JP2002045763A - ダイヘッド - Google Patents
ダイヘッドInfo
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- JP2002045763A JP2002045763A JP2000239535A JP2000239535A JP2002045763A JP 2002045763 A JP2002045763 A JP 2002045763A JP 2000239535 A JP2000239535 A JP 2000239535A JP 2000239535 A JP2000239535 A JP 2000239535A JP 2002045763 A JP2002045763 A JP 2002045763A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 塗布開始時において、基板に対する塗工液の
厚膜化を確実に防止することができるダイヘッドを提供
する。 【解決手段】 ダイヘッド１０は一方の型１１と、一方
の型１１に嵌合され一方の型１１との間に基板Ｗに対し
て塗工液３０を吐出する吐出口１８を形成する他方の型
１２とを有している。一方の型１１の先端部は、他方の
型１２の先端部より基板Ｗ側に突出して突出部１１ａを
形成している。一方の型１１の先端部と他方の型１２の
先端部との間に、塗工液３０の液溜り１３が形成され
る。この液溜り１３に少量の塗工液３０を供給するだけ
で小型の初期ビード３０ａを形成することができるの
で、初期ビード３０ａによる塗工液３０の厚膜化を確実
に防止することができる。
厚膜化を確実に防止することができるダイヘッドを提供
する。 【解決手段】 ダイヘッド１０は一方の型１１と、一方
の型１１に嵌合され一方の型１１との間に基板Ｗに対し
て塗工液３０を吐出する吐出口１８を形成する他方の型
１２とを有している。一方の型１１の先端部は、他方の
型１２の先端部より基板Ｗ側に突出して突出部１１ａを
形成している。一方の型１１の先端部と他方の型１２の
先端部との間に、塗工液３０の液溜り１３が形成され
る。この液溜り１３に少量の塗工液３０を供給するだけ
で小型の初期ビード３０ａを形成することができるの
で、初期ビード３０ａによる塗工液３０の厚膜化を確実
に防止することができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は基板に対して塗工液
を塗布するダイヘッドに係り、とりわけ塗布開始時にお
いて塗工液の厚膜化を確実に防止することができるダイ
ヘッドに関する。
を塗布するダイヘッドに係り、とりわけ塗布開始時にお
いて塗工液の厚膜化を確実に防止することができるダイ
ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、基板に対して塗工液を塗布す
るダイヘッドとして、吐出口を形成する一対の型を有す
るものが知られている。
るダイヘッドとして、吐出口を形成する一対の型を有す
るものが知られている。
【０００３】ダイヘッド１０は、図６（ａ）に示すよう
に、一方の型１１と他方の型１２とを有し、一方の型１
１と他方の型１２との間に吐出口１８を形成したもので
ある。このようなダイヘッド１０により基板Ｗに対して
塗工液３０を塗布する場合、塗布開始時において塗工液
３０の初期ビードが大きくなり、このため塗布開始直後
に塗工液の膜厚が大きくなってしまうことがある。
に、一方の型１１と他方の型１２とを有し、一方の型１
１と他方の型１２との間に吐出口１８を形成したもので
ある。このようなダイヘッド１０により基板Ｗに対して
塗工液３０を塗布する場合、塗布開始時において塗工液
３０の初期ビードが大きくなり、このため塗布開始直後
に塗工液の膜厚が大きくなってしまうことがある。
【０００４】このような塗工液の膜厚の増大を防止する
ものとして、図６（ｂ）に示すように一方の型１１の先
端部と他方の型１２の先端部の幅を狭くしたり、あるい
はダイヘッド１０と基板Ｗとの間の間隙を小さくするこ
とが考えられている。
ものとして、図６（ｂ）に示すように一方の型１１の先
端部と他方の型１２の先端部の幅を狭くしたり、あるい
はダイヘッド１０と基板Ｗとの間の間隙を小さくするこ
とが考えられている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、塗工液
の膜厚の増大を防止するため、一方の型１１の先端部と
他方の型１２の先端部の幅を狭くした場合、両型１１，
１２の先端部が加工による金属バリの影響を受け、この
金属バリにより塗膜スジが生じることがある。
の膜厚の増大を防止するため、一方の型１１の先端部と
他方の型１２の先端部の幅を狭くした場合、両型１１，
１２の先端部が加工による金属バリの影響を受け、この
金属バリにより塗膜スジが生じることがある。
【０００６】またダイヘッド１０と基板Ｗとの間の間隙
を小さくしても、塗膜スジおよび塗膜ムラを招くことが
あり、いずれの場合も塗布開始直後においてビードの小
型を図ることはむずかしい。
を小さくしても、塗膜スジおよび塗膜ムラを招くことが
あり、いずれの場合も塗布開始直後においてビードの小
型を図ることはむずかしい。
【０００７】本発明にこのような点を考慮してなされた
ものであり、塗布開始時において初期ビード形成時間の
短縮化と小型化を図ることができ、これにより塗工液の
厚膜化を確実に抑えることができるダイヘッドを提供す
ることを目的とする。
ものであり、塗布開始時において初期ビード形成時間の
短縮化と小型化を図ることができ、これにより塗工液の
厚膜化を確実に抑えることができるダイヘッドを提供す
ることを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、一方の型と、
一方の型に嵌合され、一方の型との間に基板に対して塗
工液を吐出する吐出口を形成する他方の型とを備え、一
方の型の先端部は、他方の型の先端部より基板側へ突出
して突出部を形成し、一方の型の先端部と他方の型の先
端部との間に塗工液の液溜りを形成したことを特徴とす
るダイヘッドである。
一方の型に嵌合され、一方の型との間に基板に対して塗
工液を吐出する吐出口を形成する他方の型とを備え、一
方の型の先端部は、他方の型の先端部より基板側へ突出
して突出部を形成し、一方の型の先端部と他方の型の先
端部との間に塗工液の液溜りを形成したことを特徴とす
るダイヘッドである。
【０００９】本発明によれば、一方の型の先端部に他方
の型より突出する突出部を設けることにより、この突出
部により一方の型の先端部と他方の型の先端部との間に
塗工液の液溜りを形成することができる。このため、吐
出口から小量の塗工液をこの液溜りに供給するだけで、
液溜りに比較的小型の初期ビードを迅速に形成すること
ができる。
の型より突出する突出部を設けることにより、この突出
部により一方の型の先端部と他方の型の先端部との間に
塗工液の液溜りを形成することができる。このため、吐
出口から小量の塗工液をこの液溜りに供給するだけで、
液溜りに比較的小型の初期ビードを迅速に形成すること
ができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態について説明する。図１乃至図４は本発明によ
るダイヘッドの一実施の形態を示す図である。
施の形態について説明する。図１乃至図４は本発明によ
るダイヘッドの一実施の形態を示す図である。
【００１１】図１に示すように、ダイヘッド１０は一方
の型１１と、一方の型１１に嵌合され一方の型１１との
間に吐出口１８を形成する他方の型１２とを備え、一方
の型１１と他方の型１２との間に設けられた通路１５か
ら塗工液３０を吐出口１８へ導いて、基板Ｗに対して排
出するようになっている。
の型１１と、一方の型１１に嵌合され一方の型１１との
間に吐出口１８を形成する他方の型１２とを備え、一方
の型１１と他方の型１２との間に設けられた通路１５か
ら塗工液３０を吐出口１８へ導いて、基板Ｗに対して排
出するようになっている。
【００１２】このうち一方の型１１は下流側の型となっ
ており、また他方の型１２は上流側の型となっている。
さらに、一方の型１１の先端部は他方の型により基板Ｗ
側へ突出して突出部１１ａを形成し、この突出部１１ａ
により一方の型１１の先端部と他方の型１２の先端部と
の間に塗工液３０の液溜り１３を形成している。
ており、また他方の型１２は上流側の型となっている。
さらに、一方の型１１の先端部は他方の型により基板Ｗ
側へ突出して突出部１１ａを形成し、この突出部１１ａ
により一方の型１１の先端部と他方の型１２の先端部と
の間に塗工液３０の液溜り１３を形成している。
【００１３】このように一方の型１１の先端部を他方の
型１２の先端に対して段差Ｈだけ突出させて突出部１１
ａを形成することにより、塗布開始時における初期ビー
ド３０ａを小量の塗工液３０により短時間で形成するこ
とができ、初期ビード３０ａの小型化を図ることができ
る。
型１２の先端に対して段差Ｈだけ突出させて突出部１１
ａを形成することにより、塗布開始時における初期ビー
ド３０ａを小量の塗工液３０により短時間で形成するこ
とができ、初期ビード３０ａの小型化を図ることができ
る。
【００１４】すなわち、図２（ａ）（ｂ）および図３
（ａ）に示すように、一方の型１１の先端部を他方の型
１２の先端部に対して段差Ｈだけ突出させて突出部１１
ａを形成し、このように形成した先端部１１ａにより一
方の型１１の先端部と他方の型１２の先端部との間に突
出部１１ａを壁面とする液溜り１３を形成することがで
きる。このため、塗布開始時にこの液溜り１３に塗工液
３０を供給する場合、小量の塗工液３０でも液溜り１３
に沿って塗工液３０が急速に広がっていく。これによ
り、液溜り１３内に短時間でかつ確実に塗工液の初期ビ
ード３０ａを形成することができる。また初期ビード３
０ａを少量の塗工液３０により形成することができるの
で、初期ビード３０ａの小型化を図って、塗布開始時に
おいて塗工液３０の膜厚化を防止することができる。
（ａ）に示すように、一方の型１１の先端部を他方の型
１２の先端部に対して段差Ｈだけ突出させて突出部１１
ａを形成し、このように形成した先端部１１ａにより一
方の型１１の先端部と他方の型１２の先端部との間に突
出部１１ａを壁面とする液溜り１３を形成することがで
きる。このため、塗布開始時にこの液溜り１３に塗工液
３０を供給する場合、小量の塗工液３０でも液溜り１３
に沿って塗工液３０が急速に広がっていく。これによ
り、液溜り１３内に短時間でかつ確実に塗工液の初期ビ
ード３０ａを形成することができる。また初期ビード３
０ａを少量の塗工液３０により形成することができるの
で、初期ビード３０ａの小型化を図って、塗布開始時に
おいて塗工液３０の膜厚化を防止することができる。
【００１５】ここで図２（ａ）は本発明によるダイヘッ
ドを示す図であり、図２（ｂ）は図２（ａ）のＢ部拡大
図であり、図２（ｃ）に比較例のダイヘッドを示す図で
あり、図２（ｄ）は図２（ｃ）のＤ部拡大図である。
ドを示す図であり、図２（ｂ）は図２（ａ）のＢ部拡大
図であり、図２（ｃ）に比較例のダイヘッドを示す図で
あり、図２（ｄ）は図２（ｃ）のＤ部拡大図である。
【００１６】また図３（ａ）は本発明によるダイヘッド
の斜視図であり、図３（ｂ）は比較例を示す図である。
の斜視図であり、図３（ｂ）は比較例を示す図である。
【００１７】一方、図２（ｃ）（ｄ）および図３（ｂ）
に示すように、一方の型１１の先端部と他方の型１２の
先端部との間に段差を設けない比較例においては、一方
の型１１の先端部と他方の型１２の先端部が平坦状とな
るため、この一方の型１１の先端部と他方の型１２の先
端部で初期ビード３０ａを形成するためには比較的多量
の塗工液３０が必要となり、初期ビード３０ａの小型化
を図ることはむずかしい。
に示すように、一方の型１１の先端部と他方の型１２の
先端部との間に段差を設けない比較例においては、一方
の型１１の先端部と他方の型１２の先端部が平坦状とな
るため、この一方の型１１の先端部と他方の型１２の先
端部で初期ビード３０ａを形成するためには比較的多量
の塗工液３０が必要となり、初期ビード３０ａの小型化
を図ることはむずかしい。
【００１８】ところで図４（ａ）（ｂ）に示すように、
一方の型１１と他方の型１２のうち、通路１５内壁と、
一方の型１１の突出部１１ａの吐出口１８側の表面と、
突出部１１ａの先端側表面と、他方の型１２の先端側表
面とに濡れ性を高める表面処理が行われている。他方、
一方の型１１の傾斜外面１１ｂと他方の型１２の傾斜外
面１２ｂには、揆水性を高める表面処理が行われてい
る。
一方の型１１と他方の型１２のうち、通路１５内壁と、
一方の型１１の突出部１１ａの吐出口１８側の表面と、
突出部１１ａの先端側表面と、他方の型１２の先端側表
面とに濡れ性を高める表面処理が行われている。他方、
一方の型１１の傾斜外面１１ｂと他方の型１２の傾斜外
面１２ｂには、揆水性を高める表面処理が行われてい
る。
【００１９】ここで図４（ａ）はダイヘッド１０の側断
面図であり、図４（ｂ）は図４（ａ）の拡大図である。
このように一方の型１１と他方の型１２のうち各々の傾
斜外面１１ｂ，１２ｂに揆水性を高める表面処理を施
し、その他の部分に濡れ性を高める表面処理を行なうこ
とにより、塗工液３０が傾斜外面１１ｂ，１２ｂへ回り
込むことはなく、初期ビード３０ａをより確実に小型化
することができる。
面図であり、図４（ｂ）は図４（ａ）の拡大図である。
このように一方の型１１と他方の型１２のうち各々の傾
斜外面１１ｂ，１２ｂに揆水性を高める表面処理を施
し、その他の部分に濡れ性を高める表面処理を行なうこ
とにより、塗工液３０が傾斜外面１１ｂ，１２ｂへ回り
込むことはなく、初期ビード３０ａをより確実に小型化
することができる。
【００２０】次にこのような構成からなる本実施の形態
の作用について説明する。
の作用について説明する。
【００２１】図１乃至図４において、ダイヘッド１０の
一方の型１１の先端部を他方の型１２の先端部から段差
Ｈだけ突出させて突出部１１ａを形成し、この突出部１
１ａにより塗工液の液溜り１３を形成したので、少量の
塗工液３０によって初期ビード３０ａを確実に形成する
ことができる。
一方の型１１の先端部を他方の型１２の先端部から段差
Ｈだけ突出させて突出部１１ａを形成し、この突出部１
１ａにより塗工液の液溜り１３を形成したので、少量の
塗工液３０によって初期ビード３０ａを確実に形成する
ことができる。
【００２２】次にダイヘッド１０に対して基板Ｗを走行
させることにより、基板Ｗ上に塗工液３０を精度良く塗
布することができる。この場合、初期ビード３０ａを小
型化することができるので、塗工液３０の膜厚が異常に
厚くなることはなく、膜厚の均一化を図ることができ
る。
させることにより、基板Ｗ上に塗工液３０を精度良く塗
布することができる。この場合、初期ビード３０ａを小
型化することができるので、塗工液３０の膜厚が異常に
厚くなることはなく、膜厚の均一化を図ることができ
る。
【００２３】次に図５（ａ）（ｂ）により本発明の変形
例について説明する。
例について説明する。
【００２４】図５（ａ）（ｂ）に示す変形例は、ダイヘ
ッド１０のうちの他方の型１２の先端部を平坦にするこ
となく断面が鋭角となるよう形成したものであり、他は
図１乃至図４に示す実施の形態と略同一である。
ッド１０のうちの他方の型１２の先端部を平坦にするこ
となく断面が鋭角となるよう形成したものであり、他は
図１乃至図４に示す実施の形態と略同一である。
【００２５】他方の型１２の先端部を断面が鋭角となる
よう形成した場合（図５（ａ））、他方の型１２の先端
部を平坦に形成した場合（図５（ｂ））に比べて、より
少量の塗工液３０を用いて確実に初期ビード３０ａを形
成することができる。このため、塗工液の膜厚を薄く抑
えて、基板Ｗに均一の膜厚の塗工液を塗布することがで
きる。
よう形成した場合（図５（ａ））、他方の型１２の先端
部を平坦に形成した場合（図５（ｂ））に比べて、より
少量の塗工液３０を用いて確実に初期ビード３０ａを形
成することができる。このため、塗工液の膜厚を薄く抑
えて、基板Ｗに均一の膜厚の塗工液を塗布することがで
きる。
【００２６】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、一方の型
の先端部に突出部を設けることにより、この突出部によ
り一方の型の先端部と他方の型の先端部との間に液溜り
を形成することができる。このため、この液溜りに比較
的少量の塗工液を供給するだけで小型の初期ビードを形
成することができる。これにより基板上に形成された塗
工液の膜厚を異常に厚くすることなく膜厚の均一化を図
ることができる。
の先端部に突出部を設けることにより、この突出部によ
り一方の型の先端部と他方の型の先端部との間に液溜り
を形成することができる。このため、この液溜りに比較
的少量の塗工液を供給するだけで小型の初期ビードを形
成することができる。これにより基板上に形成された塗
工液の膜厚を異常に厚くすることなく膜厚の均一化を図
ることができる。
【図１】本発明によるダイヘッドの一実施の形態を示す
断面図。
断面図。
【図２】本発明によるダイヘッドの作用効果を示す図。
【図３】本発明によるダイヘッドを示す斜視図。
【図４】本発明によるダイヘッドの表面処理状態を示す
図。
図。
【図５】本発明によるダイヘッドの変形例を示す図。
【図６】従来のダイヘッドを示す図。
１０ ダイヘッド １１ 一方の型 １１ａ 突出部 １１ｂ 傾斜外面 １２ 他方の型 １２ｂ 傾斜外面 １３ 液溜り １５ 通路 １８ 吐出口 ３０ 塗工液 ３０ａ 初期ビード Ｗ 基板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 4F033 AA01 BA03 CA05 DA01 EA01 NA01 4F041 AA02 AB02 BA05 BA12 BA17 BA57 CA03 CA23
Claims (2)
- 【請求項１】一方の型と、 一方の型に嵌合され、一方の型との間に基板に対して塗
工液を吐出する吐出口を形成する他方の型とを備え、 一方の型の先端部は、他方の型の先端部より基板側へ突
出して突出部を形成し、一方の型の先端部と他方の型の
先端部との間に塗工液の液溜りを形成したことを特徴と
するダイヘッド。 - 【請求項２】一方の型の少なくとも突出部の吐出口側表
面に、濡れ性を高める表面処理を施したことを特徴とす
る請求項１記載のダイヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000239535A JP4663073B2 (ja) | 2000-08-08 | 2000-08-08 | ダイヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000239535A JP4663073B2 (ja) | 2000-08-08 | 2000-08-08 | ダイヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002045763A true JP2002045763A (ja) | 2002-02-12 |
| JP4663073B2 JP4663073B2 (ja) | 2011-03-30 |
Family
ID=18731058
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000239535A Expired - Fee Related JP4663073B2 (ja) | 2000-08-08 | 2000-08-08 | ダイヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4663073B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007083141A (ja) * | 2005-09-21 | 2007-04-05 | Toppan Printing Co Ltd | 塗布装置 |
| JP2013208516A (ja) * | 2012-03-30 | 2013-10-10 | Mitsubishi Materials Corp | 塗布工具 |
| KR20160010808A (ko) * | 2014-07-18 | 2016-01-28 | 삼성디스플레이 주식회사 | 슬롯 다이 코터 및 이를 이용한 코팅 방법 |
| JP2016131941A (ja) * | 2015-01-21 | 2016-07-25 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 塗工装置とその運転方法 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5784771A (en) * | 1980-11-13 | 1982-05-27 | Fuji Photo Film Co Ltd | Coater |
| JPH04145977A (ja) * | 1990-10-08 | 1992-05-19 | Fuji Photo Film Co Ltd | 塗布方法 |
| JPH06154687A (ja) * | 1992-11-27 | 1994-06-03 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ノズル |
| JPH1028915A (ja) * | 1996-07-12 | 1998-02-03 | Inoue Kinzoku Kogyo Kk | 塗布装置 |
| JPH11169769A (ja) * | 1997-12-08 | 1999-06-29 | Toray Ind Inc | 塗布装置及び塗布方法並びにカラーフィルタの製造装置及び製造方法 |
| JP2000189877A (ja) * | 1998-12-25 | 2000-07-11 | Canon Inc | スリットダイコ―タ口金およびそれを用いた塗膜製造方法 |
-
2000
- 2000-08-08 JP JP2000239535A patent/JP4663073B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| KR102231206B1 (ko) * | 2014-07-18 | 2021-03-23 | 삼성디스플레이 주식회사 | 슬롯 다이 코터 및 이를 이용한 코팅 방법 |
| JP2016131941A (ja) * | 2015-01-21 | 2016-07-25 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 塗工装置とその運転方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4663073B2 (ja) | 2011-03-30 |
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