JP2002040667A - フォトレジスト用カバ−フィルム - Google Patents
フォトレジスト用カバ−フィルムInfo
- Publication number
- JP2002040667A JP2002040667A JP2000223254A JP2000223254A JP2002040667A JP 2002040667 A JP2002040667 A JP 2002040667A JP 2000223254 A JP2000223254 A JP 2000223254A JP 2000223254 A JP2000223254 A JP 2000223254A JP 2002040667 A JP2002040667 A JP 2002040667A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- cover film
- photoresist
- less
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Laminated Bodies (AREA)
- Shaping By String And By Release Of Stress In Plastics And The Like (AREA)
- Materials For Photolithography (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】プリント配線基板の配線パタ−ンの精度と電気
的信頼性をより一層向上させるカバ−フィルムを得るこ
と。 【解決手段】一方が平滑面で、その反対面が粗化面であ
る二軸延伸ポリプロピレンフィルムからなるカバーフィ
ルムであって、平滑面の表面粗さは最大高さが0.5μｍ
未満であり、粗化面の表面粗さは最大高さが0.5μｍ〜
2.0μｍ、平均山間隔が30〜100μｍであるカバーフィル
ム。
的信頼性をより一層向上させるカバ−フィルムを得るこ
と。 【解決手段】一方が平滑面で、その反対面が粗化面であ
る二軸延伸ポリプロピレンフィルムからなるカバーフィ
ルムであって、平滑面の表面粗さは最大高さが0.5μｍ
未満であり、粗化面の表面粗さは最大高さが0.5μｍ〜
2.0μｍ、平均山間隔が30〜100μｍであるカバーフィル
ム。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は感光性樹脂製版用、
プリント配線基板用、ウエハ加工用等（以下の説明はプ
リント配線基板用で代表させる。）のドライフィルムフ
ォトレジストに用いられるカバ−フィルムに関し、フォ
トレジストを使用するまでの間、その表面を保護するカ
バ−フィルムに関するものである。
プリント配線基板用、ウエハ加工用等（以下の説明はプ
リント配線基板用で代表させる。）のドライフィルムフ
ォトレジストに用いられるカバ−フィルムに関し、フォ
トレジストを使用するまでの間、その表面を保護するカ
バ−フィルムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】通常プリント配線基板の基板上にパター
ンを形成させるには、前記した基板上に粘着性のあるフ
ォトレジスト層と露光用原稿を重ね、露光用原稿の上か
ら密着露光して形成させる。かかる露光用原稿はフォト
レジストに密着して使用されるので、その表面に何らか
の処理を施さないと、露光終了後の露光用原稿をフォト
レジスト層から剥離する際に、フォトレジストの一部が
原稿表面に転写され、原稿に汚れをを生じてしまう。こ
のような事情から従来より露光用原稿とフォトレジスト
が直接接触することのないように、両者間に支持フィル
ムとして、光透過性のポリエステルフィルム（以下ＰＥ
Ｔフィルム）をはさむようにしている。この支持フィル
ムとフォトレジスト層とフォトレジストをカバーするた
めのカバ−フィルムの積層体を、ドライフィルムフォト
レジストという。このフィルムの使用に際しては、フォ
トレジスト層からカバ−フィルムを剥離して、プリント
配線基板表面にフォトレジスト層を対向させて貼り合わ
せて使用する。
ンを形成させるには、前記した基板上に粘着性のあるフ
ォトレジスト層と露光用原稿を重ね、露光用原稿の上か
ら密着露光して形成させる。かかる露光用原稿はフォト
レジストに密着して使用されるので、その表面に何らか
の処理を施さないと、露光終了後の露光用原稿をフォト
レジスト層から剥離する際に、フォトレジストの一部が
原稿表面に転写され、原稿に汚れをを生じてしまう。こ
のような事情から従来より露光用原稿とフォトレジスト
が直接接触することのないように、両者間に支持フィル
ムとして、光透過性のポリエステルフィルム（以下ＰＥ
Ｔフィルム）をはさむようにしている。この支持フィル
ムとフォトレジスト層とフォトレジストをカバーするた
めのカバ−フィルムの積層体を、ドライフィルムフォト
レジストという。このフィルムの使用に際しては、フォ
トレジスト層からカバ−フィルムを剥離して、プリント
配線基板表面にフォトレジスト層を対向させて貼り合わ
せて使用する。
【０００３】近年、プリント配線基板の配線パタ−ンは
急速に高密度化されており、パタ−ン精度と電気的信頼
性のより一層の向上が要求されている。また従来カバ−
フィルムの材料としては、一般的に低密度ポリエチレン
（以下ＬＤＰＥ）フィルムが使用されている。このため
従来のカバ−フィルムには、ゲルが発生し、フィッシュ
アイによる表面突起に起因するトラブルを解消できず、
この面からも配線基板の配線パタ−ンの精度と電気的信
頼性に悪影響を及ぼしていた。
急速に高密度化されており、パタ−ン精度と電気的信頼
性のより一層の向上が要求されている。また従来カバ−
フィルムの材料としては、一般的に低密度ポリエチレン
（以下ＬＤＰＥ）フィルムが使用されている。このため
従来のカバ−フィルムには、ゲルが発生し、フィッシュ
アイによる表面突起に起因するトラブルを解消できず、
この面からも配線基板の配線パタ−ンの精度と電気的信
頼性に悪影響を及ぼしていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】そこで本発明の課題
は、プリント配線基板の配線パタ−ンの精度と電気的信
頼性をより一層向上させるフォトレジスト用カバ−フィ
ルムを得ることにある。
は、プリント配線基板の配線パタ−ンの精度と電気的信
頼性をより一層向上させるフォトレジスト用カバ−フィ
ルムを得ることにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の問題を解決するた
めの本発明は、以下の発明を包含する。 （１）一方が平滑面で、その反対面が粗化面である二軸
延伸ポリプロピレンフィルム（以下OPPフィルム）から
なるカバーフィルムであって、平滑面の表面粗さは最大
高さが0.5μｍ未満であり、粗化面の表面粗さは最大高
さが0.5μｍ〜2.0μｍ、平均山間隔が30〜100μｍであ
るフォトレジスト用カバーフィルム。 （２）フィルム中の灰分が１００ｐｐｍ以下である
（１）に記載されたカバーフィルム。 （３）フィルム中の０．０５ｍｍ2以上のフィッシュア
イ個数が、1個/ｍ2以下である（１）または（２）に記
載されたカバーフィルム。 （４）OPPフィルムはポリプロピレンとエチレン−プロ
ピレン共重合体の積層フィルムである（１）〜（３）の
いずれかに記載されたカバ−フィルム。
めの本発明は、以下の発明を包含する。 （１）一方が平滑面で、その反対面が粗化面である二軸
延伸ポリプロピレンフィルム（以下OPPフィルム）から
なるカバーフィルムであって、平滑面の表面粗さは最大
高さが0.5μｍ未満であり、粗化面の表面粗さは最大高
さが0.5μｍ〜2.0μｍ、平均山間隔が30〜100μｍであ
るフォトレジスト用カバーフィルム。 （２）フィルム中の灰分が１００ｐｐｍ以下である
（１）に記載されたカバーフィルム。 （３）フィルム中の０．０５ｍｍ2以上のフィッシュア
イ個数が、1個/ｍ2以下である（１）または（２）に記
載されたカバーフィルム。 （４）OPPフィルムはポリプロピレンとエチレン−プロ
ピレン共重合体の積層フィルムである（１）〜（３）の
いずれかに記載されたカバ−フィルム。
【０００６】
【発明の実施の形態】本発明者らは、従来のカバ−フィ
ルムは一般的に低密度ポリエチレン（以下ＬＤＰＥ）フ
ィルムが使用されているため、フィルム製造時に押し出
し機やダイス内部でＬＤＰＥの劣化によりゲルが発生
し、フィッシュアイや表面突起の原因となっていること
を発見した。更にカバ−フィルム中のフィッシュアイや
表面突起は、カバーフィルムをはがしてレジストを基板
にラミネ−トした時、基板とレジスト層の間でボイドと
なり、配線パタ−ンの精度を低下させる原因となってい
るとの知見を得た。そこでカバ−フィルムの材料として
ＯＰＰフィルムを用い、レジストと接する表面の表面粗
さを最大高さが0.5μｍ未満とすることによってこの問
題を解決した。
ルムは一般的に低密度ポリエチレン（以下ＬＤＰＥ）フ
ィルムが使用されているため、フィルム製造時に押し出
し機やダイス内部でＬＤＰＥの劣化によりゲルが発生
し、フィッシュアイや表面突起の原因となっていること
を発見した。更にカバ−フィルム中のフィッシュアイや
表面突起は、カバーフィルムをはがしてレジストを基板
にラミネ−トした時、基板とレジスト層の間でボイドと
なり、配線パタ−ンの精度を低下させる原因となってい
るとの知見を得た。そこでカバ−フィルムの材料として
ＯＰＰフィルムを用い、レジストと接する表面の表面粗
さを最大高さが0.5μｍ未満とすることによってこの問
題を解決した。
【０００７】しかしながらＯＰＰフィルムは、フィルム
の両面とも平滑であると、フィルムの偏肉やワインダ−
での巻き条件の影響を強く受け、フィルムの平板性が著
しく低下するだけでなく、巻きズレ等を誘発する原因と
なる。また、ドライフィルムからカバ−フィルムを剥が
して基板にラミネ−トする時、しわが入り、ドライフィ
ルムとしての機能を果たさないばかりか、ドライフィル
ムそのものが竹の子状にズレるという不具合が発生す
る。これらの問題を解決するためには、フォトレジスト
と接する面の反対面をできるだけ粗化すればよい。そこ
で本発明においてはレジストと接する表面を平滑にする
と同時に、反対面の表面を粗化し、粗化面の表面粗さを
最大高さが0.5μｍ〜2.0μｍ、平均山間隔が30〜100μ
ｍとしてこの問題を同時に解決したものである。
の両面とも平滑であると、フィルムの偏肉やワインダ−
での巻き条件の影響を強く受け、フィルムの平板性が著
しく低下するだけでなく、巻きズレ等を誘発する原因と
なる。また、ドライフィルムからカバ−フィルムを剥が
して基板にラミネ−トする時、しわが入り、ドライフィ
ルムとしての機能を果たさないばかりか、ドライフィル
ムそのものが竹の子状にズレるという不具合が発生す
る。これらの問題を解決するためには、フォトレジスト
と接する面の反対面をできるだけ粗化すればよい。そこ
で本発明においてはレジストと接する表面を平滑にする
と同時に、反対面の表面を粗化し、粗化面の表面粗さを
最大高さが0.5μｍ〜2.0μｍ、平均山間隔が30〜100μ
ｍとしてこの問題を同時に解決したものである。
【０００８】本発明のフォトレジスト用カバ−フィルム
には、ＯＰＰフィルムを用いる。ＯＰＰフィルムは、表
面エネルギ−が約30ｍＮ/ｍとＰＥＴフィルムに比べて
小さい。その結果カバ−フィルムとしてＯＰＰフィルム
を使用する場合、支持フィルムであるＰＥＴフィルムと
剥離性が異なるため、選択的に剥離することが可能であ
る。またポリプロピレン樹脂は、ＬＤＰＥのような熱劣
化に伴うゲルの発生が極めて少ないため、ゲルに起因す
るフィッシュアイや表面突起を減少することが出来、フ
ォトレジストとしての精度をあげることができる。ＯＰ
Ｐフィルムはその性質を利用して、すなわち配向結晶化
を利用して製造しているため、フィルムの力学的強度も
強く、腰があり、レジスト塗工後の寸法安定性やカ−ル
にも優れている。
には、ＯＰＰフィルムを用いる。ＯＰＰフィルムは、表
面エネルギ−が約30ｍＮ/ｍとＰＥＴフィルムに比べて
小さい。その結果カバ−フィルムとしてＯＰＰフィルム
を使用する場合、支持フィルムであるＰＥＴフィルムと
剥離性が異なるため、選択的に剥離することが可能であ
る。またポリプロピレン樹脂は、ＬＤＰＥのような熱劣
化に伴うゲルの発生が極めて少ないため、ゲルに起因す
るフィッシュアイや表面突起を減少することが出来、フ
ォトレジストとしての精度をあげることができる。ＯＰ
Ｐフィルムはその性質を利用して、すなわち配向結晶化
を利用して製造しているため、フィルムの力学的強度も
強く、腰があり、レジスト塗工後の寸法安定性やカ−ル
にも優れている。
【０００９】このカバ−フィルムは、片方の面が平滑
で、その反対面は粗化する必要がある。本発明のカバー
フィルムは平滑な面をフォトレジストと貼り合わせて使
用する。この時、表面の突起はフォトレジストの品質を
著しく低下させるため、フォトレジストに接する面（平
滑面）の表面粗さの最大高さを0.5μm未満にする必要が
ある。最大高さが0.5μm以上であるとカバ−フィルム表
面の凹凸がフォトレジスト層に転写され、ラミネ−ト
時、ボイドを発生させ、ドライフィルムとしての品質を
著しく低下させてしまう。
で、その反対面は粗化する必要がある。本発明のカバー
フィルムは平滑な面をフォトレジストと貼り合わせて使
用する。この時、表面の突起はフォトレジストの品質を
著しく低下させるため、フォトレジストに接する面（平
滑面）の表面粗さの最大高さを0.5μm未満にする必要が
ある。最大高さが0.5μm以上であるとカバ−フィルム表
面の凹凸がフォトレジスト層に転写され、ラミネ−ト
時、ボイドを発生させ、ドライフィルムとしての品質を
著しく低下させてしまう。
【００１０】本発明においては、カバ−フィルムにＯＰ
Ｐフィルムを使用し、表面粗さの最大高さを一定値以下
にすると同時にフィルム中のフィッシュアイを減らすこ
とによって、さらにフォトレジストの精度を向上させる
ことができる。フィッシュアイを減らす手段としては、
フィルム中の灰分を100ppm以下にすることがあげられ
る。フィルム中の灰分が100ppmを超えるとフィルム中
に、フィッシュアイが発生し易くなり、その部分が突起
状に盛り上がり、平滑性を損なう。このためカバ−フィ
ルムを剥離して、プリント配線基板等の目的物表面にフ
ォトレジスト層を貼着する際に、フィッシュアイによる
ボイドのため、その部分が突起し、フォトレジスト層に
転写されるという不具合を生じる。フィルム中の灰分を
100ppm以下にするためには、原料から触媒残さ等を除去
し、100ppm以下にする必要がある。
Ｐフィルムを使用し、表面粗さの最大高さを一定値以下
にすると同時にフィルム中のフィッシュアイを減らすこ
とによって、さらにフォトレジストの精度を向上させる
ことができる。フィッシュアイを減らす手段としては、
フィルム中の灰分を100ppm以下にすることがあげられ
る。フィルム中の灰分が100ppmを超えるとフィルム中
に、フィッシュアイが発生し易くなり、その部分が突起
状に盛り上がり、平滑性を損なう。このためカバ−フィ
ルムを剥離して、プリント配線基板等の目的物表面にフ
ォトレジスト層を貼着する際に、フィッシュアイによる
ボイドのため、その部分が突起し、フォトレジスト層に
転写されるという不具合を生じる。フィルム中の灰分を
100ppm以下にするためには、原料から触媒残さ等を除去
し、100ppm以下にする必要がある。
【００１１】またポリプロピレンの樹脂劣化成分もフィ
ッシュアイの成分となりうる。特に突起の原因となる0.
05ｍｍ2以上の大きさのフィッシユアイを最大限少なく
する必要があり、0.05ｍｍ2以上のフィッシュアイ個数
を、1個/ｍ2以下にすることが好ましい。フィッシュア
イを減らす別の手段としては、ポリプロピレンを溶融し
てシ−トを押し出す前にフィルタ−をつけ、フィッシュ
アイの核成分を除去することがあげられる。
ッシュアイの成分となりうる。特に突起の原因となる0.
05ｍｍ2以上の大きさのフィッシユアイを最大限少なく
する必要があり、0.05ｍｍ2以上のフィッシュアイ個数
を、1個/ｍ2以下にすることが好ましい。フィッシュア
イを減らす別の手段としては、ポリプロピレンを溶融し
てシ−トを押し出す前にフィルタ−をつけ、フィッシュ
アイの核成分を除去することがあげられる。
【００１２】また本発明のカバーフィルムの粗化面の表
面粗さは、最大高さが0.5μｍ〜2.0μｍ、好ましくは1.
0μｍ〜1.5μｍ、平均山間隔が30〜100μｍ、好ましく
は40〜60μｍであることが必要である。粗化面の表面粗
さの最大高さが0.5μｍに満たないと、高密度の配線パ
タ−ンを得ることはできるが、巻き取り作業性や塗工時
の作業性、ドライフィルムのズレ、基板へのラミネ−ト
性などを満足させることはできない。逆に最大高さが2.
0μｍを超えると上記作業性は良好となるが、粗化面の
表面突起が、ＰＥＴ、フォトレジストとラミネ−トした
際、フォトレジストと接する面（平滑面）に転写し、フ
ォトレジスト層にボイドを発生させてしまう。また、平
均山間隔が30μｍに満たないとフィルムを巻き取る際、
エアーが抜けにくく、きれいに巻き取ることができな
い。また１００μｍを超えるとそれにつれて突起が高く
なり、平滑面へ影響し、レジスト層にボイドが発生し、
いずれの場合も本発明の目的を達成することができな
い。本発明において、表面粗さの最大高さの測定と平均
山間隔の測定は JIS B0601 により行なった。
面粗さは、最大高さが0.5μｍ〜2.0μｍ、好ましくは1.
0μｍ〜1.5μｍ、平均山間隔が30〜100μｍ、好ましく
は40〜60μｍであることが必要である。粗化面の表面粗
さの最大高さが0.5μｍに満たないと、高密度の配線パ
タ−ンを得ることはできるが、巻き取り作業性や塗工時
の作業性、ドライフィルムのズレ、基板へのラミネ−ト
性などを満足させることはできない。逆に最大高さが2.
0μｍを超えると上記作業性は良好となるが、粗化面の
表面突起が、ＰＥＴ、フォトレジストとラミネ−トした
際、フォトレジストと接する面（平滑面）に転写し、フ
ォトレジスト層にボイドを発生させてしまう。また、平
均山間隔が30μｍに満たないとフィルムを巻き取る際、
エアーが抜けにくく、きれいに巻き取ることができな
い。また１００μｍを超えるとそれにつれて突起が高く
なり、平滑面へ影響し、レジスト層にボイドが発生し、
いずれの場合も本発明の目的を達成することができな
い。本発明において、表面粗さの最大高さの測定と平均
山間隔の測定は JIS B0601 により行なった。
【００１３】粗化面の表面粗さをコントロ−ルするに
は、ポリプロピレンの結晶変態の融点差を利用する方
法、ポリプロピレンにオレフィン系等の低融点樹脂をブ
レンドする方法、エチレン−プロピレン共重合体を積層
する方法などがあり、いずれの方法を用いてもよい。な
かでもエチレン-プロピレン共重合体層を、ポリプロピ
レンフィルムと積層させ、共重合体層の面を粗化面とし
て使用することが好ましい。エチレン-プロピレン共重
合体層を積層させることによって、容易に粗化面を得る
ことができる。結晶変態の融点差を利用する場合のよう
に、温度管理が困難でもなく、低融点樹脂をブレンドす
る場合のように、ラミネ−ト時、低融点樹脂がロ−ルに
脱落しないようにすることができる。
は、ポリプロピレンの結晶変態の融点差を利用する方
法、ポリプロピレンにオレフィン系等の低融点樹脂をブ
レンドする方法、エチレン−プロピレン共重合体を積層
する方法などがあり、いずれの方法を用いてもよい。な
かでもエチレン-プロピレン共重合体層を、ポリプロピ
レンフィルムと積層させ、共重合体層の面を粗化面とし
て使用することが好ましい。エチレン-プロピレン共重
合体層を積層させることによって、容易に粗化面を得る
ことができる。結晶変態の融点差を利用する場合のよう
に、温度管理が困難でもなく、低融点樹脂をブレンドす
る場合のように、ラミネ−ト時、低融点樹脂がロ−ルに
脱落しないようにすることができる。
【００１４】本来ＯＰＰフィルムは、その性質により帯
電しやすい性質をもつ。従って二軸延伸後のリ−ルでの
除電はもちろんのこと、製品幅にワインドする時帯電し
ないよう十分に除電することが好ましい。
電しやすい性質をもつ。従って二軸延伸後のリ−ルでの
除電はもちろんのこと、製品幅にワインドする時帯電し
ないよう十分に除電することが好ましい。
【００１５】本発明のカバーフィルムは厚さを限定する
ものではないが、５μｍから５０μｍのフィルムが好ま
しい。特に10μｍ〜20μｍが作業性、経済性の面から好
ましい。
ものではないが、５μｍから５０μｍのフィルムが好ま
しい。特に10μｍ〜20μｍが作業性、経済性の面から好
ましい。
【００１６】
【実施例】次に実施例にもとづき本発明をさらに詳細に
説明する。
説明する。
【００１７】実施例１ Ｔダイより結晶性ポリプロピレン（灰分８０ppm、Ｍ
Ｉ：３．０ｇ／１０分）の厚みが４８０μｍの層と、エ
チレン-プロピレンブロック共重合体（エチレン含有率
が20〜70重量％であるブロック重合部を有する）の厚み
が２０μｍの層を押し出して積層し、結晶性ポリプロピ
レン層を表面温度４０度℃のドラムに巻き付け、厚さ５
００μmの未延伸シ−トを得た。この未延伸シ−トを１
２０℃の温度で長手方向に５．０倍に延伸し、直ちに室
温に冷却し、次にテンタ−にて１６５℃の温度で１０倍
に延伸し、熱処理のあと１５μmのＯＰＰフィルムを得
た。結晶性ポリプロピレン層の表面粗さの最大高さは、
０．４μｍ、エチレン-プロピレン共重合体層の表面粗
さの最大高さは、１．５μｍ、平均山間隔は40μｍであ
った。このフィルムを静電気除去装置（イオンによる中
和方式）で除電しながらワインダ−にて所定の寸法に断
裁し、本発明のカバーフィルムを得た。この結晶性ポリ
プロピレン層が最初に冷却ドラムに接する面がレジスト
層と接する面とする。
Ｉ：３．０ｇ／１０分）の厚みが４８０μｍの層と、エ
チレン-プロピレンブロック共重合体（エチレン含有率
が20〜70重量％であるブロック重合部を有する）の厚み
が２０μｍの層を押し出して積層し、結晶性ポリプロピ
レン層を表面温度４０度℃のドラムに巻き付け、厚さ５
００μmの未延伸シ−トを得た。この未延伸シ−トを１
２０℃の温度で長手方向に５．０倍に延伸し、直ちに室
温に冷却し、次にテンタ−にて１６５℃の温度で１０倍
に延伸し、熱処理のあと１５μmのＯＰＰフィルムを得
た。結晶性ポリプロピレン層の表面粗さの最大高さは、
０．４μｍ、エチレン-プロピレン共重合体層の表面粗
さの最大高さは、１．５μｍ、平均山間隔は40μｍであ
った。このフィルムを静電気除去装置（イオンによる中
和方式）で除電しながらワインダ−にて所定の寸法に断
裁し、本発明のカバーフィルムを得た。この結晶性ポリ
プロピレン層が最初に冷却ドラムに接する面がレジスト
層と接する面とする。
【００１８】比較例1 Ｔダイより結晶性ポリプロピレン（灰分３００ppm、Ｍ
Ｉ：３．０ｇ／１０分）の厚みが５００μｍの層を単層
で押し出し、表面温度９０度℃のドラムに巻き付け、厚
さ５００μmの未延伸シ−トを得た。この未延伸シ−ト
を１２０℃の温度で長手方向に５．０倍に延伸し、直ち
に室温に冷却し、次にテンタ−にて１６５℃の温度で１
０倍に延伸し、熱処理のあと１５μmのＯＰＰフィルム
を得た。ポリプロピレン層の最初に冷却ドラムに接する
面の表面粗さの最大高さは、２．５μｍ、その反対面の
表面粗さの最大高さは、０．４μｍであった。平均山間
隔は、１３０μｍであった。このフィルムを静電気除去
装置（イオンによる中和方式）で除電しながらワインダ
−にて所定の寸法に断裁し、比較のためのカバーフィル
ムを得た。最初に冷却ドラムに接する面をレジストと接
する面とした。
Ｉ：３．０ｇ／１０分）の厚みが５００μｍの層を単層
で押し出し、表面温度９０度℃のドラムに巻き付け、厚
さ５００μmの未延伸シ−トを得た。この未延伸シ−ト
を１２０℃の温度で長手方向に５．０倍に延伸し、直ち
に室温に冷却し、次にテンタ−にて１６５℃の温度で１
０倍に延伸し、熱処理のあと１５μmのＯＰＰフィルム
を得た。ポリプロピレン層の最初に冷却ドラムに接する
面の表面粗さの最大高さは、２．５μｍ、その反対面の
表面粗さの最大高さは、０．４μｍであった。平均山間
隔は、１３０μｍであった。このフィルムを静電気除去
装置（イオンによる中和方式）で除電しながらワインダ
−にて所定の寸法に断裁し、比較のためのカバーフィル
ムを得た。最初に冷却ドラムに接する面をレジストと接
する面とした。
【００１９】比較例2 Ｔダイより実施例1と同様の、結晶性ポリプロピレン
（灰分８０ppm、ＭＩ：３．０ｇ／１０分）の厚みが４
８０μｍの層と、エチレン-プロピレン共重合体の厚み
が２０μｍの層を押し出して積層し、結晶性ポリプロピ
レン層を表面温度９０度℃のドラムに巻き付け、厚さ５
００μmの未延伸シ−トを得た。この未延伸シ−トを１
２０℃の温度で長手方向に５．０倍に延伸し、直ちに室
温に冷却し、次にテンタ−にて１６５℃の温度で１０倍
に延伸し、熱処理のあと１５μmのＯＰＰフィルムを得
た。結晶性ポリプロピレン層の表面粗さの最大高さは、
２．５μｍ、エチレン-プロピレン共重合体層の表面粗
さの最大高さは５μｍであった。平均山間隔は40μｍで
あった。このＯＰＰフィルムを静電気除去装置（イオン
による中和方式）で除電しながら、ワインダ−にて所定
の寸法に断裁し、比較のためのカバーフィルムを得た。
最初に冷却ドラムに接する面をレジストと接する面とし
た。
（灰分８０ppm、ＭＩ：３．０ｇ／１０分）の厚みが４
８０μｍの層と、エチレン-プロピレン共重合体の厚み
が２０μｍの層を押し出して積層し、結晶性ポリプロピ
レン層を表面温度９０度℃のドラムに巻き付け、厚さ５
００μmの未延伸シ−トを得た。この未延伸シ−トを１
２０℃の温度で長手方向に５．０倍に延伸し、直ちに室
温に冷却し、次にテンタ−にて１６５℃の温度で１０倍
に延伸し、熱処理のあと１５μmのＯＰＰフィルムを得
た。結晶性ポリプロピレン層の表面粗さの最大高さは、
２．５μｍ、エチレン-プロピレン共重合体層の表面粗
さの最大高さは５μｍであった。平均山間隔は40μｍで
あった。このＯＰＰフィルムを静電気除去装置（イオン
による中和方式）で除電しながら、ワインダ−にて所定
の寸法に断裁し、比較のためのカバーフィルムを得た。
最初に冷却ドラムに接する面をレジストと接する面とし
た。
【００２０】比較例3 フィルム原料として結晶性ポリエチレン樹脂（ＭＩ：3.
0ｇ/10分）を押し出し機に供給し、インフレ−ション方
式により、厚さ20μｍのポリエチレンフィルムを得た。
このフィルムを除電しながらワインダ−にて所定の寸法
に断裁し、比較のためのカバーフィルムを得た。
0ｇ/10分）を押し出し機に供給し、インフレ−ション方
式により、厚さ20μｍのポリエチレンフィルムを得た。
このフィルムを除電しながらワインダ−にて所定の寸法
に断裁し、比較のためのカバーフィルムを得た。
【００２１】以上のフィルムについて下記の項目の測定
を行ない、カバ−フィルムとしての評価をした。結果を
表に示す。（A面が平滑面、B面が粗化面） （１）灰分の測定は、JIS C 2330-1995 灰分含有量
試験による。 （２）表面粗さの最大高さの測定は JIS B 0601 に
より行なった。カットオフ値は0.8mmで評価長さは４ｍ
ｍとした。最大高さとは、粗さ曲線からその平均値の方
向に基準長さだけ抜き取り、この抜き取り部分の山頂線
と谷底線との間隔を粗さ曲線の縦倍率の方向に測定し、
この値をマイクロメ―トルで表したものである。 （３）フィッシュアイの個数：Ａ４版に切り出したフィ
ルムを黒色の紙上におき、大蔵省印刷局発行のきょう雑
物表に記載の０．０５ｍｍ2以上のフィッシュアイの個
数をカウントし、ｍ2当たりに換算する。 （４）ミクロボイド発生量：ＰＥＴフィルムにレジスト
を塗工し、カバ−フィルム貼り合わせた後、0.05ｍｍ2
以上のボイド（気泡）の数を測定した。Ａ４版で10枚測
定しランク分けした。 ◎：1個/ｍ2以下、 ○：1個/ｍ2を超え3個/ｍ2未満、
△：3個以上10個未満、×：10個以上。 （５）ラミネート適性：500ｍｍ幅のドライフィルムを
３ｍ/ｍｉｎで、基板にラミネ−トしたとき、基板とド
ライフィルムにしわが発生するか否かをラミネート適性
とした。 ◎非常に良い ○良い △やや劣る ×劣る （６）平均山間隔の測定方法：表面粗さの平均山間隔の
測定は JIS B 0601により行なった。カットオフ値は
0.8mmで評価長さは４ｍｍとした。平均山間隔は、粗さ
曲線からその平均線の方向に基準長さだけぬきとり、こ
の抜き取り部分において、一つの山及びその隣り合う一
つの谷に対応する平均線の長さの和（山間隔）を求め、
この多数の山間隔の算術平均値をマイクロメ−トルで表
したものである。
を行ない、カバ−フィルムとしての評価をした。結果を
表に示す。（A面が平滑面、B面が粗化面） （１）灰分の測定は、JIS C 2330-1995 灰分含有量
試験による。 （２）表面粗さの最大高さの測定は JIS B 0601 に
より行なった。カットオフ値は0.8mmで評価長さは４ｍ
ｍとした。最大高さとは、粗さ曲線からその平均値の方
向に基準長さだけ抜き取り、この抜き取り部分の山頂線
と谷底線との間隔を粗さ曲線の縦倍率の方向に測定し、
この値をマイクロメ―トルで表したものである。 （３）フィッシュアイの個数：Ａ４版に切り出したフィ
ルムを黒色の紙上におき、大蔵省印刷局発行のきょう雑
物表に記載の０．０５ｍｍ2以上のフィッシュアイの個
数をカウントし、ｍ2当たりに換算する。 （４）ミクロボイド発生量：ＰＥＴフィルムにレジスト
を塗工し、カバ−フィルム貼り合わせた後、0.05ｍｍ2
以上のボイド（気泡）の数を測定した。Ａ４版で10枚測
定しランク分けした。 ◎：1個/ｍ2以下、 ○：1個/ｍ2を超え3個/ｍ2未満、
△：3個以上10個未満、×：10個以上。 （５）ラミネート適性：500ｍｍ幅のドライフィルムを
３ｍ/ｍｉｎで、基板にラミネ−トしたとき、基板とド
ライフィルムにしわが発生するか否かをラミネート適性
とした。 ◎非常に良い ○良い △やや劣る ×劣る （６）平均山間隔の測定方法：表面粗さの平均山間隔の
測定は JIS B 0601により行なった。カットオフ値は
0.8mmで評価長さは４ｍｍとした。平均山間隔は、粗さ
曲線からその平均線の方向に基準長さだけぬきとり、こ
の抜き取り部分において、一つの山及びその隣り合う一
つの谷に対応する平均線の長さの和（山間隔）を求め、
この多数の山間隔の算術平均値をマイクロメ−トルで表
したものである。
【００２２】
【表１】
【００２３】
【発明の効果】本発明によればプリント配線基板の配線
パタ−ンの精度と電気的信頼性をより一層向上させるカ
バ−フィルムを得ることができる。またフォトレジスト
を塗工する工程、基板にラミネ−トする時の作業性等に
優れるドライフィルムのカバ−フィルムを得ることがで
きる。
パタ−ンの精度と電気的信頼性をより一層向上させるカ
バ−フィルムを得ることができる。またフォトレジスト
を塗工する工程、基板にラミネ−トする時の作業性等に
優れるドライフィルムのカバ−フィルムを得ることがで
きる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｂ２９Ｌ 7:00 Ｂ２９Ｌ 7:00 9:00 9:00
Claims (4)
- 【請求項１】一方が平滑面で、その反対面が粗化面であ
る二軸延伸ポリプロピレンフィルムからなるカバーフィ
ルムであって、平滑面の表面粗さは最大高さが0.5μｍ
未満であり、粗化面の表面粗さは最大高さが0.5μｍ〜
2.0μｍ、平均山間隔が30〜100μｍであるフォトレジス
ト用カバーフィルム。 - 【請求項２】フィルム中の灰分が１００ｐｐｍ以下であ
る請求項1に記載されたカバーフィルム。 - 【請求項３】フィルム中の０．０５ｍｍ2以上のフィッ
シュアイ個数が、1個/ｍ2以下である請求項１又は２に
記載されたカバーフィルム。 - 【請求項４】二軸延伸ポリプロピレンフィルムはポリプ
ロピレンとエチレン−プロピレン共重合体の積層フィル
ムである請求項1〜請求項3のいずれかに記載されたカバ
−フィルム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000223254A JP2002040667A (ja) | 2000-07-25 | 2000-07-25 | フォトレジスト用カバ−フィルム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000223254A JP2002040667A (ja) | 2000-07-25 | 2000-07-25 | フォトレジスト用カバ−フィルム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002040667A true JP2002040667A (ja) | 2002-02-06 |
Family
ID=18717375
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000223254A Pending JP2002040667A (ja) | 2000-07-25 | 2000-07-25 | フォトレジスト用カバ−フィルム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002040667A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015107612A (ja) * | 2013-12-05 | 2015-06-11 | 王子ホールディングス株式会社 | 二軸延伸ポリプロピレンフィルム |
| WO2018147334A1 (ja) * | 2017-02-07 | 2018-08-16 | 東レ株式会社 | 二軸配向ポリプロピレンフィルム |
| JP2019111826A (ja) * | 2019-03-11 | 2019-07-11 | 王子ホールディングス株式会社 | 二軸延伸ポリプロピレンフィルム |
| JP2020183543A (ja) * | 2020-07-20 | 2020-11-12 | 王子ホールディングス株式会社 | 二軸延伸ポリプロピレンフィルム |
Citations (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5593450A (en) * | 1979-01-09 | 1980-07-15 | Toray Industries | Matted laminated film |
| JPS61110906A (ja) * | 1984-11-02 | 1986-05-29 | 東レ株式会社 | 電気物品用ポリプロピレンフイルム |
| JPH029686A (ja) * | 1988-06-28 | 1990-01-12 | Diafoil Co Ltd | 感熱転写用２軸配向ポリエチレンテレフタレートフィルム |
| JPH03109552A (ja) * | 1989-06-27 | 1991-05-09 | Toray Ind Inc | 熱圧着ラミネート用積層フィルム |
| JPH0451155A (ja) * | 1990-06-19 | 1992-02-19 | Mitsubishi Paper Mills Ltd | 電子写真平版印刷版の製造方法 |
| JPH0683066A (ja) * | 1992-09-07 | 1994-03-25 | Toray Ind Inc | 感光製版用フォトレジストカバーフイルム |
| JPH06328303A (ja) * | 1993-03-23 | 1994-11-29 | Canon Inc | 円筒部材およびその製法 |
| JPH07216537A (ja) * | 1994-02-02 | 1995-08-15 | Toray Ind Inc | 耐熱防湿蒸着フイルム |
| JPH0834172A (ja) * | 1994-07-25 | 1996-02-06 | Diafoil Co Ltd | 感熱転写用インクリボン |
| JPH0890586A (ja) * | 1994-03-10 | 1996-04-09 | Canon Inc | プラスチック成形品 |
| JPH08230123A (ja) * | 1994-12-12 | 1996-09-10 | Toray Ind Inc | 積層フィルム |
| JPH1044634A (ja) * | 1996-04-30 | 1998-02-17 | Toray Ind Inc | バリアブルドット用溶融型感熱転写材 |
| JPH10254188A (ja) * | 1997-03-10 | 1998-09-25 | Mitsubishi Paper Mills Ltd | 電子写真平版印刷版の製版方法 |
| JPH11129414A (ja) * | 1997-10-30 | 1999-05-18 | Toray Ind Inc | マット調帯電防止性フィルム |
| JPH11327132A (ja) * | 1998-05-08 | 1999-11-26 | Nippon Synthetic Chem Ind Co Ltd:The | フォトレジストフィルム |
| JP2000047389A (ja) * | 1998-07-30 | 2000-02-18 | Hitachi Chem Co Ltd | 感光性フィルム |
| JP2000147755A (ja) * | 1998-11-17 | 2000-05-26 | Hitachi Chem Co Ltd | 感光性フィルム及びその積層方法 |
| JP2000181113A (ja) * | 1998-12-11 | 2000-06-30 | Fuji Xerox Co Ltd | 有機感光体ドラム |
| JP2000198862A (ja) * | 1999-01-06 | 2000-07-18 | Oji Paper Co Ltd | カバ―フィルム |
| JP2002174921A (ja) * | 2000-09-29 | 2002-06-21 | Canon Inc | 電子写真感光体、プロセスカートリッジおよび電子写真装置 |
-
2000
- 2000-07-25 JP JP2000223254A patent/JP2002040667A/ja active Pending
Patent Citations (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5593450A (en) * | 1979-01-09 | 1980-07-15 | Toray Industries | Matted laminated film |
| JPS61110906A (ja) * | 1984-11-02 | 1986-05-29 | 東レ株式会社 | 電気物品用ポリプロピレンフイルム |
| JPH029686A (ja) * | 1988-06-28 | 1990-01-12 | Diafoil Co Ltd | 感熱転写用２軸配向ポリエチレンテレフタレートフィルム |
| JPH03109552A (ja) * | 1989-06-27 | 1991-05-09 | Toray Ind Inc | 熱圧着ラミネート用積層フィルム |
| JPH0451155A (ja) * | 1990-06-19 | 1992-02-19 | Mitsubishi Paper Mills Ltd | 電子写真平版印刷版の製造方法 |
| JPH0683066A (ja) * | 1992-09-07 | 1994-03-25 | Toray Ind Inc | 感光製版用フォトレジストカバーフイルム |
| JPH06328303A (ja) * | 1993-03-23 | 1994-11-29 | Canon Inc | 円筒部材およびその製法 |
| JPH07216537A (ja) * | 1994-02-02 | 1995-08-15 | Toray Ind Inc | 耐熱防湿蒸着フイルム |
| JPH0890586A (ja) * | 1994-03-10 | 1996-04-09 | Canon Inc | プラスチック成形品 |
| JPH0834172A (ja) * | 1994-07-25 | 1996-02-06 | Diafoil Co Ltd | 感熱転写用インクリボン |
| JPH08230123A (ja) * | 1994-12-12 | 1996-09-10 | Toray Ind Inc | 積層フィルム |
| JPH1044634A (ja) * | 1996-04-30 | 1998-02-17 | Toray Ind Inc | バリアブルドット用溶融型感熱転写材 |
| JPH10254188A (ja) * | 1997-03-10 | 1998-09-25 | Mitsubishi Paper Mills Ltd | 電子写真平版印刷版の製版方法 |
| JPH11129414A (ja) * | 1997-10-30 | 1999-05-18 | Toray Ind Inc | マット調帯電防止性フィルム |
| JPH11327132A (ja) * | 1998-05-08 | 1999-11-26 | Nippon Synthetic Chem Ind Co Ltd:The | フォトレジストフィルム |
| JP2000047389A (ja) * | 1998-07-30 | 2000-02-18 | Hitachi Chem Co Ltd | 感光性フィルム |
| JP2000147755A (ja) * | 1998-11-17 | 2000-05-26 | Hitachi Chem Co Ltd | 感光性フィルム及びその積層方法 |
| JP2000181113A (ja) * | 1998-12-11 | 2000-06-30 | Fuji Xerox Co Ltd | 有機感光体ドラム |
| JP2000198862A (ja) * | 1999-01-06 | 2000-07-18 | Oji Paper Co Ltd | カバ―フィルム |
| JP2002174921A (ja) * | 2000-09-29 | 2002-06-21 | Canon Inc | 電子写真感光体、プロセスカートリッジおよび電子写真装置 |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015107612A (ja) * | 2013-12-05 | 2015-06-11 | 王子ホールディングス株式会社 | 二軸延伸ポリプロピレンフィルム |
| WO2018147334A1 (ja) * | 2017-02-07 | 2018-08-16 | 東レ株式会社 | 二軸配向ポリプロピレンフィルム |
| KR20190111902A (ko) | 2017-02-07 | 2019-10-02 | 도레이 카부시키가이샤 | 2축 배향 폴리프로필렌 필름 |
| JPWO2018147334A1 (ja) * | 2017-02-07 | 2019-11-21 | 東レ株式会社 | 二軸配向ポリプロピレンフィルム |
| JP7003920B2 (ja) | 2017-02-07 | 2022-01-21 | 東レ株式会社 | 二軸配向ポリプロピレンフィルム |
| KR102455834B1 (ko) * | 2017-02-07 | 2022-10-18 | 도레이 카부시키가이샤 | 2축 배향 폴리프로필렌 필름 |
| JP2019111826A (ja) * | 2019-03-11 | 2019-07-11 | 王子ホールディングス株式会社 | 二軸延伸ポリプロピレンフィルム |
| JP2020183543A (ja) * | 2020-07-20 | 2020-11-12 | 王子ホールディングス株式会社 | 二軸延伸ポリプロピレンフィルム |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6171937B2 (ja) | 離型用二軸配向ポリエステルフィルム | |
| WO2014203702A1 (ja) | 離型用二軸配向積層ポリエステルフィルム | |
| JP6957856B2 (ja) | ドライフィルムレジスト用ポリエステルフィルム | |
| JP2018203818A (ja) | 離型用二軸配向ポリエステルフィルム | |
| KR20230098660A (ko) | 수지 시트 성형용 이형 필름 | |
| JP2000255015A (ja) | ドライフィルムレジスト用カバーフィルム | |
| JP4023575B2 (ja) | カバーフィルム | |
| JP2018090803A (ja) | ポリエステルフィルムロール | |
| JP2002040667A (ja) | フォトレジスト用カバ−フィルム | |
| JP7463905B2 (ja) | ドライフィルムレジスト用二軸配向ポリエステルフィルム | |
| KR19990030041A (ko) | 건식 막 포토레지스트 롤 | |
| US5879854A (en) | Photoresist layer supporting polyester film and photoresist film laminate | |
| JPH0996907A (ja) | 感光性フィルム | |
| JP2002062678A (ja) | 電子写真用記録シート | |
| JP6464880B2 (ja) | ポリエステルフィルムおよびその製造方法 | |
| JP3643441B2 (ja) | 複合化離型フィルム | |
| EP1068075A1 (en) | Improved photopolymer film and method for producing same | |
| JP3893568B2 (ja) | 帯電防止性感光性積層体およびその製造方法 | |
| JP2023046291A (ja) | 二軸配向ポリエステルフィルムおよびその製造方法 | |
| JP5189726B2 (ja) | 被着体の加工方法及びこれに用いられる粘着シート | |
| JPH11302362A (ja) | ポリエチレンナフタレート共重合体およびそのフイルム | |
| TW202415535A (zh) | 乾膜阻劑支持體用雙軸配向聚酯薄膜 | |
| JP2024047656A (ja) | 二軸配向ポリエステルフィルムおよびその製造方法 | |
| JP2022052717A (ja) | 二軸配向積層ポリエステルフィルム、離型フィルム、および二軸配向積層ポリエステルフィルムの製造方法 | |
| JP2003340953A (ja) | ドライフィルムレジスト用支持体フィルムおよびそれを用いたドライフィルムレジスト |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040406 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060825 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060829 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20061226 |