JP4926552B2 - 染料含有感光性組成物並びにそれを用いたカラーフィルター及びその製造方法 - Google Patents
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Description
一方で、耐熱性、耐光性に優れたカラーフィルターとして、有機溶剤可溶性フタロシアニンを使用した固体撮像素子用のカラーフィルターが種々提案されている(例えば特許文献3参照)。
本発明の目的は、色純度が良好で、耐光性に優れ、継時による増粘が抑制された染料含有感光性組成物、並びに耐光性に優れたカラーフィルター及びその製造方法を提供することにある。
即ち、本発明の目的は以下の手段により達成されるものである。
<2> 前記遷移金属錯体における配位子1個の分子量が20以上300未満であることを特徴とする<1>に記載の染料含有感光性組成物である。
<5> 前記感光性化合物がオキシム系光重合開始剤であることを特徴とする<1>〜<4>のいずれか1つに記載の染料含有感光性組成物である。
一般式(II−1)中、Rc2は、脂肪族基、アリール基、ヘテロ環基、アシル基、イミド基、アゾ基、アシルオキシ基、アシルアミノ基、N−アルキルアシルアミノ基、脂肪族オキシ基、アリールオキシ基、ヘテロ環オキシ基、脂肪族オキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、ヘテロ環オキシカルボニル基、カルバモイル基、脂肪族スルホニル基、アリールスルホニル基、ヘテロ環スルホニル基、脂肪族スルホニルオキシ基、アリールスルホニルオキシ基、ヘテロ環スルホニルオキシ基、スルファモイル基、脂肪族スルホンアミド基、アリールスルホンアミド基、ヘテロ環スルホンアミド基、アミノ基、脂肪族アミノ基、アリールアミノ基、ヘテロ環アミノ基、脂肪族オキシカルボニルアミノ基、アリールオキシカルボニルアミノ基、ヘテロ環オキシカルボニルアミノ基、脂肪族スルフィニル基、アリールスルフィニル基、脂肪族チオ基、アリールチオ基、ヘテロ環チオ、ヒドロキシ基、シアノ基、スルホ基、カルボキシル基、脂肪族オキシアミノ基、アリールオキシアミノ基、カルバモイルアミノ基、スルファモイルアミノ基、ハロゲン原子、スルファモイルカルバモイル基、カルバモイルスルファモイル基、ジ脂肪族オキシフォスフィニル基、ジアリールオキシフォスフィニル基を表す。
一般式(II−1)中、Mは、2個の水素原子、2価の金属原子、2価の金属酸化物、2価の金属水酸化物、または2価の金属塩化物を表す。
一般式(II−1)中、cmは、0、1または2を表し、cnは0または1〜5の整数を表し、4つのcnは同一でも異なってもよい。但し、cnの1つは1〜5の整数を表し、分子中の複数のRc1は同一でも異なっていてもよい。
一般式(II−1)中、cr1、cr2、cr3およびcr4は0または1を表し、cr1+cr2+cr3+cr4≧1を満たす。
一般式(II−1)中、cpは0〜4の整数を表す。但し、cp+cr1、cp+cr2、cp+cr3、cp+cr4は、いずれも0〜4の整数を表す。Rc2が分子中に複数存在している場合、複数のRc2は同一でも異なっていてもよい。〕
前記一般式(II−1)において、全部の前記Rc1が、置換もしくは無置換のカルバモイル基、または、置換もしくは無置換の脂肪族オキシカルボニル基であり、前記MがCuであり、前記cmが0であり、全部の前記cnが1であり、前記cr1、前記cr2、前記cr3および前記cr4が1であり、前記cpが0であることがより好ましい。
〔一般式(III−2)中、R101は前記一般式(III)におけるR1と同義であり、R102〜R104は前記一般式(III)におけるR2〜R4と同義であり、R106は前記一般式(III)におけるR6と同義である。R9〜R14は各々独立に水素原子又は置換基を表す。R108は水素原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基、又はヘテロ環基を表す。〕
<9> 前記一般式(III−2)において、R101がアルキル基であり、R102、R103、及びR104が、それぞれ独立に、水素原子又は無置換のアルキル基であり、R106が、置換又は無置換のアルキル基であり、R108が、置換アルキル基又は置換アリール基であり、R9、R10、R11、R12、R13、及びR14が、各々独立に、水素原子又は無置換のアルキル基である<8>に記載の染料含有感光性組成物である。
<10> 前記遷移金属錯体の遷移金属が第4周期のものであることを特徴とする<1>〜<9>のいずれか1つに記載の染料含有感光性組成物である。
<11> 前記遷移金属錯体の遷移金属が2価の金属イオンであることを特徴とする<1>〜<10>のいずれか1つに記載の染料含有感光性組成物である。
<13> <1>〜<11>のいずれか1つに記載の染料含有感光性組成物を支持体上に塗布して塗布膜を形成し、該塗布膜をマスクを通して露光し、現像してパターンを形成する工程を有することを特徴とするカラーフィルターの製造方法である。
本発明の染料含有感光性組成物(以下、「本発明の組成物」という場合がある。)は、フタロシアニン化合物及び後述の一般式(I)で表される色素化合物の少なくとも一方(以下、「特定色素化合物」ともいう)と、感光性化合物と、可視光領域(380nm〜780nm)におけるモル吸光係数εが5000未満である遷移金属錯体と、を少なくとも含み、全固形成分中における前記フタロシアニン化合物及び前記一般式(I)で表される色素化合物の総含有量が20質量%以上70質量%以下であり、アルカリ可溶性樹脂を含有しない、又は全固形成分中におけるアルカリ可溶性樹脂の含有量が10.0質量%以下であることを特徴とする。
本発明において染料成分とは、本発明の必須成分であるフタロシアニン化合物及び後述の一般式(I)で表される色素化合物の少なくとも一方(特定色素化合物)と、任意成分である、前記特定色素化合物以外の他の染料とを含めた成分を意味する。
本発明において遷移金属錯体は染料成分には含まれず、前記特定色素化合物は遷移金属錯体には含まれない。
<フタロシアニン化合物、一般式(I)で表される色素化合物>
本発明の染料含有感光性組成物は、着色剤として、フタロシアニン化合物及び一般式(I)で表される色素化合物の少なくとも一方(特定色素化合物)(好ましくは、有機溶剤に可溶なフタロシアニン染料)の少なくとも一種を含有する。フタロシアニン化合物及び一般式(I)で表される色素化合物の少なくとも一方であれば、特に制限なく使用することができる。
例えば、有機溶剤に可溶なフタロシアニン染料としては、特開平5−333207号公報、特開平6−51115号公報、特開平6−194828号公報に記載の染料が挙げられる。特に好ましい前記特定色素化合物としては、下記一般式(I)で表される色素化合物、又は下記一般式(II)で表される色素化合物が挙げられる。
次に、一般式(I)で表される色素化合物について説明する。下記一般式(I)で表される色素化合物は、モル吸光係数εおよび色価の良好な色素化合物であり、高い耐光性と高い耐熱性とを同時に満足する化合物である。
特にR1およびR2の少なくとも一方が、下記式(I−a)で表される置換アルキル基である場合のテトラアザポルフィリン化合物が好ましい。
前記Rc1で表されるアリールチオ基としては、無置換でも置換基を有していてもよく、総炭素数6〜22のアリールチオ基が好ましく、総炭素数6〜14のアリールチオ基が好ましい。例えば、フェニルチオ基、2−t−ブチルチオ基等が挙げられる。
前記Rc1で表されるアリールスルホニル基としては、無置換でも置換基を有していてもよく、総炭素数6〜16のアリールスルホニル基が好ましく、総炭素数6〜12のアリールスルホニル基がより好ましい。例えば、ベンゼンスルホニル基、4−t−ブチルベンゼンスルホニル基、4−トルエンスルホニル基、2−トルエンスルホニル基等が挙げられる。
また、cr1、cr2、cr3及びcr4は、0または1を表し、cr1+cr2+cr3+cr4≧1を満たす。中でも、cr1+cr2+cr3+cr4が3または4である態様が好ましい。
なお、一般式(II−1)におけるRc1、M、cm、cn並びにcr1、cr2、cr3及びcr4は、前記一般式(II)おける場合と同義であり、好ましい態様も同様である。
本発明では、上記のフタロシアニン化合物及び一般式(I)で表される色素化合物以外にも、特に制限はなく、他の染料として、従来カラーフィルター用として公知の染料(好ましくは有機溶剤可溶性染料)を併用して使用できる。
例えば、特開昭64−90403号公報、特開昭64−91102号公報、特開平1−94301号公報、特開平6−11614号公報、特登2592207号、米国特許第4,808,501号明細書、米国特許第5,667,920号明細書、米国特許第5,059,500号明細書、特開平6−35183号公報、等に開示されている色素が使用できる。化学構造としては、トリフェニルメタン系、アントラキノン系、ベンジリデン系、オキソノール系、シアニン系、フェノチアジン系、ピロロピラゾールアゾメチン系、キサンテン系、ベンゾピラン系、インジゴ系、等の染料が使用できる。特に好ましくは、ピラゾールアゾ系、アニリノアゾ系、ピラゾロトリアゾールアゾ系、ピリドンアゾ系、アンスラピリドン系の染料である。
その他、直接染料、塩基性染料、媒染染料、酸性媒染染料、アゾイック染料等を使用できる。
上記のうち、酸性染料について中心に説明する。酸性染料は、スルホン酸やカルボン酸やフェノール性水酸基等の酸性基を有する色素であれば特に限定されないが、有機溶剤や現像液に対する溶解性、塩基性化合物との塩形成性、吸光度、染料含有感光性組成物中の他の成分との相互作用、耐光性、耐熱性等の必要とされる性能の全てを考慮して選択される。
acid alizarin violet N;
acid black 1,2,24,48;
acid blue 1,7,9,15,18,23,25,27,29,40,42,45,51,62,70,74,80,83,86,87,90,92,96,103,112,113,120,129,138,147,150,158,171,182,192,210,242,243,256,259,267,278,280,285,290,296,315,324:1,335,340;
acid chrome violet K;
acid Fuchsin;
acid green 1,3,5,9,16,25,27,50,58,63,65,80,104,105,106,109;
acid orange 6,7,8,10,12,26,50,51,52,56,62,63,64,74,75,94,95107,108,169,173;
acid violet 6B,7,9,17,19;
acid yellow 1,3,7,9,11,17,23,25,29,34,36,38,40,42,54,65,72,73,76,79,98,99,111,112,113,114,116,119,123,128,134,135,138,139,140,144,150,155,157,160,161,163,168,169,172,177,178,179,184,190,193,196,197,199,202,203,204,205,207,212,214,220,221,228,230,232,235,238,240,242,243,251;
Direct Orange 34,39,41,46,50,52,56,57,61,64,65,68,70,96,97,106,107;
Direct Red 79,82,83,84,91,92,96,97,98,99,105,106,107,172,173,176,177,179,181,182,184,204,207,211,213,218,220,221,222,232,233,234,241,243,246,250;
Direct Violet 47,52,54,59,60,65,66,79,80,81,82,84,89,90,93,95,96,103,104;
Direct Green 25,27,31,32,34,37,63,65,66,67,68,69,72,77,79,82;
Mordant Yellow 5,8,10,16,20,26,30,31,33,42,43,45,56,50,61,62,65;
Mordant Orange 3,4,5,8,12,13,14,20,21,23,24,28,29,32,34,35,36,37,42,43,47,48;
Mordant Violet 2,4,5,7,14,22,24,30,31,32,37,40,41,44,45,47,48,53,58;
Mordant Blue 2,3,7,8,9,12,13,15,16,19,20,21,22,23,24,26,30,31,32,39,40,41,43,44,48,49,53,61,74,77,83,84;
Mordant Green 1,3,4,5,10,15,19,26,29,33,34,35,41,43,53;
Food Yellow 3;
及びこれらの染料の誘導体が挙げられる。
acid black 24;
acid blue 23,25,29,62,80,86,87,92,138,158,182,243,324:1;
acid orange 8,51,56,74,63;
acid red 1,4,8,34,37,42,52,57,80,97,114,143,145,151,183,217,249;
acid violet 7;
acid yellow 17,25,29,34,42,72,76,99,111,112,114,116,134,155,169,172,184,220,228,230,232,243;
Acid Green 25;
などの染料及びこれらの染料の誘導体が好ましい。
酸性染料と含窒素化合物との塩を形成する方法は、酸性染料の溶解性改良(有機溶剤への溶解性付与)や、耐熱性及び耐光性改良に効果的な場合がある。
また、酸性染料と塩を形成する含窒素化合物、及び酸性染料とアミド結合を形成する含窒素化合物については、塩またはアミド化合物の有機溶剤や現像液に対する溶解性、塩形成性、染料の吸光度・色価、染料含有感光性組成物中の他の成分との相互作用、着色剤としての耐熱性及び耐光性等の全てを勘案して選択される。吸光度・色価の観点のみで選択する場合には、前記含窒素化合物としてはできるだけ分子量の低いものが好ましく、中でも分子量300以下のものが好ましく、分子量280以下のものがより好ましく、分子量250以下のものが特に好ましい。
一般式(III)におけるR1は水素原子又は置換基を表し、R1で表される置換基は、ハロゲン原子(例えば、フッ素、塩素、臭素)、アルキル基(好ましくは炭素数1〜48の、直鎖、分岐鎖、又は環状のアルキル基で、例えば、メチル、エチル、プロピル、イソプロピル、ブチル、t−ブチル、ペンチル、ヘキシル、ヘプチル、オクチル、2−エチルヘキシル、ドデシル、ヘキサデシル、シクロプロピル、シクロペンチル、シクロヘキシル、1−ノルボルニル、1−アダマンチル)、アルケニル基(好ましくは炭素数2〜48のアルケニル基で、例えば、ビニル、アリル、3−ブテン−1−イル)、アリール基(好ましくは炭素数6〜48のアリール基で、例えば、フェニル、ナフチル)、ヘテロ環基(好ましくは炭素数1〜32のヘテロ環基で、例えば、2−チエニル、4−ピリジル、2−フリル、2−ピリミジニル、1−ピリジル、2−ベンゾチアゾリル、1−イミダゾリル、1−ピラゾリル、ベンゾトリアゾール−1−イル)、シリル基(好ましくは炭素数3〜38のシリル基で、例えば、トリメチルシリル、トリエチルシリル、トリブチルシリル、t−ブチルジメチルシリル、t−ヘキシルジメチルシリル)、ヒドロキシル基、シアノ基、ニトロ基、アルコキシ基(好ましくは炭素数1〜48のアルコキシ基で、例えば、メトキシ、エトキシ、1−ブトキシ、2−ブトキシ、イソプロポキシ、t−ブトキシ、ドデシルオキシ、シクロアルキルオキシ基で、例えば、シクロペンチルオキシ、シクロヘキシルオキシ)、アリールオキシ基(好ましくは炭素数6〜48のアリールオキシ基で、例えば、フェノキシ、1−ナフトキシ)、ヘテロ環オキシ基(好ましくは炭素数1〜32のヘテロ環オキシ基で、例えば、1−フェニルテトラゾール−5−オキシ、2−テトラヒドロピラニルオキシ)、シリルオキシ基(好ましくは炭素数1〜32のシリルオキシ基で、例えば、トリメチルシリルオキシ、t−ブチルジメチルシリルオキシ、ジフェニルメチルシリルオキシ)、アシルオキシ基(好ましくは炭素数2〜48のアシルオキシ基で、例えば、アセトキシ、ピバロイルオキシ、ベンゾイルオキシ、ドデカノイルオキシ)、アルコキシカルボニルオキシ基(好ましくは炭素数2〜48のアルコキシカルボニルオキシ基で、例えば、エトキシカルボニルオキシ、t−ブトキシカルボニルオキシ、シクロアルキルオキシカルボニルオキシ基で、例えば、シクロヘキシルオキシカルボニルオキシ)、アリールオキシカルボニルオキシ基(好ましくは炭素数7〜32オアリールオキシカルボニルオキシ基で、例えば、フェノキシカルボニルオキシ)、カルバモイルオキシ基(好ましくは炭素数1から48のカルバモイルオキシ基で、例えば、N,N−ジメチルカルバモイルオキシ、N−ブチルカルバモイルオキシ、N−フェニルカルバモイルオキシ、N−エチル−N−フェニルカルバモイルオキシ)、スルファモイルオキシ基(好ましくは炭素数1〜32のスルファモイルオキシ基で、例えば、N,N−ジエチルスルファモイルオキシ、N−プロピルスルファモイルオキシ)、アルキルスルホニルオキシ基(好ましくは炭素数1〜38のアルキルスルホニルオキシ基で、例えば、メチルスルホニルオキシ、ヘキサデシルスルホニルオキシ、シクロヘキシルスルホニルオキシ)、アリールスルホニルオキシ基(好ましくは炭素数6〜32のアリールスルホニルオキシ基で、例えば、フェニルスルホニルオキシ)、
一般式(III)のR6及びR7が更に置換可能な基である場合には、前記R2〜R5で表される置換基で説明した置換基で置換されていてもよく、2個以上の置換基で置換されている場合にはそれらの置換基は同一であっても異なっていてもよい。
R8で表される置換基は前記R2〜R5で表される置換基で説明した置換基と同義であり、R8で表される置換基が更に置換可能な基である場合には、前記R2〜R5で表されるで説明した置換基で置換されていてもよく、2個以上の置換基で置換されている場合にはそれらの置換基は同一であっても異なっていてもよい。
一般式(III−1)におけるR9〜R14は、各々独立に水素原子又は置換基を表し、R9〜R14で表される置換基の好ましい範囲は、前記R2〜R5で表される置換基で説明した置換基と同様である。
R9〜R14で表される置換基が更に置換可能な基である場合には、前記R2〜R5で表される置換基で説明した置換基で置換されていてもよく、2個以上の置換基で置換されている場合にはそれらの置換基は同一であっても異なっていてもよい。
一般式(III−2)におけるR108は、水素原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基、またはヘテロ環基を表し、R108のアルキル基、アルケニル基、アリール基、及びヘテロ環基の好ましい範囲は、前記一般式(III)中のR1で表される置換基で説明したアルキル基、アルケニル基、アリール基、およびヘテロ環基と同義である。
R108は更に、前記R2〜R5で表される置換基で説明した置換基で置換されていてもよく、2個以上の置換基で置換されている場合にはそれらの置換基は同一であっても異なっていてもよい。
一般式(III−2)におけるR101は、アルキル基、アルケニル基、アリール基、ヘテロ環基、ヒドロキシル基、シアノ基、アルコキシ基、アリールオキシ基、ヘテロ環オキシ基、カルバモイルオキシ基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、カルバモイル基、イミド基、アゾ基、アルキルチオ基、アリールチオ基、ヘテロ環チオ基、アルキルスルフィニル基、アリールスルフィニル基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、スルファモイル基、スルホ基、ホスホニル基、ホスフィノイルアミノ基で表され、R102、R103、及びR104は各々独立に、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基、ヘテロ環基、アルコキシ基、アリールオキシ基、アルコキシカルボニル基、カルバモイル基、アミノ基、アニリノ基、カルボンアミド基、ウレイド基、アルコキシカルボニルアミノ基、スルホンアミド基、スルファモイルアミノ基、アゾ基、アルキルチオ基、アリールチオ基、ヘテロ環チオ基、アルキルスルフィニル基、アリールスルフィニル基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、スルファモイル基、スルホ基、ホスホニル基、ホスフィノイルアミノ基で表され、R106はアルキル基、アルケニル基、アリール基、又はヘテロ環基で表され、R108は水素原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基、又はヘテロ環基で表され、R9〜R14は各々独立に、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アルコキシ基で表される染料が好ましい。
本発明の染料含有感光性組成物は感光性化合物の少なくとも1種を含有する。
該感光性化合物は光重合開始剤および/または光酸発生剤であることが好ましい。
まず光重合開始剤について説明する。光重合開始剤は重合性を有するモノマーを重合させられるものであれば特に限定されないが、特性、開始効率、吸収波長、入手性、コスト等の観点で選ばれることが好ましい。
上記光重合開始剤としては、ハロメチルオキサジアゾール化合物及びハロメチル−s−トリアジン化合物から選択される少なくとも一つの活性ハロゲン化合物、3−アリール置換クマリン化合物、ロフィン2量体、ベンゾフェノン化合物、アセトフェノン化合物およびその誘導体、シクロペンタジエン−ベンゼン−鉄錯体およびその塩、オキシム系化合物等が挙げられる。
具体的には、米国特許第2,367,660号明細書に開示されているビシナールポリケトルアルドニル化合物、米国特許第2,367,661号および第2,367,670号明細書に開示されているα−カルボニル化合物、米国特許第2,448,828号明細書に開示されているアシロインエーテル、米国特許第2,722,512号明細書に開示されているα−炭化水素で置換された芳香族アシロイン化合物、米国特許第3,046,127号および第2,951,758号明細書に開示されている多核キノン化合物、米国特許第3,549,367号明細書に開示されているトリアリルイミダゾールダイマー/p−アミノフェニルケトンの組合せ、特公昭51−48516号公報に開示されているベンゾチアゾール系化合物/トリハロメチール−s−トリアジン系化合物等を挙げることができる。
その具体例として、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、9−フルオレノン、2−クロロ−9−フルオレノン、2−メチル−9−フルオレノン、9−アントロン、2−ブロモ−9−アントロン、2−エチル−9−アントロン、9,10−アントラキノン、2−エチル−9,10−アントラキノン、2−t−ブチル−9,10−アントラキノン、2,6−ジクロロ−9,10−アントラキノン、キサントン、2−メチルキサントン、2−メトキシキサントン、2−エトキシキサントン、チオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、アクリドン、10−ブチル−2−クロロアクリドン、ベンジル、ジベンザルアセトン、p−(ジメチルアミノ)フェニルスチリルケトン、p−(ジメチルアミノ)フェニル−p−メチルスチリルケトン、ベンゾフェノン、p−(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン(またはミヒラーケトン)、p−(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、ベンゾアントロン等や特公昭51−48516号公報記載のベンゾチアゾール系化合物等や、チヌビン1130、同400等が挙げられる。
その他、下記一般式(IV)で示される化合物も好適に使用することができる。
本発明の染料含有感光性組成物は遷移金属錯体の少なくとも1種を含有する。
本発明における遷移金属錯体は、遷移金属原子あるいはイオンを中心にして陰性、中性あるいは陽性の単座配位子または多座配位子が配位したものである。
また、前述のフタロシアニン化合物及び一般式(I)で表される色素化合物は本発明にいう遷移金属錯体には含まれないものとする。
これらの配位子の中でも好ましいものとして、カルボニル、カルボナト、オキサラト、アセタト及びこれらの誘導体が挙げられる。特に好ましい配位子としては、アセタト及びこれらの誘導体が挙げられる。最も好ましくは、アセタトのフッ素置換体及びアルキル基置換体が挙げられる。
α−メチルフェロセンメタノール、塩化チタン(III)テトラヒドロフラン錯体、塩化チタン(IV)テトラヒドロフラン錯体、塩化ジルコニウム(IV)テトラヒドロフラン錯体、塩化ハフニウムテトラヒドロフラン錯体、塩化バナジウム(III)テトラヒドロフラン錯体、1−ブタンチオール銅(I)塩、テトラ(ジメチルアミノ)チタン、テトラ(ジエチルアミノ)チタン、チオフェノール銅(I)塩、μ−ジクロロテトラエチレンジロジウム、トリクロロ(エチレン)白金(II)酸カリウム塩一水和物、アリルパラジウムクロライド二量体、クロロ(1,5−ヘキサジエン)ロジウム(I)二量体、クロロビス(シクロオクテン)ロジウム(I)二量体、クロロビス(シクロオクテン)イリジウム(I)二量体、(1,5−シクロオクタジエン)ジメチル白金(II)、ジクロロ(1,5−シクロオクタジエン)ルテニウム(II)ポリマー、ジクロロ(1,5−シクロオクタジエン)パラジウム(II)、ジクロロ(1,5−シクロオクタジエン)白金(II)、ジブロモ(1,5−シクロオクタジエン)白金(II)、(1,5−シクロオクタジエン)ジヨード白金(II)、ビス(1,5−シクロオクタジエン)ロジウム(I)テトラフルオロホウ素、ビス(1,5−シクロオクタジエン)ニッケル(0)、クロロ(1,5−シクロオクタジエン)ロジウム(I)二量体、クロロ(1,5−シクロオクタジエン)イリジウム(I)二量体、(ビシクロ[2.2.1]ヘプタ−2,5−ジエン)ジクロロルテニウム(II)ポリマー、ビス(ビシクロ[2.2.1]ヘプタ−2,5−ジエン)ロジウム(I)パークロレート、(ビシクロ[2.2.1]ヘプタ−2,5−ジエン)クロロロジウム(I)二量体、(ビシクロ[2.2.1]ヘプタ−2,5−ジエン)ジクロロパラジウム(II)、
本発明の染料含有感光性組成物は、硬化剤としてラジカル重合性モノマーの少なくとも一種を含有することが好ましい。ラジカル重合性モノマーとしては、常圧下で100℃以上の沸点を有し、少なくとも1つの付加重合可能なエチレン性不飽和基を持つ化合物が好ましい。
前記一般式(VI−1)、(VI−2)で表されるラジカル重合性モノマーのうち、具体的例として、下記式(M−1)〜(M−12)で表されるものが好適に挙げられ、中でも、式(M−2)、式(M−3)、及び式(M−5)が好ましい。
メラミン化合物として、例えば、ヘキサメチロールメラミン、ヘキサメトキシメチルメラミン、ヘキサメチロールメラミンのメチロール基の1〜5個がメトキシメチル化した化合物またはその混合物、ヘキサメトキシエチルメラミン、ヘキサアシロキシメチルメラミン、ヘキサメチロールメラミンのメチロール基の1〜5個がアシロキシメチル化した化合物またはその混合物などが挙げられる。
また、骨格となるナフトール化合物、ヒドロキシアントラセン化合物も、OH基のオルト位、パラ位が全て置換されている化合物が好ましい。
骨格となるフェノール化合物の3位または5位は未置換であってもよいし、置換基を有していてもよい。骨格となるナフトール化合物においても、OH基のオルト位以外は未置換であってもよいし、置換基を有していてもよい。
また、アルコキシメチル基含有化合物は、上記メチロール基含有化合物をアルコール中で塩酸、硫酸、硝酸、メタンスルホン酸等の酸触媒の存在下で加熱する事により得られる。
アシロキシメチル基含有化合物は、上記メチロール基含有化合物を塩基性触媒の存在下アシルクロリドと反応させることにより得られる。
アシロキシメチル基含有化合物としては、例えば、上記メチロール基含有化合物のメチロール基を、一部または全部アシロキシメチル化した化合物が挙げられる。
これらは単独で使用してもよく、組み合わせて使用してもよい。
次に、アルカリ可溶性樹脂について説明する。本発明における染料含有感光性組成物は、アルカリ可溶性樹脂を含有してもよい。本発明に使用する樹脂(以下バインダーと呼ぶこともある)はアルカリ可溶性であれば特に限定されないが、耐熱性、現像性、入手性等の観点から選ばれることが好ましい。
感光性化合物として光重合開始剤を使用した場合は、アルカリ可溶性のバインダーとしては、線状有機高分子重合体で、有機溶剤に可溶で、弱アルカリ水溶液で現像できるものが好ましい。このような線状有機高分子重合体としては、側鎖にカルボン酸を有するポリマー、例えば特開昭59−44615号、特公昭54−34327号、特公昭58−12577号、特公昭54−25957号、特開昭59−53836号、特開昭59−71048号明細書に記載されているようなメタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体等があり、また同様に側鎖にカルボン酸を有する酸性セルロース誘導体が有用である。この他に水酸基を有するポリマーに酸無水物を付加させたもの等やポリヒドロキシスチレン系樹脂、ポリシロキサン系樹脂、ポリ(2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート)、ポリビニールピロリドンやポリエチレンオキサイド、ポリビニルアルコール、等も有用である。
その他親水性を有するモノマーとしては、テトラヒドロフルフリル基、燐酸部位、燐酸エステル部位、4級アンモニウム塩の部位、エチレンオキシ鎖、プロピレンオキシ鎖、スルホン酸およびその塩、モルホリノエチル基等を含んだモノマー等も有用である。
また、ネガ型に構成される場合は、架橋効率を向上させるために、重合性基を側鎖に有してもよく、アリル基、(メタ)アクリル基、アリルオキシアルキル基等を側鎖に含有したポリマー等も有用である。これらの重合性基を含有するポリマーの例を以下に示すが、COOH基、OH基、アンモニウム基等のアルカリ可溶性基と炭素炭素不飽和結合が含まれていれば下記に限定されない。OH基を有する例えば2−ヒドロキシエチルアクリレートと、COOH基を含有する例えばメタクリル酸と、およびこれらと共重合可能なアクリル系もしくはビニル系化合物等のモノマーとの共重合体に、OH基と反応性を有するエポキシ環と炭素炭素不飽和結合基を有する化合物 例えばグリシジルアクリレートのような化合物を反応させて得られる化合物等が使用できる。OHとの反応ではエポキシ環の他に酸無水物、イソシアネート基を有し、アクリロイル基を有する化合物も使用できる。また特開平6−102669号、特開平6−1938号に開示されるエポキシ環を有する化合物にアクリル酸のような不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物に、飽和もしくは不飽和多塩基酸無水物を反応させて得られる反応物も使用できる。COOHのようなアルカリ可溶化基と炭素炭素不飽和基を併せ持つ化合物として例えばダイヤナールNRシリーズ(三菱レイヨン株式会社製)、Photomer6173(COOH含有Polyurethane acrylic oligomer。Diamond Shamrock Co. Ltd.,製)、ビスコートR−264、KSレジスト106(いずれも大阪有機化学工業株式会社製)、サイクロマーPシリーズ、プラクセル CF200シリーズ(いずれもダイセル化学工業株式会社製)、Ebecryl3800(ダイセルユーシービー株式会社製)などが挙げられる。
上記バインダーの本発明の組成物中の使用量は、本発明の組成物中の全固形成分に対して10.0質量%以下であり、8.0質量%以下がさらに好ましく、6.0質量%以下が特に好ましい。感度向上の観点からは使用しないことが最も好ましい。
本発明に使用することができる溶剤は組成物の溶解性、塗布性を満足すれば基本的に特に限定されないが、特に染料、バインダーの溶解性、塗布性、安全性を考慮して選ばれることが好ましい。
本発明の組成物を調製する際に使用する溶剤としては、エステル類、例えば酢酸エチル、酢酸−n−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、アルキルエステル類、乳酸メチル、乳酸エチル、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、
3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、2−オキシプロピオン酸メチル、2−オキシプロピオン酸エチル、2−オキシプロピオン酸プロピル、2−メトキシプロピオン酸メチル、2−メトキシプロピオン酸エチル、2−メトキシプロピオン酸プロピル、2−エトキシプロピオン酸メチル、2−エトキシプロピオン酸エチル、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、2−メトキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−エトキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、
本発明のカラーフィルターは本発明の組成物を用いて製造される。
まず、本発明の組成物を支持体上に回転塗布、流延塗布、ロール塗布等の塗布方法により塗布して感光性組成物層を形成し、所定のマスクパターンを介して露光し、現像液で現像し、着色されたパターンを形成する。ここで、必要により上記レジストパターンを加熱および/または露光により硬化する工程を含んでいてもよい。
以上の工程を所望の色相数(例えば赤(R)、緑(G)、青(B)の3色)にあわせて繰り返すことにより、本発明のカラーフィルターを作製することができる。
この際に使用される放射線としては、特にg線、h線、i線等の紫外線が好ましく用いられる。
また、これらの基板上に必要により、上部の層との密着改良、物質の拡散防止あるいは基板表面の平坦化の為に、下塗り層を設けてもよい。
有機溶剤としては、本発明の組成物を調整する際に使用される前述の溶剤が挙げられる。
1)レジスト液の調製
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ・・・19.20部
(PGMEA)
・乳酸エチル ・・・36.67部
・樹脂 ・・・30.51部
〔メタクリル酸ベンジル/メタクリル酸/メタクリル酸−2−ヒドロキシエチル共重合体(モル比=60:22:18)の40%PGMEA溶液〕
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート ・・・12.20部
(光重合性化合物)
・重合禁止剤(p−メトキシフェノール) ・・・ 0.0061部
・フッ素系界面活性剤 ・・・ 0.83部
(F−475、大日本インキ化学工業(株)製)
・光重合開始剤 ・・・ 0.586部
(TAZ−107(トリハロメチルトリアジン系の光重合開始剤)、みどり化学社製)
を混合して溶解し、レジスト液を調製した。
6inchシリコンウエハーをオーブン中で200℃のもと30分加熱処理した。次いで、このシリコンウエハー上に上記レジスト液を乾燥膜厚2μmになるように塗布し、更に220℃のオーブン中で1時間加熱乾燥させて下塗り層を形成し、下塗り層付シリコンウエハー基板を得た。
下記組成A−1の化合物を混合して溶解し、染料含有感光性組成物A−1を調製した。
〜組成A−1〜
・シクロヘキサノン ・・・ 80部
・特定色素化合物〔既述の例示化合物28〕 ・・・ 6.0部
・有機溶剤可溶性染料(下記化合物a) ・・・ 4.0部
・ラジカル重合性モノマーの既述の例示化合物(M−2)とジペンタエリスリトールヘキサアクリレートの3:7の混合物 ・・・ 7.2部
・オキシム系光重合開始剤 ・・・ 2.5部
(CGI−242(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製))
・ビス(ヘキサフルオロアセチルアセトナト)コバルト(II)
(遷移金属錯体) ・・・ 0.3部
〜経時による増粘抑制の評価〜
前記3)で調製した染料含有感光性組成物A−1を、前記2)で得られた下塗り層付シリコンウエハー基板の下塗り層上に塗布し、光硬化性の塗布膜を形成した。そして、この塗布膜の乾燥膜厚が0.8μmになるように、100℃のホットプレートを用いて120秒間加熱処理(プリベーク)を行なった。次いで、露光装置を使用して、塗布膜の全面を365nmの波長光を2000mJ/cm2の露光量にて照射した。そして、露光後の塗布膜の膜厚を触針式膜厚計Dektak 6M(ビーコインスツルメンツ社製)にて測定した。その後、染料含有感光性組成物A−1を室温下で1ヶ月経時保存した後、前記同様の方法により、再び塗布膜を形成して膜厚を測定し、経時後の膜厚B(下塗りによる膜厚を除いたもの)の経時保存前の膜厚A(下塗りによる膜厚を除いたもの)に対する変化率(%;B/A×100)を算出することにより、経時による増粘抑制を評価する指標とした。膜厚変化率が小さい方が、経時による増粘を抑制する効果に優れていることを示す。
膜厚変化率が110%以下であれば実用レベルである。
前記3)で得られた染料含有感光性組成物A−1を、ガラス基板上に膜厚が1.0μmになるようにスピンコーターを用いて塗布し、120℃で120秒間プリベークした。
次いで、露光装置を使用して、塗布膜の全面に365nmの波長で1000mJ/cm2の露光量で照射した。照射後、50%CD−2000(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)現像液を使用して、23℃で60秒間現像した。次いで、流水で20秒間リンスし、スプレー乾燥した後、さらに200℃で300秒間加熱(ポストベーク)を行って着色フィルタ膜を得た。
上記より得た着色フィルタ膜にUVカットフィルターをつけ、この着色ガラス基板に対し、キセノンランプを10万luxで20時間照射(200万lux・h相当)した後、パターン像における色度変化、すなわちΔEab値を測定し、該測定値に基づいて評価した。ΔEab値の小さい方が耐光性に優れることを示す。ΔEab値が5より小さければ実用レベルである。
評価結果は下記表1に示す。
上記耐光性の評価で説明した工程と同様の工程により着色フィルタ膜1を得た。次に、遷移金属錯体を添加しなかったことを除き該着色フィルタ膜1と同様の工程により着色フィルタ膜2を得た。着色フィルタ膜1と着色フィルタ膜2との色度差、すなわちΔEabを測定し、該測定値に基づいて評価した。ΔEab値の小さい方が錯体添加による分光変化が少ないことを示す。ΔEab値が5より小さければ実用レベルである。
実施例1において、染料含有感光性組成物A−1の調製に用いた組成A−1中の特定色素化合物、特定色素化合物以外の有機溶剤可溶性染料、及び遷移金属錯体を下記表1に示すようにそれぞれ変更したこと以外、実施例1と同様にして、染料含有感光性組成物A−2〜A−14を調製し、カラーフィルターを作製するとともに評価を行なった。
評価結果は下記表1に示す。
一方、遷移金属錯体を含有しない染料含有感光性組成物(比較例1)は耐光性に劣り、経時による増粘が顕著であった。
さらに、実施例1〜12で調製した染料含有感光性組成物を1ヶ月経時保存した後に、前記2)で得られた下塗り層付シリコンウエハー基板の下塗り層上に塗布し、光硬化性の塗布膜を形成した。そして、この塗布膜の乾燥膜厚が0.8μmになるように、100℃のホットプレートを用いて120秒間加熱処理(プリベーク)を行なった。続いて、形成された塗布膜に対し、i線ステッパ露光装置FPA−3000i5+(Canon(株)製)を使用して365nmの波長でパターンが2μm四方の黄色用Islandパターンマスクを通して40〜520mJ/cm2の露光量で照射した。その後、照射された塗布膜が形成されているシリコンウエハー基板をスピン・シャワー現像機(DW−30型;(株)ケミトロニクス製)の水平回転テーブル上に載置し、CD−2000(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)を用いて23℃で60秒間パドル現像を行ない、シリコンウエハー基板に着色パターンを形成することができた。
これに対し、比較例1で調製した染料含有感光性組成物を用いて前記同様の操作を行なった場合には現像ができず、着色パターンを形成することはできなかった。
5)アルカリ可溶性樹脂を含有した染料含有感光性組成物の調製
下記組成B−1の化合物を混合して溶解し、染料含有感光性組成物B−1を調製した。
〜組成B−1〜
・シクロヘキサノン ・・・ 80部
・バインダー{p−クレゾールノボラック樹脂(Mw:5000)}・・・ 1.1部
・特定色素化合物〔既述の例示化合物28〕) ・・・ 6.6部
・有機溶剤可溶性染料(上記化合物a) ・・・ 4.4部
・ヘキサメトキシメチルメラミン ・・・ 7.4部
・光酸発生剤(下記化合物g) ・・・ 0.5部
を混合して溶解し、レジスト溶液を調製した。
上記染料含有感光性組成物B−1の調製の組成B−1における特定色素化合物、特定色素化合物以外の有機溶剤可溶性染料及び遷移金属錯体を下記表2に示すようにそれぞれ変更するとともに、露光後に更に120℃60秒の加熱を行ったこと以外は実施例1と同様にして、カラーフィルターの作製及び評価を行った。評価結果は下記表2に示す。
一方、遷移金属錯体を含有しない染料含有感光性組成物(比較例3)は耐光性に劣り、経時による増粘が顕著であった。
Claims (12)
- フタロシアニン化合物及び下記一般式(I)で表される色素化合物の少なくとも一方と、感光性化合物と、可視光領域におけるモル吸光係数εが5000未満である遷移金属錯体と、を少なくとも含み、
全固形成分中における前記フタロシアニン化合物及び前記一般式(I)で表される色素化合物の総含有量が20質量%以上70質量%以下であり、
アルカリ可溶性樹脂を含有しない、又は全固形成分中におけるアルカリ可溶性樹脂の含有量が10.0質量%以下であることを特徴とする染料含有感光性組成物。
〔一般式(I)中、環A1、環A2、環A3及び環A4は、それぞれ独立に下記の芳香環を表し、
前記環A1、環A2、環A3及び環A4の少なくとも1つは、下記の芳香環を表す。
R1及びR2はそれぞれ独立に、水素原子または置換もしくは無置換のアルキル基を表し、mは1〜8の整数を表し、nは1〜4の整数を表す。ただしR1とR2が同時に水素原子であることはない。〕 - 前記フタロシアニン化合物が、下記一般式(II−1)で表される色素化合物及びC.I.アシッドブルー249の少なくとも一方であることを特徴とする請求項1に記載の染料含有感光性組成物。
〔一般式(II−1)中、Rc1は、ハロゲン原子、脂肪族基、アリール基、ヘテロ環基、シアノ基、カルボキシル基、カルバモイル基、脂肪族オキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、アシル基、ヒドロキシ基、脂肪族オキシ基、アリールオキシ基、アシルオキシ基、カルバモイルオキシ基、ヘテロ環オキシ基、脂肪族オキシカルボニルオキシ基、N−アルキルアシルアミノ基、カルバモイルアミノ基、スルファモイルアミノ基、脂肪族オキシカルボニルアミノ基、アリールオキシカルボニルアミノ基、脂肪族スルホニルアミノ基、アリールスルホニルアミノ基、脂肪族チオ基、アリールチオ基、脂肪族スルホニル基、アリールスルホニル基、スルファモイル基、スルホ基、イミド基、またはヘテロ環チオ基を表す。
一般式(II−1)中、Rc2は、脂肪族基、アリール基、ヘテロ環基、アシル基、イミド基、アゾ基、アシルオキシ基、アシルアミノ基、N−アルキルアシルアミノ基、脂肪族オキシ基、アリールオキシ基、ヘテロ環オキシ基、脂肪族オキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、ヘテロ環オキシカルボニル基、カルバモイル基、脂肪族スルホニル基、アリールスルホニル基、ヘテロ環スルホニル基、脂肪族スルホニルオキシ基、アリールスルホニルオキシ基、ヘテロ環スルホニルオキシ基、スルファモイル基、脂肪族スルホンアミド基、アリールスルホンアミド基、ヘテロ環スルホンアミド基、アミノ基、脂肪族アミノ基、アリールアミノ基、ヘテロ環アミノ基、脂肪族オキシカルボニルアミノ基、アリールオキシカルボニルアミノ基、ヘテロ環オキシカルボニルアミノ基、脂肪族スルフィニル基、アリールスルフィニル基、脂肪族チオ基、アリールチオ基、ヘテロ環チオ、ヒドロキシ基、シアノ基、スルホ基、カルボキシル基、脂肪族オキシアミノ基、アリールオキシアミノ基、カルバモイルアミノ基、スルファモイルアミノ基、ハロゲン原子、スルファモイルカルバモイル基、カルバモイルスルファモイル基、ジ脂肪族オキシフォスフィニル基、ジアリールオキシフォスフィニル基を表す。
一般式(II−1)中、Mは、2個の水素原子、2価の金属原子、2価の金属酸化物、2価の金属水酸化物、または2価の金属塩化物を表す。
一般式(II−1)中、cmは、0、1または2を表し、cnは0または1〜5の整数を表し、4つのcnは同一でも異なってもよい。但し、cnの1つは1〜5の整数を表し、分子中の複数のRc1は同一でも異なっていてもよい。
一般式(II−1)中、cr1、cr2、cr3およびcr4は0または1を表し、cr1+cr2+cr3+cr4≧1を満たす。
一般式(II−1)中、cpは0〜4の整数を表す。但し、cp+cr1、cp+cr2、cp+cr3、cp+cr4は、いずれも0〜4の整数を表す。Rc2が分子中に複数存在している場合、複数のRc2は同一でも異なっていてもよい。〕 - 前記一般式(II−1)において、
全部の前記Rc1が、置換もしくは無置換のカルバモイル基、または、置換もしくは無置換の脂肪族オキシカルボニル基であり、
前記MがCuであり、
前記cmが0であり、
全部の前記cnが1であり、
前記cr1、前記cr2、前記cr3および前記cr4が1であり、
前記cpが0である請求項2に記載の染料含有感光性組成物。 - 前記遷移金属錯体における配位子1個の分子量が20以上300未満であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の染料含有感光性組成物。
- 前記感光性化合物が光重合開始剤および/または光酸発生剤であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の染料含有感光性組成物。
- 更に、下記一般式(III)で表される染料、下記化合物c、及び下記化合物dのうち少なくとも一種を含むことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の染料含有感光性組成物。
〔一般式(III)中、R1は水素原子又は置換基を表し(但し、パーフロロアルキルカルボニルアミノ基、スルホンアミド基、及びスルファモイルアミノ基は除く)、R2〜R5は各々独立に水素原子又は置換基を表し、R6及びR7は、各々独立にアルキル基、アルケニル基、アリール基、又はヘテロ環基を表し、Za及びZbは各々独立に−N=、又は−C(R8)=を表す。R8は水素原子、又は置換基を表す。R2とR3、R3とR6、R4とR5、R5とR7、及び/又はR6とR7とが互いに結合して、各々独立に5員、6員、又は7員の環を形成してもよい。〕
- 前記一般式(III)中のR1が、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基、ヘテロ環基、シリル基、ヒドロキシル基、シアノ基、ニトロ基、アルコキシ基、アリールオキシ基、ヘテロ環オキシ基、シリルオキシ基、アシルオキシ基、アルコキシカルボニルオキシ基、アリールオキシカルボニルオキシ基、カルバモイルオキシ基、スルファモイルオキシ基、アルキルスルホニルオキシ基、アリールスルホニルオキシ基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、カルバモイル基、アミノ基、アニリノ基、ヘテロ環アミノ基、カルボンアミド基、ウレイド基、イミド基、アルコキシカルボニルアミノ基、アリールオキシカルボニルアミノ基、アゾ基、アルキルチオ基、アリールチオ基、ヘテロ環チオ基、アルキルスルフィニル基、アリールスルフィニル基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、スルファモイル基、スルホ基、ホスホニル基、またはホスフィノイルアミノ基を表わし、
前記一般式(III)中のR2〜R5が、各々独立に、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基、ヘテロ環基、シリル基、ヒドロキシル基、シアノ基、ニトロ基、アルコキシ基、アリールオキシ基、ヘテロ環オキシ基、シリルオキシ基、アシルオキシ基、アルコキシカルボニルオキシ基、アリールオキシカルボニルオキシ基、カルバモイルオキシ基、スルファモイルオキシ基、アルキルスルホニルオキシ基、アリールスルホニルオキシ基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、カルバモイル基、アミノ基、アニリノ基、ヘテロ環アミノ基、カルボンアミド基、ウレイド基、イミド基、アルコキシカルボニルアミノ基、アリールオキシカルボニルアミノ基、アゾ基、アルキルチオ基、アリールチオ基、ヘテロ環チオ基、アルキルスルフィニル基、アリールスルフィニル基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、スルファモイル基、スルホ基、ホスホニル基、ホスフィノイルアミノ基、パーフロロアルキルカルボニルアミノ基、スルホンアミド基、またはスルファモイルアミノ基を表わし、
前記一般式(III)中のR8が、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基、ヘテロ環基、シリル基、ヒドロキシル基、シアノ基、ニトロ基、アルコキシ基、アリールオキシ基、ヘテロ環オキシ基、シリルオキシ基、アシルオキシ基、アルコキシカルボニルオキシ基、アリールオキシカルボニルオキシ基、カルバモイルオキシ基、スルファモイルオキシ基、アルキルスルホニルオキシ基、アリールスルホニルオキシ基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、カルバモイル基、アミノ基、アニリノ基、ヘテロ環アミノ基、カルボンアミド基、ウレイド基、イミド基、アルコキシカルボニルアミノ基、アリールオキシカルボニルアミノ基、アゾ基、アルキルチオ基、アリールチオ基、ヘテロ環チオ基、アルキルスルフィニル基、アリールスルフィニル基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、スルファモイル基、スルホ基、ホスホニル基、ホスフィノイルアミノ基、パーフロロアルキルカルボニルアミノ基、スルホンアミド基、またはスルファモイルアミノ基を表わす請求項6に記載の染料含有感光性組成物。 - 前記一般式(III)で表される染料が、下記一般式(III−2)で表される染料である請求項7に記載の染料含有感光性組成物。
〔一般式(III−2)中、R101は、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基、ヘテロ環基、シリル基、ヒドロキシル基、シアノ基、ニトロ基、アルコキシ基、アリールオキシ基、ヘテロ環オキシ基、シリルオキシ基、アシルオキシ基、アルコキシカルボニルオキシ基、アリールオキシカルボニルオキシ基、カルバモイルオキシ基、スルファモイルオキシ基、アルキルスルホニルオキシ基、アリールスルホニルオキシ基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、カルバモイル基、アミノ基、アニリノ基、ヘテロ環アミノ基、カルボンアミド基、ウレイド基、イミド基、アルコキシカルボニルアミノ基、アリールオキシカルボニルアミノ基、アゾ基、アルキルチオ基、アリールチオ基、ヘテロ環チオ基、アルキルスルフィニル基、アリールスルフィニル基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、スルファモイル基、スルホ基、ホスホニル基、またはホスフィノイルアミノ基を表わし、
R102、R103、R104、R9、R10、R11、R12、R13、及びR14は、各々独立に、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基、ヘテロ環基、シリル基、ヒドロキシル基、シアノ基、ニトロ基、アルコキシ基、アリールオキシ基、ヘテロ環オキシ基、シリルオキシ基、アシルオキシ基、アルコキシカルボニルオキシ基、アリールオキシカルボニルオキシ基、カルバモイルオキシ基、スルファモイルオキシ基、アルキルスルホニルオキシ基、アリールスルホニルオキシ基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、カルバモイル基、アミノ基、アニリノ基、ヘテロ環アミノ基、カルボンアミド基、ウレイド基、イミド基、アルコキシカルボニルアミノ基、アリールオキシカルボニルアミノ基、アゾ基、アルキルチオ基、アリールチオ基、ヘテロ環チオ基、アルキルスルフィニル基、アリールスルフィニル基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、スルファモイル基、スルホ基、ホスホニル基、ホスフィノイルアミノ基、パーフロロアルキルカルボニルアミノ基、スルホンアミド基、またはスルファモイルアミノ基を表わし、
R106は、アルキル基、アルケニル基、アリール基、又はヘテロ環基を表わし、
R108は、水素原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基、又はヘテロ環基を表わす。〕 - 前記一般式(III−2)において、
R101がアルキル基であり、
R102、R103、及びR104が、それぞれ独立に、水素原子又は無置換のアルキル基であり、
R106が、置換又は無置換のアルキル基であり、
R108が、置換アルキル基又は置換アリール基であり、
R9、R10、R11、R12、R13、及びR14が、各々独立に、水素原子又は無置換のアルキル基である請求項8に記載の染料含有感光性組成物。 - ラジカル重合性モノマーを更に含有することを特徴とする請求項1〜9のいずれか1項に記載の染料含有感光性組成物。
- 請求項1〜10のいずれか1項に記載の染料含有感光性組成物を塗布して形成されたことを特徴とするカラーフィルター。
- 請求項1〜10のいずれか1項に記載の染料含有感光性組成物を支持体上に塗布して塗布膜を形成し、該塗布膜をマスクを通して露光し、現像してパターンを形成する工程を有することを特徴とするカラーフィルターの製造方法。
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