JP2571161B2 - 非連続性基板塗布方法及び装置 - Google Patents
非連続性基板塗布方法及び装置Info
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- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
- B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
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- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
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- B05C5/007—Slide-hopper coaters, i.e. apparatus in which the liquid or other fluent material flows freely on an inclined surface before contacting the work
- B05C5/008—Slide-hopper curtain coaters
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- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C9/00—Apparatus or plant for applying liquid or other fluent material to surfaces by means not covered by any preceding group, or in which the means of applying the liquid or other fluent material is not important
- B05C9/04—Apparatus or plant for applying liquid or other fluent material to surfaces by means not covered by any preceding group, or in which the means of applying the liquid or other fluent material is not important for applying liquid or other fluent material to opposite sides of the work
Landscapes
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、非連続性基板の表面
に、塗布液を均一に塗布する方法及び装置に関する。具
体的には、ガラス板、アルミ板、亜鉛板、プラスチック
板のような短尺な基板に写真感光材料、フォトレジスト
等を塗布する方法及び装置に関する。
に、塗布液を均一に塗布する方法及び装置に関する。具
体的には、ガラス板、アルミ板、亜鉛板、プラスチック
板のような短尺な基板に写真感光材料、フォトレジスト
等を塗布する方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】非連続性基板に単層又は複数層の塗布液
を塗布する方法として、走行する非連続性基板の上方に
配置され、単層又は複数層の塗布液を層状に形成する注
液器の先端部に可撓性、弾力性、且つ非透水性を有する
垂下部材（以下固体カーテンという）を取付け、その先
端部を基板に接触させて固体カーテン上を流下する塗布
液を基板上に塗布する装置と、固体カーテンの下方に上
下自在に取り付けられ、その先端と接触しつつ塗布液の
流下を補助する液受け装置を用いる方法が提案されてい
る（特願平１−２６１４６２号、特願平１−３２５１７
６号の各公報）。又前記塗布装置において液受け装置の
濡れ易さを保つと共に、その表面又は固体カーテン裏面
において塗布液の乾燥固化が生じないようなセラミック
ス等の水浸透性材料を用いて液受け装置の表面に少量の
水を供給する方法も同時に提案されている（特願平１−
３２５１７６号公報）。しかしながら、この方法を用い
て塗布を行った場合、塗布条件によっては、基板の先頭
部分においてスジ状の不均一を引き起こす場合があっ
た。
を塗布する方法として、走行する非連続性基板の上方に
配置され、単層又は複数層の塗布液を層状に形成する注
液器の先端部に可撓性、弾力性、且つ非透水性を有する
垂下部材（以下固体カーテンという）を取付け、その先
端部を基板に接触させて固体カーテン上を流下する塗布
液を基板上に塗布する装置と、固体カーテンの下方に上
下自在に取り付けられ、その先端と接触しつつ塗布液の
流下を補助する液受け装置を用いる方法が提案されてい
る（特願平１−２６１４６２号、特願平１−３２５１７
６号の各公報）。又前記塗布装置において液受け装置の
濡れ易さを保つと共に、その表面又は固体カーテン裏面
において塗布液の乾燥固化が生じないようなセラミック
ス等の水浸透性材料を用いて液受け装置の表面に少量の
水を供給する方法も同時に提案されている（特願平１−
３２５１７６号公報）。しかしながら、この方法を用い
て塗布を行った場合、塗布条件によっては、基板の先頭
部分においてスジ状の不均一を引き起こす場合があっ
た。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、走行
する非連続性基板に単層又は複数層の塗布液を塗布する
際に、上記の従来技術の問題点を解消し、液受け装置の
濡れ易さを保つと共に、その表面又は固体カーテンの裏
面において塗布液の乾燥固化が生ずること無く、且つ塗
布の先頭部分においてスジ状の不均一を起こすことの無
い、良好な塗布面状を実現する方法及び装置を提供する
ことにある。
する非連続性基板に単層又は複数層の塗布液を塗布する
際に、上記の従来技術の問題点を解消し、液受け装置の
濡れ易さを保つと共に、その表面又は固体カーテンの裏
面において塗布液の乾燥固化が生ずること無く、且つ塗
布の先頭部分においてスジ状の不均一を起こすことの無
い、良好な塗布面状を実現する方法及び装置を提供する
ことにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の上記目的は、 （１）注液器の先端に取付けた可撓性且つ弾力性を有す
る垂下部材の上に塗布液を流下させ、走行する非連続性
基板に垂下部材の先端部を接触させて塗布を行い、基板
が無い時には、垂下部材の下方に上下自在に取り付けた
液受け装置を上昇させて、垂下部材の先端部からの塗布
液の流下を受ける非連続性基板塗布方法において、該液
受け装置はその接液部分に少量の水を供給する手段を備
えたものを用い、該液受け装置が上昇中或いは上昇しき
った位置にある間は水供給を続け、基板塗布のために該
液受け装置が下降して垂下部材と離れる前に該液受け装
置の接液部分への水供給を停止すると共に、該液受け装
置の接液部分の水を吸引し、液受け装置が下降した後、
再び水供給を行うことを特徴とする非連続性基板塗布方
法。
る垂下部材の上に塗布液を流下させ、走行する非連続性
基板に垂下部材の先端部を接触させて塗布を行い、基板
が無い時には、垂下部材の下方に上下自在に取り付けた
液受け装置を上昇させて、垂下部材の先端部からの塗布
液の流下を受ける非連続性基板塗布方法において、該液
受け装置はその接液部分に少量の水を供給する手段を備
えたものを用い、該液受け装置が上昇中或いは上昇しき
った位置にある間は水供給を続け、基板塗布のために該
液受け装置が下降して垂下部材と離れる前に該液受け装
置の接液部分への水供給を停止すると共に、該液受け装
置の接液部分の水を吸引し、液受け装置が下降した後、
再び水供給を行うことを特徴とする非連続性基板塗布方
法。
【０００５】（２）走行する非連続性基板の上方に配置
され、その先端部に可撓性且つ弾力性を有する垂下部材
を取付けた注液器と、垂下部材の下方に上下自在に取り
付けられ、垂下部材の先端と接触しつつ塗布液の流下を
補助する液受け装置とを備え、前記垂下部材の先端部を
基板に接触させて注液器より流出する塗布液を基板上に
塗布する装置において、該液受け装置の接液部分に随時
水を供給する手段と、水の供給を停止した時に接液部分
の水を吸引する手段を備えることを特徴とする非連続性
基板塗布装置。によって達成される。
され、その先端部に可撓性且つ弾力性を有する垂下部材
を取付けた注液器と、垂下部材の下方に上下自在に取り
付けられ、垂下部材の先端と接触しつつ塗布液の流下を
補助する液受け装置とを備え、前記垂下部材の先端部を
基板に接触させて注液器より流出する塗布液を基板上に
塗布する装置において、該液受け装置の接液部分に随時
水を供給する手段と、水の供給を停止した時に接液部分
の水を吸引する手段を備えることを特徴とする非連続性
基板塗布装置。によって達成される。
【０００６】発明者らは、前述の塗布先頭部分に生ずる
スジ状の不均一な塗布面状が発生する原因を追求した結
果、供給された液受け装置表面の水が固体カーテンの裏
面を濡らし、塗り付け時液受け装置が下降して固体カー
テンと離れた後も、少量の水が固体カーテンの裏面に残
留付着し、その水が塗布先頭部分で塗布液と混合してス
ジ状の塗布不均一を引き起こすことを見いだした。
スジ状の不均一な塗布面状が発生する原因を追求した結
果、供給された液受け装置表面の水が固体カーテンの裏
面を濡らし、塗り付け時液受け装置が下降して固体カー
テンと離れた後も、少量の水が固体カーテンの裏面に残
留付着し、その水が塗布先頭部分で塗布液と混合してス
ジ状の塗布不均一を引き起こすことを見いだした。
【０００７】以下に本発明の実施態様及び機能を図によ
って説明する。図１は本発明に用いる非連続性基板の塗
布装置の概要図である。直線傾斜型の液受け装置６の接
液部分の頂上に水が供給される。供給された水は、傾斜
面７又は傾斜面８上を流下する。傾斜面７を流下する場
合、水は固体カーテン５と傾斜面７の間隙を流れ、塗布
液４の傾斜面７上での液膜形成を補助すると共に、固体
カーテン５の裏面を洗浄する効果を持つ。傾斜面８を流
下する場合は、水は均一な膜にならず、傾斜面８上を部
分的に流下する。いずれの場合も固体カーテン５の裏面
と液受け装置の頂上が接触する点９（この点は毛管現象
によって濡れ上がってきた塗布液が空気に曝される点で
あり、固体カーテンの裏面において塗布液が最も乾燥固
化し易い点である）は水で濡らされるため、固体カーテ
ン５の裏面における塗布液の乾燥固化を防ぐことができ
る。基板１０が固体カーテン５の下端に対して所定の距
離まで近づいた時に、ポンプ１２は停止し、同時に吸引
装置１１が作動し、液受け装置６の水を一定量吸引す
る。液受け装置６と固体カーテン５との接触部に保持さ
れていた水は、液受け装置の中に吸引される。この後液
受け装置６は下降し、基板１０が固体カーテン５の下端
に接触しながら塗布が行われるが、固体カーテン５の裏
面に残留水滴が無いため良好な塗布面状を得ることがで
きる。固体カーテン６が下降した後、一定時間後に給水
ポンプの運転を再び開始し、水は傾斜面７又は８上を流
れ、傾斜面に付着した塗布液を洗い流すことになる。こ
の際塗布液は当然傾斜面７に主に残留しているために、
水は傾斜面８よりも７を選択的に流下することが望まし
い。傾斜面７の方に水が流れ易くすることは、例えば傾
斜面７の頂上を傾斜面８を頂上よりもやや低くしておく
ことにより可能である。
って説明する。図１は本発明に用いる非連続性基板の塗
布装置の概要図である。直線傾斜型の液受け装置６の接
液部分の頂上に水が供給される。供給された水は、傾斜
面７又は傾斜面８上を流下する。傾斜面７を流下する場
合、水は固体カーテン５と傾斜面７の間隙を流れ、塗布
液４の傾斜面７上での液膜形成を補助すると共に、固体
カーテン５の裏面を洗浄する効果を持つ。傾斜面８を流
下する場合は、水は均一な膜にならず、傾斜面８上を部
分的に流下する。いずれの場合も固体カーテン５の裏面
と液受け装置の頂上が接触する点９（この点は毛管現象
によって濡れ上がってきた塗布液が空気に曝される点で
あり、固体カーテンの裏面において塗布液が最も乾燥固
化し易い点である）は水で濡らされるため、固体カーテ
ン５の裏面における塗布液の乾燥固化を防ぐことができ
る。基板１０が固体カーテン５の下端に対して所定の距
離まで近づいた時に、ポンプ１２は停止し、同時に吸引
装置１１が作動し、液受け装置６の水を一定量吸引す
る。液受け装置６と固体カーテン５との接触部に保持さ
れていた水は、液受け装置の中に吸引される。この後液
受け装置６は下降し、基板１０が固体カーテン５の下端
に接触しながら塗布が行われるが、固体カーテン５の裏
面に残留水滴が無いため良好な塗布面状を得ることがで
きる。固体カーテン６が下降した後、一定時間後に給水
ポンプの運転を再び開始し、水は傾斜面７又は８上を流
れ、傾斜面に付着した塗布液を洗い流すことになる。こ
の際塗布液は当然傾斜面７に主に残留しているために、
水は傾斜面８よりも７を選択的に流下することが望まし
い。傾斜面７の方に水が流れ易くすることは、例えば傾
斜面７の頂上を傾斜面８を頂上よりもやや低くしておく
ことにより可能である。
【０００８】吸引装置１１としては、公知の種々の方法
を用いることができるが、ポンプ１２の作動、停止に合
わせて、ポンプ１２、液受け装置６間の配管容積を変化
させる方法が好適に用いられる。具体的な装置の一例と
してはゴムホース等弾力性を有するホースとエアシリン
ダーを用い、ポンプ１２が作動している時はホースの一
部を押しつぶし、ポンプが停止した時開放するような装
置によってその機能を果たすことができる。このための
吸引装置の一例を図２に示す。
を用いることができるが、ポンプ１２の作動、停止に合
わせて、ポンプ１２、液受け装置６間の配管容積を変化
させる方法が好適に用いられる。具体的な装置の一例と
してはゴムホース等弾力性を有するホースとエアシリン
ダーを用い、ポンプ１２が作動している時はホースの一
部を押しつぶし、ポンプが停止した時開放するような装
置によってその機能を果たすことができる。このための
吸引装置の一例を図２に示す。
【０００９】上記態様は直線傾斜型で液受け装置６の頂
上９に設けたスリットから給水するタイプの液受け装置
について説明したが、曲線傾斜型やセラミックス等の水
浸透性材料を用いた液受け装置であっても同様に本発明
を適用することができる。いずれの場合も液受け装置６
の給液用開口は、固体カーテン５と液受け装置６が接触
する部分、及びその近傍に限定することがポンプ停止時
の水吸引効果を高める上で望ましい。又、以上の方法に
加えて、固体カーテンの裏面を弗化処理等公知の方法に
より疎水化することは、固体カーテン裏面に残る水の量
を極力少なくする観点で本発明の効果を更に高める。
上９に設けたスリットから給水するタイプの液受け装置
について説明したが、曲線傾斜型やセラミックス等の水
浸透性材料を用いた液受け装置であっても同様に本発明
を適用することができる。いずれの場合も液受け装置６
の給液用開口は、固体カーテン５と液受け装置６が接触
する部分、及びその近傍に限定することがポンプ停止時
の水吸引効果を高める上で望ましい。又、以上の方法に
加えて、固体カーテンの裏面を弗化処理等公知の方法に
より疎水化することは、固体カーテン裏面に残る水の量
を極力少なくする観点で本発明の効果を更に高める。
【００１０】
【比較例】図１に示す塗布装置において、吸引装置を用
いずに、進行方向に１０ｃｍの間隔をもって、速度３．
０ｍ／ｍｉｎにて走行する長さ５０ｃｍ、厚さ２ｍｍの
ガラス板に、粘度１０ｃｐ、表面張力４０ｄｙｎｅ／ｃ
ｍの写真感光材料の塗布液を、塗布幅５０ｃｍ、膜厚１
００μｍで塗布した。固体カーテンには長さ２０ｍｍ、
厚さ１００μｍのＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレー
ト）のシートを用いた。液受け装置は、図１の如く直線
傾斜型、頂上給液タイプで、両方の傾斜面の頂上の高さ
は同じとし、材質はステンレス材とした。又、給液され
る液は水で、送液は連続的に行いその送液量は１００ｃ
ｃ／ｍｉｎとした。この結果、固体カーテンの裏側や液
受け装置の傾斜面で固体カーテンと接触する部分は常に
水が流れ洗浄するために、長時間塗布における塗布液の
乾燥固化は起こらなかったが、各ガラス基板の先頭部１
０〜２０ｃｍにおいて、固体カーテンの裏に付着した水
に起因するスジ状の面状不良が発生した。
いずに、進行方向に１０ｃｍの間隔をもって、速度３．
０ｍ／ｍｉｎにて走行する長さ５０ｃｍ、厚さ２ｍｍの
ガラス板に、粘度１０ｃｐ、表面張力４０ｄｙｎｅ／ｃ
ｍの写真感光材料の塗布液を、塗布幅５０ｃｍ、膜厚１
００μｍで塗布した。固体カーテンには長さ２０ｍｍ、
厚さ１００μｍのＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレー
ト）のシートを用いた。液受け装置は、図１の如く直線
傾斜型、頂上給液タイプで、両方の傾斜面の頂上の高さ
は同じとし、材質はステンレス材とした。又、給液され
る液は水で、送液は連続的に行いその送液量は１００ｃ
ｃ／ｍｉｎとした。この結果、固体カーテンの裏側や液
受け装置の傾斜面で固体カーテンと接触する部分は常に
水が流れ洗浄するために、長時間塗布における塗布液の
乾燥固化は起こらなかったが、各ガラス基板の先頭部１
０〜２０ｃｍにおいて、固体カーテンの裏に付着した水
に起因するスジ状の面状不良が発生した。
【００１１】
【実施例】図１に示す塗布装置において吸引装置を用
い、他は比較例と同様の条件で塗布を行った。吸引装置
は図２に示すように内径１５ｍｍのゴムホースをエアシ
リンダー１５の先端に取付けた押しつけ部１６（押しつ
ぶす程度は体積にして約５ｃｃ）、ポンプ停止から約１
秒遅れてゴムホースの押しつけ部１６を開放した。ポン
プ停止のタイミングは、基板先頭が塗布位置に近づき、
液受け装置が下降するタイミングより約２秒速くした。
この結果、比較例同様固体カーテンの裏側や液受け装置
の傾斜面で固体カーテンと接触する部分は常に水洗浄さ
れるために、長時間塗布においても塗布液の固化乾燥は
全く発生せず、且つ比較例において発生したガラス基板
の先頭部１０〜２０ｃｍにおけるスジ状故障も全く発生
しなかった。
い、他は比較例と同様の条件で塗布を行った。吸引装置
は図２に示すように内径１５ｍｍのゴムホースをエアシ
リンダー１５の先端に取付けた押しつけ部１６（押しつ
ぶす程度は体積にして約５ｃｃ）、ポンプ停止から約１
秒遅れてゴムホースの押しつけ部１６を開放した。ポン
プ停止のタイミングは、基板先頭が塗布位置に近づき、
液受け装置が下降するタイミングより約２秒速くした。
この結果、比較例同様固体カーテンの裏側や液受け装置
の傾斜面で固体カーテンと接触する部分は常に水洗浄さ
れるために、長時間塗布においても塗布液の固化乾燥は
全く発生せず、且つ比較例において発生したガラス基板
の先頭部１０〜２０ｃｍにおけるスジ状故障も全く発生
しなかった。
【００１２】
【発明の効果】本発明の方法及び装置により、液受け装
置の濡れ易さを保つと共に、その接液部分又は固体カー
テンの裏面に塗布液が乾燥固化する現象を有効に防止す
ることができるので、塗布の先頭部分においてスジ状の
塗布不均一を起こすことも無く、均一で安定な塗布を行
うことができる。
置の濡れ易さを保つと共に、その接液部分又は固体カー
テンの裏面に塗布液が乾燥固化する現象を有効に防止す
ることができるので、塗布の先頭部分においてスジ状の
塗布不均一を起こすことも無く、均一で安定な塗布を行
うことができる。
【図１】本発明に用いる、随時水を供給する手段と接液
部分の水を吸引する手段を備えた塗布装置の概要図。
部分の水を吸引する手段を備えた塗布装置の概要図。
【図２】水を吸引する装置の一例の概要図。
１ 塗布後の基板 ２ 基板搬送用ローラ ３ 注液器 ４ 塗布液 ５ 固体カーテン ６ 液受け装置 ７、８ 液受け装置傾斜面 ９ 液受け装置頂上 １０ 塗布前の基板 １１ 吸引装置 １２ 水送液用ポンプ １３ 水ストックタンク １４ ゴムホース １５ エアシリンダー １６ 押しつけ部 １７ 水
Claims (2)
- 【請求項１】 注液器の先端に取付けた可撓性且つ弾力
性を有する垂下部材の上に塗布液を流下させ、走行する
非連続性基板に垂下部材の先端部を接触させて塗布を行
い、基板が無い時には、垂下部材の下方に上下自在に取
り付けた液受け装置を上昇させて、垂下部材の先端部か
らの塗布液の流下を受ける非連続性基板塗布方法におい
て、該液受け装置はその接液部分に少量の水を供給する
手段を備えたものを用い、該液受け装置が上昇中或いは
上昇しきった位置にある間は水供給を続け、基板塗布の
ために該液受け装置が下降して垂下部材と離れる前に該
液受け装置の接液部分への水供給を停止すると共に、該
液受け装置の接液部分の水を吸引し、液受け装置が下降
した後、再び水供給を行うことを特徴とする非連続性基
板塗布方法。 - 【請求項２】 走行する非連続性基板の上方に配置さ
れ、その先端部に可撓性且つ弾力性を有する垂下部材を
取付けた注液器と、垂下部材の下方に上下自在に取り付
けられ、垂下部材の先端と接触しつつ塗布液の流下を補
助する液受け装置とを備え、前記垂下部材の先端部を基
板に接触させて注液器より流出する塗布液を基板上に塗
布する装置において、該液受け装置の接液部分に随時水
を供給する手段と、水の供給を停止した時に接液部分の
水を吸引する手段を備えることを特徴とする非連続性基
板塗布装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3042009A JP2571161B2 (ja) | 1991-03-07 | 1991-03-07 | 非連続性基板塗布方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3042009A JP2571161B2 (ja) | 1991-03-07 | 1991-03-07 | 非連続性基板塗布方法及び装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04281877A JPH04281877A (ja) | 1992-10-07 |
| JP2571161B2 true JP2571161B2 (ja) | 1997-01-16 |
Family
ID=12624184
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3042009A Expired - Fee Related JP2571161B2 (ja) | 1991-03-07 | 1991-03-07 | 非連続性基板塗布方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2571161B2 (ja) |
-
1991
- 1991-03-07 JP JP3042009A patent/JP2571161B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04281877A (ja) | 1992-10-07 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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