JP4624943B2 - 染料含有ネガ型感光性組成物、カラーフィルタおよびその製造方法 - Google Patents

染料含有ネガ型感光性組成物、カラーフィルタおよびその製造方法 Download PDF

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Description

本発明は、液晶表示素子や固体撮像素子に用いられるカラーフィルタを構成する着色画像の形成に好適な染料含有ネガ型硬化性組成物、並びに染料含有のカラーフィルタおよびその製造方法に関する。
液晶表示素子(LCD)や固体撮像素子(CCD、CMOSなど)に用いられるカラーフィルタを作製する方法としては、染色法、印刷法、電着法および顔料分散法が知られている。
このうち、顔料分散法は、顔料を種々の感光性組成物に分散させた着色感放射線性組成物を用いてフォトリソ法によってカラーフィルタを作製する方法であり、顔料を使用しているために光や熱等に安定であるという利点を有している。また、フォトリソ法によってパターニングするため、位置精度が高く、大画面、高精細カラーディスプレイ用カラーフィルタを作製するのに好適な方法として広く利用されてきた。
顔料分散法によりカラーフィルタを作製する場合、ガラス基板上に感放射線性組成物をスピンコーターやロールコーター等により塗布、乾燥させて塗膜を形成した後、この塗膜をパターン露光、現像することで着色された画素が形成され、この操作を所望の色相数に合わせて各色ごとに繰り返し行なうことによってカラーフィルタが得られる。
上記の顔料分散法としては、アルカリ可溶性樹脂に光重合性モノマーと光重合開始剤とを併用したネガ型感光性組成物を用いたものが開示されている(例えば、特許文献1参照)。
一方、近年では、固体撮像素子用のカラーフィルタにおいては、更なる高精細化が望まれている。しかしながら、従来の顔料分散系では、解像度を更に向上させることは困難であり、顔料の粗大粒子により色ムラが発生する等の問題があるため、固体撮像素子のように微細パターンが要求される用途には適さなかった。
かかる問題に鑑み、従来から顔料に代えて染料を使用する技術が提案されている。ところが、染料を含有する感光性組成物は一般に、顔料を用いた系に比べて低感度であるという問題がある。この問題に対し、アルカリ可溶性樹脂を添加しない方法が知られている(例えば、特許文献2参照)。
また、有機溶剤可溶性染料を用いたネガ型硬化系において、分子内に水酸基を有する化合物を添加することにより、経時による異物発生を抑制する例がある(例えば、特許文献3参照)。
特開平2−199403号公報 WO2005−083521号公報 特開2005−227722号公報
しかしながら、アルカリ可溶性樹脂の含有量が少ない系では、経時による異物の発生が顕著になりやすくなるほか、例えば塗布等する際の被塗物や下地との密着性が低くなる課題がある。
また、アルカリ可溶性の樹脂成分の含有量が多い処方では、上記の異物発生や密着性の改善の点では有効なものの、感度の向上をも両立することは困難であった。
本発明は、上記に鑑みなされたものであり、染料を含有するネガ型硬化性組成物において、異物発生を抑えた経時安定性および被塗物や下地との密着性を保持しつつ、高感度で現像残渣のない良好なパターン形成性を有する染料含有ネガ型硬化性組成物、並びにこれを用いたカラーフィルタ及びその製造方法を提供することを目的とし、該目的を達成することを課題とする。
前記課題を達成するための具体的手段は以下の通りである。
<1> 染料と、光重合開始剤と、重合性モノマーと、無色の数平均分子量1000以上5000以下の化合物とを少なくとも含有し、アルカリ可溶性樹脂の含有量が全固形分中10質量%以下である染料含有ネガ型硬化性組成物である。
<2> 前記無色の数平均分子量1000以上5000以下の化合物が、2個以上のヒドロキシル基を含むことを特徴とする前記<1>に記載の染料含有ネガ型硬化性組成物である。
<3> 前記無色の数平均分子量1000以上5000以下の化合物が、アルカリ不溶性であることを特徴とする<1>又は<2>に記載の染料含有ネガ型硬化性組成物である。
<4> 前記無色の数平均分子量1000以上5000以下の化合物の含有量が、固形分100質量部に対して、0.01〜5.0質量部である前記<1>〜<3>のいずれか1つに記載の染料含有ネガ型硬化性組成物である。
<5> 前記無色の数平均分子量1000以上5000以下の化合物が、分子中に光架橋性基および環状エーテル基を含まないことを特徴とする前記<1>〜<4>のいずれか1つに記載の染料含有ネガ型硬化性組成物である。
<6> 前記光重合開始剤が、オキシム系光重合開始剤であることを特徴とする前記<1>〜<5>のいずれか1つに記載の染料含有ネガ型硬化性組成物である。
<7> 前記染料の少なくとも一種が、下記一般式(I)で表されるフタロシアニン化合物であることを特徴とする前記<1>〜<6>のいずれか1つに記載の染料含有ネガ型硬化性組成物である。
Figure 0004624943
前記一般式(I)において、環A、環A、環A、および環Aは、それぞれ独立に、下記の芳香環を表し、
Figure 0004624943
環A、環A、環A、および環Aの少なくとも1つは、下記の芳香環を表す。
Figure 0004624943
およびRは、それぞれ独立に、水素原子または置換もしくは未置換のアルキル基を表し、RとRとが同時に水素原子を表すことはない。mは、1〜8の整数を表し、nは1〜4の整数を表す。
<8> 前記染料の少なくとも一種が、下記一般式(II)で表されるフタロシアニン化合物であることを特徴とする前記<1>〜<7>のいずれか1つに記載の染料含有ネガ型硬化性組成物である。
Figure 0004624943
前記一般式(II)において、Rc1は、ハロゲン原子、脂肪族基、アリール基、ヘテロ環基、シアノ基、カルボキシル基、カルバモイル基、脂肪族オキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、アシル基、ヒドロキシ基、脂肪族オキシ基、アリールオキシ基、アシルオキシ基、カルバモイルオキシ基、ヘテロ環オキシ基、脂肪族オキシカルボニルオキシ基、N−アルキルアシルアミノ基、カルバモイルアミノ基、スルファモイルアミノ基、脂肪族オキシカルボニルアミノ基、アリールオキシカルボニルアミノ基、脂肪族スルホニルアミノ基、アリールスルホニルアミノ基、脂肪族チオ基、アリールチオ基、脂肪族スルホニル基、アリールスルホニル基、スルファモイル基、スルホ基、イミド基、またはヘテロ環チオ基を表す。Zc1は、炭素原子と共に6員環を形成するのに必要な非金属原子群を表し、4つのZc1は同一でも異なっていてもよい。Mは、2個の水素原子、2価の金属原子、2価の金属酸化物、2価の金属水酸化物、または2価の金属塩化物を表す。cmは、0、1または2を表し、cnは0または1〜5の整数を表し、4つのcnは同一でも異なってもよい。但し、cnの1つは1〜5の整数を表し、分子中の複数のRc1は同一でも異なっていてもよい。cr1、cr2、cr3およびcr4は0または1を表し、cr1+cr2+cr3+cr4≧1を満たす。
<9> 前記重合性モノマーの含有量が、全固形分に対して、20.0質量%以上70.0質量%以下であることを特徴とする前記<1>〜<8>のいずれか1つに記載の染料含有ネガ型硬化性組成物である。
<10> 前記<1>〜<9>のいずれか1つに記載の染料含有ネガ型硬化性組成物を用いてなるカラーフィルタである。
<11> 前記<1>〜<9>のいずれか1つに記載の染料含有ネガ型硬化性組成物を支持体上に塗布後、マスクを通して露光し、現像してパターンを形成する工程を有するカラーフィルタの製造方法である。
本発明によれば、染料を含有するネガ型硬化性組成物において、異物発生を抑えた経時安定性および被塗物や下地との密着性を保持しつつ、高感度で現像残渣のない良好なパターン形成性を有する染料含有ネガ型硬化性組成物、並びにこれを用いたカラーフィルタ及びその製造方法を提供することができる。
以下、本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物、並びに該染料含有ネガ型硬化性組成物を用いて構成されるカラーフィルタおよびその製造方法について詳述する。
《染料含有ネガ型硬化性組成物》
本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物(以下、「本発明の組成物」という場合がある。)は、染料と、光重合開始剤と、重合性モノマーと、無色の分子量1000以上5000以下の化合物とを少なくとも含み、アルカリ可溶性樹脂の含有量を全固形分中10質量%以下とする。また、一般には有機溶剤を用いて構成され、また、架橋剤などの他の成分を用いて構成することができる。
〜染料〜
本発明の染料含有硬化性組成物は、染料の少なくとも一種を含有する。
染料としては、公知の染料の中から目的等に応じて適宜選択することができ、一種のみならず二種以上を組み合わせて含有することができる。
中でも、有機溶剤可溶性の染料(以下、「有機溶剤可溶性染料」と称する。)が好ましく、本発明に使用可能な有機溶剤可溶性染料には特に制限はなく、従来よりカラーフィルタ用として公知の染料を用いることができる。
ここで、有機溶剤可溶性とは、染料が有機溶剤(25℃)に20%溶液として完溶する性質をいう。
有機溶剤可溶性染料としては、例えば、特開昭64−90403号公報、特開昭64−91102号公報、特開平1−94301号公報、特開平6−11614号公報、特登2592207号、米国特許第4,808,501号明細書、米国特許第5,667,920号明細書、米国特許第5,059,500号明細書、特開平6−35183号公報、等に記載の色素が挙げられる。
また、化学構造としては、ピラゾールアゾ系、アニリノアゾ系、ピラゾロトリアゾールアゾ系、及びピリドンアゾ系等のアゾ系並びに、トリフェニルメタン系、アントラキノン系、ベンジリデン系、オキソノール系、シアニン系、フェノチアジン系、ピロロピラゾールアゾメチン系、キサンテン系、フタロシアニン系、ベンゾピラン系、インジゴ系等の染料が挙げられる。
特に好ましくは、ピラゾールアゾ系、アニリノアゾ系、ピラゾロトリアゾールアゾ系、ピリドンアゾ系、アンスラピリドン系の染料である。
その他、直接染料、塩基性染料、媒染染料、酸性媒染染料、アゾイック染料、分散染料、油溶染料、食品染料、及び/又は、これらの誘導体等も
有用である。
以下、酸性染料およびその誘導体について説明する。
酸性染料は、スルホン酸やカルボン酸やフェノール性水酸基等の酸性基を有する色素であれば、特に制限されものではないが、組成物の調製や現像処理に用いる有機溶剤や現像液に対する溶解性、塩基性化合物との塩形成性、吸光度、硬化性組成物中の他の成分との相互作用、耐光性、耐熱性等の必要とされる性能の全てを考慮して選択される。
以下、酸性染料の具体例を挙げるが、本発明においてはこれらに限定されるものではない。例えば、
acid alizarin violet N;
acid black 1,2,24,48;
acid blue 1,7,9,15,18,23,25,27,29,40,42,45,51,62,70,74,80,83,86,87,90,92,96,103,112,113,120,129,138,147,150,158,171,182,192,210,242,243,256,259,267,278,280,285,290,296,315,324:1,335,340;
acid chrome violet K;
acid Fuchsin;
acid green 1,3,5,9,16,25,27,50,58,63,65,80,104,105,106,109;
acid orange 6,7,8,10,12,26,50,51,52,56,62,63,64,74,75,94,95107,108,169,173;
acid red 1,4,8,14,17,18,26,27,29,31,34,35,37,42,44,50,51,52,57,66,73,80,87,88,91,92,94,97,103,111,114,129,133,134,138,143,145,150,151,158,176,182,183,198,206,211,215,216,217,227,228,249,252,257,258,260,261,266,268,270,274,277,280,281,195,308,312,315,316,339,341,345,346,349,382,383,394,401,412,417,418,422,426;
acid violet 6B,7,9,17,19;
acid yellow 1,3,7,9,11,17,23,25,29,34,36,38,40,42,54,65,72,73,76,79,98,99,111,112,113,114,116,119,123,128,134,135,138,139,140,144,150,155,157,160,161,163,168,169,172,177,178,179,184,190,193,196,197,199,202,203,204,205,207,212,214,220,221,228,230,232,235,238,240,242,243,251;
Direct Yellow 2,33,34,35,38,39,43,47,50,54,58,68,69,70,71,86,93,94,95,98,102,108,109,129,136,138,141;
Direct Orange 34,39,41,46,50,52,56,57,61,64,65,68,70,96,97,106,107;
Direct Red 79,82,83,84,91,92,96,97,98,99,105,106,107,172,173,176,177,179,181,182,184,204,207,211,213,218,220,221,222,232,233,234,241,243,246,250;
Direct Violet 47,52,54,59,60,65,66,79,80,81,82,84,89,90,93,95,96,103,104;
Direct Blue 57,77,80,81,84,85,86,90,93,94,95,97,98,99,100,101,106,107,108,109,113,114,115,117,119,137,149,150,153,155,156,158,159,160,161,162,163,164,166,167,170,171,172,173,188,189,190,192,193,194,196,198,199,200,207,209,210,212,213,214,222,228,229,237,238,242,243,244,245,247,248,250,251,252,256,257,259,260,268,274,275,293;
Direct Green 25,27,31,32,34,37,63,65,66,67,68,69,72,77,79,82;
Mordant Yellow 5,8,10,16,20,26,30,31,33,42,43,45,56,50,61,62,65;
Mordant Orange 3,4,5,8,12,13,14,20,21,23,24,28,29,32,34,35,36,37,42,43,47,48;
Mordant Red 1,2,3,4,9,11,12,14,17,18,19,22,23,24,25,26,30,32,33,36,37,38,39,41,43,45,46,48,53,56,63,71,74,85,86,88,90,94,95;
Mordant Violet 2,4,5,7,14,22,24,30,31,32,37,40,41,44,45,47,48,53,58;
Mordant Blue 2,3,7,8,9,12,13,15,16,19,20,21,22,23,24,26,30,31,32,39,40,41,43,44,48,49,53,61,74,77,83,84;
Mordant Green 1,3,4,5,10,15,19,26,29,33,34,35,41,43,53;
Food Yellow 3;
及びこれらの染料の誘導体が挙げられる。
上記の酸性染料の中でも、acid black 24;
acid blue 23,25,29,62,80,86,87,92,138,158,182,243,324:1;
acid orange 8,51,56,74,63;
acid red 1,4,8,34,37,42,52,57,80,97,114,143,145,151,183,217,249;
acid violet 7;
acid yellow 17,25,29,34,42,72,76,99,111,112,114,116,134,155,169,172,184,220,228,230,232,243;
Acid Green 25;
等の染料及びこれらの染料の誘導体が好ましい。
酸性染料の誘導体としては、スルホン酸あるいはカルボン酸を有する酸性染料の無機塩、含窒素化合物との塩が使用でき、硬化性組成物溶液として溶解させることができるものであれば特に限定されないが、有機溶剤や現像液に対する溶解性、吸光度、硬化性組成物中の他の成分との相互作用、耐光性、耐熱性等の必要とする性能の全てを考慮して選択される。
前記「酸性染料と含窒素化合物との塩」を形成する方法は、酸性染料の溶解性改良(有機溶剤への溶解性付与)や、耐熱性及び耐光性改良に効果的な場合がある。
また、酸性染料と塩を形成する含窒素化合物、及び酸性染料とアミド結合を形成する含窒素化合物については、塩またはアミド化合物の有機溶剤や現像液に対する溶解性、塩形成性、染料の吸光度・色価、硬化性組成物中の他の成分との相互作用、着色剤としての耐熱性及び耐光性等の全てを勘案して選択される。吸光度・色価の観点のみで選択する場合には、前記含窒素化合物としてはできるだけ分子量の低いものが好ましく、中でも分子量300以下のものが好ましく、分子量280以下のものがより好ましく、分子量250以下のものが特に好ましい。
酸性染料と含窒素化合物との塩における、含窒素化合物/酸性染料のモル比(n)は、酸性染料分子と対イオンであるアミン化合物とのモル比率を決定する値であり、酸性染料−アミン化合物の塩形成条件によって自由に選択することができる。具体的には、酸性染料中の酸の官能基数の0<n≦5の間の数値が実用上多く用いられ、有機溶剤や現像液に対する溶解性、塩形成性、吸光度、硬化性組成物中の他の成分との相互作用、耐光性、耐熱性等、必要とする性能の全てを考慮して選択される。吸光度のみの観点で選択する場合には、前記nは0<n≦4.5の間の数値をとることが好ましく、0<n≦4の間の数値をとることがさらに好ましく、0<n≦3.5の間の数値をとることが特に好ましい。
次に、染料、特に有機溶剤可溶性染料の好ましい化合物として、下記有機溶剤可溶性フタロシアニンについて詳細に説明する。
〈有機溶剤可溶性フタロシアニン〉
本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物は、着色剤として、有機溶剤に可溶なフタロシアニン染料の少なくとも一種を含有することが好ましい。有機溶剤に可溶なフタロシアニン染料であれば、特に制限なく使用することができる。
例えば、有機溶剤に可溶なフタロシアニン染料としては、特開平5−333207号公報、特開平6−51115号公報、特開平6−194828号公報に記載の染料が挙げられる。特に好ましい有機溶剤可溶性フタロシアニン染料としては、下記一般式(I)で表される色素化合物、又は下記一般式(II)で表される色素化合物が挙げられる。
[一般式(I)で表される色素化合物]
一般式(I)で表される色素化合物について説明する。
下記一般式(I)で表される色素化合物は、モル吸光係数εおよび色価の良好な有機溶剤可溶性フタロシアニン染料であり、高い耐光性と高い耐熱性とを同時に満足する化合物である。
Figure 0004624943
前記一般式(I)中、環A、環A、環A、および環Aは、それぞれ独立に、下記の芳香環を表し、その縮環方向およびそこに結合する置換基の置換位置により多数の異性体が存在する。
Figure 0004624943
さらに、環A、環A、環A、および環Aの少なくとも1つは、下記の芳香環を表す。
Figure 0004624943
具体的には、一般式(I)の基本骨格として、下記式(1)〜(5)の5種類の構造が挙げられ、さらにピリジン環の縮合方向の相違から、Nの位置が異なる位置異性体が存在する。さらに、臭素等の置換基の置換位置が異なる異性体もそれぞれに存在する。
Figure 0004624943
前記一般式(I)中、RおよびRは、それぞれ独立に、水素原子または、置換もしくは無置換のアルキル基を表す。ただし、RとRとが同時に水素原子を表すことはない。また、mは1〜8の整数を表し、nは1〜4の整数を表す。
またはRで表される無置換のアルキル基としては、炭素数1〜12のアルキル基が好ましく、例えば、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、n−ヘキシル基、2−エチルへキシル基、n−オクチル基、n−ドデシル基等の直鎖または分岐アルキル基が挙げられ、中でも炭素数4〜12の直鎖または分岐アルキル基が好ましい。
またはRで表される置換アルキル基としては、酸素原子をエーテル結合、カルボニル結合、およびエステル結合の少なくとも1つの形態で含む置換アルキル基が好ましく、特に酸素原子を前記少なくとも1つの形態で1〜4個含む炭素数2〜12の直鎖、分岐、もしくは環状の置換アルキル基が好ましい。例えば、メトキシメチル基、エトキシメチル基、ブトキシメチル基、メトキシエチル基、エトキシエチル基、3−メキシプロピル基、3−エトキシプロピル基、3−ブトキシプロピル基、メトキシエトキシエチル基、エトキシエトキシエチル基、ブトキシエトキシエチル基、メトキシエトキシエトキシエチル基、エトキシエトキシエトキシエチル基、ブトキシエトキシエトキシエチル基、アセチルメチル基、アセチルエチル基、プロピオニルメチル基、プロピオニルエチル基、テトラヒドロフルフリルオキシメチル基、2,2−ジメチル−1,3−ジオキソラン−4−メトキシメチル基、2−(1,3−ジオキソラン)エトキシメチル基、2−(1,3−ジオキサン)エトキシメチル基、メトキシカルボニルメチル基、エトキシカルボニルエチル基、
プロポキシカルボニルエチル基、ブトキシカルボニルエチル基、ペントキシカルボニルブチル基、1−(ブトキシメチル)エチル基、1−(メトキシメチル)プロピル基、1−(エトキシメチル)プロピル基、1−(ブトキシメチル)プロピル基、1−(2−メトキシ−エトキシ−メチル)プロピル基、1−(2−エトキシ−エトキシ−メチル)プロピル基、1−(2−メトキシ−2−エトキシ−2−エトキシメチル)エチル基、1−(2−エトキシ−2−エトキシ−2−エトキシメチル)エチル基、1−(2−ブトキシ−2−エトキシ−2−エトキシメチル)エチル基、1−(2−メトキシ−2−エトキシ−2−エトキシメチル)プロピル基、1−(2−エトキシ−2−エトキシ−2−エトキシメチル)プロピル基、1−(2−プロポキシ−2−エトキシ−2−エトキシメチル)プロピル基、1−(2−ブトキシ−2−エトキシ−2−エトキシメチル)プロピル基、1−(2−メトキシ−2−エトキシ−2−エトキシメチル)ブチル基、1−(2−エトキシ−2−エトキシ−2−エトキシメチル)ブチル基、1−(2−プロポキシ−2−エトキシ−2−エトキシメチル)ブチル基、
1−(2−メトキシ−2−エトキシ−2−エトキシメチル)ペンチル基、1−(2−エトキシ−2−エトキシ−2−エトキシメチル)ペンチル基、1−(2−メトキシ−2−エトキシ−2−エトキシ−2−エトキシメチル)エチル基、1−(2−エトキシ−2−エトキシ−2−エトキシ−2−エトキシメチル)エチル基、1−(2−メトキシ−2−エトキシ−2−エトキシ−2−エトキシメチル)プロピル基、1−(2−エトキシ−2−エトキシ−2−エトキシ−2−エトキシメチル)プロピル基、1−(2−メトキシ−2−エトキシ−2−エトキシ−2−エトキシメチル)ブチル基、1−(2−メトキシ−2−エトキシ−2−エトキシ−2−エトキシエチル)エチル基、1−(2−エトキシ−2−エトキシ−2−エトキシ−2−エトキシエチル)エチル基、1−(2−メトキシ−2−エトキシ−2−エトキシ−2−エトキシエチル)プロピル基、1,1−ジ(メトキシメチル)メチル基、1,1−ジ(エトキシメチル)メチル基、1,1−ジ(プロポキシメチル)メチル基、1,1−ジ(ブトキシメチル)メチル基、1,1−ジ(2−メトキシ−エトキシメチル)メチル基、1,1−ジ(2−エトキシ−エトキシメチル)メチル基、1,1−ジ(2−プロポキシ−エトキシメチル)メチル基、1,1−ジ(2−ブトキシ−エトキシメチル)メチル基が挙げられる。
前記RおよびRとしては、それぞれ独立に、水素原子(但し、RおよびRが同時に水素原子を表すことはない。)、無置換のアルキル基、または「酸素原子をエーテル結合、カルボニル結合、およびエステル結合の少なくとも1つの形態で含む置換アルキル基」である態様が好ましい。
上記のうち、RおよびRが、それぞれ独立に、水素原子(但し、RおよびRが同時に水素原子を表すことはない。)、炭素数1〜12の無置換のアルキル基、または「酸素原子をエーテル結合、カルボニル結合、およびエステル結合の少なくとも1つの形態で1〜4個含む炭素数2〜12の置換アルキル基」である態様が特に好ましく、更に中でも、RおよびRの少なくとも一方が、「酸素原子をエーテル結合、カルボニル結合、およびエステル結合の少なくとも1つの形態で1〜4個含む炭素数2〜12の置換アルキル基」である態様が、極性有機溶剤に対する溶解性が高い点で好ましい。
更には、RおよびRの少なくとも一方が、酸素原子をエーテル結合、カルボニル結合、およびエステル結合の少なくとも1つの形態で1〜4個含む炭素数2〜12の置換アルキル基である態様が好ましく、特にRおよびRの少なくとも一方が、下記式(I−a)で表される置換アルキル基である場合のテトラアザポルフィリン化合物が好ましい。
Figure 0004624943
前記式(I−a)中、RおよびRは、それぞれ独立に、水素原子、無置換のアルキル基、「酸素原子をエーテル結合、カルボニル結合、およびエステル結合の少なくとも1つの形態で含むアルキル基」、アルキルカルボニル基、またはアルコキシカルボニル基を表す。但し、RおよびRの少なくとも一方は、「酸素原子をエーテル結合、カルボニル結合、およびエステル結合の少なくとも1つの形態で含むアルキル基」、アルキルカルボニル基、またはアルコキシカルボニル基を表す。
またはRで表される無置換のアルキル基としては、炭素数1〜8のアルキル基が好ましく、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、オクチル基等が挙げられる。
またはRで表される「酸素原子をエーテル結合、カルボニル結合、およびエステル結合の少なくとも1つの形態で含む置換アルキル基」としては、酸素原子を1〜4個含む炭素数2〜10の置換アルキル基が好ましい。例えば、メトキシメチル基、エトキシメチル基、プロポキシメチル基、ブトキシメチル基、メトキシエトキシメチル基、エトキシエトキシメチル基、プロポキシエトキシメチル基、ブトキシエトキシメチル基、メトキシエトキシエトキシメチル基、エトキシエトキシエトキシメチル基、プロポキシエトキシエトキシメチル基、ブトキシエトキシエトキシメチル基、メトキシエトキシエトキシエトキシメチル基、エトキシエトキシエトキシエトキシメチル基、プロポキシエトキシエトキシエトキシメチル基、ブトキシエトキシエトキシエトキシメチル基、アセチルメチル基、プロピオニルメチル基、テトラヒドロフルフリルオキシメチル基、2,2−ジメチル−1,3−ジオキソラン−4−メトキシメチル基、2−(1,3−ジオキソラン)エトキシメチル基、2−(1,3−ジオキサン)エトキシメチル基、メトキシカルボニルメチル基、エトキシカルボニルメチル基、プロポキシカルボニルメチル基、ブトキシカルボニルメチル基、ペントキシカルボニルメチル基等が挙げられる。
またはRで表されるアルキルカルボニル基、アルコキシカルボニル基としては、総炭素数2〜10のアルキルカルボニル基、総炭素数2〜10のアルコキシカルボニル基が好ましい。例えば、アセチル基、プロピオニル基、プロピルカルボニル基、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、プロポキシカルボニル基、ブトキシカルボニル基、ペントキシカルボニル基等が挙げられる。
前記一般式(I)において、mは、1〜8の整数を表し、中でも、1〜6の整数が好ましく、吸光度が高い点で1〜4の整数が特に好ましい。また、nは、1〜4の整数を表し、中でも、2または3が好ましく、2が特に好ましい。
前記一般式(I)で表されるテトラアザポルフィリン化合物は、これら多数の異性体の一部または全てを含むものである。
以下、前記一般式(I)で表されるテトラアザポルフィリン化合物の例示化合物〔具体例1〜157〕を示す。本発明においては、これらの具体例に限定されるものではない。
Figure 0004624943
Figure 0004624943
Figure 0004624943
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Figure 0004624943
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Figure 0004624943
Figure 0004624943
[一般式(II)で表される色素化合物]
次に、下記一般式(II)で表される色素化合物について説明する。
Figure 0004624943
前記一般式(II)において、Rcは、ハロゲン原子、脂肪族基、アリール基、ヘテロ環基、シアノ基、カルボキシル基、カルバモイル基、脂肪族オキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、アシル基、ヒドロキシ基、脂肪族オキシ基、アリールオキシ基、アシルオキシ基、カルバモイルオキシ基、ヘテロ環オキシ基、脂肪族オキシカルボニルオキシ基、N−アルキルアシルアミノ基、カルバモイルアミノ基、スルファモイルアミノ基、脂肪族オキシカルボニルアミノ基、アリールオキシカルボニルアミノ基、脂肪族スルホニルアミノ基、アリールスルホニルアミノ基、脂肪族チオ基、アリールチオ基、脂肪族スルホニル基、アリールスルホニル基、スルファモイル基、スルホ基、イミド基、またはヘテロ環チオ基を表す。Zcは、炭素原子と共に6員環を形成するのに必要な非金属原子群を表し、4つのZcは同一でも異なっていてもよい。Mは、2個の水素原子、2価の金属原子、2価の金属酸化物、2価の金属水酸化物、または2価の金属塩化物を表す。cmは、0、1または2を表し、cnは0または1〜5の整数を表し、4つのcnは同一でも異なってもよい。但し、cnの1つは1〜5の整数を表し、分子中の複数のRcは同一でも異なっていてもよい。cr1、cr2、cr3及びcr4は0または1を表し、cr1+cr2+cr3+cr4≧1を満たす。
前記一般式(II)において、「脂肪族」は、その脂肪族部位が直鎖、分岐鎖、または環状であって飽和及び不飽和のいずれであってもよく、例えば、アルキル基、アルケニル基、シクロアルキル基、シクロアルケニル基を含み、無置換であっても置換基で置換されていてもよい。また、「アリール」は、単環及び縮合環のいずれでもよく、無置換であっても置換基で置換されていてもよい。「ヘテロ環」は、そのヘテロ環部位が環内にヘテロ原子(例えば、窒素原子、イオウ原子、酸素原子)を持つものであり、飽和環及び不飽和環のいずれであってもよく、単環及び縮合環のいずれでもよく、無置換であっても置換基で置換されていてもよい。
また、前記一般式(II)において、「置換基」は、置換可能な基であればよく、例えば、脂肪族基、アリール基、ヘテロ環基、アシル基、イミド基、アゾ基、アシルオキシ基、アシルアミノ基、脂肪族オキシ基、アリールオキシ基、ヘテロ環オキシ基、脂肪族オキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、ヘテロ環オキシカルボニル基、カルバモイル基、脂肪族スルホニル基、アリールスルホニル基、ヘテロ環スルホニル基、脂肪族スルホニルオキシ基、アリールスルホニルオキシ基、ヘテロ環スルホニルオキシ基、スルファモイル基、脂肪族スルホンアミド基、アリールスルホンアミド基、ヘテロ環スルホンアミド基、アミノ基、脂肪族アミノ基、アリールアミノ基、ヘテロ環アミノ基、脂肪族オキシカルボニルアミノ基、アリールオキシカルボニルアミノ基、ヘテロ環オキシカルボニルアミノ基、脂肪族スルフィニル基、アリールスルフィニル基、脂肪族チオ基、アリールチオ基、ヘテロ環チオ、ヒドロキシ基、シアノ基、スルホ基、カルボキシル基、脂肪族オキシアミノ基、アリールオキシアミノ基、カルバモイルアミノ基、スルファモイルアミノ基、ハロゲン原子、スルファモイルカルバモイル基、カルバモイルスルファモイル基、ジ脂肪族オキシフォスフィニル基、ジアリールオキシフォスフィニル基、等を挙げることができる。
前記一般式(II)において、Rcは、ハロゲン原子、脂肪族基、アリール基、ヘテロ環基、シアノ基、カルボキシル基、カルバモイル基、脂肪族オキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、アシル基、ヒドロキシ基、脂肪族オキシ基、アリールオキシ基、アシルオキシ基、カルバモイルオキシ基、ヘテロ環オキシ基、脂肪族オキシカルボニルオキシ基、N−アルキルアシルアミノ基、カルバモイルアミノ基、スルファモイルアミノ基、脂肪族オキシカルボニルアミノ基、アリールオキシカルボニルアミノ基、脂肪族スルホニルアミノ基、アリールスルホニルアミノ基、脂肪族チオ基、アリールチオ基、脂肪族スルホニル基、アリールスルホニル基、スルファモイル基、スルホ基、イミド基、またはヘテロ環チオ基を表す。
前記Rcで表されるハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子等が挙げられる。
前記Rcで表される脂肪族基としては、無置換でも置換基を有していてもよく、飽和であっても不飽和であってもよく、環状であってもよく、総炭素数1〜15の脂肪族基が好ましい。例えば、メチル基、エチル基、ビニル基、アリル基、エチニル基、イソプロペニル基、2−エチルヘキシル基等が挙げられる。
前記Rcで表されるアリール基としては、無置換でも置換基を有していてもよく、総炭素数6〜16のアリール基が好ましく、総炭素数6〜12のアリール基がより好ましい。例えば、フェニル基、4−ニトロフェニル基、2−ニトロフェニル基、2−クロロフェニル基、2,4−ジクロロフェニル基、2,4−ジメチルフェニル基、2−メチルフェニル基、4−メトキシフェニル基、2−メトキシフェニル基、2−メトキシカルボニル−4−ニトロフェニル基等が挙げられる。
前記Rcで表されるヘテロ環基としては、飽和であっても不飽和であってもよく、総炭素数1〜15のヘテロ環基が好ましく、総炭素数3〜10のヘテロ環基がより好ましい。例えば、3−ピリジル基、2−ピリジル基、2−ピリミジニル基、2−ピラジニル基、1−ピペリジル基等が挙げられる。また、さらに置換基を有していてもよい。
前記Rcで表されるカルバモイル基としては、無置換でも置換基を有していてもよく、総炭素数1〜16のカルバモイル基が好ましく、総炭素数1〜12のカルバモイル基がより好ましい。例えば、カルバモイル基、ジメチルカルバモイル基、ジメトキシエチルカルバモイル基等が挙げられる。
前記Rcで表される脂肪族オキシカルボニル基としては、無置換でも置換基を有していてもよく、飽和であっても不飽和であってもよく、環状であってもよく、総炭素数2〜16の脂肪族オキシカルボニル基が好ましく、総炭素数2〜10の脂肪族オキシカルボニル基がより好ましい。例えば、メトキシカルボニル基、ブトキシカルボニル基等が挙げられる。
前記Rcで表されるアリールオキシカルボニル基としては、無置換でも置換基を有していてもよく、総炭素数7〜17のアリールオキシカルボニル基が好ましく、総炭素数7〜15のアリールオキシカルボニル基がより好ましい。例えば、フェノキシカルボニル基等が挙げられる。
前記Rcで表されるアシル基は、脂肪族カルボニル基であってもアリールカルボニル基であってもよく、脂肪族カルボニル基を表す場合は更に置換基を有していてもよく、アリールカルボニル基を表す場合は更に置換基を有していてもよく、飽和または不飽和のいずれでもよく、環状であってもよい。該アシル基としては、総炭素数2〜15のアシル基が好ましく、総炭素数2〜10のアシル基がより好ましい。例えば、アセチル基、ピバロイル基、ベンゾイル基等が挙げられる。また、さらに置換基を有していてもよい。
前記Rcで表される脂肪族オキシ基は、無置換でも置換基を有していてもよく、飽和であっても不飽和であってもよく、環状であってもよい。脂肪族オキシ基としては、総炭素数1〜12の脂肪族オキシ基が好ましく、総炭素数1〜10の脂肪族オキシ基がより好ましい。例えば、メトキシ基、エトキシエトキシ基、フェノキシエトキシ基、チオフェノキシエトキシ基等が挙げられる。
前記Rcで表されるアリールオキシ基としては、無置換でも置換基を有していてもよく、総炭素数6〜18のアリールオキシ基が好ましく、総炭素数6〜14のアリールオキシ基がより好ましい。例えば、フェノキシ基、4−メチルフェノキシ基等が挙げられる。
前記Rcで表されるアシルオキシ基としては、無置換でも置換基を有していてもよく、総炭素数2〜14のアシルオキシ基が好ましく、総炭素数2〜10のアシルオキシ基がより好ましい。例えば、アセトキシ基、メトキシアセトキシ基、ベンゾイルオキシ基等が挙げられる。
前記Rcで表されるカルバモイルオキシ基としては、無置換でも置換基を有していてもよく、総炭素数1〜16のカルバモイルオキシ基が好ましく、総炭素数1〜12のカルバモイルオキシ基がより好ましい。例えば、ジメチルカルバモイルオキシ基、ジイソプロピルカルバモイルオキシ基等が挙げられる。
前記Rcで表されるヘテロ環オキシ基としては、無置換でも置換基を有していてもよく、総炭素数1〜15のヘテロ環オキシ基が好ましく、総炭素数3〜10のヘテロ環オキシ基がより好ましい。例えば、3−フリルオキシ基、3−ピリジルオキシ基、N−メチル−2−ピペリジルオキシ基等が挙げられる。
前記Rcで表される脂肪族オキシカルボニルオキシ基は、無置換でも置換基を有していてもよく、飽和であっても不飽和であってもよく、環状であってもよい。脂肪族オキシカルボニルオキシ基としては、総炭素数2〜16の脂肪族オキシカルボニルオキシ基が好ましく、総炭素数2〜10の脂肪族オキシカルボニルオキシ基がより好ましい。例えば、メトキシカルボニルオキシ基、(t)ブトキシカルボニルオキシ基等が挙げられる。
前記Rcで表されるN−アルキルアシルアミノ基としては、無置換でも置換基を有していてもよく、総炭素数3〜15のN−アルキルアシルアミノ基が好ましく、総炭素数3〜12のN−アルキルアシルアミノ基がより好ましい。例えば、N−メチルアセチルアミノ基、N−エトキシエチルベンゾイルアミノ基、N−メチルメトキシアセチルアミノ基等が挙げられる。
前記Rcで表されるカルバモイルアミノ基としては、無置換でも置換基を有していてもよく、総炭素数1〜16のカルバモイルアミノ基が好ましく、総炭素数1〜12のカルバモイルアミノ基がより好ましい。例えば、N,N−ジメチルカルバモイルアミノ基、N−メチル−N−メトキシエチルカルバモイルアミノ基等が挙げられる。
前記Rcで表されるスルファモイルアミノ基としては、無置換でも置換基を有していてもよく、総炭素数0〜16のスルファモイルアミノ基が好ましく、総炭素数0〜12のスルファモイルアミノ基がより好ましい。例えば、N,N−ジメチルスルファモイルアミノ基、N,N−ジエチルスルファモイルアミノ基等が挙げられる。
前記Rcで表される脂肪族オキシカルボニルアミノ基としては、無置換でも置換基を有していてもよく、総炭素数2〜15の脂肪族オキシカルボニルアミノ基が好ましく、総炭素数2〜10の脂肪族オキシカルボニルアミノ基がより好ましい。例えば、メトキシカルボニルアミノ基、メトキシエトキシカルボニルアミノ基等が挙げられる。
前記Rcで表されるアリールオキシカルボニルアミノ基としては、無置換でも置換基を有していてもよく、総炭素数7〜17のアリールオキシカルボニルアミノ基が好ましく、総炭素数7〜15のアリールオキシカルボニルアミノ基がより好ましい。例えば、フェノキシカルボニルアミノ基、4−メトキシカルボニルアミノ基等が挙げられる。
前記Rcで表される脂肪族スルホニルアミノ基は、無置換でも置換基を有していてもよく、飽和であっても不飽和であってもよく、環状であってもよい。脂肪族スルホニルアミノ基としては、総炭素数1〜12の脂肪族スルホニルアミノ基が好ましく、総炭素数1〜8の脂肪族スルホニルアミノ基がより好ましい。例えば、メタンスルホニルアミノ基、ブタンスルホニルアミノ基等が挙げられる。
前記Rcで表されるアリールスルホニルアミノ基としては、無置換でも置換基を有していてもよく、総炭素数6〜15のアリールスルホニルアミノ基が好ましく、総炭素数6〜12のアリールスルホニルアミノ基がより好ましい。例えば、ベンゼンスルホニルアミノ基、4−トルエンスルホニルアミノ基等が挙げられる。
前記Rcで表される脂肪族チオ基は、無置換でも置換基を有していてもよく、飽和であっても不飽和であってもよく、環状であってもよい。脂肪族チオ基としては、総炭素数1〜16の脂肪族チオ基が好ましく、総炭素数1〜10の脂肪族チオ基がより好ましい。例えば、メチルチオ基、エチルチオ基、エトキシエチルチオ基等が挙げられる。
前記Rcで表されるアリールチオ基としては、無置換でも置換基を有していてもよく、総炭素数6〜22のアリールチオ基が好ましく、総炭素数6〜14のアリールチオ基が好ましい。例えば、フェニルチオ基、2−t−ブチルチオ基等が挙げられる。
前記Rcで表される脂肪族スルホニル基としては、無置換でも置換基を有していてもよく、総炭素数1〜15の脂肪族スルホニル基が好ましく、総炭素数1〜8の脂肪族スルホニル基がより好ましい。例えば、メタンスルホニル基、ブタンスルホニル基、メトキシエタンスルホニル基等が挙げられる。
前記Rcで表されるアリールスルホニル基としては、無置換でも置換基を有していてもよく、総炭素数6〜16のアリールスルホニル基が好ましく、総炭素数6〜12のアリールスルホニル基がより好ましい。例えば、ベンゼンスルホニル基、4−t−ブチルベンゼンスルホニル基、4−トルエンスルホニル基、2−トルエンスルホニル基等が挙げられる。
前記Rcで表されるスルファモイル基としては、無置換でも置換基を有していてもよく、総炭素数0〜16のスルファモイル基が好ましく、総炭素数0〜12のスルファモイル基がより好ましい。例えば、スルファモイル基、ジメチルスルファモイル基等が挙げられる。
前記Rcで表されるイミド基としては、更に縮環していてもよく、総炭素数3〜22のイミド基が好ましく、総炭素数3〜15のイミド基がより好ましい。例えば、コハク酸イミド基、フタル酸イミド基等が挙げられる。
前記Rcで表されるヘテロ環チオ基としては、無置換でも置換基を有していてもよく、5〜7員環であって、総炭素数1〜20のヘテロ環チオ基が好ましく、総炭素数1〜12のヘテロ環チオ基が好ましい。例えば、3−フリルチオ基、3−ピリジルチオ基等が挙げられる。
前記一般式(II)中、Zcは、炭素原子と共に6員環を形成するのに必要な非金属原子群を表し、4つのZcは同一でも異なっていてもよい。形成される6員環は、アリール環またはヘテロ環のいずれであってもよく、縮環していてもよく、縮環した環が更に置換基を有していてもよい。6員環としては、例えば、ベンゼン環、ピリジン環、シクロヘキセン環、ナフタレン環等が挙げられ、ベンゼン環である態様が好適である。
前記一般式(II)中、Mは、2個の水素原子、2価の金属原子、2価の金属酸化物、2価の金属水酸化物、または2価の金属塩化物を表す。該Mとしては、例えば、VO、TiO、Zn、Mg、Si、Sn、Rh、Pt、Pd、Mo、Mn、Pb、Cu、Ni、Co、Fe、AlCl、InCl、FeCl、TiCl、SnCl、SiCl、GeCl、Si(OH)、H等が挙げられ、VO、Zn、Mn、Cu、Ni、Coである態様が好適である。
前記一般式(II)において、cmは0、1または2(好ましくは0)を表し、cnは0または1〜5の整数(好ましくは0または1)を表す。分子中の4ヶ所のcnは同一でも異なってもよいが、cnの1つは1〜5の整数を表し、分子中にcnが複数ある場合には、複数のRcは互いに同一でも異なっていてもよい。
また、cr1、cr2、cr3及びcr4は、0または1を表し、cr1+cr2+cr3+cr4≧1を満たす。中でも、cr1+cr2+cr3+cr4が3または4である態様が好ましい。
前記一般式(II)で表される色素化合物の中でも、下記一般式(II−1)で表される色素(本発明に係るフタロシアニン系染料)が好ましい。
Figure 0004624943
前記一般式(II−1)中、Rcは置換基を表し、該置換基は、置換可能な基であればよく、既述の「置換基」の項で列挙した基が挙げられる。好ましくは、脂肪族基、アリール基、ヘテロ環基、N−アルキルアシルアミノ基、脂肪族オキシ基、アリールオキシ基、ヘテロ環オキシ基、脂肪族オキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、ヘテロ環オキシカルボニル基、カルバモイル基、脂肪族スルホニル基、スルファモイル基、脂肪族スルホンアミド基、アリールスルホンアミド基、脂肪族アミノ基、アリールアミノ基、脂肪族オキシカルボニルアミノ基、アリールオキシカルボニルアミノ基、脂肪族チオ基、アリールチオ基、ヒドロキシ基、シアノ基、スルホ基、カルボキシル基、カルバモイルアミノ基、スルファモイルアミノ基、ハロゲン原子であり、より好ましくは、脂肪族基、N−アルキルアシルアミノ基、脂肪族オキシ基、脂肪族オキシカルボニル基、脂肪族スルホニル基、脂肪族チオ基、アリールチオ基、スルホ基、カルボキシル基、ハロゲン原子である。
前記一般式(II−1)中、cpは0〜4の整数を表し、好ましくは0または1である。ただし、cp+cr1、cp+cr2、cp+cr3、cp+cr4は、いずれも0〜4の整数を表す。Rcが分子中に複数存在している場合、複数のRcは同一でも異なっていてもよい。
なお、一般式(II−1)におけるRc、M、cm、cn並びにcr1、cr2、cr3及びcr4は、前記一般式(II)おける場合と同義であり、好ましい態様も同様である。
前記一般式(II−1)で表される色素化合物の中でも、下記一般式(II−2)で表される色素(本発明に係るフタロシアニン系染料)がより好ましい。
Figure 0004624943
前記一般式(II−2)中、Rc、Rc、M、cm、cnは、前記一般式(II)及び(II−1)における場合とそれぞれ同義であり、好ましい態様も同様である。また、一般式(II−2)中のcqは、0または1を表す。なお、フタロシアニン骨格はテトラアザポルフィリン骨格の外側に4つのベンゼン環が縮合した構造を有しており、各ベンゼン環には4ヶ所の置換基が入り得る部位(炭素原子)があるが、前記一般式(II−2)は各ベンゼン環のテトラアザポルフィリン骨格から遠い2ヶ所(β位)に水素原子が結合したものである。
前記一般式(II−2)において、より効果的に本発明の効果を奏し得る観点からは、前記Rcは、ハロゲン原子、脂肪族基、シアノ基、カルバモイル基、脂肪族オキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、ヒドロキシ基、脂肪族オキシ基、カルバモイルオキシ基、ヘテロ環オキシ基、脂肪族オキシカルボニルオキシ基、カルバモイルアミノ基、スルファモイルアミノ基、脂肪族オキシカルボニルアミノ基、脂肪族スルホニルアミノ基、アリールスルホニルアミノ基、脂肪族チオ基、アリールチオ基、脂肪族スルホニル基、アリールスルホニル基、スルファモイル基、イミド基、またはスルホ基である態様が好ましく、脂肪族基、カルバモイル基、脂肪族オキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、脂肪族オキシ基、脂肪族オキシカルボニルオキシ基、カルバモイルアミノ基、スルファモイルアミノ基、脂肪族オキシカルボニルアミノ基、脂肪族スルホニルアミノ基、アリールスルホニルアミノ基、脂肪族スルホニル基、アリールスルホニル基、スルファモイル基、イミド基、またはスルホ基である態様がより好ましく、カルバモイル基、脂肪族オキシカルボニル基、脂肪族オキシ基、脂肪族オキシカルボニルオキシ基、カルバモイルアミノ基、脂肪族オキシカルボニルアミノ基、アリールスルホニル基、イミド基、または脂肪族スルホニル基である態様が最も好ましい。
同様に本発明の効果をより効果的に奏し得る点で、前記Rcは、脂肪族基、N−アルキルアシルアミノ基、脂肪族オキシ基、脂肪族オキシカルボニル基、脂肪族スルホニル基、脂肪族チオ基、アリールチオ基、スルホ基、カルボキシル基、またはハロゲン原子である態様が好ましく、脂肪族基またはハロゲン原子である態様がより好ましい。同様に本発明の効果をより奏し得る点で、前記cqは0である態様が好ましい。同様に本発明の効果をより奏し得る点で、前記Mは、VO、Mn、Co、Ni、Cu、ZnまたはMgである態様が好ましく、VO、Co、CuまたはZnである態様がより好ましく、Cuである態様が最も好ましく、また、cmは0である態様が好ましく、cnは1または2である態様が好ましく、cnは1である態様がより好ましい。
更に効果的に本発明の効果を奏する観点からは、前記一般式(II−2)において、前記Rcがハロゲン原子、脂肪族基、シアノ基、カルバモイル基、脂肪族オキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、ヒドロキシ基、脂肪族オキシ基、カルバモイルオキシ基、ヘテロ環オキシ基、脂肪族オキシカルボニルオキシ基、カルバモイルアミノ基、スルファモイルアミノ基、脂肪族オキシカルボニルアミノ基、脂肪族スルホニルアミノ基、アリールスルホニルアミノ基、脂肪族チオ基、アリールチオ基、脂肪族スルホニル基、アリールスルホニル基、スルファモイル基、イミド基、またはスルホ基であって、前記MがVO、Co、CuまたはZnであって、前記cqが0であって、前記cmが0であって、前記cnが1である態様が好ましく、また、前記Rcが脂肪族基、カルバモイル基、脂肪族オキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、脂肪族オキシ基、脂肪族オキシカルボニルオキシ基、カルバモイルアミノ基、スルファモイルアミノ基、脂肪族オキシカルボニルアミノ基、脂肪族スルホニルアミノ基、アリールスルホニルアミノ基、脂肪族スルホニル基、アリールスルホニル基、スルファモイル基、イミド基、またはスルホ基であって、前記MがVO、Co、CuまたはZnであって、前記cqが0であって、前記cmが0であって、前記cnが1である態様がより好ましい。
特には、同様に本発明の効果の観点から、前記Rcがカルバモイル基、脂肪族オキシカルボニル基、脂肪族オキシ基、カルバモイルアミノ基、脂肪族オキシカルボニルアミノ基、脂肪族スルホニル基、アリールスルホニル基、またはイミド基であって、前記MがCuであって、前記cqが0であって、前記cmが0であって、前記cnが1である態様が最も好ましい。
以下、前記一般式(II)〜(II−2)で表される色素(染料)の具体例(例示化合物C−1〜C−59)を示す。但し、本発明においてはこれらに制限されるものではない。
Figure 0004624943
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有機溶剤可溶性フタロシアニン染料の染料含有ネガ型硬化性組成物中における全固形成分に対する含有濃度としては、染料による吸光度と膜硬化性の観点より、20〜70質量%が好ましく、22〜68質量%がより好ましく、25〜65質量%が特に好ましい。
また、染料全体の染料含有ネガ型硬化性組成物中における全固形成分に対する含有濃度としては、20〜80質量%が好ましく、30〜75質量%がより好ましく、40〜70質量%が特に好ましい。
〜光重合開始剤〜
本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物は、光重合開始剤の少なくとも一種を含有する。光重合開始剤は、重合性を有するモノマーを重合させ得るものであれば特に制限はなく、特性、開始効率、吸収波長、入手性、コスト等の観点から選ばれることが好ましい。
光重合開始剤としては、ハロメチルオキサジアゾール系化合物及びハロメチル−s−トリアジン系化合物から選択される少なくとも一つの活性ハロゲン化合物、3−アリール置換クマリン化合物、ロフィン2量体、ベンゾフェノン化合物、アセトフェノン化合物およびその誘導体、シクロペンタジエン−ベンゼン−鉄錯体およびその塩、オキシム系化合物等が挙げられる。
ハロメチルオキサジアゾール系化合物である活性ハロゲン化合物としては、特公昭57−6096号公報に記載の2−ハロメチル−5−ビニル−1,3,4−オキサジアゾール化合物等や、2−トリクロロメチル−5−スチリル−1,3,4−オキサジアゾール、2−トリクロロメチル−5−(p−シアノスチリル)−1,3,4−オキサジアゾール、2−トリクロロメチル−5−(p−メトキシスチリル)−1,3,4−オキサジアゾール等が挙げられる。
ハロメチル−s−トリアジン系化合物である活性ハロゲン化合物としては、特公昭59−1281号公報に記載のビニル−ハロメチル−s−トリアジン化合物、特開昭53−133428号公報に記載の2−(ナフト−1−イル)−4,6−ビス−ハロメチル−s−トリアジン化合物および4−(p−アミノフェニル)−2,6−ジ−ハロメチル−s−トリアジン化合物が挙げられる。
その他の例としては、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−p−メトキシスチリル−s−トリアジン、2,6−ビス(トリクロロメチル)−4−(3,4−メチレンジオキシフェニル)−1,3,5−トリアジン、2,6−ビス(トリクロロメチル)−4−(4−メトキシフェニル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(1−p−ジメチルアミノフェニル−1,3−ブタジエニル)−s−トリアジン、2−トリクロロメチル−4−アミノ−6−p−メトキシスチリル−s−トリアジン、2−(ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(4−メトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(4−エトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(4−ブトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−〔4−(2−メトキシエチル)−ナフト−1−イル〕−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−〔4−(2−エトキシエチル)−ナフト−1−イル〕−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−〔4−(2−ブトキシエチル)−ナフト−1−イル〕−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(2−メトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(6−メトキシ−5−メチル−ナフト−2−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチ−s−トリアジン、2−(6−メトキシ−ナフト−2−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(5−メトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(4,7−ジメトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、
2−(6−エトキシ−ナフト−2−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(4,5−ジメトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、4−〔p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔o−メチル−p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔o−メチル−p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(p−N−クロロエチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(p−N−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔p−N,N−ジ(フェニル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(p−N−クロロエチルカルボニルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔p−N−(p−メトキシフェニル)カルボニルアミノフェニル〕2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔m−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔m−ブロモ−p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔m−クロロ−p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔m−フロロ−p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、
4−〔o−ブロモ−p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔o−クロロ−p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔o−フロロ−p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔o−ブロモ−p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔o−クロロ−p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔o−フロロ−p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔m−ブロモ−p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔m−クロロ−p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、
4−〔m−フロロ−p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(m−ブロモ−p−N−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(m−クロロ−p−N−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(m−フロロ−p−N−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(o−ブロモ−p−N−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(o−クロロ−p−N−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(o−フロロ−p−N−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(m−ブロモ−p−N−クロロエチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(m−クロロ−p−N−クロロエチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(m−フロロ−p−N−クロロエチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(o−ブロモ−p−N−クロロエチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(o−クロロ−p−N−クロロエチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(o−フロロ−p−N−クロロエチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン等が挙げられる。
その他、みどり化学社製のTAZシリーズ(例えば、TAZ−107、TAZ−110、TAZ−104、TAZ−109、TAZ−140、TAZ−204、TAZ−113、TAZ−123など)、PANCHIM社製のTシリーズ(例えば、T−OMS、T−BMP、T−R、T−Bなど)、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製のイルガキュアシリーズ(例えば、イルガキュア651、イルガキュア184、イルガキュア500、イルガキュア1000、イルガキュア149、イルガキュア819、イルガキュア261など)、ダロキュアシリーズ(例えばダロキュア1173)、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)−ベンゾフェノン、2−(O−ベンゾイルオキシム)−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−1,2−オクタンジオン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−4−モルホリノブチロフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、2−(o−クロルフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、2−(o−フルオロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、2−(o−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、2−(p−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、2−(p−ジメトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、2−(2,4−ジメトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、2−(p−メチルメルカプトフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、ベンゾインイソプロピルエーテル等が有用である。
上記の開始剤種の中でも、オキシム系化合物が好ましく、2−(O−ベンゾイルオキシム)−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−1,2−オクタンジオン、1−(O−アセチルオキシム)−1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]エタノンが最も好ましい。
また、上記以外に他の公知の光重合開始剤を使用することもできる。
具体的には、米国特許第2,367,660号明細書に記載のビシナールポリケトルアルドニル化合物、米国特許第2,367,661号および第2,367,670号明細書に記載のα−カルボニル化合物、米国特許第2,448,828号明細書に記載のアシロインエーテル、米国特許第2,722,512号明細書に記載のα−炭化水素で置換された芳香族アシロイン化合物、米国特許第3,046,127号および第2,951,758号明細書に記載の多核キノン化合物、米国特許第3,549,367号明細書に記載のトリアリルイミダゾールダイマー/p−アミノフェニルケトンの組合せ、特公昭51−48516号公報に記載のベンゾチアゾール系化合物/トリハロメチール−s−トリアジン系化合物、等を挙げることができる。
これら光重合開始剤には、増感剤や光安定剤を併用することができる。
具体的な例として、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、9−フルオレノン、2−クロロ−9−フルオレノン、2−メチル−9−フルオレノン、9−アントロン、2−ブロモ−9−アントロン、2−エチル−9−アントロン、9,10−アントラキノン、2−エチル−9,10−アントラキノン、2−t−ブチル−9,10−アントラキノン、2,6−ジクロロ−9,10−アントラキノン、キサントン、2−メチルキサントン、2−メトキシキサントン、2−エトキシキサントン、チオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、アクリドン、10−ブチル−2−クロロアクリドン、ベンジル、ジベンザルアセトン、p−(ジメチルアミノ)フェニルスチリルケトン、p−(ジメチルアミノ)フェニル−p−メチルスチリルケトン、ベンゾフェノン、p−(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン(またはミヒラーケトン)、p−(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、ベンゾアントロン等や特公昭51−48516号公報記載のベンゾチアゾール系化合物等や、チヌビン1130、同400等が挙げられる。
光重合開始剤の染料含有ネガ型硬化性組成物中における含有量としては、全固形分に対して、1.0〜40.0質量%が好ましく、2.5〜30.0質量%がより好ましく、5.0〜20.0質量%が特に好ましい。光重合開始剤の含有量が前記範囲内であると、重合が良好に進行し、重合率は大きくなるが分子量が低くなって膜強度が弱くなることもない。
上記以外にさらに、熱重合防止剤を加えておくことが好ましく、例えば、ハイドロキノン、p−メトキシフェノール、ジ−t−ブチル−p−クレゾール、ピロガロール、t−ブチルカテコール、ベンゾキノン、4,4’−チオビス(3−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,2’−メチレンビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2−メルカプトベンゾイミダゾール等が有用である。
〜重合性モノマー〜
本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物は、重合性モノマーの少なくとも一種を含有する。重合性モノマーとしては、常圧下で100℃以上の沸点を有し、少なくとも1つの付加重合可能なエチレン性不飽和基を持つ化合物が好ましい。
その例として、ポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ(メタ)アクリレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレート、等の単官能のアクリレートやメタアクリレート;ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタントリ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ヘキサンジオール(メタ)アクリレート、
トリメチロールプロパントリ(アクリロイルオキシプロピル)エーテル、トリ(アクリロイロキシエチル)イソシアヌレート、グリセリンやトリメチロールエタン等の多官能アルコールにエチレンオキサイドやプロピレンオキサイドを付加させた後(メタ)アクリレート化したもの、特公昭48−41708号、特公昭50−6034号、特開昭51−37193号の各公報に記載されているようなウレタンアクリレート類、特開昭48−64183号、特公昭49−43191号、特公昭52−30490号各公報に記載のポリエステルアクリレート類、エポキシ樹脂と(メタ)アクリル酸の反応生成物であるエポキシアクリレート類等の多官能のアクリレートやメタアクリレート及びこれらの混合物を挙げることができる。更に、日本接着協会誌Vol.20、No.7、300〜308頁に光硬化性モノマー及びオリゴマーとして紹介されているものが挙げられる。
上記のほか、下記の一般式(III−1)又は一般式(III−2)で表される、カルボキシル基を有するラジカル重合性モノマーも好適である。なお、一般式(III−1)、(III−2)において、T又はGがオキシアルキレン基の場合には、炭素原子側の末端がR、X及びWに結合する。
Figure 0004624943
前記一般式(III−1)において、nは0〜14であり、mは1〜8である。前記一般式(III−2)において、WはR又はXと同義であり、6個のWのうち、3個以上のWはRを表す。pは0〜14であり、qは1〜8である。一分子内に複数存在するR、X、T、およびGは、それぞれ同一でも異なっていてもよい。
前記一般式(III−1)または(III−2)で表されるラジカル重合性モノマーのうち、具体的な例として、下記例示化合物(M−1)〜(M−12)が好適であり、中でも、(M−2)、(M−3)、および(M−5)で表される化合物が好ましい。
Figure 0004624943
Figure 0004624943
Figure 0004624943
Figure 0004624943
重合性モノマーの染料含有ネガ型硬化性組成物中における含有量としては、該組成物の全固形分に対して、20〜70質量%が好ましく、22〜65質量%がより好ましく、25〜60質量%がより好ましい。該含有量が上記範囲であると、充分な硬化度と未露光部の溶出性とを保持でき、露光部の硬化度が不足したり、未露光部の溶出性が著しく低下したりすることもない。
〜無色の数平均分子量1000以上5000以下の化合物〜
本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物は、無色の数平均分子量1000以上5000以下の化合物の少なくとも一種(以下、「本発明に係る無色化合物」ということがある。)を含有する。この化合物を染料と共に用いることによって、異物発生を抑えた経時安定性および被塗物や下地との密着性を確保できると共に、感度を向上させることができる。また、現像残渣のない良好なパターンの形成にも効果的である。
ここで、「無色」とは、可視光領域におけるモル吸光係数εの最大値が0以上5000以下であることをいう。モル吸光係数εは、UV−2500PC〔(株)島津製作所製〕によりシクロヘキサノン溶液にて測定される値である。
無色の数平均分子量1000以上5000以下の化合物(本発明に係る無色化合物)は、無色であって、数平均分子量が1000以上5000以下の化合物であれば特に限定はなく、耐熱性、現像性、入手性等の観点から好適に選択することができる。
数平均分子量は、分子の個数についての平均であり、末端基定量法や膜浸透圧法等で測定することができる。具体的にはGPC SC−8020〔(株)島津製作所製〕を用いて測定されるものである。
特に、本発明に係る無色化合物は、経時安定性の観点から、分子中に光架橋性基および環状エーテル基を含まない化合物が好ましい。
また、本発明に係る無色化合物は、経時による異物発生の抑制の観点からは、2個以上のヒドロキシル基を含む化合物が好ましい。
また、本発明に係る無色化合物は、高感度化の観点からは、アルカリ不溶性であることがより好ましい。「アルカリ不溶性」とは、アルカリ溶液に溶解した場合に、10%溶液として完溶しない性質であることをいう。アルカリ溶液には、水にアルカリ剤を溶解したアルカリ水溶液等が含まれる。
本発明に係る無色化合物の数平均分子量は、感度の点で、1200以上4000以下がより好ましく、1400以上3000以下が最も好ましい。
「無色の数平均分子量1000以上5000以下の化合物」の具体例としては、ポリオキシエチレンビス(アミン)、ポリ(プロピレングリコール)ビス(2−アミノプロピルエーテル)、ポリスチレン、ポリメチルメタクリレート、および下記一般式(IV)で表される部分構造を有する化合物などが挙げられる。
本発明に係る無色化合物の染料含有ネガ型硬化性組成物中における含有量としては、組成物の全固形分に対して、0.01〜5.0質量%が好ましく、0.02〜4.0質量%がより好ましく、0.05〜3.0質量%が特に好ましい。
無色の数平均分子量1000以上5000以下の化合物のうち、下記一般式(IV)で表される部分構造を有する化合物が最も好ましい。
Figure 0004624943
前記一般式(IV)において、Lは連結器を表し、Lで表される連結基としては2価の基が挙げられ、好ましくは単結合、脂肪族基、芳香族基、カルボニル基であり、より好ましくは単結合、脂肪族基である。これらの連結基はさらに置換されていてもよい。
前記脂肪族基としては、炭素数1〜5のアルキレン基が好適であり、例えばメチレン基、エチレン基、プロピレン基、イソプロピレン基等が挙げられる。また、芳香族基としては、フェニレン基及びその誘導体が好適であり、例えば、フェニレン基、メチルフェニレン基、ジメチルフェニレン基等が挙げられる。
また、aは2または3を表し、bはb=2aで表される整数である。
好ましい部分構造としては、a=3、b=6であるプロポキシレート構造を含有する化合物であり、より好ましくは、a=3、b=6であるプロポキシレート構造を含有し、さらにnが5以上である部分構造を含有する化合物である。
中でも、最も好ましい化合物は、前記一般式(IV)で表される部分構造を2個以上有する化合物である。
以下、市販の「無色の数平均分子量1000以上5000以下の化合物」のうち、前記一般式(IV)で表される部分構造を有する化合物の具体例を挙げる。但し、本発明はこれらに限定されるものではない。
例えば、ポリ(プロピレングリコール)、ポリ(エチレングリコール−プロピレングリコール)、ポリ(エチレングリコール)、ポリ(エチレングリコール又はプロピレングリコール)モノブチルエーテル、グリセロールエトキシレート、グリセロールプロポキシレート、グリセロールプロポキシレート−B−エトキシレートトリオール、グリセロールエトキシレート−コ−プロポキシレートトリオール、ポリ(エチレングリコール)メチルエーテル、ポリ(エチレングリコール)ブチルエーテル、トリメチロールプロパンエトキシレート、トリメチロールプロパンプロポキシレート、ネオペンチルグリコールエトキシレート、ネオペンチルグリコールプロポキシレート、ペンタエリスリトールエトキシレート、ペンタエリスリトールプロポキシレート、ポリ(エチレングリコール)テトラヒドロフリルエーテル、トリエタノールアミンエトキシレート、ビスフェノールAエトキシレート、ビスフェノールAプロポキシレート、ビスフェノールAプロポキシレート/エトキシレート、ポリオキシエチレンビス(アミン)、ポリ(プロピレングリコール)ビス(2−アミノプロピルエーテル)、等が挙げられる。
〜アルカリ可溶性樹脂〜
本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物は、アルカリ可溶性樹脂を含有してもよい。この樹脂(以下、バインダーということがある。)は、アルカリ可溶性であれば特に限定されないが、耐熱性、現像性、入手性等の観点から選ばれることが好ましい。
上記した光重合開始剤を使用する場合、アルカリ可溶性のバインダーとしては、線状有機高分子重合体で、有機溶剤に可溶で、弱アルカリ水溶液で現像できるものが好ましい。
このような線状有機高分子重合体としては、側鎖にカルボン酸を有するポリマー、例えば特開昭59−44615号、特公昭54−34327号、特公昭58−12577号、特公昭54−25957号、特開昭59−53836号、特開昭59−71048号等の公報に記載のメタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体等が挙げられ、また同様に側鎖にカルボン酸を有する酸性セルロース誘導体が有用である。これらのほか、水酸基を有するポリマーに酸無水物を付加させたもの等や、ポリヒドロキシスチレン系樹脂、ポリシロキサン系樹脂、ポリ(2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート)、ポリビニールピロリドンやポリエチレンオキサイド、ポリビニルアルコール、等も有用である。
また、親水性を有するモノマーを共重合してもよく、この例としては、アルコキシアルキル(メタ)アクリレート、ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート、グリセロール(メタ)アクリレート、(メタ)アクリルアミド、N−メチロールアクリルアミド、2級および3級のアルキルアクリルアミド、ジアルキルアミノアルキル(メタ)アクリレート、モルホリン(メタ)アクリレート、N−ビニルピロリドン、N−ビニルカプロラクタム、ビニルイミダゾール、ビニルトリアゾール、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、分岐または直鎖のプロピル(メタ)アクリレート、分岐または直鎖のブチル(メタ)アクリレート、フェノキシヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート等が挙げられる。
その他親水性を有するモノマーとして、テトラヒドロフルフリル基、燐酸部位、燐酸エステル部位、4級アンモニウム塩の部位、エチレンオキシ鎖、プロピレンオキシ鎖、スルホン酸およびその塩、モルホリノエチル基等を含むモノマー等も有用である。
また、架橋効率を向上させるために、重合性基を側鎖に有してもよく、アリル基、(メタ)アクリル基、アリルオキシアルキル基等を側鎖に含有したポリマー等も有用である。これらの重合性基を含有するポリマーの例を以下に示すが、COOH基、OH基、アンモニウム基等のアルカリ可溶性基と炭素−炭素不飽和結合が含まれていれば、下記に限定されない。
OH基を有する例えば2−ヒドロキシエチルアクリレートと、COOH基を有する例えばメタクリル酸と、これらと共重合可能なアクリル系もしくはビニル系化合物等のモノマーとの共重合体に、OH基と反応性を有するエポキシ環と炭素−炭素不飽和結合を有する化合物、例えばグリシジルアクリレート等の化合物を反応させて得られる化合物等が使用できる。OHとの反応ではエポキシ環の他に酸無水物、イソシアネート基を有し、アクリロイル基を有する化合物も使用できる。また、特開平6−102669号、特開平6−1938号に記載の、エポキシ環を有する化合物にアクリル酸のような不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物に、飽和もしくは不飽和多塩基酸無水物を反応させて得られる反応物も使用できる。COOHのようなアルカリ可溶化基と炭素−炭素不飽和基を併せ持つ化合物として例えばダイヤナールNRシリーズ(三菱レイヨン(株)製)、Photomer6173(COOH含有Polyurethane acrylic oligomer、Diamond Shamrock Co.Ltd.,製)、ビスコートR−264、KSレジスト106(いずれも大阪有機化学工業(株)製)、サイクロマーPシリーズ、プラクセル CF200シリーズ(いずれもダイセル化学工業(株)製)、Ebecryl3800(ダイセルユーシービー(株)製)などが挙げられる。
上記の各種アルカリ可溶性バインダーのうち、アクリル系樹脂が好ましく、該アクリル系樹脂としては、ベンジル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル酸、ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリルアミド等から選ばれるモノマーからなる共重合体、及びKSレジスト−106(大阪有機化学工業(株)製)、サイクロマーPシリーズ(ダイセル化学工業(株)製)などが好ましい。
アルカリ可溶性樹脂は、重量平均分子量(GPC法で測定されたポリスチレン換算値)が1000〜2×10の重合体が好ましく、2000〜1×10の重合体がさらに好ましく、5000〜5×10の重合体が特に好ましい。
アルカリ可溶性樹脂の染料含有ネガ型硬化性組成物中における含有量は、組成物中の全固形成分に対して、10.0質量%以下であり、好ましくは8.0質量%以下であり、さらに好ましくは6.0質量%以下である。感度向上の観点からは、使用しないことが最も好ましい。
〜溶剤〜
本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物は、一般に溶剤を用いて構成することができる。
溶剤は、組成物の溶解性、塗布性を満足すれば基本的に特に制限はなく、特に染料、本発明にかかる無色化合物の溶解性、塗布性、安全性を考慮して選ばれることが好ましい。
溶剤としては、エステル類、例えば酢酸エチル、酢酸−n−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、アルキルエステル類、乳酸メチル、乳酸エチル、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、
3−オキシプロピオン酸メチル、3−オキシプロピオン酸エチルなどの3−オキシプロピオン酸アルキルエステル類(例えば、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル)、2−オキシプロピオン酸メチル、2−オキシプロピオン酸エチル、2−オキシプロピオン酸プロピルなどの2−オキシプロピオン酸アルキルエステル類(例えば、2−メトキシプロピオン酸メチル、2−メトキシプロピオン酸エチル、2−メトキシプロピオン酸プロピル、2−エトキシプロピオン酸メチル、2−エトキシプロピオン酸エチル、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、2−メトキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−エトキシ−2−メチルプロピオン酸エチル)、
ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、2−オキソブタン酸メチル、2−オキソブタン酸エチル等、エーテル類(例えば、ジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフラン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル)、プロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールプロピルエーテルアセテート等、ケトン類(例えば、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン等)、芳香族炭化水素類(例えば、トルエン、キシレン)、等が好ましい。
これらのうち、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメテルエーテル、酢酸ブチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、2−ヘプタノン、シクロヘキサノン、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート等がより好ましい。
本発明の組成物には、必要に応じて各種添加物、例えば充填剤、上記以外の高分子化合物、界面活性剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤等を配合することかできる。
これら添加物の具体例としては、ガラス、アルミナ等の充填剤;ポリビニルアルコール、ポリアクリル酸、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポリフロロアルキルアクリレート等の結着樹脂以外の高分子化合物;ノニオン系、カチオン系、アニオン系等の界面活性剤;ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス(2−メトキシエトキシ)シラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、3−クロロプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等の密着促進剤;2,2−チオビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,6−ジ−t−ブチルフェノール等の酸化防止剤:2−(3−t−ブチル−5−メチル−2−ヒドロキシフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノン等の紫外線吸収剤;およびポリアクリル酸ナトリウム等の凝集防止剤を挙げることができる。
また、未露光部のアルカリ溶解性を促進し、本発明の組成物の現像性の更なる向上を図るためには、本発明の組成物に有機カルボン酸、好ましくは分子量1000以下の低分子量有機カルボン酸の添加を行うことができる。
具体的には、例えば、ギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエチル酢酸、エナント酸、カプリル酸等の脂肪族モノカルボン酸;シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルコハク酸、テトラメチルコハク酸、シトラコン酸等の脂肪族ジカルボン酸;トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホロン酸等の脂肪族トリカルボン酸;安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘメリト酸、メシチレン酸等の芳香族モノカルボン酸;フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、トリメリト酸、トリメシン酸、メロファン酸、ピロメリト酸等の芳香族ポリカルボン酸;フェニル酢酸、ヒドロアトロパ酸、ヒドロケイ皮酸、マンデル酸、フェニルコハク酸、アトロパ酸、ケイ皮酸、ケイ皮酸メチル、ケイ皮酸ベンジル、シンナミリデン酢酸、クマル酸、ウンベル酸等のその他のカルボン酸が挙げられる。
本発明の染料含有硬化性組成物は、液晶表示装置(LCD)や固体撮像素子(例えば、CCD、CMOSなど)等に用いられるカラーフィルタ、エレクトロルミネッセンス用カラーフィルタなどの着色画素形成用として、また、印刷用インキ、インクジェット用インキ、および塗料などの作製用途として、好適に用いることができる。
《カラーフィルタおよびその製造方法》
次に、本発明のカラーフィルタについて、その製造方法を通じて詳述する。
本発明のカラーフィルタは本発明の組成物を用いて製造されるものである。本発明のカラーフィルタは、例えば本発明の組成物を用いた本発明のカラーフィルタの製造方法により最も好適に作製することができ、具体的には、支持体上に本発明の組成物を回転塗布、流延塗布、ロール塗布等の塗布方法により塗布して感光性の組成物層を形成し、形成された組成物層を所定のマスクパターンを介して露光し、露光後現像液で現像し、着色されたパターンを形成することで作製することができる。本発明のカラーフィルタの製造方法においては、必要に応じて露光・現像後のパターンを更に加熱及び/又は露光することによって硬化させる硬化工程を更に設けることができる。
上記の露光に使用される放射線としては、特にg線、h線、i線等の紫外線が好ましい。
前記支持体としては、例えば、液晶表示素子等に用いられるソーダガラス、パイレックス(登録商標)ガラス、石英ガラスおよびこれらに透明導電膜を付着させたものや、撮像素子等に用いられる光電変換素子基板、例えばシリコン基板等や、相補性金属酸化膜半導体(CMOS)等が挙げられる。これらの基板は、各画素を隔離するブラックストライプが形成されている場合もある。
また、これらの支持体上には必要により、形成される層との更なる密着改良、物質の拡散防止あるいは基板表面の平坦化の目的で下塗り層を設けてもよい。
前記現像液としては、本発明の組成物を溶解する一方、放射線照射部(硬化部)を溶解しない組成のものであればいずれも用いることができる。具体的には、種々の有機溶剤の組み合わせやアルカリ性の水溶液を用いることができる。
前記有機溶剤としては、本発明の組成物を調製する際に用いることができる前記溶剤が挙げられる。
前記アルカリ性の水溶液としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム,硅酸ナトリウム、メタ硅酸ナトリウム、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、1,8−ジアザビシクロ−〔5.4.0〕−7−ウンデセン等のアルカリ性化合物を、濃度が0.001〜10質量%、好ましくは0.01〜1質量%となるように溶解したアルカリ性水溶液が挙げられる。なお、アルカリ性の水溶液を現像液として用いた場合は、一般に現像後に水で洗浄を行なう。
本発明のカラーフィルタは、液晶表示素子やCCD等の固体撮像素子に用いることができ、特に100万画素を超えるような高解像度のCCD素子やCMOS素子等に好適である。本発明のカラーフィルタは、例えば、CCDを構成する各画素の受光部と集光するためのマイクロレンズとの間に配置されるカラーフィルタとして用いることができる。
以下、本発明を実施例により更に具体的に説明するが、本発明はその主旨を越えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。なお、特に断りのない限り、「部」は質量基準である。
(実施例1)
1)レジスト液の調製
下記組成の成分を混合して溶解し、レジスト液を調製した。
〈組成〉
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート …19.20部
(PGMEA)
・乳酸エチル …36.67部
・樹脂 …30.51部
〔メタクリル酸ベンジル/メタクリル酸/メタクリル酸−2−ヒドロキシエチル共重合体(モル比=60/22/18)の40%PGMEA溶液〕
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート …12.20部
(光重合性化合物)
・重合禁止剤(p−メトキシフェノール) … 0.0061部
・フッ素系界面活性剤 … 0.83部
(F−475、大日本インキ化学工業(株)製)
・光重合開始剤 … 0.586部
(TAZ−107(トリハロメチルトリアジン系の光重合開始剤)、みどり化学社製)
2)下塗り層付ガラス基板の作製
6inchシリコンウエハーをオーブン中で200℃のもと30分加熱処理した。次いで、このシリコンウエハー上に前記レジスト液を乾燥膜厚が2μmになるように塗布し、更に220℃のオーブン中で1時間加熱乾燥させて下塗り層を形成し、下塗り層付シリコンウエハー基板を得た。
3)着色感光性樹脂組成物の調製
下記組成A−1の化合物を混合して溶解し、着色感光性樹脂組成物A−1を調製した。
〈組成A−1〉
・シクロヘキサノン …80部
・着色剤A … 6.0部
〔既述の一般式(I)で表される色素化合物の具体例28〕
・着色剤B〔下記の化合物b〕 … 4.0部
・ラジカル重合性モノマー … 7.0部
〔既述の例示化合物(M−2)とジペンタエリスリトールヘキサアクリレートとの3:7の混合物〕
・光重合開始剤 … 2.5部
(CGI−124、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製;オキシム系光重合開始剤)
・グリセロールプロポキシレート … 0.5部
(数平均分子量Mn:1500、モル吸光係数ε=0、本発明に係る無色化合物)
4)経時安定性の評価
上記で調製した着色感光性樹脂組成物A−1について、調製直後及び室温で1週間放置した後の各々について、経時での液中パーティクル(異物)を、液中パーティクルカウンター(リオン社製)を用いて測定した。経時により数の増加が見られないか、あるいは小さいものが好ましい。測定結果は下記表2に示す。
5)着色感光性樹脂組成物の露光・現像、及び評価
−パターンの形成と感度の評価−
前記3)で調製した着色感光性樹脂組成物A−1を、前記2)で得られた下塗り層付シリコンウエハー基板の下塗り層上に塗布し、光硬化性の塗布膜を形成した。そして、この塗布膜の乾燥膜厚が0.9μmになるように、100℃のホットプレートを用いて120秒間加熱処理(プリベーク)を行なった。次いで、i線ステッパー露光装置FPA−3000i5+(Canon(株)製)を使用して365nmの波長でパターンが2μm四方のIslandパターンマスクを通して1000mJ/cm2の露光量で照射した。その後、照射された塗布膜が形成されているシリコンウエハー基板をスピン・シャワー現像機(DW−30型、(株)ケミトロニクス製)の水平回転テーブル上に載置し、CD−2000(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)を用いて23℃で60秒間パドル現像を行ない、シリコンウエハー基板に着色パターンを形成した。
着色パターンが形成されたシリコンウエハー基板を真空チャック方式で前記水平回転テーブルに固定し、回転装置によって該シリコンウエハー基板を回転数50r.p.m.で回転させつつ、その回転中心の上方より純水を噴出ノズルからシャワー状に供給してリンス処理を行ない、その後スプレー乾燥した。その後、測長SEM「S−9260A」(日立ハイテクノロジーズ(株)製)を用いて、着色パターンのサイズを測定した。パターンサイズが2μmに近いほど、硬化性が充分で感度が良好であることを示す。測定評価の結果は下記表2に示す。
6)密着性の評価
次に、スプレー乾燥後の下塗り層付シリコンウエハー基板の4mm×3mmの範囲を光学顕微鏡にて観察して、剥がれにより消失しているパターンの数をカウントし、消失したパターン数を密着性を評価する指標とした。測定評価の結果は下記表2に示す。
(実施例2〜10、比較例1〜4)
実施例1において、着色感光性樹脂組成物A−1の調製に用いた組成A−1中の着色剤、及び本発明に係る無色化合物を下記表1に示すようにそれぞれ変更したこと以外、実施例1と同様にして、着色感光性樹脂組成物A−2〜A−14を調製すると共に、着色パターンの形成、及び評価を行なった。測定評価の結果は下記表2に示す。
Figure 0004624943
Figure 0004624943
Figure 0004624943
前記表2に示すように、実施例では、異物発生が抑えられており、経時での安定性が良好であると共に、現像残渣のない所望サイズのパターンを高感度に密着性良好に形成することができた。これに対し、比較例では、異物の発生が抑えられず、しかも感度が低かったり、密着不良をおこしており、高感度化および密着性の点で劣っていた。

Claims (3)

  1. 染料と、光重合開始剤と、重合性モノマーと、無色の数平均分子量1000以上5000以下の化合物とを少なくとも含有し、アルカリ可溶性樹脂の含有量が全固形分中10質量%以下である染料含有ネガ型硬化性組成物。
  2. 請求項1に記載の染料含有ネガ型硬化性組成物を用いてなるカラーフィルタ。
  3. 請求項1に記載の染料含有ネガ型硬化性組成物を支持体上に塗布後、マスクを通して露光し、現像してパターンを形成する工程を有するカラーフィルタの製造方法。
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