KR101117148B1 - 착색제함유 경화성 조성물, 컬러필터 및 그 제조방법 - Google Patents

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Abstract

염료의 내광성, 내열성, 패턴형성성(현상성) 및 액보존성이 우수한 착색제함유 경화성 조성물, 및, 그것을 사용한 컬러필터 및 그 제조방법을 제공하는 것에 있다.
착색제를 함유해서 이루어지는 착색제함유 경화성 조성물로서, 상기 착색제가 하기 일반식(I)로 나타내어지는 화합물을 함유하는 것을 특징으로 하는 착색제함유 경화성 조성물, 및, 이것을 사용한 컬러필터 및 그 제조방법.
Figure 112005017482797-pat00001
〔식중, R1 및 R2는, 각각 독립적으로, 수소원자, 탄소수 1～21의 알킬기, 탄소수 2～21의 알케닐기, 탄소수 6～21의 아릴기, 탄소수 7～21의 아랄킬기를 나타내고, R1 및 R2는 이들과 결합하고 있는 질소원자와 함께 복소환을 형성하고 있어도 좋다. R3은, 할로겐 원자, 트리할로메틸기, 탄소수 1～21의 알콕시기, 니트로기, 아미노기를 나타낸다. n은 0～4의 정수를 나타낸다. R4는, 할로겐 원자, -SO3M기를 나타내고, M은 H나 금속원자의 양이온, 질소함유 화합물로 이루어지는 양이온을 나타낸다. m은 0～5의 정수를 나타낸다.〕

Description

착색제함유 경화성 조성물, 컬러필터 및 그 제조방법{COLORANT-CONTAINING CURABLE COMPOSITION, COLOR FILTER AND METHOD OF PRODUCING THE SAME}
본 발명은, 액정표시소자나 고체촬상소자(CCD, CMOS 등)에 이용되는 컬러필터의 착색화상을 형성하는데에 바람직한 컬러필터용 착색제함유 경화성 조성물, 컬러필터 및 그 제조방법에 관한 것이다.
액정표시소자나 고체촬상소자에 이용되는 컬러필터를 제작하는 방법으로서는, 염색법, 인쇄법, 전착법 및 안료분산법이 알려져 있다.
이 중 안료분산법은, 안료를 각종 감광성 조성물에 분산시킨 착색 감방사선성 조성물을 이용하여 포토리소그래피법에 의해 컬러필터를 제작하는 방법이며, 안료를 사용하고 있기 때문에 광이나 열 등에 안정적이라는 이점을 갖고 있다. 또 포토리소그래피법에 의해 패터닝하기 때문에, 위치 정밀도가 높고, 대화면, 고세밀 컬러 디스플레이용 컬러필터를 제작하는데에 바람직한 방법으로서 널리 이용되어 왔다.
상기 안료분산법에 의해 컬러필터를 제작하기 위해서는, 유리기판 상에 감방사선성 조성물을 스핀코터나 롤코터 등에 의해 도포해서 건조시켜 도막을 형성하 고, 상기 도막을 패턴 노광하고, 현상함으로써 착색된 화소를 형성하고, 이 조작을 각 색마다 행하여 컬러필터를 제작할 수 있다.
상기 안료분산법으로서 구체적으로는, 알칼리 가용성수지에 광중합성 모노머와 광중합 개시제를 사용하는 네가티브형 감광성 조성물이 종래부터 알려져 있다(예를 들면 특허문헌1～5 참조).
한편, 최근, 고체촬상소자 등의 용도에 있어서는, 컬러필터의 더나은 고세밀화가 요구되고 있다. 그러나, 종래의 안료분산계에서는 더욱 해상도를 향상시키는 것은 곤란하며, 또한 안료의 조대입자에 의해 색편차가 발생하는 등의 문제도 있다. 이 때문에, 상기 안료분산법은, 고체촬상소자와 같이 미세 패턴이 요구되는 용도에는 적합하지 않았다.
상술한 문제를 해결하기 위해서, 종래부터 용제 혹은 물에 가용성의 염료를 사용하는 예가 알려져 있다(예를 들면 특허문헌6 참조).
그러나, 염료함유의 경화성 조성물은 하기 (1)～(4)와 같은 새로운 문제점을 포함하고 있다. 즉,
(1)통상, 색소는 알칼리 수용액 또는 유기용제 중 어느 하나에 용해성이 낮기 때문에, 원하는 스펙트럼을 갖는 액상의 경화성 조성물을 얻는 것이 곤란하다.
(2)염료는, 경화성 조성물중의 다른 성분과 상호작용을 나타내는 경우가 많기 때문에, 경화부, 비경화부의 용해성(현상성)의 조절이 곤란하다.
(3)염료의 몰흡광계수(ε)가 낮은 경우에는, 다량의 염료를 첨가하지 않으면 안되고, 이 때문에, 경화성 조성물중의 중합성 화합물(모노머)이나 바인더, 광중합 개시제 등의 다른 성분을 줄이지 않을 수 없게 되어, 조성물의 경화성이나 경화후의 내열성이나 (비)경화부의 현상성이 저하되는 등의 문제를 발생시킨다.
(4)염료는 일반적으로 안료에 비해, 내광성, 내열성이 떨어진다.
등이다.
또한 반도체 제작용도의 경우와는 달리, 특히 고체촬상소자용 컬러필터 제작용도의 경우에는 그 막두께가 1.5㎛이하인 것이 요구된다. 따라서, 경화성 조성물중에 다량의 색소를 첨가하지 않으면 안되고, 상술과 동일한 문제를 발생시키는 결과로 된다.
상기의 문제로 인해, 고세밀 컬러필터용의 미세하며 박막인 착색패턴에 관한 실용상의 요구성능을 만족하는 것은 곤란했다. 이 때문에, 상기의 문제를 해결할 수 있는 염료나 경화성 조성물의 개발이 요구되어지고 있었다.
(특허문헌1)일본 특허공개 평 2-199403호
(특허문헌2)일본 특허공개 평 4-76062호
(특허문헌3)일본 특허공개 평 5-273411호
(특허문헌4)일본 특허공개 평 6-184482호
(특허문헌5)일본 특허공개 평 7-140654호
(특허문헌6)일본 특허공개 2002-278056호
본 발명의 목적은, 고감도, 고해상력, 고내열성, 넓은 현상 래티튜드를 갖고, 또한 염료의 용출이 없고, 패턴의 내용제성이 우수하고, 생산성이 높은 착색제 함유 경화성 조성물, 및, 이것을 사용한 컬러필터 및 그 제조방법을 제공하는 것에 있다.
그 중에서도, 염료의 몰흡광계수나 색값, 내광성, 내열성, 및 패턴형성성(현상성)이 우수한 착색제함유 경화성 조성물, 및, 컬러필터 및 그 제조방법을 제공하는 것에 있다.
본 발명에 의하면, 하기 아미노피라졸론 골격 및 술폰아미드기를 동시에 갖는 특정 구조의 화합물을 함유하는 컬러필터용 착색제함유 경화성 조성물이 제공되어, 본 발명의 목적이 달성된다.
<1>착색제를 함유해서 이루어지는 착색제함유 경화성 조성물로서, 상기 착색제가 하기 일반식(I)로 나타내어지는 화합물을 함유하는 것을 특징으로 하는 착색제함유 경화성 조성물이다.
Figure 112005017482797-pat00002
〔식중, R1 및 R2는, 각각 독립적으로, 수소원자, 탄소수 1～21의 알킬기, 탄소수 2～21의 알케닐기, 탄소수 6～21의 아릴기, 탄소수 7～21의 아랄킬기를 나타내고, R1 및 R2는 이들과 결합하고 있는 질소원자와 함께 복소환을 형성하고 있어 도 좋다. R3은, 할로겐 원자, 트리할로메틸기, 탄소수 1～21의 알콕시기, 니트로기, 아미노기를 나타낸다. n은 0～4의 정수를 나타낸다. R4는, 할로겐 원자, -SO3M기를 나타내고, M은 H나 금속원자의 양이온, 질소함유 화합물로 이루어지는 양이온을 나타낸다. m은 0～5의 정수를 나타낸다.〕
<2>또한, 모노머를 함유하는 것을 특징으로 하는 상기 <1>의 착색제함유 경화성 조성물이다.
<3>상기 모노머가, (메타)아크릴에스테르계 모노머를 함유하는 것을 특징으로 하는 상기 <2>의 착색제함유 경화성 조성물이다.
<4>상기 모노머가, 4관능이상의 (메타)아크릴에스테르계 모노머를 함유하는 것을 특징으로 하는 상기 <2> 또는 <3>의 착색제함유 경화성 조성물이다.
<5>또한, 바인더를 함유하는 것을 특징으로 하는 상기 <1>～<4>기재의 착색제함유 경화성 조성물이다.
<6>상기 바인더가, 알칼리 가용성의 (메타)아크릴계 수지를 함유하는 것을 특징으로 하는 상기 <5>의 착색제함유 경화성 조성물이다.
<7>상기 바인더가, 알칼리 가용성의 중합성 측쇄를 갖는 (메타)아크릴계 수지를 함유하는 것을 특징으로 하는 상기 <5>기재의 착색제함유 경화성 조성물이다.
<8>또한, 광중합 개시제를 함유하는 것을 특징으로 하는 상기 <1>～<7>의 착색제함유 경화성 조성물이다.
<9>상기 광중합 개시제가, 트리할로메틸트리아진계 화합물, 벤질디메틸케탈 화합물, α-히드록시케톤 화합물, α-아미노케톤 화합물, 포스핀옥사이드계 화합물, 메탈로센 화합물, 옥심계 화합물, 트리알릴이미다졸다이머, 벤조티아졸계 화합물, 벤조페논 화합물, 아세토페논 화합물 및 그 유도체, 시클로펜타디엔-벤젠-철착체 및 그 염, 할로메틸옥사디아졸 화합물, 3-아릴치환 쿠마린 화합물로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 화합물을 함유하는 것을 특징으로 하는 상기 <8>의 착색제함유 경화성 조성물이다.
<10>상기 광중합 개시제가, 분해에 의해 산을 발생하지 않는 화합물을 적어도 1종이상 함유하는 것을 특징으로 하는 상기 <8> 또는 <9>의 착색제함유 경화성 조성물이다.
<11>상기 광중합 개시제가, α-아미노케톤 화합물, 포스핀옥사이드계 화합물, 메탈로센 화합물, 옥심계 화합물, 트리알릴이미다졸다이머로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 화합물을 함유하는 것을 특징으로 하는 상기 <8>기재의 착색제함유 경화성 조성물이다.
<12>또한, 가교제를 함유해서 이루어지는 것을 특징으로 하는 상기 <1>～<11>의 착색제함유 경화성 조성물이다.
<13>상기 일반식(I)로 나타내어지는 화합물, 감광제, 용제를 함유하는 것을 특징으로 하는 포지티브형 착색제함유 경화성 조성물이다.
<14>상기 감광제가, o-벤조퀴논디아지드술폰산 에스테르 또는 o-나프토퀴논 디아지드술폰산 에스테르인 상기 <13>의 포지티브형 착색제함유 경화성 조성물이다.
<15>또한, 경화제를 함유하는 것을 특징으로 하는 상기 <14>의 포지티브형 착색제함유 경화성 조성물이다.
<16>상기 일반식(I)로 나타내어지는 화합물, 광산발생제, 경화제를 함유하는 것을 특징으로 하는 포지티브형 착색제함유 경화성 조성물이다.
<17>하기 일반식(I)로 나타내어지는 화합물을 함유하는 것을 특징으로 하는 컬러필터이다.
Figure 112005017482797-pat00003
〔식중, R1 및 R2는, 각각 독립적으로, 수소원자, 탄소수 1～21의 알킬기, 탄소수 2～21의 알케닐기, 탄소수 6～21의 아릴기, 탄소수 7～21의 아랄킬기를 나타내고, R1 및 R2는 이들과 결합하고 있는 질소원자와 함께 복소환을 형성하고 있어도 좋다. R3은, 할로겐 원자, 트리할로메틸기, 탄소수 1～21의 알콕시기, 니트로기, 아미노기를 나타낸다. n은 0～4의 정수를 나타낸다. R4는, 할로겐 원자, -SO3M기를 나타내고, M은 H나 금속원자의 양이온, 질소함유 화합물로 이루어지는 양이온을 나타낸다. m은 0～5의 정수를 나타낸다.〕
<18>상기 <1>～<16>의 착색제함유 경화성 조성물을 이용해서 이루어지는 것을 특징으로 하는 컬러필터이다.
<19>상기 <1>～<16>의 착색제함유 경화성 조성물을 지지체 상에 도포후, 마스크를 통해 노광하고, 현상해서 패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 컬러필터의 제조방법이다.
이 제조방법은, 필요에 따라 상기 패턴을 가열 및/또는 노광에 의해 경화하는 공정을 포함하고 있어도 좋고, 이들 공정을 복수회 반복하는 것이어도 좋다.
이하, 본 발명의 착색제함유 경화성 조성물, 컬러필터 및 그 제조방법에 대해서 상세하게 설명한다.
《착색제함유 경화성 조성물》
본 발명의 착색제함유 경화성 조성물(이하, 「본 발명의 조성물」이라고 하기도 한다)은 착색제를 함유해서 이루어지는 착색제함유 경화성 조성물로서, 상기 착색제가 하기 일반식(I)로 나타내어지는 화합물을 함유하는 것을 특징으로 한다.
Figure 112005017482797-pat00004
〔식중, R1 및 R2는, 각각 독립적으로, 수소원자, 탄소수 1～21의 알킬기, 탄소수 2～21의 알케닐기, 탄소수 6～21의 아릴기, 탄소수 7～21의 아랄킬기를 나타내고, R1 및 R2는 이들과 결합하고 있는 질소원자와 함께 복소환을 형성하고 있어도 좋다. R3은, 할로겐 원자, 트리할로메틸기, 탄소수 1～21의 알콕시기, 니트로기, 아미노기를 나타낸다. n은 0～4의 정수를 나타낸다. R4는, 할로겐 원자, -SO3M기를 나타내고, M은 H나 금속원자의 양이온, 질소함유 화합물로 이루어지는 양이온을 나타낸다. m은 0～5의 정수를 나타낸다.〕
본 발명의 조성물은, 상기 일반식(I)로 나타내어지는 화합물을 함유함으로써, 착색제의 내열성, 내광성, 몰흡광계수(색값)가 우수한 성능을 나타낼 수 있다.
또한 본 발명의 조성물은, 특히 색값을 향상시킴으로써, 염료의 첨가량을 저감시킬 수 있다. 이것에 의해, 다른 첨가물의 함유량을 증가시킬 수 있고, 레지스트의 여러 성능을 향상시킬 수 있다. 또한, 본 발명의 조성물에 의하면, 미노광부 현상성 및 노광부의 잔막율을 향상시킬 수 있기 때문에, 양호한 패턴형성성을 발휘할 수 있다. 또한 본 발명의 조성물은, 제조 프로세스에 있어서, 상기 여러 성능의 열화의 우려가 없으므로, 생산성이 높다.
본 발명의 조성물은, 적어도 착색제를 함유하고, 통상 용제와 함께 이용된다. 또한 필요에 따라, 바인더, 중합성 화합물, 광중합 개시제, 가교제, 감광제, 광산발생제 등을 함유하고 있어도 좋다.
구체적으로는, 본 발명의 조성물이 네가티브형의 조성물인 경우에는, 상기 착색제에 추가해서, 용제, 중합성 화합물(모노머), 바인더(바람직하게는 알칼리 가용성 바인더) 및 광중합 개시제를 함유하고, 또한 가교제를 함유해도 좋다.
또한 본 발명의 조성물이 포지티브형 조성물인 경우에는, 상기 착색제에 추가해서, 유기용제, 또는, 경화제, 감광제 또는 광산발생제를 함유한다.
<착색제>
본 발명의 조성물은, 착색제로서 상기 일반식(I)로 나타내어지는 화합물을 함유한다. 본 발명의 조성물은, 상기 일반식(I)로 나타내어지는 화합물을 2종류이상 함유해도 좋다. 이하, 본 발명에 있어서의 착색제(색소화합물)에 대해서 상세하게 설명한다.
상기 일반식(I)로 나타내어지는 화합물은, 종래에 없는, 높은 내광성과 높은 내열성을 동시에 만족하고, 또한, 필요하면 물 또는 용제에 자유롭게 용해할 수 있는 화합물이다.
상기 일반식(Ｉ)중, R1 및 R2는, 각각 독립적으로, 수소원자, 탄소수 1～21의 알킬기, 탄소수 2～21의 알케닐기, 탄소수 6～21의 아릴기, 탄소수 7～21의 아랄킬기를 나타낸다. 또한 R1 및 R2는, 이들과 결합하고 있는 질소원자와 함께 이루어지며, 복소환을 형성해도 좋다.
상기 일반식(Ｉ)중, R1 및 R2로 나타내어지는 탄소수 1～21의 알킬기는 치환기를 갖고 있어도 좋다. 또한 상기 탄소수 1～21의 알킬기는, 직쇄 또는 분기 또는 환형 알킬기이어도 좋다.
상기 알킬기로서는, 예를 들면 메틸기, 에틸기, n-프로필기, n-부틸기, n-아밀기, n-헥실기, n-헵틸기, n-옥틸기, n-노닐기, n-데실기, n-운데실기, n-도데실기, n-트리데실기, n-테트라데실기, n-펜타데실기, n-헥사데실기, n-헵타데실기, n-옥타데실기, n-노나데실기, n-에이코사닐기, i-프로필기, sec-부틸기, i-부틸기, t-부틸기, l-메틸부틸기, l-에틸프로필기, 2-메틸부틸기, i-아밀기, 네오펜틸기, 1,2-디메틸프로필기, 1,1-디메틸프로필기, t-아밀기, 1,3-디메틸부틸기, 3,3-디메틸부틸기, 2-에틸부틸기, 2-에틸-2-메틸프로필기, 직쇄 또는 분기의 헵틸기, 1-메틸헵틸기, 2-에틸헥실기, 1,5-디메틸헥실기, t-옥틸기, 분기된 노닐기, 분기된 데실기, 분기된 운데실기, 분기된 도데실기, 분기된 트리데실기, 분기된 테트라데실기, 분기된 펜타데실기, 분기된 헥사데실기, 분기된 헵타데실기, 분기된 옥타데실기, 직쇄 또는 분기의 노나데실기, 직쇄 또는 분기의 에이코사닐기, 시클로프로필기, 시클로프로필메틸기, 시클로부틸기, 시클로부틸메틸기, 시클로펜틸기, 시클로헥실기, 시클로헥실메틸기, 시클로헵틸기, 시클로옥틸기, 시클로헥실프로필기, 시클로도데실기, 노르보르닐기, 보르닐기, 시스-미르타닐기, 이소피노칸페닐기, 노르아다만틸기, 아다만틸기, 아다만틸메틸기, 1-(1-아다만틸)에틸기, 3,5-디메틸아다만틸기, 퀴누클리디닐기, 시클로펜틸에틸기, 비시클로옥틸기가 바람직하다.
그 중에서도, 메틸기, 에틸기, n-프로필기, n-부틸기, n-아밀기, n-헥실기, n-헵틸기, n-옥틸기, n-노닐기, n-데실기, n-운데실기, n-도데실기, n-트리데실기, n-테트라데실기, i-프로필기, sec-부틸기, i-부틸기, t-부틸기, l-메틸부틸기, l-에틸프로필기, 2-메틸부틸기, i-아밀기, 네오펜틸기, 1,2-디메틸프로필기, 1,1-디메틸프로필기, t-아밀기, 1,3-디메틸부틸기, 3,3-디메틸부틸기, 2-에틸부틸기, 2-에틸-2-메틸프로필기, 직쇄 또는 분기의 헵틸기, 1-메틸헵틸기, 2-에틸헥실기, 1,5-디메틸헥실기, t-옥틸기, 분기된 노닐기, 분기된 데실기, 분기된 운데실기, 분기된 도데실기, 분기된 트리데실기, 분기된 테트라데실기, 시클로프로필기, 시클로 프로필메틸기, 시클로부틸기, 시클로부틸메틸기, 시클로펜틸기, 시클로헥실기, 시클로헥실메틸기, 시클로헵틸기, 시클로옥틸기, 시클로헥실프로필기, 시클로도데실기, 노르보르닐기, 보르닐기, 시스-미르타닐기, 이소피노칸페닐기, 노르아다만틸기, 아다만틸기, 아다만틸메틸기, 1-(1-아다만틸)에틸기, 3,5-디메틸아다만틸기, 퀴누클리디닐기, 시클로펜틸에틸기, 비시클로옥틸기가 보다 바람직하고, 또한, 메틸기, 에틸기, n-프로필기, n-부틸기, n-아밀기, n-헥실기, n-헵틸기, n-옥틸기, n-노닐기, n-데실기, i-프로필기, sec-부틸기, i-부틸기, t-부틸기, 1-메틸부틸기, 1-에틸프로필기, 2-메틸부틸기, i-아밀기, 네오펜틸기, 1,2-디메틸프로필기, 1,1-디메틸프로필기, t-아밀기, 1,3-디메틸부틸기, 3,3-디메틸부틸기, 2-에틸부틸기, 2-에틸-2-메틸프로필기, 직쇄 또는 분기의 헵틸기, 1-메틸헵틸기, 2-에틸헥실기, 1,5-디메틸헥실기, t-옥틸기, 분기된 노닐기, 분기된 데실기, 시클로프로필기, 시클로프로필메틸기, 시클로부틸기, 시클로부틸메틸기, 시클로펜틸기, 시클로헥실기, 시클로헥실메틸기, 시클로헵틸기, 시클로옥틸기, 시클로헥실프로필기, 시클로도데실기, 노르보르닐기, 보르닐기, 노르아다만틸기, 아다만틸기, 아다만틸메틸기, 1-(1-아다만틸)에틸기, 3,5-디메틸아다만틸기, 시클로펜틸에틸기, 비시클로옥틸기가 특히 바람직하다.
또한 상기 알킬기 중, 내열성 향상을 위해서는, 에틸기, n-프로필기, n-부틸기, n-아밀기, n-헥실기, n-헵틸기, n-옥틸기, n-노닐기, n-데실기, i-프로필기, sec-부틸기, i-부틸기, t-부틸기, 1-메틸부틸기, 1-에틸프로필기, 2-메틸부틸기, i-아밀기, 네오펜틸기, 1,2-디메틸프로필기, 1,1-디메틸프로필기, t-아밀기, 1,3- 디메틸부틸기, 3,3-디메틸부틸기, 2-에틸부틸기, 2-에틸-2-메틸프로필기, 분기된 헵틸기, 1-메틸헵틸기, 1,5-디메틸헥실기, t-옥틸기, 분기된 노닐기, 분기된 데실기, 시클로프로필기, 시클로프로필메틸기, 시클로부틸기, 시클로부틸메틸기, 시클로펜틸기, 시클로헥실기, 시클로헥실메틸기, 시클로헵틸기, 시클로옥틸기, 시클로헥실프로필기, 시클로도데실기, 노르보르닐기, 보르닐기, 노르아다만틸기, 아다만틸기, 아다만틸메틸기, 1-(1-아다만틸)에틸기, 3,5-디메틸아다만틸기, 시클로펜틸에틸기, 비시클로옥틸기 등의 분기된 알킬기나 환형 알킬기가 특히 바람직하다.
일반식(Ｉ)중, R1 및 R2로 나타내어지는 알킬기로서는, 특히 불소로 치환된 알킬기를 이용할 수도 있고, 상기 알킬기로서는, 트리플루오로메틸기, 트리플루오로에틸기, 펜타플루오로에틸기, 헵타플루오로프로필기, 노나플루오로부틸기, 트리데카플루오로헥실기, 펜타데카플루오로헵틸기, 헵타데카플루오로옥틸기, 트리데카플루오로옥틸기, 노나데카플루오로노닐기, 헵타데카플루오로데실기, 퍼플루오로데실기가 바람직하고, 그 중에서도, 트리플루오로메틸기, 펜타플루오로에틸기, 헵타플루오로프로필기, 노나플루오로부틸기, 트리데카플루오로헥실기, 펜타데카플루오로헵틸기가 보다 바람직하고, 또한, 트리플루오로메틸기, 펜타플루오로에틸기, 헵타플루오로프로필기, 노나플루오로부틸기, 트리데카플루오로헥실기가 특히 바람직하다.
일반식(Ｉ)중, R1 및 R2로 나타내어지는 탄소수 2～21의 알케닐기는 치환기를 갖고 있어도 좋다. R1 및 R2로 나타내어지는 탄소수 2～21의 알케닐기로서는, 예 를 들면 비닐기, 이소프로페닐기, 2-프로페닐기, 2-메틸-프로페닐기, 1-메틸-1-프로페닐기, 1-부테닐기, 3-부테닐기, 1-메틸-1-부테닐기, 1,1-디메틸-3-부테닐기, 1-펜테닐기, 2-펜테닐기, 1-에틸-1-펜테닐기, 1-헥세닐기, 1-헵테닐기, 2,6-디메틸-5-헵테닐기, 9-데세닐기, 1-시클로펜테닐기, 2-시클로펜테닐메틸기, 시클로헥세닐기, 1-메틸-2-시클로헥세닐기, 1,4-디히드로-2-메틸페닐기, 옥테닐기, 시트로네릴기, 올레일기, 게라닐기, 파네실기, 2-(1-시클로헥세닐)에틸기가 바람직하고, 이 중에서도, 비닐기, 이소프로페닐기, 2-프로페닐기, 2-메틸-프로페닐기, 1-메틸-1-프로페닐기, 1-부테닐기, 3-부테닐기, 1-메틸-1-부테닐기, 1,1-디메틸-3-부테닐기, 1-펜테닐기, 2-펜테닐기, 1-에틸-1-펜테닐기, 1-헥세닐기, 1-헵테닐기, 1-시클로펜테닐기, 2-시클로펜테닐메틸기, 시클로헥세닐기, 1-메틸-2-시클로헥세닐기, 1,4-디히드로-2-메틸페닐기가 보다 바람직하고, 또한 비닐기, 이소프로페닐기, 2-프로페닐기, 2-메틸-프로페닐기, 1-메틸-1-프로페닐기, 1-부테닐기, 3-부테닐기, 1-메틸-1-부테닐기, 1,1-디메틸-3-부테닐기, 1-펜테닐기, 2-펜테닐기, 1-에틸-1-펜테닐기, 1-헥세닐기, 1-시클로펜테닐기, 2-시클로펜테닐메틸기, 시클로헥세닐기, 1-메틸-2-시클로헥세닐기, 1,4-디히드로-2-메틸페닐기가 특히 바람직하다.
R1 및 R2로 나타내어지는 탄소수 6～21의 아릴기는, 치환기를 갖고 있어도 좋다.
치환기를 갖고 있어도 좋은 탄소수 6～21의 아릴기로서는, 예를 들면 페닐기, 나프틸기, 비페닐레닐기, 아세나프테닐기, 플루오레닐기, 안트라세닐기, 안트 라퀴노닐기, 피레닐기 등이 바람직하고, 이 중에서도, 페닐기, 나프틸기, 비페닐레닐기, 아세나프테닐기, 플루오레닐기, 안트라세닐기 등이 더욱 바람직하고, 또한, 페닐기, 나프틸기, 비페닐레닐기, 플루오레닐기 등이 특히 바람직하다.
R1 및 R2로 나타내어지는 탄소수 7～21의 아랄킬기는, 치환기를 갖고 있어도 좋다.
치환기를 갖고 있어도 좋은 탄소수 7～21의 아랄킬기로서는, 예를 들면 벤질기, 디페닐메틸기, 1,2-디페닐에틸기, 페닐-시클로펜틸메틸기, α-메틸벤질기, 페닐에틸기, α-메틸-페닐에틸기, β-메틸-페닐에틸기, 3-페닐프로필기, 3,3-디페닐프로필기, 4-페닐부틸기, 나프틸메틸기, 스티릴기, 신나밀기, 플루오레닐기, 1-벤조시클로부테닐기, 1,2,3,4-테트라히드로나프틸기, 인다닐기, 피페로닐기, 피렌메틸기가 바람직하고, 이 중에서도, 벤질기, 페닐-시클로펜틸메틸기, α-메틸벤질기, 페닐에틸기, α-메틸-페닐에틸기, β-메틸-페닐에틸기, 3-페닐프로필기, 4-페닐부틸기, 스티릴기, 신나밀기, 플루오레닐기, 1-벤조시클로부테닐기, 1,2,3,4-테트라히드로나프틸기가 보다 바람직하고, 또한, 벤질기, α-메틸벤질기, 페닐에틸기, α-메틸-페닐에틸기, β-메틸-페닐에틸기, 3-페닐프로필기, 스티릴기, 신나밀기, 플루오레닐기, 1-벤조시클로부테닐기, 1,2,3,4-테트라히드로나프틸기가 특히 바람직하다.
R1 및 R2가, 이들과 결합하고 있는 질소원자와 함께 형성하는 복소환의 예로서는, 예를 들면 2-메틸아지리딘환, 아제티딘환, 피롤리딘환, 3-피롤린환, 피페리딘환, 1,2,3,6-테트라히드로피리딘환, 헥사메틸렌이민환, 피페라진환, 1,3,3-트리메틸-6-아자비시클로[3.2.1]옥탄환, 데카히드로퀴놀린환, 옥사졸리딘환, 모르폴린환, 티아졸리딘환, 티오모르폴린환, 인돌린환, 이소인돌린환, 1,2,3,4-테트라히드로카르바졸환, 1,2,3,4-테트라히드로퀴놀린환, 1,2,3,4-테트라히드로이소퀴놀린환, 이미노디벤질환, 페녹사진환, 페노티아진환, 페나진환 등이 바람직하고, 이 중에서도, 피롤리딘환, 3-피롤린환, 피페리딘환, 1,2,3,6-테트라히드로피리딘환, 헥사메틸렌이민환, 피페라진환, 데카히드로퀴놀린환, 옥사졸리딘환, 모르폴린환, 티아졸리딘환, 티오모르폴린환 등이 보다 바람직하고, 또한, 피롤리딘환, 3-피롤린환, 피페리딘환, 1,2,3,6-테트라히드로피리딘환, 피페라진환, 데카히드로퀴놀린환, 옥사졸리딘환, 모르폴린환, 티아졸리딘환, 티오모르폴린환 등이 특히 바람직하다.
R1 및 R2로 나타내어지는 기는, 에테르기를 함유하고 있어도 좋고, 테트라히드로푸르푸릴기, 테트라히드로피라닐메틸기, 2,5-디히드로-2,5-디메톡시푸르푸릴기 등도 바람직하다.
일반식(Ｉ)중, R1 및 R2로 나타내어지는 알킬기, 알케닐기, 아릴기, 아랄킬기, 및, R1 및 R2가 이들과 결합하고 있는 질소원자와 함께 형성하는 복소환의 치환기로서는, 예를 들면 아실기, 아세틸기, 아실아미노기, 아실아미노카르보닐아미노기, 아랄킬아미노카르보닐아미노기, 아릴아미노카르보닐아미노기, 메타크릴로일아미노카르보닐아미노기, 트리플루오로메틸기, 플루오로기, 클로로기, 브로모기, 요오드기, 히드록시기, 니트로기, 메틸기, 에틸기, n-프로필기, i-프로필기, n-부틸 기, i-부틸기, sec-부틸기, t-부틸기, 펜틸기, 헥실기, 헵틸기, 옥틸기, 비닐기, 메톡시기, 에톡시기, 부톡시기, 이소프로폭시기, t-부톡시기, 시클로헥실옥시기, 비닐옥시기, 메틸티오기, 에틸티오기, 피롤리디닐기, 피페리디닐기, 아미노기, 디메틸아미노기, 디에틸아미노기, 페닐기 등이 바람직하고, 이 중에서도, 아실기, 아세틸기, 아실아미노기, 트리플루오로메틸기, 플루오로기, 클로로기, 브로모기, 히드록시기, 니트로기, 메틸기, 에틸기, n-프로필기, i-프로필기, n-부틸기, i-부틸기, sec-부틸기, t-부틸기, 펜틸기, 헥실기, 비닐기, 메톡시기, 에톡시기, 부톡시기, 이소프로폭시기, t-부톡시기, 시클로헥실옥시기, 비닐옥시기, 메틸티오기, 에틸티오기, 피롤리디닐기, 피페리디닐기, 아미노기, 디메틸아미노기, 디에틸아미노기, 페닐기 등이 보다 바람직하고, 또한, 아실기, 아세틸기, 아실아미노기, 트리플루오로메틸기, 플루오로기, 클로로기, 브로모기, 히드록시기, 니트로기, 메틸기, 에틸기, n-프로필기, i-프로필기, n-부틸기, i-부틸기, t-부틸기, 헥실기, 비닐기, 메톡시기, 에톡시기, 이소프로폭시기, 시클로헥실옥시기, 비닐옥시기, 메틸티오기, 에틸티오기, 피롤리디닐기, 피페리디닐기, 아미노기, 디메틸아미노기, 디에틸아미노기, 페닐기 등이 특히 바람직하다.
또한 이들의 치환기는 또한 같은 치환기로 치환되어 있어도 좋다.
또한 특히 R1 및 R2, 및, 상기 복소환의 치환기가 히드록시기, 아미노기 등의 활성 수소를 갖는 기인 경우에는, 각종 산클로라이드, 산무수물, 할로겐화물 또는 각종 이소시아네이트와 반응시켜, 아세틸기, 아실기, (메타)아크릴로일기, 알킬 아미노카르보닐기, 아릴아미노카르보닐기(예를 들면 부틸아미노카르보닐기, 페닐아미노카르보닐기 등), 알킬기, 아랄킬기 등의 기로 치환되도록 해도 좋다.
또한 R1 및 R2로 나타내어지는 알킬기, 알케닐기, 아릴기, 아랄킬기, 및, 상기 복소환은, 또한 R1 및 R2로 나타내어지는 기로 치환되어 있어도 좋다.
색값의 관점에서는, R1 및 R2로 나타내어지는 기의 총분자량(R1의 분자량과 R2의 분자량을 합한 분자량)은, 500이하가 바람직하고, 400이하가 더욱 바람직하고, 300이하가 특히 바람직하다.
상기 R1 및 R2의 치환기의 수는 0～4가 바람직하고, 0～3이 보다 바람직하고, 0～2가 특히 바람직하다.
상기 R3으로서는, 할로겐 원자, 트리할로메틸기, 탄소수 1～21의 알콕시기, 니트로기, 아미노기를 나타낸다. 상기 아미노기는, 치환기를 갖고 있어도 좋다. n은 0～4의 정수를 나타낸다.
상기 R3으로서는, 불소원자, 염소원자, 취소원자, 트리플루오로메틸기, 탄소수 1～15의 알콕시기, 니트로기, 치환기를 갖고 있어도 좋은 아미노기가 바람직하고, 그 중에서도, 불소원자, 염소원자, 트리플루오로메틸기, 탄소수 1～10의 알콕시기, 니트로기, 치환기를 갖고 있어도 좋은 아미노기가 더욱 바람직하고, 염소원자, 트리플루오로메틸기, 탄소수 1～7의 알콕시기, 니트로기, 치환기를 갖고 있어 도 좋은 아미노기가 특히 바람직하다.
R3으로 나타내어지는 탄소수 1～21의 알콕시기의 바람직한 예로서는, 상술한 R1 또는 R2로 나타내어지는 알킬기의 바람직한 예로 든 알킬기를 알킬부위로 하는 알킬옥시기를 들 수 있다.
R3으로 나타내어지는 치환기를 갖고 있어도 좋은 아미노기의 치환기의 예로서는, 상술한 R1 또는 R2로 나타내어지는 기의 치환기로서 든 기를 들 수 있고, 바람직한 형태도 마찬가지이다.
상기 n으로서는, 0～3이 바람직하고, 0～2가 보다 바람직하고, 0～1이 특히 바람직하다.
상기 R4는, 할로겐 원자, -SO3M기를 나타낸다. R4 중에서도, 불소원자, 염소원자, 취소원자, -SO3M기가 바람직하고, 불소원자, 염소원자, -SO3M기가 보다 바람직하고, 염소원자, -SO3M기가 특히 바람직하다.
상기 M은, 금속원자의 양이온, 질소함유 화합물로 이루어지는 양이온을 나타낸다. 상기 M 중에서도, 구체적으로는, H나 금속원자의 양이온(Ｌｉ, Ｎａ, K, Rｂ, Ｃｓ, Ａｇ, Ｍｇ, Ｃａ, Ｓｒ, Ｂａ, Ｚｎ, Ａｌ, Ｎｉ, Ｃｕ, Ｃｏ, 혹은 Ｆｅ의 양이온), 또는, 질소함유 화합물로 이루어지는 양이온이 바람직하고, H, Ｎａ, K, Rｂ, Ｃｓ, Ａｇ, Ｍｇ, Ｃａ, Ｓｒ, Ｂａ, Ｚｎ, Ａｌ, Ｃｕ, 혹은 Ｆｅ의 양이온,또는, 질소함유 화합물로 이루어지는 양이온이 보다 바람직하고, H, Ｎａ, K, Ｍｇ, Ｃａ, Ｂａ, Ｓｒ, Ｚｎ, Ａｌ, Ｃｕ, 혹은 Ｆｅ의 양이온, 또는, 질소함유 화합물로 이루어지는 양이온이 특히 바람직하다.
m으로서는, 0～4의 정수가 바람직하고, 0～3의 정수가 특히 바람직하다.
상기 M으로 나타내어지는 질소함유 화합물로 이루어지는 양이온은, 유기용제나 물에 대한 용해성, 염형성성, 염료의 흡광도?색값, 착색제로서의 내열성 및 내광성 등의 전체를 고려해서 선택된다. 또한 흡광도?색값의 관점에서만 선택하면, 상기 질소함유 화합물은 가능한 한 분자량이 낮은 것이 바람직하다. 구체적으로는, 분자량 300이하인 것이 바람직하고, 분자량 280이하인 것이 보다 바람직하고, 분자량 250이하인 것이 특히 바람직하다.
이하에 상기 질소함유 화합물로 이루어지는 양이온의 구체예를 들지만, 이들에 한정되는 것은 아니다. 또한 양이온의 형태로서는, 하기의 질소함유 화합물이 프로토네이션(protonation)되어, 양이온으로 된 상태를 나타낸다.
Figure 112005017482797-pat00005
Figure 112005017482797-pat00006
상기 일반식(I)로 나타내어지는 화합물은, 또한, 내광성, 내열성, 물 또는 용매에 대한 용해성, 몰흡광계수, 합성의 용이성 등의 관점에서, 하기 일반식(II), (III), (IV)로 나타내어지는 구조가 바람직하다.
Figure 112005017482797-pat00007
상기 일반식(II), (III), (IV)중, R1, R2, R3, n, R4,m은 일반식(I)와 동일한 의미를 나타내며, 바람직한 범위도 상술한 범위와 동일하다. 일반식(IV)중, p는, 0～3의 정수를 나타낸다.
이하에, 상기 일반식(I)로 나타내어지는 화합물의 구체예(예시 화합물(1)～(30))를 들지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니다.
Figure 112005017482797-pat00008
Figure 112005017482797-pat00009
Figure 112005017482797-pat00010
상기 일반식(I)로 나타내어지는 착색제는, 동종의 일반식(I)로 나타내어지는 화합물과 병용해도 좋고, 다른 착색제, 다른 착색제와 금속이나 질소함유 화합물과의 염, 착체, 다른 착색제의 유도체 등과 동시에 사용해도 좋다.
상기외의 착색제로서는, COLOUR INDEX(SOCIETY OF DYES AND COLORISTS)나, 염색노트(이로소메사 발행)에 기재되어 있는 공지의, 직접염료, 산성염료, 매염?산성 매염염료, 염기성 염료, 건염염료, 황화염료, 아조익염료, 분산염료, 반응염료, 형광증백색제, 그 밖의 염료, 피그먼트 레진 컬러, 및 안료 등을 들 수 있다.
이들 착색제로서는, 예를 들면
시?아이?솔벤트?블루25(Ｃ．Ｉ．Ｓｏｌｖｅｎｔ Ｂｌｕｅ 25),
시?아이?솔벤트?블루55(Ｃ．Ｉ．Ｓｏｌｖｅｎｔ Ｂｌｕｅ 55),
시?아이?솔벤트?블루67(Ｃ．Ｉ．Ｓｏｌｖｅｎｔ Ｂｌｕｅ 67),
시?아이?솔벤트?블루38(Ｃ．Ｉ．Ｓｏｌｖｅｎｔ Ｂｌｕｅ 38),
시?아이?솔벤트?옐로82(Ｃ．Ｉ．Ｓｏｌｖｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ82),
시?아이?솔벤트?옐로162(Ｃ．Ｉ．Ｓｏｌｖｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ 162),
시?아이?솔벤트?오렌지56(Ｃ．Ｉ．Ｓｏｌｖｅｎｔ Ｏｒａｎｇｅ 56),
시?아이?애시드?바이올렛17(Ｃ．Ｉ．Ａｃｉｄ Ｖｉｏｌｅｔ 17),
시?아이?애시드?바이올렛49(Ｃ．Ｉ．Ａｃｉｄ Ｖｉｏｌｅｔ 49),
시?아이?다이렉트?블루86(Ｃ．Ｉ．Ｄｉｒｅｃｔ Ｂｌｕｅ 86)
등을 들 수 있고, 이들은 각각 단독 또는 2종이상을 혼합해서 사용해도 좋다.
～산성염료～
상기 산성염료에 대해서 설명한다. 상기 산성염료는, 술폰산이나 카르복실산 등의 산성기를 갖는 것이면 특별히 한정되지 않지만, 유기용제나 현상액에 대한 용해성, 염형성성, 흡광도, 경화성 조성물중의 다른 성분과의 상호작용, 내광성, 내 열성 등이 필요로 되는 성능 전체를 감안해서 선택된다.
이하에 상기 산성염료의 구체예를 들지만, 이들은 한정되는 것은 아니다. 예를 들면
acid alizarin violet N;
acid black 1, 2, 24, 48;
acid blue 1, 7, 9, 15, 18, 23, 25, 27, 29, 40, 45, 62, 70, 74, 80, 83, 86, 87, 90, 92, 103, 108, 112, 113, 120, 129, 138, 147, 158, 171, 182, 192, 249;
acid chrome violet K;
acid Fuchsin;
acid green 1, 3, 5, 9, 16, 25, 27, 50;
acid orange 6, 7, 8, 10, 12, 50, 51, 52, 56, 63, 74, 95;
acid red 1, 4, 8, 14, 17, 18, 26, 27, 31, 34, 35, 37, 42, 44, 50, 51, 52, 57, 66, 73, 80, 87, 88, 91, 92, 94, 97, 103, 111, 114, 129, 133, 134, 138, 143, 145, 150, 151, 158, 176, 183, 198, 211, 215, 216, 217, 249, 252, 257, 260, 266, 274;
acid violet 6B, 7, 9, 17, 19;
acid yellow 1, 3, 7, 9, 11, 17, 23, 25, 29, 34, 36, 40, 42, 54, 65, 72, 73, 76, 79, 98, 99; 111, 112, 114, 116, 169, 243;
Food Yellow 3; 및 이들 염료의 유도체를 들 수 있다.
이 중에서도 상기 산성염료로서는,
acid black 24;
acid blue 7, 23, 25, 29, 62, 83, 86, 87, 90, 92, 108, 138, 158, 249;
acid green 3, 5, 9, 16, 25, 27, 50;
acid orange 8, 51, 56, 74, 63, 74;
acid red 1, 4, 8, 34, 37, 42, 52, 80, 97, 114, 143, 145, 151, 183, 217;
acid violet 7;
acid Yellow 17, 23, 25, 29, 34, 40, 42, 72, 76, 99, 111, 112, 114, 116, 163, 243 등의 염료 및 이들 염료의 유도체가 바람직하다.
또한 상기 이외의, 아조계, 크산텐계, 프탈로시아닌계의 산성염료도 바람직하고, 예를 들면 C. I. Solvent Blue 44, 38; C. I. Solvent Orange 45, Rhodamine B; Rhodamine 110; 3-[5-(chloro-2-phenoxyphenly)hydrazono]-3,4-dihydro-4-oxo-5-[(phenylsulfonyl)amino]-2,7-Naphthalenedisulfonic acid 등의 산성염료 및 이들 염료의 유도체도 바람직하게 사용된다.
상기 산성염료의 유도체로서는, 산성염료의 술폰산을 술폰산 아미드, 술폰산 에스테르로 변환된 화합물 등을 유효하게 이용할 수 있다.
～산성염료와 염을 형성하는 원자단에 대해서～
상기 산성염료와 염을 형성하는 원자단에 대해서는, 상기 산성염료의 음이온과 염을 형성하는 양이온성의 것이라면 한정은 없다. 이러한 원자단으로서는, 예를 들면 H, Ｌｉ, Ｎａ, K, Rｂ, Ｃｓ, Ａｇ, Ｍｇ, Ｃａ, Ｓｒ, Ｂａ, Ｚｎ, Ａｌ, Ｎｉ, Ｃｕ, Ｃｏ, Ｆｅ, 또는 질소함유 화합물로 이루어지는 양이온 등을 들 수 있다.
상기 산성염료와 쌍염을 형성하는 질소함유 화합물에 대해서 설명한다. 본 발명에 있어서, 산성염료와 염을 형성하는 질소함유 화합물은, 유기용제나 현상액 에 대한 용해성, 염형성성, 염료의 흡광도, 경화성 조성물중의 다른 성분과의 상호작용 등 전체를 고려해서 선택된다. 흡광도의 관점에서만 선택하면, 가능한한 분자량이 낮은 것이 바람직하고, 그 중에서, 분자량 245이하인 것이 바람직하고, 분자량 240이하인 것이 더욱 바람직하고, 분자량 230이하인 것이 특히 바람직하다.
또한 염료의 광퇴색방지, 내열성 향상을 위해서, 일반적으로 퇴색방지제로서 알려져 있는 질소함유 화합물을 사용해도 좋고, 이 관점에서는 산화전위가 보다 낮은(이온화 포텐셜이 보다 작은) 화합물, 3급 아민 화합물, 지방족 환형 아민 화합물, 아닐린계 화합물, 히드라존계 화합물 등이 바람직하다.
질소함유 화합물의 바람직한 구체예로서는, 상기 일반식(I)의 R4의 설명에서 -SO3M의 M으로서 예로 든 것과 같다.
～(일반식(I)의 화합물(또는 산성염료)와 염을 형성하는 원자단)/(일반식(I)의 화합물(또는 산성염료))의 몰비(L)에 대해서～
일반식(I)의 화합물(또는 산성염료)와 염을 형성하는 원자단/(일반식(I)의 화합물(또는 산성염료)의 몰비(이하, 「L」이라고 하는 경우가 있다.)에 관하여 설 명한다. 상기 L은 산성염료분자와 쌍이온인 원자단과의 몰비율을 결정하는 값이며, 산성염료 원자단의 염형성 조건에 의해 자유롭게 선택할 수 있다. 구체적으로는, 산성염료중의 산의 관능기수가 0＜L≤10의 사이의 수치이며, 유기용제나 현상액에 대한 용해성, 염형성성, 흡광도, 경화성 조성물중의 다른 성분과의 상호작용, 내광성, 내열성 등 필요로 하는 성능의 우선순위 모두를 감안해서 선택된다. 흡광도만의 관점에서 선택하면, 상기 L은 0＜L≤7의 사이의 수치를 취하는 것이 바람직하고, 0＜L≤6 사이의 수치를 취하는 것이 더욱 바람직하고, 0＜L≤5의 사이의 수치를 취하는 것이 특히 바람직하다.
～사용 농도～
다음에 일반식(I)로 나타내어지는 화합물(산성염료 등의 다른 염료를 병용하는 경우는 다른 염료를 포함한다)의 사용농도에 관하여 설명한다. 본 발명의 착색제함유 경화성 조성물중의 전고형성분중에 있어서의 일반식(I)의 화합물(상기 산성염료를 병용하는 경우에는 산성염료를 포함한다)의 농도는, 염료의 종류에 따라 다르지만, 경화성, 현상성, 패턴형상, 및 혼색 등의 관점으로부터, 0.5～80질량%가 바람직하고, 0.5～60질량%가 보다 바람직하고, 0.5～50질량%가 특히 바람직하다.
<바인더>
본 발명에 사용하는 바인더는 알칼리 가용성이면, 특별히 한정되지 않지만, 내열성, 현상성, 입수성 등의 관점으로부터 선택되는 것이 바람직하다.
알칼리 가용성의 바인더로서는, 선상 유기고분자 중합체이며, 유기용제에 가용이며, 약알칼리 수용액으로 현상할 수 있는 것이 바람직하다. 이러한 선상 유기 고분자 중합체로서는, 측쇄에 카르복실산을 갖는 폴리머, 예를 들면 일본 특허공개 소 59-44615호, 일본 특허공고 소 54-34327호, 일본 특허공고 소 58-12577호, 일본 특허공고 소 54-25957호, 일본 특허공개 소 59-53836호, 일본 특허공개 소 59-71048호 명세서에 기재되어 있는 메타크릴산 공중합체, 아크릴산 공중합체, 이타콘산 공중합체, 크로톤산 공중합체, 말레인산 공중합체, 부분 에스테르화 말레인산 공중합체 등이 있고, 또 마찬가지로 측쇄에 카르복실산을 갖는 산성 셀룰로오스 유도체가 유용하다. 이 외에 수산기를 갖는 폴리머에 산무수물을 부가시킨 것 등이나 폴리히드록시스티렌계 수지, 폴리실록산계 수지, 폴리(2-히드록시에틸(메타)아크릴레이트), 폴리비닐피롤리돈이나 폴리에틸렌옥사이드, 폴리비닐알콜 등도 유용하다.
또한 상기 알칼리 가용성의 바인더는, 친수성을 갖는 모노머를 공중합한 것이어도 좋고, 이 예로서는, 알콕시알킬(메타)아크릴레이트, 히드록시알킬(메타)아크릴레이트, 글리세롤(메타)아크릴레이트, (메타)아크릴아미드, N-메티롤아크릴아미드, 2급 및 3급의 알킬아크릴아미드, 디알킬아미노알킬(메타)아크릴레이트, 모르폴린(메타)아크릴레이트, N-비닐피롤리돈, N-비닐카프로락탐, 비닐이미다졸, 비닐트리아졸, 메틸(메타)아크릴레이트, 에틸(메타)아크릴레이트, 분기 또는 직쇄의 프로필(메타)아크릴레이트, 분기 또는 직쇄의 부틸(메타)아크릴레이트, 페녹시히드록시프로필(메타)아크릴레이트 등을 들 수 있다.
그 외에 친수성을 갖는 모노머로서는, 테트라히드로푸르푸릴기, 인산, 인산 에스테르, 4급 암모늄염, 에틸렌옥시쇄, 프로필렌옥시쇄, 술폰산 및 그 염, 모르폴린에틸기 등을 함유한 모노머 등도 유용하다.
또 가교효율을 향상시키기 위해서, 중합성기를 측쇄에 가져도 좋고, 알릴기, (메타)아크릴기, 알릴옥시알킬기 등을 측쇄에 함유한 폴리머 등도 유용하다. 이들 중합성기를 함유하는 폴리머의 예를 이하에 나타내지만, COOH기, OH기, 암모늄기 등의 알칼리 가용성기와 탄소-탄소 불포화 결합이 함유되어 있으면 이들에 한정되지 않는다.
OH기를 갖는 예를 들면 2-히드록시에틸아크릴레이트와, COOH기를 함유하는 예를 들면 메타크릴산과, 및 이들과 공중합 가능한 아크릴계 또는 비닐계 화합물 등의 모노머와의 공중합체에, OH기와 반응성을 갖는 에폭시환과 탄소-탄소 불포화 결합기를 갖는 화합물, 예를 들면 글리시딜아크릴레이트와 같은 화합물을 반응시켜서 얻어지는 화합물 등을 사용할 수 있다. OH기와의 반응에서는 에폭시환 이외에 산무수물, 이소시아네이트기 및 아크릴로일기를 갖는 화합물도 사용할 수 있다. 또 일본 특허공개 평 6-102669호, 일본 특허공개 평 6-1938호에 개시되는 에폭시환을 갖는 화합물에 아크릴산과 같은 불포화 카르복실산을 반응시켜서 얻어지는 화합물에, 포화 또는 불포화 다염기산 무수물을 반응시켜서 얻어지는 반응물도 사용할 수 있다.
COOH기와 같은 알칼리 가용화기와 탄소-탄소 불포화기를 아울러 갖는 화합물로서 예를 들면 다이야날 NR시리즈(trade name, manufactured by Mitsubishi Rayon Co., Ltd.), COOH기 함유 Polyurethane acrylic oligomer(trade name: PHOTOMER 6173, manufactured by Diamond Shamrock Co., Ltd.), 비스코트 R-264, KS 레지스트106(both trade names, manufactured by Osaka Organic Chemical Industry Ltd.), 사이클로머 P시리즈, 프락셀 CF200시리즈(both trade names, manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.), EBECRYL 3800(trade name, manufactured by Daicel-UCB Company Ltd.) 등을 들 수 있다.
이들 각종 바인더 중에서, 본 발명에 이용하는 알칼리 가용성 바인더로서는, 내열성의 관점으로부터, 폴리히드록시스티렌계 수지, 폴리실록산계 수지, (메타) 아크릴계 수지, 아크릴아미드계 수지, 아크릴/아크릴아미드 공중합체수지가 바람직하고, (메타)아크릴계 수지, 폴리히드록시스티렌계 수지, 폴리실록산계 수지가 더욱 바람직하다. 또한 현상성 제어의 관점에서 (메타)아크릴계 수지, 아크릴아미드계 수지, 아크릴/아크릴아미드 공중합체수지가 바람직하다. 상기 (메타)아크릴계 수지로서는 벤질(메타)아크릴레이트, (메타)아크릴산, 히드록시에틸(메타)아크릴레이트, (메타)아크릴아미드 등으로부터 선택되는 모노머로 이루어지는 공중합체, 중합성 측쇄를 갖는 (메타)아크릴계 수지, 예를 들면 사이클로머 P시리즈, 프락셀 ＣＦ200시리즈(모두 다이셀카가쿠 고교(주)제), Ｅｂｅｃｒｙｌ3800(다이셀 유시비(주)제), 다이야날 NR시리즈(미쓰비시레이온(주)제), 비스 코트 R264, ＫＳ레지스트106(모두 오사카 유키카가쿠 고교(주)제) 등이 바람직하다.
또한 경화피막의 강도를 높이기 위해서 알콜 가용성 나일론이나, 2,2-비스-(4-히드록시페닐)-프로판과 에피클로로히드린과의 폴리에테르 등도 유용하다.
또한 본 발명에 이용하는 바인더로서는, 알칼리 가용성 페놀수지를 이용할 수 있다. 상기 알칼리 가용성 페놀수지는, 본 발명의 조성물을 포지티브형의 조성물로 하는 경우에 바람직하게 이용할 수 있다. 알칼리 가용성 페놀수지로서는, 예 를 들면 노볼락 수지 또는 비닐 중합체 등을 들 수 있다.
상기 노볼락 수지로서는, 예를 들면 페놀류와 알데히드류를 산촉매의 존재하에 축합시켜서 얻어지는 것을 들 수 있다. 상기 페놀류로서는, 예를 들면 페놀, 크레졸, 에틸페놀, 부틸페놀, 크실레놀, 페닐페놀, 카테콜, 레졸시놀, 피로갈롤, 나프톨 또는 비스페놀A 등을 들 수 있다. 상기 페놀류는 단독 또는 2종이상을 조합해서 사용할 수 있다. 상기 알데히드류로서는, 예를 들면 포름알데히드, 파라포름알데히드, 아세트알데히드, 프로피온알데히드 또는 벤즈알데히드 등을 들 수 있다.
상기 노볼락 수지의 구체예로서는, 예를 들면 메타크레졸, 파라크레졸 또는 이들의 혼합물과 포르말린과의 축합생성물을 들 수 있다. 상기 노볼락 수지는 분별 등의 수단을 이용하여 분자량 분포를 조절해도 좋다. 또한 비스페놀C나 비스페놀A 등의 페놀성 수산기를 갖는 저분자량 성분을 상기 노볼락 수지에 혼합해도 좋다.
상기 바인더는, 현상성, 액점도 등의 관점으로부터, 중량 평균분자량(ＧＰＣ법으로 측정된 폴리스티렌 환산값)이 1000～2×105의 중합체가 바람직하고, 2000～1×105의 중합체가 더욱 바람직하고, 3000～5×104의 중합체가 특히 바람직하다.
상기 바인더의 본 발명의 조성물중의 사용량은, 현상성 등의 관점으로부터, 본 발명의 조성물중의 전고형분에 대하여 10～90질량%가 바람직하고, 20～80질량%가 더욱 바람직하고, 30～70질량%가 특히 바람직하다.
(가교제)
다음에 가교제에 관하여 설명한다. 본 발명은 상기 일반식(I)로 나타내어지 는 화합물(염료)을 사용하고, 종래에 비교해서 막의 경화반응을 보다 고도로 진행시켜, 경화성이 양호한 막이 얻어지는 것이 발명의 주지이지만, 보충적으로, 가교제를 이용하여 더욱 고도로 경화시킨 막을 얻는 것도 가능하다. 본 발명에 사용하는 가교제는, 가교반응에 의해 막경화를 행할 수 있는 것이면 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면 (a)에폭시수지, (b)메티롤기, 알콕시메틸기 및 아실옥시메틸기로부터 선택된 적어도 1개의 치환기로 치환된 멜라민 화합물, 구아나민 화합물, 글리콜우릴 화합물 또는 우레아 화합물, (c)메티롤기, 알콕시메틸기 및 아실옥시메틸기에서 선택된 적어도 1개의 치환기로 치환된 페놀 화합물, 나프톨 화합물 또는 히드록시안트라센 화합물을 들 수 있고, 특히 다관능 에폭시수지가 바람직하다.
(a)성분의 에폭시수지로서는, 에폭시기를 갖고, 또한 가교성을 갖는 것이면 특별히 한정없이 사용할 수 있다. 이들 화합물의 예로서는, 비스페놀-A-디글리시딜에테르, 에틸렌글리콜디글리시딜에테르, 부탄디올디글리시딜에테르, 헥산디올디글리시딜에테르, 디히드록시비페닐디글리시딜에테르, 프탈산디글리시딜에스테르, N,N-디글리시딜아닐린 등의 2가의 글리시딜기함유 저분자화합물, 마찬가지로, 트리메티롤프로판트리글리시딜에테르, 트리메티롤페놀트리글리시딜에테르, ＴｒｉｓＰ-ＰＡ트리글리시딜에테르 등으로 대표되는 3가의 글리시딜기함유 저분자화합물, 마찬가지로, 펜타에리스리톨테트라글리시딜에테르, 테트라메티롤비스페놀-A-테트라글리시딜에테르 등으로 대표되는 4가의 글리시딜기함유 저분자화합물, 마찬가지로, 디펜타에리스리톨펜타글리시딜에테르, 디펜타에리스리톨헥사글리시딜에테르 등의 다가 글리시딜기함유 저분자 화합물, 폴리글리시딜(메타)아크릴레이트, 2,2-비스( 히드록시메틸)-1-부탄올의 1,2-에폭시-4-(2-옥시라닐)시클로헥산 부가물 등으로 대표되는 글리시딜기함유 고분자화합물 등을 들 수 있다.
상기 (b)성분에 포함되는 메티롤기, 알콕시메틸기, 아실옥시메틸기가 치환되어 있는 수는, 멜라민 화합물의 경우 2～6, 글리콜우릴 화합물, 구아나민 화합물, 우레아 화합물의 경우에는 2～4이지만, 바람직하게는 멜라민 화합물의 경우 5～6, 글리콜우릴 화합물, 구아나민 화합물, 우레아 화합물의 경우에는 3～4이다.
이들 메티롤기함유 화합물은, 상기 알콕시메틸기함유 화합물을 알콜중에서 염산, 황산, 질산, 메탄술폰산 등의 산촉매 존재하에서 가열함으로써 얻어진다. 아실옥시메틸기함유 화합물은 메티롤기함유 화합물을 염기성 촉매존재하에서 아실클로리드와 혼합 교반함으로써 얻어진다.
이하, 상기 (b)성분에 포함되는 치환기를 갖는 화합물의 구체예를 든다.
상기 멜라민 화합물로서, 예를 들면 헥사메티롤멜라민, 헥사메톡시메르멜라민, 헥사메티롤멜라민의 메티롤기의 1～5개가 메톡시메틸화된 화합물 또는 그 혼합물, 헥사메톡시에틸멜라민, 헥사아실옥시메틸멜라민, 헥사메티롤멜라민의 메티롤 기의 1～5개가 아실옥시메틸화된 화합물 또는 그 혼합물 등을 들 수 있다.
상기 구아나민 화합물로서, 예를 들면 테트라메티롤구아나민, 테트라메톡시메틸구아나민, 테트라메티롤구아나민의 1～3개의 메티롤기를 메톡시메틸화한 화합물 또는 그 혼합물, 테트라메톡시에틸구아나민, 테트라아실옥시메틸구아나민, 테트라메티롤 구아나민의 1～3개의 메티롤기를 아실옥시메틸화한 화합물 또는 그 혼합물 등을 들 수 있다.
상기 글리콜우릴 화합물로서는, 예를 들면 테트라메티롤글리콜우릴, 테트라메톡시메틸글리콜우릴, 테트라메티롤글리콜우릴의 메티롤기의 1～3개를 메톡시메틸화한 화합물 또는 그 혼합물, 테트라메티롤글리콜우릴의 메티롤기의 1～3개를 아실옥시메틸화한 화합물 또는 그 혼합물 등을 들 수 있다.
상기 우레아 화합물로서는, 예를 들면 테트라메티롤우레아, 테트라메톡시메틸우레아, 테트라메티롤우레아의 1～3개의 메티롤기를 메톡시메틸화한 화합물 또는 그 혼합물, 테트라메톡시에틸우레아 등을 들 수 있다. 이들은 단독으로 사용해도 좋고, 조합해서 사용해도 좋다.
상기 (c)성분으로서 함유되는 메티롤기, 알콕시메틸기, 아실옥시메틸기에서 선택된 적어도 하나의 기로 치환된 페놀 화합물, 나프톨 화합물 또는 히드록시안트라센 화합물은, (b)성분의 경우와 같이 열가교에 의해 오버코팅 포토레지스트와의 인터믹싱을 억제하는 동시에, 막강도를 더욱 높이는 것이다.
(c)성분에 포함되는 메티롤기, 아실옥시메틸기 또는 알콕시메틸기의 수로서는, 1분자당 최저 2개 필요하며, 열가교성 및 보존 안정성의 관점으로부터 페놀성 화합물의 2위치, 4위치가 모두 치환되어 있는 화합물이 바람직하다.
또한 골격이 되는 나프톨 화합물, 히드록시안트라센 화합물도, OH기의 오르토위치, 파라위치가 모두 치환되어 있는 화합물이 바람직하다.
골격이 되는 페놀 화합물의 3위치 또는 5위치는 미치환이어도 좋고, 치환기를 갖고 있어도 좋다. 골격이 되는 나프톨 화합물에 있어서도, OH기의 오르토위치 이외는 미치환이어도 좋고, 치환기를 갖고 있어도 좋다.
이들 메티롤기함유 화합물은, 페놀성 OH기의 오르토위치 또는 파라위치(2위치 또는 4위치)가 수소원자인 화합물을 원료로 사용하고, 이것을 수산화나트륨, 수산화칼륨, 암모니아, 테트라알킬암모늄히드록시드 등의, 염기성 촉매의 존재하에서 포르말린과 반응시킴으로써 얻어진다.
또한 알콕시메틸기함유 화합물은, 상기 메티롤기함유 화합물을 알콜중에서 염산, 황산, 초산, 메탄술폰산 등의 산촉매의 존재하에서 가열함으로써 얻어진다.
아실옥시메틸기함유 화합물은, 상기 메티롤기함유 화합물을 염기성 촉매의 존재하에서 아실클로리드와 반응시킴으로써 얻어진다.
골격 화합물로서는, 페놀성 OH기의 오르토위치 또는 파라위치가 미치환의 페놀 화합물, 나프톨, 히드록시안트라센 화합물을 들 수 있고, 예를 들면 페놀, 크레졸의 각 이성체, 2,3-크실레놀, 2,5-크실레놀, 3,4-크실레놀, 3,5-크실레놀, 비스페놀-A 등의 비스페놀류, 4,4'-비스히드록시비페닐, ＴｒｉｓＰ-ＰＡ(혼슈카가쿠고교(주)제), 나프톨, 디히드록시나프탈렌, 2,7-디히드록시안트라센 등이 사용된다.
상기 (c)성분의 구체예로서는, 예를 들면 트리메티롤페놀, 트리(메톡시메틸)페놀, 트리메티롤페놀의 1～2개의 메티롤기를 메톡시메틸화한 화합물, 트리메티롤-3-크레졸, 트리(메톡시메틸)-3-크레졸, 트리메티롤-3-크레졸의 1～2개의 메티롤기를 메톡시메틸화한 화합물, 2,6-디메티롤-4-크레졸 등의 디메티롤크레졸, 테트라메티롤비스페놀-A, 테트라메톡시메틸비스페놀-A, 테트라메티롤비스페놀-A의 1～3개의 메티롤기를 메톡시메틸화한 화합물, 테트라메티롤-4,4'-비스히드록시비페닐, 테트라메톡시메틸-4,4'-비스히드록시비페닐, ＴｒｉｓＰ-ＰＡ의 헥사메티롤체, Ｔｒｉ ｓ-ＰＡ의 헥사메톡시메틸체, ＴｒｉｓＰ-ＰＡ의 헥사메티롤체의 1～5개의 메티롤 기를 메톡시메틸화한 화합물, 비스히드록시메틸나프탈렌디올 등이 있다.
히드록시안트라센 화합물로서는, 예를 들면 1,6-디히드록시메틸-2,7-디히드록시안트라센 등을 들 수 있다.
아실옥시메틸기함유 화합물로서는, 예를 들면 상기 메티롤기함유 화합물의 메티롤기를, 일부 또는 전부 아실옥시메틸화한 화합물을 들 수 있다.
이들 화합물 중에서 바람직한 것은, 트리메티롤페놀, 비스히드록시메틸-p-크레졸, 테트라메티롤비스페놀A, ＴｒｉｓＰ-ＰＡ(혼슈카가쿠 고교(주)제)의 헥사메티롤체 또는 이들 메티롤기가 알콕시메틸기 및 메티롤기와 알콕시메틸기의 양쪽으로 치환된 페놀 화합물이다.
이들은 단독으로 사용해도 좋고, 조합해서 사용해도 좋다.
본 발명의 착색제함유 경화성 조성물중에 있어서의 (ａ)～(c)성분의 함유량은 소재에 따라 다르지만, 경화성, 분광특성 등의 관점으로부터, 고형분에 대하여 1～70질량%가 바람직하고, 5～50질량%가 보다 바람직하고, 7～30질량%가 특히 바람직하다.
(모노머)
다음에 본 발명의 조성물이 네가티브형의 조성물인 경우에 함유되는 중합성 화합물(이하, 「모노머」라고 함)에 대하여 설명한다. 상기 모노머로서는, 적어도 1개의 부가중합 가능한 에틸렌기를 갖는, 상압상태에서 100℃이상의 비점을 갖는 에틸렌성 불포화기를 갖는 화합물이 바람직하고, 그 예로서는, 폴리에틸렌글리콜모노(메타)아크릴레이트, 폴리프로필렌글리콜모노(메타)아크릴레이트, 페녹시에틸(메타)아크릴레이트 등의 단관능의 아크릴레이트나 메타아크릴레이트; 폴리에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 트리메티롤에탄트리(메타)아크릴레이트, 네오펜틸글리콜디(메타)아크릴레이트, 펜타에리스리톨트리(메타)아크릴레이트, 펜타에리스리톨테트라(메타)아크릴레이트, 디펜타에리스리톨펜타(메타)아크릴레이트, 디펜타에리스리톨헥사(메타)아크릴레이트, 헥산디올(메타)아크릴레이트, 트리메티롤프로판트리(아크릴로일옥시프로필)에테르, 트리(아크릴로일옥시에틸)이소시아누레이트, 글리세린이나 트리메티롤에탄 등의 다관능 알콜에 에틸렌옥사이드나 프로필렌옥사이드를 부가시킨 후 (메타)아크릴레이트화한 것, 일본 특허공고 소 48-41708호, 일본 특허공고 소 50-6034호, 일본 특허공개 소 51-37193호 각 공보에 기재되어 있는 우레탄아크릴레이트류, 일본 특허공개 소 48-64183호, 일본 특허공고 소 49-43191호, 일본 특허공고 소 52-30490호 각 공보에 기재되어 있는 폴리에스테르아크릴레이트류, 에폭시수지와 (메타)아크릴산의 반응생성물인 에폭시아크릴레이트류 등의 다관능의 아크릴레이트나 메타아크릴레이트 및 이들의 혼합물을 들 수 있다. 또한 일본 접착 협회지 Ｖｏｌ． 20, Ｎｏ.7, 300～308쪽에 광경화성 모노머 및 올리고머로서 소개되어 있는 것을 들 수 있다.
상기 모노머로서는, (메타)아크릴에스테르계 모노머가 바람직하고, 4관능이상의 (메타)아크릴에스테르계 모노머가 특히 바람직하다.
상기 모노머의 본 발명의 조성물중에 있어서의 함유량은, 경화성등의 관점으로부터, 고형분에 대하여 0.1～90질량이 바람직하고, 1.0～80질량%가 더욱 바람직 하고, 2.0～70질량%가 특히 바람직하다.
(광중합 개시제)
다음에 본 발명의 조성물이 네가티브형의 조성물인 경우에 함유되는 광중합 개시제에 대해서 설명한다. 광중합 개시제는 상기 중합성을 갖는 모노머를 중합시키는 것이면 특별히 한정되지 않지만, 특성, 개시효율, 흡수파장, 입수성, 비용 등의 관점에서 선택되는 것이 바람직하다.
상기 광중합 개시제로서는, 트리할로메틸트리아진계 화합물, 벤질디메틸케탈 화합물, α-히드록시케톤 화합물, α-아미노케톤 화합물, 포스핀옥사이드계 화합물, 메탈로센 화합물, 옥심계 화합물, 트리알릴이미다졸다이머, 벤조티아졸계 화합물, 벤조페논 화합물, 아세토페논 화합물 및 그 유도체, 시클로펜타디엔-벤젠-철착체 및 그 염, 할로메틸옥사디아졸 화합물, 3-아릴 치환 쿠마린 화합물 등을 들 수 있고, α-아미노케톤 화합물, 포스핀옥사이드계 화합물, 메탈로센 화합물, 옥심계 화합물, 트리알릴이미다졸다이머로부터 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1종의 화합물을 함유하는 것이 바람직하다.
또 상기 광중합 개시제로서는, 분해에 의해 산을 발생하지 않는 화합물인 것이 바람직하다.
상기 할로메틸옥사디아졸 화합물 등의 활성 할로겐 화합물로서는, 일본 특허공고 소 57-6096호에 기재된 2-할로메틸-5-비닐-1,3,4-옥사디아졸 화합물 등이나, 2-트리클로로메틸-5-스티릴-1,3,4-옥사디아졸, 2-트리클로로메틸-5-(p-시아노스티릴)-1,3,4-옥사디아졸, 2-트리클로로메틸-5-(p-메톡시스티릴)-1,3,4-옥사디아졸 등 을 들 수 있다.
트리할로메틸-s-트리아진계 화합물의 광중합 개시제로서는, 일본 특허공고 소 59-1281호에 기재된 비닐-할로메틸-s-트리아진 화합물, 일본 특허공개 소 53-133428호에 기재된 2-(나프토-1-일)-4,6-비스-할로메틸-s-트리아진 화합물 및 4- (p-아미노페닐)-2,6-디-할로메틸-s-트리아진 화합물을 들 수 있다.
그 밖의 예로서는, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-p-메톡시스티릴-s-트리아진, 2,6-비스(트리클로로메틸)-4-(3,4-메틸렌디옥시페닐)-1,3,5-트리아진, 2,6-비스(트리클로로메틸)-4-(4-메톡시페닐)-1,3,5-트리아진, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6- (1-p-디메틸아미노페닐-1,3-부타디에닐)-s-트리아진, 2-트리클로로메틸-4-아미노-6-p-메톡시스티릴-s-트리아진, 2-(나프토-1-일)-4,6-비스-트리클로로메틸-s-트리아진, 2-(4-메톡시-나프토-1-일)-4,6-비스-트리클로로메틸-s-트리아진, 2-(4-에톡시-나프토-1-일)-4,6-비스-트리클로로메틸-s-트리아진, 2-(4-부톡시-나프토-1-일)-4,6-비스-트리클로로메틸-s-트리아진, 2-〔4-(2-메톡시에틸)-나프토-1-일〕-4,6-비스-트리클로로메틸-s-트리아진, 2-〔4-(2-에톡시에틸)-나프토-1-일〕-4,6-비스-트리클로로메틸-s-트리아진, 2-〔4-(2-부톡시에틸)-나프토-1-일〕-4,6-비스-트리클로로메틸-s-트리아진, 2-(2-메톡시-나프토-1-일)-4,6-비스-트리클로로메틸-s-트리아진, 2-(6-메톡시-5-메틸-나프토-2-일)-4,6-비스-트리클로로메틸-s-트리아진, 2- (6-메톡시-나프토-2-일)-4,6-비스-트리클로로메틸-s-트리아진, 2-(5-메톡시-나프토-1-일)-4,6-비스-트리클로로메틸-s-트리아진, 2-(4,7-디메톡시-나프토-1-일)-4,6-비스-트리클로로메틸-s-트리아진, 2-(6-에톡시-나프토-2-일)-4,6-비스-트리클로로 메틸-s-트리아진, 2-(4,5-디메톡시-나프토-1-일)-4,6-비스-트리클로로메틸-s-트리아진, 4-〔p-N,N-디(에톡시카르보닐메틸)아미노페닐〕-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-〔o-메틸-p-N,N-디(에톡시카르보닐메틸)아미노페닐〕-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-〔p-N,N-디(클로로에틸)아미노페닐〕-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-〔o-메틸-p-N,N-디(클로로에틸)아미노페닐〕-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-(p-N-클로로에틸아미노페닐)-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-(p-N-에톡시카르보닐메틸아미노페닐)-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-〔p-N,N-디(페닐)아미노페닐〕-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-(p-N-클로로에틸카르보닐아미노페닐)-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-〔p-N-(p-메톡시페닐)카르보닐아미노페닐〕 2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-〔m-N,N-디(에톡시카르보닐메틸)아미노페닐〕-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-〔m-브로모-p-N,N-디(에톡시카르보닐메틸)아미노페닐〕-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-〔m-클로로-p-N,N-디(에톡시카르보닐메틸)아미노페닐〕-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-〔m-플루오로-p-N,N-디(에톡시카르보닐메틸)아미노페닐〕-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-〔o-브로모-p-N,N-디(에톡시카르보닐메틸)아미노페닐〕-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-〔o-클로로-p-N,N-디(에톡시카르보닐메틸)아미노페닐-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-〔o-플루오로-p-N,N-디(에톡시카르보닐메틸)아미노페닐〕-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-〔o-브로모-p-N,N-디(클로로에틸)아미노페닐〕-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-〔o-클로로-p-N,N-디(클로로에틸)아미노페닐〕-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아 진, 4-〔o-플루오로-p-N,N-디(클로로에틸)아미노페닐〕-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-〔m-브로모-p-N,N-디(클로로에틸)아미노페닐〕-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-〔m-클로로-p-N,N-디(클로로에틸)아미노페닐〕-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-〔m-플루오로-p-N,N-디(클로로에틸)아미노페닐〕-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-(m-브로모-p-N-에톡시카르보닐메틸아미노페닐)-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-(m-클로로-p-N-에톡시카르보닐메틸아미노페닐)-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-(m-플루오로-p-N-에톡시카르보닐메틸아미노페닐)-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-(o-브로모-p-N-에톡시카르보닐메틸아미노페닐)-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-(o-클로로-p-N-에톡시카르보닐메틸아미노페닐)-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-(o-플루오로-p-N-에톡시카르보닐메틸아미노페닐)-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-(m-브로모-p-N-클로로에틸아미노페닐)-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-(m-클로로-p-N-클로로에틸아미노페닐)-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-(m-플루오로-p-N-클로로에틸아미노페닐)-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-(o-브로모-p-N-클로로에틸아미노페닐)-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-(o-클로로-p-N-클로로에틸아미노페닐)-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-(o-플루오로-p-N-클로로에틸아미노페닐)-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진 등을 들 수 있다.
이 외에, 미도리카가쿠(주)제의 ＴＡＺ시리즈, 예를 들면 ＴＡＺ-107, ＴＡＺ-110, ＴＡＺ-104, ＴＡＺ-109, ＴＡＺ-140, ＴＡＺ-204, ＴＡＺ-113, ＴＡＺ-123, ＴＡＺ-104;ＰＡＮＣＨＩＭ사 제의 Ｔ시리즈, 예를 들면 T-ＯＭＳ, T-ＢＭＰ, T-R, T-B;치바가이기사 제의 일가큐아 시리즈, 예를 들면 일가큐아651, 일가큐아184, 일가큐아500, 일가큐아1000, 일가큐아149, 일가큐아819, 일가큐아261; 다로큐아 시리즈, 예를 들면 다로큐아 11734; 4'-비스(디에틸아미노)-벤조페논, 2-(O-벤조일옥심)-1-[4-(페닐티오)페닐]-1,2-옥탄디온, 2-벤질-2-디메틸아미노-4-모르폴리노부티로페논, 2,2-디메톡시-2-페닐아세토페논, 2-(o-클로로페닐)-4,5-디페닐이미다졸릴 2량체, 2-(o-플루오로페닐)-4,5-디페닐이미다졸릴 2량체, 2-(o-메톡시페닐)-4,5-디페닐이미다졸릴 2량체, 2-(p-메톡시페닐)-4,5-디페닐이미다졸릴 2량체, 2-(p-디메톡시페닐)-4,5-디페닐이미다졸릴 2량체, 2-(2,4-디메톡시페닐)-4,5-디페닐이미다졸릴 2량체, 2-(p-메틸메르캅토페닐)-4,5-디페닐이미다졸릴 2량체, 벤조인이소프로필에테르 등도 유용하게 이용된다.
또한 상기 α-아미노케톤계 화합물로서는, 치바가이기사 제의 일가큐아 시리즈(일가큐아907, 일가큐아369), 2-메틸-1-페닐-2-모르폴리노프로판-1-온, 2-메틸-1-[4-(헥실)페닐]-2-모르폴리노프로판-1-온, 2-에틸-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부타논-1 등을 들 수 있다.
상기 옥심계 화합물로서는, 특별히 한정되지 않지만, 2-(O-벤조일옥심)-1- [4-(페닐티오)페닐]-1,2-옥탄디온, 1-(4-메틸술파닐-페닐)-부탄-1,2-부탄-2-옥심-O-아세테이트, 1-(4-메틸술파닐-페닐)-부탄-1-온옥심-O-아세테이트, 히드록시이미노-(4-메틸술파닐-페닐)-초산에틸에스테르-O-아세테이트, 하이드록시이미노-(4-메틸술파닐-페닐)-초산에틸에스테르-O-벤조에이트 등을 들 수 있다.
또한 다른 광중합 개시제에 관해서는, 입수성 및 안정성의 관점으로부터, 벤 질디메틸케탈 화합물로서는 일가큐아651 등이, α-히드록시케톤 화합물로서는 일가큐아184, 1173, 500, 1000, 2959 등이, α-아미노케톤 화합물로서는 일가큐아907, 369 등이, 포스핀옥사이드계 화합물(블렌드)로서는 일가큐아1700, 149, 1850, 819, 184 등이, 메탈로센 화합물로서는 일가큐아784, 261 등이 (모두 치바 스페셜리티 케미컬즈사 제품), 바람직하게, 또한 이들 유연체/주변 화합물 등도 마찬가지로 바람직하다.
상술한 바와 같이, 염료의 내광성, 내열성의 점에서, 분해에 의해 산을 발생하지 않는 화합물을 사용하는 것이 바람직하다. 즉, 상기 중 분해에 의해 산을 발생하지 않는 화합물로서, 벤질디메틸케탈 화합물, α-히드록시케톤 화합물, α-아미노케톤계 화합물, 포스핀옥사이드계 화합물, 메탈로센 화합물, 옥심계 화합물, 트리알릴이미다졸다이머, 벤조티아졸계 화합물, 벤조페논 화합물, 아세토페논 화합물 및 그 유도체, 시클로펜타디엔-벤젠-철착체 및 그 염에서 선택되는 적어도 1종의 화합물이 바람직하다. 또한, α-아미노케톤계 화합물, 포스핀옥사이드계 화합물, 메탈로센 화합물, 옥심계 화합물, 트리알릴이미다졸다이머로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1종의 화합물이 바람직하다.
이들 광중합 개시제에는 증감제나 광안정제를 병용할 수 있다.
그 구체예로서, 벤조인, 벤조인메틸에테르, 벤조인, 9-플루오레논, 2-클로로-9-플루오레논, 2-메틸-9-플루오레논, 9-안트론, 2-브로모-9-안트론, 2-에틸-9-안트론, 9,10-안트라퀴논, 2-에틸-9,10-안트라퀴논, 2-t-부틸-9,10-안트라퀴논, 2,6-디클로로-9,10-안트라퀴논, 크산톤, 2-메틸크산톤, 2-메톡시크산톤, 2-메톡시크산톤, 티옥산톤, 2,4-디에틸티옥산톤, 아크리돈, 10-부틸-2-클로로아크리돈, 벤질, 디벤잘아세톤, p-(디메틸아미노)페닐스티릴케톤, p-(디메틸아미노)페닐-p-메틸스티릴케톤, 벤조페논, p-(디메틸아미노)벤조페논(또는 미힐러케톤), p-(디에틸아미노)벤조페논, 벤즈안트론 등이나 일본 특허공고 소 51-48516호 기재의 벤조티아졸계 화합물 등이나, 티누빈1130, 동 400 등을 들 수 있다.
본 발명의 조성물에는, 이상의 광중합 개시제 외에 다른 공지의 광중합 개시제를 사용할 수 있다.
구체적으로는, 미국특허 제2,367,660호 명세서에 개시되어 있는 비시날폴리케톨알드닐 화합물, 미국특허 제2,367,661호 및 제2,367,670호 명세서에 개시되어 있다. α-카르보닐화합물, 미국특허 제2,448,828호 명세서에 개시되어 있는 아실로인에테르, 미국특허 제2,722,512호 명세서에 개시되어 있는 α-탄화수소로 치환된 방향족 아실로인 화합물, 미국특허 제3,046,127호 및 제2,951,758호 명세서에 개시되어 있는 다핵 퀴논 화합물, 미국특허 제3,549,367호 명세서에 개시되어 있는 트리알릴이미다졸다이머/p-아미노페닐케톤의 조합, 일본 특허공고 소 51-48516호에 개시되어 있는 벤조티아졸계 화합물/트리할로메틸-s-트리아진계 화합물 등을 들 수 있다.
상기 광중합 개시제의 사용량은, 모노머 고형분에 대하여, 0.01질량%～50질량%가 바람직하고, 1질량%～30질량%가 보다 바람직하고, 1질량%～20질량%가 특히 바람직하다. 광중합 개시제의 사용량이 0.01질량%～50질량%의 범위내에 있으면, 분자량이 지나치게 낮아서 막강도가 약해지는 것을 방지할 수 있다.
본 발명의 조성물에는 이상 이외에, 또한 열중합 방지제를 첨가해 두는 것이 바람직하다. 상기 열중합 방지제로서는, 예를 들면 하이드로퀴논, p-메톡시페놀, 디-t-부틸-p-크레졸, 피로갈롤, t-부틸카테콜, 벤조퀴논, 4,4'-티오비스(3-메틸-6-t-부틸페놀), 2,2'-메틸렌비스(4-메틸-6-t-부틸페놀), 2-메르캅토벤조이미다졸 등이 유용하다.
<용제>
본 발명에 사용되는 용제는 조성물의 용해성, 도포성을 만족하면 기본적으로 특별히 한정되지 않지만, 특히 염료, 바인더의 용해성, 도포성, 안전성을 고려해서 선택되는 것이 바람직하다.
본 발명의 조성물을 조제할 때에 사용하는 용제로서는, 에스테르류, 예를 들면 초산 에틸, 초산-n-부틸, 초산 이소부틸, 개미산 아밀, 초산 이소아밀, 초산 이소부틸, 프로피온산 부틸, 낙산 이소프로필, 낙산 에틸, 낙산 부틸, 알킬에스테르류, 유산 메틸, 유산 에틸, 옥시초산 메틸, 옥시초산 에틸, 옥시초산 부틸, 메톡시초산 메틸, 메톡시초산 에틸, 메톡시초산 부틸, 에톡시초산 메틸, 에톡시초산 에틸, 3-옥시프로피온산 메틸, 3-옥시프로피온산 에틸 등의 3-옥시프로피온산 알킬 에스테르류; 3-메톡시프로피온산 메틸, 3-메톡시프로피온산 에틸, 3-에톡시프로피온산 메틸, 3-에톡시프로피온산 에틸, 2-옥시프로피온산 메틸, 2-옥시프로피온산 에틸, 2-옥시프로피온산 프로필, 2-메톡시프로피온산 메틸, 2-메톡시프로피온산 에틸, 2-메톡시프로피온산 프로필, 2-에톡시프로피온산 메틸, 2-에톡시프로피온산 에틸, 2-옥시-2-메틸프로피온산 메틸, 2-옥시-2-메틸프로피온산 에틸, 2-메톡시-2-메 틸프로피온산 메틸, 2-에톡시-2-메틸프로피온산 에틸, 피루빈산 메틸, 피루빈산 에틸, 피루빈산 프로필, 아세트초산 메틸, 아세트초산 에틸, 2-옥소부탄산 메틸, 2-옥소부탄산 에틸 등; 에테르류, 예를 들면 디에틸렌글리콜디메틸에테르, 테트라히드로푸란, 에틸렌글리콜모노메틸에테르, 에틸렌글리콜모노에틸에테르, 메틸셀로솔브아세테이트, 에틸셀로솔브아세테이트, 디에틸렌글리콜모노메틸에테르, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르, 디에틸렌글리콜모노부틸에테르, 프로필렌글리콜메틸에테르, 프로필렌글리콜메틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜에틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜프로필에테르아세테이트 등; 케톤류, 예를 들면 메틸에틸케톤, 시클로헥사논, 2-헵타논, 3-헵타논 등; 방향족 탄화수소류, 예를 들면 톨루엔, 크실렌 등이 바람직하다.
이들 중, 본 발명에 이용되는 용제로서는, 3-에톡시프로피온산 메틸, 3-에톡시프로피온산 에틸, 에틸셀로솔브아세테이트, 유산 에틸, 디에틸렌글리콜디메틸에테르, 초산 부틸, 3-메톡시프로피온산 메틸, 2-헵타논, 시클로헥사논, 에틸카르비톨아세테이트, 부틸카르비톨아세테이트, 프로필렌글리콜메틸에테르, 프로필렌글리콜메틸에테르아세테이트 등이 보다 바람직하다.
본 발명의 조성물에는, 필요에 따라서 각종 첨가물, 예를 들면 충전제, 상기 이외의 고분자 화합물, 계면활성제, 밀착촉진제, 산화방지제, 자외선 흡수제, 응집 방지제 등을 배합할 수 있다.
이들 첨가물의 구체예로서는, 유리, 알루미나 등의 충전제; 폴리비닐알콜, 폴리아크릴산, 폴리에틸렌글리콜모노알킬에테르, 폴리플루오로알킬아크릴레이트 등 의 결착수지 이외의 고분자 화합물; 비이온계, 양이온계, 음이온계 등의 계면활성제; 비닐트리메톡시실란, 비닐트리에톡시실란, 비닐트리스(2-메톡시에톡시)실란, N-(2-아미노에틸)-3-아미노프로필메틸디메톡시실란, N-(2-아미노에틸)-3-아미노프로필트리메톡시실란, 3-아미노프로필트리에톡시실란, 3-글리시독시프로필트리메톡시실란, 3-글리시독시프로필메틸디메톡시실란, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)에틸트리메톡시실란, 3-클로로프로필메틸디메톡시실란, 3-클로로프로필트리메톡시실란, 3-메타크릴옥시프로필트리메톡시실란, 3-메르캅토프로필트리메톡시실란 등의 밀착 촉진제; 2,2-티오비스(4-메틸-6-t-부틸페놀), 2,6-디-t-부틸페놀 등의 산화방지제:2-(3-t-부틸-5-메틸-2-히드록시페닐)-5-클로로벤조트리아졸, 알콕시벤조페논 등의 자외선 흡수제; 및 폴리아크릴산 나트륨 등의 응집 방지제를 들 수 있다.
또한 방사선 미조사부의 알칼리 용해성을 촉진시키고, 본 발명의 조성물의 현상성의 더나은 향상을 꾀하는 경우에는, 본 발명의 조성물에 유기 카르복실산, 바람직하게는 분자량 1000이하의 저분자량 유기 카르복실산의 첨가를 행할 수 있다. 구체적으로는, 예를 들면 개미산, 초산, 프로피온산, 낙산, 길초산, 피발산, 카프론산, 디에틸초산, 에난트산, 카프릴산 등의 지방족 모노카르복실산; 옥살산, 말론산, 숙신산, 글루탈산, 아지핀산, 피메린산, 스베린산, 아제라인산, 세바신산, 브라실산, 메틸말론산, 에틸말론산, 디메틸말론산, 메틸숙신산, 테트라메틸숙신산, 시트라콘산 등의 지방족 디카르복실산; 트리카르발릴산, 아코닛산, 칸포론산 등의 지방족 트리카르복실산; 안식향산, 톨루일산, 쿠민산, 헤멜리트산, 메시틸렌산 등의 방향족 모노카르복실산; 프탈산, 이소프탈산, 테레프탈산, 트리메리트산, 트리 메신산, 멜로판산, 피로메리트산 등의 방향족 폴리카르복실산; 페닐초산, 히드로아트로파산, 히드로계피산, 만델산, 페닐숙신산, 아트로파산, 계피산, 계피산 메틸, 계피산 벤질, 신나미리덴초산, 쿠말산, 운벨산 등의 그 밖의 카르복실산을 들 수 있다.
(포지티브형의 조성물)
포지티브형 화상을 얻기 위해서, 즉 본 발명의 조성물이 포지티브형의 조성물인 경우, 본 발명의 조성물에는, 용제와 함께 감광제가 함유된다. 상기 감광제로서는, 나프토퀴논디아지드 화합물이 바람직하다. 또한 포지티브형 착색제함유 경화성 조성물은 경화제를 함유하고 있어도 좋다.
상기 나프토퀴논디아지드 화합물로서는, 예를 들면 o-벤조퀴논디아지드술폰산 에스테르 또는 o-나프토퀴논디아지드술폰산 에스테르를 들 수 있다.
구체적으로는, 예를 들면 o-나프토퀴논디아지드-5-술폰산 에스테르, o-나프토퀴논디아지드-5-술폰산 아미드, o-나프토퀴논디아지드-4-술폰산 에스테르, o-나프토퀴논디아지드-4-술폰산 아미드 등을 들 수 있다. 이들 에스테르나 아미드 화합물은, 예를 들면 일본 특허공개 평 2-84650호 공보, 일본 특허공개 평 3-49437호 공보에 일반식(I)으로 기재되어 있는 페놀 화합물 등을 이용하여 공지의 방법에 의해 제조할 수 있다.
본 발명의 조성물이 포지티브형의 조성물인 경우, 상기 알칼리 가용성 페놀수지 및 상기 경화제는, 통상, 유기용제중에 각각 2～50질량% 및 2～30질량% 정도의 비율로 용해시키는 것이 바람직하다. 상기 나프토퀴논디아지드 화합물 및 상기 유기용매 가용성 염료의 사용량은 통상, 경화성, 분광특성 등의 관점으로부터, 상기 알칼리 가용성 수지 및 경화제를 용해한 용액에 대하여, 각각 2～30질량% 및 2～50질량% 정도의 비율로 첨가하는 것이 바람직하다.
상기 경화제로서는, 상기에서 가교제로서 예로 든 멜라민계 화합물, 메티롤 기함유 화합물 등이 바람직하게 사용된다.
포지티브형 조성물의 경우, 알칼리 가용성 수지를 혼합해서 이용해도 좋고, 그 예로서는 노볼락 수지, 비닐페놀 수지 등을 들 수 있다.
또한 본 발명의 착색제함유 경화성 조성물을 포지티브형으로 구성할 경우, 상기 일반식(I)로 나타내어지는 화합물과 광산발생제와 경화제를 함유해서 구성할 수 있다.
상기 광산발생제로서는, 노광에 의해 산을 발생하는 화합물이면 특별히 한정되지 않지만, α-(4-톨루엔술포닐옥시이미노)페닐아세테이트니트릴(α-(4-ｔｏｌｕｅｎｅｓｕｌｆｏｎｙｌｏｘｙｉｍｉｎｏ)ｐｈｅｎｙｌａｃｅｔｏｎｉｔｒｉｌｅ) 등의 각종 옥심계 화합물, 각종 요오드늄 화합물, 각종 술포늄 화합물, 각종 트리할로메틸트리아진 화합물 등을 들 수 있다.
《컬러필터》
본 발명의 컬러필터는, 적어도 착색제로서 상기 일반식(I)로 나타내어지는 화합물을 함유한다. 또한 본 발명의 조성물을 이용하여 제조되는 것이 바람직하다.
본 발명의 컬러필터는, 본 발명의 조성물을 지지체 상에 회전도포, 유연도포, 롤도포 등의 도포방법에 의해 도포해서 감방사선성 조성물층을 형성하고, 소정 의 마스크 패턴을 통해 노광하고, 현상액으로 현상하고, 착색된 패턴을 형성함으로써 제조할 수 있다. 또한 본 발명의 컬러필터의 제조방법은, 필요에 따라 상기 레지스트 패턴을 가열 및/또는 노광에 의해 경화하는 공정을 포함하고 있어도 좋다.
이 때 사용되는 방사선으로서는, 특히 g선, h선, i선 등의 자외선이 바람직하게 사용된다.
상기 지지체로서는, 예를 들면 액정표시소자 등에 이용되는 소다유리, 파이렉스(R)유리, 석영유리 및 이들에 투명도전막을 부착시킨 것이나, 촬상소자 등에 이용되는 광전변환 소자기판, 예를 들면 실리콘 기판 등이나, 상보성 금속산화막 반도체(ＣＭＯＳ) 등을 들 수 있다. 이들 지지체는, 각 화소를 광학적으로 격리하는 블랙 스트라이프가 형성되어 있는 경우도 있다.
또한 이들 지지체 상에 필요에 따라, 상부층과의 밀착개량, 물질의 확산방지 또는 기판표면의 평탄화를 위해서, 프라이머층을 형성해도 좋다.
상기 본 발명의 컬러필터의 제조방법에 사용하는 현상액으로서는, 본 발명의 조성물을 용해하고, 한편, 방사선 조사부를 용해하지 않는 조성물이면 어떠한 것도 사용할 수 있다. 구체적으로는 여러가지 유기용제의 조합이나 알칼리성의 수용액을 사용할 수 있다.
상기 유기용제로서는, 본 발명의 조성물을 조정할 때에 사용되는 상술한 용제를 들 수 있다.
알칼리성의 수용액으로서는, 예를 들면 수산화 나트륨, 수산화 칼륨, 탄산 나트륨, 규산 나트륨, 메타규산 나트륨, 암모니아수, 에틸아민, 디에틸아민, 디메 틸에탄올아민, 테트라메틸암모늄히드록시드, 테트라에틸암모늄히드록시드, 콜린, 피롤, 피페리딘, 1,8-디아자비시클로-〔5.4.0〕-7-운데센 등의 알칼리성 화합물을, 농도가 0.001～10질량%, 바람직하게는 0.01～1질량%가 되도록 용해한 알칼리성 수용액이 사용된다. 또, 이러한 알칼리성 수용액으로 이루어지는 현상액을 사용한 경우에는, 일반적으로, 현상후, 물로 세정한다.
또한 본 발명의 컬러필터는, 액정표시소자나 ＣＣＤ 등의 고체촬상소자에 사용할 수 있고, 특히 100만화소를 초과하는 고해상도의 ＣＣＤ소자나 ＣＭＯＳ소자 등에 적합하다. 본 발명의 컬러필터는, 예를 들면 ＣＣＤ를 구성하는 각 화소의 수광부와 집광하기 위한 마이크로렌즈 사이에 배치되는 컬러필터로서 사용할 수 있다.
(실시예)
이하, 본 발명을 실시예에 의해 더욱 구체적으로 설명하지만, 본 발명은 그 주지를 초과하지 않는 한 이하의 실시예에 한정되는 것은 아니다. 또, 특별히 언급하지 않는 한, 「부」 및 「%」은 질량기준이다.
[합성예1]
-예시 화합물(1)의 합성-
하기 스킴에 따라서 본 발명에 있어서의 화합물(착색제)의 합성을 행했다.
Figure 112005017482797-pat00011
시클로헥실아민〔상기 화합물(1)〕 11.28g, 4-메톡시-2-니트로벤젠술포닐클로라이드 27g, 및 오르토디클로로벤젠 54㎖, 증류수 4.3㎖를 혼합하고, 실온에서 1시간 교반했다. 교반후, 50℃로 가온한 후, 탄산나트륨 5.69g의 수용액을 첨가하고, 다시 70℃에서 1시간 교반했다. 그리고, 반응 혼합물을 물에 붓고, 초산 에틸로 추출하고, 초산 에틸상을 4% 황산 수용액으로 세정했다. 그 후에 초산 에틸상에 황산마그네슘 및 활성탄을 첨가해서 건조 및 탈색을 행하고, 세라이트 여과했다. 이 초산 에틸상을 농축하여, 상기 화합물(2)을 얻었다.
다음에 환원철 35g, 초산 25g, 및 물 75g을 혼합해서 80℃에서 교반하고, 이것에 상기로부터 얻은 화합물(2)을 서서히 첨가하고, 80℃에서 2시간 교반했다. 이어서 반응 혼합물에 에탄올 26㎖를 추가해서 2.5시간 환류해서 교반했다. 교반후, 실온까지 냉각하고, 탄산나트륨 32.5g을 첨가한 후, 초산 에틸 200㎖와 세라이트와 활성탄을 다시 첨가해서, 세라이트 여과했다. 그리고, 유기층을 수증기증류 해서 상기 화합물(3) 24.78g을 얻었다(오버올 수율 80%).
다음에 상기 화합물(3) 5.69g, 테트라에틸암모늄클로라이드 0.09g, 초산 100㎖, 36% 염산 7.3㎖, 및 증류수 11㎖를 혼합하고, 0℃로 냉각했다. 이것에 아초산나트륨 수용액(NaNO2:1.4g, 물:10g)을, 내부온도 5℃이하를 유지해서 적하하고, 적하후, 5～10℃를 유지해서 3시간 교반하여 디아조용액을 얻었다.
이 디아조용액을, 별도 조제한 3-아미노-1-페닐-2-피라졸린-5-온의 슬러리 액(3-아미노-1-페닐-2-피라졸린-5-온 3.71g, 물 40g, 및 36% 염산 2.14g)에 0℃이하에서 30분에 걸쳐 적하했다. 이어서, 40% 초산 나트륨 수용액 38㎖를 1시간에 걸쳐서 적하한 후, 10% 탄산나트륨 수용액 50㎖를 적하하고, 하룻 밤 교반했다. 계속해서, 50% NaOH수용액 100㎖를 적하하고, 65℃로 가온해서 1시간 교반한 후, 실온까지 냉각했다. 얻어진 혼합물을 여과하고, 알칼리성의 식염수로 세정하여, 목적으로 하는 본 발명에 있어서의 화합물(염료)인 상술한 예시 화합물(1) 6.80g을 얻었다(수율 75%).
상기로부터 얻어진 예시 화합물(1)에 대해서, NMR에 의한 구조확인을 행한 결과, 1H-NMR(300MHz, 용매:디메틸-d6술폭시드, 표준물질:테트라메틸실란) δ 7.95ppm(2H, d), 7.80(2H, m), 7.62(1H, s), 7.43(2H, t), 7.15(1H, t), 6.85(1H, d), 6.65(2H, s), 3.95(3H, s), 3.10(1H, m), 1.60(4H, m), 1.43(1H, m), 1.25～ 0.85(6H, m)였다.
또한 상기 예시 화합물(1)을 메탄올에 용해해서 농도 약 1.0×10-5mol/ℓ의 용액을 조제하고, 분광광도계(상품명:ＵＶ-2500ＰＣ, 시마즈세이사쿠쇼(주)제)를 이용하여 극대 흡수파장(λｍａｘ) 및 몰흡광계수(ε)의 측정, 및 파형으로부터 반값폭의 측정을 행했다. 그 결과, 메탄올중에서의 λｍａｘ=384nm이며, ε=25800[ℓ?mol-1cm-1]이었다(반값폭=70.5nm).
[실시예1]
1)레지스트 용액의 조제
하기 조성을 혼합해서 용해하고, 레지스트 용액을 조제했다.
〔레지스트 용액용 조성〕
?프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트(ＰＧＭＥＡ)…19.00부
?에틸락테이트…36.00부
?시클로헥사논…0.87부
?바인더…30.51부
(알릴메타크릴레이트/메타크릴산)공중합체(몰비=65:35) 41% ＰＧＭＥＡ용액
?디펜타에리스리톨헥사아크릴레이트…12.20부
?중합금지제(p-메톡시페놀)…0.0075부
?불소계 계면활성제…0.95부
(상품명:메가팩F177P, 0.2% 에틸락테이트 용액, 다이니폰잉크 카가쿠(주)제)
?2-(O-벤조일옥심)-1- [4-(페닐티오)페닐]-1,2-옥탄디온(광중합 개시제)…0.600부
2)프라이머층이 형성된 유리기판의 제작
유리기판(코닝 1737)을 1% NaOH수로 초음파 세정한 후, 수세, 탈수 베이크(200℃/30분)을 행했다.
계속해서, 상기 1)의 레지스트 용액을 세정한 유리기판 상에 막두께 2㎛가 되도록 스핀코터를 이용하여 도포하고, 220℃에서 1시간 가열 건조하고, 경화막을 형성하고, 프라이머층이 형성된 유리기판을 얻었다.
3)착색제함유 레지스트 용액의 조제
상기 1)에서 얻어진 레지스트 용액 9.4g과, 상기의 예시 화합물(1)〔착색제:일반식(I)로 나타내어지는 화합물〕 0.6g을 혼합해서 용해하고, 착색제함유 레지스트 용액을 얻었다.
4)착색제함유 레지스트의 노광?현상(화상형성)
상기 3)에서 얻어진 염료 레지스트 용액을 상기 2)에서 얻어진 프라이머층이 형성된 유리기판의 프라이머층 상에 막두께가 1.0㎛가 되도록 스핀코터를 이용하여 도포하고, 120℃에서 120초간 프리베이크했다.
이어서, 노광장치를 사용하여, 도포막에 365nm의 파장으로 두께 20㎛의 마스크를 통해 800mJ/㎠의 노광량으로 조사했다. 노광후, 현상액(상품명:ＣＤ-2000, 60%, 후지 필름 아치(주)제)을 사용하여, 26℃ ?60초간의 조건으로 현상했다. 그 후 흐르는 물로 20초간 린스한 후, 스프레이 건조하여, 화상을 형성했다.
본 실시예에 있어서, 화상형성은 광학현미경 및 ＳＥＭ 사진관찰에 의해 일반적인 방법으로 확인했다.
또한 「미노광부 현상성」, 「노광부 잔막율」은 색도계(상품명:ＭＣＰＤ-1000, 오츠카덴시(주)제)로 측정했다.
또한 「미노광부 현상성」이란, 현상전후의 막의 흡광도값의 변화율을 나타내며, 네가티브형 감광성 조성물의 경우에는 값이 큰 쪽이 좋다. 또한, 「노광부 잔막율」이란, 현상전후의 막의 흡광도값의 유지율을 나타내며, 네가티브형 감광성 조성물의 경우에는 값이 큰 쪽이 좋다.
상기 미노광부 현상성 및 상기 노광부 잔막율이 모두 높은 값이라는 것은, 패턴형성성이 좋다는 것을 의미한다.
본 실시예에 있어서, 「내열성」은, 염료 레지스트 용액을 도포한 유리기판을, 핫플레이트에 의해 200℃에서 1시간 가열한 후, 색도계(상품명:ＭＣＰＤ-1000, 오츠카덴시(주)제)로, 색도변화 즉 ΔEab값을 측정했다. ΔEab값이 작을수록 내열성이 좋다.
또 「내광성」은, 염료 레지스트 용액을 도포한 유리기판에 대하여, 크세논램프를 20만 lux로 10시간 조사(200만 lux?ｈ 상당)한 후, 색도변화, 즉 ΔEab값을 측정했다. ΔEab값이 작은 쪽이 내광성이 좋다.
몰흡광계수(ε)는 메탄올중에서의 흡광도로부터 산출했다. 색값은 몰흡광계수(ε)를 염료의 Ｍｗ로 나눈 값:ε/Ｍｗ를 사용했다.
이들의 결과를 표1에 나타낸다.
[실시예2～7]
실시예 1의 3)착색제함유 레지스트 용액의 조제에 있어서, 착색제를 하기 표1에 나타내어지는 화합물로 변경한 이외는, 실시예1과 같은 방법으로 화상을 형성하고, 같은 평가를 행했다. 결과를 하기 표1에 나타낸다.
[실시예8～14]
실시예1～7의 유리기판을 실리콘 웨이퍼 기판으로 변경한 이외는, 실시예1과 같은 방법으로, 화상을 형성했다. 미노광부 현상성, 노광부의 잔막율은 실시예1～7과 같은 결과가 얻어졌다.
실시예8～14에 있어서는, 실리콘 웨이퍼 기판을 사용하고 있으며, 실시예1～7과 기판이 다르지만, 착색제 레지스트 용액은 실시예1～14를 통해 모두 프라이머층 상에 도포되어 있기 때문에, 실질적으로 차이가 생기는 일은 없고, 같은 여러 성능이 얻어졌다.
[실시예15]
실시예1의 1)레지스트 용액의 조제에 있어서, 광중합 개시제를 TAZ-107(미도리카가쿠(주)제)로 변경한 이외는 실시예1과 같은 방법으로 화상을 형성하고, 같은 평가를 행했다. 결과를 표1에 나타낸다.
[실시예16]
실시예1의 1)레지스트 용액의 조제에 있어서, 광중합 개시제를, 2-벤질-2-디메틸아미노-4-모르폴리노부틸로페논으로 변경한 이외는 실시예1과 같은 방법으로 화상을 형성하고, 같은 평가를 행했다. 결과를 표1에 나타낸다.
[비교예1]
실시예1의 3)착색제함유 레지스트 용액의 조제에 있어서, 착색제를 하기의 옐로 염료(비교용 화합물1～2)로 각각 변경한 이외는 실시예1과 같은 방법으로 화상을 형성하고, 같은 평가를 행했다. 결과를 표1에 나타낸다.
Figure 112005017482797-pat00012
(애시드 옐로 42의 디톨릴구아니딘염: 염료/디톨릴구아니딘=1/2(몰비))
(표1)
Figure 112005017482797-pat00013
표1에 나타내듯이, 비교예와 같이, 표1의 여러 성능을 동시에 만족하는 것은 곤란했다. 그러나, 본 발명에 있어서의 일반식(I)로 나타내어지는 화합물을 함유하는 착색제함유 경화성 조성물을 사용함으로써, 착색제의 내열성, 내광성, 색값(ε/ Ｍｗ)이 우수한 성능을 나타내는 경화성 조성물을 얻을 수 있었다. 또한 동시에, 미노광부 현상성 및 노광부의 잔막율도 향상시킬 수 있고, 패턴형성성이 우수한 것을 알 수 있었다.
특히 색값을 향상시킴으로써, 염료의 첨가량을 저감할 수 있고, 레지스트의 패턴형성성 등의 여러 성능을 향상시킬 수 있다.
또한 표1의 결과로부터 명백하듯이, 또한 종래의 피라졸론-아조계 염료를 사용한 비교예1과, 미노광부 현상성, 노광부의 잔막율, 내열성, 내광성이 현저하게 떨어지는 성능을 나타내고, 본 발명에 있어서의 아미노피라졸론-아조염료의 우위성이 확실해졌다.
[실시예17]
실시예1의 3)착색제함유 레지스트 용액의 조제에 있어서, 착색제함유 레지스트 용액 대신에 하기에 의해 조제된 포지티브형 착색 감광성 수지조성물A를 사용하여, 전광 노광한 이외는 실시예1과 같은 방법으로 화상을 형성하고, 같은 평가를 행했다. 결과를 상기 표1에 아울러 나타낸다.
〔포지티브형 착색 감광성 수지조성물A의 조제〕
하기 조성을 혼합해서 용해하여, 포지티브형 착색 감광성 수지조성물을 얻었다.
?에틸락테이트…75.0부
?하기 바인더(P-1)…14.0부
?상기 예시 화합물(1) (상기 일반식(I)로 나타내어지는 화합물)…6.0부
?광산발생제(하기 ＰＡＧ-1)…4.0부
?불소계 계면활성제(상품명:F-475, 다이니폰잉크 카가쿠고교(주)제)…0.4부
Figure 112010012162513-pat00018
[실시예18]
실시예1의 3)착색제함유 레지스트 용액의 조제에 있어서, 착색제함유 레지스트 용액 대신에 하기에 의해 조제된 포지티브형 착색 감광성 수지조성물B를 사용하고, 전면 노광한 이외는 실시예1과 같은 방법으로 화상을 형성하고, 같은 평가를 행했다. 결과를 표1에 아울러 나타낸다.
〔포지티브형 착색 감광성 수지조성물B의 조제〕
?에틸락테이트…210.0부
?p-크레졸과 포름알데히드를 축합한 노볼락 수지(폴리스티렌 환산 분자량 5500)…20.0부
?헥사메톡시메티롤멜라민…15.0부
?상기 예시 화합물(1) (상기 일반식(I)로 나타내어지는 화합물)…35.0부
?2,3,4-트리히드록시벤조페논과 o-나프토퀴논디아지드-5-술포닐클로리드의 에스테르 화합물(에스테르화율:80mol%；퀴논디아지드 화합물)…15.0부
?[4-(7,8-디히드록시-2,4,4-트리메틸-2-크로마닐)피로갈롤]과 o-나프토퀴논 디아지드-5-술폰산의 에스테르…15.0부
실시예17및 18은, 포지티브형 감광성 조성물이므로, 미노광부 현상성 및 노광부 잔막율의 값은 작은 쪽이 바람직하다.
표1로부터 알 수 있듯이, 실시예17 및 18에 있어서도, 착색제의 내열성, 내광성, 색값이 우수한 성능을 나타내는 포지티브형의 경화성 조성물을 얻을 수 있었다.
또 동시에, 미노광부 현상성 및 노광부의 잔막율도 향상시킬 수 있고, 패턴형성성이 우수한 것을 알 수 있었다.
본 발명에 의하면, 착색제의 내열성, 내광성, 몰흡광계수(색값), 및 패턴형성성이 우수한 경화성 조성물, 및, 컬러필터 및 간편하며 코스트 퍼포먼스가 높은 컬러필터의 제조방법을 제공할 수 있다.

Claims (21)

  1. 착색제를 함유하는 착색제함유 경화성 조성물로서, 상기 착색제가 하기 일반식(I)로 나타내어지는 화합물을 함유하는 것을 특징으로 하는 착색제함유 경화성 조성물.
    Figure 112011061733028-pat00015
    〔식중, R1 및 R2는, 각각 독립적으로, 수소원자, 탄소수 1～21의 알킬기, 탄소수 2～21의 알케닐기, 탄소수 6～21의 아릴기, 또는 탄소수 7～21의 아랄킬기를 나타내고, R1 및 R2는 이들과 결합하고 있는 질소원자와 함께 복소환을 형성하고 있어도 좋고; R3은, 할로겐 원자, 트리할로메틸기, 탄소수 1～21의 알콕시기, 니트로기, 또는 아미노기를 나타내며; n은 0～4의 정수를 나타내며; R4는, 할로겐 원자, 또는 -SO3M기를 나타내며; M은 H나 금속원자의 양이온, 또는 질소함유 화합물로 이루어지는 양이온을 나타내며; 또한 m은 0～5의 정수를 나타낸다.〕
  2. 제1항에 있어서, 모노머를 더 함유하는 것을 특징으로 하는 착색제함유 경화성 조성물.
  3. 제2항에 있어서, 상기 모노머가 (메타)아크릴에스테르계 모노머를 함유하는 것을 특징으로 하는 착색제함유 경화성 조성물.
  4. 제2항에 있어서, 상기 모노머가 4관능 이상의 (메타)아크릴에스테르계 모노머를 함유하는 것을 특징으로 하는 착색제함유 경화성 조성물.
  5. 제1항에 있어서, 바인더를 더 함유하는 것을 특징으로 하는 착색제함유 경화성 조성물.
  6. 제5항에 있어서, 상기 바인더가 알칼리 가용성의 (메타)아크릴계 수지를 함유하는 것을 특징으로 하는 착색제함유 경화성 조성물.
  7. 제5항에 있어서, 상기 바인더가 알칼리 가용성의 중합성 측쇄를 갖는 (메타)아크릴계 수지를 함유하는 것을 특징으로 하는 착색제함유 경화성 조성물.
  8. 제1항에 있어서, 광중합 개시제를 더 함유하는 것을 특징으로 하는 착색제함유 경화성 조성물.
  9. 제8항에 있어서, 상기 광중합 개시제가, 트리할로메틸트리아진계 화합물, 벤 질디메틸케탈 화합물, α-히드록시케톤 화합물, α-아미노케톤 화합물, 포스핀옥사이드계 화합물, 메탈로센 화합물, 옥심계 화합물, 트리알릴이미다졸다이머, 벤조티아졸계 화합물, 벤조페논 화합물, 아세토페논 화합물 및 그 유도체, 시클로펜타디엔-벤젠-철착체 및 그 염, 할로메틸옥사디아졸 화합물, 3-아릴치환 쿠마린 화합물로 이루어지는 군에서 선택되는 1종이상의 화합물을 함유하는 것을 특징으로 하는 착색제함유 경화성 조성물.
  10. 제8항에 있어서, 상기 광중합 개시제가 분해에 의해 산을 발생하지 않는 화합물을 1종이상 함유하는 것을 특징으로 하는 착색제함유 경화성 조성물.
  11. 제8항에 있어서, 상기 광중합 개시제가 α-아미노케톤 화합물, 포스핀옥사이드계 화합물, 메탈로센 화합물, 옥심계 화합물, 트리알릴이미다졸다이머로 이루어지는 군에서 선택되는 1종이상의 화합물을 함유하는 것을 특징으로 하는 착색제함유 경화성 조성물.
  12. 제1항에 있어서, 가교제를 더 함유해서 이루어지는 것을 특징으로 하는 착색제함유 경화성 조성물.
  13. 제1항에 있어서, 감광제, 용제를 더 함유하며, 또 포지티브형 조성물인 것을 특징으로 하는 착색제함유 경화성 조성물.
  14. 제13항에 있어서, 상기 감광제가 o-벤조퀴논디아지드술폰산 에스테르 또는 o-나프토퀴논디아지드술폰산 에스테르인 것을 특징으로 하는 착색제함유 경화성 조성물.
  15. 제14항에 있어서, 경화제를 더 함유하는 것을 특징으로 하는 착색제함유 경화성 조성물.
  16. 제1항에 있어서, 광산발생제, 경화제를 더 함유하고, 또 포지티브형 조성물인 것을 특징으로 하는 착색제함유 경화성 조성물.
  17. 하기 일반식(I)로 나타내어지는 화합물을 함유하는 것을 특징으로 하는 컬러필터.
    Figure 112011061733028-pat00016
    〔식중, R1 및 R2는, 각각 독립적으로, 수소원자, 탄소수 1～21의 알킬기, 탄소수 2～21의 알케닐기, 탄소수 6～21의 아릴기, 또는 탄소수 7～21의 아랄킬기를 나타내고, R1 및 R2는 이들과 결합하고 있는 질소원자와 함께 복소환을 형성하고 있어도 좋고; R3은, 할로겐 원자, 트리할로메틸기, 탄소수 1～21의 알콕시기, 니트로기, 또는 아미노기를 나타내며; n은 0～4의 정수를 나타내며; R4는, 할로겐 원자, 또는 -SO3M기를 나타내며; M은 H나 금속원자의 양이온, 또는 질소함유 화합물로 이루어지는 양이온을 나타내며; 또한 m은 0～5의 정수를 나타낸다.〕
  18. 제17항에 있어서, 상기 일반식(I)로 나타내어지는 화합물을 함유하는 착색제를 함유하는 착색제함유 경화성 조성물을 이용해서 이루어지는 것을 특징으로 하는 컬러필터.
  19. 착색제함유 경화성 조성물을 지지체 상에 도포하는 공정, 마스크를 통해 노광하는 공정, 및 현상해서 패턴을 형성하는 공정을 포함하는 컬러필터의 제조방법으로서,
    상기 착색제함유 경화성 조성물이 착색제를 함유하고, 상기 착색제가 하기 일반식(I)로 나타내어지는 화합물을 함유하는 것을 특징으로 하는 방법.
    Figure 112011061733028-pat00017
    〔식중, R1 및 R2는, 각각 독립적으로, 수소원자, 탄소수 1～21의 알킬기, 탄소수 2～21의 알케닐기, 탄소수 6～21의 아릴기, 또는 탄소수 7～21의 아랄킬기를 나타내고, R1 및 R2는 이들과 결합하고 있는 질소원자와 함께 복소환을 형성하고 있어도 좋고; R3은, 할로겐 원자, 트리할로메틸기, 탄소수 1～21의 알콕시기, 니트로기, 또는 아미노기를 나타내며; n은 0～4의 정수를 나타내며; R4는, 할로겐 원자, 또는 -SO3M기를 나타내며; M은 H나 금속원자의 양이온, 또는 질소함유 화합물로 이루어지는 양이온을 나타내며; 또한 m은 0～5의 정수를 나타낸다.〕
  20. 제19항에 있어서, 상기 패턴을 가열 및 노광 중 적어도 하나에 의해 경화하는 공정을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  21. 제20항에 있어서, 상기 가열 및 노광 중 적어도 하나에 의해 경화하는 공정이 복수회 행해지는 것을 특징으로 하는 방법.
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