JP2002196481A - 保存安定性に優れた着色感光性樹脂組成物 - Google Patents
保存安定性に優れた着色感光性樹脂組成物Info
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- JP2002196481A JP2002196481A JP2000390713A JP2000390713A JP2002196481A JP 2002196481 A JP2002196481 A JP 2002196481A JP 2000390713 A JP2000390713 A JP 2000390713A JP 2000390713 A JP2000390713 A JP 2000390713A JP 2002196481 A JP2002196481 A JP 2002196481A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 保存による感度の低下が少ない着色感光性樹
脂組成物を提供する。 【解決手段】 アミン化合物およびピリジン化合物から
選ばれる少なくとも１種の化合物（Ａ）、染料（Ｂ）、
アルカリ可溶性樹脂（Ｃ）、感光剤（Ｄ）ならびに硬化
剤（Ｅ）を含むことを特徴とする着色感光性樹脂組成
物。アミン化合物は、例えば一般式（Ｉ−１） で示される化合物である。ピリジン化合物は、例えば一
般式（II−１） で示される化合物である。染料（Ｂ）、アルカリ可溶性
樹脂（Ｃ）、感光剤（Ｄ）および硬化剤（Ｅ）の合計１
００重量部あたりアミン化合物およびピリジン化合物か
ら選ばれる少なくとも１種の化合物（Ａ）は通常０．０
１重量部以上含まれる。
脂組成物を提供する。 【解決手段】 アミン化合物およびピリジン化合物から
選ばれる少なくとも１種の化合物（Ａ）、染料（Ｂ）、
アルカリ可溶性樹脂（Ｃ）、感光剤（Ｄ）ならびに硬化
剤（Ｅ）を含むことを特徴とする着色感光性樹脂組成
物。アミン化合物は、例えば一般式（Ｉ−１） で示される化合物である。ピリジン化合物は、例えば一
般式（II−１） で示される化合物である。染料（Ｂ）、アルカリ可溶性
樹脂（Ｃ）、感光剤（Ｄ）および硬化剤（Ｅ）の合計１
００重量部あたりアミン化合物およびピリジン化合物か
ら選ばれる少なくとも１種の化合物（Ａ）は通常０．０
１重量部以上含まれる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、保存安定性に優れ
た着色感光性樹脂組成物に関し、詳しくは保存による感
度の低下が少ない着色感光性樹脂組成物に関する。
た着色感光性樹脂組成物に関し、詳しくは保存による感
度の低下が少ない着色感光性樹脂組成物に関する。
【０００２】
【従来の技術】着色感光性樹脂組成物（カラーレジス
ト）は、色素を含んでいる感光性樹脂組成物（レジス
ト）であって、カラー液晶表示装置、カラー固体撮像装
置などのカラーフィルターなどを構成する色フィルタ層
を形成するための原材料として広く使われている。かか
る着色感光性樹脂組成物としては、例えば色素、アルカ
リ可溶樹脂、感光剤および硬化剤を含むものも知られて
いる。
ト）は、色素を含んでいる感光性樹脂組成物（レジス
ト）であって、カラー液晶表示装置、カラー固体撮像装
置などのカラーフィルターなどを構成する色フィルタ層
を形成するための原材料として広く使われている。かか
る着色感光性樹脂組成物としては、例えば色素、アルカ
リ可溶樹脂、感光剤および硬化剤を含むものも知られて
いる。
【０００３】かかる着色感光性樹脂組成物を用いて色フ
ィルタ層（５１）を形成するには、例えば基板（１）の
表面上に全面に亙って着色感光性樹脂組成物からなる層
（２）を形成し（図１(a)）、該層（２）にレチクル
（３）を介して光線（４）を照射して露光する(図１
(b))方法が知られている。露光後の着色感光性樹脂組成
物層（２）をアルカリ性水溶液で処理することにより、
着色感光性樹脂組成物層（２）のうち露光において光線
（４）が照射された領域（２１）がアルカリ性水溶液に
溶解し、照射されなかった領域（２２）が溶解すること
なく残って、色フィルタ層（５１）を構成する。着色感
光性樹脂組成物に含まれる色素の色を代えながらがら同
様の操作を繰り返し行うことにより、三原色に対応した
各色の色フィルタ層（５２、５３）を順次形成して、カ
ラーフィルター（６）を得ることができる(図３)。かか
る着色感光性樹脂組成物の色素としては、染料および顔
料を使用し得るが、より微細なパターンで色フィルタ層
を形成し得る点で、染料が好ましく使用される。
ィルタ層（５１）を形成するには、例えば基板（１）の
表面上に全面に亙って着色感光性樹脂組成物からなる層
（２）を形成し（図１(a)）、該層（２）にレチクル
（３）を介して光線（４）を照射して露光する(図１
(b))方法が知られている。露光後の着色感光性樹脂組成
物層（２）をアルカリ性水溶液で処理することにより、
着色感光性樹脂組成物層（２）のうち露光において光線
（４）が照射された領域（２１）がアルカリ性水溶液に
溶解し、照射されなかった領域（２２）が溶解すること
なく残って、色フィルタ層（５１）を構成する。着色感
光性樹脂組成物に含まれる色素の色を代えながらがら同
様の操作を繰り返し行うことにより、三原色に対応した
各色の色フィルタ層（５２、５３）を順次形成して、カ
ラーフィルター（６）を得ることができる(図３)。かか
る着色感光性樹脂組成物の色素としては、染料および顔
料を使用し得るが、より微細なパターンで色フィルタ層
を形成し得る点で、染料が好ましく使用される。
【０００４】しかし、色素として染料を使用した着色感
光性樹脂組成物の中には、保存によりその感度が低下す
るものがあった。着色感光性樹脂組成物の感度が低下す
ると、露光において光線を照射されてもアルカリ水溶液
に溶解しない着色感光性樹脂組成物が生ずる場合があ
り、目的とするパターンで色フィルタ層を形成すること
が困難となる。
光性樹脂組成物の中には、保存によりその感度が低下す
るものがあった。着色感光性樹脂組成物の感度が低下す
ると、露光において光線を照射されてもアルカリ水溶液
に溶解しない着色感光性樹脂組成物が生ずる場合があ
り、目的とするパターンで色フィルタ層を形成すること
が困難となる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】そこで本発明者は、保
存による感度の低下が少ない着色感光性樹脂組成物を開
発するべく鋭意検討した結果、アミン化合物およびピリ
ジン化合物（Ａ）は保存中の着色感光性樹脂組成物の感
度の低下を低減し得ることを見出し、本発明に至った。
存による感度の低下が少ない着色感光性樹脂組成物を開
発するべく鋭意検討した結果、アミン化合物およびピリ
ジン化合物（Ａ）は保存中の着色感光性樹脂組成物の感
度の低下を低減し得ることを見出し、本発明に至った。
【０００６】
【課題を解決するための手段】すなわち本発明は、アミ
ン化合物およびピリジン化合物から選ばれる少なくとも
１種の化合物（Ａ）、染料（Ｂ）、アルカリ可溶性樹脂
（Ｃ）、感光剤（Ｄ）ならびに硬化剤（Ｅ）を含むこと
を特徴とする着色感光性樹脂組成物を提供するものであ
る。
ン化合物およびピリジン化合物から選ばれる少なくとも
１種の化合物（Ａ）、染料（Ｂ）、アルカリ可溶性樹脂
（Ｃ）、感光剤（Ｄ）ならびに硬化剤（Ｅ）を含むこと
を特徴とする着色感光性樹脂組成物を提供するものであ
る。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明の着色感光性樹脂組成物
は、アミン化合物およびピリジン化合物から選ばれる少
なくとも１種の化合物（Ａ）を含む。アミン化合物とし
ては、例えば一般式（Ｉ） （式中、Ｒ1およびＲ2はそれぞれ独立に水素原子、アル
キル基、シクロアルキル基またはアリール基を示す。）
で示される置換基を有する化合物、具体的には一般式
（Ｉ−１） （式中、Ｒ1およびＲ2はそれぞれ前記と同じ意味を示
し、Ｒ3はアルキル基、シクロアルキル基またはアリー
ル基を示す。）で示される化合物が挙げられる。ここ
で、Ｒ1、Ｒ2およびＲ3におけるアルキル基としては、
例えばメチル基、エチル基、プロピル基などの炭素数１
〜１０程度のアルキル基が、シクロアルキル基として
は、例えばシクロヘキシル基などの炭素数３〜１０程度
のシクロアルキル基が、アリール基としては、例えばフ
ェニル基などがそれぞれ挙げられる。これらのアルキル
基、シクロアルキル基、アリール基は、置換基を有して
いてもよい。
は、アミン化合物およびピリジン化合物から選ばれる少
なくとも１種の化合物（Ａ）を含む。アミン化合物とし
ては、例えば一般式（Ｉ） （式中、Ｒ1およびＲ2はそれぞれ独立に水素原子、アル
キル基、シクロアルキル基またはアリール基を示す。）
で示される置換基を有する化合物、具体的には一般式
（Ｉ−１） （式中、Ｒ1およびＲ2はそれぞれ前記と同じ意味を示
し、Ｒ3はアルキル基、シクロアルキル基またはアリー
ル基を示す。）で示される化合物が挙げられる。ここ
で、Ｒ1、Ｒ2およびＲ3におけるアルキル基としては、
例えばメチル基、エチル基、プロピル基などの炭素数１
〜１０程度のアルキル基が、シクロアルキル基として
は、例えばシクロヘキシル基などの炭素数３〜１０程度
のシクロアルキル基が、アリール基としては、例えばフ
ェニル基などがそれぞれ挙げられる。これらのアルキル
基、シクロアルキル基、アリール基は、置換基を有して
いてもよい。
【０００８】かかるアミン化合物としては、例えばＮ−
メチルアミン、Ｎ−エチルアミン、Ｎ−シクロヘキシル
アミン、ｐ−アミノフェノール、
メチルアミン、Ｎ−エチルアミン、Ｎ−シクロヘキシル
アミン、ｐ−アミノフェノール、
【０００９】Ｎ−ジメチルアミン、Ｎ−ジエチルアミ
ン、Ｎ−メチルフェニルアミン、Ｎ−メチルシクロヘキ
シルアミン、Ｎ−トリメチルアミン、Ｎ−トリエチルア
ミン、Ｎ−メチルジフェニルアミン、Ｎ−ジメチルシク
ロヘキシルアミン、Ｎ−メチルフェニルシクロヘキシル
アミン、Ｎ−トリフェニルアミンなどが挙げられる。
ン、Ｎ−メチルフェニルアミン、Ｎ−メチルシクロヘキ
シルアミン、Ｎ−トリメチルアミン、Ｎ−トリエチルア
ミン、Ｎ−メチルジフェニルアミン、Ｎ−ジメチルシク
ロヘキシルアミン、Ｎ−メチルフェニルシクロヘキシル
アミン、Ｎ−トリフェニルアミンなどが挙げられる。
【００１０】ピリジン化合物としては、例えばピリジン
のほか、一般式（II） （式中、Ｒ4はアルキル基を示し、ｉは０〜４の整数を
示す。）で示される置換基を有する化合物が挙げられ、
具体的には一般式（II−１） （式中、Ｒ4およびｉはそれぞれ前記と同じ意味を示
し、ｎは１〜８の整数を示し、Ｒ5はアルキル基を示
し、ｊは０〜４の整数を示す。）で示される化合物が挙
げられる。ここで、Ｒ4およびＲ5におけるアルキル基と
しては、Ｒ1、Ｒ2およびＲ3において上記下と同様の炭
素数１〜１０程度のアルキル基が挙げられる。かかるア
ルキル基は置換基を有していてもよい。
のほか、一般式（II） （式中、Ｒ4はアルキル基を示し、ｉは０〜４の整数を
示す。）で示される置換基を有する化合物が挙げられ、
具体的には一般式（II−１） （式中、Ｒ4およびｉはそれぞれ前記と同じ意味を示
し、ｎは１〜８の整数を示し、Ｒ5はアルキル基を示
し、ｊは０〜４の整数を示す。）で示される化合物が挙
げられる。ここで、Ｒ4およびＲ5におけるアルキル基と
しては、Ｒ1、Ｒ2およびＲ3において上記下と同様の炭
素数１〜１０程度のアルキル基が挙げられる。かかるア
ルキル基は置換基を有していてもよい。
【００１１】かかるピリジン化合物としては、例えばジ
（４−ピリジル）メタン、ジ（２−メチル−２−ピリジ
ル）メタン、ジ（２−エチル−２−ピリジル）メタン、
ジ（２−プロピル−２−ピリジル）メタン、ジ（４−ピ
リジル）メタン、ジ（２−メチル−３−ピリジル）メタ
ン、ジ（２−エチル−３−ピリジル）メタン、ジ（２−
プロピル−３−ピリジル）メタン、ジ（４−ピリジル）
メタン、ジ（２−メチル−４−ピリジル）メタン、ジ
（２−エチル−４−ピリジル）メタン、ジ（２−プロピ
ル−４−ピリジル）メタン、
（４−ピリジル）メタン、ジ（２−メチル−２−ピリジ
ル）メタン、ジ（２−エチル−２−ピリジル）メタン、
ジ（２−プロピル−２−ピリジル）メタン、ジ（４−ピ
リジル）メタン、ジ（２−メチル−３−ピリジル）メタ
ン、ジ（２−エチル−３−ピリジル）メタン、ジ（２−
プロピル−３−ピリジル）メタン、ジ（４−ピリジル）
メタン、ジ（２−メチル−４−ピリジル）メタン、ジ
（２−エチル−４−ピリジル）メタン、ジ（２−プロピ
ル−４−ピリジル）メタン、
【００１２】１，２−ジ（４−ピリジル）エタン、１，
２−ジ（２−メチル−２−ピリジル）エタン、１，２−
ジ（２−エチル−２−ピリジル）エタン、１，２−ジ
（２−プロピル−２−ピリジル）エタン、１，２−ジ
（４−ピリジル）エタン、１，２−ジ（２−メチル−３
−ピリジル）エタン、１，２−ジ（２−エチル−３−ピ
リジル）エタン、１，２−ジ（２−プロピル−３−ピリ
ジル）エタン、１，２−ジ（４−ピリジル）エタン、
１，２−ジ（２−メチル−４−ピリジル）エタン、１，
２−ジ（２−エチル−４−ピリジル）エタン、１，２−
ジ（２−プロピル−４−ピリジル）エタン、
２−ジ（２−メチル−２−ピリジル）エタン、１，２−
ジ（２−エチル−２−ピリジル）エタン、１，２−ジ
（２−プロピル−２−ピリジル）エタン、１，２−ジ
（４−ピリジル）エタン、１，２−ジ（２−メチル−３
−ピリジル）エタン、１，２−ジ（２−エチル−３−ピ
リジル）エタン、１，２−ジ（２−プロピル−３−ピリ
ジル）エタン、１，２−ジ（４−ピリジル）エタン、
１，２−ジ（２−メチル−４−ピリジル）エタン、１，
２−ジ（２−エチル−４−ピリジル）エタン、１，２−
ジ（２−プロピル−４−ピリジル）エタン、
【００１３】１，３−ジ（４−ピリジル）プロパン、
１，３−ジ（２−メチル−２−ピリジル）プロパン、
１，３−ジ（２−エチル−２−ピリジル）プロパン、
１，３−ジ（２−プロピル−２−ピリジル）プロパン、
１，３−ジ（４−ピリジル）プロパン、１，３−ジ（２
−メチル−３−ピリジル）プロパン、１，３−ジ（２−
エチル−３−ピリジル）プロパン、１，３−ジ（２−プ
ロピル−３−ピリジル）プロパン、１，３−ジ（４−ピ
リジル）プロパン、１，３−ジ（２−メチル−４−ピリ
ジル）プロパン、１，３−ジ（２−エチル−４−ピリジ
ル）プロパン、１，３−ジ（２−プロピル−４−ピリジ
ル）プロパン、
１，３−ジ（２−メチル−２−ピリジル）プロパン、
１，３−ジ（２−エチル−２−ピリジル）プロパン、
１，３−ジ（２−プロピル−２−ピリジル）プロパン、
１，３−ジ（４−ピリジル）プロパン、１，３−ジ（２
−メチル−３−ピリジル）プロパン、１，３−ジ（２−
エチル−３−ピリジル）プロパン、１，３−ジ（２−プ
ロピル−３−ピリジル）プロパン、１，３−ジ（４−ピ
リジル）プロパン、１，３−ジ（２−メチル−４−ピリ
ジル）プロパン、１，３−ジ（２−エチル−４−ピリジ
ル）プロパン、１，３−ジ（２−プロピル−４−ピリジ
ル）プロパン、
【００１４】１，４−ジ（２−メチル−２−ピリジル）
ブタン、１，４−ジ（２−エチル−２−ピリジル）ブタ
ン、１，４−ジ（２−プロピル−２−ピリジル）ブタ
ン、１，４−ジ（２−メチル−３−ピリジル）ブタン、
１，４−ジ（２−エチル−３−ピリジル）ブタン、１，
４−ジ（２−プロピル−３−ピリジル）ブタン、１，４
−ジ（２−メチル−４−ピリジル）ブタン、１，４−ジ
（２−エチル−４−ピリジル）ブタン、１，４−ジ（２
−プロピル−４−ピリジル）ブタン、
ブタン、１，４−ジ（２−エチル−２−ピリジル）ブタ
ン、１，４−ジ（２−プロピル−２−ピリジル）ブタ
ン、１，４−ジ（２−メチル−３−ピリジル）ブタン、
１，４−ジ（２−エチル−３−ピリジル）ブタン、１，
４−ジ（２−プロピル−３−ピリジル）ブタン、１，４
−ジ（２−メチル−４−ピリジル）ブタン、１，４−ジ
（２−エチル−４−ピリジル）ブタン、１，４−ジ（２
−プロピル−４−ピリジル）ブタン、
【００１５】１，５−ジ（２−メチル−２−ピリジル）
ペンタン、１，５−ジ（２−エチル−２−ピリジル）ペ
ンタン、１，５−ジ（２−プロピル−２−ピリジル）ペ
ンタン、１，５−ジ（２−メチル−３−ピリジル）ペン
タン、１，５−ジ（２−エチル−３−ピリジル）ペンタ
ン、１，５−ジ（２−プロピル−３−ピリジル）ペンタ
ン、１，５−ジ（２−メチル−４−ピリジル）ペンタ
ン、１，５−ジ（２−エチル−４−ピリジル）ペンタ
ン、１，５−ジ（２−プロピル−４−ピリジル）ペンタ
ンなどが挙げられる。
ペンタン、１，５−ジ（２−エチル−２−ピリジル）ペ
ンタン、１，５−ジ（２−プロピル−２−ピリジル）ペ
ンタン、１，５−ジ（２−メチル−３−ピリジル）ペン
タン、１，５−ジ（２−エチル−３−ピリジル）ペンタ
ン、１，５−ジ（２−プロピル−３−ピリジル）ペンタ
ン、１，５−ジ（２−メチル−４−ピリジル）ペンタ
ン、１，５−ジ（２−エチル−４−ピリジル）ペンタ
ン、１，５−ジ（２−プロピル−４−ピリジル）ペンタ
ンなどが挙げられる。
【００１６】本発明の着色感光性樹脂組成物は、色素と
して染料（Ｂ）を含有する。染料は感光性樹脂組成物に
溶解し得て、カラーフィルターの色フィルタ層を形成し
得る染料であれば、特に限定されるものではない。例え
ば黄色の色フィルタ層を形成するために用いられる着色
感光性樹脂組成物には、シー・アイ・ソルベント・イエ
ロー８２（C.I.Solvent Yellow 82）、シー・アイ・ソ
ルベント・イエロー１６２（C.I.Solvent Yellow 162）
などの染料を用いることができる。
して染料（Ｂ）を含有する。染料は感光性樹脂組成物に
溶解し得て、カラーフィルターの色フィルタ層を形成し
得る染料であれば、特に限定されるものではない。例え
ば黄色の色フィルタ層を形成するために用いられる着色
感光性樹脂組成物には、シー・アイ・ソルベント・イエ
ロー８２（C.I.Solvent Yellow 82）、シー・アイ・ソ
ルベント・イエロー１６２（C.I.Solvent Yellow 162）
などの染料を用いることができる。
【００１７】本発明の着色感光性樹脂組成物は、アルカ
リ可溶性樹脂（Ｃ）を含む。アルカリ可溶性樹脂とは、
アルカリ性の現像液に溶解し得る樹脂であり、通常の感
光性樹脂組成物に用いられると同様のアルカリ可溶性樹
脂を用いることができる。かかるアルカリ可溶性樹脂と
しては、例えばノボラック樹脂、ビニルフェノール樹脂
などが挙げられ、好ましくはノボラック樹脂である。ノ
ボラック樹脂としては、ｐ−クレゾールとホルムアルデ
ヒドとが縮合されてなるノボラック樹脂、ｐ−クレゾー
ルおよびｍ−クレゾールとホルムアルデヒドとが縮合さ
れてなるノボラック樹脂、式（１） で示される構造単位を有するノボラック樹脂などが挙げ
られる。ビニルフェノール樹脂としては、例えばポリビ
ニルフェノール、スチレン−ビニルフェノール共重合体
などが挙げられる。
リ可溶性樹脂（Ｃ）を含む。アルカリ可溶性樹脂とは、
アルカリ性の現像液に溶解し得る樹脂であり、通常の感
光性樹脂組成物に用いられると同様のアルカリ可溶性樹
脂を用いることができる。かかるアルカリ可溶性樹脂と
しては、例えばノボラック樹脂、ビニルフェノール樹脂
などが挙げられ、好ましくはノボラック樹脂である。ノ
ボラック樹脂としては、ｐ−クレゾールとホルムアルデ
ヒドとが縮合されてなるノボラック樹脂、ｐ−クレゾー
ルおよびｍ−クレゾールとホルムアルデヒドとが縮合さ
れてなるノボラック樹脂、式（１） で示される構造単位を有するノボラック樹脂などが挙げ
られる。ビニルフェノール樹脂としては、例えばポリビ
ニルフェノール、スチレン−ビニルフェノール共重合体
などが挙げられる。
【００１８】本発明の着色感光性樹脂組成物は、感光剤
（Ｄ）を含む。感光剤とは、光線を照射されることによ
ってアルカリ可溶性樹脂がアルカリ性溶液へ溶解するこ
とを防止する機能を有する化合物であって、通常の感光
性樹脂組成物に用いられると同様の感光剤を用いること
ができる。かかる感光剤としては、例えばフェノール化
合物とｏ−ナフトキノンジアジドスルホン酸化合物との
エステル化合物が挙げられる。ここで、フェノール化合
物としては、例えば式（２） で示される化合物が挙げられる。ｏ−ナフトキノンジア
ジドスルホン酸化合物としては、ｏ−ナフトキノンジア
ジド−５−スルホン酸、ｏ−ナフトキノンジアジド−４
−スルホン酸などが挙げられる。
（Ｄ）を含む。感光剤とは、光線を照射されることによ
ってアルカリ可溶性樹脂がアルカリ性溶液へ溶解するこ
とを防止する機能を有する化合物であって、通常の感光
性樹脂組成物に用いられると同様の感光剤を用いること
ができる。かかる感光剤としては、例えばフェノール化
合物とｏ−ナフトキノンジアジドスルホン酸化合物との
エステル化合物が挙げられる。ここで、フェノール化合
物としては、例えば式（２） で示される化合物が挙げられる。ｏ−ナフトキノンジア
ジドスルホン酸化合物としては、ｏ−ナフトキノンジア
ジド−５−スルホン酸、ｏ−ナフトキノンジアジド−４
−スルホン酸などが挙げられる。
【００１９】本発明の着色感光性樹脂組成物は硬化剤
（Ｅ）を含む。硬化剤としては、通常、加熱されること
によって色フィルタ層を硬化させることができる熱硬化
剤が使用される。かかる熱硬化剤としては、例えば式
（３） 〔式中、Ｚは−ＮＱ5Ｑ6で示される置換基またはフェニ
ル基を示し、Ｑ1〜Ｑ6はそれぞれ独立に水素原子、−
（ＣＨ2）sＯＨで示される置換基または−（ＣＨ2）sＯ
Ｑ0で示される置換基を示す。Ｑ0はアルキル基を示し、
ｓは１〜４の整数を示す。ただしＱ1〜Ｑ6のうちの少な
くとも一つは−（ＣＨ2）sＯＨで示される置換基または
−（ＣＨ2）sＯＱ0で示される置換基を示す。〕で示さ
れる化合物、式（３１）〜（３６） で示される化合物などを用いることができる。
（Ｅ）を含む。硬化剤としては、通常、加熱されること
によって色フィルタ層を硬化させることができる熱硬化
剤が使用される。かかる熱硬化剤としては、例えば式
（３） 〔式中、Ｚは−ＮＱ5Ｑ6で示される置換基またはフェニ
ル基を示し、Ｑ1〜Ｑ6はそれぞれ独立に水素原子、−
（ＣＨ2）sＯＨで示される置換基または−（ＣＨ2）sＯ
Ｑ0で示される置換基を示す。Ｑ0はアルキル基を示し、
ｓは１〜４の整数を示す。ただしＱ1〜Ｑ6のうちの少な
くとも一つは−（ＣＨ2）sＯＨで示される置換基または
−（ＣＨ2）sＯＱ0で示される置換基を示す。〕で示さ
れる化合物、式（３１）〜（３６） で示される化合物などを用いることができる。
【００２０】本発明の着色感光性樹脂組成物は通常、染
料（Ｂ）、アルカリ可溶性樹脂（Ｃ）および感光剤
（Ｄ）の合計量１００重量部中に染料（Ｂ）を２５〜５
５重量部、アルカリ可溶性樹脂（Ｃ）を３〜５０重量
部、感光剤（Ｄ）を１５〜５５重量部それぞれ含む。ま
た、硬化剤（Ｅ）は通常、染料（Ｂ）、アルカリ可溶性
樹脂（Ｃ）および感光剤（Ｄ）の合計量１００重量部あ
たり硬化剤を１０〜３５重量部含む。
料（Ｂ）、アルカリ可溶性樹脂（Ｃ）および感光剤
（Ｄ）の合計量１００重量部中に染料（Ｂ）を２５〜５
５重量部、アルカリ可溶性樹脂（Ｃ）を３〜５０重量
部、感光剤（Ｄ）を１５〜５５重量部それぞれ含む。ま
た、硬化剤（Ｅ）は通常、染料（Ｂ）、アルカリ可溶性
樹脂（Ｃ）および感光剤（Ｄ）の合計量１００重量部あ
たり硬化剤を１０〜３５重量部含む。
【００２１】染料（Ｂ）、アルカリ可溶性樹脂（Ｃ）、
感光剤（Ｄ）および硬化剤（Ｅ）を含む着色感光性樹脂
組成物にアミン化合物およびピリジン化合物から選ばれ
る少なくとも１種の化合物（Ａ）を含有させることによ
り、着色感光性樹脂組成物が保存安定化され、保存によ
る感度の低下が少なく、安定して保存することができ
る。
感光剤（Ｄ）および硬化剤（Ｅ）を含む着色感光性樹脂
組成物にアミン化合物およびピリジン化合物から選ばれ
る少なくとも１種の化合物（Ａ）を含有させることによ
り、着色感光性樹脂組成物が保存安定化され、保存によ
る感度の低下が少なく、安定して保存することができ
る。
【００２２】本発明の着色感光性樹脂組成物は、溶剤で
希釈されていてもよい。溶剤としては、例えばメチルセ
ルソルブ、エチルセルソルブ、メチルセルソルブアセテ
ート、エチルセルソルブアセテート、ジエチレングリコ
ールジメチルエーテル、エチレングリコールモノイソプ
ロピルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエー
テル、ｎ−メチルピロリドン、γ−ブチロラクトン、ジ
メチルスルホキシド、Ｎ，Ｎ’−ジメチルホルムアミ
ド、シクロヘキサン、酢酸エチル、酢酸ｎ−ブチル、酢
酸プロピレングリコールモノエチルエーテル、ピルビン
酸エチル、乳酸エチルなどが挙げられる。かかる溶剤は
それぞれ単独で用いてもよいし、２種以上を混合して用
いてもよい。溶剤で希釈する場合、溶剤は、染料、感光
剤、アルカリ可溶性樹脂および硬化剤の合計１００重量
部あたり、通常１８０〜４００重量部程度用いられる。
希釈されていてもよい。溶剤としては、例えばメチルセ
ルソルブ、エチルセルソルブ、メチルセルソルブアセテ
ート、エチルセルソルブアセテート、ジエチレングリコ
ールジメチルエーテル、エチレングリコールモノイソプ
ロピルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエー
テル、ｎ−メチルピロリドン、γ−ブチロラクトン、ジ
メチルスルホキシド、Ｎ，Ｎ’−ジメチルホルムアミ
ド、シクロヘキサン、酢酸エチル、酢酸ｎ−ブチル、酢
酸プロピレングリコールモノエチルエーテル、ピルビン
酸エチル、乳酸エチルなどが挙げられる。かかる溶剤は
それぞれ単独で用いてもよいし、２種以上を混合して用
いてもよい。溶剤で希釈する場合、溶剤は、染料、感光
剤、アルカリ可溶性樹脂および硬化剤の合計１００重量
部あたり、通常１８０〜４００重量部程度用いられる。
【００２３】本発明の着色感光性樹脂組成物は、例えば
染料、感光剤、アルカリ可溶性樹脂および硬化剤を混合
することにより製造され、溶剤中でこれらを混合するこ
とにより、溶剤で希釈された着色感光性樹脂組成物を製
造することができる。
染料、感光剤、アルカリ可溶性樹脂および硬化剤を混合
することにより製造され、溶剤中でこれらを混合するこ
とにより、溶剤で希釈された着色感光性樹脂組成物を製
造することができる。
【００２４】かかる本発明の着色感光性樹脂組成物は、
保存中の感度の低下が低減されているので、かかる着色
感光性樹脂組成物をパターンニングして色フィルタ層を
形成する工程を有する方法によりカラーフィルターを製
造することとすれば、保存後の着色感光性樹脂組成物で
あっても、製造直後の着色感光性樹脂組成物を用いたと
同様の光線強度、照射時間で露光して、色フィルタ層を
形成することができる。
保存中の感度の低下が低減されているので、かかる着色
感光性樹脂組成物をパターンニングして色フィルタ層を
形成する工程を有する方法によりカラーフィルターを製
造することとすれば、保存後の着色感光性樹脂組成物で
あっても、製造直後の着色感光性樹脂組成物を用いたと
同様の光線強度、照射時間で露光して、色フィルタ層を
形成することができる。
【００２５】本発明の着色感光性樹脂組成物を用いてパ
ターンニングするには、通常と同様に、基板（１）の表
面上に全面に亙って本発明の着色感光性樹脂組成物から
なる層（２）を形成し（図１(a)）、該層（２）にレチ
クル（３）を介して光線（４）を照射して露光すればよ
い(図１(b)）。
ターンニングするには、通常と同様に、基板（１）の表
面上に全面に亙って本発明の着色感光性樹脂組成物から
なる層（２）を形成し（図１(a)）、該層（２）にレチ
クル（３）を介して光線（４）を照射して露光すればよ
い(図１(b)）。
【００２６】基板（１）は、ガラス板などであってもよ
いし、シリコンウェハーなどであってもよい。シリコン
ウェハーは、その表面に電荷結合素子（ＣＣＤ）などの
固体撮像素子などが形成されていてもよい。かかる基板
の上に本発明の着色感光性樹脂組成物層（２）を形成す
るには、通常と同様にスピンコート法などの方法により
着色感光性樹脂組成物を塗布すればよい。着色感光性樹
脂組成物を溶剤で希釈された状態で塗布した場合には、
塗布後、加熱するなどして溶剤を揮発させてもよい。
いし、シリコンウェハーなどであってもよい。シリコン
ウェハーは、その表面に電荷結合素子（ＣＣＤ）などの
固体撮像素子などが形成されていてもよい。かかる基板
の上に本発明の着色感光性樹脂組成物層（２）を形成す
るには、通常と同様にスピンコート法などの方法により
着色感光性樹脂組成物を塗布すればよい。着色感光性樹
脂組成物を溶剤で希釈された状態で塗布した場合には、
塗布後、加熱するなどして溶剤を揮発させてもよい。
【００２７】光線（４）としては、例えばｉ線（波長３
６５ｎｍ）を用いることができる。露光は、通常の露光
機を用いて行うことができる。レチクル（３）と着色感
光性樹脂組成物層（２）との間には、光学レンズ（図示
せず。）が配置されていてもよい。光学レンズは、例え
ばレチクルを透過した光線を集光して、レチクルよりも
小さなサイズの色フィルタ層を形成するために用いられ
る。
６５ｎｍ）を用いることができる。露光は、通常の露光
機を用いて行うことができる。レチクル（３）と着色感
光性樹脂組成物層（２）との間には、光学レンズ（図示
せず。）が配置されていてもよい。光学レンズは、例え
ばレチクルを透過した光線を集光して、レチクルよりも
小さなサイズの色フィルタ層を形成するために用いられ
る。
【００２８】レチクル（３）には光線（４）を透過する
領域（３１）と遮蔽する領域（３２）とが設けられてい
るので、着色感光性樹脂組成物層（２）には光線が照射
される領域（２１）と光線が照射されない領域（２２）
とが生ずる（図１(b)）。露光における光線の強度や照
射時間は、適宜選択されるが、本発明の着色感光性樹脂
組成物は保存中の感度の低下が低減されているので、比
較的長期間保存したのちの着色感光性樹脂組成物を用い
た場合であっても、製造直後の着色感光性樹脂組成物を
用いた場合の光線の強度および照射時間と同様の強度お
よび照射時間で露光すればよい。
領域（３１）と遮蔽する領域（３２）とが設けられてい
るので、着色感光性樹脂組成物層（２）には光線が照射
される領域（２１）と光線が照射されない領域（２２）
とが生ずる（図１(b)）。露光における光線の強度や照
射時間は、適宜選択されるが、本発明の着色感光性樹脂
組成物は保存中の感度の低下が低減されているので、比
較的長期間保存したのちの着色感光性樹脂組成物を用い
た場合であっても、製造直後の着色感光性樹脂組成物を
用いた場合の光線の強度および照射時間と同様の強度お
よび照射時間で露光すればよい。
【００２９】露光後、着色感光性樹脂組成物層（２）を
アルカリ性水溶液で処理することにより、着色感光性樹
脂組成物層（２）のうちの光線が照射された領域（２
１）がアルカリ性水溶液に溶解し、光線が照射されなか
った領域（２２）が溶解することなく残って、色フィル
タ層（５１）を構成する（図１(c)）。アルカリ性水溶
液としては、感光性樹脂組成物の現像に通常用いられる
と同様のものと用いることができ、現像液として市販さ
れているものと用いることもできる。アルカリ水溶液で
処理するには、例えば露光後の感光性樹脂組成物層
（２）を基板（１）とともにアルカリ性の水溶液に浸漬
すればよい。アルカリ性水溶液で処理したのち、水洗
し、乾燥することにより、色フィルタ層（５１）を得
る。
アルカリ性水溶液で処理することにより、着色感光性樹
脂組成物層（２）のうちの光線が照射された領域（２
１）がアルカリ性水溶液に溶解し、光線が照射されなか
った領域（２２）が溶解することなく残って、色フィル
タ層（５１）を構成する（図１(c)）。アルカリ性水溶
液としては、感光性樹脂組成物の現像に通常用いられる
と同様のものと用いることができ、現像液として市販さ
れているものと用いることもできる。アルカリ水溶液で
処理するには、例えば露光後の感光性樹脂組成物層
（２）を基板（１）とともにアルカリ性の水溶液に浸漬
すればよい。アルカリ性水溶液で処理したのち、水洗
し、乾燥することにより、色フィルタ層（５１）を得
る。
【００３０】かかる色フィルタ層は、着色感光性樹脂組
成物に含有される染料によって着色されている。また、
そのパターンはレチクルの光線を遮蔽する領域（３２）
と同様であって、例えば帯状であってもよいし（図２
(a)）、モザイク状であってもよい（図２(b)）。
成物に含有される染料によって着色されている。また、
そのパターンはレチクルの光線を遮蔽する領域（３２）
と同様であって、例えば帯状であってもよいし（図２
(a)）、モザイク状であってもよい（図２(b)）。
【００３１】アルカリ性水溶液で処理したのち、通常は
加熱する。加熱することのより、得られた色フィルタ層
（５１）が硬化して、その機械的強度を向上することが
できる。
加熱する。加熱することのより、得られた色フィルタ層
（５１）が硬化して、その機械的強度を向上することが
できる。
【００３２】次いで、着色感光性樹脂組成物に含まれる
染料の色を換えて上記と同様の操作を繰り返し行うこと
により、三原色に対応した各色の色フィルタ層（５２、
５３）を順次形成して、カラーフィルター（６）を得る
ことができる（図３）。
染料の色を換えて上記と同様の操作を繰り返し行うこと
により、三原色に対応した各色の色フィルタ層（５２、
５３）を順次形成して、カラーフィルター（６）を得る
ことができる（図３）。
【００３３】かくして得られるカラーフィルター（６）
は、カラー液晶表示装置、カラー固体撮像装置などのカ
ラーフィルターとして有用である。
は、カラー液晶表示装置、カラー固体撮像装置などのカ
ラーフィルターとして有用である。
【００３４】
【発明の効果】本発明の着色感光性樹脂組成物は、保存
中の感度の低下が少ないので、保存後であっても、製造
直後の着色感光性樹脂組成物を用いた場合の光線の強度
および照射時間と同様の強度および照射時間で露光する
ことができる。
中の感度の低下が少ないので、保存後であっても、製造
直後の着色感光性樹脂組成物を用いた場合の光線の強度
および照射時間と同様の強度および照射時間で露光する
ことができる。
【００３５】
【実施例】以下、実施例により本発明をより詳細に説明
するが、本発明はかかる実施例により限定されるもので
はない。
するが、本発明はかかる実施例により限定されるもので
はない。
【００３６】実施例１ （着色感光性樹脂組成物の製造）シー・アイ・ソルベン
ト・イエロー８２（染料）１７．７５重量部、シー・ア
イ・ソルベント・イエロー１６２（染料）１７．７５重
量部、ｏ−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸のエ
ステル化合物（感光剤）２６．５重量部、式（１）で示
される構造単位を有するノボラック樹脂（アルカリ可溶
性樹脂）１８重量部、式（３０） で示される化合物であるヘキサメトキシメチルメラミン
（硬化剤）２０重量部、ｐ−アミノフェノール（アミン
化合物）０．１重量部、乳酸エチル（溶剤）２５５．６
重量部およびＮ，Ｎ’−ジメチルホルムアミド（溶剤）
１０９．５重量部を混合し、メンブランフィルター（孔
径０．１μｍ）で濾過して着色感光性樹脂組成物を得
た。
ト・イエロー８２（染料）１７．７５重量部、シー・ア
イ・ソルベント・イエロー１６２（染料）１７．７５重
量部、ｏ−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸のエ
ステル化合物（感光剤）２６．５重量部、式（１）で示
される構造単位を有するノボラック樹脂（アルカリ可溶
性樹脂）１８重量部、式（３０） で示される化合物であるヘキサメトキシメチルメラミン
（硬化剤）２０重量部、ｐ−アミノフェノール（アミン
化合物）０．１重量部、乳酸エチル（溶剤）２５５．６
重量部およびＮ，Ｎ’−ジメチルホルムアミド（溶剤）
１０９．５重量部を混合し、メンブランフィルター（孔
径０．１μｍ）で濾過して着色感光性樹脂組成物を得
た。
【００３７】（評価） （１）製造直後の感度 上記で得た直後の着色感光性樹脂組成物をシリコンウェ
ハー（１）の上にスピンコート法にて塗布し、１００℃
で１分間加熱して溶剤を揮発させて着色感光性樹脂組成
物層（２）を形成した（図１(a)）。次いで、露光機
〔ニコン(株)製、「Ｎｉｋｏｎ ＮＳＲ １７５５ｉ７
Ａ」〕を用いてレチクル（３）を介してｉ線（波長３６
５ｎｍ）を照射して露光したのち（図１(b)）、現像液
（住友化学工業(株)製、「ＳＯＰＤ−Ｔ」、２３℃）に
１分間浸漬して現像し、水洗、乾燥して、線幅が５０μ
ｍで厚みが０．８μｍの帯状のパターンで形成された黄
色フィルタ層（５１）を形成した（図３(a)）。露光に
おける露光時間を変えながら上記と同様の操作を繰り返
し行い、着色感光性樹脂組成物層（２）のうちの露光に
おいて光が照射された領域（２１）が現像で完全に除去
されるのに要する最小の露光時間を（Ｔ0）とした。 （２）保存後の着色感光性樹脂組成物の感度 上記で得た着色感光性樹脂組成物を褐色のガラス瓶に入
れ、常温で２週間保管したのち、上記と同様に操作し
て、着色感光性樹脂組成物層（２）のうちの露光におい
て光が照射された領域（２１）が現像で完全に除去され
るのに要する最小の露光時間を（Ｔ1）とした。 （３）感度の変化率の計算 上記で得た露光時間Ｔ0、Ｔ1から計算式（４） Ｒ＝Ｔ1／Ｔ0 （４） により感度の変化率（Ｒ）を算出した。結果を表１に示
す。
ハー（１）の上にスピンコート法にて塗布し、１００℃
で１分間加熱して溶剤を揮発させて着色感光性樹脂組成
物層（２）を形成した（図１(a)）。次いで、露光機
〔ニコン(株)製、「Ｎｉｋｏｎ ＮＳＲ １７５５ｉ７
Ａ」〕を用いてレチクル（３）を介してｉ線（波長３６
５ｎｍ）を照射して露光したのち（図１(b)）、現像液
（住友化学工業(株)製、「ＳＯＰＤ−Ｔ」、２３℃）に
１分間浸漬して現像し、水洗、乾燥して、線幅が５０μ
ｍで厚みが０．８μｍの帯状のパターンで形成された黄
色フィルタ層（５１）を形成した（図３(a)）。露光に
おける露光時間を変えながら上記と同様の操作を繰り返
し行い、着色感光性樹脂組成物層（２）のうちの露光に
おいて光が照射された領域（２１）が現像で完全に除去
されるのに要する最小の露光時間を（Ｔ0）とした。 （２）保存後の着色感光性樹脂組成物の感度 上記で得た着色感光性樹脂組成物を褐色のガラス瓶に入
れ、常温で２週間保管したのち、上記と同様に操作し
て、着色感光性樹脂組成物層（２）のうちの露光におい
て光が照射された領域（２１）が現像で完全に除去され
るのに要する最小の露光時間を（Ｔ1）とした。 （３）感度の変化率の計算 上記で得た露光時間Ｔ0、Ｔ1から計算式（４） Ｒ＝Ｔ1／Ｔ0 （４） により感度の変化率（Ｒ）を算出した。結果を表１に示
す。
【００３８】実施例２ ｐ−アミノフェノールに代えて１，３−ジ−４−ピリジ
ルプロパン（ピリジン化合物）０．１重量部を用いる以
外は、実施例１と同様に操作して、着色感光性樹脂組成
物を得、評価を行い感度の変化率（Ｒ）を求めた。結果
を表１に示す。
ルプロパン（ピリジン化合物）０．１重量部を用いる以
外は、実施例１と同様に操作して、着色感光性樹脂組成
物を得、評価を行い感度の変化率（Ｒ）を求めた。結果
を表１に示す。
【００３９】比較例１ ｐ−アミノフェノールを用いることなく着色感光性樹脂
組成物を得る以外は実施例１と同様に操作して、着色感
光性樹脂組成物を得、評価を行い感度の変化率（Ｒ）を
求めた。結果を表１に示す。
組成物を得る以外は実施例１と同様に操作して、着色感
光性樹脂組成物を得、評価を行い感度の変化率（Ｒ）を
求めた。結果を表１に示す。
【００４０】
【表１】
【図１】着色感光性樹脂組成物を用いて色フィルタ層を
得る工程を説明するための断面模式図である。
得る工程を説明するための断面模式図である。
【図２】得られたカラーフィルターの一例を示す断面模
式図である。
式図である。
【図３】色フィルタ層のパターンの一例を示す模式図で
ある。
ある。
【符号の説明】 １ ：基板 ２ ：着色感光性樹脂組成物層 ３ ：レチクル ３１：光線を透過する領域 ３２：光線を遮蔽する領域 ４ ：光線 ５１：色フィルタ層 ５２：色フィルタ層 ５
３：色フィルタ層 ６ ：カラーフィルター
３：色フィルタ層 ６ ：カラーフィルター
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｃ０８Ｋ 5/3432 Ｃ０８Ｋ 5/3432 Ｃ０８Ｌ 101/00 Ｃ０８Ｌ 101/00 Ｇ０２Ｂ 5/20 １０１ Ｇ０２Ｂ 5/20 １０１ Ｇ０３Ｆ 7/032 Ｇ０３Ｆ 7/032 (72)発明者 町口 和宏 大阪市此花区春日出中３丁目１番98号 住 友化学工業株式会社内 Ｆターム(参考） 2H025 AA00 AB13 AC01 AD01 BE01 CB00 CB17 CB28 CB29 CB45 CC01 CC03 CC13 CC17 FA17 2H048 BA45 BA47 BA48 BB42 BB46 4J002 CC031 CC041 EJ019 EJ029 EL089 EN026 EN066 EU037 EU047 EU180 EV239 FD098 FD140 FD209 GP03
Claims (9)
- 【請求項１】アミン化合物およびピリジン化合物から選
ばれる少なくとも１種の化合物（Ａ）、染料（Ｂ）、ア
ルカリ可溶性樹脂（Ｃ）、感光剤（Ｄ）ならびに硬化剤
（Ｅ）を含むことを特徴とする着色感光性樹脂組成物。 - 【請求項２】染料（Ｂ）、アルカリ可溶性樹脂（Ｃ）、
感光剤（Ｄ）および硬化剤（Ｅ）の合計１００重量部あ
たりアミン化合物およびピリジン化合物から選ばれる少
なくとも１種の化合物（Ａ）を０．０１重量部以上含む
請求項１に記載の着色感光性樹脂組成物。 - 【請求項３】アミン化合物が一般式（Ｉ） （式中、Ｒ1およびＲ2はそれぞれ独立に水素原子、アル
キル基、シクロアルキル基またはアリール基を示す。）
で示される置換基を有する化合物である請求項１または
請求項２に記載の着色感光性樹脂組成物。 - 【請求項４】アミン化合物が一般式（Ｉ−１） （式中、Ｒ1およびＲ2はそれぞれ前記と同じ意味を示
し、Ｒ3はアルキル基、シクロアルキル基またはアリー
ル基を示す。）で示される化合物である請求項３に記載
の着色感光性樹脂組成物。 - 【請求項５】ピリジン化合物が一般式（II） （式中、Ｒ4はアルキル基を示し、ｉは０〜４の整数を
示す。）で示される置換基を有する化合物である請求項
１または請求項２に記載の着色感光性樹脂組成物。 - 【請求項６】ピリジン化合物が一般式（II−１） （式中、Ｒ4およびｉはそれぞれ前記と同じ意味を示
し、ｎは１〜８の整数を示し、Ｒ5はアルキル基を示
し、ｊは０〜４の整数を示す。）で示される化合物であ
る請求項５に記載の着色感光性樹脂組成物。 - 【請求項７】溶剤で希釈されている請求項１に記載の感
光性樹脂組成物。 - 【請求項８】請求項１に記載の着色感光性樹脂組成物を
パターンニングして色フィルタ層を形成する工程を有す
ることを特徴とするカラーフィルターの製造方法。 - 【請求項９】染料（Ｂ）、アルカリ可溶性樹脂（Ｃ）、
感光剤（Ｄ）および硬化剤（Ｅ）を含む着色感光性樹脂
組成物にアミン化合物およびピリジン化合物から選ばれ
る少なくとも１種の化合物（Ｅ）を含有させることを特
徴とする着色感光性樹脂組成物の保存安定化方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000390713A JP4513208B2 (ja) | 2000-12-22 | 2000-12-22 | 保存安定性に優れた着色感光性樹脂組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000390713A JP4513208B2 (ja) | 2000-12-22 | 2000-12-22 | 保存安定性に優れた着色感光性樹脂組成物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002196481A true JP2002196481A (ja) | 2002-07-12 |
| JP4513208B2 JP4513208B2 (ja) | 2010-07-28 |
Family
ID=18857024
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000390713A Expired - Lifetime JP4513208B2 (ja) | 2000-12-22 | 2000-12-22 | 保存安定性に優れた着色感光性樹脂組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4513208B2 (ja) |
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|---|---|---|---|---|
| JP2007094181A (ja) * | 2005-09-29 | 2007-04-12 | Fujifilm Corp | 染料含有ネガ型硬化性組成物、カラーフィルタ及びその製造方法 |
| JP2007316177A (ja) * | 2006-05-24 | 2007-12-06 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 着色感光性樹脂組成物、カラーフィルタ、イメージセンサおよびカメラシステム |
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| US7910272B2 (en) | 2006-02-16 | 2011-03-22 | Fujifilm Corporation | Dye-containing photosensitive composition, color filter using the same, and production method thereof |
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2000
- 2000-12-22 JP JP2000390713A patent/JP4513208B2/ja not_active Expired - Lifetime
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