JP6000958B2 - 電子部品切断用加熱剥離型粘着シート及び電子部品切断方法 - Google Patents
電子部品切断用加熱剥離型粘着シート及び電子部品切断方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6000958B2 JP6000958B2 JP2013534732A JP2013534732A JP6000958B2 JP 6000958 B2 JP6000958 B2 JP 6000958B2 JP 2013534732 A JP2013534732 A JP 2013534732A JP 2013534732 A JP2013534732 A JP 2013534732A JP 6000958 B2 JP6000958 B2 JP 6000958B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat
- sensitive adhesive
- peelable pressure
- pressure
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
- C09J5/00—Adhesive processes in general; Adhesive processes not provided for elsewhere, e.g. relating to primers
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
- C09J5/00—Adhesive processes in general; Adhesive processes not provided for elsewhere, e.g. relating to primers
- C09J5/06—Adhesive processes in general; Adhesive processes not provided for elsewhere, e.g. relating to primers involving heating of the applied adhesive
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
- C09J201/00—Adhesives based on unspecified macromolecular compounds
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
- C09J7/00—Adhesives in the form of films or foils
- C09J7/20—Adhesives in the form of films or foils characterised by their carriers
- C09J7/29—Laminated material
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/6835—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
- H01L21/6836—Wafer tapes, e.g. grinding or dicing support tapes
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
- C09J2203/00—Applications of adhesives in processes or use of adhesives in the form of films or foils
- C09J2203/326—Applications of adhesives in processes or use of adhesives in the form of films or foils for bonding electronic components such as wafers, chips or semiconductors
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
- C09J2301/00—Additional features of adhesives in the form of films or foils
- C09J2301/10—Additional features of adhesives in the form of films or foils characterized by the structural features of the adhesive tape or sheet
- C09J2301/16—Additional features of adhesives in the form of films or foils characterized by the structural features of the adhesive tape or sheet by the structure of the carrier layer
- C09J2301/162—Additional features of adhesives in the form of films or foils characterized by the structural features of the adhesive tape or sheet by the structure of the carrier layer the carrier being a laminate constituted by plastic layers only
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
- C09J2301/00—Additional features of adhesives in the form of films or foils
- C09J2301/40—Additional features of adhesives in the form of films or foils characterized by the presence of essential components
- C09J2301/412—Additional features of adhesives in the form of films or foils characterized by the presence of essential components presence of microspheres
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
- C09J2301/00—Additional features of adhesives in the form of films or foils
- C09J2301/50—Additional features of adhesives in the form of films or foils characterized by process specific features
- C09J2301/502—Additional features of adhesives in the form of films or foils characterized by process specific features process for debonding adherents
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
- C09J2475/00—Presence of polyurethane
- C09J2475/006—Presence of polyurethane in the substrate
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2221/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof covered by H01L21/00
- H01L2221/67—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L2221/683—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L2221/68304—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
- H01L2221/68327—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support used during dicing or grinding
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2221/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof covered by H01L21/00
- H01L2221/67—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L2221/683—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L2221/68304—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
- H01L2221/68381—Details of chemical or physical process used for separating the auxiliary support from a device or wafer
Landscapes
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Adhesive Tapes (AREA)
- Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
Description
これに対し、粘着剤層を薄くすることが有効であるが、粘着剤層を薄くし過ぎると、熱膨張性微小球の粒子による粘着剤層表面の凹凸により、気泡等の噛み込みによる外観不良を生じ、及び十分な接着性が得られなくなり、固定用粘着シートとしての機能を発揮できなくなる。
1.基材の少なくとも片側に、エネルギー線硬化型弾性層を介して熱膨張性微小球を含有する熱剥離性粘着剤層を設けてなる加熱剥離型粘着シートであって、前記基材とエネルギー線硬化型弾性層との間に有機コーティング層が配置されていることを特徴とする加熱剥離型粘着シート。
2.前記有機コーティング層が、ウレタン系ポリマーによって形成されてなる請求項1に記載の加熱剥離型粘着シート。
3.熱剥離性粘着剤層の厚みが50μm以下であることを特徴とする請求項1又は2に記載の加熱剥離型粘着シート。
4.エネルギー線硬化型弾性層の厚みが3〜150μmであることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の加熱剥離型粘着シート。
5.1〜4のいずれかに記載の加熱剥離型粘着シートにより電子部品を仮固定して該電子部品を切断することを特徴とする電子部品の切断方法。
また、本発明によれば、プレス工程や切断工程時における粘着剤のズレや巻き上げ、チッピングを抑制でき、該被加工物表面に垂直に切断することができる。
且つ切断後には、高度な精度で切断加工された切断片を容易に剥離回収することができる。そのため、切断片の剥離、回収工程における操作性及び作業性を著しく高めることができ、ひいては、小型のあるいは薄層の半導体チップや積層コンデンサチップ等の切断片の生産性を大きく向上できる。
2 有機コーティング層
3 エネルギー線硬化型弾性層
3a エネルギー線照射後の硬化した弾性層
4 熱剥離型粘着剤層
4a 加熱処理後の熱剥離型粘着剤層
5 セパレータ
6 接着剤層
7 セパレータ
8 被着体(被切断体)
8a 切断片
9 エネルギー線
10 切断線
加えて、加工精度向上のために熱膨張性微小球の最大粒径よりも薄くした熱剥離型粘着剤層に生じた熱膨張性微小球に起因する凹凸を、硬化前の柔軟なエネルギー線硬化型弾性層に貼り合せる等により積層させて吸収することにより良好な外観と表面平滑性を有する粘着シートを製造し、その後、又は被加工物に貼り付けた後にエネルギー線硬化型弾性層を硬化させて、柔らかい粘着層(この場合は熱剥離型粘着剤層)の厚みを薄化した粘着シートを用いて被加工物を加工する加工方法を用いることで小型部品を高精度で加工できることを見出し、本発明に至った。
本発明の加熱剥離性シートは、基材の少なくとも片側に、エネルギー線硬化型弾性層を介して熱膨張性微小球を含有する熱剥離型粘着剤層を設けてなり、基材とエネルギー線硬化型弾性層との間に有機コーティング層が配置されていることを特徴とする加熱剥離型粘着シートである。該エネルギー線硬化型弾性層と該熱剥離型粘着剤層は該基材の片面に設けてもよく、また両面に設けてもよい。
片面に設ける場合には、該基材の他方の面に接着剤層を形成することもでき、電子部品を加工する際には、電子部品を固定した該熱剥離型粘着剤層を有する該加熱剥離型粘着シートを加工装置のステージに載せ、該基材の他方の面の接着剤層によりステージに固定することができる。
もちろん、基材の他方の面に必ずしも該接着剤層を形成する必要はなく、この場合には、電子部品を固定した該熱剥離型粘着剤層を有する該加熱剥離型粘着シートを加工装置のステージに設けた固定手段、例えば真空チャック等により固定することも可能である。
次に本発明の加熱剥離型粘着シートを構成する各層について述べる。
基材1は有機コーティング層2、エネルギー線硬化型弾性層3等の支持母体となるもので、熱剥離型粘着剤層4の加熱処理により機械的物性を損なわない程度の耐熱性を有するものが使用される。
このような基材1として、例えば、ポリエステル、オレフィン系樹脂、ポリ塩化ビニル等のプラスチックフィルムやシートが挙げられるが、これらに限定されるものではない。
基材1は被着体の切断の際に用いるカッター等の切断手段に対して切断性を有しているのが好ましい。また、基材1として軟質ポリオレフィンフィルム若しくはシート等の耐熱性と伸縮性とを具備する基材を使用すると、被着体の切断工程の際、基材途中まで切断刃が入れば、後に基材を伸張することができるので、切断片間に隙間を生じさせることが必要な切断片回収方式に好適となる。
基材1の表面は、隣接する層との密着性、保持性等を高めるため、慣用の表面処理、例えば、クロム酸処理、オゾン暴露、火炎暴露、高圧電撃暴露、イオン化放射線処理等の化学的又は物理的処理、下塗り剤(例えば、後述する粘着物質)によるコーティング処理等が施されていてもよい。
有機コーティング層2は、基材1に良好に密着し、加熱剥離後にエネルギー線硬化型弾性層が投錨破壊していないことが必要である。
投錨破壊が生じるか否かは、例えば、下記の実施例に記載の方法で評価することができる。投錨破壊しないことにより、有機コーティング層2を介して基材と加熱剥離型粘着剤層とがより強く接着されるので、本発明の加熱剥離型粘着シートを使用した際に加熱剥離性が良好で、糊剥がれ、つまり糊残りを生じないという効果を発揮することができる。
例えば、文献(プラスチックハードコート材料II、CMC出版、(2004))に示されるような各種のコーティング材料を用いることが可能である。なかでも、ウレタン系ポリマーが好ましい。基材に対して優れた密着性を示し、且つ、エネルギー線硬化型弾性層(特に硬化後)に対して優れた投錨性を示すからである。特に、ポリアクリルウレタン及びポリエステルポリウレタン、これらの前駆体がより好ましい。これらの材料は、基材1への塗工・塗布が簡便である等、実用的であり、工業的に多種のものが選択でき、安価に入手できる。
ポリアクリルウレタン及びポリエステルポリウレタンは、上述したモノマーを反応させることにより調製したものを用いてもよいし、コーティング材料又はインキ、塗料のバインダー樹脂として多く市販又は使用されているものを用いてもよい(文献:最新ポリウレタン材料と応用技術、P190、CMC出版 (2005)参照)。このようなポリウレタンとしては、大日精化製の「NB300」、ADEKA製の「アデカボンタイター(登録商標)」、三井化学製の「タケラック(登録商標)A/タケネート(登録商標)A」、DICグラフィックス製の「UCシーラー」等の市販品が挙げられる。
このようなポリマーに色素を添加する等して、インキとしてフィルム層に印刷して用いてもよい。このときに例えばポリウレタン系酢酸ビニル−塩化ビニルコポリマー(大日精化社NB300)等のポリウレタン変性樹脂を使用することができ、このような印刷により粘着シートの意匠性を高めることも可能となる。
また、特に、エネルギー線硬化後において、エネルギー線硬化型弾性層との投錨性が高まる理由としては、紫外線等照射時においてウレタン結合近傍に生成するラジカル種とエネルギー線硬化型弾性層に生成するラジカル種とが反応して強固な結合を形成するためと推測される(文献:ポリウレタンの構造・物性と高機能化及び応用展開、p191−194、技術情報協会(1999))。
エネルギー線硬化型弾性層3は、エネルギー線硬化性を付与するためのエネルギー線硬化性化合物(又はエネルギー線硬化性樹脂)を含有すると共に、熱剥離型粘着剤層4が圧着される際に熱膨張性微小球の凹凸を緩和できる程度の粘弾性を有している(図1の拡大図参照)。また、エネルギー線硬化型弾性層3は、エネルギー線照射後には弾性体となるのが好ましい。このような観点から、エネルギー線硬化型弾性層3は、エネルギー線反応性官能基で化学的に修飾された母剤(粘着剤)を用いるか、エネルギー線硬化性化合物(又はエネルギー線硬化性樹脂)を弾性を有する母剤中に配合した組成物により構成するのが好ましい。
なかでも、(メタ)アクリロイル基は、エネルギー線に対して比較的高反応性を示し、多様なアクリル系粘着剤から選択して組み合わせて使用できる等、反応性、作業性の観点で好ましい。
前記反応性官能基含有アクリル系重合体における反応性官能基を含む単量体の割合は、全単量体に対して、例えば5〜40重量%、好ましくは10〜30重量%である。
なお、必要に応じて前記エネルギー線重合開始剤と共にエネルギー線重合促進剤を併用してもよい。
エネルギー線として紫外線を用いて重合・硬化を行う場合には、硬化するために光重合開始剤が含まれる。光重合開始剤としては特に限定されないが、例えば、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン等のベンゾインエーテル;アニソールメチルエーテル等の置換ベンゾインエーテル;2,2−ジエトキシアセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、1−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニルケトン等の置換アセトフェノン;2−メチル−2−ヒドロキシプロピオフェノン等の置換アルファーケトール;2−ナフタレンスルフォニルクロライド等の芳香族スルフォニルクロライド;1−フェニル−1,1−プロパンジオン−2−(o−エトキシカルボニル)−オキシム等の光活性オキシム;2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイド、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイド等のアシルフォスフィンオキサイド等が挙げられる。
該エネルギー線硬化型弾性層を硬化するに際して、酸素による重合阻害の発生が懸念される場合には、セパレータ上に塗布したウレタンポリマーとラジカル重合性モノマーとの混合物の上に、剥離処理したシートをのせて酸素を遮断してもよいし、不活性ガスを充填した容器内に基材を入れて、酸素濃度を下げてもよい。
エネルギー線等の種類や照射により使用されるランプの種類等は適宜選択することができ、蛍光ケミカルランプ、ブラックライト、殺菌ランプ等の低圧ランプや、メタルハライドランプ、高圧水銀ランプ等の高圧ランプ等を用いることができる。さらに紫外線等の照射量は、要求されるエネルギー線硬化型弾性層の特性に応じて、任意に設定することができる。
熱剥離型粘着剤層4は、粘着性を付与するための粘着性物質、及び熱膨張性を付与するための熱膨張性微小球を含んでいる。
熱剥離型粘着剤層4は、熱による熱膨張性微小球の発泡により、接着面積が減少して剥離が容易になる層である。熱膨張性微小球は単独で又は2種以上組み合わせて使用することができる。熱膨張性微小球の平均粒子径は1μm〜25μm程度のものが好ましい。より好ましくは5μm〜15μmであり、特に10μm程度のものが好ましい。そして熱膨張性微小球の最大粒径はこの平均粒子径よりも大である。
熱膨張性微小球としては、公知の熱膨張性微小球から適宜選択することができる。熱膨張性微小球としては、マイクロカプセル化していない熱膨張性微小球では、良好な剥離性を安定して発現させることができない場合があるので、マイクロカプセル化されている熱膨張性微小球を好適に用いることができる。
そして、図1の右の図に示す拡大図のように、熱剥離型粘着剤層4の表面は、含有する熱膨張性微小球の形状を反映した凹凸を有することがなく平滑であることが望ましい。大きい熱膨張性微小球が存在することにより熱剥離性粘着剤層4の層の厚さ内に熱膨張性微小球が収まらない場合であっても、エネルギー線硬化型弾性層の層内にその熱膨張性微小球の凸部を嵌入させることにより、熱膨張型粘着層4の表面を平滑にすることが望ましい。
このセパレータ5は、基材フィルムの片面に必要により剥離剤層を形成してなるシートであり、本発明の加熱剥離型粘着シートの表面層を保護しておき、使用する前に露出させるために剥離されるシート、及び熱剥離型粘着剤層4を形成する際の土台となるシートでもある。
使用できる剥離剤層は、フッ素化されたシリコーン樹脂系剥離剤、フッ素樹脂系剥離剤、シリコーン樹脂系剥離剤、ポリビニルアルコール系樹脂、ポリプロピレン系樹脂、長鎖アルキル化合物等の公知の剥離剤を、粘着剤層の樹脂に応じて選択して含有させてなる層である。
熱剥離型粘着剤層4の厚さが50μm以下であれば、本発明の加熱剥離型粘着シートにより固定した被加工物を加工する際に、切断刃等の加工用部材による押圧力等によって粘着剤層の変形量が大きくなることがなく、該被加工物の位置や向きが僅かながらも変化することを防止でき、結果的に正確に加工することが可能である。
また、熱剥離型粘着剤層4の厚さが1μm以上、好ましくは3μm以上、さらに好ましくは5μm以上とすることが好ましい。熱剥離性粘着剤層4の厚さが1μm以上であることにより、被着体を十分に固定できる粘着力を有することになり、そのため例えば切断時にチップ飛びを発生させることなく加工できる。
セパレータ5は、上記のように、エネルギー線硬化型弾性層3上に熱剥離型粘着剤層4を圧着転写(移着)する際の仮支持体として、また、実用に供するまで熱剥離型粘着剤層4を保護する保護材として用いられる。
接着剤層6の形成は、熱剥離型粘着剤層4に準じた方法により行うことができる。セパレータ7としては、前記熱剥離型粘着剤層4上のセパレータ5と同様のものを使用できる。このような粘着シートは接着剤層6を利用することにより、台座面に固定して使用することができる。
基材1の片面又は両面に有機コーティング層2を設け、その上に上記のエネルギー線硬化型弾性層3を構成する硬化前の組成物を、任意の手段により均一に塗布する。そして、得られた基材の片面に形成された上記のエネルギー線硬化型弾性層3が反応性溶媒以外の溶媒を含有する場合には、そのような溶媒が乾燥により除去された状態であり、該エネルギー線硬化型弾性層3をエネルギー線による硬化前としておく。ただし十分な流動性を備える限りにおいて、部分硬化させてもよい。
別途、用意したセパレータ上に塗布乾燥された熱剥離型粘着剤層4を形成する。この熱剥離型粘着剤層4はその表面、つまりセパレータ側ではない面は、含有する熱膨張性微小球が該熱剥離型粘着剤層4に完全に埋め込まれることがないために、その熱膨張性微小球の一部が表面に突出して凸部を形成している。
この結果、該基材1、有機コーティング層2、未硬化の該エネルギー線硬化型弾性層3、該熱剥離型粘着剤層4及びセパレータを、この順で積層してなるシートを得ることができる。
さらに、この未硬化の該エネルギー線硬化型弾性層3に対して、基材1側及び/又はセパレータ側からエネルギー線を照射することによって未硬化の該エネルギー線硬化型弾性層3を硬化することによって、本発明の加熱剥離型粘着シートを得ることができる。
また基材1の他面に接着剤層を設ける場合には、該接着剤層の形成をエネルギー線硬化型弾性層3と熱剥離型粘着剤層4を設ける工程の前後のいずれの段階で行ってもよい。
図3は本発明の加熱剥離型粘着シートを使用した切断片の製造方法の一例を示す概略工程図である。より詳細には、図3は、図1のエネルギー線硬化型熱剥離性粘着シート(セパレータ5を剥がした状態のもの)の熱剥離型粘着剤層4の表面に被着体(被切断体)8を圧着して貼り合わせ、場合によりエネルギー線9の照射によりエネルギー線硬化型弾性層3を硬化させた後、切断線10に沿って所定寸法に切断して切断片とし、次いで加熱処理により熱剥離型粘着剤層4中の熱膨張性微小球を膨張及び発泡させて、切断片8aを剥離回収する一連の工程を断面図で示した工程図である。なお、エネルギー線9の照射によりエネルギー線硬化型弾性層3を硬化させた後に、熱剥離型粘着剤層4表面に被着体(被切断体)8を圧着して貼り合わせ、切断線10に沿って切断してもよい。
また、このような切断に限らず、本発明の加熱剥離型粘着シートの用途は研削、孔開け等の加工工程一般である。
加熱条件は、被着体8(又は切断片8a)の表面状態や耐熱性、熱膨張性微小球の種類、粘着シートの耐熱性、被着体(被切断体)の熱容量等により適宜設定できるが、一般的な条件は、温度350℃以下、処理時間30分以下であり、特に温度80〜200℃、処理時間1秒〜15分程度が好ましい。また、加熱方式としては、熱風加熱方式、熱板接触方式、赤外線加熱方式等が挙げられるが、特に限定されない。
かくして、エネルギー線照射によるエネルギー線硬化型弾性層3の硬化、及び加熱処理による接着強度の著しい低下若しくは喪失により、被着体8の切断工程、切断片8aの剥離、回収工程における操作性及び作業性が大幅に改善され、生産効率も大きく向上できる。
基材として、PETフィルムを準備した。東レ社製、片面コロナ処理済み、ルミラーS105(厚み50μm)をこのPETフィルムとして用いた。この基材のコロナ処理面側に、有機コーティング層を、乾燥膜厚が1〜2μmとなるように、グラビアコーターで塗布し、乾燥し、有機コーティング層付の基材1を得た。この有機コーティング層には、薄青色印刷インクNB300(大日精化社)を用いた。なお、NB300にはバインダー樹脂としてポリウレタン系酢酸ビニル−塩化ビニルコポリマーが含まれており、IRによってウレタンと考えられる強度ピークを確認した。
基材として、PETフィルムを準備した。東レ社製、片面コロナ処理済み、ルミラーS105(厚み50μm)をこのPETフィルムとして用いた。この基材のコロナ面処理側に、有機コーティング層を、乾燥膜厚が1〜2μmとなるように、グラビアコーターで塗布し、乾燥し、有機コーティング層付の基材2を得た。この有機コーティング層には、薄青色の色素を含まない印刷インクNB300(大日精化社)を用いた。なお、NB300にはバインダー樹脂としてポリウレタン系酢酸ビニル−塩化ビニルコポリマーが含まれており、IRによってウレタンと考えられる強度ピークを確認した。
基材として、PETフィルムを準備した。東レ社製、片面コロナ処理済み、ルミラーS105(厚み50μm)をこのPETフィルムとして用いた。この基材のコロナ面処理側に、有機コーティング層を、乾燥膜厚が1〜2μmとなるように、グラビアコーターで塗布し、乾燥し、有機コーティング層付の基材3を得た。この有機コーティング層には、ポリウレタン系プライマー剤であるアデカボンタイターU500(ADEKA製)71重量部とイソシアネート樹脂であるコロネートHL(日本ポリウレタン工業製)28重量部の酢酸エチル溶液を用いた。
アクリル系モノマーとして、アクリル酸t−ブチル50.0部、アクリル酸30.0部、アクリル酸ブチル20.0部と、多官能モノマーとしてトリメチロールプロパントリアクリレート1.0部と、光重合開始剤として、1−[4−(2−ヒドロキシエトキシ)−フェニル]−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−プロパン−1−オン(商品名:イルガキュア2959、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ(株)製)0.1部と、ポリオールとして、ポリオキシテトラメチレングリコール(分子量650、三菱化学(株)製)73.4部と、ウレタン反応触媒として、ジブチル錫ジラウレート0.05部とを投入し、攪拌しながら、キシリレンジイソシアネート26.6部を滴下し、65℃で2時間反応させて、ウレタンポリマー−アクリル系モノマー混合物を得た。ポリイソシアネート成分とポリオール成分の使用量は、NCO/OH(当量比)=1.25であった。
得られたウレタンポリマー−アクリル系モノマー混合物を、厚さ38μmのポリエチレンテレフタレートフィルム(商品名:S−10、東レ社製)上に、硬化後の厚みが3〜4μmになるように塗布した。この上に、剥離処理したPETフィルム(厚み38μm)を重ねて被覆し、この被覆したPETフィルム面に、高圧水銀ランプを用いて紫外線(照度163mW/cm2、光量2100mJ/cm2)を照射して硬化させて、ポリエチレンテレフタレート/アクリル・ウレタン積層シートを得た。
基材として、PETフィルムを準備した。東レ社製、片面コロナ処理済み、ルミラーS105(厚み38μm)をこのPETフィルムとして用いた。この剛直フィルム層のコロナ面処理側に、有機コーティング層を、乾燥膜厚が1〜2μmとなるように、グラビアコーターで塗布し、乾燥し、有機コーティング層付の基材5を得た。この有機コーティング層には、青色印刷インクCVL−PR(DICグラフィックス社製)を用いた。CVL−PRにはバインダー樹脂として水酸基含有酢酸ビニル−塩化ビニル共重合体が含まれており、IRではウレタンと考えられる強度ピークは確認できなかった。
基材として、PETフィルムを準備した。東レ社製、片面コロナ処理済み、ルミラーS105(厚み50μm)をこのPETフィルムとして用いた。この基材のコロナ処理面側に、有機コーティング層を、乾燥膜厚が1〜2μmとなるように、グラビアコーターで塗布し、乾燥し、有機コーティング層付の基材6を得た。この有機コーティング層には、非晶性飽和共重合ポリエステル樹脂(商品名:バイロン200、東洋紡績(株)製)を用いた。
2−エチルヘキシルアクリレート:モルホリルアクリレート:2−ヒドロキシエチルアクリレート=75:25:20(モル比)混合物100重量部に重合開始剤ベンジルパーオキサイド0.2重量部を加えたトルエン溶液から共重合してアクリル系重合体(重量平均分子量70万)を得た。得られた前記アクリル系重合体に2−ヒドロキシエチルアクリレート由来の水酸基の50モル%のメタクリロイルオキシエチルイソシアナート(2−イソシアナトエチルメタクリレート)と前記アクリル系重合体100重量部に対して、付加反応触媒ジブチル錫ジラウリレート0.03重量部とを配合し、空気雰囲気下、50℃で24時間反応させて、側鎖にメタクリレート基を有するアクリル系重合体を製造した。得られたアクリル系重合体100重量部に対して、3官能アクリル系光重合性モノマー(トリメチロールプロパントリアクリレート(商品名:アロニクスM320、東亜合成(株)製))15重量部、ラジカル系光重合開始剤(イルガキュア651、2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン、チバガイギー社製)1重量部、イソシアネート化合物(商品名:コロネートL、日本ポリウレタン工業(株)製)1重量部を加え、混合物を得た。
得られた混合物を、ダイコーターを用いて、剥離処理済みPETフィルムMRF38(三菱ポリエステル社製)の剥離処理面に、乾燥膜厚が30μmとなるように塗布した。なお、剥離処理済みPETフィルムMRF38は、セパレータとして用いた。
エチルアクリレート−2−エチルヘキシルアクリレート−2−ヒドロキシエチルアクリレート (80部-20部-5部)からなる共重合体ポリマー100部に対し、「コロネートL」(架橋剤、日本ポリウレタン工業社製)を1部、120℃発泡膨張タイプの熱膨張性微小球「マツモトマイクロスフェアF−50D」(熱膨張性微小球、松本油脂製)30部を配合して混合液を調整した。この混合液を剥離処理済みPETフィルムMRF38(三菱ポリエステル社製)の剥離処理面に上に塗工し乾燥させ10μmの熱剥離型粘着剤層を得た。
有機コーティング層付の基材1の有機コーティング層側に上記エネルギー線硬化型粘着剤層を貼り合せ、次いで上記熱剥離型粘着剤層を貼り合せて加熱剥離型粘着シートを作製した。
実施例2
有機コーティング層付の基材2の有機コーティング層側に上記エネルギー線硬化型粘着剤層を貼り合せ、次いで上記熱剥離型粘着剤層を貼り合せて加熱剥離型粘着シートを作製した。
実施例3
有機コーティング層付の基材3の有機コーティング層側に上記エネルギー線硬化型粘着剤層を貼り合せ、次いで上記熱剥離型粘着剤層を貼り合せて加熱剥離型粘着シートを作製した。
実施例4
有機コーティング層付の基材4の有機コーティング層側に上記エネルギー線硬化型粘着剤層を貼り合せ、次いで上記熱剥離型粘着剤層を貼り合せて加熱剥離型粘着シートを作製した。
東レ社製PETフィルム、ルミラーS10(厚み50μm)に上記エネルギー線硬化型粘着剤層を貼り合せ、次いで上記熱剥離型粘着剤層を貼り合せて加熱剥離型粘着シートを作製した。
比較例2
東レ社製、片面コロナ処理済み、ルミラーS105(厚み50μm)に上記エネルギー線硬化型粘着剤層を貼り合せ、次いで上記熱剥離型粘着剤層を貼り合せて加熱剥離型粘着シートを作製した。
参考例1
有機コーティング層付の基材5の有機コーティング層側に上記エネルギー線硬化型粘着剤層を貼り合せ、次いで上記熱剥離型粘着剤層を貼り合せて加熱剥離型粘着シートを作製した。
参考例2
有機コーティング層付の基材6の有機コーティング層側に上記エネルギー線硬化型粘着剤層を貼り合せ、次いで上記熱剥離型粘着剤層を貼り合せて加熱剥離型粘着シートを作製した。
得られた加熱剥離型粘着シートに日東精機社製UV照射機NEL UM810(高圧水銀灯光源、20mW/cm2)を用いて300mJ/cm2の紫外線照射を行い、エネルギー線硬化型弾性層を硬化させた。
加熱処理後、反転振動させてチップを回収した際、100チップ中剥がれなかったチップ数をカウントした。
セラミックシートをフルカットし、加熱処理を行った加熱剥離性粘着シートの粘着剤面を光学顕微鏡を用いて観察し、100チップ中の糊剥がれの数をカウントした。この糊剥がれの程度はチップ表面への糊残りの程度も示している。
切断精度を求めるために以下の方法を採用した。
切断後のチップの断面を光学顕微鏡で観察し、セラミックシート表面に対する断面の角度を求め、これを切断精度とした。これが90°に近いほど切断精度に優れることを意味する。
また、フルカット後の加熱剥離性粘着シートの粘着面には糊剥がれはなかった。
これらの結果によると、本発明によれば、切断工程時における粘着剤のズレや巻き上げ、チッピングを抑制でき、且つ切断後には、高度な精度で切断加工された切断片を容易に剥離回収することができる。その際に、切断片の剥離、回収工程における操作性及び作業性を著しく高めることができ、ひいては、精度が高い、あるいは小型の又は薄層の半導体チップや積層コンデンサチップ等の切断片の生産性を大きく向上することがわかる。
これに対して、有機コーティング層を設けない比較例1及び2の加熱剥離型粘着シートを使用した場合には、加熱剥離性及び糊剥がれ共に不良であり、比較例3によると、加熱剥離性や糊剥がれの結果は良好ではあるが、切断精度が低く、固定したセラミックシートをフルカットする際の加工性が悪化したことがわかる。
さらに参考例1及び2の加熱剥離型粘着シートは有機コーティング層としてウレタン系ポリマー以外の材料からなる層を採用した例であるが、比較例1及び2と同様に加熱剥離性及び糊剥がれ共に不良であった。
また参考例3によると、加熱剥離性が良好で、糊剥がれがなく、切断精度も良好ではあるが、熱剥離性粘着剤層の厚さが0.8μmと薄いために、被着体を保持する粘着性が不足し、加工中に被着体が剥がれてしまうという新たな課題が発生する。
これらの実施例及び比較例、参考例の結果によれば、本発明の加熱剥離型粘着シートにおいて、ウレタン系ポリマーからなる有機コーティング層を採用することによって、そうでない場合と比較して顕著な効果を奏することがわかる。
Claims (4)
- 基材の少なくとも片側に、エネルギー線硬化型弾性層を介して熱膨張性微小球を含有する熱剥離型粘着剤層を設けてなる加熱剥離型粘着シートであって、前記基材とエネルギー線硬化型弾性層との間にウレタン系ポリマーからなる有機コーティング層が配置されていることを特徴とする加熱剥離型粘着シート。
- 熱剥離型粘着剤層の厚みが50μm以下であることを特徴とする請求項1に記載の加熱剥離型粘着シート。
- エネルギー線硬化型弾性層の厚みが3〜150μmであることを特徴とする請求項1又は2に記載の加熱剥離型粘着シート。
- 請求項1〜3のいずれかに記載の加熱剥離型粘着シートにより電子部品を仮固定して該電子部品を切断することを特徴とする電子部品の切断方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011204514 | 2011-09-20 | ||
JP2011204514 | 2011-09-20 | ||
PCT/JP2012/073983 WO2013042698A1 (ja) | 2011-09-20 | 2012-09-20 | 電子部品切断用加熱剥離型粘着シート及び電子部品切断方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2013042698A1 JPWO2013042698A1 (ja) | 2015-03-26 |
JP6000958B2 true JP6000958B2 (ja) | 2016-10-05 |
Family
ID=47914460
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013534732A Active JP6000958B2 (ja) | 2011-09-20 | 2012-09-20 | 電子部品切断用加熱剥離型粘着シート及び電子部品切断方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6000958B2 (ja) |
KR (1) | KR101950051B1 (ja) |
CN (1) | CN103827241A (ja) |
TW (1) | TWI586783B (ja) |
WO (1) | WO2013042698A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021143307A (ja) * | 2020-03-13 | 2021-09-24 | 日東電工株式会社 | 再剥離粘着テープ |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6522617B2 (ja) * | 2014-07-31 | 2019-05-29 | リンテック株式会社 | ダイシングシート、ダイシングシートの製造方法、およびモールドチップの製造方法 |
JP6545454B2 (ja) * | 2014-12-09 | 2019-07-17 | 日東電工株式会社 | 半導体の製造に用いられる粘着シート |
JP6085348B2 (ja) * | 2015-01-09 | 2017-02-22 | 株式会社神戸製鋼所 | 高強度めっき鋼板、並びにその製造方法 |
JP7133355B2 (ja) * | 2018-05-17 | 2022-09-08 | 日東電工株式会社 | 粘着シート |
CN109266236B (zh) * | 2018-09-18 | 2021-09-17 | 烟台德邦科技股份有限公司 | 一种高温减粘胶带及其制备方法 |
KR20210148105A (ko) * | 2019-03-28 | 2021-12-07 | 린텍 가부시키가이샤 | 점착 시트, 점착 시트의 제조 방법 및 반도체 장치의 제조 방법 |
WO2020196758A1 (ja) * | 2019-03-28 | 2020-10-01 | リンテック株式会社 | 粘着シート、粘着シートの製造方法及び半導体装置の製造方法 |
JPWO2020196756A1 (ja) * | 2019-03-28 | 2020-10-01 | ||
WO2020196755A1 (ja) * | 2019-03-28 | 2020-10-01 | リンテック株式会社 | 粘着シート、粘着シートの製造方法及び半導体装置の製造方法 |
CN110128977B (zh) * | 2019-05-14 | 2021-07-27 | 业成科技(成都)有限公司 | 热解黏感压胶组成物的使用方法 |
JP2022047610A (ja) * | 2020-09-14 | 2022-03-25 | 株式会社村田製作所 | 電子部品素体の切断用固定部材および電子部品素体の切断方法 |
DE102021210563A1 (de) * | 2021-09-22 | 2023-03-23 | Tesa Se | Primer zur Herstellung einer lösbaren Klebverbindung |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3639266A1 (de) * | 1985-12-27 | 1987-07-02 | Fsk K K | Haftfolie |
JPS62205180A (ja) * | 1986-03-03 | 1987-09-09 | F S K Kk | 粘着シ−ト |
MX174519B (es) * | 1989-05-08 | 1994-05-23 | Atd Corp | Laminado adhesivo sensible a la presion |
JP4107729B2 (ja) * | 1998-09-16 | 2008-06-25 | 藤森工業株式会社 | 熱発泡型粘着剤及び粘着部材 |
JP2002069410A (ja) * | 2000-08-28 | 2002-03-08 | Fujimori Kogyo Co Ltd | 熱剥離性粘着剤及びそれを用いた粘着部材 |
JP4651799B2 (ja) * | 2000-10-18 | 2011-03-16 | 日東電工株式会社 | エネルギー線硬化型熱剥離性粘着シート、及びこれを用いた切断片の製造方法 |
JP4651805B2 (ja) * | 2000-11-08 | 2011-03-16 | 日東電工株式会社 | 加熱剥離型粘着シート |
JP4623694B2 (ja) * | 2000-12-28 | 2011-02-02 | 日東電工株式会社 | ダイシング用粘着シート |
JP4877689B2 (ja) * | 2001-08-30 | 2012-02-15 | 日東電工株式会社 | エネルギー線硬化型熱剥離性粘着シート、及びこれを用いた切断片の製造方法 |
JP2008024848A (ja) * | 2006-07-21 | 2008-02-07 | Toyo Ink Mfg Co Ltd | 活性エネルギー線粘着力消失型感圧接着剤、それを塗布した活性エネルギー線粘着力消失型粘着シート |
JP5283838B2 (ja) * | 2006-11-04 | 2013-09-04 | 日東電工株式会社 | 熱剥離性粘着シート及び被着体回収方法 |
-
2012
- 2012-09-20 CN CN201280045943.5A patent/CN103827241A/zh active Pending
- 2012-09-20 WO PCT/JP2012/073983 patent/WO2013042698A1/ja active Application Filing
- 2012-09-20 TW TW101134543A patent/TWI586783B/zh active
- 2012-09-20 KR KR1020147006874A patent/KR101950051B1/ko active IP Right Grant
- 2012-09-20 JP JP2013534732A patent/JP6000958B2/ja active Active
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021143307A (ja) * | 2020-03-13 | 2021-09-24 | 日東電工株式会社 | 再剥離粘着テープ |
JP7490399B2 (ja) | 2020-03-13 | 2024-05-27 | 日東電工株式会社 | 再剥離粘着テープ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2013042698A1 (ja) | 2013-03-28 |
TW201319207A (zh) | 2013-05-16 |
TWI586783B (zh) | 2017-06-11 |
KR101950051B1 (ko) | 2019-02-19 |
JPWO2013042698A1 (ja) | 2015-03-26 |
CN103827241A (zh) | 2014-05-28 |
KR20140068972A (ko) | 2014-06-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6000958B2 (ja) | 電子部品切断用加熱剥離型粘着シート及び電子部品切断方法 | |
JP6000595B2 (ja) | 電子部品切断用加熱剥離型粘着シート及び電子部品加工方法 | |
JP4651799B2 (ja) | エネルギー線硬化型熱剥離性粘着シート、及びこれを用いた切断片の製造方法 | |
JP4703833B2 (ja) | エネルギー線硬化型熱剥離性粘着シート、及びこれを用いた切断片の製造方法 | |
JP5689336B2 (ja) | 加熱剥離型粘着シート | |
JP4877689B2 (ja) | エネルギー線硬化型熱剥離性粘着シート、及びこれを用いた切断片の製造方法 | |
JP3853247B2 (ja) | 電子部品用加熱剥離型粘着シートおよび電子部品の加工方法並びに電子部品 | |
EP1097977B1 (en) | Heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet | |
JP4428908B2 (ja) | 粘着シートを用いた被着体加工方法 | |
JP5283838B2 (ja) | 熱剥離性粘着シート及び被着体回収方法 | |
JP5921927B2 (ja) | 加熱剥離型粘着シート | |
JP2008115272A (ja) | 熱剥離性両面粘着シート及び被加工体の加工方法 | |
WO2005087888A1 (ja) | 加熱剥離型粘着シートおよび該加熱剥離型粘着シートを用いた被着体の加工方法 | |
JP2007246848A (ja) | 両面粘着シート及びその使用方法 | |
JP2005116610A (ja) | 半導体ウエハの加工方法および半導体ウエハ加工用粘着シート | |
JP6712916B2 (ja) | 粘着シート | |
JP2009035635A (ja) | 非汚染性熱剥離型粘着シート | |
JP2011224853A (ja) | フィルム及び粘接着シート | |
WO2012165201A1 (ja) | 易剥離性粘着フィルム | |
KR20100024444A (ko) | 열 박리형 점착 시트 | |
JP2014214157A (ja) | エネルギー線硬化型自発巻回性粘着テープ | |
JP2007070521A (ja) | 紫外線硬化型加熱剥離性粘着シート及び切断片の分別回収方法 | |
JP5451107B2 (ja) | 自発巻回性積層シート及び自発巻回性粘着シート | |
JP2005101628A (ja) | 電子部品用加熱剥離型粘着シートおよび電子部品の加工方法並びに電子部品 | |
JP2003089777A (ja) | 熱剥離型ダイ接着用シート、およびチップ状ワーク切断片のキャリアへの固定方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150521 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160412 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20160531 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160531 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160809 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160831 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6000958 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |