ES2298390T3 - Silicio metalurgico de pureza media y procedimiento de elaboracion. - Google Patents
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- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 82
- 239000010703 silicon Substances 0.000 title claims abstract description 82
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 23
- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 81
- 238000007711 solidification Methods 0.000 claims abstract description 17
- 230000008023 solidification Effects 0.000 claims abstract description 17
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims abstract description 16
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims abstract description 12
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims abstract description 11
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 11
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 10
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 5
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 claims abstract description 5
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 claims abstract description 5
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims abstract description 3
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 28
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 claims description 28
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 23
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 20
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 claims description 19
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 11
- 238000011282 treatment Methods 0.000 claims description 11
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims description 10
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 230000006698 induction Effects 0.000 claims description 6
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 6
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 6
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 claims description 5
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 230000004927 fusion Effects 0.000 claims description 4
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000010439 graphite Substances 0.000 claims description 4
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 4
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims description 2
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 claims 1
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 15
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 abstract description 6
- 238000007670 refining Methods 0.000 abstract description 5
- 238000004320 controlled atmosphere Methods 0.000 abstract 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 20
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 20
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 20
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 12
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 11
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 9
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 8
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 7
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N argon Substances [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 7
- OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N Calcium Chemical compound [Ca] OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 6
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 6
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 5
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000000571 coke Substances 0.000 description 5
- 238000005204 segregation Methods 0.000 description 5
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 2
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 description 2
- 238000004939 coking Methods 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 2
- 239000003517 fume Substances 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 2
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 2
- 239000002006 petroleum coke Substances 0.000 description 2
- 239000006253 pitch coke Substances 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 2
- 239000002893 slag Substances 0.000 description 2
- 239000000779 smoke Substances 0.000 description 2
- 235000013311 vegetables Nutrition 0.000 description 2
- 238000004438 BET method Methods 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- CSDREXVUYHZDNP-UHFFFAOYSA-N alumanylidynesilicon Chemical compound [Al].[Si] CSDREXVUYHZDNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011449 brick Substances 0.000 description 1
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 239000003610 charcoal Substances 0.000 description 1
- 239000003245 coal Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 239000008246 gaseous mixture Substances 0.000 description 1
- 238000001033 granulometry Methods 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000005272 metallurgy Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 1
- 238000000197 pyrolysis Methods 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 230000017105 transposition Effects 0.000 description 1
- 238000009849 vacuum degassing Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002023 wood Substances 0.000 description 1
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B33/00—Silicon; Compounds thereof
- C01B33/02—Silicon
- C01B33/037—Purification
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/18—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
- H01L31/1804—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof comprising only elements of Group IV of the Periodic System
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Abstract
Procedimiento de elaboración de silicio de pureza media destinado a servir de materia prima en la fabricación de silicio de calidad fotovoltaica o electrónica, que comprende: - la elaboración por reducción carbotérmica en horno eléctrico de arco sumergido de silicio líquido con bajo contenido en boro, utilizando unos reductores con un contenido en boro <2 ppm y que presentan una superficie específica media ponderada S comprendida entre 20 y 40 m2/g, estando la densidad de la potencia utilizada, expresada por la relación ( Pe/D03)/3 comprendida entre 2 y 3 MW/m3, - el afinado del silicio líquido con oxígeno o con cloro, - el tratamiento del silicio líquido a presión reducida entre 10 y 100 Pa con inyección de gas neutro, - una solidificación segregada.
Description
Silicio metalúrgico de pureza media y
procedimiento de elaboración.
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La invención se refiere a un silicio metalúrgico
de pureza media destinado a servir de materia prima para la
fabricación de silicio de calidad electrónica o de calidad
fotovoltaica. La invención se refiere asimismo al procedimiento de
elaboración de este material.
Las utilizaciones del silicio son múltiples y
requieren, cada una, unas especificaciones particulares. Para las
aplicaciones electrónica y fotovoltaica que exigen unos niveles de
pureza elevados, la hilera de producción de los productos acabados
tales como las células fotoeléctricas o los paneles solares,
comprende una etapa de elaboración de silicio puro a partir de un
material de base, que es esencialmente un silicio con un bajo
contenido en boro y fósforo.
Los productos desclasificados obtenidos de la
fabricación de silicio electrónico han constituido durante bastante
tiempo la principal fuente de silicio fotovoltaico, pero esta fuente
ha resultado insuficiente para suministrar la demanda creciente del
mercado. Esto obliga a orientarse hacia otras fuentes de silicio,
como el silicio metalúrgico elaborado por reducción carbotérmica de
la sílice en horno de arco sumergido, cuya calidad se puede mejorar
mediante diversos tratamientos de afinado en metalurgia secundaria,
por ejemplo el afinado con cloro descrito en la patente EP 0 720
967 (Pechiney Electrométallurgie). Se fabrica así un silicio que
puede responder a unas especificaciones tales como por ejemplo (%
en peso):
hierro <0,30% | calcio<0,10% | aluminio<0,30% |
boro: 20 a 50 ppm | fósforo: 20 a 100 ppm. |
El contenido en fósforo depende mucho de los
reductores utilizados. Con el carbón vegetal, se puede obtener
fácilmente silicio cuyo contenido en fósforo se sitúa alrededor de
50 ppm; este tipo de silicio es utilizado mayormente en la
fabricación de las siliconas. Con los reductores fósiles, se puede
producir un silicio cuyo contenido en fósforo es inferior a 25 ppm,
y cuya principal aplicación es la fabricación de las aleaciones de
aluminio-silicio. Sin embargo estas dos calidades
siguen permaneciendo muy alejadas del nivel de pureza requerido
para las aplicaciones electrónica y fotovoltaica.
La solidificación segregada, que ya es conocida
desde hace mucho tiempo permite en el caso del silicio, bajar los
contenidos en impurezas de numerosos elementos. Sin embargo esta
técnica es ineficaz para alcanzar los niveles de pureza solicitados
en boro y fósforo partiendo de las dos calidades indicadas más
arriba.
Así, bajo la presión de una demanda creciente
del mercado, se ha iniciado un importante esfuerzo de investigación
para elaborar un silicio con un bajo contenido en boro y fósforo a
partir de silicio metalúrgico, utilizando en particular la
purificación de silicio fundido bajo plasma.
La patente FR 2585690 de
Rhône-Poulenc Spécialités Chimiques describe un
afinado en dos tiempos, que comprende una fusión bajo plasma con,
como gas plasmágeno, una mezcla hidrógeno-argón, y a
continuación un afinado bajo plasma con, como gas, una mezcla
hidrógeno-argón-oxígeno.
La patente EP 0.459.421 (Kawasaki Steel)
describe el afinado del silicio por plasma en crisol silíceo, o
revestido de un relleno refractario silicioso, utilizando como gas
plasmágeno un gas inerte al que se le ha añadido 0,1 a 10% de vapor
de agua, y, de manera facultativa, polvo de sílice en una proporción
inferior a 1 kg de sílice por Nm^{3} de gas.
La patente FR 2.772.741 del CNRS describe un
afinado de silicio líquido con una mezcla gaseosa
cloro-hidrógeno-vapor de agua.
Estas técnicas de tratamiento bajo plasma han
sido concebidas a escala de laboratorio y su transposición a escala
industrial resulta difícil debido a las dificultades técnicas
encontradas para construir unas herramientas de mayor tamaño. Así
la invención tiene como objetivo obtener un silicio de pureza media
con un bajo contenido en boro y fósforo a partir de silicio
metalúrgico permaneciendo en las técnicas de la
electrometalurgia.
La invención tiene por objeto un procedimiento
de fabricación de un silicio de pureza media que comprende:
- -
- la elaboración, por reducción carbotérmica de la sílice en horno eléctrico de arco sumergido, de un silicio con bajo contenido en boro, utilizando unos reductores con un contenido en boro <2 ppm y que presentan una superficie específica media ponderada 5 comprendida entre 20 y 40 m^{2}/g, estando la densidad de la potencia utilizada, expresada por la relación (P_{e}/D_{0}^{3})/3, comprendida entre 2 y 3 MW/m^{3},
- -
- el afinado de silicio líquido con oxígeno o cloro,
- -
- el tratamiento del silicio afinado a presión reducida de 10 a 100 Pa con inyección de gas neutro,
- -
- una solidificación segregada.
Esta solidificación segregada puede, si es
necesario, ser reiterada después de una nueva fusión, por ejemplo
en horno de inducción.
Las técnicas habituales de afinado utilizadas en
electrometalurgia no permiten reducir de manera significativa el
contenido en boro y silicio. Por esta razón, el solicitante ha
tenido la idea de fabricar un silicio con un bajo contenido en boro
seleccionando simplemente unas materias primas adecuadas para
realizar la reducción carbotérmica de la sílice en horno
eléctrico.
Esta vía, por simple que pueda parecer, no ha
sido utilizada hasta ahora puesto que presenta una dificultad
mayor: no se conocen reductores con bajo contenido en boro que
presenten una reactividad suficiente para permitir su empleo en un
horno eléctrico.
Para el cuarzo, basta con seleccionar el
material sobre la base de los criterios habituales conocidos por el
experto en la materia, por ejemplo un contenido en SiO_{2}
superior al 98% y un contenido en elementos alcalinos tan bajo como
sea posible, criterios a los que se añade un contendido en boro
inferior en a 5 ppm.
La dificultad se sitúa a nivel de la elección de
los reductores. Se deben seleccionar obligatoriamente uno o varios
reductores que puedan ser utilizados en mezcla con un contenido en
boro inferior a 2 ppm, y preferentemente inferior a 1 ppm.
Numerosos coques de petróleo, así como ciertos coques de brea
responden a esta especificación, pero todos estos productos tienen
en común el ser poco reactivos en un horno eléctrico, y ninguno de
ellos permite un funcionamiento normal del horno eléctrico en el
caso de una reducción carbotérmica de la sílice para llegar al
silicio.
Analizando este problema más de cerca, el
solicitante ha constatado que se podía poner remedio a este
inconveniente a condición de trabajar con unos reductores que
presentan una superficie específica, medida después de una
pirólisis a 1.000ºC, comprendida entre 20 y 40 m^{2}/g.
El método de control de la superficie específica
de los reductores es exclusivamente una medición mediante la
técnica B.E.T. realizada sobre el reductor en su granulometría de
origen después de 24 h de secado en estufa a 110ºC, y después
desgasificación al vacío. Se realiza la adsorción a 20ºC con gas
amoníaco seco; estableciéndose el equilibrio entre la fase
adsorbida y la fase gaseosa con una cinética lenta, cada medición es
realizada después de 24 h de espera.
Este método es aplicable directamente a los
coques y a los carbones vegetales; para las hullas y los carbones
fósiles, es imprescindible una coquefacción previa a 1.000ºC.
Este método da los siguientes resultados:
- -
- en los carbones vegetales: aproximadamente 125 m^{2}/g
- -
- en los coques más reactivos conocidos: de 80 a 140 m^{2}/g
- -
- en las hullas coqueficables: aproximadamente 80 m^{2}/g
- -
- en los coques de altos hornos: de 40 a 50 m^{2}/g
- -
- en los carbones no coqueficables: de 20 a 40 m^{2}/g
- -
- en los coques de petróleo: de 15 a 25 m^{2}/g
- -
- en los carbones de brea: de 1 a 4 m^{2}/g
En un horno de reducción dimensionado
geométricamente y regulado eléctricamente según las reglas clásicas
conocidas por el experto en la materia, y utilizando unos reductores
de una superficie específica aproximada de
80 m^{2}/g, la fabricación del silicio se acompaña de una formación importante de humos, del orden de 350 kg de humos por tonelada de silicio y de una formación de carburo de silicio del orden de 12 kg por tonelada de silicio. Esta fabricación se acompaña asimismo de la formación de aproximadamente 50 kg de escoria por tonelada de silicio, lo que por lo general basta para arrastrar en la colada el carburo de silicio formado.
80 m^{2}/g, la fabricación del silicio se acompaña de una formación importante de humos, del orden de 350 kg de humos por tonelada de silicio y de una formación de carburo de silicio del orden de 12 kg por tonelada de silicio. Esta fabricación se acompaña asimismo de la formación de aproximadamente 50 kg de escoria por tonelada de silicio, lo que por lo general basta para arrastrar en la colada el carburo de silicio formado.
Con unos reductores con una menor superficie
específica y por lo tanto menos reactivos, la situación se degrada
rápidamente. La cantidad de humos aumenta hacia unos valores
elevados; las cantidades de carburo de silicio aumentan también y
como la escoria producida ya no es la suficiente para su evacuación,
se produce una acumulación en el horno y una reducción del volumen
útil del horno, lo que acelera la degradación de la situación.
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El solicitante ha constatado que se podían
utilizar sin embargo unos reductores con una superficie específica
menor, en un margen de 20 a 40 m^{2}/g, a condición de modificar
los parámetros de funcionamiento habituales del horno de silicio.
Esta modificación consiste en bajar la potencia eléctrica P_{e}
aplicada en el horno y en aumentar el diámetro de los electrodos
D_{0}. En efecto la cinética impuesta al sistema químico
evoluciona grosso modo como la relación
P_{e}/D_{0}^{3}, o más exactamente como el tercio de esta
relación, comprendiendo los hornos de tres fases tres electrodos,
mientras que su aptitud a seguir la cinética impuesta evoluciona
como la superficie específica media ponderada S de la mezcla de los
reductores utilizados. Esta superficie media ponderada se calcula
haciendo la suma \Sigma(\alpha_{i}s_{i}) de los n
reductores utilizados, representando \alpha_{i} el porcentaje
de carbono fijo aportado por el i ésimo reductor que entra en la
composición de la mezcla de reductores. Por lo tanto se puede
compensar el descenso de S mediante el descenso de P_{e} y un
aumento de D_{0}, aceptando al mismo tiempo una cantidad de humos
más elevada que de costumbre, pero muy inferior a la que habría
manteniendo P_{e} y D_{0} constantes.
Aunque con los parámetros habituales de
regulación de los hornos, una fabricación de silicio requiere una
superficie específica media de los reductores S>60 m^{2}/g y
una relación (P_{e}/D_{0}^{3})/3 comprendida entre 4 y 5
MW/m^{3}, se pueden utilizar unos reductores de superficie
específica S comprendida entre 20 y 40 m^{2}/g a condición de
tener una relación (P_{e}/D_{0}^{3})/3 comprendida entre 2 y 3
MW/m^{3}. La reducción carbotérmica de la sílice realizada en
estas condiciones, viene acompañada de un rendimiento en boro de
aproximadamente 45 y 50%.
En esta fase del procedimiento, el silicio
líquido obtenido presenta el siguiente análisis:
Fe<0,30% | Ca: 0,5 a 1% | Al: 0,3 a 0,5% |
Boro: 1 a 10 ppm | Fósforo: 10 a 25 ppm |
El contenido relativamente bajo en fósforo
obtenido obedece al hecho de que no se utilizan ni madera ni carbón
vegetal. Asimismo se puede observar que las materias primas con
bajos contenidos en boro tienen asimismo a menudo bajos contenidos
en titanio.
La siguiente etapa consiste en un tratamiento de
afinado. El silicio líquido elaborado en el horno es colado en
bolsas, en donde es objeto de un afinado oxidante realizado mediante
inyección de oxígeno o cloro. Al término de este afinado, el
silicio líquido obtenido presenta el siguiente análisis:
Fe<0,3% | Ca: 0,1% | Al: 0,3% |
Boro: 1 a 10 ppm | Fósforo: 10 a 25 ppm |
Los contenidos en hierro y titanio se ven poco
afectados por este afinado.
La bolsa de silicio es tratada a continuación a
presión reducida simultáneamente con inyección de un gas neutro,
por ejemplo argón; se trata de mantener por encima del silicio
líquido una presión inferior a 100 Pa, y preferentemente inferior a
30 Pa. El descenso del título en fósforo sigue una exponencial
decreciente del tipo: P=P_{0} Exp (-kt). Expresando "t" en
minutos, se obtiene un valor de k de aproximadamente 0,07.
Basta con escoger el tiempo de tratamiento en
función del contenido en fósforo de silicio a tratar. Un tratamiento
de 15 minutos puede ser suficiente para obtener un silicio líquido
con un título en fósforo de menos de 10 ppm. Este tratamiento
contribuye asimismo a bajar el contenido en oxígeno, que es
eliminado parcialmente en forma de SiO.
Los otros elementos son poco afectados por este
tratamiento, que en particular no permite bajar de forma
significativa el contenido en calcio, metal que por otra parte es
bastante volátil.
Por último, la última etapa del procedimiento
consiste en solidificar el silicio a una velocidad controlada, por
ejemplo en un horno de reverbero, de manera que provoca una
segregación de las impurezas que se concentran en el líquido
residual. Separando sólido y líquido a aproximadamente media
solidificación, se obtiene de 48 a 52% de silicio sólido con menos
de 500 ppm de elementos metálicos, y un silicio líquido residual que
puede contener de 0,5 a 1% de elementos metálicos.
El enfriamiento de la masa colada es controlado
para limitar la velocidad de progresión del frente, que debe
permanecer inferior a 2.10^{-5} m/s y preferentemente a 10^{-5}
m/s.
Se puede proceder a continuación a una nueva
fusión por lotes bajo una atmósfera neutra, por ejemplo de argón,
en un horno eléctrico, preferentemente de inducción, del silicio
sólido con menos de 500 ppm de elementos metálicos, en un crisol
caliente clásico, o bien de carbono, de grafito, o de carburo de
silicio, o bien con un relleno refractario constituido por silicio
sinterizado. El generador eléctrico que alimenta el horno a
inducción trabaja a unas frecuencias que dependen del diámetro del
crisol, y que están comprendidas típicamente entre 500 y 5.000 Hz.
Se conserva un pie de baño después de cada colada para facilitar el
arranque de la siguiente operación.
Se procede a continuación a la colada bajo una
atmósfera inerte controlada en una lingotera en donde se realiza
una segunda operación de solidificación segregada; el enfriamiento
de la masa colada es controlado para, en esta fase del
procedimiento, limitar la velocidad de progresión del frente que
debe permanecer inferior a 10^{-5} m/s y preferentemente inferior
a 5.10^{-6} m/s.
El nivel de pureza del silicio sólido separado
depende del rendimiento escogido eliminando una fracción de silicio
líquido más o menos importante según sea que se vierta el silicio
líquido residual después de un tiempo de mantenimiento más o menos
largo.
Al término de esta segunda segregación, se puede
obtener así un silicio sólido con menos de 300 ppm de impurezas
metálicas, que representan 80 a 86% de la masa tratada durante esta
segunda segregación, estando la proporción restante de silicio
líquido, enriquecido con elementos metálicos, comprendida entre 14 y
20%.
El conjunto de la hilera permite entonces
preparar aproximadamente 48 a 52% de silicio que contiene de 0,5 a
1% de impurezas metálicas, 7 a 10% de silicio que contiene de 500 a
1500 ppm de impurezas metálicas, y 40 a 43% de silicio de pureza
media según la invención.
El consumo de energía es de aproximadamente
2.000 kWh/t de silicio de pureza media, a la que hay que añadir
16.000 kWh/t necesarios para la elaboración del material de base en
un horno de tamaño industrial, lo que da un total del orden de
18.000 kWh/t para el silicio de pureza media obtenido.
El silicio de pureza media obtenido mediante
este procedimiento presenta la siguiente composición:
Boro: 1 a 10 ppm; Fósforo/Boro entre 0,5 y
1,5;
Total de impurezas: 100 a 400 ppm.
Total de impurezas metálicas: 30 a 300 ppm, Fe:
10 a 200 ppm,
Carbono: 20 a 50 ppm; Oxígeno: 50 a 100 ppm
Calcio: 5 a 30 ppm; Aluminio: 3 a 30 ppm;
Titanio: 2 a 20 ppm.
También se puede mejorar la calidad del silicio
obtenido colando de nuevo más líquido durante la primera o la
segunda segregación en detrimento del rendimiento y obtener por
ejemplo, con un rendimiento 2/3 de sólido y 1/3 de líquido, un
silicio que responde al análisis:
Boro 1 a 10 ppm; Fósforo/Boro entre 0,5 y
1,5;
Total de impurezas: 100 a 300 ppm,
Total de impurezas metálica: 30 a 200 ppm,
\hskip0.5cmHierro = 10 a 40 ppm;
Carbono: 10 a 30 ppm; Oxígeno: 20 a 50 ppm;
Calcio: 5 a 20 ppm; Aluminio: 5 a 20 ppm;
Titanio: 2 a 10 ppm.
El conjunto de la hilera permite entonces
separar sobre una producción de sílice carbotérmica: aproximadamente
48 a 52% de silicio que contiene de 0,5 a 1% de impurezas
metálicas, 16 a 18% de silicio que contiene de 500 a 1500 ppm de
impurezas metálicas, y 32 a 34% de silicio según la invención.
\vskip1.000000\baselineskip
Ejemplo
1
Se han realizado varios ensayos de reducción de
la sílice por carbotermia en un horno de 100 kW que funciona con
corriente continua a 5 kA, con un electrodo precocido de carbono de
un diámetro de 350 mm, es decir con una densidad de potencia
calculada 1/3 P_{e}/D_{0}^{3} de 2,3 MW/m^{3}.
Un ensayo con un coque de brea de una
granulometría comprendida entre 2 y 7 mm que presentaba a simple
vista macroporosidades importantes, pero que ha proporcionado por
el método BET con amoníaco una superficie específica de 2
m^{2}/g, ha terminado de manera catastrófica con el bloqueo
completo del horno en menos de 48 h por acumulación de SiC
sólido.
Una serie de ensayos con diferentes coques de
petróleo han permitido situar próximo a los 20 m^{2}/g el umbral
de reactividad necesario para que el horno funcione de forma
permanente.
Ejemplo
2
Los ensayos siguientes han sido realizados en un
horno trifásico de 100 kW equipado de electrodos precocidos de un
diámetro de 250 mm.
Los análisis de los elementos de bajo contenido,
han sido realizados por ICP (inducted coupled plasma).
La carga del horno estaba constituida por:
- -
- un lote de cuarzo con un contenido en boro de 3 ppm,
- -
- coque de petróleo con un calibre de 6 a 12 mm y una superficie específica de 27 m^{2}/g, para el que el contenido en boro era inferior al mínimo detectable (0,5 ppm).
Regulado con un C_{3}= I/P_{e}^{2/3} de
9,5 (I es la intensidad en kA en los electrodos, C_{3} la
constante de regulación del horno), este horno da habitualmente un
rendimiento térmico del 45% contra un 75 a un 85% para un horno
industrial en la gama de 10 MW a 20 MW.
\vskip1.000000\baselineskip
Los resultados han sido los siguientes:
Energía: 29.300 kWh/t, lo que daría 16.470 kWh/t
para un rendimiento térmico del 80%.
Consume de sílice: 3.680 kg/t.
Análisis del silicio respecto a la producción
bruta del horno:
Boro: 5 ppm, | Fósforo: 18 ppm, |
Teniendo en cuenta el pequeño tamaño del horno,
la producción ha sido colada en lingoteras y recuperada en estado
sólido. Esta producción es agrupada, seguidamente y fundida de nuevo
a continuación en un horno de inducción de 800 kW, en donde es
objeto de un afinado oxidante mediante la inyección de oxígeno
mediante una caña de grafito, lo que ha permitido alcanzar la
composición:
Fe< 0,24% | Ca<0,09% | Al<0,12% | Ni: 38 ppm |
Total de impurezas metálicas <0,50%
Boro: 5 ppm
Fósforo: 18 ppm
\vskip1.000000\baselineskip
El contenido del horno de inducción se ha
vertido a continuación en una bolsa precalentada mediante un
quemador de gas. Se han vertido así 275 kg en esta bolsa, que ha
sido colocada a continuación bajo una campana para un tratamiento
al vacío con, simultáneamente, inyección de argón desde el fondo a
través de un ladrillo poroso. La duración del tratamiento ha sido
de 14 minutos; la presión de gas por encima del metal en fusión ha
sido medida en 30 Pa.
Después del tratamiento, el contenido en fósforo
se ha medido en 7 ppm.
El contenido de la bolsa se ha vertido a
continuación en una lingotera de silicio sinterizado equipado con
un pico de colada. Esta lingotera, de una superficie de 1 m^{2},
ha sido colocada en un horno de reverbero calentado eléctricamente
mediante unas barras de grafito que sirven de resistencias,
realizándose esencialmente las fugas térmicas por la solera. Se ha
ajustado la potencia del horno a 40 kW para obtener la
solidificación del 50% del silicio en aproximadamente 1,25 h.
Después de 75 minutos de espera, el líquido que queda en la
lingotera ha sido vertido por el pico y ha dado un lingote de 137
kg.
El silicio sólido restante de la lingotera, de
una masa de 135 kg, ha dado en su análisis:
Hierro = 300 ppm; Calcio: 25 ppm; Aluminio: 12
ppm; Titanio: 6 ppm; Boro 5 ppm; Fósforo: 7 ppm; Carbono: 100 ppm;
oxígeno: 800 ppm.
Se ha realizado de nuevo la operación para
disponer de una cantidad de silicio suficiente para rehacer una
operación completa de refusión y solidificación segregada en un
horno de 800 kW. La potencia del horno ha sido mantenida a 50 kW.
Se ha realizado la colada del líquido residual después de 4 horas de
espera. La masa colada ha producido un lingote de 85 kg, mientras
que la masa de silicio solidificada recuperada es de 183 kg.
El silicio sólido obtenido después de esta
segunda segregación ha dado en su análisis:
Hierro = 35 ppm; Calcio: 17 ppm; Aluminio: 14
ppm; Titanio: 4 ppm; Boro 5 ppm; fósforo: 7 ppm; Carbono:
25 ppm; oxígeno: 100 ppm.
25 ppm; oxígeno: 100 ppm.
Claims (8)
1. Procedimiento de elaboración de silicio de
pureza media destinado a servir de materia prima en la fabricación
de silicio de calidad fotovoltaica o electrónica, que comprende:
- -
- la elaboración por reducción carbotérmica en horno eléctrico de arco sumergido de silicio líquido con bajo contenido en boro, utilizando unos reductores con un contenido en boro <2 ppm y que presentan una superficie específica media ponderada S comprendida entre 20 y 40 m^{2}/g, estando la densidad de la potencia utilizada, expresada por la relación (P_{e}/D_{0}^{3})/3 comprendida entre 2 y 3 MW/m^{3},
- -
- el afinado del silicio líquido con oxígeno o con cloro,
- -
- el tratamiento del silicio líquido a presión reducida entre 10 y 100 Pa con inyección de gas neutro,
- -
- una solidificación segregada.
2. Procedimiento según la reivindicación 1,
caracterizado porque la solidificación segregada es seguida
por una nueva fusión de la fracción sólida obtenida y por una
segunda solidificación segregada.
3. Procedimiento según una de las
reivindicaciones 1 ó 2, caracterizado porque la primera
solidificación segregada se lleva a cabo a una velocidad de
progresión del frente de solidificación inferior a 2.10^{-5}
m/s.
4. Procedimiento según una de las
reivindicaciones 2 ó 3, caracterizado porque la segunda
solidificación segregada se lleva a cabo a una velocidad de
progresión del frente de solidificación inferior a 10^{-5}
m/s.
5. Procedimiento según la reivindicación 4,
caracterizado porque la velocidad de progresión del frente de
solidificación es inferior a 5.10^{-6} m/s.
6. Procedimiento según una de las
reivindicaciones 1 a 5, caracterizado porque las operaciones
de solidificación se llevan a cabo en un horno de reverbero.
7. Procedimiento según una de las
reivindicaciones 2 a 6, caracterizado porque la nueva fusión
lleva a cabo en un horno de inducción.
8. Procedimiento según una de las
reivindicaciones 6 ó 7, caracterizado porque los crisoles de
hornos eléctricos empleados para la nueva fusión del silicio son de
sílice, de carbono, de grafito o de carburo de silicio.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR0109788A FR2827592B1 (fr) | 2001-07-23 | 2001-07-23 | Silicium metallurgique de haute purete et procede d'elaboration |
FR0109788 | 2001-07-23 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
ES2298390T3 true ES2298390T3 (es) | 2008-05-16 |
Family
ID=8865792
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
ES02767590T Expired - Lifetime ES2357501T3 (es) | 2001-07-23 | 2002-07-22 | Silicio metalúrgico de alta pureza y procedimiento de elaboración. |
ES02767591T Expired - Lifetime ES2298390T3 (es) | 2001-07-23 | 2002-07-22 | Silicio metalurgico de pureza media y procedimiento de elaboracion. |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
ES02767590T Expired - Lifetime ES2357501T3 (es) | 2001-07-23 | 2002-07-22 | Silicio metalúrgico de alta pureza y procedimiento de elaboración. |
Country Status (12)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7404941B2 (es) |
EP (2) | EP1409406B1 (es) |
JP (2) | JP4523274B2 (es) |
CN (2) | CN1295147C (es) |
AT (2) | ATE491668T1 (es) |
BR (2) | BR0211193B1 (es) |
DE (2) | DE60224394T2 (es) |
ES (2) | ES2357501T3 (es) |
FR (1) | FR2827592B1 (es) |
NO (2) | NO335985B1 (es) |
WO (2) | WO2003010090A1 (es) |
ZA (2) | ZA200400276B (es) |
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- 2002-07-22 WO PCT/FR2002/002603 patent/WO2003010090A1/fr active IP Right Grant
- 2002-07-22 BR BRPI0211193-4A patent/BR0211193B1/pt not_active IP Right Cessation
- 2002-07-22 AT AT02767590T patent/ATE491668T1/de not_active IP Right Cessation
- 2002-07-22 US US10/484,316 patent/US7404941B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2002-07-22 CN CNB028162331A patent/CN1295147C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2002-07-22 EP EP02767591A patent/EP1409406B1/fr not_active Expired - Lifetime
- 2002-07-22 DE DE60224394T patent/DE60224394T2/de not_active Expired - Lifetime
- 2002-07-22 CN CNB028162323A patent/CN1295146C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2002-07-22 US US10/484,311 patent/US7858063B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2002-07-22 BR BRPI0211195-0A patent/BR0211195B1/pt not_active IP Right Cessation
- 2002-07-22 AT AT02767591T patent/ATE382581T1/de not_active IP Right Cessation
- 2002-07-22 ES ES02767590T patent/ES2357501T3/es not_active Expired - Lifetime
- 2002-07-22 WO PCT/FR2002/002602 patent/WO2003014019A1/fr active Application Filing
- 2002-07-22 JP JP2003518979A patent/JP4523274B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2002-07-22 JP JP2003515451A patent/JP4410847B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2002-07-22 DE DE60238615T patent/DE60238615D1/de not_active Expired - Lifetime
- 2002-07-22 EP EP02767590A patent/EP1409405B1/fr not_active Expired - Lifetime
- 2002-07-22 ES ES02767591T patent/ES2298390T3/es not_active Expired - Lifetime
-
2004
- 2004-01-14 ZA ZA2004/00276A patent/ZA200400276B/en unknown
- 2004-01-16 ZA ZA2004/00346A patent/ZA200400346B/en unknown
- 2004-01-21 NO NO20040285A patent/NO335985B1/no not_active IP Right Cessation
- 2004-01-21 NO NO20040284A patent/NO335984B1/no not_active IP Right Cessation
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