JP2009288801A - カラーフィルタの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】カラーフィルタの形成面に染料含有ポジ型フォトレジストを塗布する工程S1と、前記染料含有ポジ型フォトレジストの塗布膜にパターン露光を行う工程S2と、前記第1の現像液により現像を行う工程S3と、前記第1の現像液で除去できずアルカリで除去し難い染料からなる現像残りを第2の現像液により除去する工程S4と、前記第2の現像液を第3の現像液によりリンスする工程S5と、前記第3の現像液をリンスする工程S6とを有する。
【選択図】図1
Description
現像液A:3.0wt%のTMAH水溶液、
現像液B:2.0wt%のTMAH水溶液に0.05wt%のポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテルを添加したもの、
現像液C:0.2wt%のTMAH水溶液に0.05wt%のポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテルを添加したもの、
現像液D:1.5wt%のTMAH水溶液に0.05wt%のポリオキシエチレンノニルフェニルエーテルを添加したもの、
現像液E:0.2wt%のTMAH水溶液に0.05wt%のポリオキシエチレンノニルフェニルエーテルを添加したもの、
現像液F:HPRD−402(富士フィルムアーチ株式会社製界面活性剤入りTMAH水溶液)、
現像液G:PD523‐AD(日本合成ゴム株式会社製界面活性剤入りTMAH水溶液)
である。
現像液B:5.4nm/s、
現像液C:0.4nm/s、
現像液D:4.2nm/s、
現像液E:0.6nm/s、
現像液F:0.8nm/s、
現像液G:0.5nm/s。
ノボラック樹脂:5重量部、
o−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル:8重量部、
ヘキサメトキシメチルメラミン:2重量部、
乳酸エチル:50重量部、
N,N’−ジメチルホルムアミド:25重量部、
化学式(1)で示される化合物:2重量部、
SOLVENT ORANGE 56 : 2重量部、
SOLVENT YELLOW 82 :2重量部、
SOLVENT YELLOW 162 :2重量部、
ノボラック樹脂:5重量部、
o−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル:8重量部、
ヘキサメトキシメチルメラミン:2重量部、
乳酸エチル:50重量部、
N,N’−ジメチルホルムアミド:25重量部、
化学式(1)で示される化合物:3重量部、
C.I.SOLVENT BLUE 25 :3重量部、
C.I.ACID BLUE 90 :2重量部。
ノボラック樹脂:5重量部、
o−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル:8重量部、
ヘキサメトキシメチルメラミン:2重量部、
乳酸エチル:50重量部、
N,N’−ジメチルホルムアミド:25重量部、
C.I.SOLVENT BLUE 25 :4重量部、
C.I.SOLVENT YELLOW 82 :2重量部、
C.I.SOLVENT YELLOW 162 :2重量部。
現像工程2:続いてウエハ回転数を50rpmに設定して現像液Aを1秒間吐出した。
現像工程3:その後、第1の現像液は供給せず、かつウエハを回転せず、60秒間放置した。
このようにして、ポジ型感光性組成物の露光部分を選択的に除去した。
現像工程2:続いてウエハ回転数を50rpmに設定して現像液Aを1秒間吐出した。
現像工程3:その後、第1の現像液は供給せず、かつウエハを回転せず、60秒間放置した。
このようにして、ポジ型感光性組成物の露光部分を選択的に除去した。
Claims (18)
- カラーフィルタの形成面に染料含有ポジ型フォトレジストを塗布する工程と、
前記染料含有ポジ型フォトレジストの塗布膜にパターン露光を行う工程と、
前記パターン露光を行った前記塗布膜の露光部分を第1の現像液により選択的に除去する現像を行う工程と、
前記第1の現像液による現像処理で除去できずアルカリで除去し難い染料からなる現像残りを第2の現像液により除去する工程と、
前記第2の現像液中に溶解している色素および感光剤を前記第2の現像液とともに第3の現像液によりリンスする工程と、
前記第3の現像液を純水でリンスする工程と
を有するカラーフィルタの製造方法。 - 前記第3の現像液は、前記ポジ型フォトレジストを構成するポジ型感光性組成物に対する溶解速度が前記第1の現像液と同等以上であり、且つ前記第2の現像液よりも小さい
請求項1記載のカラーフィルタの製造方法。 - 前記第1の現像液による現像を行う工程の後に、現像残りを第2の現像液により除去する工程、第3の現像液によりリンスする工程、および前記純粋でリンスする工程を、この順に行う
請求項1または2に記載のカラーフィルタの製造方法。 - 前記第1〜第3の現像液は、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド(tetramethylammonium hydroxide:TMAH)を含有する
請求項1〜3の何れかに記載のカラーフィルタの製造方法。 - 前記第2現像液にポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテルを添加する
請求項4に記載のカラーフィルタの製造方法。 - 前記第2現像液にポリオキシエチレンノニルフェニルエーテルを添加する
請求項4に記載のカラーフィルタの製造方法。 - 前記第3現像液にポリオキシエチレンノニルフェニルエーテルを添加する
請求項6に記載のカラーフィルタの製造方法。 - 前記第3現像液にポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテルを添加する
請求項5に記載のカラーフィルタの製造方法。 - 前記第3現像液にPD523‐ADを用いる
請求項6に記載のカラーフィルタの製造方法。 - 前記第1現像液にHPRD−402またはPD523‐ADを用いる
請求項7に記載のカラーフィルタの製造方法。 - 前記第1現像液にPD523‐ADを用いる
請求項7に記載のカラーフィルタの製造方法。 - 前記第1現像液と前記第3現像液に同じ現像液を用いる
請求項4または6に記載のカラーフィルタの製造方法。 - 前記第1現像液は界面活性剤を添加しないテトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド(tetramethylammonium hydroxide:TMAH)である
請求項7または8に記載のカラーフィルタの製造方法。 - 前記染料含有ポジ型レジストは、乳酸エチル、N,N’−ジメチルホルムアミド、o−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、ノボラック樹脂、およびヘキサメトキシメチルメラミンと共に染料を含有する
請求項1〜4の何れかに記載のカラーフィルタの製造方法。 - 赤色のカラーフィルタの前記染料はSOLVENT ORANGE 56、SOLVENT YELLOW 82及びSOLVENT YELLOW 162である
請求項14に記載のカラーフィルタの製造方法。 - 青色のカラーフィルタの前記染料はC.I.SOLVENT BLUE 25及びC.I.ACID BLUE 90である
請求項14に記載のカラーフィルタの製造方法。 - 緑色のカラーフィルタの前記染料はC.I.SOLVENT BLUE 25、C.I.SOLVENT YELLOW 82及びC.I.SOLVENT YELLOW 162である
請求項14に記載のカラーフィルタの製造方法。 - 緑色のカラーフィルタ、赤色のカラーフィルタ、青色のカラーフィルタの順でカラーフィルタを形成する
請求項14〜17のいずれかに記載のカラーフィルタの製造方法。
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