JPH11314060A - ダイコーター - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 精度が高く、薄膜均一塗布を可能とするダイ
コーターを提供する事。 【解決手段】 （１）塗布液を一時的に貯溜する塗布液
溜部と、前記塗布液溜部と連通して塗布液が流出するス
リットとを構成する２つのバー部材を有し、前記スリッ
トの塗布液入口間隙ｄ１とスリットの塗布液出口間隙ｄ
２との関係が、スリット入口間隙ｄ１＞スリット出口間
隙ｄ２であるダイコーターであり、かつ、少なくとも一
方の前記バー部材は、スリット出口部スリット面と前記
２つのバーどうしの接合面とが平行平面であり、かつ、
前記平行平面に対して平行な外側面を有する事を特徴と
するダイコーター。 （２）前記一方のバー部材と組み合わされる他方のバー
部材の、スリット出口部スリット面および／または前記
接合面と外側面の一部とが平行面である（１）に記載の
ダイコーター。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、塗布液を薄膜かつ
均一に移送中の支持体表面上へ押し出して、連続あるい
は間欠的に塗布するダイコーターに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、例えば、ハロゲン化銀写真感光材
料、あるいは、磁気テープ等を得るに当たっては、ポリ
エチレンテレフタレートのようなプラスチックフィルム
や、ガラス板のような支持体表面に対して、写真感光性
塗布液、磁性塗布液等を塗布し、乾燥工程を経た後に、
断裁等の適宜の処理を施して作成している。

【０００３】ところで、薄膜塗布に適する塗布装置の１
つとして、エクストルージョン方式を用いるものが知ら
れている。

【０００４】図７は従来、公知のエクストルージョン塗
布装置の概念を示す図である。

【０００５】図７（ａ）中、２００、２０１は支持体の
搬送経路上に適宜設けられたロールであり、元巻きに繋
がる長尺の支持体Ｓは、前記ロールを含む搬送手段によ
り矢印方向に搬送される。前記ロール間には押し出し式
塗布装置３００が配され、その先端部は、前記支持体表
面を押しつけるように対設してある。

【０００６】塗布装置内の塗布液溜部３０１は、塗布液
用タンクと連通し、塗布液は所定圧力を付与されてスリ
ット３０２から押し出され、走行状態にある前記支持体
表面に付着し、塗布作業が進む。

【０００７】図７（ｂ）は、支持体Ｓを介して、塗布装
置３００のスリット３０２と対向するバックアップロー
ル２０２を有する所が前記図７（ａ）の構成と異なる以
外、基本的に同じ構成を有する。

【０００８】特開昭６３−２００７０号公報には、従前
のエクストルージョン方式の有する問題点を解決した塗
布装置の構成（図６参照）が記載されている。

【０００９】その特徴は、エクストルージョン型ヘッド
を形成する２つのエッジ部により構成されるスリットの
幅を、塗布液吐出側に向けて狭くなるように構成し、も
って、高粘度の塗布液を対象としたときでも吐出される
直前まで液圧の低下を僅少にし得るので、塗布液の吐出
量を大きくでき、高速塗布が可能になるというものであ
る。

【００１０】また、エッジ部の先端を鋭角にする事等に
より、支持体の移動方向に対して異物が引っ掛からない
ようにしたのでスジ故障がでないというものである。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記の
ように、エッジ先端を鋭角になし、かつ、スリットがス
リット出口に向かうに従って狭くなる形態は、機械加工
が難しく、精度が出しにくい。

【００１２】当然の事ながら、上記のように加工された
構成を持つ部材（以下、本明細書においては、バー部材
と呼称する）を２つ組み合わせた時、スリット出口部に
おいて、均一なスリット間隙を得る事は極めて困難であ
り、結果、塗布操作において、塗布幅方向に均一な膜厚
を得る事が出来ない欠点がある。

【００１３】また、前記バー部材のスリット出口部が、
支持体に対向する面を有している場合、当該面の平面度
が悪いと、前記と同様に膜厚分布も悪くなる。

【００１４】図５は治具を用い、平面研削盤で前記スリ
ット、あるいは、先端の鋭角を形成する従来のバー部材
の加工を説明するための正面図と側面図である。

【００１５】図中、１は左右に移動するテーブル、２は
前記テーブル上に固定された一対のＬ型治具、３は一対
の前記Ｌ型治具にロッドＲを介して支持されている被研
削物（バー部材）固定用の治具（以下、保持部材とい
う）、４は前記保持部材３に対して複数のボルトＢによ
り固定されたバー部材、Ｇは矢印方向に回転するととも
に、前記テーブル１と直交する方向に移動可能な砥石で
ある。

【００１６】図５に示すような治具を用い、バーの先端
外側部（図６において角度α、βを形成する２辺）を鋭
角に加工する場合を例にすると、被研削物４の被加工面
がテーブル１の面と平行になるように、保持部材３の傾
斜を確保するとともに、被研削物４を当該保持部材に固
定する。

【００１７】しかる後、砥石Ｇとテーブル１の位置関係
を整合させ、被研削物４の所定面、所定域の研削を開始
する。

【００１８】研削は、通常、目の粗い砥石からはじめ
て、段階的に目の細かい砥石を用いて加工を行い、所望
の表面粗さに仕上げる。

【００１９】上記はバーの先端外側部の研削であるが、
例えば、スリットにテーパが付いている場合は、前記保
持部材３の傾斜を確保して、そのテーパ面を前記テーブ
ル面と平行に保持して前記と同様の操作を行う。

【００２０】また、スリットの出口を形成し、支持体と
対向する面を研削する場合、前記と同様に、前記保持部
材３の傾斜を確保して前記対向面を前記テーブル面と平
行に保持して、前記と同様の操作を行う。

【００２１】前記研削加工においては、治具を用いて被
研削物のための傾斜角度を調整するものであり、治具の
傾斜角度の誤差や、治具のたわみにより、極めて高い精
度での研削は期待できない。

【００２２】換言すれば、例えば、広幅塗布と呼ばれる
１０００ｍｍクラスの塗布を可能とするバー部材の研削
加工における研削平面度は約１００μｍ以上の誤差を持
つ平面度となってしまう。

【００２３】本発明は、バー部材の断面形状を工夫する
事により、精度が高く、かつ、薄膜均一塗布を可能とす
る押し出し式塗布装置を提供する事を目的とする。

【００２４】

【課題を解決するための手段】本発明の目的は、下記の
構成によって達成された。

【００２５】（１）塗布液を一時的に貯溜する塗布液溜
部と、前記塗布液溜部と連通して塗布液が流出するスリ
ットとを構成する２つのバー部材を有し、前記スリット
の塗布液入口間隙ｄ１とスリットの塗布液出口間隙ｄ２
との関係が、スリット入口間隙ｄ１＞スリット出口間隙
ｄ２であるダイコーターであり、かつ、少なくとも一方
の前記バー部材は、スリット出口部スリット面と前記２
つのバーどうしの接合面とが平行平面であり、かつ、前
記平行平面に対して平行な外側面を有する事を特徴とす
るダイコーター。

【００２６】（２）前記一方のバー部材と組み合わされ
る他方のバー部材の、スリット出口部スリット面および
／または前記接合面と外側面の一部とが平行面である前
記（１）に記載のダイコーター。

【００２７】（３）少なくとも一方のバー部材は、前記
スリット出口に隣接し、支持体と対向する面に対して平
行な外側面を有することを特徴とする前記（２）に記載
のダイコーター。

【００２８】（４）塗布液を一時的に貯溜する塗布液溜
部と、前記塗布液溜部と連通する複数のスリットを構成
するための少なくとも３つ以上のバー部材を有し、前記
スリットのうち少なくとも１つ以上が塗布液入口間隙ｄ
１とスリットの塗布液出口間隙ｄ２との関係が、スリッ
ト入口間隙ｄ１＞スリット出口間隙ｄ２であるダイコー
ターであり、かつ、前記ｄ１＞ｄ２の関係にあるスリッ
トを構成するバー部材のうち少なくとも一方の前記バー
部材は、スリット出口部スリット面と前記２つのバーど
うしの接合面とが平行平面であり、かつ、前記平行平面
に対して平行な外側面を有する事を特徴とするダイコー
ター。

【００２９】（５）前記バー部材は３つ以上であり、外
側に配置される少なくとも一方のバー部材は、前記スリ
ット出口に隣接し、支持体と対向する面に対して平行な
外側面を有する事を特徴とする前記（４）に記載のダイ
コーター。

【００３０】（６）塗布液を一時的に貯留する塗布液溜
部と、塗布液溜部と連通して塗布液が流出するスリット
を構成する２つのバー部材を有するダイコーターにおい
て、断面形状が等しい長さの四辺で構成される前記バー
部材を少なくとも１つ以上有する事を特徴とするダイコ
ーター。

【００３１】（７）塗布液を一時的に貯留する複数の塗
布液溜部と、前記複数の塗布液溜部と連通して塗布液が
流出するスリットを構成する少なくとも３つ以上のバー
部材を有するダイコーターにおいて、断面形状が等しい
長さの四辺で構成される前記バー部材を少なくとも１つ
以上有する事を特徴とするダイコーター。

【００３２】（８）スリット出口間隙ｄ２は、ｄ２≦５
×１０^-5である前記（３）、（５）、（６）または前記
（７）に記載のダイコーター。

【００３３】（９）前記（３）を満たす前記（６）に記
載のダイコーター。

【００３４】（１０）前記（５）を満たす前記（７）に
記載のダイコーター。

【００３５】

【発明の実施の形態】以下、発明の実施の形態の一例
を、図を用いながら説明する。

【００３６】図１〜図３は、平面研削盤による研削を施
した後、バー部材を一体構成とした時のダイコーターの
各種例を断面形状（バー部材の塗布幅方向に対して直交
する断面の形状）で示す図で、同じ機能を有する部分は
同一番号を付してある。

【００３７】図１（ａ）において、１０はダイコーター
全体を示す。

【００３８】１１は一対のバー部材の内の一方のバー部
材、１２は他方のバー部材であり、両者は、接合部１３
（以下、接合面ともいう）を介して、ボルト等の固定手
段（図示せず）により一体化される。

【００３９】１４及び１５はそれぞれのバー部材の外形
を形成する一辺であり、当該辺（実際には紙面と垂直方
向に長さを有するので面である。以下、この辺について
は、外側面という場合がある）は、前記接合面１３と平
行な面に構成されている。

【００４０】１６および１７は、後述するスリットの出
口側の外形を形成する辺である。

【００４１】１８は一対のバー部材により、その塗布幅
方向に形成される塗布液溜部で、使用時には塗布液を貯
蔵しているタンクと、ポンプを介して接続される。

【００４２】１９は前記塗布液溜部１８と連通している
スリットであり、出口側に行くに従って徐々に開口が狭
くなっている。

【００４３】即ち、塗布液のスリット入口間隙（塗布液
溜部１８と連通するスリット基部の間隙）ｄ１とスリッ
ト出口間隙ｄ２との関係は、ｄ１＞ｄ２である。

【００４４】バー部材１２側のスリット面２１は出口側
に行くに従って狭くなるテーパ付きであるが、バー部材
１１側のスリット面２０は、その出口部において、前記
接合面１３、及び、前記外側面１４と平行な面となって
いる。

【００４５】寸法的には、前記スリット面２０の出口部
の平行部の長さは１〜１０ｍｍであるがこの限りではな
い。

【００４６】各バー部材のスリット出口側における先端
角度α、β（スリット面２０、２１と辺１６、１７によ
りそれぞれ形成される角度をいう）は鋭角であり、好ま
しい角度は、１０°〜８５°であるが、この限りではな
い。

【００４７】バー部材の塗布幅方向における長さは、約
１０００ｍｍ以上の場合に効果大だが、１０００ｍｍ未
満であってもより高精度の製作ができ有効である。

【００４８】図１（ｂ）の塗布装置においては、接合面
１３とスリット面２１とは同一平面で形成され、外側面
１４、１５は前記平面と平行な面に形成されていると共
に、スリット面２０は出口側に向かうに従って巾狭にな
るテーパが付けられている。

【００４９】その他の構成は、基本的に前記図１（ａ）
の構成と同じである。

【００５０】図１（ｃ）の塗布装置においては、接合面
１３とスリット面２１が同一平面で形成され、外側面１
４、１５は前記平面と平行な面に形成されている。

【００５１】そして、バー部材１１側のスリット出口部
のスリット面２０は、図１（ａ）のそれと同様に、前記
接合面１３と平行な平面に形成されている。

【００５２】その他の構成は、基本的に前記図１（ａ）
の構成と同じである。

【００５３】図１（ｄ）の塗布装置においては、一方の
バー部材１１の断面形状が平行四辺形であり、他方のバ
ー部材１２のスリット出口側（塗布時に支持体と対向す
る部分）は、その底辺３０と平行な面２２を有してい
る。

【００５４】接合面１３と外側面１５は、互いに平行面
である。

【００５５】その他の構成は、基本的に前記図１（ａ）
の構成と同じである。

【００５６】図１（ｅ）の塗布装置においては、一方の
バー部材１１の断面形状が菱形である事を除いて、前記
図１（ｄ）と同じ（実質的に図１（ａ）と同じ）構成で
ある。

【００５７】図１（ｆ）の塗布装置においては、本発明
の技術思想を用いたバー部材を組み合わせて、重層ダイ
スとした例を示す。

【００５８】図２（ｇ），（ｈ），（ｉ）の塗布装置
は、３つのバー部材を用いた構成の重層ダイスを示す。

【００５９】図中５０は、厚さが一定であり、両側バー
部材１１、１２の中間に配置された第３のバー部材を示
す。これら３例において、第３バー部材５０を含み形成
される各スリットの出口部は基本的に平行になってい
る。

【００６０】また、バー部材１１、１２とバー部材５０
との接合面５１、５２および外側面１４、１５も平行面
である。

【００６１】異なる点は、（ｇ）において、バー部材１
１と５０とで構成されるスリットが、塗布液溜部と連通
する部分から出口部まで平行（ｄ１＝ｄ２）であること
と、（ｉ）において、バー部材５０のスリット面５３、
５４と５５、５６により形成される角度が鋭角を成すこ
とである。

【００６２】図２（ｊ）の塗布装置は、一方のバー部材
１１の断面形状が平行四辺形であり、バー部材１２と形
成するスリットをｄ１＝ｄ２としたものである。

【００６３】図２（ｋ）の塗布装置は、バー部材３つで
構成したもので、スリットはｄ１＝ｄ２である。これら
（ｊ），（ｋ）においても接合面と外側面とは平行面で
ある。スリット間隙が、塗布液溜部から出口部まで同じ
（ｄ１＝ｄ２）でも、塗布液粘度が、例えば、５ｃｐｓ
以下の低粘度液を薄膜塗布する場合には、スリット間隙
を５０μｍ以下にする事が可能であり、有効である。

【００６４】図３（ｌ）の塗布装置は、一方のバー部材
１１の形状が平行四辺形であり、他のバー部材１２と形
成するスリットは、前記図２（ｈ），（ｉ）と同様に、
出口側に行くに従って狭くなり、出口部では平行であ
る。

【００６５】図３（ｍ）の塗布装置は、前記（ｌ）バー
部材１１に対して、断面形状が菱形である所が異なる。

【００６６】図３（ｎ）の塗布装置は、前記（ｍ）の構
成とほぼ同様であり、スリットがｄ１＝ｄ２である所が
異なる。

【００６７】図２（ｇ）〜図３（ｎ）の構成において、
同じ機能をもつものは同じ番号を付してあるが、番号を
付していない部分は今までに説明してあるので割愛し
た。

【００６８】なお、これらに限定されるものではない。

【００６９】なお、断面が菱形形状のバー部材を複数組
み合わせて塗布装置を構成する事も精度を上げる上には
有効である。

【００７０】特に、断面形状、大きさが全く同じである
場合には後記するように、複数のバー部材を同じ平面研
削盤のテーブルに一緒に固定する事で、同時研削が可能
となり、より精度が向上する。

【００７１】図４は平面研削盤を用いての加工を説明す
るための模式図で、図５の正面図に対して、９０°回転
させた方向から見たものである。

【００７２】即ち、テーブル１は紙面の垂直方向に移動
し、砥石Ｇは左右方向に移動する。

【００７３】前記テーブル１は、マグネットチャックに
なっており、この上に、例えば、Ｓ４５Ｃからなるバー
部材１１（１２）を乗せる事により、当該部材を固定す
る。

【００７４】この後、テーブル１および砥石Ｇの移動量
等の条件を設定し、加工操作を開始する。

【００７５】仮に、この加工される面が前記外側平面１
４（１５）或いは接合面（１３）である場合、当該平面
の研削を終了した後、今度は他の加工面側をテーブル１
に固定し、前記と同様の研削加工を行えば、互いに平行
な面を、精度よく仕上げる事ができる。

【００７６】即ち、従来のように、治具の平面度等の影
響を受ける事がなく、例えば、直接に平面研削のテーブ
ルに被加工物を固定できるので、結果として、スリット
面の平面性や、一対のバー部材を一体化した時のスリッ
ト間隙を精度よく仕上げる事ができる。

【００７７】特にバー部材の断面形状が平行四辺形の場
合、スリット出口部スリット面だけでなく、支持体に対
向する面も精度よく加工できるので、塗布時の膜厚分布
を高度に改善できる。

【００７８】また、バー部材の断面形状が菱形の場合、
加工の際のオーバーハング量を小さくできるので、安定
した加工が出来、精度のよいスリット出口間隙が得られ
る。

【００７９】更に、断面が長方形の場合には、オーバー
ハングがなくなり、加工性がよく、同様の効果を得る事
ができる。

【００８０】上記方法により、約２０００ｍｍの長さの
バー部材を加工した後、平面度における誤差を調べた
所、±２μｍという精度の高さをうる事が出来た。

【００８１】なお、複数のバー部材であって、厚さ、高
さ等の寸法が同じならば、それらを一緒に加工する事が
でき効率がよい。

【００８２】

【実施例】実験例１ 下記に示す組成からなる各成分をボールミルに入れ、十
分に混合分散させて磁性塗布液とした。

【００８３】 磁性塗料の組成 Ｃｏ−γ−Ｆｅ₂Ｏ₃ １０部 （Ｈｃ：９００エールステッド、ＢＥＴ値：４５ｍ²／ｇ） ジアチルセルロース １００部 α−アルミナ（平均粒径：０．２μｍ） ５部 ステアリン酸 ３部 カルナバワックス １０部 シクロヘキサノン １００部 アセトン ２００部 上記した塗布液の粘度は高粘度の５０ｃｐｓ（東京計器
社製、Ｂ型粘度計で測定）であり、密度は約１１００ｋ
ｇ／ｍ³である。

【００８４】比較例１−１、１−２、１−３ 支持体として、厚さ３２μｍ、幅２１００ｍｍのポリエ
チレンテレフタレートフィルムを使用し、塗布巾は２０
００ｍｍとした。

【００８５】また、支持体の走行速度は１００ｍ／ｍｉ
ｎとした。

【００８６】比較例のダイコーターとしては、バー部材
の先端角度がそれぞれ鋭角であり、スリットが出口に行
くに従って漸次的に狭くなっている従来の装置とした。

【００８７】また、塗布部における支持体はバックアッ
プロールにより保持されている構成（図７（ｂ）参照）
とした。

【００８８】上記条件の基に、スリット出口間隙を１０
０μｍ、５０μｍ、２０μｍのダイコーターにて、前記
磁性塗料を塗布し、比較例１−１、１−２、１−３と
し、膜厚分布を調べた。

【００８９】実施例１−１、１−２、１−３ ダイコーターの構成を除き、他の条件は前記比較例と同
様とした。

【００９０】ダイコーターとしては、図３（ｍ）の形態
のものを用い、スリット出口間隙が１００μｍ、５０μ
ｍ、２０μｍのダイコーターを用い、実施例１−１、１
−２、１−３とし、膜厚分布を調べた。

【００９１】実施例２−１、２−２、２−３ ダイコーターの構成を除き、他の条件は前記比較例と同
様とした。

【００９２】ダイコーターとしては、図３（ｌ）の形態
のものを用い、スリット出口間隙が１００μｍ、５０μ
ｍ、２０μｍのダイコーターを用い、実施例２−１、２
−２、２−３とし、膜厚分布を調べた。

【００９３】実施例３−１、３−２、３−３ ダイコーターの構成を除き、他の条件は前記比較例と同
様とした。

【００９４】ダイコーターとしては、図１（ｅ）の形態
のものを用い、スリット出口間隙が１００μｍ、５０μ
ｍ、２０μｍのダイコーターを用い、実施例３−１、３
−２、３−３とし、膜厚分布を調べた。

【００９５】実施例４−１、４−２、４−３ ダイコーターの構成を除き、他の条件は前記比較例と同
様とした。

【００９６】ダイコーターとしては、図１（ｄ）の形態
のものを用い、スリット出口間隙が１００μｍ、５０μ
ｍ、２０μｍのダイコーターを用い、実施例４−１、４
−２、４−３とし、膜厚分布を調べた。

【００９７】実施例５−１、５−２、５−３ ダイコーターの構成を除き、他の条件は前記比較例と同
様とした。

【００９８】ダイコーターとしては、図１（ｃ）の形態
のものを用い、スリット出口間隙が１００μｍ、５０μ
ｍ、２０μｍのダイコーターを用い、実施例５−１、５
−２、５−３とし、膜厚分布を調べた。

【００９９】実施例６−１、６−２、６−３ ダイコーターの構成を除き、他の条件は前記比較例と同
様とした。

【０１００】ダイコーターとしては、図１（ａ）の形態
のものを用い、スリット出口間隙が１００μｍ、５０μ
ｍ、２０μｍのダイコーターを用い、実施例６−１、６
−２、６−３とし、膜厚分布を調べた。

【０１０１】その結果を、表１に示す。

【０１０２】

【表１】

【０１０３】ここで、膜厚分布は、膜厚分布の平均値か
らのズレ量で示してある。

【０１０４】表１から、比較例に比し、全ての実施例に
おいて薄膜塗布が可能であり、かつ、膜厚分布が飛躍的
に向上している事がわかる。

【０１０５】実験例２ 下記に示す組成から成る各成分をボールミルに入れ、十
分に混合分散してカーボン分散液とした。

【０１０６】 カーボン分散液の組成 カーボンブラック（ラベン１０３５） ３０部 硫酸バリウム（平均粒径：３００ｎｍ） １０部 ニトロセルロース ２５部 ポリウレタン系樹脂 ２５部 （日本ポリウレタン（株）製、Ｎ−２３０１） ポリイソシアネート １０部 シクロヘキサノン ３５０部 メチルエチルケトン ４００部 トルエン ２５０部 上記分散液は低粘度で約１２ｃｐｓであり、密度は１０
００ｋｇ／ｍ³である。

【０１０７】比較例２−１、２−２、２−３ 支持体として、厚さ３２μｍ、幅２１００ｍｍのポリエ
チレンテレフテレートフィルムを使用し、塗布巾は２０
００ｍｍとした。

【０１０８】また、支持体の走行速度は１００ｍ／ｍｉ
ｎとした。

【０１０９】ダイコーターとしては、バー部材の先端角
度がそれぞれ鋭角であり、スリットが出口に行くに従っ
て漸次的に狭くなっている従来の装置とした。

【０１１０】また、塗布部における支持体はバックアッ
プロールにより保持されている構成（図７（ｂ）参照）
とした。

【０１１１】上記条件の基に、スリット出口間隙を１０
０μｍ、５０μｍ、２０μｍのダイコーターを用いて、
前記カーボン分散液を塗布し、比較例２−１、２−２、
２−３とし、膜厚分布を調べた。

【０１１２】実施例７−１、７−２、７−３ ダイコーターの構成を除き、他の条件は前記比較例と同
様とした。

【０１１３】ダイコーターとしては、図３（ｎ）の形態
のものを用い、スリット出口間隙が１００μｍ、５０μ
ｍ、２０μｍのダイコーターを用い、実施例７−１、７
−２、７−３とし、膜厚分布を調べた。

【０１１４】実施例８−１、８−２、８−３ ダイコーターの構成を除き、他の条件は前記比較例と同
様とした。

【０１１５】ダイコーターとしては、図２（ｊ）の形態
のものを用い、スリット出口間隙が１００μｍ、５０μ
ｍ、２０μｍのダイコーターを用い、実施例８−１、８
−２、８−３とし、下限膜厚と膜厚分布を調べた。

【０１１６】その結果を、表２に示す。

【０１１７】

【表２】

【０１１８】ここで、膜厚分布は、膜厚分布の平均値か
らのズレ量で示してある。

【０１１９】表２から、比較例に比し、全ての実施例に
おいて、膜厚分布が飛躍的に向上している事がわかる。

【０１２０】

【発明の効果】バー部材の断面形状を工夫し、研削加工
による精度を著しく向上させた塗布装置であるので、薄
膜塗布に際しても均一な膜厚が得られ、広幅な塗布にも
十分な対応が可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】ダイコーターの各種例を断面で示す図である。

【図２】ダイコーターの各種例を断面で示す図である。

【図３】ダイコーターの各種例を断面で示す図である。

【図４】平面研盤を用いてのバー部材の加工方法を示す
模式図である。

【図５】平面研盤を用いての従来のバー部材の加工方法
を示す正面図と側面図である。

【図６】従来の塗布装置の断面図である。

【図７】公知のエクストルージョン塗布装置（塗布方
法）の概念を示す図である。

【符号の説明】

１ テーブル ２，３ 治具 ４ 被研削物（バー部材） １０ ダイコーター １１，１２ バー部材 １３ 接合面 １４，１５ 外側面 １６，１７ 辺 １８ 塗布液溜部 １９ スリット ２０，２１ スリット面 ２００，２０１ ロール ２０２ バックアップロール ３００ 押し出し式塗布装置 ３０１ 塗布液溜部 ３０２ スリット Ｂ ボルト Ｇ 砥石 Ｓ 支持体

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 塗布液を一時的に貯溜する塗布液溜部
   と、前記塗布液溜部と連通して塗布液が流出するスリッ
   トとを構成する２つのバー部材を有し、前記スリットの
   塗布液入口間隙ｄ１とスリットの塗布液出口間隙ｄ２と
   の関係が、スリット入口間隙ｄ１＞スリット出口間隙ｄ
   ２であるダイコーターであり、かつ、少なくとも一方の
   前記バー部材は、スリット出口部スリット面と前記２つ
   のバーどうしの接合面とが平行平面であり、かつ、前記
   平行平面に対して平行な外側面を有する事を特徴とする
   ダイコーター。
2. 【請求項２】 前記一方のバー部材と組み合わされる他
   方のバー部材の、スリット出口部スリット面および／ま
   たは前記接合面と外側面の一部とが平行面である請求項
   １に記載のダイコーター。
3. 【請求項３】 少なくとも一方のバー部材は、前記スリ
   ット出口に隣接し、支持体と対向する面に対して平行な
   外側面を有することを特徴とする請求項２に記載のダイ
   コーター。
4. 【請求項４】 塗布液を一時的に貯溜する塗布液溜部
   と、前記塗布液溜部と連通する複数のスリットを構成す
   るための少なくとも３つ以上のバー部材を有し、前記ス
   リットのうち少なくとも１つ以上が塗布液入口間隙ｄ１
   とスリットの塗布液出口間隙ｄ２との関係が、スリット
   入口間隙ｄ１＞スリット出口間隙ｄ２であるダイコータ
   ーであり、かつ、前記ｄ１＞ｄ２の関係にあるスリット
   を構成するバー部材のうち少なくとも一方の前記バー部
   材は、スリット出口部スリット面と前記２つのバーどう
   しの接合面とが平行平面であり、かつ、前記平行平面に
   対して平行な外側面を有する事を特徴とするダイコータ
   ー。
5. 【請求項５】 前記バー部材は３つ以上であり、外側に
   配置される少なくとも一方のバー部材は、前記スリット
   出口に隣接し、支持体と対向する面に対して平行な外側
   面を有する事を特徴とする請求項４に記載のダイコータ
   ー。
6. 【請求項６】 塗布液を一時的に貯留する塗布液溜部
   と、塗布液溜部と連通して塗布液が流出するスリットを
   構成する２つのバー部材を有するダイコーターにおい
   て、断面形状が等しい長さの四辺で構成される前記バー
   部材を少なくとも１つ以上有する事を特徴とするダイコ
   ーター。
7. 【請求項７】 塗布液を一時的に貯留する複数の塗布液
   溜部と、前記複数の塗布液溜部と連通して塗布液が流出
   するスリットを構成する少なくとも３つ以上のバー部材
   を有するダイコーターにおいて、断面形状が等しい長さ
   の四辺で構成される前記バー部材を少なくとも１つ以上
   有する事を特徴とするダイコーター。
8. 【請求項８】 スリット出口間隙ｄ２は、ｄ２≦５×１
   ０^-5である請求項３、５、６または請求項７に記載のダ
   イコーター。
9. 【請求項９】 請求項３を満たす請求項６に記載のダイ
   コーター。
10. 【請求項１０】 請求項５を満たす請求項７に記載のダ
    イコーター。