JP2002014221A

JP2002014221A - 緑色フィルタ層を有する色フィルタアレイおよびその製造方法

Info

Publication number: JP2002014221A
Application number: JP2000198913A
Authority: JP
Inventors: Kazuhiro Machiguchi; 和宏町口; Yuji Ueda; 裕治植田; Hirotake Marumichi; 博毅円道; Taichi Natori; 太知名取; Toyomi Kamiwaki; 豊美神脇
Original assignee: Sony Corp; Sumitomo Chemical Co Ltd
Current assignee: Sony Corp; Sumitomo Chemical Co Ltd
Priority date: 2000-06-30
Filing date: 2000-06-30
Publication date: 2002-01-18
Also published as: US20040248019A1; US20020045111A1; US7078137B2; KR100812740B1; EP1168048A1; US6713227B2; KR20020002319A; TW517167B

Abstract

(57)【要約】【課題】緑色の光に対する分光特性および耐光性に優
れた色フィルタアレイを提供する。【解決手段】基体上に緑色フィルタ層を有してなり、
該緑色フィルタ層は波長６００〜７００ｎｍに吸収極大
を有する銅フタロシアニン系色素および波長４００〜５
００ｎｍに吸収極大を有するピリドンアゾ系色素を含有
し、透過率が波長４５０ｎｍで５％以下であり波長５３
５ｎｍで６２％以上であることを特徴とする色フィルタ
アレイ。波長４００〜５００ｎｍに吸収極大を有するピ
ラゾロンアゾ系色素、波長５８０〜６８０ｎｍに吸収極
大を有するトリアリルメタン系色素を含有していてもよ
い。ポジ型またはネガ型感光性樹脂組成物をパターンニ
ングして緑色フィルタ層を形成する工程により形成する
ことができる。この色フィルタアレイは、電荷結合素子
の前面側に配置されて固体撮像素子に用いられる。液晶
表示素子にも用いられる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、固体撮像素子や液
晶表示素子をカラー化するために用いられる色フィルタ
アレイおよびその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】固体撮像素子や液晶表示素子をカラー化
するために素子上に形成される色フィルタアレイとし
て、基体（１）上の同一平面に隣接して形成された赤色
フィルタ層（Ｒ）、緑色フィルタ層（Ｇ）および青色フ
ィルタ層（Ｂ）からなる色フィルタアレイ（２）が知ら
れている（図１）。かかる色フィルタアレイ（２）にお
いて各フィルタ層（Ｒ、Ｇ、Ｂ）は帯状のパターン（図
２）や、格子状（モザイク状）のパターン（図３）で形
成されている。

【０００３】かかる色フィルタアレイの製造方法として
は種々の方法が提案されている。中でも色素を含有する
感光性樹脂組成物を露光し、現像することによってパタ
ーンニングする工程を所要の回数だけ繰返しおこなう、
いわゆるカラーレジスト法は、広く実用化されている方
法である。

【０００４】カラーレジスト法に用いられる感光性樹脂
組成物としては、色素として顔料を用いたものが広く普
及している。しかし、顔料は粒状であり、現像液に溶解
しないために現像残渣が生じるという問題があり、微細
なパターンの形成には不向きであった。

【０００５】微細なパターンの色フィルタアレイを得る
ことができる感光性樹脂組成物として、色素として染料
を用いた感光性樹脂組成物も知られている。例えば特開
平６−７５３７５号公報には染料を含有するネガ型感光
性樹脂組成物が記載されており、特公平７−１１１４８
５号公報にはポジ型感光性樹脂組成物に用いられる溶剤
に可溶な染料を乾燥重量比で１０〜５０％含有するポジ
型感光性樹脂組成物が記載されている。

【０００６】ところで、かかる感光性樹脂組成物に用い
られる色素には、色フィルタアレイを製造するために以
下の２つの性能が求められている。（１）良好な分光特性、即ち所定の可視波長範囲におい
て十分な吸収を示し、それ以外の可視波長範囲において
は不要な吸収がないこと（２）良好な耐光性、即ち通常の使用状態で染料の褪色
による所謂焼付を起こさないこと

【０００７】しかしながら、従来の感光性樹脂組成物に
用いられている染料には、上記の２つの性能を全て満足
するものはなかった。例えば色フィルターの緑色フィル
タ層には分光特性のうえで波長４５０ｎｍにおける透過
率が小さく、波長５３５ｎｍにおける透過率が大きいこ
とが望ましいが、従来の染料では、波長４５０ｎｍにお
ける透過率を小さくしようとすると、波長５３５ｎｍに
おける透過率までもが小さくなって分光特性が劣るもの
となってしまうと共に、波長３５０〜４００ｎｍにおけ
る透過率も小さくなってパターンニングに要する露光量
が増大し、色フィルタの生産性が低下する原因ともなっ
ていた。

【０００８】具体的に前述の特公平７−１１１４８５号
公報に記載の色フィルタについて説明すれば、同公報に
は銅フタロシアニン系色素とピラゾロンアゾ系色素（シ
ー・アイ・ソルベント・イエロー８８）とを含有する感
光性樹脂組成物が記載されている。これらの色素は何れ
も耐光性に優れたものである。しかし、同公報に記載の
シー・アイ・ソルベント・イエロー８８（ピラゾロンア
ゾ系色素）は露光に用いる近紫外線の吸収が比較的大き
くその添加量が制限されてしまって、得られる緑色フィ
ルタ層の４５０ｎｍにおける透過率が大きくなり易く、
また該色素の吸収特性から波長５３５ｎｍにおける透過
率が十分大きくないために緑色の光に対する透過率が低
下してしまい易いため、かかる感光性樹脂組成物を用い
て形成された緑色フィルタ層を有する色フィルタは、そ
の機能が必ずしも満足できるものであるとはいえなかっ
た。実際、同公報によれば、該感光性樹脂組成物を用い
て厚み２μｍに形成された緑色フィルタ層の透過率は波
長４５０ｎｍにおいて６％、波長５３５ｎｍにおいて５
６％、６５０ｎｍにおいて４％である。

【０００９】かかる問題を解決するには、良好な分光特
性を示す色素を用いればよいが、このような色素は一般
に耐光性が十分満足できるものであるとは言えず、実用
的な緑色フィルタ層を有する色フィルタアレイを製造す
ることは困難であった。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】そこで、本発明者ら
は、良好な分光特性および良好な耐光性を備えた緑色フ
ィルタ層を有する色フィルタアレイを開発するべく鋭意
検討した結果、特定の色素を少なくとも２種類用いるこ
とにより、良好な分光特性と良好な耐光性とを同時に満
足する緑色フィルタ層を得ることができることを見出
し、本発明に至った。

【００１１】

【課題を解決するための手段】すなわち、本発明は、基
体上に緑色フィルタ層を有してなり、該緑色フィルタ層
は波長６００〜７００ｎｍに吸収極大を有する銅フタロ
シアニン系色素（以下、「色素（Ｉ）」と称する。）お
よび波長４００〜５００ｎｍに吸収極大を有するピリド
ンアゾ系色素（以下、「色素（II）」と称する。）を含
有し、透過率が波長４５０ｎｍで５％以下であり波長５
３５ｎｍで６２％以上であることを特徴とする色フィル
タアレイ並びにその製造方法を提供するものである。

【００１２】

【発明の実施の形態】本発明の色フィルターにおいて基
体としては、例えばシリコンウエハー、透明な無機ガラ
ス板などが挙げられる。シリコンウエハーは表面に電荷
結合素子が形成されていてもよい。

【００１３】本発明の色フィルタアレイはかかる基体の
上に緑色フィルタ層を有している。緑色フィルタ層は、
波長６００〜７００ｎｍに吸収極大を有する色素（Ｉ）
および波長４００〜５００ｎｍに吸収極大を有する色素
（II）を含有するが、ここで色素（Ｉ）として具体的に
は、例えば一般式（Ｉ）〔式中、Ｒ¹⁰、Ｒ¹¹、Ｒ¹²、Ｒ¹³はそれぞれ独立にスル
ホン酸基若しくはその塩基、スルホンアミド基または一
般式（１）Ｒ¹⁴ＨＮ−ＳＯ₂− （１）｛式中、Ｒ¹⁴は炭素数２〜２０のアルキル基、アルキル
鎖の炭素数が２〜１２のシクロヘキシルアルキル基、ア
ルキル鎖の炭素数が１〜４のアルキルシクロヘキシル
基、炭素数２〜１２のアルコキシル基で置換された炭素
数２〜１２のアルキル基、一般式（１−１）Ｒ¹⁵−ＣＯ−Ｏ−Ｒ¹⁶− （１−１）（式中、Ｒ¹⁵は炭素数２〜１２のアルキル基を示し、Ｒ
¹⁶は炭素数２〜１２のアルキレン基を示す。）で示され
るアルキルカルボキシルアルキル基、一般式（１−２）Ｒ¹⁷−Ｏ−ＣＯ−Ｒ¹⁸− （１−２）（式中、Ｒ¹⁷は炭素数２〜１２のアルキル基を示し、Ｒ
¹⁸は炭素数２〜１２のアルキレン基を示す。）で示され
るアルキルオキシカルボニルアルキル基、炭素数１〜２
０のアルキル基で置換されたフェニル基またはフェニル
基で置換された炭素数１〜２０のアルキル基を示す。｝
で示される置換スルファモイル基を示す。ｉ、ｊ、ｋ、
ｍはそれぞれ独立に０〜２の整数を示す。ただし、ｉ＋
ｊ＋ｋ＋ｍ≦４である。〕で示される化合物が挙げられ
る。

【００１４】一般式（Ｉ）で示される化合物において、
置換基Ｒ¹⁴における炭素数２〜２０のアルキル基として
はエチル基、プロピル基、ｎ−ヘキシル基、ｎ−ノニル
基、ｎ−デシル基、ｎ−ドデシル基、２−エチルヘキシ
ル基、１，３−ジメチルブチル基、１−メチルブチル
基、１，５−ジメチルヘキシル基、１，１，３，３−テ
トラメチルブチル基などが、アルキル鎖の炭素数が２〜
１２のシクロヘキシルアルキル基としてはシクロヘキシ
ルエチル基、３−シクロヘキシルプロピル基、８−シク
ロヘキシルオクチル基などが、アルキル鎖の炭素数が１
〜４のアルキルシクロヘキシル基としては２−エチルシ
クロヘキシル基、２−プロピルシクロヘキシル基、２−
（ｎ−ブチル）シクロヘキシル基などが、炭素数２〜１
２のアルコキシル基で置換された炭素数２〜１２のアル
キル基としては３−エトキシ−ｎ−プロピル基、プロポ
キシプロピル基、４−プロポキシ−ｎ−ブチル基、３−
メチル−ｎ−ヘキシルオキシエチル基、３−（２−エチ
ルヘキシルオキシ）プロピル基などが、炭素数１〜２０
のアルキル基で置換されたフェニル基としてはｏ−イソ
プロピルフェニル基などが、フェニル基で置換された炭
素数１〜２０のアルキル基としてはＤＬ−１−フェニル
エチル基、ベンジル基、３−フェニル−ｎ−ブチル基な
どがそれぞれ挙げられる。

【００１５】一般式（１−１）における置換基Ｒ¹⁵およ
び一般式（１−２）における置換基Ｒ¹⁷として示される
炭素数２〜１２のアルキル基としてはエチル基、プロピ
ル基、ｎ−ヘキシル基、ｎ−ノニル基、ｎ−デシル基、
ｎ−ドデシル基、２−エチルヘキシル基、１，３−ジメ
チルブチル基、１−メチルブチル基、１，５−ジメチル
ヘキシル基、１，１，３，３−テトラメチルブチル基な
どが、Ｒ¹⁶、Ｒ¹⁸として示される炭素数２〜１２のアル
キレン基としてはジメチレン基、トリメチレン基、テト
ラメチレン基、ペンタメチレン基、ヘキサメチレン基な
どがそれぞれ例示される。

【００１６】かかる色素（Ｉ）としては、例えばシー・
アイ・ソルベント・ブルー２５（C.I.Solvent Blue 2
5）、シー・アイ・ソルベント・ブルー５５（C.I.Solve
nt Blue 55）、シー・アイ・ソルベント・ブルー６７
（C.I.Solvent Blue 67）、シー・アイ・アシッド・ブ
ルー２４９（C.I.Acid Blue 249）、シー・アイ・ダイ
レクト・ブルー８６（C.I.Direct Blue 86）などが挙げ
られ、これらはそれぞれ単独または２種以上を混合して
用いられる。これらの色素（Ｉ）は波長６００〜７００
ｎｍに吸収極大を有する染料である。

【００１７】色素（II）としては、例えば一般式（II）〔式中、Ｒ²⁰は炭素数２〜１０のアルキル基を示し、Ｒ
²¹、Ｒ²²、Ｒ²⁴はそれぞれ独立に水素原子、メチル基、
ヒドロキシル基またはシアノ基を示し、Ｒ²³は炭素数１
〜４のアルキル基を示す。〕で示される化合物が挙げら
れる。

【００１８】一般式（II）で示される化合物において、
置換基Ｒ²⁰で示される炭素数２〜１０のアルキル基とし
てはエチル基、プロピル基、ｎ−ヘキシル基、ｎ−ノニ
ル基、ｎ−デシル基、ｎ−ドデシル基、２−エチルヘキ
シル基、１，３−ジメチルブチル基、１−メチルブチル
基、１，５−ジメチルヘキシル基、１，１，３，３−テ
トラメチルブチル基などが、Ｒ²³で示される炭素数１〜
４のアルキル基としてはメチル基、エチル基、プロピル
基、ブチル基などがそれぞれ例示される。かかる色素
（II）としては、例えばシー・アイ・ソルベント・イエ
ロー１６２（C.I.Solvent Yellow 162）などが挙げられ
る。これらの色素（II）は、通常ｉ線の吸収が少なく、
波長４００〜５００ｎｍに吸収極大を有する染料であ
る。緑色フィルタ層の厚みや、緑色フィルタ層の色素
（Ｉ）および色素（II）の含有量は、緑色フィルタ層の
透過率が波長４５０ｎｍで５％以下であり波長５３５ｎ
ｍで６２％以上となるように調整される。例えば緑色フ
ィルタ層の厚みを１．６〜１．９μｍ程度とし、色素
（Ｉ）の含有量および色素（II）の含有量の合計量１０
０重量部あたりの色素（Ｉ）の含有量を３０〜７０重量
部、好ましくは４０〜５０重量部とすれば緑色フィルタ
層の透過率を波長４５０ｎｍで５％以下とし波長５３５
ｎｍで６２％以上とすることができ、色素（II）の含有
量は７０〜３０重量部、好ましくは６０〜５０重量部と
なる。

【００１９】緑色フィルタ層は、耐光性の向上、調色即
ち分光特性の調整などの目的で他の色素を含有していて
もよく、例えば波長４００〜５００ｎｍに吸収極大を有
するピラゾロンアゾ系色素（以下、「色素（III）」と
称する。）を含有していてもよい。色素（III）として
は、例えば一般式（III）〔式中、Ｒ³¹、Ｒ³²はヒドロキシル基またはカルボン酸
基を示し、Ｒ³⁰、Ｒ³³、Ｒ³⁴、Ｒ³⁵はそれぞれ独立に水
素原子、ハロゲン原子、炭素数１〜４のアルキル基、ス
ルホン酸基、炭素数１〜４のアルキル基またはニトロ基
を示す。〕で示される化合物またはその塩が挙げられ
る。かかる色素（III）を含有することにより、緑色フ
ィルタ層の耐光性をより向上することができる。

【００２０】一般式（III）で示される化合物における
置換基Ｒ³⁰、Ｒ³³、Ｒ³⁴、Ｒ³⁵として示されるハロゲン
原子としてはフッ素原子、塩素原子、臭素原子などが、
炭素数１〜４のアルキル基としてはメチル基、エチル
基、プロピル基、ブチル基などが、炭素数１〜４のアル
コキシル基としてはメトキシ基、エトキシ基、プロポキ
シ基、ブトキシ基などがそれぞれ例示される。

【００２１】色素（III）は、一般式（III）で示される
化合物であってもよいし、該化合物の塩であってもよ
い。塩としては、例えばナトリウム、カリウムなどのア
ルカリ金属とのアルカリ金属塩、トリエチルアミン、２
−エチルヘキシルアミン、１−アミノ−3−フェニルブ
タンなどのアミンとのアミン塩などが挙げられる。かか
る塩は、一般式（III）で示される化合物の置換基
Ｒ³⁰、Ｒ³³、Ｒ³⁴、Ｒ³⁵のうちの少なくとも一の置換基
がスルホン酸基である場合には、通常、該スルホン酸基
で塩を形成する。

【００２２】かかる色素（III）は、クロム原子に配位
して錯体を形成していてもよい。クロム原子と錯体を形
成することにより、耐光性がより向上する。かかる色素
（III）としては例えばシー・アイ・アシッド・イエロ
ー１７（C.I.Acid Yellow 17）、シー・アイ・ソルベン
ト・オレンジ５６（C.I.Solvent Orange 56）、シー・
アイ・ソルベント・イエロー８２（C.I.Solvent Yellow
82）などが挙げられ、これらはそれぞれ単独または２
種以上を混合して用いられる。これらの色素（III）は
波長４００〜５００ｎｍに吸収極大を有する染料であ
る。

【００２３】色素（III）を用いる場合、その含有量は
色素（Ｉ）の含有量および色素（II）の含有量の合計１
００重量部に対して通常は７０重量部以下である。色素
（III）の含有量が７０重量部を超えるとｉ線などの吸
収が大きくなって露光によりパターンを形成し難くなる
傾向にある。また、色素（III）の含有量が１０重量部
未満であると色素（III）を含んでも分光特性の向上が
不十分となる傾向にあるので、通常は１０重量部以上で
ある。

【００２４】緑色フィルタ層は、波長５８０〜６８０ｎ
ｍに吸収極大を有するトリアリルメタン系色素（以下、
「色素（IV）」と称する。）を含有していてもよい。色
素（IV）としては、例えば一般式（IV-1）〔式中、Ｒ⁴¹、Ｒ⁴²、Ｒ⁴³、Ｒ⁴⁴はそれぞれ独立に水素
原子、メチル基またはエチル基を示し、Ｒ⁴⁵は一般式
（４−１）（式中、Ｒ⁴⁶は水素原子またはアミノ基を示し、Ｒ⁴⁷は
水素原子またはヒドロキシル基を示す。）で示される置
換基または一般式（４−２）（式中、Ｒ⁴⁸は水素原子またはアミノ基を示し、Ｒ⁴⁹は
水素原子またはヒドロキシル基を示す。）で示される置
換基である。〕で示される化合物、

【００２５】一般式（IV-2）〔式中、Ｒ⁴¹⁰、Ｒ⁴¹¹はそれぞれ独立に水素原子または
炭素数１〜３のアルキル基を示し、Ｒ⁴¹²は水素原子ま
たはスルホン酸基を示し、Ｒ⁴¹³は水素原子、スルホン
酸基、カルボン酸基、炭素数１〜３のアルキル基、炭素
数１〜３のアルコキシル基または一般式（４１） −ＮＲ⁴¹⁴Ｒ⁴¹⁵ （４１）（式中、Ｒ⁴¹⁴、Ｒ⁴¹⁵はそれぞれ独立に水素原子、フェ
ニル基、炭素数１〜３のアルキル基または炭素数１〜３
のアルコキシル基がｐ位に置換したフェニル基を示
す。）で示される置換基を示す。〕で示される化合物ま
たはその塩が挙げられる。

【００２６】かかる色素（IV）を含有することにより、
波長６５０ｎｍにおける透過率を容易に１０％以下とし
て分光特性をより向上することができる。

【００２７】一般式（IV-2）で示される化合物におい
て、置換基Ｒ⁴¹⁰、Ｒ⁴¹¹、Ｒ⁴¹³、Ｒ⁴ ¹⁴、Ｒ⁴¹⁵におけ
る炭素数１〜３のアルキル基としてはメチル基、エチル
基、プロピル基などが、Ｒ⁴¹³における炭素数１〜３の
アルコキシル基としてはメトキシ基、エトキシ基、プロ
ポキシ基などが、Ｒ⁴¹⁴、Ｒ⁴¹⁵における炭素数１〜３の
アルコキシル基がｐ位に置換したフェニル基としてはｐ
−メトキシフェニル基、ｐ−エトキシフェニル基、ｐ−
プロポキシフェニル基などがそれぞれ例示される。

【００２８】色素（IV）は、一般式(IV-1）で示される
化合物であってもよいし、一般式（IV-2）で示される化
合物であってもよいし、一般式（IV-2）で示される化合
物の塩であってもよい。一般式（IV-2）で示される化合
物の塩としては、例えばナトリウム、カリウムなどのア
ルカリ金属との金属塩、トリエチルアミン、２−エチル
ヘキシルアミン、１−アミノ−３−フェニルブタンなど
のアミンとのアミン塩などがが挙げられる。かかる塩
は、−ＳＯ₃ ^-残基で塩を形成していてもよいし、置換基
Ｒ¹²におけるスルホン酸基で塩を形成していてもよい。

【００２９】かかる色素（IV）としては、一般式（IV-
1）で示される化合物として、例えばシー・アイ・アシ
ッド・グリーン１６（C.I.Acid Green 16）、シー・ア
イ・アシッド・ブルー１０８（C.I.Acid Blue 108）、
シー・アイ・アシッド・グリーン５０（C.I.Acid Green
50）などが挙げられ、一般式（IV-2）で示される化合
物または一般式（IV-2）で示される化合物の塩として
は、例えばシー・アイ・アシッド・ブルー７（C.I.Acid
Blue 7）、シー・アイ・アシッド・ブルー８３（C.I.A
cid Blue 83）、シー・アイ・アシッド・ブルー９０
（C.I.Acid Blue 90）、シー・アイ・ソルベント・ブル
ー３８（C.I.Solvent Blue 38）、シー・アイ・アシッ
ド・バイオレット１７（C.I.Acid Violet 17）、シー・
アイ・アシッド・バイオレット４９（C.I.Acid Violet
49）、シー・アイ・アシッド・グリーン３（C.I.Acid G
reen 3）、シー・アイ・アシッド・グリーン９（C.I.Ac
id Green9）などが挙げられる。これらの色素（IV）は
それぞれ単独または２種以上を混合して用いられる。か
かる色素（IV）は波長５８０〜６８０ｎｍに吸収極大を
有している。

【００３０】色素（IV）を用いる場合、その含有量は、
緑色フィルタ層の透過率が４５０ｎｍで５％以下となり
波長５３５ｎｍで６２％以上となり波長６５０ｎｍで１
０％以下となるように調整され、具体的には、例えば色
素（Ｉ）の含有量および色素（II）の含有量の合計１０
０重量部あたりの色素（IV）の含有量を通常７０重量部
以下とすればよい。色素（IV）の含有量が７０重量部を
超えると５３５ｎｍにおける透過率が低下する傾向にあ
る。また、色素（IV）の含有量が５重量部未満であると
色素（IV）を含んでも６５０ｎｍにおける透過率を１０
％以下とすることが困難となる傾向にあるので、５重量
部以上であることが好ましい。かかる色フィルタアレイ
は、基体上に緑色フィルタ層を有し、該緑色フィルタ層
は色素（IV）を含有し、透過率が波長６５０ｎｍで１０
％以下である。

【００３１】本発明の色フィルタアレイは、通常のカラ
ーレジスト法により製造することができ、例えば色素を
含有する感光性樹脂組成物をパターンニングして緑色フ
ィルタ層を形成する工程を有する製造方法により製造す
ることができる。ここで、感光性樹脂組成物は色素
（Ｉ）および色素（II）を含有し、かかる感光性樹脂組
成物における色素（Ｉ）および色素（II）の含有量はそ
れぞれ目的とする緑色フィルタ層におけると同様であ
る。目的とする緑色フィルタ層が他の色素、例えば色素
（III）、色素（IV）を含有する場合には、色素（II
I）、色素（IV）を含有する感光性樹脂組成物を用いれ
ばよく、かかる感光性樹脂組成物における色素（II
I）、色素（IV）の含有量は目的とする緑色フィルタ層
におけると同様である。パターンニング後の緑色フィル
タ層の透過率は波長４５０ｎｍで５％以下であり波長５
３５ｎｍで６２％以上である。

【００３２】感光性樹脂組成物は、ポジ型感光性樹脂組
成物であってもよいし、ネガ型感光性樹脂組成物であっ
てもよい。感光性樹脂組成物がポジ型感光性樹脂組成物
である場合、該組成物は、例えば上記色素並びに感光剤
およびアルカリ可溶性樹脂を含有する。

【００３３】感光剤としては、通常の感光性樹脂組成物
に用いられると同様の感光剤を用いることができ、例え
ばフェノール化合物とｏ−ナフトキノンジアジドスルホ
ン酸化合物とのエステルなどを用いることができる。フ
ェノール化合物としては化学式（１０）で示される化合物などが、ｏ−ナフトキノンジアジドス
ルホン酸化合物としてはｏ−ナフトキシノンジアジド−
５−スルホン酸、ｏ−ナフトキシノンジアジド−４−ス
ルホン酸などがそれぞれ例示される。

【００３４】アルカリ可溶性樹脂とは、アルカリ性の現
像液に溶解し得る樹脂であり、通常の感光性樹脂組成物
に用いられると同様のアルカリ可溶性樹脂を用いること
ができる。かかるアルカリ可溶性樹脂としては、例えば
ｐ−クレゾールのノボラック樹脂、ｐ−クレゾールとｍ
−クレゾールとのノボラック樹脂、一般式（２０）で示される構造を有するノボラック樹脂などのノボラッ
ク樹脂、ポリビニルフェノール、スチレンとビニルフェ
ノールとの共重合体などが挙げられる。アルカリ可溶性
樹脂としては、ノボラック樹脂が好ましく用いられる。

【００３５】かかる感光性樹脂組成物における色素、感
光剤およびアルカリ可溶性樹脂の含有量は、色素、感光
剤およびアルカリ可溶性樹脂の合計量１００重量部に対
する色素の含有量が通常２５〜５５重量部であり、感光
剤の含有量が通常２５〜５５重量部であり、アルカリ可
溶性樹脂の含有量が通常３〜５０重量部である。

【００３６】ポジ型感光性樹脂組成物は、硬化剤を含有
していてもよい。硬化剤を含有することにより、感光性
樹脂組成物を用いて形成されたパターンの機械的強度を
高めることができる。

【００３７】硬化剤としては通常、加熱されることによ
り硬化させる加熱硬化剤が用いられる。加熱硬化剤とし
ては、一般式（３０）〔式中、Ｑ¹、Ｑ²、Ｑ³、Ｑ⁴はそれぞれ独立に水素原
子、炭素数１〜４のヒドロキシアルキル基または炭素数
１〜４のアルコキシル基で置換された炭素数１〜４のア
ルキル基を示し、Ｚはフェニル基または一般式（３１）Ｑ⁵Ｑ⁶Ｎ− （３１）（式中、Ｑ⁵、Ｑ⁶はそれぞれ独立に水素原子、炭素数１
〜４のヒドロキシアルキル基、炭素数１〜４のアルコキ
シル基で置換された炭素数１〜４のアルキル基を示
す。）で示される置換基を示す。ただし、Ｑ¹〜Ｑ⁶のう
ちの少なくとも１つは炭素数１〜４のヒドロキシアルキ
ル基または炭素数１〜４のアルコキシル基で置換された
炭素数１〜４のアルキル基である。〕で示される化合物
が例示される。かかる化合物において炭素数１〜４のヒ
ドロキシアルキル基としてはヒドロキシメチル基、ヒド
ロキシエチル基、ヒドロキシプロピル基、ヒドロキシブ
チル基などが、炭素数１〜４のアルコキシル基で置換さ
れた炭素数１〜４のアルキル基としてはメトキシメチル
基、メトキシエチル基、エトキシエチル基、プロポキシ
ブチル基がそれぞれ例示される。かかる一般式（３０）
で示される化合物としてはヘキサメトキシメチルメラミ
ンなどが挙げられる。

【００３８】また、ポジ型感光性樹脂組成物に用いられ
る硬化剤としては、以下の化学式（３２）〜（３７）で示される化合物も挙げられる。

【００３９】硬化剤を用いる場合、その含有量は色素、
感光剤およびアルカリ可溶性樹脂の合計量１００重量部
に対して通常１０重量部以上３５重量部以下である。

【００４０】ポジ型感光性樹脂組成物は通常、溶剤によ
って希釈されて用いられる。溶剤は、用いる色素
（Ｉ）、色素（II）、色素（III）、色素（IV）、感光
剤、アルカリ可溶性樹脂および硬化剤の溶解度、中でも
色素（Ｉ）、色素（II）、色素（III）、色素（IV）の
溶解度に応じて適宜選択されて用いられるが、例えばメ
チルセルソルブ、エチルセルソルブ、メチルセルソルブ
アセテート、エチルセルソルブアセテート、ジエチレン
グリコールジメチルエーテル、エチレングリコールモノ
イソプロピルエーテル、プロピレングリコールモノメチ
ルエーテル、Ｎ−メチルピロリドン、γ−ブチロラクト
ン、ジメチルスルホキシド、Ｎ，Ｎ’−ジメチルホルム
アミド、シクロヘキサン、酢酸エチル、酢酸ｎ−ブチ
ル、酢酸プロピレングリコールモノエチルエーテル、酢
酸エチル、ピルビン酸エチル、乳酸エチルなどを用いる
ことができる。これらの溶剤はそれぞれ単独または２種
以上を混合して用いられる。溶剤の使用量は色素、感光
剤、アルカリ可溶性樹脂および硬化剤の合計量１００重
量部に対して通常は１８０〜４００重量部程度である。

【００４１】感光性樹脂組成物がネガ型感光性樹脂組成
物である場合、該組成物は、例えば上記色素並びに光酸
発生剤、硬化剤およびアルカリ可溶性樹脂を含有する。
光酸発生剤としては通常のネガ型感光性樹脂組成物に用
いられると同様の光酸発生剤を用いることができ、一般
式（４０）（式中、Ｑ⁷は炭素数１〜３のアルキル基を示し、Ｑ⁸は
炭素数１〜３のアルキル基で置換されたフェニル基また
は炭素数１〜３のアルコキシル基で置換されたフェニル
基を示す。）で示される化合物などが例示される。

【００４２】Ｑ⁷として示される炭素数１〜３のアルキ
ル基としてはメチル基、エチル基、プロピル基などが例
示される。Ｑ⁸として示される炭素数１〜３のアルキル
基で置換されたフェニル基としてはｏ−イソプロピルフ
ェニル基などが、炭素数１〜３のアルコキシル基で置換
されたフェニル基としてはｐ−メトキシフェニル基、ｐ
−エトキシフェニル基、ｐ−プロポキシフェニル基など
がそれぞれ例示される。

【００４３】また、光酸発生剤として、化学式（４１）
〜（４７）で示される化合物を用いることもできる。

【００４４】硬化剤としては通常のネガ型感光性樹脂組
成物に用いられると同様に、加熱さることにより硬化さ
せる加熱硬化剤が用いられ、感光性樹脂組成物がポジ型
感光性樹脂組成物である場合に例示したと同様の加熱硬
化剤を用いることができる。

【００４５】アルカリ可溶性樹脂としては、通常のネガ
型感光性樹脂組成物に用いられると同様に、ポジ型感光
性樹脂組成物である場合に例示したと同様のアルカリ可
溶性樹脂を用いることができる。

【００４６】かかるネガ型感光性樹脂組成物における光
酸発生剤、硬化剤およびアルカリ可溶性樹脂の含有量
は、色素、光酸発生剤、硬化剤およびアルカリ可溶性樹
脂の合計量１００重量部に対する色素の含有量が通常１
５〜４０重量部程度であり、光酸発生剤の含有量が通常
０．３〜５重量部程度であり、硬化剤の使用量が通常１
０〜２５重量部程度であり、アルカリ可溶性樹脂の含有
量が通常２０〜７５重量部程度である。

【００４７】ネガ型感光性樹脂組成物は通常、溶剤によ
って希釈されて用いられる。溶剤は、用いる色素
（Ｉ）、色素（II）、色素（III）、色素（IV）、感光
剤、アルカリ可溶性樹脂および硬化剤の溶解度、中でも
色素（Ｉ）、色素（II）、色素（III）、色素（IV）の
溶解度に応じて適宜選択されて用いられ、感光性樹脂組
成物がポジ型感光性樹脂組成物である場合において例示
したと同様の溶剤を用いることができる。溶剤の使用量
は、色素、光酸発生剤、硬化剤およびアルカリ可溶性樹
脂の合計量１００重量部に対して通常は１８０〜４００
重量部程度である。

【００４８】かかる感光性樹脂組成物は、色素として色
素（Ｉ）および色素（II）を用いているので、長期間保
管しても析出物が殆ど発生せず、そのため基材に塗布し
てもムラが殆ど生じないので、例えば厚みが０．５〜２
μｍ程度で一辺の長さが２〜２０μｍ程度のパターンの
緑色フィルタ層を有する色フィルタアレイを得ることが
できる。

【００４９】パターンニングするには、例えば基体上に
上記感光性樹脂組成物からなる被膜を設け、該被膜を露
光してのち現像すればよい。基体の上に被膜を設けるに
は、感光性樹脂組成物を希釈した溶液を基体上に塗布す
ればよい。塗布は通常、スピンコート法により行われ
る。塗布後、例えば８０〜１３０℃程度に加熱して溶剤
を揮発させれば、感光性樹脂組成物からなる被膜を得る
ことができる。

【００５０】次いで、この被膜を露光する。露光には目
的とするパターンに応じたパターンからなるマスクパタ
ーンが用いられ、該マスクパターンを介して光線を照射
すればよい。露光に用いられる光線としては、例えばｇ
線、ｉ線などを用いることができ、ｇ線ステッパー、ｉ
線ステッパーなどの露光機を用いて露光すればよい。用
いた感光性樹脂組成物がネガ型感光性樹脂組成物である
場合には、露光後に加熱する。また、用いた感光性樹脂
組成物がポジ型感光性樹脂組成物である場合には、露光
後に加熱してもよいし、加熱しなくともよい。加熱する
場合の加熱温度は、例えば８０〜１５０℃である。

【００５１】露光してのち現像する。現像は通常の感光
性樹脂組成物を用いたと同様に、被膜が設けられた基体
を現像液に浸漬すればよい。現像液としては、通常の感
光性樹脂組成物を用いてパターンを形成する場合と同様
の現像液を用いることができる。現像液から基体を引き
上げ、次いで水洗して現像液を除去することにより、目
的とするパターンで緑色フィルタ層が形成された色フィ
ルタアレイを得ることができる。

【００５２】感光性樹脂組成物がポジ型感光性樹脂組成
物である場合には、次いで紫外線を照射してもよい。紫
外線を照射することにより、残存する感光剤を分解する
ことができる。また、加熱硬化剤を含有する場合には、
水洗後加熱する。加熱により、形成された緑色フィルタ
層の機械的強度を向上することができる。加熱温度は通
常１６０℃以上２２０℃以下程度であり、通常は色素の
分解温度以下である。

【００５３】感光性樹脂組成物がネガ型感光性樹脂組成
物である場合には、水洗後加熱してもよい。加熱するこ
とにより形成された緑色フィルタ層の機械的強度を向上
することができる。加熱温度は通常１６０℃以上２２０
℃以下程度であり、通常は色素の分解温度以下である。

【００５４】かくして目的とするパターンで緑色フィル
タ層が形成されるが、他の色のフィルタ層、即ち赤色フ
ィルタ層、青色フィルタ層は緑色フィルタ層が形成され
た後の基体の同一平面上に通常と同様の方法で形成すれ
ばよい。感光性樹脂組成物がポジ型感光性樹脂組成物で
ある場合には、感光性樹脂組成物として硬化剤を含有す
るものを用い、現像後に加熱することは、形成された緑
色フィルタ層の強度を向上するので好ましい。また、他
の色のフィルタ層を予め基体上に形成しておいてから、
緑色フィルタ層を形成してもよい。

【００５５】かくして基体上の同一平面に互いに隣接し
て形成された赤色フィルタ層、緑色フィルタ層および青
色フィルタ層からなる色フィルタアレイを得ることがで
きる。かかる色フィルタアレイは、固体撮像素子、液晶
表示素子などをカラー化することができ、例えばこの色
フィルタアレイが電荷結合素子の前面側に配置されてな
る固体撮像素子によれば、色再現性、特に緑色の色再現
性に優れたカラー画像を得ることができる。

【００５６】

【発明の効果】本発明の色フィルタアレイは、緑色の光
に対する分光特性に優れ、また耐光性にも優れた緑色フ
ィルタ層を有している。また、色素として染料を用いて
いるので、その製造に用いる感光性樹脂組成物に析出物
の発生が少なく、保存安定性に優れており、異物が少な
く均質な厚みの緑色フィルタ層を容易に得ることができ
る。そして、この色フィルタアレイは、液晶表示素子
や、電荷結合素子を用いた固体撮像素子に好適に用いる
ことができる。

【００５７】

【実施例】以下、実施例により本発明をより詳細に説明
するが、本発明はこれら実施例により限定されるもので
はない。

【００５８】実施例１色素（Ｉ）として、シー・アイ・ソルベント・ブルー６
７（C.I.Solvent Blue67）２．５重量部、色素（II）と
してシー・アイ・ソルベント・イエロー１６２（C.I.So
lvent Yellow 162）３．５重量部、色素（III）として
シー・アイ・ソルベント・イエロー８２（C.I.Solvent
Yellow 82）３．５重量部、感光剤として化学式（１
０）で示されるフェノール化合物とｏ−ナフトキノンジ
アジド−５−スルホン酸とのエステル（９重量部）、ア
ルカリ可溶性樹脂としてｐ−クレゾールのノボラック樹
脂（ポリスチレン換算の分子量は６０００）７．５重量
部、硬化剤としてヘキサメトキシメチルメラミン（５重
量部）および溶剤として乳酸エチル（７０重量部）を混
合したのち、孔径０．１μｍのメンブランフィルターで
濾過してポジ型感光性樹脂組成物を得た。

【００５９】このポジ型感光性樹脂組成物を基体（シリ
コンウエハー）上にスピンコート法により塗布し、１０
０℃で１分間加熱し乳酸エチルを揮発させて被膜を形成
した。次いで露光機〔「ＮｉｋｏｎＮＳＲｉ７Ａ」
（ニコン(株)製）〕を用いてマスクパターンを介してｉ
線を照射して露光したのち、現像液〔「ＳＯＰＤ」（住
友化学工業(株)製）、２３℃〕に１分間浸漬して現像し
た。現像後、水洗し、乾燥後、紫外線を照射し、１８０
℃に３分間加熱して、線幅１．０μｍで厚みが１．８μ
ｍの帯状のパターンで形成された緑色フィルタ層を有す
る色フィルタアレイを得た（図４）。

【００６０】次いで、マスクパターンを代える以外は上
記と同様に操作して、線幅が２．０μｍで厚みが１．８
μｍのモザイク状のパターンで形成された緑色フィルタ
層を有する色フィルタアレイを得た（図５）。

【００６１】次いで、基体として透明なガラス板を用い
露光することなく現像する以外は上記と同様に操作し
て、全面に亙って厚み１．８μｍで形成された緑色フィ
ルタ層を得た。

【００６２】実施例２色素（Ｉ）（シー・アイ・ソルベント・ブルー６７）、
色素（II）（シー・アイ・ソルベント・イエロー１６
２）、色素（III）（シー・アイ・ソルベント・イエロ
ー８２）に加えて、色素（IV）としてシー・アイ・アシ
ッド・グリーン１６（C.I.Acid Green 16）０．７重量
部を用いる以外は実施例１と同様に操作して、線幅１．
０μｍで厚みが１．８μｍの帯状のパターンで形成され
た緑色フィルタ層を有する色フィルタアレイを得（図
４）、線幅が２．０μｍで厚みが１．８μｍのモザイク
状のパターンで形成された緑色フィルタ層を有する色フ
ィルタアレイを得（図５）、全面に亙って厚み１．８μ
ｍで形成された緑色フィルタ層を得た。

【００６３】実施例３色素（Ｉ）として、シー・アイ・ソルベント・ブルー６
７（C.I.Solvent Blue67）２．５重量部、色素（II）と
してシー・アイ・ソルベント・イエロー１６２（C.I.So
lvent Yellow 162）３．５重量部、色素（III）として
シー・アイ・ソルベント・イエロー８２（C.I.Solvent
Yellow 82）３．５重量部、酸発生剤として化学式（５
１）で示される化合物（０．５重量部）、アルカリ可溶性樹
脂としてｐ−クレゾールのノボラック樹脂（ポリスチレ
ン換算の分子量は６０００）７．５重量部、硬化剤とし
てヘキサメトキシメチルメラミン（５重量部）および溶
剤として乳酸エチル（７０重量部）を混合したのち、孔
径０．１μｍのメンブランフィルターで濾過してネガ型
感光性樹脂組成物を得た。

【００６４】このネガ型感光性樹脂組成物を基体（シリ
コンウエハー）上にスピンコート法により塗布し、１０
０℃で１分間加熱し乳酸エチルを揮発させて被膜を形成
した。次いで露光機〔「ＮｉｋｏｎＮＳＲｉ７Ａ」
（ニコン(株)製））を用いてマスクパターンを介してｉ
線を照射して露光したのち、１２０℃で１分間加熱し、
次いで現像液〔「ＳＯＰＤ」（住友化学工業(株)製）、
２３℃〕に１分間浸漬して現像した。現像後、水洗し、
乾燥後、１８０℃に３分間加熱して、線幅１．０μｍで
厚みが１．８μｍの帯状のパターンで形成された緑色フ
ィルタ層を有する色フィルタアレイを得た。

【００６５】次いで、マスクパターンを代える以外は実
施例１と同様に操作して、線幅が２．０μｍで厚みが
１．８μｍのモザイク状のパターンで形成された緑色フ
ィルタ層を有する色フィルタアレイを得た。

【００６６】次いで、基体として透明なガラス板を用
い、マスクパターンを用いることなく露光する以外は実
施例１と同様に操作して、全面に亙って厚み１．８μｍ
で形成された緑色フィルタ層を有する色フィルタアレイ
を得た。

【００６７】実施例４以下の組成の緑色フィルタ層形成用感光性樹脂組成物、
赤色フィルタ層形成用感光性樹脂組成物および青色フィ
ルタ層形成用感光性樹脂組成物をそれぞれ調整した。

【００６８】（赤色フィルタ層形成用感光性樹脂組成物）ノボラック樹脂５重量部ｏ−ナフトキノンジアジド−４−スルホン酸エステル８重量部ヘキサメトキシメチルメラミン２重量部乳酸エチル５０重量部Ｎ，Ｎ’−ジメチルホルムアミド２５重量部化学式（５２）で示される化合物２重量部シー・アイ・ソルベントオレンジ５６２重量部シー・アイ・ソルベントイエロー８２２重量部シー・アイ・ソルベントイエロー１６２２重量部

【００６９】（青色フィルタ層形成用感光性樹脂組成物）ノボラック樹脂５重量部ｏ−ナフトキノンジアジド−４−スルホン酸エステル８重量部ヘキサメトキシメチルメラミン２重量部乳酸エチル５０重量部Ｎ，Ｎ’−ジメチルホルムアミド２５重量部一般式（５２）で示される化合物３重量部シー・アイ・ソルベントブルー２５３重量部シー・アイ・アシッドブルー９０２重量部

【００７０】（緑色フィルタ層形成用感光性樹脂組成物）ノボラック樹脂５重量部ｏ−ナフトキノンジアジド−４−スルホン酸エステル８重量部ヘキサメトキシメチルメラミン２重量部乳酸エチル５０重量部Ｎ，Ｎ’−ジメチルホルムアミド２５重量部シー・アイ・ソルベントブルー２５（色素（Ｉ））４重量部シー・アイ・ソルベントイエロー８２（色素（III））２重量部シー・アイ・ソルベントイエロー１６２（色素（II））２重量部

【００７１】

【００７２】平坦化膜（３）、ポリシリコン電極
（４）、センサー（５）、Ｖレジスター（６）、遮光膜
（７）およびパッシベーション膜（８）からなる電荷結
合素子が形成されたシリコンウエハー上に上記で調整し
た赤色フィルタ形成様感光性樹脂組成物をスピンコート
して塗布したのち、１００℃のベークプレート上で溶剤
を揮発させた。

【００７３】次いで、ｉ線ステッパ露光機〔「Ｎｉｋｏ
ｎＮＳＲ２２０５ｉ１２Ｄ」（ニコン(株)製）〕で
レチクルを介して波長３６５ｎｍの紫外線光（２０００
ｍＪ／ｃｍ²）を照射した。次いで、現像液（１０００
ｃｍ³あたりテトラメチルアンモニウムハイドロオキサ
イドを３ｇ含有する水溶液）で露光部分を現像、除去し
た後、純水で水洗した。次いで、低圧水銀灯を用いて紫
外線（３０００ｍＪ／ｃｍ²）を前面に亘って照射し、
１８０℃のベークプレート上で１０分間加熱して赤色フ
ィルタ層を形成した（図６（ａ））。

【００７４】次いで、上記で赤色フィルタ層形成用感光
性樹脂組成物に代えて、上記で調整した青色フィルタ層
形成用の感光性樹脂組成物を用いる以外は上記と同様に
操作して、青色フィルタ層を形成した（図６（ｂ））。

【００７５】次いで、上記で調整した緑色フィルタ層形
成用の感光性樹脂組成物を用いる以外は上記と同様に操
作して、緑色フィルタ層を形成し、色フィルタアレイを
得た。（図６（ｃ）、（ｄ））

【００７６】この色フィルタアレイの上に通常の方法で
マイクロレンズを形成して、固体撮像素子を得た。この
固体撮像素子の色フィルタアレイにおける緑色フィルタ
層の厚みは１．７μｍであった。この固体撮像素子の色
フィルタアレイは、良好な分光特性を示していた（図６
（ｅ））。

【００７７】石英ウエハー上に上記と同様にして全面に
亙って緑色フィルタ層（厚み１．７μｍ）を形成した。

【００７８】実施例５緑色フィルタ層形成用感光性樹脂組成物として以下の感
光性樹脂組成物を用いる以外は実施例３と同様に操作し
て、固体撮像素子を得、石英ウエハー上に緑色フィルタ
層（厚み１．７μｍ）を形成した。

【００７９】（緑色フィルタ層形成用感光性樹脂組成物）ノボラック樹脂５重量部ｏ−ナフトキノンジアジド−４−スルホン酸エステル８重量部ヘキサメトキシメチルメラミン２重量部乳酸エチル５０重量部Ｎ，Ｎ’−ジメチルホルムアミド２５重量部シー・アイ・ソルベントブルー２５（色素（Ｉ））３重量部シー・アイ・ソルベントイエロー８２（色素（III））２重量部シー・アイ・ソルベントイエロー１６２（色素（II））２重量部シー・アイ・アシッドグリーン１６（色素（IV））１重量部

【００８０】得られた固体撮像素子の色フィルタアレイ
は、より良好な分光特性を示していた。

【００８１】また、石英ウエハー上に形成された緑色フ
ィルタ層（厚み１．７μｍ）の透過率を測定したとこ
ろ、波長４５０ｎｍで１％、波長５３５ｎｍで６７％、
波長６５０ｎｍで４％であった。

【００８２】比較例１色素（Ｉ）として、シー・アイ・ソルベント・ブルー６
７（C.I.Solvent Blue67）２．５重量部、色素としてシ
ー・アイ・アシッド・イエロー４０（C.I.Acid Yellow
40）７重量部、感光剤として化学式（３０）で示される
フェノール化合物とｏ−ナフトキノンジアジド−５−ス
ルホン酸とのエステル（９重量部）、アルカリ可溶性樹
脂としてｐ−クレゾールのノボラック樹脂（ポリスチレ
ン換算の分子量は６０００）７．５重量部、硬化剤とし
てヘキサメトキシメチルメラミン（５重量部）および溶
剤として乳酸エチル（７０重量部）を混合したのち、孔
径０．１μｍのメンブランフィルターで濾過してポジ型
感光性樹脂組成物を得た。

【００８３】次いで、上記で得たポジ型感光性樹脂組成
物を用いる以外は実施例１と同様に操作して、線幅１．
０μｍで厚みが１．８μｍの帯状のパターンで形成され
た緑色フィルタ層を有する色フィルタアレイを得、線幅
が２．０μｍで厚みが１．８μｍのモザイク状のパター
ンで形成された緑色フィルタ層を有する色フィルタアレ
イを得、全面に亙って厚み１．８μｍで形成された緑色
フィルタ層を有する色フィルタアレイを得た。

【００８４】評価（１）分光特性上記各実施例および比較例で得た全面に亙って形成され
た緑色フィルタ層を有する色フィルタアレイの４５０ｎ
ｍ、５３５ｎｍ、６５０ｎｍの波長における光線透過率
を測定した。その結果を表１に示す。（２）耐光性上記各実施例および比較例で得た全面に亙って形成され
た緑色フィルタ層を有する色フィルタアレイの前方に紫
外線カットフィルター〔「ＣＯＬＯＲＥＤＯＰＴＩＣ
ＡＬＧＬＡＳＳＬ３８」（ホヤ(株)製）、波長３８
０ｎｍ以下の光はカットする〕を配置して１００万ルク
ス・時間の光を照射した。光源としては、「サンテスタ
−ＸＦ−１８０ＣＰＳ」（島津製作所(株)製）を用い
た。光照射後の色フィルタアレイの波長４５０ｎｍ、５
３５ｎｍ、６５０ｎｍにおける光線透過率を求めた。そ
の結果を表２に示す。

【００８５】

【表１】

【００８６】

【表２】

【図面の簡単な説明】

【図１】基体上の同一平面上に緑色フィルタ層、赤色フ
ィルタ層および青色フィルタ層が設けられた色フィルタ
アレイの断面を示す模式図である。

【図２】帯状のパターンで緑色フィルタ層、赤色フィル
タ層および青色フィルタ層が設けられた色フィルタアレ
イの平面模式図である。

【図３】モザイク状のパターンで緑色フィルタ層、赤色
フィルタ層および青色フィルタ層が設けられた色フィル
タアレイの平面模式図である。

【図４】実施例１で得た色フィルタアレイの平面模式図
である。

【図５】実施例１で得た色フィルタアレイの平面模式図
である。

【図６】実施例４の工程を示す模式図である。

【符号の説明】

１：基体２：色フィルタアレイ３：平坦化膜４：ポリシリコン電極５：センサー６：Ｖレジスター７：遮光膜８：パッシベーション膜９：マイクロレンズＲ：赤色フィルタ層Ｇ：緑色フィルタ層Ｂ：青色フィルタ層

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｃ０８Ｋ 5/1545 Ｃ０８Ｋ 5/1545 5/42 5/42 Ｃ０８Ｌ 101/12 Ｃ０８Ｌ 101/12 (72)発明者植田裕治大阪府大阪市此花区春日出中３丁目１番98 号住友化学工業株式会社内 (72)発明者円道博毅東京都品川区北品川６丁目７番35号ソニー株式会社内 (72)発明者名取太知東京都品川区北品川６丁目７番35号ソニー株式会社内 (72)発明者神脇豊美鹿児島県国分市野口北５番１号ソニー国分株式会社内Ｆターム(参考） 2H048 BA02 BA45 BA48 BB02 BB13 BB14 BB24 BB42 BB47 CA04 CA09 CA14 CA19 4J002 BC041 BC121 CC031 CC051 EB109 ED059 EJ028 EL097 ER006 EU008 EU026 EU106 EU138 EU188 EV236 EV237 EV286 EV299 FD096 FD148 GP03 HA05 5C060 AA01 BA03 BA04 BA09 BB13 BC01 HC16 5C065 BB42 CC01 DD01 EE04 EE05 EE06 EE10

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基体上に緑色フィルタ層を有してなり、該
緑色フィルタ層は波長６００〜７００ｎｍに吸収極大を
有する銅フタロシアニン系色素および波長４００〜５０
０ｎｍに吸収極大を有するピリドンアゾ系色素を含有
し、透過率が波長４５０ｎｍで５％以下であり波長５３
５ｎｍで６２％以上であることを特徴とする色フィルタ
アレイ。
【請求項２】緑色フィルタ層が波長４００〜５００ｎｍ
に吸収極大を有するピラゾロンアゾ系色素を含有する請
求項１に記載の色フィルタアレイ。
【請求項３】緑色フィルタ層が波長５８０〜６８０ｎｍ
に吸収極大を有するトリアリルメタン系色素を含有し、
透過率が波長４５０ｎｍで５％以下であり波長５３５ｎ
ｍで６２％以上であり波長６５０ｎｍで１０％以下であ
る請求項１または請求項２に記載の色フィルタアレイ。
【請求項４】基体上に緑色フィルタ層を有してなり、該
緑色フィルタ層は波長５８０〜６８０ｎｍに吸収極大を
有するトリアリルメタン系色素を含有し、透過率が波長
６５０ｎｍで１０％以下である色フィルタアレイ。
【請求項５】色素を含有する感光性樹脂組成物をパター
ンニングして緑色フィルタ層を形成する工程を有し、感
光性樹脂組成物が波長６００〜７００ｎｍに吸収極大を
有する銅フタロシアニン系色素および波長４００〜５０
０ｎｍに吸収極大を有するピリドンアゾ系色素を含有
し、パターンニング後の緑色フィルタ層の透過率が波長
４５０ｎｍで５％以下であり波長５３５ｎｍで６２％以
上であることを特徴とする色フィルタアレイの製造方
法。
【請求項６】感光性樹脂組成物が波長４００〜５００ｎ
ｍに吸収極大を有するピラゾロンアゾ系色素を含有する
請求項５に記載の製造方法。
【請求項７】感光性樹脂組成物が波長５８０〜６８０ｎ
ｍに吸収極大を有するトリアリルメタン系色素を含有
し、パターンニング後の緑色フィルタ層の透過率が波長
６５０ｎｍで１０％以下である請求項５または請求項６
に記載の製造方法。
【請求項８】波長６００〜７００ｎｍに吸収極大を有す
る銅フタロシアニン系色素および波長４００〜５００ｎ
ｍに吸収極大を有するピリドンアゾ系色素を含有するこ
とを特徴とする感光性樹脂組成物。
【請求項９】銅フタロシアニン系色素の含有量およびピ
リドンアゾ系色素の含有量の合計量１００重量部あたり
の銅フタロシアニン系色素の含有量が３０〜７０重量部
である請求項８に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項１０】波長４００〜５００ｎｍに吸収極大を有
するピラゾロンアゾ系色素を含有する請求項８に記載の
感光性樹脂組成物。
【請求項１１】銅フタロシアニン系色素の含有量および
ピリドンアゾ系色素の含有量の合計量１００重量部あた
りの銅フタロシアニン系色素の含有量が３０〜７０重量
部であり、ピラロゾンアゾ系色素の含有量が７０重量部
以下である請求項１０に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項１２】波長５８０〜６８０ｎｍに吸収極大を有
するトリアリルメタン系色素を含有する請求項８または
請求項１０に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項１３】銅フタロシアニン系色素の含有量および
ピリドンアゾ系色素の含有量の合計量１００重量部あた
りの銅フタロシアニン系色素の含有量が３０〜７０重量
部であり、トリアリルメタン系色素の含有量が７０重量
部以下である請求項１２に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項１４】感光剤およびアルカリ可溶性樹脂を含有
し、色素、感光剤およびアルカリ可溶性樹脂の合計量１
００重量部に対する色素の含有量が２５〜５５重量部で
あり、感光剤の含有量が２５〜５５重量部であり、アル
カリ可溶性樹脂の含有量が３〜５０重量部である請求項
９、請求項１１または請求項１３に記載の感光性樹脂組
成物。
【請求項１５】硬化剤を含有しその含有量が色素、感光
剤およびアルカリ可溶性樹脂の合計量１００重量部に対
して３５重量部以下である請求項１４に記載の感光性樹
脂組成物。
【請求項１６】光酸発生剤、硬化剤およびアルカリ可溶
性樹脂を含有し、色素、光酸発生剤、硬化剤およびアル
カリ可溶性樹脂の合計量１００重量部に対する色素の含
有量が１５〜４０重量部であり、光酸発生剤の含有量が
０．３〜５重量部であり、硬化剤の使用量が１０〜２５
重量部であり、アルカリ可溶性樹脂の含有量が２０〜７
５重量部である請求項９、請求項１１または請求項１３
に記載の感光性樹脂組成物。