JP2002205354A - 透明ガスバリア材およびその製造方法 - Google Patents
透明ガスバリア材およびその製造方法Info
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Abstract
ある特徴を有するアクリレートとメタクリレート、アク
リレートとウレタン系アクリレート、もしくはアクリレ
ートとウレタン系アクリレートとメタクリレートの混合
樹脂溶液からなるポリマー層、無機薄膜層を交互に積層
させることにより、酸素および水蒸気に対する高度なガ
スバリア性を有する透明ガスバリア材およびその製造方
法を提供することを目的とする。 【解決手段】本願発明の解決手段は、アクリレートとメ
タクリレート、アクリレートとウレタン系アクリレート
の混合系、アクリレート、ウレタン系アクリレートおよ
びメタクリレートの混合系をプライマーコートおよびオ
ーバーコートとして用いたガスバリア材を用いるもので
ある。
Description
および水蒸気の透過に対して高度なガスバリア性を持つ
ガスバリア材およびその製造方法に関するものである。
なる無機化合物を形成した透明ガスバリア材は、酸素や
水蒸気に対するガスバリア性を有し透明性に優れている
利点を備えている。
などの包装材料のほか、液晶表示素子のプラスチック基
板や有機エレクトロルミネッセンス素子のパッケージフ
ィルムへも拡大し、さらに高度なガスバリア性能が要求
されている。
て、ラミネートやプライマーコート、オーバーコートな
どが行われている。プライマーコートやオーバーコート
は主として有機樹脂からなり、塗布液体には溶剤が含ま
れるものが大部分であり、乾燥工程および大型乾燥設備
が必要とされる。
能や生産性を考慮すると、巻き取り式真空成膜が適して
いるため、溶剤を含むプライマーコートやオーバーコー
トとは別装置にて成膜する必要である。
ーやオリゴマーを使用することによって、真空中で高分
子樹脂基材上に有機樹脂層を形成することが可能とな
る。
である、有機樹脂層と無機化合物層を同一装置内で形成
することができ生産性が向上する、無機化合物と有機樹
脂層を連続的に形成することで膜の損傷によるガスバリ
ア性の劣化を防止できる、等の利点がある。
速く生産性に優れた放射線硬化が最適であり、使用され
る樹脂は放射線硬化型のアクリレートやメタクリレート
のモノマーやオリゴマーが用いられる。
高分子支持体上に蒸発したアクリレートモノマーをモノ
マーフィルムとして凝縮、放射線重合させ有機樹脂層を
形成し、次いで同じ側に無機酸化物層を蒸着させること
によって、酸素に対するガスバリア性に優れた透明ガス
バリア材を提案している。
バリア性だけでは不十分であり、酸素、水蒸気ともに高
度なガスバリア性を有する透明ガスバリア材が望まれて
いる。
ク樹脂基材上にある特徴を有するアクリレートとメタク
リレート、アクリレートとウレタン系アクリレート、も
しくはアクリレートとメタクリレートとウレタン系アク
リレートの混合樹脂溶液からなるポリマー層、無機薄膜
層を交互に積層させることにより、酸素および水蒸気に
対する高度なガスバリア性を有する透明ガスバリア材お
よびその製造方法を提供するものである。
の問題を解決するために、無機酸化物のプライマーコー
トおよびオーバーコートとして最適なアクリレートやメ
タクリレートの調査・検討を行った結果、アクリレート
とメタクリレートおよび/またはウレタン系アクリレー
トの混合系をプライマーコートおよびオーバーコートと
して用いることにより、酸素および水蒸気バリア性に優
れたガスバリア材を得ることを可能としたものである。
用する請求項に係る本発明においては、上記の問題を解
決するために、無機酸化物のプライマーコートおよびオ
ーバーコートとして最適なアクリレートやメタクリレー
トの調査・検討を行った結果、アクリレートとメタクリ
レートおよび/またはウレタン系アクリレートの混合系
をプライマーコートおよびオーバーコートとして用いる
ことにより、酸素および水蒸気バリア性に優れたガスバ
リア材を得ることを可能とするものである。
トとはウレタン結合を主鎖に持つアクリレートを指して
いる。
求項4、ならびにこれらの請求項を引用する請求項に係
る本発明においては、上記の問題を解決するために、無
機酸化物のプライマーコートおよびオーバーコートとし
て最適なアクリレートやメタクリレートの調査・検討を
行った結果、アクリレートとメタクリレートの混合系、
アクリレート、メタクリレートおよびウレタン系アクリ
レートの混合系をプライマーコートおよびオーバーコー
トとして用いることにより、酸素および水蒸気バリア性
に優れたガスバリア材を得ることを可能とするものであ
る。なお、本発明では、ウレタン系アクリレートとはウ
レタン結合を主鎖に持つアクリレートを指している。
らびにこれらの請求項を引用する請求項に係る本発明に
おいては、上記の問題を解決するために、無機酸化物の
プライマーコートおよびオーバーコートとして最適なア
クリレートやメタクリレートの調査・検討を行った結
果、アクリレートとウレタン系アクリレートの混合系、
アクリレート、ウレタン系アクリレートおよびメタクリ
レートの混合系をプライマーコートおよびオーバーコー
トとして用いることにより、酸素および水蒸気バリア性
に優れたガスバリア材を得ることができた。
脂基材上に、アクリレートとメタクリレートの混合物か
らなる電子線もしくは紫外線硬化性モノマーおよび/ま
たはオリゴマーが重合したポリマー層、および無機薄膜
層を積層したことを特徴とする透明ガスバリア材。
脂基材上に、アクリレートとウレタン系アクリレートの
混合物からなる電子線もしくは紫外線硬化性モノマーお
よび/またはオリゴマーが重合したポリマー層、および
無機薄膜層を積層したことを特徴とする透明ガスバリア
材を提供するものである。
脂基材上に、アクリレートとメタクリレートとウレタン
系アクリレートの混合物からなる電子線もしくは紫外線
硬化性モノマーおよび/またはオリゴマーが重合したポ
リマー層、および無機薄膜層を積層したことを特徴とす
る透明ガスバリア材を提供するものである。
ク樹脂基材上に、ポリマー層、無機薄膜層の順に積層さ
れていることを特徴とする請求項1、2、3何れか記載
の透明ガスバリア材を提供するものである。
ク樹脂基材上に、無機薄膜層、ポリマー層の順に積層さ
れていることを特徴とする請求項1、2、3何れか記載
の透明ガスバリア材を提供するものである。
ク樹脂基材上に、ポリマー層、無機薄膜層、ポリマー層
の順に積層されていることを特徴とする請求項1、2、
3何れか記載の透明ガスバリア材を提供するものであ
る。
ク樹脂基材上に、無機薄膜層、ポリマー層、無機薄膜層
の順に積層されていることを特徴とする請求項1、2、
3何れか記載の透明ガスバリア材を提供するものであ
る。
ク樹脂基材上に、ポリマー層と無機薄膜層の順に交互に
複数層設けたことを特徴とする請求項1、2、3何れか
記載の透明ガスバリア材を提供するものである。
樹脂基材上に、無機薄膜層とポリマー層の順に交互に複
数層設けたことを特徴とする請求項1、2、3何れか記
載の透明ガスバリア材を提供するものである。
マー層からなることを特徴とする請求項8または9記載
の透明ガスバリア材を提供するものである。
薄膜層からなることを特徴とする請求項8または9記載
の透明ガスバリア材を提供するものである。
層が、アクリレートとメタクリレートの混合比率が、モ
ル比で95:5から30:70の範囲内である請求項1
記載の透明ガスバリア材を提供するものである。
層が、アクリレートとウレタン系アクリレートの混合比
率が、モル比で95:5から50:50の範囲内である
請求項2記載の透明ガスバリア材を提供するものであ
る。
層が、アクリレートとウレタン系アクリレートの混合比
率が、モル比で95:5から50:50の範囲内であ
り、かつそれにさらにメタクリレートをモル比0.1〜
20%の範囲内で添加されている事を特徴とする請求項
3記載の透明ガスバリア材を提供するものである。
層が、アクリレートとメタクリレートとウレタン系アク
リレートの混合比率が、三成分系三角図においてモル比
94.9:5.0:0.1、79.1:4.2:16.
7、25:58.3:16.7および30:69.9:
0.1で囲まれる範囲内である請求項3記載の透明ガス
バリア材を提供するものである。
層を構成する混合樹脂溶液が25℃において600mP
a・s以下の粘度を示である請求項1〜15何れか記載
の透明ガスバリア材を提供するものである。
層が、酸化アルミニウム、酸化ケイ素、酸化マグネシウ
ム、インジウムと錫の酸化物およびインジウムとセリウ
ムの酸化物からなることを特徴とする請求項1〜16い
ずれかに記載の透明ガスバリア材を提供するものであ
る。
が、電子線もしくは紫外線硬化性モノマーおよび/また
はオリゴマーのみを重合させて形成されることを特徴と
する請求項1〜17いずれかに記載の透明ガスバリア材
の製造方法を提供するものである。
7いずれかに記載されているポリマー層および無機薄膜
層が、巻き取り式によって連続的に形成されることを特
徴とする透明ガスバリア材の製造方法を提供するもので
ある。
7いずれかに記載されているポリマー層および無機薄膜
層が、同一真空装置内で大気に曝されることなく連続的
に形成されることを特徴とする透明ガスバリア材の製造
方法を提供するものである。
ア材の断面図の例を示したものである。透明ガスバリア
材1は、透明なプラスチック樹脂基材2、ポリマー層
3、無機薄膜層4から成るものである。
無機薄膜層どちらを先に形成してもよい。但し、ポリマ
ー層、無機薄膜層各々先に形成する事により別個の利点
があり、適宜用途等を比較検討して決定すべきであるの
で下に述べる。
もよい。これも、単層複数層各々別個の利点があり、適
宜用途等を比較検討して決定すべきであるので下に述べ
る。
でもよい。これも、ポリマー層、無機薄膜層各々最上層
をポリマー層、無機薄膜層とした場合に別個の利点があ
り、適宜用途等を比較検討して決定すべきであるので下
に述べる。
めに必要な無機薄膜層の核生成サイトを与えるほか、表
面を平滑にしプラスチック樹脂基材に含まれる滑剤など
の突起上で無機薄膜層が割れることを防ぐ効果がある場
合がある。
層を形成すると、緻密な無機薄膜層を得るために必要な
無機薄膜層の核生成サイトを与えるほか、表面を平滑に
しプラスチック樹脂基材に含まれる滑剤などの突起上で
無機薄膜層が割れることを防ぐ効果がある場合がある。
トやメタクリレートは、場合によっては、プラスチック
樹脂基材によっては密着力や塗れ性に問題が生じること
が懸念される場合がある。
表面にコロナ処理、プラズマ処理、フレーム処理、薬品
処理、アンカーコート処理などを施してもよい。また、
プラスチック樹脂基材に先に無機薄膜層を形成すること
により、基材との密着性を改善する方法もある。
よって無機薄膜層が機械的損傷を受けることを防止する
効果がある場合があるが、湿潤な環境においてはポリマ
ー層の変質などにより、フィルム全体のバリア性が劣化
しやすくなる場合がある。
的損傷は受けるが、水蒸気の透過を防ぎポリマー層の変
質によって起こるフィルムのバリア性劣化を防ぐことが
できる場合がある。
順序、最上層の選択は、プラスチック樹脂基材の種類、
使用環境などによって適宜選択することができる。
ック樹脂基材は、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ
カーボネート、ポリビニルアルコール、ポリアクリレー
ト、ポリウレタン、ポリエチレンテレフタレート、ポリ
エチレンナフタレート、ポリエーテルスルフォン、アイ
オノマー、セロハン、ナイロンなどの延伸または未延伸
のフィルムであり、ガスバリア材の使用環境、要求性
能、内容物の種類、加工性および経済性などを考慮し適
宜選択することができる。基材の厚さは、包装適性、可
撓性などを考慮し10〜200μm程度のものが用いら
れる。
ートもしくはウレタン系アクリレートの2成分、もしく
はアクリレートとメタクリレートとウレタン系アクリレ
ートの3成分のモノマーおよび/またはオリゴマーを混
合した樹脂溶液から成り、各成分は1種類のモノマーお
よびオリゴマーに限らず、複数のモノマーおよび/また
はオリゴマーの混合物であってもよい。
ならびにこれらの請求項を引用する請求項に関するポリ
マー層は、アクリレートとメタクリレートの2成分、も
しくはアクリレートとメタクリレートとウレタン系アク
リレートの3成分のモノマーおよび/またはオリゴマー
を混合した樹脂溶液から成り、各成分は1種類のモノマ
ーおよびオリゴマーに限らず、複数のモノマーおよび/
またはオリゴマーの混合物であってもよい。
ならびにこれらの請求項を引用する請求項に関するポリ
マー層は、アクリレートとウレタン系アクリレートの2
成分、もしくはアクリレートとウレタン系アクリレート
とメタクリレートの3成分のモノマーおよび/またはオ
リゴマーを混合した樹脂溶液から成り、各成分は1種類
のモノマーおよびオリゴマーに限らず、複数のモノマー
および/またはオリゴマーの混合物であってもよい。複
数積層させた場合、すべてのポリマー層が同じ組成でな
くても構わない。
塗工する方法は、大気プロセスでも真空プロセスであっ
てもよい。混合樹脂溶液の塗工前に、塗工面となるプラ
スチック樹脂基材もしくは無機薄膜層との密着力工場を
目的として、塗工面にプラズマやイオン処理など前処理
を施してもよい。大気プロセスとして、グラビアコー
ト、スロットコート、カーテンコート、スピンコート、
スキージコート、スクリーン印刷など各種の塗布方法が
あげられる。ただし、混合樹脂溶液の塗工を大気プロセ
スで行う場合、成膜中もしくは後に大気中の塵埃など異
物が巻き込まれる恐れがある。
合、異物は無機薄膜層にキズなどを与える原因となり、
良好なバリア性を有するフィルムを得ることができない
可能性がある。また、液晶表示素子のプラスチック基板
や有機エレクトロルミネッセンス素子のパッケージフィ
ルムへの用途の場合、視覚的欠陥となる。
いことが要求される場合、ポリマー層の形成は真空プロ
セスで行うのが望ましい。真空プロセスには有機蒸着な
どがあげられるが、そのほか真空装置内で混合樹脂溶液
を蒸発させずに直接プラスチック樹脂基材上に塗工する
方法でも良い。真空プロセスでは、ポリマー層を無機薄
膜層と同一装置内で形成する事ができる。
膜層を形成した後、一度も大気に曝すことなく、その上
の無機薄膜層もしくはポリマー層を積層することが可能
となり、より異物の混入を防ぐことができ、結果として
高度なバリア性を有し視覚的欠陥が無いバリアフィルム
を得られるほか、ポリマー層と無機薄膜層の形成を別装
置で行う場合に比べ製造コストを削減できるという効果
がある。
は紫外線によって硬化させ、ポリマー層を形成する。電
子線もしくは紫外線による硬化方法は、熱による硬化に
比べ硬化速度が非常に速いという利点を有する。紫外線
による硬化を行う場合には、混合樹脂溶液に光重合開始
剤を添加する。光重合開始剤としては、1−ヒドロキシ
シクロヘキシルフェニルケトン等がある。
は、溶剤は不要であるため、モノマーおよび/またはオ
リゴマーの混合樹脂溶液は平滑な塗膜が得られるよう溶
剤で希釈し粘度を調節せず、ポリマー層を構成するモノ
マーおよびオリゴマーのみを用いて溶液の粘度を調整す
る必要がある。平滑な塗膜を得るためには、混合樹脂溶
液の粘度は25℃において600mPa・s以下である
ことが望ましい。
十分な電子線もしくは紫外線硬化速度が得られ、硬化後
の塗膜にタックが残留しないことが必要であり、アクリ
ル基を2つ以上含有するモノマーやオリゴマーもしくは
これらの混合物が望ましい。
は2官能以上のものに限られるわけではなく、塗工する
混合樹脂溶液が25℃で600mPa・s以下になるよ
うにするために、硬化速度やタックの影響が出ない範囲
で希釈性の高い単官能アクリレートを添加しても構わな
い。
ートモノマーおよびオリゴマーの例として、ジエチレン
グリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジ
アクリレート、1.6‐ヘキサジオールジアクリレー
ト、1.9‐ノナンジオールジアクリレート、ジメチロ
ール‐トリシクロデカンジアクリレート、EO変性トリ
メチロールプロパントリアクリレート、PO変性トリメ
チロールプロパントリアクリレートなどが挙げられる。
ス転移点が類似構造のアクリレートポリマーよりも高く
耐熱性に優れている。無機薄膜層形成時にポリマー層表
面は熱的ダメージを受けるが、耐熱性に優れたメタクリ
レートを用いたポリマー層は熱膨張変化などのダメージ
の影響が小さく、優れたガスバリア材を得ることができ
る。また、メタクリレートはアクリレートに比べ電子線
もしくは紫外線硬化性に劣り、未硬化モノマーの残留や
タックの残留が懸念されるため、メタクリル基を2つ以
上含むメタクリレートを使用することが望ましいが、硬
化性や残留タック、最終的なガスバリア性に影響がない
限り単官能メタクリレートを含んでいても問題はなく、
アクリレートとメタクリレートの混合比率はモル比9
5:5から30:70の範囲内であればよい。
例として、エチレングリコールジメタクリレート、ジエ
チレングリコールジメタクリレート、1.4−ブタンジ
オールジメタクリレート、1.9−ノナンジオールジメ
タクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレ
ートなどが挙げられる。さらに、メタクリレート構造中
に水酸基やカルボキシル基を含有すると、無機薄膜層の
核生成剤として作用し無機薄膜層が緻密化することによ
って、より高度な酸素および水蒸気バリア性を有するガ
スバリア材を得ることができる。
グリセリンジメタクリレート、エチレングリコールジエ
ポキシメタクリレートなどである。しかし、水酸基含有
メタクリレートの混合比率が多くなると、水蒸気バリア
性が逆に悪くなる傾向が見られるため、上記混合比率の
範囲内で使用することが好ましい。
を向上させるとともに、酸素、水蒸気ともによりガスバ
リア性に優れたガスバリア材を得られるという効果があ
る。ウレタン系アクリレートは粘度が高いため、高比率
でアクリレートに混合させることができない。ウレタン
系アクリレートの溶解性、溶液の塗工性および無機薄膜
層形成後のガスバリア性を考慮し、混合比率はモル比9
5:5から50:50の範囲内であることが好ましい。
合樹脂溶液に、ウレタン系アクリレートを混ぜても良
い。ウレタン系アクリレートを添加することによって、
塗膜の硬化性が向上するとともに、酸素、水蒸気ともに
よりバリア性に優れたガスバリア材を得ることができ
る。ウレタン系アクリレートは粘度が高いため、高比率
でアクリレートとメタクリレートに混合させることがで
きない。
塗工性および無機薄膜層形成後のガスバリア性を考慮
し、3成分の混合比は図2に示す3成分系三角図におけ
る斜線部分に相当する範囲内であることが必要である。
ートの2成分混合樹脂溶液に、メタクリレートを混ぜて
も良い。メタクリレートは、一般にポリマーのガラス転
移点が類似構造のアクリレートポリマーよりも高く耐熱
性に優れているからである。
ダメージを受けるが、耐熱性に優れたメタクリレートを
用いたポリマー層は熱膨張変化などのダメージの影響が
小さく、優れたガスバリア材を得ることができる。
べ電子線もしくは紫外線硬化性に劣り、未硬化モノマー
の残留やタックの残留が懸念されるため、メタクリル基
を2つ以上含むメタクリレートを使用することが望まし
いが、硬化性や残留タック、最終的なガスバリア性に影
響がない限り単官能メタクリレートを含んでいても問題
はない。
形成する混合樹脂溶液が25℃において600mPa・
s以下の粘度を示しかつアクリレートとウレタン系アク
リレートの混合比率がモル比95:5から50:50の
範囲内であるものとした場合のガスバリア材である場
合、アクリレートとウレタン系アクリレートの混合比率
に対し、メタクリレートをモル比0.1から20%の範
囲内であればよい。
例として、エチレングリコールジメタクリレート、ジエ
チレングリコールジメタクリレート、1.4−ブタンジ
オールジメタクリレート、1.9−ノナンジオールジメ
タクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレ
ートなどが挙げられる。
カルボキシル基を含有すると、無機薄膜層の核生成剤と
して作用し無機薄膜層が緻密化することによって、より
高度な酸素および水蒸気バリア性を有するガスバリア材
を得ることができる。
グリセリンジメタクリレート、エチレングリコールジエ
ポキシメタクリレートなどである。
比率が多くなると、水蒸気バリア性が逆に悪くなる傾向
が見られるため、上記混合比率の範囲内で使用すること
が好ましい。
バリア性に寄与している。本研究では、無機薄膜層とし
て酸化アルミニウム、酸化ケイ素、酸化マグネシウム、
インジウムと錫の酸化物およびインジウムとセリウムの
酸化物のいずれかから選択できる。これらの無機酸化物
はガスバリア性に優れるだけでなく、高い透明性を示す
ことから透明ガスバリア材のガスバリア層に適用され
る。透明性、着色およびバリア性能は金属と酸素の組成
比により調節する。無機薄膜層の形成方法は、電子線加
熱や誘導加熱、抵抗加熱を蒸発手段とした真空蒸着法、
スパッタリング法、化学気相法、イオンプレーティング
法などを用いることができる。
基材もしくはポリマー層表面に対しプラズマやイオン処
理などの前処理を施しても良い。無機薄膜層の厚さは1
0nmから100nmの範囲内が好ましい。
を完全に覆うことができず十分なガスバリア性能を得る
ことができない。100nm以上では巻取り時にかかる
曲げ応力によって無機薄膜層が破損しガスバリア性が低
下する恐れがある。透明性や生産コストを考慮すると、
20nmから40nmの範囲内が最適である。
詳細に説明する。本発明のガスバリア材およびその製造
を実施している真空蒸着装置5の一例を図3に示す。こ
の例では、ポリマー層の硬化方法として電子線を、無機
薄膜層の形成方法として電子線加熱による真空蒸着法を
適用している。
内部に、冷却ロール7、巻出しロール8、巻取りロール
9を設置する。冷却ロール7の周辺にポリマー層有機物
蒸着装置10、ポリマー層電子線照射装置11、遮蔽板
12、無機薄膜層蒸着用電子銃13、坩堝14、偏向コ
イル15、ポリマー層有機物供給装置16、無機薄膜層
酸素供給装置17を配置する。さらに、ポリマー層有機
物蒸着装置10、ポリマー層電子線照射装置11、無機
薄膜層蒸着用電子銃13それぞれに真空ポンプ等圧調節
装置を接続し、各プロセスに適した真空度に調節するこ
とが望ましい。
原反を装着し、冷却ロール7を介して巻き取りロール9
に至る原反搬送パスを形成する。真空成膜装置5内を真
空ポンプ6にて排気し、真空度を1Pa以下とする。
リマー層を形成する。ポリマー層有機物供給装置16か
らアクリレートとメタクリレート、アクリレートとウレ
タン系アクリレート、もしくはアクリレート、メタクリ
レート、ウレタンアクリレートの混合樹脂溶液を供給
し、ポリマー層有機物蒸着装置10で混合樹脂溶液を蒸
発させ、冷却ロール7に接し冷却されたプラスチック樹
脂基材上に凝縮させる。ポリマー層は、ポリマー層有機
物供給装置16で混合樹脂溶液の蒸発速度を制御するこ
とにより、所定の厚さに形成できる。
て硬化処理が行われる。本発明では、電子線硬化、紫外
線硬化ともに適用できるが、特に電子線硬化による方法
は、紫外線硬化による方法に比べ硬化速度が速く、重合
開始剤を必要としないという点で優れている。
工程を挟んでポリマー層上、もしくは事前に無機薄膜層
を形成する。
坩堝14内の蒸着原料に照射し、蒸着原料を蒸気化させ
る。本発明では、無機薄膜層として酸化アルミニウム、
酸化ケイ素、酸化マグネシウム、インジウムと錫の酸化
物およびインジウムとセリウムの酸化物を用いることが
できるが、特に酸化アルミニウムの真空蒸着による成膜
は、成膜速度が速く生産性に優れている。
原料として、金属アルミニウム、酸化アルミニウムのい
ずれかを選択することが可能である。金属アルミニウム
を蒸着原料とした場合、無機薄膜層酸素供給装置17か
ら酸素を供給し反応蒸着によって酸化アルミニウム層を
形成する。
の厚さ、酸化度、巻取り速度、真空成膜装置の大きさな
どの成膜条件によって異なる。着色、ガスバリア性を考
慮し、金属アルミニウムの単位時間あたりの蒸発量に対
し酸素供給速度が、酸素/アルミニウムモル換算比で
0.15〜0.75になるように設定する。
ートフィルムを真空成膜装置5の巻き出しロール8に装
着し、真空成膜装置5内を1×10-1Paまで減圧し
た。
度0.5m/秒で冷却ロール7に密着させて走行させ
た。続いて、トリエチレングリコールジアクリレート
(共栄社化学株式会社製 3EG−A)と、エチレング
リコールジエポキシメタクリレート(共栄社化学株式会
社製 40EM)をモル比80対20の割合で混合した
樹脂を、ポリマー層有機物供給装置16、ポリマー層有
機物蒸着装置10を用いて蒸着した。さらに、ポリマー
層電子線照射装置11を用いて電子線を照射しポリマー
層を硬化させた。
機薄膜層蒸着用電子銃13に15kWの電力を供給して
電子線を発生させ、蒸着材料であるアルミニウムに照射
して蒸発させた。この時アルミニウムの酸化剤として酸
素をアルミニウム蒸発速度に対してモル比で0.4の割
合で無機薄膜層酸素供給装置17から導入してアルミニ
ウムと反応させ、厚さ20nmの酸化アルミニウム層を
形成した。
レングリコールジアクリレート(共栄社化学株式会社製
3EG−A)とペンタエリスリトールトリアクリレー
トヘキサメチレンジイソシアネートウレタンプレポリマ
ー(共栄社化学株式会社製 UA−306H)をモル比
80対20の割合で混合した樹脂を、ポリマー層有機物
供給装置16、ポリマー層有機物蒸着装置10を用いて
蒸着した。さらに、ポリマー層電子線照射装置11を用
いて電子線を照射しポリマー層を硬化させた。ポリマー
層の上に無機薄膜層を設けた。実施例1と同様の方法で
厚さ20nmの酸化アルミニウム層を形成した。
ングリコールジアクリレート(共栄社化学株式会社製
3EG−A)とエチレングリコールジエポキシメタクリ
レート(共栄社化学株式会社製 40EM)とペンタエ
リスリトールトリアクリレートヘキサメチレンジイソシ
アネートウレタンプレポリマー(共栄社化学株式会社製
UA−306H)をモル比80対10対10の割合で
混合した樹脂に置換した。混合樹脂溶液をポリマー層有
機物供給装置16、ポリマー層有機物蒸着装置10を用
いて蒸着した。さらに、ポリマー層電子線照射装置11
を用いて電子線を照射しポリマー層を硬化させた。次い
でポリマー層の上に無機薄膜層を設けた。実施例1と同
様の方法で厚さ20nmの酸化アルミニウム層を形成し
た。
化ケイ素に置換した。トリエチレングリコールジアクリ
レート(共栄社化学株式会社製 3EG−A)とエチレ
ングリコールジエポキシメタクリレート(共栄社化学株
式会社製 40EM)をモル比80対20の割合で混合
した樹脂を、ポリマー層有機物供給装置16、ポリマー
層有機物蒸着装置10を用いて蒸着した。さらに、ポリ
マー層電子線照射装置11を用いて電子線を照射しポリ
マー層を硬化させた。次いでポリマー層の上に無機薄膜
層を設けた。無機薄膜層蒸着用電子銃13に15kWの
電力を供給して電子線を発生させ、蒸着材料である一酸
化ケイ素(SiO)に照射して蒸発、厚さ40nmの酸
化ケイ素層を形成した。
ングリコールジアクリレート(共栄社化学株式会社製
3EG−A)とエチレングリコールジエポキシメタクリ
レート(共栄社化学株式会社製 40EM)とペンタエ
リスリトールトリアクリレートヘキサメチレンジイソシ
アネートウレタンプレポリマー(共栄社化学株式会社製
UA−306H)をモル比80対10対10の割合で
混合した樹脂に置換した。混合樹脂溶液をポリマー層有
機物供給装置16、ポリマー層有機物蒸着装置10を用
いて蒸着した。さらに、ポリマー層電子線照射装置11
を用いて電子線を照射しポリマー層を硬化させた。次い
でポリマー層の上に無機薄膜層を設けた。実施例3と同
様の方法で厚さ40nmの酸化ケイ素層を形成した。
を酸化ケイ素に置換した。トリエチレングリコールジア
クリレート(共栄社化学株式会社製 3EG−A)とペ
ンタエリスリトールトリアクリレートヘキサメチレンジ
イソシアネートウレタンプレポリマー(共栄社化学株式
会社製 UA−306H)をモル比80対20の割合で
混合した樹脂を、ポリマー層有機物供給装置16、ポリ
マー層有機物蒸着装置10を用いて蒸着した。
用いて電子線を照射しポリマー層を硬化させた。次いで
ポリマー層の上に無機薄膜層を設けた。無機薄膜層蒸着
用電子銃13に15kWの電力を供給して電子線を発生
させ、蒸着材料である一酸化ケイ素(SiO)に照射し
て蒸発、厚さ40nmの酸化ケイ素層を形成した。
ングリコールジアクリレートに置換した。
ングリコールジアクリレートとエチレングリコールジエ
ポキシメタクリレートをモル比20対80の割合で混合
した樹脂に置換した。
ングリコールジアクリレートとエチレングリコールジエ
ポキシメタクリレートとペンタエリスリトールトリアク
リレートヘキサメチレンジイソシアネートウレタンプレ
ポリマーをモル比20対30対50の割合で混合した樹
脂に置換した。
ングリコールジアクリレートとエチレングリコールジエ
ポキシメタクリレートとペンタエリスリトールトリアク
リレートヘキサメチレンジイソシアネートウレタンプレ
ポリマーをモル比50対20対30の割合で混合した樹
脂に置換した。
クリレート(共栄社化学株式会社製 L−A)とエチレ
ングリコールジエポキシメタクリレートをモル比80対
20の割合で混合した樹脂に置換した。
ングリコールジアクリレートとポリエチレングリコール
#200ジエポキシメタクリレート(共栄社化学株式会
社製 200EA)をモル比80対20の割合で混合し
た樹脂に置換した。比較例1から6では、電子線照射に
よりポリマー層が硬化した場合のみに、実施例1と同様
の方法で厚さ20nmの酸化アルミニウム層を形成し
た。
ングリコールジアクリレートに置換した。
ングリコールジアクリレートとエチレングリコールジエ
ポキシメタクリレートをモル比20対80の割合で混合
した樹脂に置換した。
ングリコールジアクリレートとエチレングリコールジエ
ポキシメタクリレートとペンタエリスリトールトリアク
リレートヘキサメチレンジイソシアネートウレタンプレ
ポリマーをモル比20対30対50の割合で混合した樹
脂に置換した。
レングリコールジアクリレートとエチレングリコールジ
エポキシメタクリレートとペンタエリスリトールトリア
クリレートヘキサメチレンジイソシアネートウレタンプ
レポリマーをモル比50対20対30の割合で混合した
樹脂に置換した。
アクリレートとエチレングリコールジエポキシメタクリ
レートをモル比80対20の割合で混合した樹脂に置換
した。
レングリコールジアクリレートとポリエチレングリコー
ル#200ジエポキシメタクリレートをモル比80対2
0の割合で混合した樹脂に置換した。比較例7から12
では、電子線照射によりポリマー層が硬化した場合のみ
に、実施例3と同様の方法で厚さ40nmの酸化ケイ素
層を形成した。
クリレートおよびウレタン系アクリレートの混合性を目
視にて判断した。
スチック樹脂基材上への塗工性を目視で判断した。
リマー層の硬化の可否、タック残留性を、巻取りによっ
てポリマー層に接触するプラスチック樹脂基材への混合
樹脂溶液の付着、粘着性で判断した。
蒸気のガス透過度を用い、ポリマー層または無機薄膜層
形成後のガスバリア性の評価を行った。温度30℃、湿
度70%RHの雰囲気下でOx−tran 10/50
A酸素透過度測定装置(Modern Control
社製)によって測定し、酸素透過度とした。温度40
℃、湿度90%RHの雰囲気下でPermatran
6W水蒸気透過度測定装置(Modern Contr
ol社製)によって測定し、水蒸気透過度とした。
果、および酸素透過度および水蒸気透過度の測定結果を
示す。なお、表中の酸素透過度の単位はcc/m2/d
ay/atm、水蒸気透過度の単位はg/m2/day
である。
性、硬化性いずれも良好であったが、アクリレートのみ
からなるポリマー層を形成しても十分な酸素および水蒸
気バリア性を得ることができない。
レートの混合比率が多くなると樹脂の硬化性がやや低下
するが、その後の無機薄膜層の形成には差し支えなかっ
た。ガスバリア性はメタクリレートの比率が少ない樹脂
をポリマー層とした場合に比べ悪くなっている。特に水
蒸気バリア性は、ポリマー層の1成分である40EMが
構造中に2つ水酸基を含有するメタクリレートを用いた
場合には大幅に悪化している。
は、継続して攪拌を行っても白濁し混合できなかった。
では、混合可能ではあったが混合樹脂溶液の粘度が非常
に高く、プラスチック樹脂基材を完全に覆うように塗工
することができなかった。
レート成分として単官能アクリレートのみを使用した場
合、混合性、塗工性は非常に良好であるが、硬化後のポ
リマー層表面にタックが残留し使用に十分な硬度を得る
ことができなかった。
1および3のメタクリレート成分を構造類似のアクリレ
ートに置換した場合、混合性、塗工性、硬化性は良好で
あったが十分なガスバリア性をもつガスバリア材を得る
ことができなかった。
トとメタクリレート、あるいはアクリレート、メタクリ
レート、ウレタン系アクリレートの混合性、混合樹脂溶
液の塗工性、硬化性は非常に良好であった。また、これ
らの混合樹脂溶液からなるポリマー層を形成することに
よって、高度なガスバリア性を有する透明ガスバリア材
を得ることができる。
チレングリコールジアクリレートとペンタエリスリトー
ルトリアクリレートヘキサメチレンジイソシアネートウ
レタンプレポリマーをモル比30対70の割合で混合し
た樹脂に置換した。
レングリコールジアクリレートとペンタエリスリトール
トリアクリレートヘキサメチレンジイソシアネートウレ
タンプレポリマーとエチレングリコールジエポキシメタ
クリレートをモル比20対30対50の割合で混合した
樹脂に置換した。
チレングリコールジアクリレートとペンタエリスリトー
ルトリアクリレートヘキサメチレンジイソシアネートウ
レタンプレポリマーとエチレングリコールジエポキシメ
タクリレートをモル比50対20対30の割合で混合し
た樹脂に置換した。
ルアクリレート(共栄社化学株式会社製 L−A)とペ
ンタエリスリトールトリアクリレートヘキサメチレンジ
イソシアネートウレタンプレポリマーをモル比80対2
0の割合で混合した樹脂に置換した。比較例1および2
1から24では、電子線照射によりポリマー層が硬化し
た場合のみに、実験例1と同様の方法で厚さ20nmの
酸化アルミニウム層を形成した。
チレングリコールジアクリレートとペンタエリスリトー
ルトリアクリレートヘキサメチレンジイソシアネートウ
レタンプレポリマーをモル比30対70の割合で混合し
た樹脂に置換した。
チレングリコールジアクリレートとペンタエリスリトー
ルトリアクリレートヘキサメチレンジイソシアネートウ
レタンプレポリマーとエチレングリコールジエポキシメ
タクリレートをモル比20対30対50の割合で混合し
た樹脂に置換した。
チレングリコールジアクリレートトとペンタエリスリト
ールトリアクリレートヘキサメチレンジイソシアネート
ウレタンプレポリマーとエチレングリコールジエポキシ
メタクリレーをモル比50対20対30の割合で混合し
た樹脂に置換した。
ルアクリレートとペンタエリスリトールトリアクリレー
トヘキサメチレンジイソシアネートウレタンプレポリマ
ーをモル比80対20の割合で混合した樹脂に置換し
た。また、比較例1および22から27に示すように、
アクリレートは塗工性、硬化性いずれも良好であった
が、アクリレートのみからなるポリマー層を形成しても
十分な酸素および水蒸気バリア性を得ることができな
い。
タン系アクリレートの混合比率が多くなると長時間攪拌
しても混合できなかった。
外の混合比率では、長時間攪拌しても混合できなかっ
た。
外の混合比率では、混合可能ではあったが混合樹脂溶液
の粘度が非常に高く、プラスチック樹脂基材を完全に覆
うように塗工することができなかった。
リレート成分として単官能アクリレートのみを使用した
場合、混合性、塗工性は非常に良好であるが、硬化後の
ポリマー層表面にタックが残留し使用に十分な硬度を得
ることができなかった。
範囲では、アクリレートとウレタン系アクリレート、あ
るいはアクリレート、ウレタン系アクリレート、メタク
リレートの混合性、混合樹脂溶液の塗工性、硬化性は非
常に良好であった。
マー層を形成することによって、高度なガスバリア性を
有する透明ガスバリア材を得ることができる。
レンテレフタレートフィルム上にポリマー層、酸化アル
ミニウム層を形成した。次いで酸化アルミニウム層の上
に、実施例1と同様の方法でトリエチレングリコールジ
アクリレートとエチレングリコールジエポキシメタクリ
レートをモル比80対20で混合した樹脂からなるポリ
マー層を設けた。
レンテレフタレートフィルム上にポリマー層、酸化アル
ミニウム層、ポリマー層の順で形成した。次いで、最上
部のポリマー層の上に、実施例1と同様の方法で酸化ア
ルミニウム層を設けた。
エチレンテレフタレートフィルム上にポリマー層、酸化
アルミニウム層を形成した。次いで酸化アルミニウム層
の上に、実施例21と同様の方法でトリエチレングリコ
ールジアクリレートとペンタエリスリトールトリアクリ
レートヘキサメチレンジイソシアネートウレタンプレポ
リマーをモル比80対20で混合した樹脂からなるポリ
マー層を設けた。
エチレンテレフタレートフィルム上にポリマー層、酸化
アルミニウム層、ポリマー層の順で形成した。次いで、
最上部のポリマー層の上に、実施例21と同様の方法で
酸化アルミニウム層を設けた。
レンテレフタレートフィルム上にポリマー層、酸化アル
ミニウム層を形成した。次いで酸化アルミニウム層の上
に、実施例5と同様の方法でトリエチレングリコールジ
アクリレートとエチレングリコールジエポキシメタクリ
レートとペンタエリスリトールトリアクリレートヘキサ
メチレンジイソシアネートウレタンプレポリマーをモル
比80対10対10の割合で混合した樹脂からなるポリ
マー層を設けた。
レンテレフタレートフィルム上にポリマー層、酸化アル
ミニウム層、ポリマー層の順で形成した。次いで、最上
部のポリマー層の上に、実施例1と同様の方法で酸化ア
ルミニウム層を設けた。
レンテレフタレートフィルム上にポリマー層、酸化ケイ
素層を形成した。次いで酸化ケイ素層の上に、実施例1
と同様の方法でトリエチレングリコールジアクリレート
とエチレングリコールジエポキシメタクリレートをモル
比80対20で混合した樹脂からなるポリマー層を設け
た。
チレンテレフタレートフィルム上にポリマー層、酸化ケ
イ素層、ポリマー層の順で形成した。次いで、最上部の
ポリマー層の上に、実施例1と同様の方法で酸化ケイ素
層を設けた。
エチレンテレフタレートフィルム上にポリマー層、酸化
ケイ素層を形成した。
同様の方法でトリエチレングリコールジアクリレートと
ペンタエリスリトールトリアクリレートヘキサメチレン
ジイソシアネートウレタンプレポリマーをモル比80対
20で混合した樹脂からなるポリマー層を設けた。
エチレンテレフタレートフィルム上にポリマー層、酸化
ケイ素層、ポリマー層の順で形成した。次いで、最上部
のポリマー層の上に、実施例21と同様の方法で酸化ケ
イ素層を設けた。
チレンテレフタレートフィルム上にポリマー層、酸化ケ
イ素層を形成した。次いで酸化ケイ素層の上に、実施例
5と同様の方法でトリエチレングリコールジアクリレー
トとエチレングリコールジエポキシメタクリレートとペ
ンタエリスリトールトリアクリレートヘキサメチレンジ
イソシアネートウレタンプレポリマーをモル比80対1
0対10の割合で混合した樹脂からなるポリマー層を設
けた。
エチレンテレフタレートフィルム上にポリマー層、酸化
ケイ素層、ポリマー層の順で形成した。次いで、最上部
のポリマー層の上に、実施例1と同様の方法で酸化ケイ
素層を設けた。
レングリコールジアクリレートに置換した。実施例5と
同様に、ポリエチレンテレフタレートフィルム上にポリ
マー層、酸化アルミニウム層を形成した。次いで酸化ア
ルミニウム層の上に、トリエチレングリコールジアクリ
レートからなるポリマー層を設けた。
レングリコールジアクリレートに置換した。実施例6と
同様に、ポリエチレンテレフタレートフィルム上にポリ
マー層、酸化アルミニウム層、ポリマー層の順で形成し
た。次いで、最上部のポリマー層の上に、実施例1と同
様の方法で酸化アルミニウム層を設けた。
レングリコールジアクリレートに置換した。実施例3と
同様に、ポリエチレンテレフタレートフィルム上にポリ
マー層、酸化ケイ素層を形成した。次いで酸化ケイ素層
の上に、トリエチレングリコールジアクリレートからな
るポリマー層を設けた。
チレングリコールジアクリレートに置換した。実施例9
と同様に、ポリエチレンテレフタレートフィルム上にポ
リマー層、酸化ケイ素層、ポリマー層の順で形成した。
次いで、最上部のポリマー層の上に、実施例1と同様の
方法で酸化ケイ素層を設けた。
2に示す。ポリマー層と無機薄膜層を複数積層させるこ
とによりガスバリア性は向上するが、実施例5から12
に示すように、アクリレートとメタクリレート、アクリ
レートとウレタン系アクリレート、もしくはアクリレー
トとメタクリレート、ウレタン系アクリレートの混合物
からなるポリマー層を形成したとき、非常に高いガスバ
リア性を示すガスバリア材を得ることができる。
ポリエチレンテレフタレートフィルム上に酸化アルミニ
ウム層を形成した。次いで酸化アルミニウム層の上に、
実施例1と同様の方法でトリエチレングリコールジアク
リレートと、エチレングリコールジエポキシメタクリレ
ートをモル比80対20の割合で混合した樹脂からなる
ポリマー層を設けた。
エチレンテレフタレートフィルム上に酸化アルミニウム
層、ポリマー層の順で形成した。次いで、最上部のポリ
マー層の上に、実施例1と同様の方法で酸化アルミニウ
ム層を設けた。
で、ポリエチレンテレフタレートフィルム上に酸化アル
ミニウム層を形成した。次いで酸化アルミニウム層の上
に、実施例21と同様の方法でトリエチレングリコール
ジアクリレートとペンタエリスリトールトリアクリレー
トヘキサメチレンジイソシアネートウレタンプレポリマ
ーをモル比80対20で混合した樹脂からなるポリマー
層を設けた。
エチレンテレフタレートフィルム上に酸化アルミニウム
層、ポリマー層の順で形成した。次いで、最上部のポリ
マー層の上に、実施例21と同様の方法で酸化アルミニ
ウム層を設けた。
化アルミニウム層を設けた。次いで、実施例1と同様の
方法でトリエチレングリコールジアクリレートとエチレ
ングリコールジエポキシメタクリレートとペンタエリス
リトールトリアクリレートヘキサメチレンジイソシアネ
ートウレタンプレポリマーをモル比80対10対10の
割合で混合した樹脂からなるポリマー層を設けた。
エチレンテレフタレートフィルム上に酸化アルミニウム
層、ポリマー層の順で形成した。次いで、最上部のポリ
マー層の上に、実施例1と同様の方法で酸化アルミニウ
ム層を設けた。
ポリエチレンテレフタレートフィルム上にポリマー層、
酸化ケイ素層を形成した。次いで酸化ケイ素層の上に、
実施例1と同様の方法でトリエチレングリコールジアク
リレートと、エチレングリコールジエポキシメタクリレ
ートをモル比80対20の割合で混合した樹脂からなる
ポリマー層を設けた。
エチレンテレフタレートフィルム上に酸化ケイ素層、ポ
リマー層の順で形成した。次いで、最上部のポリマー層
の上に、実施例3と同様の方法で酸化ケイ素層を設け
た。
で、ポリエチレンテレフタレートフィルム上にポリマー
層、酸化ケイ素層を形成した。次いで酸化ケイ素層の上
に、実施例1と同様の方法でトリエチレングリコールジ
アクリレートとペンタエリスリトールトリアクリレート
ヘキサメチレンジイソシアネートウレタンプレポリマー
をモル比80対20で混合した樹脂からなるポリマー層
を設けた。
エチレンテレフタレートフィルム上に酸化ケイ素層、ポ
リマー層の順で形成した。次いで、最上部のポリマー層
の上に、実施例22と同様の方法で酸化ケイ素層を設け
た。
ポリエチレンテレフタレートフィルム上にポリマー層、
酸化ケイ素層を形成した。次いで、実施例1と同様の方
法でトリエチレングリコールジアクリレートとエチレン
グリコールジエポキシメタクリレートとペンタエリスリ
トールトリアクリレートヘキサメチレンジイソシアネー
トウレタンプレポリマーをモル比80対10対10の割
合で混合した樹脂からなるポリマー層を設けた。
エチレンテレフタレートフィルム上に酸化ケイ素層、ポ
リマー層の順で形成した。次いで、最上部のポリマー層
の上に、実施例3と同様の方法で酸化ケイ素層を設け
た。
チレングリコールジアクリレートに置換した。実施例1
と同様に、ポリエチレンテレフタレートフィルム上に酸
化アルミニウム層を形成した。次いで酸化アルミニウム
層の上に、トリエチレングリコールジアクリレートから
なるポリマー層を設けた。
チレングリコールジアクリレートに置換した。実施例1
4と同様に、ポリエチレンテレフタレートフィルム上に
酸化アルミニウム層、ポリマー層の順で形成した。次い
でポリマー層の上に、実施例1と同様の方法で酸化アル
ミニウム層を形成した。
チレングリコールジアクリレートに置換した。実施例3
と同様に、ポリエチレンテレフタレートフィルム上に酸
化ケイ素層を形成した。次いで酸化ケイ素層の上に、ト
リエチレングリコールジアクリレートからなるポリマー
層を設けた。
チレングリコールジアクリレートに置換した。実施例1
8と同様に、ポリエチレンテレフタレートフィルム上に
酸化ケイ素層、ポリマー層の順で形成した。次いでポリ
マー層の上に、実施例3と同様の方法で酸化ケイ素層を
形成した。
3に示す。プラスチック樹脂基材上に、表2と同様に、
無機薄膜層、ポリマー層の順序で複数積層させることに
よりガスバリア性は向上する。特に、実施例13から2
0に示すように、アクリレートとメタクリレート、もし
くはアクリレートとメタクリレート、ウレタン系アクリ
レートの混合物からなるポリマー層を形成したとき、非
常に高いガスバリア性を示すガスバリア材を得ることが
できる。
16、22から30に示すように、アクリレートとウレ
タン系アクリレート、もしくはアクリレートとウレタン
系アクリレート、メタクリレートの混合物からなるポリ
マー層を形成したとき、非常に高いガスバリア性を示す
ガスバリア材を得ることができる。
を有するアクリレートとメタクリレート、アクリレート
とウレタン系アクリレート、もしくはアクリレート、メ
タクリレートおよびウレタン系アクリレートの混合樹脂
から成るポリマー層を設けることにより、酸素、水蒸気
ともに高度なガスバリア性を有することができる。ポリ
マー層と無機薄膜層を複数積層させることによりさらに
高度なガスバリア性を持たせることが可能である。ま
た、ポリマー層と無機薄膜層の形成を同一真空装置内で
連続的に行うことにより、生産性が向上する。
明する模式図である。
アクリレートの三成分系三角図である。図中斜線部が本
発明で適用される混合比率の範囲である。
装置を説明する模式図である。
Claims (20)
- 【請求項1】プラスチック樹脂基材上に、アクリレート
とメタクリレートの混合物からなる電子線もしくは紫外
線硬化性モノマーおよび/またはオリゴマーが重合した
ポリマー層、および無機薄膜層を積層したことを特徴と
する透明ガスバリア材。 - 【請求項2】プラスチック樹脂基材上に、アクリレート
とウレタン系アクリレートの混合物からなる電子線もし
くは紫外線硬化性モノマーおよび/またはオリゴマーが
重合したポリマー層、および無機薄膜層を積層したこと
を特徴とする透明ガスバリア材。 - 【請求項3】プラスチック樹脂基材上に、アクリレート
とメタクリレートとウレタン系アクリレートの混合物か
らなる電子線もしくは紫外線硬化性モノマーおよび/ま
たはオリゴマーが重合したポリマー層、および無機薄膜
層を積層したことを特徴とする透明ガスバリア材。 - 【請求項4】前記プラスチック樹脂基材上に、ポリマー
層、無機薄膜層の順に積層されていることを特徴とする
請求項1、2、3何れか記載の透明ガスバリア材。 - 【請求項5】前記プラスチック樹脂基材上に、無機薄膜
層、ポリマー層の順に積層されていることを特徴とする
請求項1、2、3何れか記載の透明ガスバリア材。 - 【請求項6】前記プラスチック樹脂基材上に、ポリマー
層、無機薄膜層、ポリマー層の順に積層されていること
を特徴とする請求項1、2、3何れか記載の透明ガスバ
リア材。 - 【請求項7】前記プラスチック樹脂基材上に、無機薄膜
層、ポリマー層、無機薄膜層の順に積層されていること
を特徴とする請求項1、2、3何れか記載の透明ガスバ
リア材。 - 【請求項8】前記プラスチック樹脂基材上に、ポリマー
層と無機薄膜層の順に交互に複数層設けたことを特徴と
する請求項1、2、3何れか記載の透明ガスバリア材。 - 【請求項9】前記プラスチック樹脂基材上に、無機薄膜
層とポリマー層の順に交互に複数層設けたことを特徴と
する請求項1、2、3何れか記載の透明ガスバリア材。 - 【請求項10】最上層がポリマー層からなることを特徴
とする請求項8または9記載の透明ガスバリア材。 - 【請求項11】最上層が無機薄膜層からなることを特徴
とする請求項8または9記載の透明ガスバリア材。 - 【請求項12】前記ポリマー層が、アクリレートとメタ
クリレートの混合比率が、モル比で95:5から30:
70の範囲内である請求項1記載の透明ガスバリア材。 - 【請求項13】前記ポリマー層が、アクリレートとウレ
タン系アクリレートの混合比率が、モル比で95:5か
ら50:50の範囲内である請求項2記載の透明ガスバ
リア材。 - 【請求項14】前記ポリマー層が、アクリレートとウレ
タン系アクリレートの混合比率が、モル比で95:5か
ら50:50の範囲内であり、かつそれにさらにメタク
リレートをモル比0.1〜20%の範囲内で添加されて
いる事を特徴とする請求項3記載の透明ガスバリア材。 - 【請求項15】前記ポリマー層が、アクリレートとメタ
クリレートとウレタン系アクリレートの混合比率が、三
成分系三角図においてモル比94.9:5.0:0.
1、79.1:4.2:16.7、25:58.3:1
6.7および30:69.9:0.1で囲まれる範囲内
である請求項3記載の透明ガスバリア材。 - 【請求項16】前記ポリマー層を構成する混合樹脂溶液
が25℃において600mPa・s以下の粘度を示であ
る請求項1〜15何れか記載の透明ガスバリア材。 - 【請求項17】前記無機薄膜層が、酸化アルミニウム、
酸化ケイ素、酸化マグネシウム、インジウムと錫の酸化
物およびインジウムとセリウムの酸化物からなることを
特徴とする請求項1〜16いずれかに記載の透明ガスバ
リア材。 - 【請求項18】ポリマー層が、電子線もしくは紫外線硬
化性モノマーおよび/またはオリゴマーのみを重合させ
て形成されることを特徴とする請求項1〜17いずれか
に記載の透明ガスバリア材の製造方法。 - 【請求項19】請求項1〜17いずれかに記載されてい
るポリマー層および無機薄膜層が、巻き取り式によって
連続的に形成されることを特徴とする透明ガスバリア材
の製造方法。 - 【請求項20】請求項1〜17いずれかに記載されてい
るポリマー層および無機薄膜層が、同一真空装置内で大
気に曝されることなく連続的に形成されることを特徴と
する透明ガスバリア材の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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---|---|---|---|
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JP2000-343484 | 2000-11-10 | ||
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---|---|
JP (1) | JP4677692B2 (ja) |
Cited By (31)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005007741A (ja) * | 2003-06-19 | 2005-01-13 | Toppan Printing Co Ltd | 積層体 |
JP2005074731A (ja) * | 2003-08-29 | 2005-03-24 | Toppan Printing Co Ltd | 高ガスバリア性を有する透明積層体 |
JP2005313560A (ja) * | 2004-04-30 | 2005-11-10 | Dainippon Printing Co Ltd | ガスバリア性フィルム |
JP2006084517A (ja) * | 2004-09-14 | 2006-03-30 | Fuji Photo Film Co Ltd | 画像表示装置 |
JP2006095933A (ja) * | 2004-09-30 | 2006-04-13 | Toppan Printing Co Ltd | ガスバリア性透明積層体 |
JP2006095932A (ja) * | 2004-09-30 | 2006-04-13 | Toppan Printing Co Ltd | 積層体の製造方法 |
JP2006116829A (ja) * | 2004-10-22 | 2006-05-11 | Dainippon Printing Co Ltd | ガスバリア性フィルム |
JP2006142548A (ja) * | 2004-11-17 | 2006-06-08 | Toppan Printing Co Ltd | ガスバリア性透明積層体 |
JP2006525152A (ja) * | 2003-04-02 | 2006-11-09 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 可撓性高温ウルトラバリヤー |
JP2007030387A (ja) * | 2005-07-28 | 2007-02-08 | Fujifilm Corp | バリア性フィルム基板およびそれを用いた有機電界発光素子 |
JP2008221830A (ja) * | 2007-02-15 | 2008-09-25 | Fujifilm Corp | バリア性積層体、バリア性フィルム基板、それらの製造方法、およびデバイス |
JP2008265255A (ja) * | 2007-04-25 | 2008-11-06 | Toppan Printing Co Ltd | ガスバリア性積層体 |
JP2009172988A (ja) * | 2007-10-16 | 2009-08-06 | Fujifilm Corp | バリア性積層体、バリア性フィルム基板、デバイス、およびバリア性積層体の製造方法 |
JP2009179855A (ja) * | 2008-01-31 | 2009-08-13 | Fujifilm Corp | 機能性フィルムの製造方法 |
JP2009241514A (ja) * | 2008-03-31 | 2009-10-22 | Dainippon Printing Co Ltd | 表示素子用プラスチック基板及び表示装置 |
JP2009262490A (ja) * | 2008-04-28 | 2009-11-12 | Toppan Printing Co Ltd | ガスバリア性積層フィルム |
JP2010094863A (ja) * | 2008-10-15 | 2010-04-30 | Dainippon Printing Co Ltd | 表示素子用ガスバリア性基板及び表示装置 |
JP2010094862A (ja) * | 2008-10-15 | 2010-04-30 | Dainippon Printing Co Ltd | 表示素子用ガスバリア性基板及び表示装置 |
JP2010201888A (ja) * | 2009-03-06 | 2010-09-16 | Toppan Printing Co Ltd | ガスバリア性積層フィルム |
JP2011051220A (ja) * | 2009-09-01 | 2011-03-17 | Fujifilm Corp | ガスバリアフィルムおよびデバイス |
JP2011173356A (ja) * | 2010-02-25 | 2011-09-08 | Toppan Printing Co Ltd | ガスバリア積層体 |
US8227040B2 (en) | 2006-12-29 | 2012-07-24 | 3M Innovative Properties Company | Method of curing metal alkoxide-containing films |
CN102615872A (zh) * | 2011-01-26 | 2012-08-01 | 三菱综合材料株式会社 | 水蒸气阻挡膜 |
JP2012161994A (ja) * | 2011-02-07 | 2012-08-30 | Sekisui Chem Co Ltd | ガスバリア性フィルム、及びその製造方法 |
WO2012115175A1 (ja) * | 2011-02-25 | 2012-08-30 | 富士フイルム株式会社 | バリア性積層体およびバリア性積層体の製造方法 |
JP2012251079A (ja) * | 2011-06-03 | 2012-12-20 | Sekisui Chem Co Ltd | ガスバリア性樹脂層形成用組成物、並びにこれを用いてなるガスバリア性フィルム及びその製造方法 |
WO2013018761A1 (ja) * | 2011-08-01 | 2013-02-07 | 富士フイルム株式会社 | 機能性フィルムの製造方法および機能性フィルム |
WO2013146069A1 (ja) * | 2012-03-29 | 2013-10-03 | 富士フイルム株式会社 | ガスバリアフィルム |
JP2014043096A (ja) * | 2012-08-01 | 2014-03-13 | Toray Ind Inc | ガスバリア性フィルム |
US9481927B2 (en) | 2008-06-30 | 2016-11-01 | 3M Innovative Properties Company | Method of making inorganic or inorganic/organic hybrid barrier films |
JP2020114667A (ja) * | 2019-01-17 | 2020-07-30 | 凸版印刷株式会社 | ガスバリア性積層体およびその製造方法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10278167A (ja) * | 1997-03-31 | 1998-10-20 | Toppan Printing Co Ltd | バリアー性積層体及びその製造方法 |
-
2001
- 2001-07-26 JP JP2001225888A patent/JP4677692B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10278167A (ja) * | 1997-03-31 | 1998-10-20 | Toppan Printing Co Ltd | バリアー性積層体及びその製造方法 |
Cited By (42)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011131601A (ja) * | 2003-04-02 | 2011-07-07 | Three M Innovative Properties Co | 可撓性高温ウルトラバリヤー |
JP2006525152A (ja) * | 2003-04-02 | 2006-11-09 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 可撓性高温ウルトラバリヤー |
US7940004B2 (en) | 2003-04-02 | 2011-05-10 | 3M Innovative Properties Company | Flexible high-temperature ultrabarrier |
JP2005007741A (ja) * | 2003-06-19 | 2005-01-13 | Toppan Printing Co Ltd | 積層体 |
JP2005074731A (ja) * | 2003-08-29 | 2005-03-24 | Toppan Printing Co Ltd | 高ガスバリア性を有する透明積層体 |
JP2005313560A (ja) * | 2004-04-30 | 2005-11-10 | Dainippon Printing Co Ltd | ガスバリア性フィルム |
JP4536417B2 (ja) * | 2004-04-30 | 2010-09-01 | 大日本印刷株式会社 | ガスバリア性フィルム |
JP2006084517A (ja) * | 2004-09-14 | 2006-03-30 | Fuji Photo Film Co Ltd | 画像表示装置 |
JP2006095932A (ja) * | 2004-09-30 | 2006-04-13 | Toppan Printing Co Ltd | 積層体の製造方法 |
JP2006095933A (ja) * | 2004-09-30 | 2006-04-13 | Toppan Printing Co Ltd | ガスバリア性透明積層体 |
JP4548073B2 (ja) * | 2004-09-30 | 2010-09-22 | 凸版印刷株式会社 | ガスバリア性透明積層体 |
JP2006116829A (ja) * | 2004-10-22 | 2006-05-11 | Dainippon Printing Co Ltd | ガスバリア性フィルム |
JP4664039B2 (ja) * | 2004-10-22 | 2011-04-06 | 大日本印刷株式会社 | ディスプレイ基板用のガスバリア性フィルム及びそれを用いたディスプレイ基板 |
JP2006142548A (ja) * | 2004-11-17 | 2006-06-08 | Toppan Printing Co Ltd | ガスバリア性透明積層体 |
JP4604674B2 (ja) * | 2004-11-17 | 2011-01-05 | 凸版印刷株式会社 | ガスバリア性透明積層体 |
JP2007030387A (ja) * | 2005-07-28 | 2007-02-08 | Fujifilm Corp | バリア性フィルム基板およびそれを用いた有機電界発光素子 |
US8227040B2 (en) | 2006-12-29 | 2012-07-24 | 3M Innovative Properties Company | Method of curing metal alkoxide-containing films |
JP2008221830A (ja) * | 2007-02-15 | 2008-09-25 | Fujifilm Corp | バリア性積層体、バリア性フィルム基板、それらの製造方法、およびデバイス |
US8197946B2 (en) | 2007-02-15 | 2012-06-12 | Fujifilm Corporation | Barrier laminate, barrier film substrate, methods for producing them, and device |
JP2008265255A (ja) * | 2007-04-25 | 2008-11-06 | Toppan Printing Co Ltd | ガスバリア性積層体 |
JP2009172988A (ja) * | 2007-10-16 | 2009-08-06 | Fujifilm Corp | バリア性積層体、バリア性フィルム基板、デバイス、およびバリア性積層体の製造方法 |
JP2009179855A (ja) * | 2008-01-31 | 2009-08-13 | Fujifilm Corp | 機能性フィルムの製造方法 |
US8980374B2 (en) | 2008-01-31 | 2015-03-17 | Fujifilm Corporation | Method for producing functional film |
JP2009241514A (ja) * | 2008-03-31 | 2009-10-22 | Dainippon Printing Co Ltd | 表示素子用プラスチック基板及び表示装置 |
JP2009262490A (ja) * | 2008-04-28 | 2009-11-12 | Toppan Printing Co Ltd | ガスバリア性積層フィルム |
US9481927B2 (en) | 2008-06-30 | 2016-11-01 | 3M Innovative Properties Company | Method of making inorganic or inorganic/organic hybrid barrier films |
JP2010094863A (ja) * | 2008-10-15 | 2010-04-30 | Dainippon Printing Co Ltd | 表示素子用ガスバリア性基板及び表示装置 |
JP2010094862A (ja) * | 2008-10-15 | 2010-04-30 | Dainippon Printing Co Ltd | 表示素子用ガスバリア性基板及び表示装置 |
JP2010201888A (ja) * | 2009-03-06 | 2010-09-16 | Toppan Printing Co Ltd | ガスバリア性積層フィルム |
JP2011051220A (ja) * | 2009-09-01 | 2011-03-17 | Fujifilm Corp | ガスバリアフィルムおよびデバイス |
JP2011173356A (ja) * | 2010-02-25 | 2011-09-08 | Toppan Printing Co Ltd | ガスバリア積層体 |
CN102615872A (zh) * | 2011-01-26 | 2012-08-01 | 三菱综合材料株式会社 | 水蒸气阻挡膜 |
JP2012161994A (ja) * | 2011-02-07 | 2012-08-30 | Sekisui Chem Co Ltd | ガスバリア性フィルム、及びその製造方法 |
WO2012115175A1 (ja) * | 2011-02-25 | 2012-08-30 | 富士フイルム株式会社 | バリア性積層体およびバリア性積層体の製造方法 |
JP2012251079A (ja) * | 2011-06-03 | 2012-12-20 | Sekisui Chem Co Ltd | ガスバリア性樹脂層形成用組成物、並びにこれを用いてなるガスバリア性フィルム及びその製造方法 |
WO2013018761A1 (ja) * | 2011-08-01 | 2013-02-07 | 富士フイルム株式会社 | 機能性フィルムの製造方法および機能性フィルム |
JP2013031794A (ja) * | 2011-08-01 | 2013-02-14 | Fujifilm Corp | 機能性フィルムの製造方法および機能性フィルム |
US9670370B2 (en) | 2011-08-01 | 2017-06-06 | Fujifilm Corporation | Functional film manufacturing method and functional film |
WO2013146069A1 (ja) * | 2012-03-29 | 2013-10-03 | 富士フイルム株式会社 | ガスバリアフィルム |
JP2013202971A (ja) * | 2012-03-29 | 2013-10-07 | Fujifilm Corp | ガスバリアフィルム |
JP2014043096A (ja) * | 2012-08-01 | 2014-03-13 | Toray Ind Inc | ガスバリア性フィルム |
JP2020114667A (ja) * | 2019-01-17 | 2020-07-30 | 凸版印刷株式会社 | ガスバリア性積層体およびその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4677692B2 (ja) | 2011-04-27 |
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