塗布ヘッド２を、
基板の傾斜角度と平行に移動するためのリニアガイドで
ある。また、１５は、塗布ヘッド２を保持し、リニアガ
イド１４上を移動する移動基台である。移動基台１５
は、リニアガイド１４に沿って配置された図示しないボ
ールネジに連結されており、ボールネジの他端に設けら
れた駆動源Ｍ２を駆動してボールネジを回転することに
より、連結された移動基台１５がリニアガイド１４上を
移動する。このとき、移動基台１５に搭載された塗布ヘ
ッド２が、基板保持部材１２に吸着保持された基板と一
定の間隙を維持して移動するように、リニアガイド１４
は、塗布処理位置に位置した基板保持部材１２の保持平
面と平行に配置される。

【００１６】なお、塗布ヘッド２は、移動基台１５に組
み込まれた図示しない高さ調整手段によって、基板保持
部材１２に吸着保持される基板との間隙を調節可能にリ
ニアガイド１４に載置されている。塗布ヘッド２と基板
との前記間隙は、基板に塗布する塗布液の粘度や表面張
力、基板に対する濡れ性などの物理的特性、および基板
に塗布する塗布膜の膜厚などを考慮して、最適な寸法に
調節する。

【００１７】図１において、１１は、基板保持部材１２
を回動可能に軸承するとともに、塗布処理位置における
基板保持部材１２の基板保持平面に対向して、移動基台
１５に固定された塗布ヘッド２を平行に移動するための
リニアガイド１４を固定する塗布部躯体である。また、
３１は、塗布部回動軸３２、および塗布部傾斜機構３３
を介して塗布部躯体１１を、所定の傾斜角度で保持する
架台である。そして、この架台３１に設けた駆動源Ｍ３
を駆動して、塗布部傾斜機構３３を動作させることによ
り、塗布部回動軸３２を中心として塗布部躯体１１を回
動し、所定の角度に傾斜することができる。

【００１８】塗布部躯体１１の傾斜角度は、基板に塗布
する塗布液の粘度や表面張力、基板に対する濡れ性など
の物理的特性、および基板に塗布される塗布膜の膜厚な
どを考慮して最適な角度に調節する。このように、塗布
部躯体１１を傾斜することによって、基板保持部材１２
に吸着保持された塗布処理を受ける基板は、図に示すよ
うに所定の角度で傾斜することになり、さらに、傾斜し
た基板に対して一定の間隙を維持しながら、基板の塗布
主面と平行に塗布ヘッド２をスライドすることができ
る。

【００１９】本塗布装置１０において、下向きに傾斜し
て基板塗布部材１２に吸着保持された基板に塗布処理を
施すときは、図１に示すように、塗布部躯体１１を所定
の角度で傾斜させておく。次いで、上向きに開口した帯
状に延びるスリットを備えた塗布ヘッド２に塗布液を供
給してスリットから塗布液を吐出し、基板と塗布ヘッド
２との間隙に塗布液の液溜まりを形成する。そして、図
に示す塗布開始位置から斜め下方に向けて、液溜まりを
形成した塗布ヘッド２を、駆動源Ｍ２を駆動して基板の
塗布主面と平行にリニアガイド１４に沿って移動させ、
塗布ヘッドとの間隙に形成された液溜まりを基板に付着
させて、基板の塗布主面に塗布膜を形成する。

【００２０】（塗布処理動作）次に、上記した塗布装置
における基板への塗布処理動作について説明する。塗布
装置１０は、先ず、駆動源Ｍ１を駆動して、基板保持部
材１２を回動軸１３を中心にして回転し、図示しない基
板着脱位置に反転し、ここで基板を装着する。次いで、
基板を吸着保持した基板保持部材１２を、図に示す塗布
処理位置まで駆動源Ｍ１を駆動して反転する。塗布処理
位置に反転した基板保持部材１２は、塗布部躯体１１に
設けられた図示しないストッパーにより、所定の傾斜角
度で塗布処理位置に固定される。

【００２１】次に、移動基台１５に載置された塗布ヘッ
ド２を含む塗布液供給手段が、駆動源Ｍ２によって駆動
され、リニアガイド１４に沿って図に示す塗布開始位置
から右斜め下方に向かってスライドされる。図示されて
いないが、塗布ヘッド２の最上面には、塗布液循環ポン
プＰにて塗布ヘッド２に供給された塗布液が液溜まりを
形成しており、塗布ヘッド２がスライドされることによ
って、前記液溜まりが基板の下向きになった塗布主面に
順次付着し、基板に均一な膜厚の塗布膜を形成する。基
板の全長にわたって塗布処理を終えた塗布ヘッド２は、
その後、塗布終了位置にて停止する。

【００２２】次に、駆動源Ｍ１を駆動して、基板保持部
材１２を基板着脱位置に再び反転し、係止する。次い
で、図示しない基板排出装置にて基板保持部材１２上に
載置された塗布処理済の基板を離脱する。さらに、塗布
処理を受ける次の新しい基板を、図示しない基板供給装
置から受け取ったのち、再び基板保持部材１２を反転し
て塗布処理位置に戻し、塗布処理を再開する。上記一連
の工程を繰り返すことによって、順次連続して枚葉基板
に塗布処理を施すことができる。

【００２３】（塗布液供給手段の構成）ここで、上記塗
布装置における塗布液供給手段の構成について説明す
る。図２は、本発明の塗布装置で用いられる塗布ヘッド
の断面形状、および塗布ヘッド２への塗布液供給機構の
構成を示している。図において、２は塗布ヘッド、Ｆは
塗布液濾過フィルタ、Ｐは塗布液循環ポンプ、Ｔは塗布
液貯留タンクである。図において、塗布ヘッド２は、こ
の塗布ヘッド２の長手幅方向と平行に、水平に延びるよ
うに形成され、上面に開口した吐出スリット２０と、内
部に形成された吐出液溜め部２２とを備えていて、この
吐出液溜め部２２は吐出スリット２０の全域にわたって
連通されている。前記吐出スリット２０と吐出液溜め部
２２とは、図に斜線で示す前壁部２６と隔壁部２７とで
構成される。

【００２４】吐出液溜め部２２を構成する前壁部２６に
は、吐出液溜め部２２に連通する塗布液供給口２４が設
けられていて、この塗布液供給口２４から、吐出液溜め
部２２に塗布液が供給される。この塗布液供給口２４
は、塗布ヘッド２の長手幅方向において、その中央部に
１個設けられていればよいが、塗布ヘッド２の長手幅方
向に沿って、複数個設けるようにしてもよい。

【００２５】塗布ヘッド２の上面には、吐出スリット２
０と平行に延びるように、吐出スリット２０から吐出さ
れて形成された液溜まりＢの塗布液を吸い込むための、
さらにもう１本のスリット２１が形成されている。この
吸込スリット２１は、その開口面が、図面から分かるよ
うに、塗布ヘッド上面の吐出スリット２０の開口面より
わずかに低い位置に形成されている。また、塗布ヘッド
２の内部には、隔壁部２７によって分離された排出液溜
め部２３が形成され、この排出液溜め部２３が吸込スリ
ット２１の全域にわたって連通され、前記吸込スリット
２１と排出液溜め部２３とは、図に斜線で示す隔壁部２
７と後壁部２８とによって構成されている。

【００２６】排出液溜め部２３を構成する後壁部２８に
は、排出液溜め部２３に連通する塗布液排出口２５が設
けられていて、この塗布液排出口２５から排出液溜め部
２３内の塗布液が排出されるようになっている。この塗
布液排出口２５も、塗布液供給口２４と同様に、塗布ヘ
ッド２の長手幅方向において、その中央部に１個設けら
れていればよいが、複数個設けるようにしてもよい。

【００２７】本塗布装置では、上記構成の塗布ヘッド２
に、以下に述べる塗布液供給機構が接続されている。図
に示すように、塗布ヘッド２の前壁部２６に設けられた
塗布液供給口２４には、塗布液供給管７１、７２を介し
て塗布液濾過フィルタＦの吐出側が接続されており、ま
た、塗布液供給パイプ７１と７２との間には、流路切替
弁Ｖ１が設けられ、塗布液戻り管９１が接続されてい
る。この塗布液戻り管９１の他端は塗布液貯留タンクＴ
に挿入されている。塗布液濾過フィルタＦの吸入側は、
塗布液供給管７３、７４を介して塗布液循環ポンプＰの
吐出側が接続されており、また、塗布液供給パイプ７３
と７４との間には、流量調節弁Ｖ２が設けられている。
塗布液循環ポンプＰの吸入側には塗布液供給管７５が接
続され、この塗布液供給管７５の他端は、塗布液貯留タ
ンクＴに挿入されている。

【００２８】一方、塗布ヘッド２の後壁部２８に設けら
れた塗布液排出口２５には、塗布液戻り管９２が接続さ
れ、その他端は、塗布液貯留タンクＴに挿入されてい
る。この塗布液貯留タンクＴには、塗布液補給管８１、
８２を介して、図示しない塗布液補給タンクから、いつ
でも塗布液を補給することができる。また、塗布液補給
管８１と８２の間には、塗布液の補給量を調節するため
の補給調節弁Ｖ３が接続されている。

【００２９】（塗布液供給手段の作用動作）図２に示し
た塗布液供給機構では、塗布液貯留タンクＴ内に充填さ
れた塗布液が、塗布液循環ポンプＰの駆動によって、塗
布液供給管７５〜７１を介して、塗布ヘッド２の塗布液
供給口２４から吐出液溜め部２２に導入される。この
間、流量調節弁Ｖ２によって、塗布ヘッド２に供給され
る塗布液の量が一定量に調節され、また、塗布液濾過フ
ィルタＦによって、塗布液に含まれる固化分が濾過され
る。そして、吐出液溜め部２２に導入された塗布液は、
吐出スリット２０を経由して、塗布ヘッド２の上面に吐
出し、液溜まりＢを形成する。さらに、この液溜まりＢ
から、過剰な塗布液が吸込スリット２１の方向に流れ
る。

【００３０】吸込スリット２１を通って、吐出液溜め部
２３に流れ込んだ過剰の塗布液は、塗布ヘッドの後壁部
２８に設けた塗布液排出口２５から、塗布液戻り管９２
を介して、塗布液貯留タンクＴに回収される。すなわ
ち、本塗布液供給手段では、塗布液循環ポンプＰを常時
駆動することによって、塗布液貯留タンクＴに充填され
た塗布液が、一定量づつ塗布ヘッド２に供給されて、吐
出スリット２０から吐出し、塗布ヘッド上面に液溜まり
Ｂを形成するが、この液溜まりＢの過剰な塗布液は、塗
布ヘッド２に設けられた吸込スリット２１に流れ込み、
塗布液排出口２５から、塗布液戻り管９２を介して、塗
布液貯留タンクＴに回収されるので、塗布ヘッド２を含
む塗布液供給手段の中で塗布液が常に循環することにな
る。

【００３１】このように、塗布ヘッド２内には常時塗布
液が充満され、かつ、この塗布液が循環されているの
で、塗布液の粘度上昇や固化を生じて基板への塗布が不
均一になるのが効果的に防止される。また、塗布液が塗
布液循環ポンプＰから塗布ヘッド２に供給される際に、
塗布液濾過フィルタＦを通過することによって、万一塗
布液に固化分がある場合であっても、この固化分が濾過
されるので、吐出スリット２０から吐出した塗布液は、
塗布ヘッド２の上面に、均一な液溜まりを形成すること
ができる。

【００３２】上述の如く構成された塗布液供給手段にお
いて、基板に塗布する塗布液を交換するときや、塗布処
理を終了する場合、塗布ヘッドを含む塗布液供給手段の
各部に貯留している塗布液をすべて除去し、塗布液供給
手段を洗浄する必要がある。塗布液を除去する際は、先
ず、塗布液循環ポンプＰの駆動を止め、塗布液の循環を
停止する。次いで、流路切替弁Ｖ１を操作して、塗布ヘ
ッド２の吐出液溜め部２２に貯留している塗布液を、塗
布液供給管７１、および塗布液戻り管９１を介して塗布
液貯留タンクＴに回収する。なお、塗布ヘッド２の排出
液溜め部２３に貯留している塗布液は、塗布液戻り管９
２を介して自重により塗布液貯留タンクＴに回収され
る。

【００３３】塗布ヘッド２内の塗布液を塗布液貯留タン
クＴに回収したら、塗布液貯留タンクＴを取り外し、洗
浄液を充填した洗浄用タンクを交換装着する。そして、
塗布液循環ポンプＰを駆動して、塗布液濾過フィルタ
Ｆ、塗布ヘッド２、および流量調節弁などの各バルブ
や、それらを接続しているパイプに洗浄液を供給循環し
て、塗布液を溶解希釈し、洗浄用タンクに回収する。も
し、塗布ヘッド２を含む塗布液供給手段の洗浄が不十分
なときは、再度、新しい洗浄液を充填した洗浄用タンク
を塗布液供給手段に交換装着し、洗浄作業を繰り返す。
このとき、塗布ヘッド２の吐出スリット２０や吸込スリ
ット２１の液溜まり形成部周辺は、拭き取り清掃具を用
いて入念に清掃するのが望ましい。

【００３４】（塗布液供給手段の実施例）本発明の塗布
装置では、上記構成の塗布ヘッド２を含む塗布液供給手
段１を、塗布装置本体に容易に着脱できるように構成し
た。すなわち、図３に示す外観斜視図から分かるよう
に、先ず、塗布ヘッドを固定するための移動基台１５上
に、移動基台１５の移動方向と平行な方向に延びる、左
右および上下方向の位置を規制するガイドレール群を設
けている。一方、塗布ヘッド２を含む塗布液供給手段
は、基台４に装着されており、基台４の下面には、移動
基台１５上のガイドレール群と噛み合って摺動する図示
しない摺動部材を備えている。したがって、塗布ヘッド
２を含む塗布液供給手段は、移動基台１５上において、
移動基台の移動方向と平行な方向に位置規制されなが
ら、ガイドレール群に沿って摺動可能となる。

【００３５】なお、塗布液供給手段１の基台４には、位
置決め可能な固定手段が設けられ、この固定手段は、例
えば、ハンドルを備えたネジ式の一対の固定具５で構成
される。この固定具５を回転して締めることにより、塗
布ヘッドを含む塗布液供給手段１が移動基台１５に固定
される。また、固定具５を回転して緩めることにより、
塗布ヘッドを含む塗布液供給手段１が、移動基台１５上
を摺動可能になり、図３に示す矢印方向に移動して、移
動基台１５から塗布液供給手段１を離脱することができ
る。

【００３６】次に、塗布装置に着脱可能に装着される塗
布液供給手段１の具体的構成について、図を用いて説明
する。なお、図４は、本塗布装置に用いられる塗布液供
給手段１の正面図であり、図５は、塗布液供給手段１の
平面図である。なお、図４において、１５は、塗布ヘッ
ド２を含む塗布液供給手段１を塗布装置に装着するため
の移動基台である。移動基台１５の上部には、塗布液供
給手段１の装着位置を規制するためのガイドレール群１
６、１７が設けられている。なお、１６は、塗布液供給
手段１の上下位置を規制するための、断面がコの字状の
一対のガイドレールである。また、１７は、塗布液供給
手段１の左右位置を規制するための直角棒状の一対のガ
イドレールである。これらのガイドレール群は、紙面に
垂直な方向、すなわち、移動基台１５の移動方向と平行
な方向に延びている。

【００３７】一方、塗布液供給手段１を構成する塗布ヘ
ッド等は、移動基台１５上のガイドレール群１６、１７
とそれぞれ噛み合って摺動する複数の摺動部材６、７を
下面に備えた基台４に組付けられている。図において、
６は、塗布液供給手段１の上下位置を規制するためのコ
の字状ガイドレール１６に内挿されて摺動する摺動部材
である。摺動部材６は、例えば、ボールベアリングやニ
ードルベアリングを用いて構成する。また７は、塗布液
供給手段１の左右位置を規制するための直角棒状ガイド
レール１７を挟んで摺動する摺動部材である。この摺動
部材７も、摺動部材６と同様に、ボールベアリングまた
はニードルベアリングを用いて構成する。

【００３８】移動基台１５上のガイドレール群１６、１
７と摺動する摺動部材６および７を下面に備えた基台４
には、先ず、上向きに開口し、水平に延びるスリットを
備えた塗布ヘッド２が、その長手幅方向の両端を支える
コの字状の塗布ヘッド保持具３を介して固着されてい
る。また、基台４には、図５の平面図にも示すように、
塗布液循環ポンプＰ、および、塗布液供給手段１を移動
基台１５に固定するための一対の固定具５が設けられて
いる。さらに、塗布液濾過フィルタＦ、および、塗布液
貯留タンクＴが、それぞれ保持具を介して、基台４に固
着されている。

【００３９】なお、図２において示した、塗布液供給手
段１を構成する各種弁類や各種管類は、他の図面上にお
いては図示されていない。また、図示していないが、塗
布液循環ポンプＰへの駆動動力供給コンセントや、塗布
液補給タンクからの塗布液補給管接続コンセントなど
が、塗布液供給手段の基台４に直接、もしくはコンセン
ト台等を介して設けられている。

【００４０】上記塗布液供給手段１を塗布装置１０に装
着する際は、図４に示したように、その基台４の下面に
設けた摺動部材６、７を、移動基台１５上に設けられた
ガイドレール群１６、１７に挿通して、上下左右方向を
規制しながらスライドし、さらに、図５に示すように、
移動基台１５に備えた係止具１８に当て止めして定位置
に係止したのち、基台４に設けネジ式の一対の固定具５
を締めることによって、塗布装置１０の移動基台１５に
固定する。

【００４１】一方、塗布液供給手段１を塗布装置から離
脱するときは、移動基台１５に固定するための一対の固
定具５を緩めることにより、塗布液供給手段１が移動基
台１５上でスライド可能になるので、移動基台のガイド
レール群１６、１７に沿って塗布装置１０から塗布液供
給手段１を引き出すことができる。

【００４２】（移動台車）本発明においては、上記の如
く構成された塗布液供給手段１を、塗布装置１０に装
着、または塗布装置１０から離脱するする際、塗布液供
給手段１を移載するための移動台車が用いられる。この
移動台車の例を図３に示す。図において、４０が移動台
車を示し、４１は台車躯体、４２は台車基台である。台
車躯体４１の底面には、移動台車４０を自在に走行する
ための複数の車輪４４が備えられ、台車基台４２の上面
には、塗布装置の移動基台１５上に設けられたガイドレ
ール群１６、１７と同様な断面形状の、一対の上下規制
ガイドレール４６と、一対の左右規制ガイドレール４７
が固着されている。なお、図３において示す４５は、塗
布液供給手段１を移動台車４０上に移載し、塗布液等を
洗浄する際の、液こぼれを受け止める受け皿である。

【００４３】この移動台車の構成について図を用いて説
明する。なお、図６は、移動台車の構成例を示す正面図
であり、二点鎖線の想像線は、移動台車４０に載置され
た状態の塗布液供給手段１を示している。また、図７
は、移動台車４０の構成例を示す平面図であり、想像線
は塗布液供給手段１を示している。図６に示すように、
移動台車４０には、台車躯体４１の上面に設けられた台
車基台４２に、塗布液供給手段１の上下位置を規制する
ための、断面がコの字状の一対のガイドレール４６が固
定され、その内側に塗布液供給手段１の左右位置を規制
するための直角棒状の一対のガイドレール４７が固定さ
れている。これらのガイドレール群４６、４７は、前述
した塗布装置の移動基台に設けられたガイドレール群１
６、１７と同一の断面形状で、配列位置も同じである。

【００４４】なお、このガイドレール群４６、４７は、
図７に示すように、その先端部４０Ａが台車躯体４１か
ら突出しており、この先端部４０Ａは、図３に示した、
塗布装置の移動基台１５上に設けられたガイドレールレ
ール群１６、１７と連接するように構成されている。ま
た、移動台車４０に設けられたガイドレール群４６、４
７の後端部には、一対の係止具４３が固着されており、
移動台車４０に移載された塗布液供給手段１の後端部
を、係止具４３に押し当てて位置決めするように構成し
ている。

【００４５】また、移動台車４０は、台車躯体４１の底
面に４個の車輪４４を備えており、載置した塗布液供給
手段１を塗布装置の移動基台１５に移載する場合や、塗
布液を洗浄したり交換するために、塗布装置から離脱し
た塗布液供給手段１を載置して移動台車４０を自在に移
動することができる。なお、移動台車４０に塗布液供給
手段１を載置した場合は、塗布液供給手段１の基台４に
装着されている固定具５を締めて、塗布液供給手段１を
移動台車４０に固定して運搬するのが安全である。

【００４６】（塗布液供給手段の着脱動作）次に、上記
移動台車４０を利用して、塗布装置に塗布液供給手段を
装着する場合や、塗布液を洗浄あるいは交換する際の、
塗布液供給手段の着脱方法について説明する。本発明の
塗布装置は、基板に塗布液を塗布する塗布処理動作にお
いては、図１に示したように、塗布部躯体１１を所定の
角度に傾斜した状態において、塗布処理が行われる。一
方、塗布処理動作を終了し、塗布液供給手段を洗浄する
場合や、あるいは、別の塗布液を用いて、塗布処理動作
を行うときは、塗布部躯体に装着している塗布液供給手
段を、一旦塗布装置から取り外し、別の塗布液供給手段
を装着する。

【００４７】塗布液供給手段を装着したり、塗布液供給
手段を取り外す場合、本発明の塗布装置では、先ず、塗
布処理動作のために傾斜して係止しておいた塗布部躯体
１１を、ほぼ水平になるように傾斜角度を調節する。す
なわち、図１に示した駆動源Ｍ３を起動して塗布部傾斜
機構３３を駆動し、リニアガイド１４上に移動可能に装
着されている移動基台１５に設けられたガイドレール群
が、ほぼ水平になる位置まで、塗布部回動軸３２を中心
にして塗布部躯体１１を回動して停止する。

【００４８】一方、図３、および図５、図６に示した移
動台車４０に設けられているガイドレール群４６、４７
は、移動基台１５のガイドレール群がほぼ水平になる位
置状態に塗布部躯体１１を回動して停止したとき、移動
基台１５に設けられたガイドレール群１６、１７と直線
状に並ぶように、移動基台４０のガイドレール群の高さ
位置とその方向とが設定されている。

【００４９】また、塗布装置においては、塗布部躯体１
１を回動可能に支持する架台３１の一部に、図１に示す
ような、移動台車４０を係止し固定するための、一対の
台車ガイド３４、および台車係止具３５とを設けておく
ことにより、移動台車４０の車輪４４を、架台３１に設
けられた台車ガイド３４に沿って、塗布装置１０へ向け
て挿入し、台車係止具３５に押し当てて係止することに
よって、簡便かつ正確に、塗布装置の移動基台１５に設
けられたガイドレール群１６、１７と、移動台車４０に
設けられているガイドレール群４６、４７とを、簡便か
つ正確に、連接することができる。

【００５０】次に、塗布液供給手段１を塗布装置から離
脱したり、塗布装置に装着するときは、移動基台１５の
ガイドレール群がほぼ水平になる位置状態に、塗布部躯
体１１を回動して停止した後、図８に示すように、移動
台車４０のガイドレール群が、移動基台１５のガイドレ
ール群と連接するように、移動台車４０を塗布装置の架
台部３０に設けられた台車ガイド３４と台車係止具３５
を利用して塗布装置に連結する。

【００５１】塗布装置から塗布液供給手段１を離脱する
ときは、塗布液循環ポンプＰの図示しない駆動動力供給
コンセントや、塗布液補給タンクからの図示しない塗布
液補給管接続コンセントなどの接続を解除した後、塗布
液供給手段１の基台４に設けられた固定具５を緩め、移
動基台１５のガイドレ−ル上を塗布液供給手段１が摺動
移動可能にする。次に、塗布液供給手段１に設けた摺動
部材を利用して、連接されたガイドレ−ルに沿って、塗
布液供給手段１を移動基台１５から移動台車４０へ移動
する。その後、移動台車４０上にて固定具５を締め、塗
布液供給手段１を固定した後、塗布液供給手段１を移載
した移動台車４０を、塗布装置から離脱する。

【００５２】もし、塗布装置から離脱した塗布液供給手
段に使用されていた塗布液とは異なる別種の塗布液を用
いて、塗布処理動作を継続するときは、別途準備してお
いた塗布液供給手段を、移動台車に積載しておき、移動
台車４０を塗布装置に連接した後、塗布装置の移動基台
１５へ、別種の塗布液を充填した塗布液供給手段を上記
離脱手順とは逆の手順で移載し固定する。そして、移動
台車を塗布装置から離脱した後、図１に示したように、
別種の塗布液を充填した塗布液供給手段を装着した塗布
部躯体１１を、所定の傾斜角度に回動し、塗布処理動作
を再開する。

【００５３】このように、本発明の塗布装置では、着脱
可能に構成された塗布液供給手段と、塗布装置から離脱
する塗布液供給手段、または塗布装置へ装着する塗布液
供給手段をそれぞれ載置する移動台車とを利用して、塗
布処理する塗布液を簡便かつ迅速に切り替えることがで
きる。また、塗布処理動作を終了したときの、塗布液供
給手段の清掃作業を塗布装置内ではなく、移動台車上で
行うことができ、作業性に優れている。

【００５４】ちなみに、従来の塗布装置では、塗布処理
に使用する塗布液の交換時間は、塗布液供給手段の清掃
作業を含め平均１時間以上を要したが、本発明の着脱可
能な塗布液供給手段を備えた塗布装置では、塗布液の交
換時間を、１５分以下に短縮でき、飛躍的に塗布処理作
業の生産性を向上できた。また、塗布液供給手段の清掃
作業も迅速化をすることができた。

【００５５】

【発明の効果】以上、詳細に説明した如く、本発明の塗
布装置は、請求項１に示したように、塗布ヘッドを含む
塗布液供給手段が、着脱可能に構成されているので、使
用後の塗布液供給手段を塗布装置から取り外し、別の塗
布液供給手段を塗布装置に装着することで、簡便かつ迅
速に別の種類の塗布液に切り替えることができ、塗布装
置の運転効率が向上する。また、塗布ヘッドを含む塗布
液供給手段を洗浄する際、塗布装置から取り外して作業
できるので、作業性に優れている。

【００５６】また、本発明の塗布装置では、請求項２に
示したように、着脱可能な塗布液供給手段は、塗布ヘッ
ドと、塗布液循環ポンプと、塗布液濾過フィルタと、塗
布液貯留タンクとを含むので、塗布液供給手段の内部の
閉じられた領域以外には塗布液が付着することなく、し
たがって、塗布液供給手段を交換する際に、種類の異な
る塗布液が混じり合うことがなく、簡便確実に、別の種
類の塗布液に切り替えることができる。

【００５７】さらに、本発明の塗布装置は、請求項３に
示したように、塗布ヘッドを含む塗布液供給手段は、塗
布装置に連接可能な、移動自在な台車へ移載可能に構成
されているので、安全確実に、かつ迅速に、塗布液供給
手段を塗布装置に着脱できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】塗布装置の構成例を示す外観斜視図である。

【図２】塗布液供給手段の構成例を示す模式図であ
る。

【図３】塗布液供給手段の着脱動作を示す部分斜視図
である。

【図４】塗布液供給手段の構成例を示す正面図であ
る。

【図５】塗布液供給手段の構成例を示す平面図であ
る。

【図６】移動台車の構成例を示す平面図である。

【図７】移動台車の構成例を示す正面図である。

【図８】塗布液供給手段の着脱動作を示す側面図であ
る。

【符号の説明】

１塗布液供給手段２塗布ヘッド３ヘッド保持具４基台５固定具６、７摺動部材Ｐ塗布液循環ポンプＦ塗布液濾過フィルタＴ塗布液貯留タンク１０塗布装置１１塗布部躯体１２基板保持部材１３回動軸１４リニアガイド１５移動基台１６、１７ガイドレール１８係止具２０吐出スリット３０架台部３１架台３２塗布部回動軸３３塗布部傾斜機構３４台車ガイド３５台車係止具４０移動台車４１台車躯体４２台車基台４３係止具４４車輪４５受け皿４６、４７ガイドレールＭ１、Ｍ２、Ｍ３駆動源

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者村上慎一郎東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号大日本印刷株式会社内 (72)発明者竹本潤東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号大日本印刷株式会社内 (72)発明者宮川俊二東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号大日本印刷株式会社内 (72)発明者中島泰秀東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号大日本印刷株式会社内Ｆターム(参考） 4F041 AA02 AA05 CA03 CA12 CA15 4F042 AA02 AA06 CB02 CB24 CB25 DF09 DF22 DF28 DF29

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】塗布面を下方へ向け、かつ傾斜状態で基
板を吸引保持する基板保持部材と、基板保持部材の下方
に設けられ、上方へ向かって開口し水平方向に延びるス
リットを有する塗布ヘッドと、塗布ヘッドに塗布液を供
給し、スリットから塗布液を吐出する塗布液供給手段
と、基板保持部材、または塗布ヘッドを、基板の傾斜方
向と平行な方向へ相対的に移動させる移動手段と、基板
保持部材を回動可能に軸承するとともに、基板の塗布面
と塗布ヘッドとが塗布処理時において一定の間隙を維持
するように、基板保持部材と塗布ヘッド、および移動手
段を保持する塗布部躯体と、塗布部躯体を回動可能に保
持する架台とで構成され、塗布液供給手段にて塗布ヘッ
ドに塗布液を供給することにより、基板保持部材に吸引
保持された基板の塗布面と塗布ヘッドとの間隙に、スリ
ットから吐出される塗布液によって液溜まりを形成しつ
つ、移動手段にて、塗布ヘッド、または基板保持部材を
基板の傾斜方向と平行に、傾斜した基板の最も高い端縁
から最も低い端縁の方向へ移動することにより、液溜ま
りの塗布液を基板の塗布面に付着させて、塗布膜を形成
する塗布装置において、塗布ヘッドを含む塗布液供給手
段が、位置決め可能な固定手段を介して、着脱可能に装
着されていることを特徴とする塗布装置。
【請求項２】着脱可能な塗布液供給手段は、塗布ヘッ
ドと、塗布液循環ポンプと、塗布液濾過フィルタと、塗
布液貯留タンクとを含むことを特徴とする請求項１に記
載の塗布装置。
【請求項３】塗布ヘッドを含む塗布液供給手段は、塗
布装置に連接可能な、移動自在な台車へ移載可能に構成
されていることを特徴とする請求項１または請求項２に
記載の塗布装置。