JP2000189877A - スリットダイコ―タ口金およびそれを用いた塗膜製造方法 - Google Patents
スリットダイコ―タ口金およびそれを用いた塗膜製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ガラス基板に塗料を均一に転移させて、塗布
開始直後からの膜厚均一化および縦方向のスジがない、
など高品質の塗膜を与える。 【解決手段】 塗料吐出用のスリットを設けたスリット
ダイコータ口金であって、該スリットの塗料接触部分を
塗料に対して濡れ性の良い材料で、その外側部分を濡れ
性の良い材料で構成する。これらの材料は、例えば口金
材上にスパッタリングでコーティングする。
開始直後からの膜厚均一化および縦方向のスジがない、
など高品質の塗膜を与える。 【解決手段】 塗料吐出用のスリットを設けたスリット
ダイコータ口金であって、該スリットの塗料接触部分を
塗料に対して濡れ性の良い材料で、その外側部分を濡れ
性の良い材料で構成する。これらの材料は、例えば口金
材上にスパッタリングでコーティングする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、コーティング技術
に用いられるスリットダイコータ口金に関するものであ
り、さらに詳しくは、塗料を基板に塗工して塗膜を得る
枚葉塗工装置に用いられるスリットダイコータ口金に関
する。
に用いられるスリットダイコータ口金に関するものであ
り、さらに詳しくは、塗料を基板に塗工して塗膜を得る
枚葉塗工装置に用いられるスリットダイコータ口金に関
する。
【０００２】
【従来の技術】カラーフィルタ製造などの分野において
は、塗工方向の長さが比較的短尺の基板に塗料を薄くか
つ均一に塗工することが求められる。この要請に対し
て、基板を１枚ずつ供給して、塗工を繰り返すいわゆる
枚葉塗工装置が用いられる。
は、塗工方向の長さが比較的短尺の基板に塗料を薄くか
つ均一に塗工することが求められる。この要請に対し
て、基板を１枚ずつ供給して、塗工を繰り返すいわゆる
枚葉塗工装置が用いられる。
【０００３】枚葉塗工装置に採用される方法としては、
一般的にスピンコータ、ロールコータ、バーコータが挙
げられる。
一般的にスピンコータ、ロールコータ、バーコータが挙
げられる。
【０００４】スピンコータは、基板に塗料を滴下後基板
を回転し、回転数や塗料の濃度、流動特性によって基板
上に均一な塗膜を形成する方法である。この方法は、塗
膜として基板上に残る塗料に対して２０〜３０倍の塗料
を使用し塗料の使用効率に劣る問題がある。また、裏回
りとよばれる基板裏面への塗料の付着が避けられず、品
質上問題がある。
を回転し、回転数や塗料の濃度、流動特性によって基板
上に均一な塗膜を形成する方法である。この方法は、塗
膜として基板上に残る塗料に対して２０〜３０倍の塗料
を使用し塗料の使用効率に劣る問題がある。また、裏回
りとよばれる基板裏面への塗料の付着が避けられず、品
質上問題がある。
【０００５】ロールコータは、ゴムロールや金属ロール
を介して塗料を基板に転写する方法であり、ゴムロール
や金属ロールの模様がでやすい問題がある。また、ロー
ルコータにおいて塗料はパンとよばれる開放型の塗料溜
めに収容されて使用されていくので、基板に塗工される
までの空気との接触が長く、吸湿、酸化、溶媒の蒸発に
よる変質をきたしやすい。さらに開放型の塗料溜めであ
ることから、塗膜欠陥となる異物が混入しやすい問題も
ある。
を介して塗料を基板に転写する方法であり、ゴムロール
や金属ロールの模様がでやすい問題がある。また、ロー
ルコータにおいて塗料はパンとよばれる開放型の塗料溜
めに収容されて使用されていくので、基板に塗工される
までの空気との接触が長く、吸湿、酸化、溶媒の蒸発に
よる変質をきたしやすい。さらに開放型の塗料溜めであ
ることから、塗膜欠陥となる異物が混入しやすい問題も
ある。
【０００６】バーコータは、ロッドとよばれる金属棒に
細い金属ワイヤを巻いたバーを用いて基板上に塗膜を形
成する方法である。この方法では、ワイヤが基板または
基板上の塗膜に接触するため、基板または基板上の塗膜
に傷が入りやすかったり、塗膜にスジが入りやすい問題
がある。
細い金属ワイヤを巻いたバーを用いて基板上に塗膜を形
成する方法である。この方法では、ワイヤが基板または
基板上の塗膜に接触するため、基板または基板上の塗膜
に傷が入りやすかったり、塗膜にスジが入りやすい問題
がある。
【０００７】スリットダイコータは、塗工ヘッドに設け
られたスリットから所定間隔離して基板を設置し、スリ
ットから塗料を吐出しつつ塗工ヘッドと基板とを相対的
に走行させて塗膜を形成する方法である。この方法によ
れば、ほとんど塗料を無駄にすること無く、裏回りの問
題もない。塗料の供給経路も密閉系にできる。また、基
板と口金は所定の間隙を保って相対的に移動するので基
板または塗膜に傷をつけることもない。
られたスリットから所定間隔離して基板を設置し、スリ
ットから塗料を吐出しつつ塗工ヘッドと基板とを相対的
に走行させて塗膜を形成する方法である。この方法によ
れば、ほとんど塗料を無駄にすること無く、裏回りの問
題もない。塗料の供給経路も密閉系にできる。また、基
板と口金は所定の間隙を保って相対的に移動するので基
板または塗膜に傷をつけることもない。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、スリッ
トダイコータにおいては、幾つかの塗料材料を用いた時
に塗布初期において、図３の示すように、塗料３１はス
リット２から島状に吐出され、その後、塗料がスリット
上で帯状に繋がる。そして、塗工ヘッド（口金）１を基
板に近づけ塗料を基板上に移すが、この時、前記の島状
に吐出した部分に対応した縦縞（スジ）が塗膜に発生し
てしまうという現象があった。特にカラーフィルタ用の
ガラス基板ヘの塗布には、塗布開始直後から膜厚が均一
であり、かつ縦方向のスジがないなど高品質の塗膜が要
求される。
トダイコータにおいては、幾つかの塗料材料を用いた時
に塗布初期において、図３の示すように、塗料３１はス
リット２から島状に吐出され、その後、塗料がスリット
上で帯状に繋がる。そして、塗工ヘッド（口金）１を基
板に近づけ塗料を基板上に移すが、この時、前記の島状
に吐出した部分に対応した縦縞（スジ）が塗膜に発生し
てしまうという現象があった。特にカラーフィルタ用の
ガラス基板ヘの塗布には、塗布開始直後から膜厚が均一
であり、かつ縦方向のスジがないなど高品質の塗膜が要
求される。
【０００９】したがって、本発明の目的は、スリットダ
イコータが有している特徴を保持したままで、これまで
の課題であるスリット上で島状に塗料が吐出されること
を減少させ、ガラス基板に塗料を均一に転移させて、塗
布開始直後からの膜厚均一化および縦方向のスジがな
い、など高品質の塗膜を与えることのできるスリットダ
イコータを提供することにある。
イコータが有している特徴を保持したままで、これまで
の課題であるスリット上で島状に塗料が吐出されること
を減少させ、ガラス基板に塗料を均一に転移させて、塗
布開始直後からの膜厚均一化および縦方向のスジがな
い、など高品質の塗膜を与えることのできるスリットダ
イコータを提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め本発明では、塗料吐出用のスリットを設けたスリット
ダイコータ口金であって、該スリットの塗料接触部分を
塗料に対して濡れ性を良く、その外側部分を撥水性に構
成したことを特徴とする。
め本発明では、塗料吐出用のスリットを設けたスリット
ダイコータ口金であって、該スリットの塗料接触部分を
塗料に対して濡れ性を良く、その外側部分を撥水性に構
成したことを特徴とする。
【００１１】具体的には、前記スリットのランド部の先
端部分から該スリットの塗料接触部分であるリップ先端
面の一部にかけての部分の濡れ性を良くし、前記撥水性
の部分が該リップ先端面の残り部分から口金外側壁部の
少なくとも一部にかけての部分を撥水性に構成する。
端部分から該スリットの塗料接触部分であるリップ先端
面の一部にかけての部分の濡れ性を良くし、前記撥水性
の部分が該リップ先端面の残り部分から口金外側壁部の
少なくとも一部にかけての部分を撥水性に構成する。
【００１２】好ましくは、前記濡れ性の良い部分を被塗
布面と同じ材料で構成する。また、濡れ性の良い部分よ
り外側（口金外壁先端部）はシリコン重合膜またはテフ
ロンなどの弗素樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリエチレ
ン樹脂、ポリエステル樹脂により構成する。口金が上記
以外の材料、例えばステンレス製であれば、その濡れ性
を良くしたい部分に被塗布面と同じ材料をコーティング
し、かつその周囲（口金外壁先端部）にはシリコン重合
膜またはテフロンなどの弗素樹脂、ポリプロピレン樹
脂、ポリエチレン樹脂、ポリエステル樹脂等の撥水膜を
コーティングする。
布面と同じ材料で構成する。また、濡れ性の良い部分よ
り外側（口金外壁先端部）はシリコン重合膜またはテフ
ロンなどの弗素樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリエチレ
ン樹脂、ポリエステル樹脂により構成する。口金が上記
以外の材料、例えばステンレス製であれば、その濡れ性
を良くしたい部分に被塗布面と同じ材料をコーティング
し、かつその周囲（口金外壁先端部）にはシリコン重合
膜またはテフロンなどの弗素樹脂、ポリプロピレン樹
脂、ポリエチレン樹脂、ポリエステル樹脂等の撥水膜を
コーティングする。
【００１３】
【作用】前述したように塗布膜にスジが発生する原因
は、塗料とスリットの濡れ性が悪い場合、塗料がスリッ
トから最初に吐出する時に、図３に示すように島状に吐
出されることである。この状態でスリットを被塗布基板
に近づけ塗布を開始すると島と島の間に当たる部分に
は、塗料が塗布されず串歯状の塗膜となってしまう。ま
た、塗料がある程度吐出され島状から帯状に繋がった後
被塗布基板にスリットを近づけ塗布を開始すると、塗膜
は被塗布基板全面に塗布されるが、塗膜の膜厚斑が発生
しスジ状の膜厚分布ができる。
は、塗料とスリットの濡れ性が悪い場合、塗料がスリッ
トから最初に吐出する時に、図３に示すように島状に吐
出されることである。この状態でスリットを被塗布基板
に近づけ塗布を開始すると島と島の間に当たる部分に
は、塗料が塗布されず串歯状の塗膜となってしまう。ま
た、塗料がある程度吐出され島状から帯状に繋がった後
被塗布基板にスリットを近づけ塗布を開始すると、塗膜
は被塗布基板全面に塗布されるが、塗膜の膜厚斑が発生
しスジ状の膜厚分布ができる。
【００１４】特開平０８−１７３８７８号公報に依れば
「マニホールドおよびランド部の水に対する接触角が、
スリットの塗料接触面であるリップ先端部の水に対する
接触角より大きい」ことでスジ斑発生が回避される。と
しているが、本発明に係る検討を行なった結果、むしろ
スリットのランド部先端からリップ先端面にかけての部
分（以下、スリット先端部という）の塗料との濡れ性が
最もスジ斑発生に影響することが判った。
「マニホールドおよびランド部の水に対する接触角が、
スリットの塗料接触面であるリップ先端部の水に対する
接触角より大きい」ことでスジ斑発生が回避される。と
しているが、本発明に係る検討を行なった結果、むしろ
スリットのランド部先端からリップ先端面にかけての部
分（以下、スリット先端部という）の塗料との濡れ性が
最もスジ斑発生に影響することが判った。
【００１５】本発明のように塗料とスリット先端部との
濡れ性が良い場合、塗料がスリット先端部から最初に吐
出する時に図４に示すように帯状に吐出される。スリッ
ト先端部を被塗布基板に近づけ塗布を開始するとスジ状
の斑など発生せず非常に均一性の良い塗膜が形成され
る。
濡れ性が良い場合、塗料がスリット先端部から最初に吐
出する時に図４に示すように帯状に吐出される。スリッ
ト先端部を被塗布基板に近づけ塗布を開始するとスジ状
の斑など発生せず非常に均一性の良い塗膜が形成され
る。
【００１６】表１にカラーフィルタ製造に使用されるア
クリル樹脂の各基板材料に対する接触角とスジ斑発生の
関係を示す。塗布条件は、塗布速度５２ｍｍ／ｓ、スリ
ットダイコータ口金内圧力３８Ｋｐａ、スリットダイコ
ータ口金−基板間ギャップ６５μｍ、室温２８℃とし
た。
クリル樹脂の各基板材料に対する接触角とスジ斑発生の
関係を示す。塗布条件は、塗布速度５２ｍｍ／ｓ、スリ
ットダイコータ口金内圧力３８Ｋｐａ、スリットダイコ
ータ口金−基板間ギャップ６５μｍ、室温２８℃とし
た。
【００１７】
【表１】
【００１８】３番目の「クロム上に撥水性を付与」は特
開平０９−０３３７１１号で公開している技法で、材料
表面にシラン系材料で法水層を形成した後、酸素プラズ
マを照射することで材料表面の接触角を任意に制御した
ものである。
開平０９−０３３７１１号で公開している技法で、材料
表面にシラン系材料で法水層を形成した後、酸素プラズ
マを照射することで材料表面の接触角を任意に制御した
ものである。
【００１９】上記のようにスリットダイコータ口金部の
樹脂接触部を濡れ性の良い材料でコーティングするとス
ジ斑が出難くなる。しかし大量の基板を塗布した場合、
塗料が徐々にスリット近傍に広がっていき部分的に乾燥
し塗布膜に引っ掻き傷を生じさせる。図２に示すように
スリット部に濡れ性の良い材料１４をコーティングし更
にその周囲に撥水性のシリコンおよびテフロン等の材料
１５をコーティングすると塗料１７はスリット近傍にの
み供給され被塗布基板に次々と塗布されて行き上述のよ
うな塗料がスリット周囲に無制限に広がり膜質劣化の原
因となることが無くなる。また、被塗布基板の材料をス
パッタリング法でスリットダイコータ口金にコーティン
グすることは簡単に出来、また、塗料とスリットダイコ
ータ口金、塗料と被塗布基板といった異なる材料間での
濡れ性を考える必要が無く、単純に塗料と被塗布基板の
濡れ性のみから膜質を選ぶことが可能になる。スリット
ダイコータ口金部のコーティング膜の膜厚は１００ｎｍ
〜５μｍの範囲が好ましい。また、接液部の周囲の撥水
性を形成する部分の撥水膜はスリットダイコータ口金−
基板間距離より小さい数十μｍまでの膜厚であれば良
い。
樹脂接触部を濡れ性の良い材料でコーティングするとス
ジ斑が出難くなる。しかし大量の基板を塗布した場合、
塗料が徐々にスリット近傍に広がっていき部分的に乾燥
し塗布膜に引っ掻き傷を生じさせる。図２に示すように
スリット部に濡れ性の良い材料１４をコーティングし更
にその周囲に撥水性のシリコンおよびテフロン等の材料
１５をコーティングすると塗料１７はスリット近傍にの
み供給され被塗布基板に次々と塗布されて行き上述のよ
うな塗料がスリット周囲に無制限に広がり膜質劣化の原
因となることが無くなる。また、被塗布基板の材料をス
パッタリング法でスリットダイコータ口金にコーティン
グすることは簡単に出来、また、塗料とスリットダイコ
ータ口金、塗料と被塗布基板といった異なる材料間での
濡れ性を考える必要が無く、単純に塗料と被塗布基板の
濡れ性のみから膜質を選ぶことが可能になる。スリット
ダイコータ口金部のコーティング膜の膜厚は１００ｎｍ
〜５μｍの範囲が好ましい。また、接液部の周囲の撥水
性を形成する部分の撥水膜はスリットダイコータ口金−
基板間距離より小さい数十μｍまでの膜厚であれば良
い。
【００２０】スリットダイコータ口金に被塗布基板材料
をコーティングする方式として、スパッタリング法は真
空蒸着法やめっき法と比べた場合、 ・コーティングする材料の依存性が殆ど無い（絶縁物で
あってもＲＦスパッタ法で成膜できる） ・基板（ここではスリットダイコータ口金）との密着性
が強い ・膜厚均一性が良い ・性膜粒子の回り込みが少ないため成膜範囲を限定し易
い 以上の利点が有る。
をコーティングする方式として、スパッタリング法は真
空蒸着法やめっき法と比べた場合、 ・コーティングする材料の依存性が殆ど無い（絶縁物で
あってもＲＦスパッタ法で成膜できる） ・基板（ここではスリットダイコータ口金）との密着性
が強い ・膜厚均一性が良い ・性膜粒子の回り込みが少ないため成膜範囲を限定し易
い 以上の利点が有る。
【００２１】また、スパッタ膜周辺の撥水膜は、ＣＶＤ
法、スパッタ法、真空蒸着法、めっき法など任意の方式
で構わない。
法、スパッタ法、真空蒸着法、めっき法など任意の方式
で構わない。
【００２２】
【実施例】次に本発明の一実施例に係るスリットダイコ
ータ口金について図面に従って説明する。図１にスリッ
トダイコータの全体像を、図２はそのスリットの拡大図
を示した。口金１には剛性や精度の点から通常ステンレ
ス鋼が採用される。スリット２の先端部はこのステンレ
ス鋼が表面を形成していることが、機械的精度でもって
基板３とスリットのクリアランス４を口金の幅方向にわ
たって均一に保持する上で好ましい。塗料５は圧力容器
６内に設置されている。加圧窒素ガスが配管７より圧力
調整バルブ８を経て圧力容器内に供給され、塗料は配管
９およびフィルタ１０を経てスリットダイコータ口金１
のマニホールド１１に供給される。塗料はマニホールド
内でスリットダイコータ口金全体に拡がりマニホールド
内が満たされた後スリット２から大気中に吐出され、基
板３上に塗布される。この時、本実施例では基板３が矢
印方向に移動するが、スリットダイコータ口金が基板に
対して移動するようにしても良く、または両方が相対的
に移動しても良い。ただし、基板とスリットダイコータ
口金の相対移動速度および、スリットダイコータ口金と
基板間距離４は正確に制御されなければならない。
ータ口金について図面に従って説明する。図１にスリッ
トダイコータの全体像を、図２はそのスリットの拡大図
を示した。口金１には剛性や精度の点から通常ステンレ
ス鋼が採用される。スリット２の先端部はこのステンレ
ス鋼が表面を形成していることが、機械的精度でもって
基板３とスリットのクリアランス４を口金の幅方向にわ
たって均一に保持する上で好ましい。塗料５は圧力容器
６内に設置されている。加圧窒素ガスが配管７より圧力
調整バルブ８を経て圧力容器内に供給され、塗料は配管
９およびフィルタ１０を経てスリットダイコータ口金１
のマニホールド１１に供給される。塗料はマニホールド
内でスリットダイコータ口金全体に拡がりマニホールド
内が満たされた後スリット２から大気中に吐出され、基
板３上に塗布される。この時、本実施例では基板３が矢
印方向に移動するが、スリットダイコータ口金が基板に
対して移動するようにしても良く、または両方が相対的
に移動しても良い。ただし、基板とスリットダイコータ
口金の相対移動速度および、スリットダイコータ口金と
基板間距離４は正確に制御されなければならない。
【００２３】図２に本実施例の構成を解り易く図示し
た。スリットダイコータ口金に供給された塗料はスリッ
ト２を経て、大気中に吐出される。この時、スリットは
スリット内側部分からリップ先端面１３にかけてのスリ
ット先端部（図中黒塗り部分）１４が基板材料でコーテ
ィングされている。本実施例では、基板に３００ｍｍ×
３５０ｍｍ×１．１ｍｍのＯＡ−２ガラス（日本電気硝
子（株）製）を使用した。スリット先端部１４のコーテ
ィングは、前記ＯＡ−２ガラスをターゲット材に使用し
て、スリット内側部分およびリップ先端面にスパッタリ
ング成膜を行なった。この時のスパッタ条件は以下の通
りである。
た。スリットダイコータ口金に供給された塗料はスリッ
ト２を経て、大気中に吐出される。この時、スリットは
スリット内側部分からリップ先端面１３にかけてのスリ
ット先端部（図中黒塗り部分）１４が基板材料でコーテ
ィングされている。本実施例では、基板に３００ｍｍ×
３５０ｍｍ×１．１ｍｍのＯＡ−２ガラス（日本電気硝
子（株）製）を使用した。スリット先端部１４のコーテ
ィングは、前記ＯＡ−２ガラスをターゲット材に使用し
て、スリット内側部分およびリップ先端面にスパッタリ
ング成膜を行なった。この時のスパッタ条件は以下の通
りである。
【００２４】
【表２】 また、スリット内側の基板材コーティング部に隣接した
外側部１５（リップ先端面１３の基板材コーティング部
以外の部分から口金外側壁１２に至る部分）に撥水性の
良いシリコン重合膜をコーティングした。シリコン重合
膜形成条件は以下の通りである。１６はスリット先端部
１４と外側部分１５の境界面である。
外側部１５（リップ先端面１３の基板材コーティング部
以外の部分から口金外側壁１２に至る部分）に撥水性の
良いシリコン重合膜をコーティングした。シリコン重合
膜形成条件は以下の通りである。１６はスリット先端部
１４と外側部分１５の境界面である。
【００２５】
【表３】 以上のスリット内側部、外側部にコーティングした膜の
塗料（アクリル樹脂）に対する接触角を表４に示した。
塗料（アクリル樹脂）に対する接触角を表４に示した。
【００２６】
【表４】 上述においては解り易くスリット内側部、外側部の順で
説明したが、実プロセスにおいてはスリット外側部、内
側部の順にコーティングするほうが加工精度の上から望
ましい。
説明したが、実プロセスにおいてはスリット外側部、内
側部の順にコーティングするほうが加工精度の上から望
ましい。
【００２７】リップ外側面の接触角を大きくする表面処
理で形成される材料としては、リップ先端面材料よりも
水に対する接触角が大きければ特に限定されないが、テ
フロンなどの弗素樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリエチ
レン樹脂、ポリエステル樹脂などの樹脂も好適に採用さ
れる。また、基材との接着力を確保するために、これら
の材料と基材との間に他の層を挿入することは適宜許さ
れる。表面処理で形成された材料の厚みは特に限定され
ないが、２μｍ未満の範囲が望ましい。濡れ性の良い接
液部（スリット内側部）は密着性の良いスパッタ膜であ
るため耐久性に問題なく、２μｍ以上の厚膜では膜表面
に凹凸が発生し易くまた、膜ストレスが大きくなって密
着性に乏しくなる。
理で形成される材料としては、リップ先端面材料よりも
水に対する接触角が大きければ特に限定されないが、テ
フロンなどの弗素樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリエチ
レン樹脂、ポリエステル樹脂などの樹脂も好適に採用さ
れる。また、基材との接着力を確保するために、これら
の材料と基材との間に他の層を挿入することは適宜許さ
れる。表面処理で形成された材料の厚みは特に限定され
ないが、２μｍ未満の範囲が望ましい。濡れ性の良い接
液部（スリット内側部）は密着性の良いスパッタ膜であ
るため耐久性に問題なく、２μｍ以上の厚膜では膜表面
に凹凸が発生し易くまた、膜ストレスが大きくなって密
着性に乏しくなる。
【００２８】スリットの間隙は、１０μｍから５００μ
ｍの範囲の所定の値に調整する。スリット間隙が１０μ
ｍ未満では、塗料供給が難しくなり塗料吐出の応答に遅
れがあり枚葉塗工として好ましくなかったりする。スリ
ット間隙が５００μｍを越えると、口金幅方向の塗料の
吐出量の均一性が確保しにくい。基板とリップ先端面と
の間隙であるクリアランスは、塗膜厚みの数十倍以下か
ら選ばれることが均一塗布のために好ましいので通常１
０μｍから５００μｍの範囲の所定の値に設定する。ク
リアランスが１０μｍ未満では、基板のうねりや基板と
口金とを相対的に走行させる機構の精度のため基板とス
リットとの接触を避けることが難しい。
ｍの範囲の所定の値に調整する。スリット間隙が１０μ
ｍ未満では、塗料供給が難しくなり塗料吐出の応答に遅
れがあり枚葉塗工として好ましくなかったりする。スリ
ット間隙が５００μｍを越えると、口金幅方向の塗料の
吐出量の均一性が確保しにくい。基板とリップ先端面と
の間隙であるクリアランスは、塗膜厚みの数十倍以下か
ら選ばれることが均一塗布のために好ましいので通常１
０μｍから５００μｍの範囲の所定の値に設定する。ク
リアランスが１０μｍ未満では、基板のうねりや基板と
口金とを相対的に走行させる機構の精度のため基板とス
リットとの接触を避けることが難しい。
【００２９】塗料を、前記のような方法で透明基板上に
塗布した後、風乾、加熱乾燥、真空乾燥などにより、ア
クリル系着色膜を形成する。加熱乾燥の場合、オーブ
ン、ホットプレートなどを使用し、５０℃から１８０℃
の範囲で１分から３時間行なうことが好ましい。次に、
このようにして得られたアクリル系着色膜に、インクジ
ェット法によりＲＧＢ３原色のインクを打ち染色するこ
とでカラーフィルタ基板が完成する。
塗布した後、風乾、加熱乾燥、真空乾燥などにより、ア
クリル系着色膜を形成する。加熱乾燥の場合、オーブ
ン、ホットプレートなどを使用し、５０℃から１８０℃
の範囲で１分から３時間行なうことが好ましい。次に、
このようにして得られたアクリル系着色膜に、インクジ
ェット法によりＲＧＢ３原色のインクを打ち染色するこ
とでカラーフィルタ基板が完成する。
【００３０】以上のように本実施例のスリットダイコー
タ口金は、塗料吐出用のスリットの塗料接触部分の内側
部分をスパッタリング法により被塗膜基板と同じ材料で
コーティングし、内側部分に接する外側部分に塗料との
濡れ性の悪い材料をコーティングしたことで塗膜の厚み
均一性および再現性が向上し、また塗料がポリマ、顔
料、溶剤から主としてなる場合においても顔料の凝集、
沈着による塗膜スジの発生を抑制することができる。
タ口金は、塗料吐出用のスリットの塗料接触部分の内側
部分をスパッタリング法により被塗膜基板と同じ材料で
コーティングし、内側部分に接する外側部分に塗料との
濡れ性の悪い材料をコーティングしたことで塗膜の厚み
均一性および再現性が向上し、また塗料がポリマ、顔
料、溶剤から主としてなる場合においても顔料の凝集、
沈着による塗膜スジの発生を抑制することができる。
【００３１】
【発明の効果】以上のように本発明のスリットダイコー
タ口金は、塗料吐出用のスリットの塗料接触部分を濡れ
性の良い材料で、かつその外側部分を塗料との濡れ性の
悪い材料で構成しているため、塗膜の厚み均一性および
再現性が向上し、また塗料がポリマ、顔料、溶剤から主
としてなる場合においても顔料の凝集、沈着による塗膜
スジの発生を抑制することができる。
タ口金は、塗料吐出用のスリットの塗料接触部分を濡れ
性の良い材料で、かつその外側部分を塗料との濡れ性の
悪い材料で構成しているため、塗膜の厚み均一性および
再現性が向上し、また塗料がポリマ、顔料、溶剤から主
としてなる場合においても顔料の凝集、沈着による塗膜
スジの発生を抑制することができる。
【図１】 本発明の一実施例に係るスリットダイコータ
塗布装置の一例を示した全体図である。
塗布装置の一例を示した全体図である。
【図２】 図１のスリットダイコータの口金先端部（図
１中○で囲んだ部分）の拡大図である。
１中○で囲んだ部分）の拡大図である。
【図３】 スリット部の塗料に対する濡れ性が悪い場合
の塗料の吐出状態を示す斜視図である。
の塗料の吐出状態を示す斜視図である。
【図４】 スリット部の塗料に対する濡れ性が良い場合
の塗料の吐出状態を示す斜視図である。
の塗料の吐出状態を示す斜視図である。
１：口金、２：スリット、３：被塗布基板、４：被塗布
基板とスリットのクリアランス、５：塗料、６：圧力容
器、７：加圧窒素ガス配管、８：圧力調整バルブ、９：
塗料材料配管、１０：フィルタ、１１：スリットダイコ
ータ口金のマニホールド、１２：口金外側壁、１３：リ
ップ先端面、１４：スリット先端部、１５：外側部分、
１６：スリット先端部と外側部分の境界面、１７、３
１：塗料。
基板とスリットのクリアランス、５：塗料、６：圧力容
器、７：加圧窒素ガス配管、８：圧力調整バルブ、９：
塗料材料配管、１０：フィルタ、１１：スリットダイコ
ータ口金のマニホールド、１２：口金外側壁、１３：リ
ップ先端面、１４：スリット先端部、１５：外側部分、
１６：スリット先端部と外側部分の境界面、１７、３
１：塗料。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 4D075 AC04 AC09 AC73 AC92 AC93 AC95 AC99 CA48 DA06 DB13 DC24 EA14 EB22 EC31 4F041 AA02 AB01 BA05 BA17 BA56 CA04 CA22
Claims (8)
- 【請求項１】 塗料吐出用のスリットを設けたスリット
ダイコータ口金であって、該スリットの塗料接触部分を
塗料に対して濡れ性を良く、その外側部分を撥水性に構
成したことを特徴とするスリットダイコータ口金。 - 【請求項２】 前記濡れ性の良い部分が前記スリットの
ランド部の先端部分から該スリットの塗料接触部分であ
るリップ先端面の一部にかけての部分であり、前記撥水
性の部分が該リップ先端面の残り部分から口金外側壁部
の少なくとも一部にかけての部分であることを特徴とす
る請求項１記載のスリットダイコータ口金。 - 【請求項３】 前記濡れ性の良い部分が被塗布面と同一
材料でコーティングされた部分であることを特徴とする
請求項１または２記載のスリットダイコータ口金。 - 【請求項４】 前記撥水性の部分が撥水膜をコーティン
グした部分であることを特徴とする請求項１〜３のいず
れかに記載のスリットダイコータ口金。 - 【請求項５】 前記撥水膜が、シリコン重合膜またはテ
フロンなどの弗素樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリエチ
レン樹脂、およびポリエステル樹脂のいずれかにより構
成されていることを特徴とする請求項４記載のスリット
ダイコータ口金。 - 【請求項６】 請求項１〜５のいずれかに記載のスリッ
トダイコータ口金を用いて塗料を塗布し、塗膜を形成す
ることを特徴とする塗膜製造方法。 - 【請求項７】 前記塗料が着色膜用ペーストであること
を特徴とする請求項６記載の塗膜製造方法。 - 【請求項８】 前記着色膜用ペーストがアクリル樹脂ま
たは顔料分散ポリイミド前駆体組成物であることを特徴
とする請求項７記載の塗膜製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10369265A JP2000189877A (ja) | 1998-12-25 | 1998-12-25 | スリットダイコ―タ口金およびそれを用いた塗膜製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10369265A JP2000189877A (ja) | 1998-12-25 | 1998-12-25 | スリットダイコ―タ口金およびそれを用いた塗膜製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000189877A true JP2000189877A (ja) | 2000-07-11 |
Family
ID=18493992
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10369265A Pending JP2000189877A (ja) | 1998-12-25 | 1998-12-25 | スリットダイコ―タ口金およびそれを用いた塗膜製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000189877A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP2011083746A (ja) * | 2009-10-19 | 2011-04-28 | Dainippon Printing Co Ltd | 塗布装置および塗布方法 |
| CN102221784A (zh) * | 2010-04-19 | 2011-10-19 | 北京京东方光电科技有限公司 | 胶涂覆设备及胶涂覆方法 |
| JP2012081428A (ja) * | 2010-10-13 | 2012-04-26 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 塗布装置及び塗布方法 |
| JP2016064412A (ja) * | 2015-10-26 | 2016-04-28 | 大日本印刷株式会社 | ダイヘッド |
| WO2021246336A1 (ja) * | 2020-06-01 | 2021-12-09 | 富士フイルム株式会社 | ダイヘッド |
-
1998
- 1998-12-25 JP JP10369265A patent/JP2000189877A/ja active Pending
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| US9299874B2 (en) | 2010-10-13 | 2016-03-29 | Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. | Coating apparatus and coating method |
| TWI587928B (zh) * | 2010-10-13 | 2017-06-21 | 東京應化工業股份有限公司 | 塗布裝置及塗布方法 |
| JP2016064412A (ja) * | 2015-10-26 | 2016-04-28 | 大日本印刷株式会社 | ダイヘッド |
| WO2021246336A1 (ja) * | 2020-06-01 | 2021-12-09 | 富士フイルム株式会社 | ダイヘッド |
| JPWO2021246336A1 (ja) * | 2020-06-01 | 2021-12-09 | ||
| JP7339445B2 (ja) | 2020-06-01 | 2023-09-05 | 富士フイルム株式会社 | ダイヘッド |
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