JP2002045763A - ダイヘッド - Google Patents
ダイヘッドInfo
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Abstract
厚膜化を確実に防止することができるダイヘッドを提供
する。 【解決手段】 ダイヘッド10は一方の型11と、一方
の型11に嵌合され一方の型11との間に基板Wに対し
て塗工液30を吐出する吐出口18を形成する他方の型
12とを有している。一方の型11の先端部は、他方の
型12の先端部より基板W側に突出して突出部11aを
形成している。一方の型11の先端部と他方の型12の
先端部との間に、塗工液30の液溜り13が形成され
る。この液溜り13に少量の塗工液30を供給するだけ
で小型の初期ビード30aを形成することができるの
で、初期ビード30aによる塗工液30の厚膜化を確実
に防止することができる。
Description
を塗布するダイヘッドに係り、とりわけ塗布開始時にお
いて塗工液の厚膜化を確実に防止することができるダイ
ヘッドに関する。
るダイヘッドとして、吐出口を形成する一対の型を有す
るものが知られている。
に、一方の型11と他方の型12とを有し、一方の型1
1と他方の型12との間に吐出口18を形成したもので
ある。このようなダイヘッド10により基板Wに対して
塗工液30を塗布する場合、塗布開始時において塗工液
30の初期ビードが大きくなり、このため塗布開始直後
に塗工液の膜厚が大きくなってしまうことがある。
ものとして、図6(b)に示すように一方の型11の先
端部と他方の型12の先端部の幅を狭くしたり、あるい
はダイヘッド10と基板Wとの間の間隙を小さくするこ
とが考えられている。
の膜厚の増大を防止するため、一方の型11の先端部と
他方の型12の先端部の幅を狭くした場合、両型11,
12の先端部が加工による金属バリの影響を受け、この
金属バリにより塗膜スジが生じることがある。
を小さくしても、塗膜スジおよび塗膜ムラを招くことが
あり、いずれの場合も塗布開始直後においてビードの小
型を図ることはむずかしい。
ものであり、塗布開始時において初期ビード形成時間の
短縮化と小型化を図ることができ、これにより塗工液の
厚膜化を確実に抑えることができるダイヘッドを提供す
ることを目的とする。
一方の型に嵌合され、一方の型との間に基板に対して塗
工液を吐出する吐出口を形成する他方の型とを備え、一
方の型の先端部は、他方の型の先端部より基板側へ突出
して突出部を形成し、一方の型の先端部と他方の型の先
端部との間に塗工液の液溜りを形成したことを特徴とす
るダイヘッドである。
の型より突出する突出部を設けることにより、この突出
部により一方の型の先端部と他方の型の先端部との間に
塗工液の液溜りを形成することができる。このため、吐
出口から小量の塗工液をこの液溜りに供給するだけで、
液溜りに比較的小型の初期ビードを迅速に形成すること
ができる。
施の形態について説明する。図1乃至図4は本発明によ
るダイヘッドの一実施の形態を示す図である。
の型11と、一方の型11に嵌合され一方の型11との
間に吐出口18を形成する他方の型12とを備え、一方
の型11と他方の型12との間に設けられた通路15か
ら塗工液30を吐出口18へ導いて、基板Wに対して排
出するようになっている。
ており、また他方の型12は上流側の型となっている。
さらに、一方の型11の先端部は他方の型により基板W
側へ突出して突出部11aを形成し、この突出部11a
により一方の型11の先端部と他方の型12の先端部と
の間に塗工液30の液溜り13を形成している。
型12の先端に対して段差Hだけ突出させて突出部11
aを形成することにより、塗布開始時における初期ビー
ド30aを小量の塗工液30により短時間で形成するこ
とができ、初期ビード30aの小型化を図ることができ
る。
(a)に示すように、一方の型11の先端部を他方の型
12の先端部に対して段差Hだけ突出させて突出部11
aを形成し、このように形成した先端部11aにより一
方の型11の先端部と他方の型12の先端部との間に突
出部11aを壁面とする液溜り13を形成することがで
きる。このため、塗布開始時にこの液溜り13に塗工液
30を供給する場合、小量の塗工液30でも液溜り13
に沿って塗工液30が急速に広がっていく。これによ
り、液溜り13内に短時間でかつ確実に塗工液の初期ビ
ード30aを形成することができる。また初期ビード3
0aを少量の塗工液30により形成することができるの
で、初期ビード30aの小型化を図って、塗布開始時に
おいて塗工液30の膜厚化を防止することができる。
ドを示す図であり、図2(b)は図2(a)のB部拡大
図であり、図2(c)に比較例のダイヘッドを示す図で
あり、図2(d)は図2(c)のD部拡大図である。
の斜視図であり、図3(b)は比較例を示す図である。
に示すように、一方の型11の先端部と他方の型12の
先端部との間に段差を設けない比較例においては、一方
の型11の先端部と他方の型12の先端部が平坦状とな
るため、この一方の型11の先端部と他方の型12の先
端部で初期ビード30aを形成するためには比較的多量
の塗工液30が必要となり、初期ビード30aの小型化
を図ることはむずかしい。
一方の型11と他方の型12のうち、通路15内壁と、
一方の型11の突出部11aの吐出口18側の表面と、
突出部11aの先端側表面と、他方の型12の先端側表
面とに濡れ性を高める表面処理が行われている。他方、
一方の型11の傾斜外面11bと他方の型12の傾斜外
面12bには、揆水性を高める表面処理が行われてい
る。
面図であり、図4(b)は図4(a)の拡大図である。
このように一方の型11と他方の型12のうち各々の傾
斜外面11b,12bに揆水性を高める表面処理を施
し、その他の部分に濡れ性を高める表面処理を行なうこ
とにより、塗工液30が傾斜外面11b,12bへ回り
込むことはなく、初期ビード30aをより確実に小型化
することができる。
の作用について説明する。
一方の型11の先端部を他方の型12の先端部から段差
Hだけ突出させて突出部11aを形成し、この突出部1
1aにより塗工液の液溜り13を形成したので、少量の
塗工液30によって初期ビード30aを確実に形成する
ことができる。
させることにより、基板W上に塗工液30を精度良く塗
布することができる。この場合、初期ビード30aを小
型化することができるので、塗工液30の膜厚が異常に
厚くなることはなく、膜厚の均一化を図ることができ
る。
例について説明する。
ッド10のうちの他方の型12の先端部を平坦にするこ
となく断面が鋭角となるよう形成したものであり、他は
図1乃至図4に示す実施の形態と略同一である。
よう形成した場合(図5(a))、他方の型12の先端
部を平坦に形成した場合(図5(b))に比べて、より
少量の塗工液30を用いて確実に初期ビード30aを形
成することができる。このため、塗工液の膜厚を薄く抑
えて、基板Wに均一の膜厚の塗工液を塗布することがで
きる。
の先端部に突出部を設けることにより、この突出部によ
り一方の型の先端部と他方の型の先端部との間に液溜り
を形成することができる。このため、この液溜りに比較
的少量の塗工液を供給するだけで小型の初期ビードを形
成することができる。これにより基板上に形成された塗
工液の膜厚を異常に厚くすることなく膜厚の均一化を図
ることができる。
断面図。
図。
Claims (2)
- 【請求項1】一方の型と、 一方の型に嵌合され、一方の型との間に基板に対して塗
工液を吐出する吐出口を形成する他方の型とを備え、 一方の型の先端部は、他方の型の先端部より基板側へ突
出して突出部を形成し、一方の型の先端部と他方の型の
先端部との間に塗工液の液溜りを形成したことを特徴と
するダイヘッド。 - 【請求項2】一方の型の少なくとも突出部の吐出口側表
面に、濡れ性を高める表面処理を施したことを特徴とす
る請求項1記載のダイヘッド。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2000239535A JP4663073B2 (ja) | 2000-08-08 | 2000-08-08 | ダイヘッド |
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JP4663073B2 JP4663073B2 (ja) | 2011-03-30 |
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A621 | Written request for application examination |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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