JP2001226650A - 放射線硬化型熱剥離性粘着シート、及びこれを用いた切断片の製造方法 - Google Patents

放射線硬化型熱剥離性粘着シート、及びこれを用いた切断片の製造方法

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JP2001226650A
JP2001226650A JP2000038899A JP2000038899A JP2001226650A JP 2001226650 A JP2001226650 A JP 2001226650A JP 2000038899 A JP2000038899 A JP 2000038899A JP 2000038899 A JP2000038899 A JP 2000038899A JP 2001226650 A JP2001226650 A JP 2001226650A
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JP2000038899A
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Kazuyuki Kiuchi
一之 木内
Toshiyuki Oshima
俊幸 大島
Shuto Murata
秋桐 村田
Yukio Arimitsu
幸生 有満
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Nitto Denko Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 被着体の輸送等の搬送工程に耐え得る粘着性
を有すると共に、切断工程時には粘着剤の巻き上げやチ
ッピングが起こらず、しかも、切断後の切断片の剥離回
収を容易に行うことができる放射線硬化型熱剥離性粘着
シートを得る。 【解決手段】 放射線硬化型熱剥離性粘着シートは、基
材の少なくとも一方の側に、熱膨張性微小球及び放射線
硬化性化合物を含有する粘着層が設けられている。この
放射線硬化型熱剥離性粘着シートの粘着層表面に被切断
体を載置し、該粘着層を放射線照射により硬化させた
後、前記被切断体を切断して切断片とし、次いで該粘着
層を加熱により発泡させて、前記切断片を剥離回収する
ことにより、工程上の不具合を起こすことなく効率よく
切断片を製造することができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、放射線照射と加熱
処理とにより被着体の切断片を容易に剥離回収できる放
射線硬化型熱剥離性粘着シートと、これを利用した切断
片の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体ウエハや積層コンデンサシ
ートなどの被切断体を所定寸法の切断片に切断する際、
該被切断体（被着体）に貼り合わせて、切断されたチッ
プ等の切断片を容易に剥離回収するための粘着シートと
して、プラスチックなどの高弾性フィルム又はシート基
材上に発泡剤を含む感圧粘着剤層を設けた熱剥離型粘着
シートが知られている（特公昭５０−１３８７８号公
報、特公昭５１−２４５３４号公報、特開昭５６−６１
４６８号公報、特開昭５６−６１４６９号公報、特開昭
６０−２５２６８１号公報など）。この熱剥離型粘着シ
ートは、被着体の切断加工に耐える粘着保持力と、形成
された切断片の容易な剥離回収との両立を図ったもので
ある。すなわち、この粘着シートは、被着体との貼り合
わせ時には高い粘着性を有する一方、切断片の回収時に
は、加熱により熱膨張性微小球を含有する発泡性感圧粘
着剤層が発泡又は膨張して感圧粘着剤層の表面が凹凸状
に変化し、被着体との粘着面積の減少により粘着力が低
下又は喪失するため、前記切断片を容易に剥離すること
ができるという特徴を有する。
【０００３】しかし、上記の熱剥離型粘着シートでは、
被着体を切断加工する際、粘着剤層が柔らかく、また熱
膨張性微小球を含むことから粘着剤層が厚いため、切断
刃によって粘着剤が巻き上げられたり、粘着剤層のぶれ
に伴ってチッピングが起こる問題がある。これらの問題
を解決するには、粘着剤層を薄くすることが有効である
が、上記熱剥離型粘着シートにおける粘着剤層の厚みを
熱膨張性微小球以下に薄層化すると、熱膨張性微小球が
粘着剤層の表面から突出して、粘着剤層表面の平滑性が
損なわれ、被着体を保持しておくのに十分な粘着力が発
現できなくなる。従って、粘着剤層を薄層化するには限
界があり、上記問題を解決できない場合がある。
【０００４】一方、切断加工を行う際、被切断体に貼り
合わせて、切断されたチップ等の切断片を剥離回収する
ための粘着シートとして、放射線硬化型粘着シートも広
く使用されている。放射線硬化型粘着シートは一般に粘
着剤層中に放射線硬化型化合物が配合されており、切断
工程後切断片を回収する際に上記放射線硬化型粘着シー
トに放射線を照射して粘着層を硬化させ、粘着力を著し
く低下させることを特徴とする。放射線硬化型粘着シー
トでは、粘着剤層を無限小に薄層化することが可能であ
り、粘着剤の巻き上げやぶれを防止するには有利であ
る。しかしながら、上記放射線硬化型粘着シートでは粘
着剤層を放射線照射により硬化させても一般に残留粘着
力があるために、切断片の回収工程時に物理的応力を要
する突き上げ等のピックアップ作業が必要となり、近年
の半導体ウエハ等の薄層化に示されるように、非常に薄
い切断片の回収時には切断片に傷やクラックを生じさせ
る等の問題点が指摘されている。
【０００５】また、特公昭６３−１７９８１号公報に
は、半導体ウエハを小片に切断分離する際に用いられる
粘着シートとして、基材面上に粘着剤と放射線重合性化
合物と熱膨張性化合物を含む粘着剤層を塗布した粘着シ
ートが開示されている。そして、この公報には、前記粘
着シートの粘着剤層の上面に半導体ウエハを貼着し、ダ
インシングして小片化した後、放射線照射と加熱膨張処
理とを同時に行い粘着力を低下させた後、前記小片をピ
ックアップする方法が記載されている。しかし、この方
法では、切断（ダイシング）工程の後に、粘着力低減の
ための放射線照射と加熱膨張処理とを同時に行うため、
被切断体の切断作業時には粘着剤の巻き上げやぶれによ
り切断精度が上がらず、また放射線照射及び加熱膨張処
理後の粘着剤層の残留粘着力も高いため、非常に薄い切
断片の回収作業には困難な面がある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従って、本発明の目的
は、被着体の輸送等の搬送工程に耐え得る粘着性を有す
ると共に、切断工程時において粘着剤の巻き上げやチッ
ピングを起こすことなく、且つ切断後の切断片の剥離回
収を容易に行うことができる放射線硬化型熱剥離性粘着
シート、及び該粘着シートを利用した切断片の製造方法
を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、前記目的
を達成するため鋭意検討した結果、基材の表面に放射線
硬化性と熱膨張性とを具備した粘着層を設けた粘着シー
トにおいて、熱膨張性を熱膨張性微小球により発現させ
ると共に、被切断体の切断工程を放射線照射による粘着
層の硬化工程の後に行い、且つ該切断工程の後に粘着層
の加熱発泡を行うと、工程上の不具合を伴うことなく、
被切断体の切断片を効率よく円滑に剥離回収できること
を見出し、本発明を完成した。
【０００８】すなわち、本発明は、基材の少なくとも一
方の側に、熱膨張性微小球及び放射線硬化性化合物を含
有する粘着層が設けられている放射線硬化型熱剥離性粘
着シートを提供する。本発明は、また、上記の放射線硬
化型熱剥離性粘着シートの粘着層表面に被切断体を載置
し、該粘着層を放射線照射により硬化させた後、前記被
切断体を切断して切断片とし、次いで該粘着層を加熱に
より発泡させて、前記切断片を剥離回収する切断片の製
造方法を提供する。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を、必
要に応じて図面を参照しつつ、詳細に説明する。図１は
本発明の放射線硬化型熱剥離性粘着シートの一例を示す
概略断面図である。この例では、基材１の一方の面に、
放射線硬化型熱膨張性粘着層２が設けられ、さらにその
上にセパレータ３が積層されている。本発明に係わる粘
着シートの形状はシート状、テープ状等、慣用乃至公知
の適宜の形態を採りうる。
【００１０】基材１は粘着層２等の支持母体となるもの
で、粘着層２の加熱処理により機械的物性を損なわない
程度の耐熱性を有するものが使用される。このような基
材１として、例えば、ポリエステル、オレフィン系樹
脂、ポリ塩化ビニルなどのプラスチックフィルムやシー
トが挙げられるが、これらに限定されるものではない。
基材１は被着体の切断の際に用いるカッターなどの切断
手段に対して切断性を有しているのが好ましい。また、
基材１として軟質ポリオレフィンフィルム若しくはシー
ト等の耐熱性と伸縮性とを具備する基材を使用すると、
被切断体の切断工程後に基材を伸張することができ、切
断片間に隙間を生じさせることが必要な切断片回収方式
に好適となる。また、粘着層２を硬化させる放射線とし
て紫外線を用いる場合には、基材１は所定量以上の紫外
線を透過しうる材料で構成される必要がある。基材１は
単層であってもよく多層体であってもよい。
【００１１】基材１の厚さは、被着体の貼り合わせ、被
着体の切断、切断片の剥離、回収などの各工程における
操作性や作業性を損なわない範囲で適宜選択できるが、
通常５００μｍ以下、好ましくは３〜３００μｍ程度、
さらに好ましくは５〜２５０μｍ程度である。基材１の
表面は、隣接する層との密着性、保持性などを高めるた
め、慣用の表面処理、例えば、クロム酸処理、オゾン暴
露、火炎暴露、高圧電撃暴露、イオン化放射線処理等の
化学的又は物理的処理、下塗り剤（例えば、後述する粘
着物質）によるコーティング処理等が施されていてもよ
い。
【００１２】放射線硬化型熱膨張性粘着層２は、粘着性
を付与するための粘着性物質、放射線硬化性を付与する
ための放射線重合性化合物、および熱膨張性を付与する
ための熱膨張性微小球を含んでいる。
【００１３】前記粘着性物質としては従来公知の粘着剤
を使用することができる。例えば天然ゴムや各種の合成
ゴム等のゴム系感圧粘着剤、シリコーン系感圧粘着剤、
あるいは（メタ）アクリル酸アルキルエステルとこのエ
ステルに共重合可能な他の不飽和単量体との共重合体等
のアクリル系感圧粘着剤等が例示される。なお、上記の
粘着剤ベースポリマーが放射線により分子内にて重合す
る炭素−炭素二重結合を持つものであってもよい。これ
らの中でも、粘着層２中に配合する放射線重合性化合物
と粘着剤との相溶性等の観点から、特にアクリル系感圧
粘着剤が好ましく用いられる。
【００１４】アクリル系感圧粘着剤としては、（メタ）
アクリル酸アルキルエステル（例えば、メチルエステ
ル、エチルエステル、プロピルエステル、イソプロピル
エステル、ブチルエステル、イソブチルエステル、ｓ−
ブチルエステル、ｔ−ブチルエステル、ペンチルエステ
ル、ヘキシルエステル、ヘプチルエステル、オクチルエ
ステル、２−エチルヘキシルエステル、イソオクチルエ
ステル、イソデシルエステル、ドデシルエステル、トリ
デシルエステル、ペンタデシルエステル、ヘキサデシル
エステル、ヘプタデシルエステル、オクタデシルエステ
ル、ノナデシルエステル、エイコシルエステルなどのＣ
1-20アルキルエステルなど）、及び（メタ）アクリル酸
シクロアルキルエステル（例えば、シクロペンチルエス
テル、シクロヘキシルエステルなどのＣ3-20シクロアル
キルエステルなど）の１種又は２種以上を単量体成分と
して用いたアクリル系重合体（単独重合体又は共重合
体）をベースポリマーとする感圧粘着剤などが例示でき
る。
【００１５】また、アクリル系感圧粘着剤として、前記
（メタ）アクリル酸アルキルエステル（又はシクロアル
キルエステル）と、粘着特性の改質等を目的とする他の
単量体との共重合体をベースポリマーとする感圧粘着剤
を使用することもできる。前記他の単量体（コモノマ
ー）として、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、カル
ボキシエチルアクリレート、カルボキシペンチルアクリ
レート、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、クロトン
酸などのカルボキシル基含有モノマー；無水マレイン
酸、無水イタコン酸などの酸無水物モノマー；（メタ）
アクリル酸２−ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸
２−ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸４−ヒド
ロキシブチルなどのヒドロキシル基含有モノマー；スチ
レンスルホン酸、アリルスルホン酸、２−（メタ）アク
リルアミド−２−メチルプロパンスルホン酸、（メタ）
アクリルアミドプロパンスルホン酸などのスルホン酸基
含有モノマー；２−ヒドロキシエチルアクリロイルホス
フェートなどのリン酸基含有モノマー；（メタ）アクリ
ルアミド、Ｎ−ブチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メ
チロール（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチロールプロ
パン（メタ）アクリルアミドなどの（Ｎ−置換）アミド
系モノマー；（メタ）アクリル酸アミノエチル、（メ
タ）アクリル酸Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチルなどの
（メタ）アクリル酸アルキルアミノアルキル系モノマ
ー；（メタ）アクリル酸メトキシエチル、（メタ）アク
リル酸エトキシエチルなどの（メタ）アクリル酸アルコ
キシアルキル系モノマー；Ｎ−シクロヘキシルマレイミ
ド、Ｎ−イソプロピルマレイミドなどのマレイミド系モ
ノマー；Ｎ−メチルイタコンイミド、Ｎ−エチルイタコ
ンイミドなどのイタコンイミド系モノマー；Ｎ−（メ
タ）アクリロイルオキシメチレンスクシンイミド、Ｎ−
（メタ）アクリロイル−６−オキシヘキサメチレンスク
シンイミドなどのスクシンイミド系モノマー；酢酸ビニ
ル、プロピオン酸ビニル、Ｎ−ビニルピロリドン、メチ
ルビニルピロリドン、スチレン、α−メチルスチレンな
どのビニル系モノマー；アクリロニトリル、メタクリロ
ニトリルなどのシアノアクリレート系モノマー；（メ
タ）アクリル酸グリシジルなどのエポキシ基含有アクリ
ル系モノマー；（メタ）アクリル酸ポリエチレングリコ
ール、（メタ）アクリル酸ポリプロピレングリコールな
どのグリコール系アクリルエステルモノマー；（メタ）
アクリル酸テトラヒドロフルフリル、フッ素（メタ）ア
クリレート、シリコーン（メタ）アクリレートなどの、
複素環、ハロゲン原子、ケイ素原子などを有するアクリ
ル酸エステル系モノマー；ヘキサンジオールジ（メタ）
アクリレート、（ポリ）エチレングリコールジ（メタ）
アクリレート、（ポリ）プロピレングリコールジ（メ
タ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）
アクリレート、ペンタエリスリトールジ（メタ）アクリ
レート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレ
ート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレー
ト、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレー
ト、エポキシアクリレート、ポリエステルアクリレー
ト、ウレタンアクリレートなどの多官能モノマー；イソ
プレン、ブタジエン、イソブチレンなどのオレフィン系
モノマー；ビニルエーテルなどのビニルエーテル系モノ
マー等が挙げられる。これらの単量体は１種又は２種以
上使用できる。
【００１６】放射線硬化型熱膨張性粘着層２には、粘着
剤、放射線重合性化合物、熱膨張性微小球の他に、架橋
剤（例えば、イソシアネート系架橋剤、エポキシ系架橋
剤など）、粘着付与剤（例えば、ロジン誘導体樹脂、ポ
リテルペン樹脂、石油樹脂、油溶性フェノール樹脂な
ど）、可塑剤、充填剤、老化防止剤、界面活性剤などの
適宜な添加剤を配合してもよい。また、放射線として紫
外線を用いる場合には光重合開始剤が配合される。
【００１７】熱膨張性微小球としては、例えば、イソブ
タン、プロパン、ペンタンなどの加熱により容易にガス
化して膨張する物質を、弾性を有する殻内に内包させた
微小球であればよい。前記殻は、通常、熱可塑性物質、
熱溶融性物質、熱膨張により破裂する物質などで形成さ
れる。前記殻を形成する物質として、例えば、塩化ビニ
リデン−アクリロニトリル共重合体、ポリビニルアルコ
ール、ポリビニルブチラール、ポリメチルメタクリレー
ト、ポリアクリロニトリル、ポリ塩化ビニリデン、ポリ
スルホンなどが挙げられる。熱膨張性微小球は慣用の方
法、例えば、コアセルベーション法、界面重合法などに
より製造できる。熱膨張性微小球として、例えば、マツ
モトマイクロスフェア［商品名、松本油脂製薬（株）
製］などの市販品を利用することもできる。
【００１８】熱膨張性微小球の平均粒径は、分散性や薄
層形成性などの点から、一般に１〜８０μｍ程度、好ま
しくは１〜５０μｍ程度である。また、熱膨張性微小球
としては、加熱処理により粘着剤を含む粘着層の粘着力
を効率よく低下させるため、体積膨張率が５倍以上、特
に１０倍を超える（例えば１２倍以上となる）まで破裂
しない適度な強度を有するものが好ましい。なお、低い
膨張率で破裂する熱膨張性微小球を用いた場合や、マイ
クロカプセル化されていない熱膨張剤を用いた場合に
は、粘着層２と被着体との粘着面積が十分には低減され
ず、良好な剥離性が得られにくい。
【００１９】熱膨張性微小球の使用量は、その種類によ
っても異なるが、放射線硬化型熱膨張性粘着層２を形成
するベースポリマー１００重量部に対して、一般に１０
〜２００重量部、好ましくは２０〜１２５重量部程度で
ある。１０重量部未満であると、加熱処理後の効果的な
粘着力低下が不十分になりやすく、また、２００重量部
を超えると、粘着層２の凝集破壊や基材１と粘着層２と
の界面破壊が生じやすい。
【００２０】放射線硬化型熱膨張性粘着層２中には、放
射線により硬化して３次元網状化する、分子中に少なく
とも２個の放射線にて重合する炭素−炭素二重結合を有
する放射線重合性化合物、および、硬化手段が紫外線照
射である場合には、光重合開始剤を配合する。
【００２１】放射線重合性化合物としては、分子量が約
１００００以下程度のものがよく、より好ましくは、放
射線照射による粘着層の３次元網状化が効率よくなされ
るように、その分子量が約５０００以下で、且つ分子内
の放射線重合性炭素−炭素二重結合の数が２〜６のもの
を用いるのがよい。このような放射線重合性化合物の代
表的な例として、例えば、トリメチロールプロパントリ
アクリレート、テトラメチロールメタンテトラアクリレ
ート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタ
エリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリ
トールモノヒドロキシペンタアクリレート、ジペンタエ
リスリトールヘキサアクリレート、１，４−ブチレング
リコールジアクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ
アクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート
等が挙げられる。放射線重合性化合物は１種を単独で又
は２種以上を組み合わせて使用できる。
【００２２】放射線重合性化合物の配合量は、放射線を
照射して粘着層２を硬化した後の熱膨張性微小球の膨張
若しくは発泡を阻害しない範囲で決定される。その配合
量は放射線重合性化合物の種類、熱膨張性微小球の膨張
圧力、硬化後の被着体に対する粘着力、切断作業条件等
により適宜に決定されるが、粘着層２中のベースポリマ
ー１００重量部に対して、１〜１００重量部程度、特に
５〜６０重量部程度の範囲とするのが一般的である。ま
た、粘着層２の放射線照射後の動的弾性率が熱膨張性微
小球の膨張開始に相当する温度において５×１０7Ｐａ
以下、切断作業を行う温度において、１×１０6Ｐａ以
上であると、優れた切断作業性と加熱剥離性との両立が
可能となる。
【００２３】光重合開始剤としては、例えば、イソプロ
ピルベンゾインエーテル、イソブチルベンゾインエーテ
ル、ベンゾフェノン、ミヒラーズケトン、クロロチオキ
サントン、ドデシルチオキサントン、ジメチルチオキサ
ントン、アセトフェノンジエチルケタール、ベンジルジ
メチルケタール、α−ヒドロキシシクロヘキシルフェニ
ルケトン、２−ヒドロキシメチルフェニルプロパン等が
挙げられ、これらのうちの１種を単独で、あるいは２種
以上を混合して使用すればよい。
【００２４】上記光重合開始剤の配合量としては、通
常、上記ベースポリマー１００重量部に対して０．１〜
５重量部の範囲とするのが好ましい。０．１重量部未満
であると、粘着層２の紫外線照射による３次元網状化が
不十分となり、粘着シートの切断片に対する粘着力低下
の程度が小さすぎて好ましくない。反対に、５重量部を
越えると、それに見合う硬化が得られないばかりか、切
断片裏面にこの光重合開始剤が付着残留するため好まし
くない。なお、必要に応じて前記光重合開始剤と共にト
リエチルアミン、テトラエチルペンタアミン、ジメチル
アミノエタノール等のアミン化合物を光重合保進剤とし
て併用してもよい。
【００２５】放射線硬化型熱膨張性粘着層２は、例え
ば、粘着剤、熱膨張性微小球、放射線重合性化合物、及
び必要に応じて光重合開始剤、添加剤、溶媒等を含むコ
ーティング液を基材１上に塗布する方式、適当なセパレ
ータ（剥離紙など）上に前記コーティング液を塗布して
放射線硬化型熱膨張性粘着層２を形成し、これを基材１
上に転写（移着）する方法など、慣用の方法により形成
できる。
【００２６】放射線硬化型熱膨張性粘着層２の厚さは、
熱膨張性微小球の発泡又は膨張後の凝集破壊による被着
体への糊残りの防止、熱膨張性微小球の粒径等の観点か
ら、例えば３００μｍ以下（５〜３００μｍ程度）、好
ましくは１０〜１５０μｍ程度である。
【００２７】セパレータ３としては、例えば、シリコー
ン系樹脂、長鎖アルキルアクリレート系樹脂、フッ素系
樹脂などで代表される剥離剤により表面コートしたプラ
スチックフィルムや紙等からなる基材、あるいはポリエ
チレンやポリプロピレンなどの無極性ポリマーからなる
粘着性の小さい基材などを使用できる。セパレータ３
は、上記のように、基材１上に放射線硬化型熱膨張性粘
着層２などを転写（移着）する際の仮支持体として、ま
た、実用に供するまで放射線硬化型熱膨張性粘着層２な
どを保護する保護材として用いられる。セパレータ３は
必ずしも設けなくてもよい。
【００２８】なお、放射線硬化型熱膨張性粘着層２は、
基材１の片面のみならず、両面に形成することもでき
る。また、基材１の一方の面に放射線硬化型熱膨張性粘
着層２を設け、他方の面に放射線重合性化合物および熱
膨張性微小球を含まない通常の粘着層を設けることもで
きる。さらに、基材１と放射線硬化型熱膨張性粘着層２
との間などに中間層を設けてもよい。
【００２９】図２は本発明の放射線硬化型熱剥離性粘着
シートの他の例を示す概略断面図である。この例では、
基材１の一方の面に、放射線硬化型熱膨張性粘着層２が
設けられ、その上にセパレータ３が積層されているとと
もに、基材１の他方の面に粘着層４及びセパレータ３が
積層されている。この粘着シートは、基材１の放射線硬
化型熱膨張性粘着層２が形成されている面とは反対側の
面に、粘着層４とセパレータ３が設けられている点での
み、図１の粘着シートと相違する。
【００３０】粘着層４は粘着性物質を含んでいる。この
粘着性物質としては、前記放射線硬化型熱膨張性粘着層
２における粘着性物質（粘着剤）と同様のものを使用で
き、必要に応じて、架橋剤（例えば、イソシアネート系
架橋剤、エポキシ系架橋剤など）、粘着付与剤（例え
ば、ロジン誘導体樹脂、ポリテルペン樹脂、石油樹脂、
油溶性フェノール樹脂など）、可塑剤、充填剤、老化防
止剤、界面活性剤などの適宜な添加剤を配合してもよ
い。ただし、粘着層２を硬化させる放射線として紫外線
を用いる場合、粘着層２中に配合される光反応開始剤に
よる重合開始反応を著しく阻害する物質を使用若しくは
添加することは好ましくない。
【００３１】粘着層４の厚さは、被着体への貼着、被着
体の切断及び切断片の剥離、回収などにおける操作性等
を損なわない範囲で適宜設定できるが、一般に５〜５０
μｍ程度である。粘着層４の形成は、前記放射線硬化型
熱膨張性粘着層２に準じた方法により行うことができ
る。セパレータ３としては、前記放射線硬化型熱膨張性
粘着層２上のセパレータ３と同様のものを使用できる。
このような粘着シートは、粘着層４を利用することによ
り、台座面に固定して使用することができる。
【００３２】図３は本発明の切断片の製造方法の一例を
示す概略工程図である。より詳細には、図３は、図１の
放射線硬化型熱剥離性粘着シート（セパレータ３を剥が
した状態のもの）の放射線硬化型熱膨張性粘着層２の表
面に被切断体（被着体）５を圧着して貼り合わせ、放射
線６の照射により放射線硬化型熱膨張性粘着層２を硬化
させた後、切断線７に沿って所定寸法に切断して切断片
とし、次いで加熱処理により粘着層中の熱膨張性微小球
を膨張乃至発泡させて、前記切断片８を剥離回収する一
連の工程を断面図で示した工程図である。図３におい
て、１は基材、２ａは放射線照射後の硬化した粘着層、
２ｂは放射線照射後さらに加熱により膨張させた後の粘
着層を示す。
【００３３】放射線硬化型熱剥離性粘着シートの放射線
硬化型熱膨張性粘着層２と被着体５との圧着は、例え
ば、ゴムローラ、ラミネートロール、プレス装置などの
適宜な押圧手段で圧着処理する方式などにより行うこと
ができる。なお、圧着処理の際、必要ならば、粘着性物
質のタイプに応じて、熱膨張性微小球が膨張しない温度
範囲で加熱したり、水や有機溶剤を塗布して粘着性物質
を賦活させたりすることもできる。
【００３４】放射線としては紫外線や電子線などを使用
できる。放射線の照射は適宜な方法で行うことができる
が、紫外線を照射する場合、照射熱により熱膨張性微小
球が膨張を開始することがあるため、できるだけ短時間
の照射にとどめるか、あるいは被着体を貼り合わせた放
射線硬化型熱剥離性粘着シートを風冷するなど、熱膨張
性微小球が膨張を開始しない温度に保つことが望まし
い。
【００３５】放射線照射後の硬化した粘着層２ａの粘着
力は、続いて行われる切断作業時において粘着剤の巻き
上げを防止でき且つ被着体５の固定能力を損なわない範
囲で適宜選択できる。該粘着力は、一般に、０．１〜１
０Ｎ／２０ｍｍ程度、好ましくは０．３〜２Ｎ／２０ｍ
ｍ程度（測定方法は後述の評価試験に準じる）である。
上記粘着力は、例えば、放射線硬化型熱膨張性粘着層２
に配合する粘着剤の種類や量、放射線重合性化合物の種
類や量、光重合開始剤の種類や量、放射線の照射量など
を適宜選択することにより調整できる。この粘着力は、
切断作業後の加熱処理により熱膨張性微小球を膨張させ
ることで、さらなる低減乃至喪失が可能となる。
【００３６】被着体５の切断はダイシング等の慣用の切
断手段により行うことができる。加熱処理の条件は、被
着体５（又は切断片８）の表面状態や耐熱性、熱膨張性
微小球の種類、粘着シートの耐熱性、被着体（被切断
体）の熱容量などにより適宜設定できるが、一般的な条
件は、温度３５０℃以下、処理時間３０分以下であり、
特に温度１００〜２００℃、処理時間１秒〜１５分程度
が好ましい。また、加熱方式としては、熱風加熱方式、
熱板接触方式、赤外線加熱方式などが挙げられるが、硬
化後の粘着層２ａが均一に発泡乃至膨張し、かつ被着体
５を汚染したり破損するものでなければ特に限定されな
い。
【００３７】また、粘着シートの基材１に伸縮性を有す
るものを使用した場合、伸張処理は、例えば、シート類
を二次元的に伸張させる際に用いる慣用の伸張手段を使
用することにより行うことができる。
【００３８】本発明の放射線硬化型熱剥離性粘着シート
は、粘着性物質（粘着剤）を含む粘着層２を有するので
被着体５を強固に粘着保持でき、例えば搬送時の振動等
により被着体５が剥がれることはない。また、切断工程
の前に放射線の照射により粘着層２を適度に硬化させる
ため、切断工程時において切断刃による粘着層の巻き上
げや粘着剤のぶれに伴うチッピング等を起こすことなく
所定の寸法に切断できる。さらに、粘着層２は熱膨張性
微小球を含み、熱膨張性を有するので、切断工程後の加
熱処理により、熱膨張性微小球が速やかに発泡又は膨張
し、前記粘着層が体積変化して凹凸状の三次元構造が形
成され、切断された切断片８との接着面積ひいては接着
強度が大幅に低下若しくは喪失する。かくして、上記放
射線照射による粘着層の硬化及び加熱処理による接着強
度の著しい低下若しくは喪失により、被着体５の切断工
程、切断片８の剥離、回収工程における操作性及び作業
性が大幅に改善され、生産効率も大きく向上できる。
【００３９】本発明の放射線硬化型熱剥離性粘着シート
は、被着体を永久的に接着させる用途にも使用できる
が、被着体を所定期間接着すると共に、接着目的を達成
した後には、その接着状態を解除することが要求若しく
は望まれる用途に適している。このような用途の具体例
として、半導体ウエハやセラミック積層シートの固定材
のほか、各種の電気装置、電子装置、ディスプレイ装置
等の組立工程における部品搬送用、仮止め用等のキャリ
アテープ、仮止め材又は固定材、金属板、プラスチック
板、ガラス板等の汚染損傷防止を目的とした表面保護材
又はマスキング材などが挙げられる。特に、電子部品の
製造工程において、小さな若しくは薄層の半導体チップ
や積層コンデンサチップなどの製造工程等に好適に使用
できる。
【００４０】
【発明の効果】本発明によれば、粘着層が特定成分の組
み合わせにより構成されているので、被着体の輸送等の
搬送工程に耐え得る粘着性を有すると共に、切断工程時
における粘着剤の巻き上げやチッピングを抑制でき、且
つ切断後には、高度な精度で切断加工された切断片を容
易に剥離回収することができる。そのため、切断片の剥
離、回収工程における操作性及び作業性を著しく高める
ことができ、ひいては、小型の或いは薄層の半導体チッ
プや積層コンデンサチップなどの切断片の生産性を大き
く向上できる。
【００４１】
【実施例】以下に、実施例に基づいて本発明をより詳細
に説明するが、本発明はこれらの実施例により何ら限定
されるものではない。
【００４２】実施例１ ブチルアクリレート１００重量部、２−ヒドロキシエチ
ルアクリレート５重量部からなるアクリル系共重合体
（重量平均分子量５０万）１００重量部に対し、熱膨張
性微小球（商品名「マツモトマイクロスフェアＦ−５０
Ｄ」、松本油脂製薬（株）製）３０重量部、イソシアネ
ート系架橋剤３重量部、６官能光重合性化合物１２重量
部、及び光重合開始剤３重量部を配合した混合液を調製
した。この混合液を、厚さ１００μｍのポリエステルフ
ィルムのコロナ処理面に塗布し乾燥させ、厚さ４５μｍ
のアクリル系粘着層を形成して放射線硬化型熱剥離性粘
着シートを得た。
【００４３】比較例１ 光重合性化合物及び光重合開始剤を用いなかった点以外
は実施例１と同様の操作により熱剥離性粘着シートを得
た。
【００４４】比較例２ 熱膨張性微小球を用いなかった点以外は実施例１と同様
の操作により放射線硬化型粘着シートを得た。
【００４５】評価試験 実施例及び比較例で得た各粘着シート（幅２０ｍｍ）の
粘着層面に厚さ２５μｍのポリエステルフィルム（商品
名「ルミラーＳ１０」、東レ（株）製）を圧着し、処理
前、放射線照射後、及び放射線照射後にさらに加熱処理
を施した後の１８０°ピール粘着力（Ｎ／２０ｍｍ、剥
離速度３００ｍｍ／ｍｉｎ、２３℃）を測定した。な
お、放射線照射は、空冷式高圧水銀灯（４６ｍＪ／ｍｉ
ｎ）により、粘着シート側から紫外線を１０秒間照射す
ることにより行い、加熱処理は１３０℃の熱風乾燥機中
で５分間行った。
【００４６】また、実施例及び比較例で得た各粘着シー
トに厚さ５０μｍの半導体ウエハを貼り合わせ、放射線
照射後、ダイサー（ＤＦＤ６５１、ＤＩＳＣＯ社製）で
ダイシングを行い、粘着剤巻き上げの有無を目視により
確認するとともに、さらに加熱処理を施し、切断後のチ
ップをピックアップし、その際のチップのクラックの有
無を目視により確認した。なお、放射線照射及び加熱処
理の条件は前記と同様である。
【００４７】評価結果を表１に示した。なお、実施例及
び比較例の何れの場合も、加熱剥離の際、目視において
剥離したポリエステルフィルム及びチップに糊残りは認
められなかった。
【表１】
【００４８】表１より明らかなように、実施例１の粘着
シートでは、放射線照射により粘着層の粘着力が適度に
低下し、切断時の粘着剤の巻き上げを防止できると共
に、さらに加熱処理を施すことにより粘着力が消失し、
ピックアップ時におけるチップのクラックを防止でき
る。これに対し、比較例１の粘着シートでは、放射線照
射によっても粘着力がほとんど低下せず、切断時に粘着
剤の巻き上げが生じる。また、比較例２の粘着シートで
は、放射線照射により粘着力が低下するものの、次の加
熱工程ではそれ以上の粘着力低下がなく、チップのピッ
クアップ時にチップのクラックが発生する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の放射線硬化型熱剥離性粘着シートの一
例を示す概略断面図である。
【図２】本発明の放射線硬化型熱剥離性粘着シートの他
の例を示す概略断面図である。
【図３】本発明の切断片の製造方法の一例を示す概略工
程図である。
【符号の説明】
１ 基材 ２ 放射線硬化型熱膨張性粘着層 2a 放射線照射後の硬化した粘着層 2b 放射線照射後さらに加熱により膨張させた後の粘着
層 ３ セパレータ ４ 粘着層 ５ 被着体（被切断体） ６ 放射線 ７ 切断線 ８ 切断片
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 村田 秋桐 大阪府茨木市下穂積一丁目１番２号 日東 電工株式会社内 (72)発明者 有満 幸生 大阪府茨木市下穂積一丁目１番２号 日東 電工株式会社内 Ｆターム(参考） 4J004 AA04 AA05 AA10 AA11 AA17 AB01 AB06 AB07 AC03 CA04 CA05 CA06 CC02 DB02 FA05 FA08 GA01 4J040 CA001 DC072 DD022 DD072 DF031 DF082 EJ032 EK001 JA09 JB07 KA02 KA35 LA06 MA02 MA04 MA05 MA10 MB09 NA19 NA20

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 基材の少なくとも一方の側に、熱膨張性
    微小球及び放射線硬化性化合物を含有する粘着層が設け
    られている放射線硬化型熱剥離性粘着シート。
  2. 【請求項２】 請求項１記載の放射線硬化型熱剥離性粘
    着シートの粘着層表面に被切断体を載置し、該粘着層を
    放射線照射により硬化させた後、前記被切断体を切断し
    て切断片とし、次いで該粘着層を加熱により発泡させ
    て、前記切断片を剥離回収する切断片の製造方法。
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