JP3355264B2 - レジスト塗布装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、平板状部材に流動
性材料を均一に塗布するための塗布装置にかかり、特に
カラー液晶表示装置用のガラス基板に複数色のカラーフ
ィルタを形成するための着色レジストあるいはホトレジ
ストの塗布に好適なレジスト塗布装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】カラー液晶表示装置を構成する液晶パネ
ルは、各々透明電極群を形成した２枚の透明ガラス基板
の間に液晶層を注入してなり、上記表示面となる一方の
ガラス基板に複数色のそれぞれに対応する複数のカラー
フィルタを形成してなる構成を基本としている。

【０００３】従来、上記カラーフィルタは、ガラス基板
の上にゼラチン／重クロメート等の水溶性の光硬化型感
光性組成物を塗布し、これを所定の画素パターンに対応
するごとくパターニングした後、所定の色に染色する工
程を所要回数繰り返して形成する方法が採用されていた
が、フィルタ濃度のばらつきや使用溶剤の毒性の問題等
があり、安定した品質のカラーフィルタを効率よく製造
することが困難であり、また環境に悪影響をもたらす等
の問題を有していた。

【０００４】上記の各問題点を解消するものとして、顔
料で着色した感光性組成物をガラス基板に塗布し、所定
のマスクを介して露光し、現像して所定の着色パターン
を形成する工程を所要回数繰り返す方法等が知られてい
る。

【０００５】この顔料着色の感光性組成物（以下、レジ
スト溶液または単にレジストとも言う）をガラス基板に
塗布する方法としては、溝付きゴムローラによってレジ
スト溶液を塗布するロールコート法、あるいはガラス基
板を回転させながらレジスト溶液を遠心力で引延して塗
布するスピンコート法、その他種々の方法があるが、前
者では塗膜の平滑性に限界があり、また、後者ではレジ
スト溶液の利用率が極めて低く、多数のガラス基板を効
率よく処理することが困難であるという問題がある。

【０００６】これに対して、例えば特開平２−２５８０
８１号公報に開示されたようなワイヤー巻回ロッドを用
いて平面搬送されるガラス基板の下面からレジスト溶液
を塗布する、所謂ロッドコータ法を用いることで、連続
して搬送される多数のガラス基板に均一なレジストの塗
膜を形成することができる。

【０００７】図７はロッドコータ法を用いたレジスト塗
布装置のレジスト塗布部の要部構成例を説明する概略断
面図であって、１ａはガラス基板、２ａはニップロー
ラ、２ｂはロッドバー支持部材、２ｄはロッドバー、４
ａはレジスト溶液、５はレジスト受け皿、５ａ，５ｂは
堰部材、５ｃは給液口、５ｄはレジスト溶液貯蔵部、５
ｅは液溜り、５ｆはレジスト塗膜である。

【０００８】同図において、レジスト塗布部は、ロッド
バー支持部材２ｂで長手方向下面の少なくとも両端部を
支持するロッドバー２ｄと、このロッドバー２ｄとの間
にガラス基板１ａを挟持して搬送するニップローラ２ａ
と、ロッドバー支持部材２ｂを収容して上記ロッドバー
２ｄの長手方向両側に延在する堰部材５ａ，５ｂ、およ
び上記堰部材５ａ，５ｂを内底に取り付けたレジスト受
け皿５とから構成される。

【０００９】ロッドバー２ｄは、その長手方向の全長ま
たは一部をバー支持部材２ｂによって水平かつ回転可能
に支持され、図示しない回転駆動手段により一定速度で
回転される。すなわち、上記バー支持部材２ｂはロッド
バー２ｄを受ける上面に当該ロッドバー２ｄの断面形状
に倣った半円弧状の凹部を有し、この凹部にロッドバー
２ｄの両端部または長手方向下面全域が支えられて回転
するように構成される。

【００１０】上記ロッドバー支持部材２ｂと堰部材５
ａ，５ｂは一体的あるいは個別にレジスト受け皿５に固
定され、ロッドバー２ｄはレジスト受け皿５に対して着
脱可能かつガラス基板１ａに対して姿勢調整が可能に取
付けられている。

【００１１】ロッドバー支持部材２ｂの長手方向両側は
堰部材５ａ，５ｂによって囲まれ、この堰部材５ａ，５
ｂを固定するレジスト受け皿５には図示しないレジスト
容器に接続する配管を介してレジスト溶液が供給され
る。

【００１２】供給されたレジスト溶液は堰部材５ａの一
部に設けた給液口５ｃから堰部材５ａ，５ｂによって囲
まれた部分に供給される。このレジスト溶液４ａはバー
支持部材２ｂと堰部材５ａとの間に溶液貯蔵部５ｄを形
成する。

【００１３】レジスト溶液を塗布するガラス基板１ａは
図示しない基板搬送機構によってこのレジスト塗布部に
供給され、ロッドバー２ｄの回転方向に向かって下面が
当該ロッドバー２ｄの頂点に接するようにニップローラ
２ａにより矢印方向に搬送される。

【００１４】ロッドバー２ｄはロッドに細いワイヤーを
巻付けてなり、その回転により溶液を汲み上げるように
機能する。

【００１５】ガラス基板１ａは、ロッドバー２ｄとニッ
プローラ２ａの間を通過する際に、ロッドバー２ｄは溶
液貯蔵部５ｄからレジスト溶液を汲み上げ、ガラス基板
１ａの下面との接触点に溶液溜り５ｅを形成する。この
溶液溜り５ｅの溶液はガラス基板１ａの搬送に伴ってそ
の下面に移動して付着する。これと同時に、ロッドバー
２ｄの回転で余剰の溶液をガラス基板から掻き落として
所要の膜厚のレジスト塗膜５ｆを形成する。掻き落とさ
れたレジスト溶液はレジスト受け皿５に溜まり、図示し
ない循環ポンプに接続した配管を介して給液口５ｃ付近
に戻される。

【００１６】以上のようにして顔料を添加して最初の色
に着色したレジストの塗布が行われ、このレジストを塗
布したガラス基板を後段のパターニング工程に引き渡し
て第１色のカラーフィルタを形成する。

【００１７】第１色のカラーフィルタを形成したガラス
基板１ａは、第２色のカラーフィルタを形成するため
に、上記と同様の工程で第２色の顔料で着色したレジス
トを塗布し、以下同様にして所要数のカラーフィルタを
形成する。

【００１８】なお、上記したレジスト塗布部の構成は一
例であって、ロッドバー支持部材や堰部材の形状、構成
は上記に限るものではないことは言うまでもない。

【００１９】

【発明が解決しようとする課題】上記従来のレジスト塗
布装置においては、第１色のレジストの塗布を終え、第
２色、第３色、・・のレジストを塗布する場合、一般に
次のような作業を行っている。

【００２０】まず、堰部材５ａ，５ｂの内部とレジスト
受け皿５に溜まっている使用済みのレジスト溶液を図示
しないドレイン配管を介して廃棄し、配管の粗洗浄を行
った後、配管系に設置されているフィルタ、ポンプ、各
種配管、その他の部品を一個ずつ分解して洗浄トレイに
入れて洗浄ドラフトに運搬する。

【００２１】そして、次の色のレジスト溶液の塗布のた
めのロッドバーを含む新たな受け皿、フィルタ等のレジ
スト配管系を構成する部品を別個にセットしてレジスト
の塗布を再開する。

【００２２】上記の作業は、レジスト塗布装置を完全に
停止させて複数色のレジストに対応してそれぞれ実行す
る必要があるため、レジスト塗布装置の稼働時間が大幅
に低下し、また、レジストの切り換え毎に使用済みのレ
ジスト配管系を分解して洗浄ドラフトに運搬し、新たな
レジスト配管系をレジスト塗布装置に運んで来て組み込
み作業を行う必要があると同時にレジスト塗布部を構成
するロッドバーとその支持部材および堰部材を含むレジ
スト受け皿を交換するための別途の作業が必要となるこ
とから、作業効率の向上に限界があり、さらに製品フロ
ーエリア（製造ライン空間）のクリーン度が上記の作業
のために低下するという問題があった。なお、レジスト
溶液の交換時に、レジスト配管系のみをユニットとして
着脱交換するように構成した従来例としては、例えば特
開平４−２４４２５２号公報が知られている。

【００２３】しかし、上記公報に開示のユニットはレジ
スト配管系部分を一体化してレジスト塗布装置本体の架
台との間で受け具とこの受け具に係合するレバーとから
なる固定金具を用いてユニットを架台に対して着脱する
構成としたものであって、レジスト溶液の切換えに伴う
レジスト受け皿やロッドバーを含む交換部品全体を一括
して交換するものでないため、また着脱後のユニットを
洗浄ドラフトに運搬し、あるいは新たなユニットをレジ
スト塗布装置に運搬する手段に関しては考慮されていな
い。

【００２４】本発明の目的は、上記した従来技術の諸問
題を解消し、レジスト塗布装置の停止時間を短縮して作
業効率を向上すると共に、製品フローエリアのクリーン
度の低下を抑制できる構成としたレジスト塗布装置を提
供することにある。

【００２５】

【課題を解決するための手段】以下、本発明の構成を明
確にするために、本発明の構成要素に実施例の符号を対
応させて説明する。

【００２６】すなわち、上記目的を達成するために、請
求項１に記載の第１の発明は、ガラス基板１ａを水平搬
送するためのガラス基板搬送部１と、前記ガラス基板搬
送部１により搬入されるガラス基板の下面にレジストを
塗布するためのレジスト塗布部２と、前記レジスト塗布
部２にレジストを供給するためのレジスト配管系４とを
有するレジスト塗布装置であって、前記レジスト塗布部
２が、前記基板搬送部１により搬入されるガラス基板１
ａの下面に位置して前記下面にレジスト溶液を塗布する
ためのロッドバー２ｄと、前記ロッドバーに対して前記
ガラス基板を挟持搬送するニップローラ２ａと、前記ロ
ッドバー２ｄを回転可能に支持して前記レジスト配管系
４からのレジスト溶液を貯留して前記ロッドバー２ｄの
表面に供給するレジスト受け皿５とからなり、前記ガラ
ス基板搬送部１と前記ニップローラ２ａおよび前記ニッ
プローラ２ａを前記ロッドバー２ｄに対して昇降させる
ニップローラ駆動系とを装架すると共に前記レジスト受
け皿５を着脱可能に保持するベース７を有する架台３
と、前記レジスト配管系４をユニットとして搭載し、前
記架台３のベース７から取り外したレジスト受け皿５を
載せ替え固定する受け皿載せ替えブロック６ｂを設けた
天板６ｅおよび移動用のキャスタ６ａとを少なくとも具
備する台車６とからなり、前記ロッドバー２ｄを支持す
る前記レジスト受け皿５を前記天板６ｅに載せ替えると
共に、前記レジスト配管系４を前記架台３のベース７に
対して一括して着脱交換可能としたことを特徴とする。

【００２７】また、請求項２に記載の第２の発明は、ガ
ラス基板１ａを水平搬送するためのガラス基板搬送部１
と、前記ガラス基板搬送部１により搬入されるガラス基
板の下面にレジストを塗布するためのレジスト塗布部２
と、前記レジスト塗布部２にレジストを供給するための
レジスト配管系４とを有するレジスト塗布装置であっ
て、前記レジスト塗布部２が、前記基板搬送部１により
搬入されるガラス基板の下面に位置して前記下面にレジ
スト溶液を塗布するためのロッドバー２ｄと、前記ロッ
ドバーに対して前記ガラス基板を挟持搬送するニップロ
ーラ２ａと、前記ロッドバー２ｄを回転可能に支持して
前記レジスト配管系４からのレジスト溶液を貯留して前
記ロッドバー２ｄの表面に供給するレジスト受け皿５と
からなり、前記ガラス基板搬送部１と前記ニップローラ
２ａおよび前記ニップローラ２ａを前記ロッドバー２ｄ
に対して昇降させるニップローラ駆動系とを装架する架
台３と、前記レジスト配管系４をユニットとして搭載
し、前記レジスト受け皿５を載置固定した天板６ｅおよ
び移動用のキャスタ６ａとを少なくとも具備する台車６
とからなり、前記ロッドバー２ｄを支持する前記レジス
ト受け皿５と共に、前記レジスト配管系４を前記架台３
に対して一括して着脱交換可能としたことを特徴とす
る。

【００２８】さらに、請求項３に記載の第３の発明は、
上記第１または第２の発明における前記レジスト配管系
４のユニットを構成する要素がレジスト容器４ａ’、前
記レジスト容器４ａ’から前記レジスト受け皿５にレジ
スト溶液を圧送するエア配管４ｊ、圧送されるレジスト
溶液に含まれる異物を除去するための給液フィルタ４
ｂ、前記給液フィルタを通したレジストの溶液の前記レ
ジスト受け皿５への供給／遮断を行うためのエアバルブ
４ｃと、前記レジスト受け皿５中のレジスト溶液を循環
させるための循環ポンプ４ｄ、循環されるレジスト溶液
に含まれる異物を除去するための循環フィルタ４ｅ、前
記レジスト受け皿５のレジスト溶液を排出するためのド
レインバルブ４ｇ、排出されたレジスト溶液を貯留する
ためのドレインタンク４ｆ、および前記各要素を結合す
るレジスト配管４ｈからなることを特徴とする。

【００２９】

【発明の実施の形態】前記第１の発明の構成において、
ガラス基板搬送部１は、レジストを塗布するガラス基板
１ａをレジスト塗布部２に水平搬送する。

【００３０】レジスト塗布部２は、前記ガラス基板搬送
部１により搬入されるガラス基板１ａの下面にレジスト
を塗布しつつ上記ガラス基板１ａを搬出する。

【００３１】レジスト配管系４は、前記レジスト塗布部
２にレジストを供給する。

【００３２】前記レジスト塗布部２を構成するロッドバ
ー２ｄは前記ガラス基板搬送部１により搬入されるガラ
ス基板１ａの下面に位置したレジスト受け皿５に少なく
ともその下面の一部が浸漬され、上記レジスト受け皿５
に貯留されているレジスト溶液を汲み上げて上記ガラス
基板１ａの下面にレジスト溶液を塗布する。

【００３３】上記ニップローラ２ａは、上記ロッドバー
２ｄに対して上記ガラス基板１ａを挟持して回転し、こ
の回転によりレジスト溶液の塗布と共に当該ガラス基板
１ａを搬送する。

【００３４】前記架台３のベース７には、上記ガラス基
板搬送部１と前記ニップローラ２ａおよび前記ニップロ
ーラ２ａを前記ロッドバー２ｄに対して昇降させるニッ
プローラ駆動系とを装架すると共に前記レジスト受け皿
５を着脱可能に保持する。

【００３５】前記台車６は、前記レジスト配管系４をユ
ニットとして搭載すると共に、前記架台３のベース７か
ら取り外したレジスト受け皿５を載せ替え固定する受け
皿載せ替えブロック６ｂを設けた天板６ｅおよび移動用
のキャスタ６ａとを具備し、さらに必要に応じて作業者
側に位置させた把手６ｄが取り付けてある。

【００３６】レジスト溶液の切換え時には、前記レジス
ト配管系４と外部からレジスト塗布装置に連通する各種
配管や電源ラインを取り外すと共に、前記ロッドバー２
ｄを支持する前記レジスト受け皿５を前記天板６ｅに載
せ替えて固定した後、上記台車６を前記架台３から引出
し、新たな台車を装入し、ロッドバー２ｄを支持するレ
ジスト受け皿５を天板６ｅから架台３のベース７の所定
位置に移し替えて固定した後、上記各種配管や電源ライ
ンを接続することで、必要な交換部材が一括して着脱交
換される。

【００３７】また、第２の発明の構成において、ガラス
基板搬送部１は、レジストを塗布するガラス基板１ａを
レジスト塗布部２に水平搬送する。

【００３８】レジスト塗布部２は、前記ガラス基板搬送
部１により搬入されるガラス基板１ａの下面にレジスト
を塗布しつつ上記ガラス基板１ａを搬出する。

【００３９】レジスト配管系４は、前記レジスト塗布部
２にレジストを供給する。

【００４０】前記レジスト塗布部２を構成するロッドバ
ー２ｄは前記ガラス基板搬送部１により搬入されるガラ
ス基板１ａの下面に位置したレジスト受け皿５に少なく
ともその下面の一部が浸漬され、上記レジスト受け皿５
に貯留されているレジスト溶液を汲み上げて上記ガラス
基板１ａの下面にレジスト溶液を塗布する。

【００４１】上記ニップローラ２ａは、上記ロッドバー
２ｄに対して上記ガラス基板１ａを挟持して回転し、こ
の回転によりレジスト溶液の塗布と共に当該ガラス基板
１ａを搬送する。

【００４２】前記架台３のベース７には、上記ガラス基
板搬送部１と前記ニップローラ２ａおよび前記ニップロ
ーラ２ａを前記ロッドバー２ｄに対して昇降させるニッ
プローラ駆動系とを装架する。

【００４３】前記台車６は、前記レジスト配管系４をユ
ニットとして搭載すると共に、前記レジスト受け皿５を
固定する天板６ｅおよび移動用のキャスタ６ａとを具備
し、さらに必要に応じて作業者側に位置させた把手６ｄ
が取り付けてある。

【００４４】レジスト溶液の切換え時には、前記レジス
ト配管系４と外部からレジスト塗布装置に連通する各種
配管や電源ラインを取り外した後、天板６ｅに固定され
ているレジスト受け皿５と共に上記台車６を前記架台３
から引出し、新たな台車６を装入し、ロッドバー２ｄを
支持する新たなレジスト受け皿５を架台３の所定位置に
位置付けて台車６を固定後、上記各種配管や電源ライン
を接続することで、必要な交換部材が一括して着脱交換
される。

【００４５】さらに、第３の発明の構成においては、上
記第１または第２の発明における前記レジスト配管系４
のユニットを構成する要素を、レジスト容器４ａ’、前
記レジスト容器４ａ’から前記レジスト受け皿５にレジ
ストの溶液を圧送するエア配管４ｊ、圧送されるレジス
ト溶液に含まれる異物を除去するための給液フィルタ４
ｂ、前記給液フィルタを通したレジストの溶液の前記レ
ジスト受け皿５への供給／遮断を行うためのエアバルブ
４ｃと、前記レジスト受け皿中のレジストの溶液を循環
させるための循環ポンプ４ｄ、循環されるレジスト溶液
に含まれる異物を除去するための循環フィルタ４ｅ、前
記レジスト受け皿のレジスト溶液を排出するためのドレ
インバルブ４ｇ、排出されたレジスト溶液を貯留するた
めのドレインタンク４ｆ、および前記各要素を結合する
レジスト配管４ｈとし、これらの各要素をユニットとし
て台車６に搭載することにより、レジスト溶液の切換え
に伴う交換および洗浄必要部品をレジスト塗布装置から
一括して取り外しでき、また新たなユニットとして一括
して取り付けることができる。

【００４６】なお、上記レジスト容器４ａ’は、レジス
ト受け皿５に供給するレジスト４ａを収容し、エア配管
４ｊから吹き込むエアでこのレジスト容器４ａ’からレ
ジスト塗布部２を構成するレジスト受け皿５にレジスト
の溶液を圧送する。

【００４７】給液フィルタ４ｂは、圧送されるレジスト
の溶液に含まれる異物を除去し、エアバルブ４ｃは給液
フィルタ４ｂを通したレジストの溶液の前記レジスト受
け皿５への供給／遮断を行う。

【００４８】循環ポンプ４ｄはレジスト受け皿５中のレ
ジストの溶液を循環させ、循環フィルタ４ｅは循環され
るレジストの溶液に含まれる異物を除去する。

【００４９】ドレインバルブ４ｇはユニット化したレジ
スト配管系４を交換する際にレジスト受け皿５中のレジ
ストの溶液をドレインタンク４ｆに排出する。なお、上
記各要素はレジスト配管４ｈで相互に結合される。

【００５０】このように、本発明によれば、レジスト溶
液の交換時に交換洗浄を必要とする要素であるレジスト
配管系と受け皿とを台車６によって一括して交換可能と
したことで、ロッドバーを含む受け皿やレジスト配管系
の交換のための運搬が容易になり、レジスト塗布装置の
停止時間を短縮し、可動率を向上させることができる。

【００５１】すなわち、上記各発明のレジスト塗布装置
を、液晶表示装置の液晶パネルの製造における複数の着
色レジストの塗布、あるいはホトレジストの塗布に用い
ることで複数の着色レジストあるいはホトレジストの塗
布のための装置停止時間を短縮して作業効率が大幅に向
上できる。

【００５２】また、上記レジスト配管系のユニットを含
むレジスト塗布装置を構成する要素をステンレス材とす
ることでレジスト塗布装置を長寿命化できる。

【００５３】なお、前記各発明のレジスト塗布装置は液
晶表示装置の液晶パネルの製造における複数の着色レジ
ストの塗布、あるいはホトレジストの塗布に好適である
が、本発明はこれに限定されるものではなく、ガラス以
外の平板状部材に種々の溶液を塗布する装置に適用可能
である。

【００５４】

【実施例】以下、本発明の実施例につき、図面を参照し
て詳細に説明する。

【００５５】図１は本発明によるレジスト塗布装置の１
実施例の全体構成を説明する正面図であって、１はレジ
ストを塗布するガラス基板１ａを搬送するためのガラス
基板搬送部、２はガラス基板にレジストを塗布するレジ
スト塗布部、２ａはニップローラ、２ｃは駆動系、２ｄ
はロッドバー、３はレジスト塗布装置を構成する各要素
を搭載するための架台、４はレジスト配管系、５はレジ
スト塗布部２を構成するレジスト受け皿、６は台車、６
ａはキャスター、６ｂは載せ替えブロック、６ｄは把
手、６ｅは天板、７はレジスト塗布装置の上部構造等を
載置するベースである。

【００５６】レジスト塗布部２は架台３の上部構造を載
置するベース７に設置されたニップローラ２ａ、ロッド
バー２ｄ、および前記ニップローラ２ａを回転させると
共に上下に移動させる駆動系２ｃ、ロッドバー２ｄを回
転させるロッドバー回転系（図示せず）、およびレジス
ト受け皿５とから構成され、基板搬送部１で水平に搬送
されて来るガラス基板１ａの下面に上記ロッドバー２ｂ
によってレジストを塗布する。なお、ロッドバー２ｄは
前記図７で説明したように、レジスト受け皿５に取り付
けたバー支持手段２ｂで支持され、塗布作業時は受け皿
５は図示しない固定手段でベース７に固定されている
が、図１では堰部材５ａ，５ｂを含めて図示を省略して
ある。ここでは、受け皿５と載せ替えブロック６ｂの配
置を説明するために、受け皿５は断面で示し、載せ替え
ブロック６ｂに受け皿５を一次的に固定するクランパー
は省略してある。

【００５７】レジスト配管系４は台車６にユニット化さ
れた状態で上記レジスト塗布部２の下方、かつ架台３の
中央部（レジスト塗布装置の中央部）に脱着自在に収納
されている。

【００５８】台車６には固定用ストッパー（図示せず）
を有するキャスター６ａが取付けられており、レジスト
塗布装置から台車６を引き出す際には上記ストッパーを
解除して把手６ｄを手前に引くことにより配管系４の全
体を容易に引き出して交換し運搬できるようになってい
る。

【００５９】なお、レジストの塗布作業中は塗布部２側
のべース７に固定してあるレジスト受け皿５は、レジス
ト配管系４の交換時には台車６の天板６ｅに取り付けて
ある載せ替えブロック６ｂ側に載せ替えて台車６と共に
レジスト塗布部から取外しできるようにされている。

【００６０】図２は本発明によるレジスト塗布装置の１
実施例におけるレジスト配管系の構成例を説明する模式
図であって、４ａはレジスト溶液、４ａ’はレジスト容
器、４ｂは給液フィルタ、４ｃはエアバルブ、４ｄは循
環ポンプ、４ｅは循環フィルタ、４ｆはドレインタン
ク、４ｇはドレインバルブ、４ｈはレジスト配管、４ｉ
は電源端子、破線はレジスト配管を接続するレジスト受
け皿５の配置位置である。

【００６１】同図において、レジストの溶液４ａを収容
したレジスト容器４ａ’にエアー配管４ｊから加圧エア
ーを吹き込んでレジストの溶液４ａを給液フィルタ４ｂ
方向に給送する。

【００６２】給液フィルタ４ｂはレジストの溶液中の不
純物を除去してエアバルブ４ｃを通してレジスト溶液を
レジスト受け皿５に供給する。

【００６３】受け皿５に供給されたレジストの溶液は、
前記図７で説明したような構成でガラス基板に塗布され
る。

【００６４】レジスト受け皿５に供給されたレジスト溶
液は循環ポンプ４ｄと循環フィルタ４ｅを介して循環さ
れる。ドレインバルブ４ｇはレジスト溶液の交換時に開
いてレジスト受け皿５に残留しているレジスト溶液をド
レインタンク４ｆに回収する。同時に、給液フィルタ４
ｂや循環フィルタおよびこれらと連通しているレジスト
配管４ｈに残留しているレジスト溶液をドレインタンク
４ｆに回収する。

【００６５】また、循環ポンプ４ｄの駆動電源を供給す
る電源端子４ｉはレジスト塗布装置本体側から脱着自在
とされている。

【００６６】従来のレジスト塗布装置では、例えば顔料
で着色したレジストを用いて液晶表示パネルのカラーフ
ィルタを形成する場合のブラックマトリクス（ＢＭ）、
赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のレジスト溶液４ａの切
換え時には、前記従来技術の説明の項に記載したよう
に、レジスト配管４ｈとレジスト受け皿５をそれぞれレ
ジスト塗布装置本体のべース７から取り外して交換し、
取り外したレジスト配管４ｊとレジスト受け皿５を適宜
の運搬容器に収納して洗浄ドラフト（洗浄ステーショ
ン）に運搬するようにしているために作業時間が長くな
ってレジスト塗布装置の停止時間が長くなってしまう。

【００６７】本実施例では、塗布レジストの切換え時に
洗浄が必要なロッドバーを収納したレジスト受け皿５と
レジスト供給系の要素を全てユニット化して台車６に搭
載収納して一括して交換することで作業時間を短縮し、
レジスト塗布装置の停止時間を短縮するものである。

【００６８】図３は本発明によるレジスト塗布装置を構
成するレジスト配管系をユニットとして搭載した台車の
構成例を説明する一部破断して示す側面模式図、図４は
同じくレジスト受け皿を載置した台車の構成例を説明す
る一部破断して示す正面模式図であって、図２と同一符
号は同一部分に対応し、６ｃは受け皿５を固定するため
の樹脂ブロックの固定用のクランパーである。

【００６９】図３と図４において、台車６の下部にはス
トッパー付きキャスター６ａが取付けられ、正面には交
換作業用の把手６ｄが取付けられている。

【００７０】同各図はレジスト受け皿５をレジスト塗布
装置のベース７から取り外して台車６の天板６ｅに設け
た樹脂ブロック６ｂに載せ替えた状態を示している。な
お、この樹脂ブロック６ｂはレジスト受け皿５をその凹
部に着座させて載せ替える作業がスムースに行われるよ
うにするために樹脂材料としたものであり、特に樹脂で
ある必要はない。

【００７１】図４に示したように、レジスト受け皿５を
樹脂ブロック６ｂに載せ替えた後、クランパー６ｃで固
定され、台車の交換、運搬時に当該レジスト受け皿５が
脱落するのを防止している。

【００７２】なお、ロッドバー２ｄはレジスト受け皿５
と共に、ベース７から台車６の樹脂ブロック６ｂに載せ
替えるが、このとき、ロッドバーをさらに取り外して別
途のルートで洗浄ステーションに搬送することもでき
る。

【００７３】次に、本実施例のレジスト配管系ユニット
の交換手順について説明する。

【００７４】図５は本発明によるレジスト塗布装置の１
実施例におけるレジスト配管系ユニットの交換手順の説
明図である。

【００７５】なお、予め次のレジストのレジスト配管系
ユニットとレジスト受け皿とを新たな台車６にセットし
ておく。

【００７６】レジスト配管系ユニットの取り外しは、ま
ず循環ポンプ４ｄの電源を切って停止させ（Ｓ−１）、
次にドレインバルブ４ｇを開いてレジスト受け皿５内に
残留しているレジストの溶液をドレインタンク４ｆに排
出する（Ｓ−２）。このとき、給液フィルタ４ｂや循環
フィルタおよびこれらと連通しているレジスト配管４ｈ
に残留しているレジスト溶液をドレインタンク４ｆに回
収するのが望ましい。レジスト受け皿５内のレジストが
全てドレインタンク４ｆに排出されたことを確認した後
（Ｓ−３）、レジスト受け皿５をレジスト配管４ｈごと
台車６の樹脂ブロック６ｂに乗せ替えてクランパー６ｃ
で固定する（Ｓ−４）。

【００７７】そして、レジスト塗布装置本体から電源端
子４ｉを抜いて台車への給電系を取り外すと共にエア配
管４ｊを取り外し（Ｓ−５）、キャスター６ａのストッ
パーを解除してレジスト塗布装置本体の架台３から台車
６を引く出す（Ｓ−６）。

【００７８】その後、あらかじめ用意しておいた次のレ
ジスト用の新たな台車６をレジスト塗布装置本体の架台
３に押し入れ（Ｓ−７）、当該台車６への給電系の電源
端子４ｉとエア配管４ｊを接続し（Ｓ−８）、レジスト
受け皿５をレジスト塗布装置本体に載せかえて固定し
（Ｓ−９）、交換作業（レジスト切り替え作業）を終了
する。

【００７９】上記次のレジストの塗布作業の開始に際し
ては、台車６に電源端子やエア配管を接続した後、レジ
スト受け皿５をレジスト塗布装置本体のベース７に載
せ、レジスト受け皿５に組み込まれたロッドバー２ｄを
ロッドバー回転系に組み合わせた後、レジスト受け皿５
を所定の位置に押し込んでセットする。

【００８０】この状態でレジスト容器４ａ’にエアを吹
き込んで加圧し、その圧力でレジスト容器４ａ’内のレ
ジスト４ａをレジスト受け皿５に供給すると共に、レジ
スト循環ポンプを作動させてレジスト塗布の準備を完了
し、ガラス基板搬送部１によって搬入されるガラス基板
１ａにレジストを塗布する。

【００８１】なお、上記した実施例では、台車６をレジ
スト塗布装置本体内に挿着するものとしたが、本発明は
これに限らず、当該本体の近傍に置いてレジスト受け皿
５をベース７の所定の位置に設置して塗布作業を実行す
るようにすることもできる。この場合は、レジスト配管
を必要な長さとする。

【００８２】上記の実施例によれば、レジスト塗布装置
の停止時間を短縮して作業効率を向上すると共に、製品
フローエリアのクリーン度の低下を抑制できる構成とし
たレジスト塗布装置を提供することができる。

【００８３】図６は本発明によるレジスト塗布装置の他
の実施例における台車とレジスト塗布部の構造例を説明
する要部破断した部分正面図であって、６ｆは天板調整
機構、前記図１と同一符号は同一部分に対応する。

【００８４】本実施例では、レジスト塗布部を構成する
レジスト受け皿５を台車６側に搭載した状態でレジスト
塗布装置本体に挿着し、取り出し交換するようにしたも
のである。

【００８５】すなわち、台車６の天板６ｅは台車６の本
体に対して天板調整機構６ｆを介して取付けされてお
り、レジスト塗布装置のベース７に対して天板６ｅがス
ライドしてセットされるようになっている。

【００８６】天板６ｅにはロッドバー２ｄを有するレジ
スト受け皿５が固定されており、このレジスト受け皿５
ごと、および前記第１実施例で説明したものと同様の構
成をもつレジスト配管系４ごと台車６により一括交換で
きるように構成されている。なお、天板調整機構６ｆは
当該天板６ｅに固定されたレジスト受け皿５の設置位置
をロッドバー２ｄがガラス基板１ａに対する所望の位置
および姿勢となるように調整するものである。したがっ
て、上記天板６ｅは台車６を装着した後に台車本体から
切り離すようにしてもよく、また可撓性の部材で台車本
体と接続してもよい。

【００８７】本実施例によれば、レジストの交換時にレ
ジスト受け皿５の載せ替え作業を必要としないため、前
記実施例よりもさらに交換作業が容易になる。

【００８８】上記何れの実施例のレジスト塗布装置にお
いても、その主要躯体構成材としてステンレス材を使用
することで装置を長寿命化できる。

【００８９】上記した各実施例は主として顔料で着色し
た液晶パネル用カラーフィルタの形成用レジスト溶液の
塗布に対応させたものとして説明したが、液晶表示装置
の回路や半導体回路あるいは撮像素子の回路およびその
カラーフィルタなどを形成するためのレジストの交換、
あるいは短時間で硬化、結晶化する感光タイプのレジス
トを使用する場合の頻繁な配管洗浄を必要とするものに
対しても本発明は有効である。

【００９０】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
レジスト溶液の種類を切替える際のレジスト受け皿やレ
ジスト配管を、予め運搬式の台車に搭載収納してレジス
ト塗布装置本体に着脱自在にセットすることで、当該レ
ジストの切替えのための作業時間を短縮でき、レジスト
塗布装置の可動率を向上することができる。

【００９１】また、配管等の洗浄作業を装置内で行う必
要がないため、製品フローエリアのクリーン度の劣化を
防止でき、異物混入による製品の歩留りを向上すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるレジスト塗布装置の１実施例の全
体構成を説明する正面図である。

【図２】レジスト塗布装置のレジスト配管系の構成を説
明する模式図である。

【図３】本発明によるレジスト塗布装置を構成するレジ
スト配管系をユニットとして搭載した台車の構成例を説
明する一部破断して示す側面模式図である。

【図４】本発明によるレジスト塗布装置を構成するレジ
スト受け皿を載置した台車の構成例を説明する一部破断
して示す正面模式図である。

【図５】本発明によるレジスト塗布装置の１実施例にお
けるレジスト配管系ユニットの交換手順の説明図であ
る。

【図６】本発明によるレジスト塗布装置の他の実施例に
おける台車とレジスト塗布部の構造例を説明する要部破
断した部分正面図である。

【図７】ロッドコータ法を用いたレジスト塗布装置のレ
ジスト塗布部の要部構成例を説明する概略断面図であ
る。

【符号の説明】

１ ガラス基板搬送部 ２ レジスト塗布部 ２ａ ニップローラ ２ｄ ロッドバー ３ レジスト塗布装置を構成する各要素を搭載するため
の架台 ４ レジスト配管系 ４ａ レジスト溶液 ４ａ’ レジスト容器 ４ｂ 給液フィルタ ４ｃ エアバルブ ４ｄ 循環ポンプ ４ｅ 循環フィルタ ４ｆ ドレインタンク ４ｇ ドレインバルブ ４ｈ レジスト配管 ４ｉ 電源端子 ５ レジストの受け皿 ６ 台車 ６ａ キャスター ６ｂ 載せ替えブロック ６ｄ 把手 ６ｅ 天板 ７ ベース。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山崎 信哉 神奈川県綾瀬市小園1005番地 富士マイ クログラフィックス株式会社内 (72)発明者 大津 政夫 神奈川県綾瀬市小園1005番地 富士マイ クログラフィックス株式会社内 (72)発明者 柴 光明 千葉県茂原市早野3300番地 株式会社 日立製作所電子デバイス事業部内 (72)発明者 並木 淳一 千葉県茂原市早野3300番地 株式会社 日立製作所電子デバイス事業部内 (72)発明者 坪香 智昭 千葉県茂原市早野3300番地 株式会社 日立製作所電子デバイス事業部内 (72)発明者 佐々木 晴夫 千葉県茂原市早野3300番地 株式会社 日立製作所電子デバイス事業部内 (72)発明者 市村 幸雄 千葉県茂原市早野3300番地 株式会社 日立製作所電子デバイス事業部内 (56)参考文献 特開 平６−338448（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−236843（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−43900（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G03F 7/16 501 H01L 21/027

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ガラス基板を水平搬送するためのガラス基
   板搬送部と、前記ガラス基板搬送部により搬入されるガ
   ラス基板の下面にレジストを塗布するためのレジスト塗
   布部と、前記レジスト塗布部にレジスト溶液を供給する
   ためのレジスト配管系とを有するレジスト塗布装置であ
   って、 前記レジスト塗布部が、前記ガラス基板搬送部により搬
   入されるガラス基板の下面に位置して前記下面にレジス
   ト溶液を塗布するためのロッドバーと、前記ロッドバー
   に対して前記ガラス基板を挟持搬送するニップローラ
   と、前記ロッドバーを回転可能に支持して前記レジスト
   配管系からのレジスト溶液を貯留して前記ロッドバーの
   表面に供給するレジスト受け皿とからなり、 前記ガラス基板搬送部と前記ニップローラおよび前記ニ
   ップローラを前記ロッドバーに対して昇降させるニップ
   ローラ駆動系とを装架すると共に前記レジスト受け皿を
   着脱可能に保持するベースを有する架台と、 前記レジスト配管系をユニットとして搭載し、前記架台
   のベースから取り外したレジスト受け皿を載せ替え固定
   する受け皿載せ替えブロックを設けた天板および移動用
   のキャスタとを少なくとも具備する台車とを有し、 前記ロッドバーを支持する前記レジスト受け皿を前記天
   板に載せ替えると共に、前記台車を前記架台に対して一
   括して着脱交換可能としたことを特徴とするレジスト塗
   布装置。
2. 【請求項２】ガラス基板を水平搬送するためのガラス基
   板搬送部と、前記ガラス基板搬送部により搬入されるガ
   ラス基板の下面にレジストを塗布するためのレジスト塗
   布部と、前記レジスト塗布部にレジスト溶液を供給する
   ためのレジスト配管系とを有するレジスト塗布装置であ
   って、 前記レジスト塗布部が、前記ガラス基板搬送部により搬
   入されるガラス基板の下面に位置して前記下面にレジス
   ト溶液を塗布するためのロッドバーと、前記ロッドバー
   に対して前記ガラス基板を挟持搬送するニップローラ
   と、前記ロッドバーを回転可能に支持して前記レジスト
   配管系からのレジスト溶液を貯留して前記ロッドバーの
   表面に供給するレジスト受け皿とからなり、 前記ガラス基板搬送部と前記ニップローラおよび前記ニ
   ップローラを前記ロッドバーに対して昇降させるニップ
   ローラ駆動系とを装架する架台と、 前記レジスト配管系をユニットとして搭載し、前記レジ
   スト受け皿を載置固定した天板および移動用のキャスタ
   とを少なくとも具備する台車を有し、 前記ロッドバーを支持する前記レジスト受け皿と共に、
   前記台車を前記架台に対して一括して着脱交換可能とし
   たことを特徴とするレジスト塗布装置。
3. 【請求項３】請求項１または２において、前記レジスト
   配管系のユニットを構成する要素がレジスト容器、前記
   レジスト容器から前記レジスト受け皿にレジスト溶液を
   圧送するエア配管、圧送されるレジスト溶液に含まれる
   異物を除去するための給液フィルタ、前記給液フィルタ
   を通したレジストの溶液の前記レジスト受け皿への供給
   ／遮断を行うためのエアバルブ、前記レジスト受け皿中
   のレジストの溶液を循環させるための循環ポンプ、循環
   されるレジスト溶液に含まれる異物を除去するための循
   環フィルタ、前記レジスト受け皿のレジスト溶液を排出
   するためのドレインバルブ、排出されたレジスト溶液を
   貯留するためのドレインタンク、および前記各要素を結
   合するレジスト配管とからなることを特徴とするレジス
   ト塗布装置。