TW517167B - A color filter array having a green filter layer - Google Patents

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經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 517167 A7 _B7_ 五、發明説明（1 ) 發明背景 本發明係關於供固態影像裝置或者液晶顯示裝置用的 濾色器陣列，並且亦係關於製造彼的方法。 當濾色器陣列在諸如固態影像裝置或者液晶顯示裝置 的裝置上形成時，習知其會形成包含紅色濾波層（R)、綠色 濾波層（G)、及藍色濾波層（B)的濾色器陣歹[J (2)並在和基板 (1)相同的平面中彼此鄰接（圖1)。在濾色器陣列（2)中， 濾波層（R)、（G)、（B)係排列成條紋圖案（圖2 )或者類網絡 圖案（嵌鑲結構）（圖3 )。 多種製備此濾色器陣列的方法已爲人提出。其中，所 謂的π色阻法n(color resist method)有廣泛的實務應用。在色 阻法中，圖樣化係利用以下的方式實施，即，將包含著色 劑的光敏性樹脂組成物施以曝光及顯影，並且圖樣化係於 所需的時間內依序地重覆實施。 至於光阻法中使用的光敏性樹脂組成物，以顏料作爲 著色劑者被廣泛地使用。然而，該等顏料並不適於精細或 微小圖案的形成，因爲其爲顆粒並且不溶於顯影劑中，所 以會產生顯影殘餘物。 使用染料作爲著色劑的光敏性樹脂組成物習知亦可以 作爲供製得精細圖案化之濾色器陣列用的光敏性樹脂組成 物。例如，Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-75 375揭示一種包含染料的負光敏性樹脂組成物，並且 Japanese Patent Publication No. 7- 1 1 1 485 揭示一種正光敏性 樹脂組成物其包含10至50% (基於乾重）溶解於正光敏性 ---------1------訂------^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家榡準（CNS ) A4規格（210X：Z97公釐） -4 - 517167 A7 B7 五、發明説明（2 ) 樹脂組成物之溶劑中的染料。（在下文中，’’JP-A-"係用以 表示 Japanese Patent Application Laid-Open，且 係用 以表示 Japanese Patent Publication ) 用於製備濾色器陣列之光敏性樹脂組成物中的著色劑 ，.例如上述者，必須具備以下兩種性質。 (1 )良好的光譜特性，即，在預定的可見光區內顯 現充分的吸收並且在其他區域無不必要的吸收。 (2 )良好的耐光度，即，在正常操作條件下不會因 染料的變色而產生老化。 然而，沒有一種使用於習知的光敏性樹脂組成物中的 染料同時具備上述兩種性質。 例如，雖然爐色器的綠色爐波層最好在450nm的波長 下具有小的透射率並在5 35nm的波長下具有大的透射率， 但是在習知的光敏性樹脂組成物中，當試圖降低45Onm下 的透射率時，5 35nm下的透射率亦會降低，因而造成光譜特 性的劣化。該等嘗試亦使得波長350至400nm的透射率降 低。因此，實施圖樣化所需的曝光能量的量即升高，而使 得濾色器的生產量降低。 以下將對習知的光敏性樹脂組成物的該等問題做更爲 具體的說明。 包含銅酞花青染料及 唑 酮偶氮染料（C.I. Solvent Yellow 88)的光敏性樹脂組成物係於上述的jp-B-7-111485 中提及。兩種染料均有極佳的耐光度。但是，因爲C.I. Solvent Yellow 88 (吡唑啉酮偶氮染料）在曝光所使用的近 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝· 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -5 - 517167 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（3 ) 紫外光區有相當高的吸收性，所以染料在組成物中的量即 受到限制，並且生成的綠色濾波層在45Onm下的透射率有 變大的傾向。除此之外，因爲染料在535nm下不具有足夠 高的透射率，所以生成的綠色濾波層對綠光的透射率有降 低的傾向。因此，以此光敏性樹脂組成物形成之綠色濾波 層製成的濾色器在效能上經常無法令人滿意。事實上，依 據公報，此光敏性樹脂組成物形成的2-微米厚綠色濾波層 的透射率在45Onm下爲6%，在535nm下爲56%，並且在 650nm 下爲 4%。 具有良好光譜特性的著色劑爲人習知。然而，沒有一 種具有良好光譜特性的著色劑具有令人滿意的耐光度。因 此，具有實用性之綠色濾波層的濾色器陣列即難以製得。 爲了硏發具有良好光譜特性以及良好耐光度之綠色濾 波層的濾色器陣列，本發明之發明人曾做過廣泛的硏究。 結果發現使用至少兩種特定的染料可使光譜特性及耐光度 均令人滿意的綠色濾波層得以製成。本發明亦基於此發現 而得以完成。 發明槪述 本發明提供基板上具有綠色濾波層的濾色器陣列其中 綠色濾波層包含波長600至700nm下有吸收最大値的銅酞 花青染料（在下文中稱爲”染料（I)，，），及波長400至500nm 下有吸收最大値的 唑 酮偶氮染料（在下文中稱爲"染料 (ΙΙ)Π);並且其在波長450nm下的透射率爲5%或以下且 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0x297公釐） -6- 裝------訂------線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 517167 A7 B7 五、發明説明（4 ) 5 3 5nm下的透射率爲62%或以上。 本發明亦提供製備濾色器陣列的方法。 ----------秦-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 附圖槪述 【圖1】 圖1係濾色器陣列的截面示意圖其中綠色濾波層 '紅 色濾波層、及藍色濾波層和基板位於同一平面。 【圖2】 圖2係濾色器陣列的平面示意圖其中綠色濾波層、紅 色濾波層、及藍色濾波層係排列成條紋圖案。 【圖3】 圖3係濾色器陣列的平面示意圖其中綠色濾波層、紅 色濾波層、及藍色濾波層係排列成嵌鑲圖案° 【圖4】 圖4係實例1中製得之濾色器陣列的平面示意圖° 【圖5】 圖5係實例1中製得之濾色器陣列的平面示意圖。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 【圖6】 圖6係例舉說明實例4中之步騾的示意圖。 【原件符號說明】 1 :基板 2:濾色器陣列 3 :過塗膜 本紙張尺度適用中.國國家樣準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐） 517167 A7 _B7_ 五、發明説明（5 ) 4 :聚砂酮電極 5 :感測器 6 : V型電阻 7 :遮光膜 8 :鈍化膜 9 :微透鏡 R :紅色濾波層 G :綠色濾波層 B :藍色濾波層 本發明之實施例 矽晶圓及透明無機玻璃板可以作爲本發明之濾色器中 之基板的範例。電荷耦合裝置可在矽晶圓上形成。 本發明之濾色器陣列在其基板上具有綠色濾波層。 綠色濾波層包含在波長600至700nm下具有吸收最大 値的染料（I)，及在波長400至500nm下具有吸收最大値的 染料（II)。染料⑴的具體實例包括以通式⑴表示的化合物： ---------裝------訂-------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

本紙張认適用中國家樣準（CNS ) A4規格（21〇χ297公楚） 517167 A7 B7 五、發明説明（6 ) 其中R1()、R11、R12、及R13各表示磺酸基或者其鹽基； 胺磺醯基；或者以通式（1)表示的經取代之胺磺醯基： R14HN-S〇2- (1) 其中R14表示具有2至20個碳原子的烷基，其中烷基 鏈具有2至12個碳原子的環己基烷基，其中烷基鏈具有、 至4個碳原子的烷基環己基，具有2至12個碳原子並且經 過具有2至12個碳原子之烷氧基取代的烷基，以通式（id) 表示的烷羧基烷基： R〗5-C〇-〇-R16- (1-1) 其中R15表示具有2至12個碳原子的烷基且R16表示具 有2至12個碳原子的伸烷基，以通式（1-2)表示的烷基氧代 鑛垸基： R17-0-C0-R18- (1-2) 其中R17表示具有2至12個碳原子的烷基且R18表示具 有2至12個碳原子的伸烷基，以具有1至20個碳原子之 院基取代的苯基，或者具有1至20個碳原子並且經過苯基 取代的烷基；並且i、j、k、m各表示0至2的整數，其前 提爲 i+j + k + m:$4o 本紙張尺度適用中國國家榡準（CNS ) A4規格（2】0X297公釐） ----------澤-- ί請先閱讀背面之注意事碩再填寫本頁，> 、-° 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 517167 A7 B7 五、發明説明（7 ) 以通式（I)表示的化合物中以R14表示之基團的實例如下 〇 具有2至20個碳原子之烷基的實例包括乙基、丙基、 正-己基、正-壬基、正-癸基、正-十二烷基、2-乙己基、 1，3-二甲基丁基、丨·甲基丁基、丨，5_二甲基己基、及M，3,3_ 四甲基丁基。其中烷基鏈具有2至12個碳原子之環己基烷 基的實例包括環己基乙基、3-環己基丙基、及8-環己基辛 基。其中烷基鏈具有1至4個碳原子之烷基環己基的實例 包括2-乙基環己基、2-丙基環己基、及2-(正-丁基）環己基 。具有2至12個碳原子並且經過具有2至12個碳原子之 烷氧基取代之烷基的實例包括3-乙氧基-正-丙基、丙氧丙基 、4-丙氧基·正-丁基、3-甲基-正-己基氧代乙基、及3-(2·乙 己基氧代）丙基。以具有1至20個碳原子之烷基取代的苯基 之實例包括鄰位-異丙基苯基。具有1至20個碳原子並且經 過苯基取代的烷基之實例包括DL-1-苯基乙基、苯甲基、及 3-苯基-正-丁基。 在通式（卜1)中以R15表示或者在通式（1-2)中以R17表示 之具有2至12個碳原子之烷基的實例包括乙基、丙基、正-己基、正-壬基、正-癸基、正-十二烷基、2-乙己基、1，3-二 甲基丁基、卜甲基丁基、1，5·二甲基己基、及1，1，3,3-四甲 基丁基。以R16或R18表示之伸烷基的實例有伸乙基、伸丙 基、伸丁基、伸戊基、及伸己基。 染料（I)的實例包括 C.I. Solvent Blue 25、C,I. Solvent Blue 55、C.I· Solvent Blue 67、C.I. Acid Blue 249、及 C.I. 本紙張尺度適用中國國家標準（ CNS ) A4規格（2i〇x297公釐） 71〇 . ----------參------、w------線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 517167 A7 B7 五、發明説明（8 )

Direct Blue 86。其係單獨使用或者倂用。該等染料（I)在600 至7 OOnm的波長範圍內具有吸收的最大値。 染料（II)的實例包括以通式（II)表示的化合物： 〆 - 0¾21 /=,° (II) /N-丨夕 h"―S - NHR20 R23 R24 〇 其中R2°表示具有2至10個碳原子的烷基；R21、R22、 及R24各表示氫原子、甲基、羥基、或氰基；且R23表示具 有1至4個碳原子的院基。 在以通式（II)表示的化合物中，具有2至10個碳原子 且以R2°表示的烷基之實例包括乙基、丙基、正-己基、正-壬基、正·癸基、正-十二烷基、2-乙己基、1，3-二甲基丁基 、1-甲基丁基、1,5-二甲基己基、及1，1，3,3-四甲基丁基。 具有1至4個碳原子且以R23表示的烷基之實例包括甲基、 乙基、丙基、及丁基。 染料（II)的實例爲C.I. Solvent Yellow 162。該等染料 (II)通常具有較低的i-光吸收性，並且其吸收最大値在波長 400 至 500nm 。 綠色濾波層的厚度及內含於其中之染料（I)及染料（II)的 量係經過控制以使得濾色器在波長450nm下的透射率爲5% 或以下並且在53 5nm下的透射率爲62%或以上。例如，當 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） _ ’ , _ I--------^-------II------@ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 517167 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（9 ) 綠色濾波層係以約1.6至1.9微米之厚度及染料（I)基於每 100重量份之染料（I)與染料（II)之總量的含量爲30至70重 量份（以40至50重量份爲較佳）的方式製得時，綠色濾 波層的的透射率在450nm下將爲5%或以下並且在535nm下 將爲62%或以上。 爲了改善耐光度及控制顏色，即，控制其光譜特性， 其他的染料可以摻至綠色濾波層中。例如，綠色濾波層可 以包含 唑 酮偶氮染料（在下文中稱之爲"染料（III)")其 在波長400至500nm下顯現吸收的最大値。染料（III)的實 例包括以通式（III)表示的化合物：

其中R31及R32各表示羥基或者羧酸基；R3D、R33、R34 、及R35各表示氫原子、鹵素原子、具有1至4個碳原子的 烷氧基、磺酸基、具有1至4個碳原子的烷基、或硝基、 及其鹽類。染料（III)的摻入可以進一步改善綠色濾波層的耐 光度。 氟原子、氯原子及溴原子可以作爲以通式（III)表示之化 合物中以、R33、R34、或R35表示之鹵素原子的範例。具 有1至4個碳原子之烷基的實例有甲基、乙基、丙基、及 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -12- I--------------1T------^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 517167 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（10 ) 丁基。具有1至4個碳原子之烷氧基的實例有甲氧基、乙 氧基、丙氧基、及丁氧基。 染料（III)可以是通式（III)的化合物或者其鹽類。具有鹼 金屬（例如鈉及鉀）或者具有胺（例如三乙胺、2 -乙基己 胺、及1-胺基-3-苯基丁烷）的化合物可以作爲鹽的範例。 當以通式（III)表示之化合物中的R3°、R33、R34、及r35中至 少有一個爲磺酸基時，其鹽類通常是在磺酸基的位置處生 成。 染料（III)可以經由和鉻原子的配位而形成螯合物。與鉻 原子形成螯合物可以進一步地改善耐光度。 染料（III)的實例有 C.I. Acid Yellow 17、C.I. Solvent Orange 56、及C.I. Solvent Yellow 82，並且其可以單獨使用 或者倂用。該等染料（III)在波長400至500nm下具有吸收 的最大値。 當使用染料（III)時，對每100重量份之染料⑴與染料 (II) 的總量而言，其含量通常爲70重量份或以下。如果染 料（III)的含量超過70重量份，諸如i-光吸收的程度會增加 ，其可能會使以曝光方式實施的圖樣化變得難以施行。除 此之外’染料（III)的含量通常爲10重量份或以上，當染料 (III) 的含量低於10重量份時，光譜特性的改善可能無法得 _令人滿意的結果。 綠色濾波層可以包含三烯丙基甲烷染料（在下文中稱 之爲"染料（IV)”）其在580至680nm的波長範圍內顯現吸收 的最大値。染料（IV)的實例包括以通式（IV-1)表示的化合物 本紙張尺度適用中國國家棣準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） -13- I I I— I I I I i I 备 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 517167 A7 B7 五、 發明説明（11

(IV -1) 基；並且R45表示以通式（4-1)表示的基團：

(4-1) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝. 17 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 其中R46表示氫原子或者胺基；並且R47表示氫原子或 者羥基或者以通式（4-2)表示的基團：

(4-2) 其中R48表示氫原子或者胺基；並且R49表示氫原子或 者經基；以通式（IV-2)表示的化合物： 本紙張又度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0X297公釐） 517167 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（12)

其中R41°及R4"各表示氫原子或者具有1至3個碳原子 的烷基；R412表示氫原子或者磺酸基；R413表示氫原子、磺 酸基、羧酸基、具有1至3個碳原子的烷基、具有1至3 個碳原子的烷氧基、或者以通式（41)表示的基團： - NR414R415 (41) 其中R414及R415各表示氫原子、苯基、具有1至3個碳 原子的烷基或者對位-位置爲具有1至3個碳原子之烷氧基 所取代的苯基；及其鹽類。 染料（IV)的摻入可以進一步地改善光譜特性同時亦可以 容易地將650nm下的透射率控制在10%或以下。 在通式（IV-2)的化合物中，具有1至3個碳原子並以 、r413、R4M、或r415表示之烷基的實例包括甲基 、乙基、及丙基。具有1至3個碳原子並以R413表示之院 氧基的實例包括甲氧基、乙氧基、及丙氧基。對位-位置爲 具有1至3個碳原子之烷氧基所取代並且以R414或R415表示 之苯基的實例包括對位-甲氧基苯基、對位-乙氧基苯基、及 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） · 15 ----------1------1T------0 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 517167 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（13 ) 對位-丙氧基苯基。 染料（IV)可以是以通式（IV-1)表示的化合物、通式（IV-2)的化合物、或者通式（IV-1)或（IV-2)之化合物的鹽類。 通式（IV-2)之化合物之鹽類的實例包括具有鹼金屬類者 例如鈉及鉀或者具有胺類者例如三乙胺、2-乙己基胺及1 -胺基-3-苯基丁烷。鹽類可以在-S〇3-殘基之位置或者在以 R4"或R413表示之酸基處生成。 以通式（IV-1)表示的化合物之實例包括C.I. Acid Green 16、C.I· Acid Blue 108、及 C.I. Acid Green 50。以通式（IV-2)表示的化合物或者其鹽類的實例包括C.I. AC1d Blue 7、 C.L Acid Blue 83 % C.I. Acid Blue 90 ' C.I. Solvent Blue 38 、（：.1. Acid Violet 17、C.I. Acid Violet 49、C.I. Acid Green .3、及C.I· Acid Green 9。該等染料（IV)可以單獨使用或者倂 用。該等染料（IV)在580至680nm的波長範圍內有吸收的最 大値。 當使用染料（IV)時，其含量係經過控制以使得綠色濾波 層的透射率在450nm下爲5 %或以下，在535 nm下爲62 %或 以上，並且在650nm下爲10%或以下。對每10〇重量份的 染料（I)及染料（II)的總量而言，染料（IV)的含量通常被調整 至70重量份或以下。當染料（17)的含量超過重量份時， 其在535nm下的透射率有降低的傾向。染料（IV)的含量最好 爲5重量份或以上，當含量低於5重量份時，則其在65〇nm 下的透射率將難以調整至10%或以下。 本發明之濾色器陣列可以利用一般的色阻法製得。例 本紙張尺度適用中.國國家樣準（CNS ) A4規格（210X297公茨） -16- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

517167 A7 B7 五、發明説明（14 ) 如，其可以藉包含光敏性樹脂組成物（包含著色劑）之圖 樣化步驟的方法製得。光敏性樹脂組成物包含染料⑴及染 料（II)。內含於光敏性樹脂組成物中之染料（I)及染料（II)的 量分別和所欲的綠色濾波層中者相同。如果希望綠色濾波 層包含其他的染料，例如，染料（III)及染料（IV)，則可以使 用包含染料（ΠΙ)及染料（IV)的光敏性樹脂組成物。內含於光 敏性樹脂組成物中之染料（III)及染料（IV)的量係與所欲的綠 色濾波層中者相同。圖樣化之後的綠色濾波層的透射率在 450nm下爲5%或以下並且在5 35nm下爲62%或以上。 光敏性樹脂組成物可以是正光敏性樹脂組成物或者負 光敏性樹脂組成物。 除了上述的染料之外，本發明之正光敏性樹脂組成物 尙包含諸如光活化化合物及鹼溶性樹脂。 使用於習知的光敏性樹脂組成物中的光活化化合物可 於本發明之正光敏性樹脂組成物中使用。其實例包括酚系 化合物和鄰位-萘醌二疊氮磺酸鹽形成的酯類。酚系化合物 的實例包括以化學式（1 0)表示的化合物。 I n I I n I n — I I I I I 訂 I I I 各 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

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17- 本紙張尺度適用中國國家樣準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐） 經濟‘部智慧財產局員工消費合作社印製 517167 A7 B7 五、發明説明（15 ) 鄰位-萘醌二疊氮-5-磺酸鹽及鄰位-萘醌二疊氮-4-磺酸 鹽可以作爲鄰位-萘醌二疊氮磺酸鹽的範例。 術語”鹼溶性樹脂”係指溶解於鹼性顯影劑中的樹脂，並 且和使用於習知之光敏性樹脂組成物中之樹脂類似的所有 鹼溶性樹脂均可使用。該等鹼溶性樹脂的實例包括酚醛淸 漆樹脂系例如對位-甲酚酚醛淸漆樹脂、對位-甲酚和間位-甲酚的酚醛淸漆樹脂；具有以式子（20)表示之結構的酚醛淸 漆樹脂：

;聚乙烯基酚；及苯乙烯與乙烯基酚形成的共聚物。 最好以酚醛淸漆樹脂作爲鹼溶性樹脂。 對每100重量份之染料、光活化化合物、及鹼溶性樹 脂的總量而言，內含於光敏性樹脂組成物中之染料、光活 化化合物、及鹼溶性樹脂的量通常分別爲25至55重量份 ，25至55重量份，及3至50重量份。 硬化劑可以摻至正光敏性樹脂組成物中。硬化劑的摻 入可以改善光敏性樹脂組成物形成之圖樣的機械強度。 經由加熱而硬化的熱硬化劑通常可以作爲硬化劑。熱 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -18- ---------扣衣------1T------^i (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 517167 • A7 _ __ _B7_ 五、發明説明（16 ) 硬化劑的實例包括以通式（30)表示的化合物：

其中Q1、Q2、Q3、及Q4各表示氫原子、具有1至4個 碳原子的羥烷基、或者具有1至4個碳原子並經過具有1 至4個碳原子之烷氧基取代的烷基；Z表示苯基或者以通式 (31)表示的基團： Q5Q6N- (31) Q5及Q6各表示氫原子、具有1至4個碳原子的羥烷基 、或者具有1至4個碳原子並經過具有1至4個碳原子之 烷氧基取代的烷基。 · 其前提爲Q1至Q6中至少有一個是具有1至4個碳原子 的羥烷基或者是具有1至4個碳原子並經過具有1至4個 碳.原子之烷氧基取代的烷基。 具有1至4個碳原子之羥烷基的實例包括羥甲基、羥 乙基、羥丙基、及羥丁基。具有1至4個碳原子並經過具 有1至4個碳原子之烷氧基取代的烷基之實例包括甲氧甲 基、甲氧乙基、乙氧乙基、及丙氧丁基。 以通式（30)表示之化合物的實例爲六甲氧甲基蜜胺。 除此之外，諸如以下化學式（32)至（37)的化合物可以在 I 裝1T線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -19 - 517167 A7 B7 五、發明説明（17 ) 本發明之正光敏性樹脂組成物中作爲硬化劑

OfcOH (32)

CHjOH

CH2OH (33)

气職 CHzOCEfe〇=( >=〇 / 一 Ν’ 0^0(¾ CH2OCH3 0 HaCOQzC、OfcOOfe N N (34) (35) 轉C、AN摩迅 (36) I--------f------IT------0 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 0一 0 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

HsCOlfcC、 人 JN N r I C2H5 (37) 當使用硬化劑時，對每100重量份之染料、光活化化 合物、及鹼溶性樹脂的總量而言，其含量通常爲不低於10 本紙張尺度適用中國國家標準（CMS ) A4規格（210X297公釐） _ 2〇 _ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (40) 乂 517167 A7 B7 五、發明説明（18 ) 重量份並且不高於35重量份。 本發明之正光敏性樹脂組成物通常會以溶劑稀釋。 溶劑係依據染料（I)、染料（II)、染料（III)、染料（IV)、 光活化化合物、鹼溶性樹脂、及硬化劑的溶解度而適當地 選用，特別是依據染料（I)、染料（II)、染料（III)、及染料 (IV)的溶解度而定。例如，可以使用甲基溶纖劑、乙基溶纖 劑、甲基溶纖劑乙酸酯、乙基溶纖劑乙酸酯、二乙二醇二 甲醚、乙二醇一異丙醚、丙二醇一甲醚、N-甲基 咯烷酮 、γ-丁內酯、二甲亞 、Ν，Ν’-二甲基甲醯胺、環己烷、乙 酸乙酯、乙酸正丁酯、丙二醇一乙醚乙酸酯、乙酸乙酯、 戊酸乙酯、乳酸乙酯、或類似物。該等溶劑可以單獨使用 或者倂用。 對每100重量份之染料、光活化化合物、鹼溶性樹脂 、及硬化劑的總量而言，欲使用之溶劑的量通常爲約1 80 -400重量份。 除了上述的染料之外，本發明之負光敏性樹脂組成物 尙包含諸如光反應性酸產生劑、硬化劑、及鹼溶性樹脂。 使用於習知的負光反應性樹脂組成物中的光反應性酸 產生劑可在本發明之負光敏性樹脂組成物中作爲光反應性 酸產生劑。其實例包括以通式（40)表示的化合物： S_/==r\ 7

N — 0一S—^ /)~Q y II \_/ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇x297公釐） 21 — 裝 訂 線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 517167 A7 B7 Η _ 五、發明説明（19 ) 其中Q7表示具有1至3個碳原子的烷基，並且Q8表示 以具有1至3個碳原子之烷基取代的苯基或者以具有1至3 個碳原子之烷氧基取代的苯基。 以Q7表示的具有1至3個碳原子之烷基的實例包括甲 基、乙基、及丙基。以具有1至3個碳原子之烷基取代並 且以Q8表示之苯基的實例爲鄰位-異丙苯基。以具有1至3 個碳原子之烷氧基取代的苯基之實例包括對位-甲氧苯基、 對位-乙氧苯基、及對位-丙氧苯基。 此外，諸如以化學式（41)至（47)表示的化合物： 0~ι+"0~ (41) bf4' (42) CF3S03" (43) I 11111 111111 ^ 111 I Λ^. (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (45) pf6"

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CF3S03 (46) 本紙張尺度適用中國國家榡準（CNS ) A4規格（210X297公釐） _ 22 _ 517167 A7 B7 五、發明説明（2〇 ) CCI3

CCI3 (47) 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 費 合 作 社 印 製 亦可以作爲光致酸產生劑。 經由加熱而硬化的熱硬化劑通常係以如同習知的負光 敏性樹脂組成物中的方式作爲硬化劑。上示作爲正光敏性 樹脂組成物之範例的熱硬化劑亦可以使用於本發明之負光 敏性樹脂組成物中。 上示作爲正光敏性樹脂組成物之範例的鹼溶性樹脂亦 可以如同習知的負光敏性樹脂組成物中的方式使用於本發 明之負光敏性樹脂組成物中。 對每1 00重量份之染料、光反應性酸產生劑、硬化劑 、及鹼溶性樹脂的總量而言，內含於負光敏性樹脂組成物 中的光致酸產生劑、硬化劑、及鹼溶性樹脂的量係如下所 不。染料的含量通常爲約15至40重量份，並且光致酸產 生劑的量通常爲0.3至5重量份。欲使用之硬化劑的量通常 爲10至25重量份，並且鹼溶性樹脂的含量通常爲2〇至75 重量份。 負光敏性樹脂組成物通常會以溶劑稀釋。 ί谷劑係依據染料（I)、染料（II)、染料（m)、染料（IV)、 光致酸產生劑、鹼溶性樹脂、及硬化劑的溶解度而選用，

(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝· 訂 線 517167 A7 B7_ 五、發明説明（21) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 特別是依據染料（I)、染料（II)、染料（III)、及染料（IV)的溶 解度而定。可以使用上示作爲正光敏性樹脂組成物之實例 .的溶劑。對每1 〇〇重量份之染料、光致酸產生劑、硬化劑 、及鹼溶性樹脂的總量而言，欲.使用之溶劑的量通常爲約 180至400重量份。 因爲上述的光敏性樹脂組成物使用染料（I)及染料（II)作 爲其著色劑，即使組成物以長時間儲存，亦幾乎無沉澱的 產生。因此，組成物可以實際上不具不規則性的方式塗覆 至基板上。此使得具有綠色濾波層的濾色器陣列可以厚度 爲約0.5至2微米且長度爲約2至20微米的圖樣在各側生 圖樣化係以如下方式實施，即，在基板上提供上述樹 脂組成物的塗層，將塗層曝光，然後施以顯影。 經濟·部智慧財產局員工消費合作社印製 塗層係藉經過稀釋之光敏性樹脂組成物塗覆至基板的 方式而提供。組成物的塗覆通常是利用旋轉塗覆法實施。 組成物塗覆至基板後，塗層被加熱至諸如約80至130°C以 使內含於其中的溶劑蒸發。光敏性樹脂組成物的塗層因而 製得。 其後，塗層被施以曝光。曝光係使用對應於所欲之圖 樣的光罩圖樣，並以光束經由光罩圖樣照射至塗層的方式 實施。諸如g·光、i-光、或者類似的光線可以作爲塗層曝光 用的光束。諸如g-光步進器或者i-光步進器可以作爲供曝 光用的曝光裝置。當使用負光敏性樹脂組成物時，塗層係 於曝光之後施以加熱。當使用正光敏性樹脂組成物時，塗 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -24- 517167 A7 ___B7_ 五、發明説明（22) 層可在曝光之後施以加熱或者可以不加熱。當塗層被施以 加熱時，加熱溫度係諸如約80至150°C。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 曝光之後，塗層被施以顯影。顯影的實施方式係將備 有塗層的基板浸沒於顯影劑中，其和使用一般的光敏性樹 脂組成物的情況相同。供習知光敏性樹脂組成物實施圖樣 化用的顯影劑亦可以用於本發明的圖樣化中。將基板自顯 影劑中取出並施以水洗以去除顯影劑可以製得具有所欲圖 樣之綠色濾波層的濾色器陣列。 當使用正光敏性樹脂組成物時，水洗之後，基板可再 施以紫外線照射。照射紫外線可使殘餘的光活化化合物分 解。除此之外，當光敏性樹脂組成物包含熱硬化劑時，基 板可在水洗之後施以加熱。當實施加熱時，形成的綠色濾 波層之機械強度得以改善。加熱溫度通常不低於1 60°c且不 高於220°C。加熱溫度通常不高於染料的分解溫度。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 當使用負光敏性樹脂組成物時，基板可在水洗之後施 以加熱。當實施加熱時，形成的綠色濾波層的機械強度得 到改善。加熱溫度通常不低於160t且不高於220t。加熱 溫度通常不高於染料的分解溫度。 因此，綠色濾波層以所欲的圖樣形成。其他濾波層， 即，紅色濾波層與藍色濾波層，係依據諸如習知的方式和 備有綠色濾波層的基板在同一平面上形成。當使用正光敏 性樹脂組成物時，爲了改善形成的綠色濾波層的強度，最 好使用包含硬化劑者並在顯影之後實施加熱。綠色濾波層 可在其他顏色的濾波層提供至基板上之後方予形成。 -25- 本紙張尺度適用中.國國家榡準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 517167 A7 B7 五、發明説明（23) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 因此，包含紅色濾波層、綠色濾波層、及藍色濾波層 並在基板同一平面上彼此連接的濾色器陣列得以製成。由 是製得的濾色器陣列係用於固態影像裝置、液晶顯示裝置 等。舉例而言，在固態影像裝置中，如果濾色器陣列係置 於其電荷耦合裝置的正面，則色彩再現性（特別是綠色的 再現性）極佳的彩色影像得以形成。 本發明之濾色器陣列對綠光顯現極佳的光譜特性並且 具有耐光度極佳的綠色濾波層。此外，因爲染料係作爲其 著色劑，欲用於其製造的光敏性樹脂組成物產生較少量的 沉潑物並且具有極佳的儲存安定性。因此，外來物含量較 低且厚度均勻的綠色濾波層可以容易地製得。此濾色器陣 列極適合用於液晶顯示裝置或者包含電荷耦合裝置的固態 影像裝置。 本發明將以實例爲基礎在下文中做更爲詳細的說明， 但是該等實例絕不應視爲本發明之範圍的限制。 實例1 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在2.5重量份作爲染料⑴的C.I. Solvent Blue 67、3.5 重量份作爲染料（II)的C.I. Solvent Yellow 162、3.5重量份 作爲染料（III)的C.I. Solvent Yellow 82、9重量份作爲光活 化化合物的以化學式（10)表示的酚系化合物和鄰位-萘醌二 疊氮-5·磺酸鹽形成的酯類、7.5重量份作爲鹼溶性樹脂的對 位·甲酚之酚醛淸漆樹脂（依據聚苯乙烯的重量平均分子量 :6,000 ) 、5重量份作爲硬化劑的六甲氧甲基蜜胺、及70 -26- ( CNS ) A4^ ( 210X297^ ) 517167 A7 B7 五、發明説明（24) 重量份作爲溶劑的乳酸乙酯混合及溶解之後，將生成的混 合物以孔隙尺寸爲0.1微米的薄膜過濾器施以過濾·而製得正 .光敏性樹脂組成物。 利用旋轉塗覆法將製得的正光敏性樹脂組成物塗覆至 基板（矽晶圓）上並在100°C下加熱1分鐘以使乳酸乙酯蒸 發即製得塗層。利用曝光設備（Nikon Corp.製造的"Nikon NSR i7A")經由光罩圖樣照射i-光以實施塗層的曝光。然 後，將經過塗覆的基板浸沒於下的顯影劑（Sumitomo Chemical Co.，Ltd製造的”S〇PD")中1分鐘以實施圖樣的顯 影。顯影之後，將基板施以水洗，乾燥，紫外線照射，並 在180°C下加熱3分鐘即製得具有條紋圖樣之綠色濾波層的 濾色器陣列（圖4)。綠色濾波層的線寬爲1.0微米且厚度 爲1.8微米。 其後，以不同的光罩圖樣重覆如上的流程而製得具有 嵌鑲圖樣之綠色濾波層的濾色器陣列（圖5)。綠色濾波層 的線寬爲2.0微米且厚度爲1.8微米。 重覆如上的流程，但是此處係以透明玻璃板替代矽晶 圓作爲基板並且圖樣係於不曝光的條件下實施顯影，由是 製得以厚度1.8微米形成於整個基板上的綠色濾波層。 實例2 重覆如實例1中的流程，但是此處除了作爲染料（I)的 C.I· Solvent Blue 67、作爲染料（II)的（：·Ι· Solvent Yellow 162及作爲染料（III)的C.I. Solvent Yellow 82之外，另使用 本紙張尺度適用中國國家棣準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -27- 517167 A7 B7 五.、發明説明（25) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 0.7重量份作爲染料（IV)的C.I. Acid Green 16，由是製得具 有線寬1.0微米且厚度1.8微米之條紋圖樣綠色濾波層的濾 .色器陣列（圖4)，線寬2.0微米且厚度1.8微米之嵌鑲圖 樣綠色濾波層的濾色器陣列，及以厚度1.8微米形成於整個 基板上的綠色濾波層。 實例3 在2.5重量份作爲染料⑴的C.I. Solvent Blue 67、3.5 重量份作爲染料（II)的C.I· Solvent Yellow 162、3.5重量份 作爲染料（III)的C.I. Solvent Yellow 82、0.5重量份作爲光 致酸產生劑的以化學式（51)表示的化合物、7.5重量份作爲 鹼溶性樹脂的對位-甲酚之酚醛淸漆樹脂（依據聚苯乙烯的 重量平均分子量：6,000 ) 、5重量份作爲硬化劑的六甲氧 甲基蜜胺、及70重量份作爲溶劑的乳酸乙酯混合及溶解之 後，將生成的混合物以孔隙尺寸爲0.1微米的薄膜過濾器施 以過濾而製得負光敏性樹脂組成物。

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 利用旋轉塗覆法將以上製得的負光敏性樹脂組成物塗 覆至基板（矽晶圓）上並在100°C下加熱1分鐘以使乳酸乙 酯蒸發即製得塗層。利用曝光設備（Nikon Corp.製造的 28- 本紙張尺度適用中，國國家標準（CNS〉A4規格（210 X 297公釐） 517167 Α7 Β7 五、發明説明（26) "Nikon NSR i7A”）經由光罩圖樣照射丨-光以實施塗層的曝 光，繼而在120°C下加熱1分鐘。然後，將經過塗覆的基板 .浸沒於23°C下的顯影劑（Sumitomo Chemical Co.，Ltd製造 的"SOPD”）中1分鐘以實施圖樣的顯影。顯影之後，將基 板施以水洗，乾燥，紫外線照射，並在1 80°C下加熱3分鐘 即製得具有條紋圖樣之綠色濾波層的濾色器陣列。綠色濾 波層的線寬爲1·0微米且厚度爲1.8微米。 其後’以不同的光罩圖樣重覆如實例1中的流程而製 得具有嵌鑲圖樣之綠色濾波層的濾色器陣列。綠色濾波層 的線寬爲2.0微米且厚度爲1.8微米。 重覆如實例1中的流程？但是此處係以透明玻璃板替 代矽晶圓作爲基板並且曝光係於不使用光罩圖樣的條件下 實施，由是製得以厚度1.8微米形成於整個基板上的綠色濾 波層。 實例4 用以形成綠色濾波層的光敏性樹脂組成物、用以形成 紅色濾波層的光敏性樹脂組成物、及用以形成藍色濾波層 的光敏性樹脂組成物係分別依據如下所示的摻合配方製得 (用以形成紅色濾波層的光敏性樹脂組成物） 酚醛淸漆樹脂 5重量份 鄰位-萘醌二疊氮-4-磺酸鹽 8重量份 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中.國國家標準（CNS ) Α4規格< 210X297公釐） · 29 517167 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（27 ) 六甲氧甲基蜜胺 2重量份 乳酸乙酯 50重量份 N，N'-二甲基甲醯胺 25重量份 以化學式（52)表示的化合物 2重量份 C.I. Solvent Orange 56 2重量份 C.I. Solvent Yellow 82 2重量份 C.I. Solvent Yellow 162 2重量份 (用以形成藍色濾波層的光敏性樹脂組成物） 酚醛淸漆樹脂 5重量份 .鄰位-萘醌二疊氮-4-磺酸酯 8重量份 六甲氧甲基蜜胺 2重量份 乳酸乙酯 5 0重量份 N，N’-二甲基甲醯胺 25重量份 以化學式（52)表示的化合物 3重量份 C.I. Solvent Blue 25 3重量份 C.I. Acid Blue 90 2重量份 (用以形成綠色濾波層的光敏性樹脂組成物） 酚醛淸漆樹脂 5重量份 鄰位-萘醌二疊氮-4-磺酸酯 8重量份 六甲氧甲基蜜胺 2重量份 乳酸乙酯 50重量份 N，N’-二甲基甲醯胺 25重量份 C.I. Solvent Blue 25 4重量份 本紙張尺度適用中.國國家標準（CNS ) A4規格（21 OX297公釐） _ 3〇 . I---------^-------1T------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -30- 517167 A7 B7 五、發明説明（28 ) C.I. Solvent Yellow 82 C.I. Solvent Yellow 162

SO2NHCH2CH (C2H5) 04¾ 2重量份 2重量份 (52) 利用旋轉塗覆法將以上製得的用以形成紅色濾波層的 光敏性樹脂組成物塗覆至備有電荷耦合裝置的矽晶圓上， 電荷耦合裝置係由過塗膜（3)、聚矽酮電極（4)、感測器（5)、 V型電阻（6)、遮光膜（7)、及鈍化膜（8)組成。然後，再於 100°C的烤盤上蒸除其溶劑。 其後，使用i-光步進器曝光設備（Nikon Corp.製造的 ”Nikon NSR2205 il2D")，以波長365nm的紫外線經光柵（ 2,000毫焦耳/平方厘米）對基板施以.照射。然後，利用顯影 劑（每1，000立方厘米含有30克氫氧化四甲銨的水溶液） 將基板施以顯影。曝光部份去除之後，基板以純水淸洗。 其後，使用低壓汞燈（3,000毫焦耳/平方厘米），令紫外線 照射在整個基板上，再將基板置於180°C的烤盤上加熱1〇 分鐘即製得紅色濾波層（圖6(a))。 重覆如上的流程，但是此處係利用以上製得的用以形 成藍色濾波層的光敏性樹脂組成物來替代用以形成紅色濾 波層的光敏性樹脂組成物，由是製得藍色滤波層（圖6(b) 本紙毛尽度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公嫠） _ 31 _ I-----ί 訂 線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 517167 A7 _B7 五、發明説明（29 ) )0 重覆如上的流程，但是此處係使用以上製得的用以形 成綠色濾波層的光敏性樹脂組成物，由是製得綠色濾波層 並進一步製得濾色器陣列（圖6(c)、（d))。 微透鏡係以習知的方式在濾色器陣列上形成而製得固 態影像裝置。濾色器陣列之綠色濾波層在固態影像裝置處 的厚度爲1.7微米。此固態影像裝置處的濾色器陣列顯現良 好的光譜特性（圖6(e))。 綠色濾波層（厚度：1.7微米）係以等同於上述的方式 在整個石英晶圓上形成。 實例5 重覆如實例4中的流程，但是此處係利用以下的光敏 性樹脂組成物作爲用以形成綠色濾波層的光敏性樹脂組成 fel以製得固態影像裝置，並製得綠色濾波層（厚度：1.7微 米）。 ’（用以形成綠色濾波層的光敏性樹脂組成物） 酚醛淸漆樹脂 5重量份 鄰位-萘醌二疊氮-4-磺酸酯 8重量份 六甲氧甲基蜜胺 2重量份 乳酸乙酯 5 0重量份 N.，N'·二甲基甲醯胺 25重量份 C.I· Solvent Blue 25 (染料（I)) 3重量份 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -32- I I批衣 I 訂 I I I各 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 517167 A7 B7 五、發明説明（30 ) C.I. Solvent Yellow 82 (染料（ΠΙ)) 2 重量份 C.I· Solvent Yellow 162 (染料（π)) 2 重量份 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) C.I. Acid Green 16 (染料（IV)) 1 重量份 位於以上製得的固態影像裝置處的濾色器陣列顯現改 善的光譜特性。 針對石英晶圓上形成的綠色濾波層（厚度：1.7微米） 實施量測’結果顯示其透射率在波長45Onm下爲1%，在波 長535nm下爲67%’並且在波長650nm下爲4%。 比較例1 在2.5重量份作爲染料（I)的C.I. Solvent Blue 67、7重 量份作爲染料的C.I. Acid Yellow 40、9重量份作爲光活化 化合物的以化學式（30)表示的酚系化合物和鄰位-萘醌二疊 氮-5-磺酸鹽形成的酯類、7.5重量份作爲鹼溶性樹脂的對 位-甲酚之酚醛淸漆樹脂（以聚苯乙烯爲基礎的重量平均分 子量：6,000 ) 、5重量份作爲硬化劑的六甲氧甲基蜜胺、 經濟部智慧財產局員工消費合作社印¾ 及70重量份作爲溶劑的乳酸乙酯混合及溶解之後，將生成 的混合物以孔隙尺寸爲0· 1微米的薄膜過濾器施以過濾而製 得正光敏性樹脂組成物。 其後，重覆如實例1中的流程，但是此處使用以上製 得的正光敏性樹脂組成物並製得具有線寬1.0微米且厚度 1.8微米之條紋圖樣綠色濾波層的濾色器陣列；具有線寬 2.0微米且厚度1.8微米之嵌鑲圖樣綠色濾波層的濾色器陣 列；及整個表面爲厚度1.8微米之綠色濾波層所覆蓋的濾色 -33- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐) 517167 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（31) 器陣列。 評估 光譜特性 量測有綠色濾波層覆蓋其整個基板和實例及tb @ Μ Φ 製得的濾色器陣列在450nm、535nm、及650nm下的透射率 。結果示於表1中。 耐光度 將紫外線遮斷濾波器（Hoya Corp.製造的”彩色光學玻 璃L38"，其能夠遮斷波長380nm或者更短的光線）置於有 綠色濾波層覆蓋其整個基板和實例及比較例中製得的各個 濾色器陣列的前方，繼而在1，000,000 lx ” hour下照光。 Shimadzu Corp·製造的"Sun tester XF 180 CPS’·係作爲光源。 各濾色器陣列照光之後的透射率係於波長450nm、 及650nm下量測。結果示於表2中。 本紙張尺度適用中.國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

34 517167 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五 、發明説明（32) [表1] 透射率（％) 波長（nm) 450 535 650 實例1 0.4 68 13 實例2 0.4 67 5 實例3 0.4 69 13 實例4 1.0 70 13 實例5 1.0 67 4 比較例1 0.4 68 13 [表2] 透射率（％) 波長（nm) 450 535 650 實例1 1.5 74 15 實例2 0.4 67 16 實例3 1.5 75 15 實例4 2.0 68 13 實例5 2.0 64 8 比較例1 17 74 15 -裝· 訂 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 線 -35 -

Claims (1)

1. 517167 A8 以年没月I城修正/矣圣^充 墨 六、申請專利範圍 附件A : 第90116040號專利申請案 中文申請專利範圍修正本 民國91年8月12日修正 1 · 一種基板上具有綠色濾波層的濾色器陣列，其特 徵爲綠色濾波層包含銅酞花青染料其在波長600至700nm 下具有吸收的最大値，及吡啶酮偶氮染料其在波長400至 5 00nm下具有吸收的最大値；並且綠色濾波層在波長450nm 下的透射率爲〇至5%並且其在535nm下的透射率爲62至 100% 〇 2 .如申請專利範圍第1項之基板上具有綠色濾波層 的濾色器陣列，其中，綠色濾波層尙包含吡唑啉酮偶氮染 料其在波長400至500nm下顯現吸收的最大値。 3 .如申請專利範圍第1項之基板上具有綠色濾波層 的濾色器陣列，其中，綠色濾波層尙包含三烯丙基甲烷染 料其在580至680nm的波長範圍內顯現吸收的最大値，並 且其在波長450nm下的透射率爲0至5%，在535nm下爲62 至100%並且在650nm下爲〇至10%。 4 .如申請專利範圍第2項之基板上具有綠色濾波層 的濾色器陣列，其中’綠色濾波層尙包含三烯丙基甲烷染 料其在580至680nm的波長範圍內顯現吸收的最大値，並 且其在波長450nm下的透射率爲〇至5%，在535nm下爲62 至100%並且在65Onm下爲〇至10%。 5 · —種基板上具有綠色濾波層的濾色器陣列，其特 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公楚） -1 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝· 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 517167 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 々，年月日修正/奚去每 -—--- 六、申請專利範圍 徵爲綠色濾波層包含三烯丙基甲烷染料其在580至680nm 的波長範圍內顯現吸收的最大値，並且其在65〇nm下的透 射率爲0至1 〇 %。 6 · 一種製備基板上具有綠色濾波層之濾色器陣列的 A t去’其特徵爲該方法包含將光敏性樹脂組成物施以圖樣 化以形成綠色濾波層的步驟，光敏性樹脂組成物包含銅酞 花青染料其在波長600至700nm下具有吸收的最大値，及 13比Π定酮偶氮染料其在波長4〇〇至500nm下具有吸收的最大 値’綠色濾波層在波長450nm·下的透射率爲0至5%並且在 53 5 nm 下爲 62 至 100%。 7 ·如申請專利範圍第6項之方法，其中，光敏性樹 脂組成物尙包含吡唑啉酮偶氮染料其在波長400至500nm 下顯現吸收的最大値。 8 .如申請專利範圍第6項之方法，其中，光敏性樹 脂組成物尙包含三烯丙基甲烷染料其在580至680nm的波 長範圍內顯現吸收的最大値，並且綠色濾波層在450nm下 的透射率爲〇至5%，在535nm下爲62至100%並且.在 65 0nm 下爲 0 至 10%。 9 ,如申請專利範圍第7項之方法，其中，光敏性樹 脂組成物尙包含三烯丙基甲烷染料其在580至680nm的波 長範圍內顯現吸收的最大値，並且綠色濾波層在45Onm下 的透射率爲〇至5%，在535nm下爲62至100 %並且在 650nm 下爲 〇 至 1〇%。 1 〇 · —種光敏性樹脂組成物’其特徵爲該組成物包

   (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· 訂 本紙張尺度適用中國國家襟準（CNS ) A4規格（21〇><297公釐） - 2 - 517167 A8 B8 f/奉修正/要姜 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 含銅酞花青染料其在波長600至7〇〇nm下具有吸收的最大 値，及吡啶酮偶氮染料其在波長400至500nm下具有吸收 的最大値。 1 1 ·如申請專利範圍第1 〇項之光敏性樹脂組成物， 其中，對每1 00重量份之銅社花青染料與吼B定酮偶氮染料 的總量而言，銅酞花青染料的量爲30至70重量份。 1 2 .如申請專利範圍第1 0項之光敏性樹脂組成物， 其中，組成物尙包含吡唑啉酮偶氮染料其在波長400至 500nm下顯現吸收的最大値。 1 3 ·如申請專利範圍第1 2項之光敏性樹脂組成物， 其中，對每100重量份之銅酞花青染料與吡啶酮偶氮染料 的總量而言，銅酞花青染料的量爲30至70重量份且吡唑 啉酮偶氮染料的量爲10至70重量份。 1 4 ·如申請專利範圍第1 〇項之光敏性樹脂組成物， 其中，組成物尙包含三烯丙基甲烷染料其在580至680nm 的波長範圍內顯現吸收的最大値。 1 5 ·如申請專利範圍第14項之光敏性樹脂組成物.， 其中’對每1 00重量份之銅酞花青染料與吡啶酮偶氮染料 的總量而言，銅酞花青染料的量爲30至70重量份且三烯 丙基甲烷染料的量爲5至70重量份。 1 6 ·如申請專利範圍第12項之光敏性樹脂組成物， 其中’組成物尙包含三烯丙基甲烷染料其在5 80至680nm 的波長範圍內顯現吸收的最大値。 - 1 7 ·如申請專利範圍第1 6項之光敏性樹脂組成物， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -3 - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) .裝- 訂 線- 517167 句破月/¾修正 D8 夂、申請專利範圍 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 其中’對每100重量份之銅酞花青染料與吡啶酮偶氮染料 的總量而言’銅酞花青染料的量爲30至70重量份，吡唑 啉酮偶氮染料的量爲10至70重量份並且三烯丙基甲焼染 料的量爲5至70重量份。 1 8 ·如申請專利範圍第1 〇項之光敏性樹脂組成物， 其中’組成物尙包含光活化化合物，及鹼溶性樹脂，並且 對每100重量份之染料，光活化化合物與鹼溶性樹脂的總 量而言’染料，·光活化化合物與鹼溶性樹脂的量分別爲25 至55重量份，25至55重量份，及3至50重量份。 1 9 ·如申請專利範圍第1 8項之光敏性樹脂組成物， 其中，組成物尙包含硬化劑，並且對每100重量份之染料 ，光活化化合物與鹼溶性樹脂的總量而言，硬化劑的量爲 10至35重量份。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 2 〇 ·如申請專利範圍第10項之光敏性樹脂組成物， 其中，組成物尙包含光致酸產生劑，硬化劑，及鹼溶性樹 月旨，並且對每100重量份之染料，光反應性酸產生劑，硬 化劑與鹼溶性樹脂的總量而言，染料，光致酸產生劑，.硬 化劑，與鹼溶性樹脂的量分別爲15至40重量份，0.3至5 重量份，10至25重量份，及20至75重量份。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） -4 —