ES2214444T3 - Metodo y aparato para formar un recubrimiento. - Google Patents
Metodo y aparato para formar un recubrimiento.Info
- Publication number
- ES2214444T3 ES2214444T3 ES01969976T ES01969976T ES2214444T3 ES 2214444 T3 ES2214444 T3 ES 2214444T3 ES 01969976 T ES01969976 T ES 01969976T ES 01969976 T ES01969976 T ES 01969976T ES 2214444 T3 ES2214444 T3 ES 2214444T3
- Authority
- ES
- Spain
- Prior art keywords
- coating
- substrate
- plasma
- discharge
- atmospheric pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D1/00—Processes for applying liquids or other fluent materials
- B05D1/62—Plasma-deposition of organic layers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D7/00—Processes, other than flocking, specially adapted for applying liquids or other fluent materials to particular surfaces or for applying particular liquids or other fluent materials
- B05D7/24—Processes, other than flocking, specially adapted for applying liquids or other fluent materials to particular surfaces or for applying particular liquids or other fluent materials for applying particular liquids or other fluent materials
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B17/00—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups
- B05B17/04—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods
- B05B17/06—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations
- B05B17/0607—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers
- B05B17/0623—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers coupled with a vibrating horn
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B5/00—Electrostatic spraying apparatus; Spraying apparatus with means for charging the spray electrically; Apparatus for spraying liquids or other fluent materials by other electric means
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D1/00—Processes for applying liquids or other fluent materials
- B05D1/02—Processes for applying liquids or other fluent materials performed by spraying
- B05D1/08—Flame spraying
- B05D1/10—Applying particulate materials
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/448—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for generating reactive gas streams, e.g. by evaporation or sublimation of precursor materials
- C23C16/4486—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for generating reactive gas streams, e.g. by evaporation or sublimation of precursor materials by producing an aerosol and subsequent evaporation of the droplets or particles
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/50—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating using electric discharges
- C23C16/503—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating using electric discharges using dc or ac discharges
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
- H05H1/24—Generating plasma
- H05H1/2475—Generating plasma using acoustic pressure discharges
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
- H05H1/24—Generating plasma
- H05H1/2475—Generating plasma using acoustic pressure discharges
- H05H1/2481—Generating plasma using acoustic pressure discharges the plasma being activated using piezoelectric actuators
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H2240/00—Testing
- H05H2240/10—Testing at atmospheric pressure
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Wood Science & Technology (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Treatments Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
- Polymerisation Methods In General (AREA)
- Silicon Polymers (AREA)
- Absorbent Articles And Supports Therefor (AREA)
- Special Spraying Apparatus (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Non-Metallic Protective Coatings For Printed Circuits (AREA)
- Multicomponent Fibers (AREA)
Abstract
Un método para formar un revestimiento sobre un sustrato, cuyo método comprende introducir un material de formación de revestimiento líquido y/o sólido atomizado en una descarga de plasma a la presión atmosférica y/o una corriente de gas ionizado resultante de la misma, y exponer el sustrato al material de formación de revestimiento atomizado sometido a condiciones de presión atmosférica.
Description
Método y aparato para formar un
recubrimiento.
La presente invención se refiere a un método para
formar un revestimiento sobre un sustrato, en particular a un método
para formar un revestimiento sobre un sustrato usando una descarga
de plasma a la presión atmosférica, a un método para polimerizar un
material para formar polímeros, y además a un aparato para formar un
revestimiento sobre un sustrato.
Los sustratos pueden ser revestidos por muchas
razones, por ejemplo para proteger el sustrato de la corrosión, para
proporcionar una barrera a la oxidación, para mejorar la adhesión a
otros materiales, para incrementar la actividad de la superficie, y
por razones de compatibilidad biomédica del sustrato. Un método
usado ordinariamente para modificar o revestir la superficie de un
sustrato consiste en colocar el sustrato dentro de un recipiente
reactor y someter este a una descarga de plasma. En la técnica se
conocen muchos ejemplos de tal tratamiento, por ejemplo, la Patente
de EE.UU. Nº 5.876.753 describe un procedimiento para fijar
materiales blanco a una superficie sólida, cuyo procedimiento
incluye adherir compuestos carbonados a una superficie mediante una
deposición de plasma, pulsatoria, de ciclo de trabajo de baja
potencia variable, y el documento
EP-A-0895035 describe un dispositivo
que tiene un sustrato y un revestimiento, en el que el revestimiento
se aplica al sustrato mediante polimerización de plasma de un gas
que comprende al menos un compuesto orgánico o monómero. El
documento DE 19924108, que fue el primero publicado después de la
fecha de prioridad inicial de la presente invención, describe un
procedimiento para revestir inhibidores de sustancias tintóreas y de
la corrosión sobre sustratos. El procedimiento implica la aplicación
de un revestimiento de película líquida sobre un sustrato y un
posterior revestimiento protector polímero de plasma. El
revestimiento polímero de plasma se forma usando monómeros gaseosos
y plasma de baja presión.
No obstante, tal tratamiento de la superficie de
plasma requiere que el sustrato esté sometido a condiciones de
presión reducida, y por tanto requiere una cámara de vacío. Las
presiones de gas típicas para formar el revestimiento están
comprendidas en el intervalo de 5 a 25 Nm^{-2}. (en comparación, 1
atmósfera = 1,01 \times 10^{5} Nm^{-2}). Como resultado de la
exigencia de una presión reducida, los tratamientos superficiales
son caros, están limitados a tratamientos por tandas, y los
materiales para formar el revestimiento han de estar en forma
gaseosa y/o de vapor para mantener las condiciones de presión
reducida.
Los presentes inventores han hallado que los
inconvenientes anteriormente mencionados del tratamiento con plasma
de la superficie del sustrato pueden ser superados usando una
combinación de una descarga de plasma a la presión atmosférica y un
material para formar el revestimiento líquido y/o sólido
atomizado.
Por tanto, según la presente invención se
proporciona un método para formar un revestimiento sobre un
sustrato, cuyo método comprende introducir un material para formar
el revestimiento líquido y/o sólido atomizado en una descarga de
plasma a la presión atmosférica y/o una corriente de gas ionizado
resultante de la misma, y exponer el sustrato al material atomizado
de formación del revestimiento.
Se ha de entender que el material de formación de
revestimiento de acuerdo con la presente invención es un material
que puede ser usado para efectuar cualquier revestimiento apropiado,
incluyendo, por ejemplo, un material que puede ser usado para hacer
crecer una película o para modificar químicamente una superficie
existente.
La presente invención proporciona también un
método para polimerizar un material que forma polímeros, cuyo método
comprende atomizar el material que forma polímeros, y exponer el
material que forma polímeros a una descarga de plasma a la presión
atmosférica.
La presente invención proporciona además un
aparato para formar un revestimiento sobre un sustrato, cuyo aparato
comprende medios para generar una descarga de plasma a la presión
atmosférica dentro de la cual, en uso, se coloca el sustrato, un
atomizador para proporcionar un material que forma el revestimiento
atomizado dentro de la descarga de plasma, y medios para suministrar
un material de formación de revestimiento al atomizador.
En la presente invención puede ser usado
cualquier medio convencional para generar una descarga luminosa de
plasma a la presión atmosférica, por ejemplo, un chorro de plasma a
la presión atmosférica, una descarga luminosa de microondas a la
presión atmosférica y una descarga luminosa de presión atmosférica.
Típicamente, tales medios emplearán disolventes de helio y un
suministro de potencia de alta frecuencia (por ejemplo >1 kHz)
para generar una descarga luminosa homogénea a la presión
atmosférica por medio de un mecanismo de ionización de Penning
(véase por ejemplo, J. Phys. D: Appl. Phys. 1988 21, 838 de
Kanazawa y otros, Proc. Jpn. Symp. Plasma Chem. 1989, 2, 95
de Okazaki y otros, Métodos e Instrumentos Nucleares en "Physical
Research" 1989, B37/38, 842, de Kanazawa y otros, y J. Phys. D:
Appl. Phys. 1990, 23, 374 de Yokoyama y otros).
El material para formar el revestimiento puede
ser atomizado usando cualquier medio convencional, por ejemplo una
tobera ultrasónica. El atomizador produce preferiblemente un tamaño
de gota de material para la formación de revestimiento de 10 a 50
\mum. Atomizadores adecuados para ser usados en la presente
invención son las toberas ultrasónicas de Sono-Tek
Corporation, Milton, Nueva York, EE.UU. El aparato de la presente
invención puede incluir una pluralidad de atomizadores, que pueden
ser de particular utilidad, por ejemplo, donde el aparato ha de ser
usado para formar un revestimiento copolímero sobre un sustrato de
dos materiales de formación de revestimiento diferentes, en el que
los monómeros no pueden ser mezclados o son de fases diferentes, por
ejemplo el primero es un sólido y el segundo es gaseoso o
líquido.
La presente invención puede ser usada para formar
muchos tipos de revestimientos de sustrato diferentes. El tipo de
revestimiento que se forma sobre el sustrato es determinado por el
material o materiales de formación usados, y el presente método
puede ser usado para (co)polimerizar material(es)
monómero(s) de formación del revestimiento sobre la
superficie de sustrato. El material de formación del revestimiento
puede ser orgánico o inorgánico, sólido y/o líquido. Materiales
adecuados para formar el revestimiento, orgánicos, adecuados
incluyen carboxilatos, metacrilatos, acrilatos, estirenos,
metacrilonitrilos, alquenos y dienos, por ejemplo metil metacrilato,
etil metacrilato, propil metacrilato, butil metacrilato, y otros
metacrilatos alquílicos, y los correspondientes acrilatos, que
incluyen metacrilatos y acrilatos organofuncionales, que incluyen
metacrilato glicidílico, propil metacrilato trimetoxílico,
metacrilato de alilo, metacrilato hidroxietílico, metacrilato
hidroxipropílico, metacrilatos dialquilaminoalquílicos, y
(met)acrilatos fluoroalquílicos, ácido metacrílico, ácido
acrílico, ácido y ésteres fumáricos, ácido (y ésteres) itacónicos,
anhídrido maléico, estireno,
\alpha-metilestireno, alquenos halogenados, por
ejemplo, haluros vinílicos, tales como cloruros vinílicos y
fluoruros vinílicos, y alquenos fluorados, por ejemplo
peerfluoroalquenos, acrilonitrilo, metacrilonitrilo, etileno,
propileno, alilamina, haluros vinilidínicos, butadienos,
acrilamidas, tales como N-isopropilacrilamida,
metacrilamida, compuestos epoxídicos, por ejemplo
glicidoxipropiltrimetoxilano, glicidol, óxido de estireno, monóxido
de butadieno, éter diglicidilo de etilenglicol, metacrilato
glicidílico, eterdiglicidilo A bisfenol (y sus oligómeros), óxido de
vinilcicloexano, polímeros conductores tales como pirrol y tiofeno y
sus derivados, y compuestos que contienen fósforo, por ejemplo el
dimetilalilfosfonato. Materiales para la formación de revestimientos
inorgánicos adecuados incluyen metales y óxidos metálicos, que
incluyen metales coloidales. Los compuestos organometálicos pueden
ser también materiales adecuados para la formación de
revestimientos, incluyendo alcoholatos metálicos tales como
titanatos, alcoholatos de estaño, zirconatos y alcoholatos de
germanio y erbio. No obstante, los presentes inventores han hallado
que la presente invención tiene particular utilidad proporcionando
sustratos con sílice, o revestimientos basados en siloxanos que usen
composiciones que formen revestimientos que comprendan materiales
que contengan silicio. Materiales que contengan silicio adecuados
para ser usados en el método de la presente invención incluyen
silanos (por ejemplo, silano, halosilanos alquílicos, silanos
alcohóxilicos) y lineales (por ejemplo, polidimetilsiloxano) y
siloxanos cíclicos (por ejemplo, octametilciclotetrasiloxano), que
incluyen siloxanos organofuncionales lineales y cíclicos (por
ejemplo, que contengan Si-H, halofuncionales, y
siloxanos lineales y cíclicos haloalquílicos funcionales, por
ejemplo tetrametilciclotetrassiloxano y
tri(nonofluorobutil)trimetilciclotrisiloxano). Puede
ser usada una mezcla de diferentes materiales que contengan silicio,
por ejemplo para obtener las propiedades físicas del revestimiento
de sustrato concretas para satisfacer una necesidad (por ejemplo
propiedades térmicas, propiedades ópticas, tales como índice de
refracción y propiedades viscoelásticas).
En adición, bajo condiciones de oxidación el
presente método puede ser usado para formar un revestimiento que
contenga oxígeno sobre el sustrato. Por ejemplo, pueden formarse
revestimientos basados en sílice sobre la superficie de sustrato a
partir de materiales de formación de revestimientos que contengan
sílice atomizados. Bajo condiciones de reducción, el presente método
puede ser usado para formar revestimientos exentos de oxígeno, por
ejemplo, pueden formarse revestimientos basados en carburo de
silicio a partir de materiales de formación de revestimientos que
contengan silicio atomizados.
También pueden ser empleados gases que posean
condiciones de generación de plasma distintos al oxígeno, por
ejemplo gases nobles, aire, hidrógeno, nitrógeno y amoniaco. En una
atmósfera que contenga nitrógeno puede ser ligado nitrógeno a la
superficie de sustrato, y en una atmósfera nitrógeno y oxígeno,
pueden ser ligados nitratos a, y/o ser formados sobre, la superficie
de sustrato. Tales gases pueden ser también usados para pretratar la
superficie de sustrato antes de que sea expuesta a la sustancia de
formación de revestimiento. Por ejemplo un tratamiento de plasma que
contenga oxígeno del sustrato puede proporcionar una mejor adhesión
con el revestimiento aplicado. Siendo generado el plasma que
contiene oxígeno mediante la introducción de materiales que
contengan oxígeno en el plasma, tales como gas oxígeno o agua.
Además, el revestimiento formado sobre el sustrato puede ser tratado
posteriormente en un margen de condiciones de plasma. Por ejemplo,
revestimientos derivados de siloxanos pueden ser oxidados además
mediante un tratamiento del plasma que contenga oxígeno. Siendo
generado el plasma que contiene oxígeno mediante la introducción de
materiales que contienen oxígeno en el plasma tales como gas oxígeno
o agua.
Una ventaja de la presente invención sobre la
técnica anterior radica en que pueden ser utilizados materiales de
formación de revestimiento atomizados líquidos y sólidos para formar
revestimientos de sustrato, debido a que el método de la presente
invención tiene lugar en condiciones de presión atmosféricas.
Además, los materiales de formación de revestimiento pueden ser
introducidos en la corriente de descarga de plasma o resultante, en
la ausencia de un gas portador, es decir, pueden ser introducidos
directamente, por ejemplo, mediante inyección directa, por lo que
los materiales de formación de revestimiento son inyectados
directamente en el plasma.
Como se ha mencionado anteriormente, los
presentes inventores han hallado particularmente útil la presente
invención para formar revestimientos basados en sílice y siloxanos
sobre sustratos que usen materiales que contengan silicio. En
condiciones de oxidación, por ejemplo una atmósfera que contenga
oxígeno, pueden ser formados revestimientos basados en la sílice
sobre la superficie del sustrato a partir de materiales que
contengan silicio atomizados, ya que en condiciones no oxidantes
puede ser formado un polímero de siloxano, por ejemplo un polímero
de siloxano lineal, resinoso o ramificado sobre la superficie de
sustrato a partir de la atomización de un monómero que contenga
silicio. Un copolímero orgánico de siloxano puede ser formado sobre
la superficie del sustrato mediante la utilización de una mezcla de
monómeros orgánicos y que contengan silicio. Además, puede ser
formado un revestimiento basado en sílice sobre una superficie de
sustrato, que puede ser a su vez revestido mediante un material
adicional, por ejemplo un polímero orgánico o siloxano. Por ejemplo,
cuando se mezcla siloxano con un polímero orgánico y un sustrato
formado a partir de dicha mezcla, el siloxano migrará a la
superficie del cuerpo polímero orgánico del sustrato, debido a la
diferencia en energía de superficie entre los polímeros orgánicos y
los siloxanos. Si este sustrato se somete entonces a un tratamiento
de plasma a la presión atmosférica, el siloxano en la superficie del
sustrato se oxida para formar un revestimiento basado en sílice.
Este revestimiento basado en sílice puede ser sometido entonces a
tratamiento según la presente invención, sometiendo además este a
tratamiento de plasma a la presión atmosférica en presencia de
monómeros que contienen silicio atomizados, para formar un
revestimiento de siloxano sobre el mismo. No obstante, la presente
invención es también útil para formar un revestimiento orgánico
sobre un sustrato, por ejemplo un ácido poliacrílico o revestimiento
perfluorado orgánico.
El sustrato que ha de ser revestido puede
comprender cualquier material, por ejemplo metal, cerámica,
plásticos, siloxano, fibras tejidas o no tejidas, fibras naturales,
fibras sintéticas, material celulósico y polvo. No obstante
orgánico. No obstante, el tamaño del sustrato está limitado por las
dimensiones del volumen dentro del cual se genera la descarga de
plasma a la presión atmosférica, es decir la distancia entre los
electrodos de los medios para generar el plasma. Para aparatos de
generación de plasma típicos, el plasma es generado dentro de una
separación de 5 a 50 mm, por ejemplo de 12 a 25 mm. Por tanto la
presente invención tiene particular utilidad para revestir
películas, fibras y polvos.
Los sustratos revestidos mediante el método de la
presente invención pueden tener diversas utilidades. Por ejemplo, un
revestimiento basado en sílice, generado en una atmósfera oxidante,
puede mejorar las propiedades de barrera y/o de difusión del
sustrato, y puede mejorar la capacidad de adherir de materiales
adicionales a la superficie del sustrato; un revestimiento
halofuncional orgánico o de siloxanos (por ejemplo,
perfluoroalquenos) puede incrementar la hidrofobicidad, la
oleofobicidad, la resistencia al combustible y la suciedad, y/o las
propiedades de liberación del sustrato; un revestimiento de
polidimetilsiloxano puede mejorar las propiedades de resistencia al
agua y de liberación del sustrato, y puede mejorar la suavidad de
telas al tacto; un revestimiento polimérico de ácido poliacrílico
puede ser usado como una capa adhesiva para favorecer la adhesión a
la superficie del sustrato o como parte de la estructura
estratificada; la inclusión de especies metálicas coloidales en los
revestimientos puede proporcionar conductividad superficial al
sustrato, o mejorar sus propiedades ópticas. El politiofeno y el
polipirrol proporcionan revestimientos polímeros eléctricamente
conductores que pueden proporcionar también resistencia a la
corrosión sobre sustratos metálicos.
Un problema importante que tiende a producirse
cuando se revisten sustratos usando un procedimiento que implica
tratamiento de plasma radica en que se pueden perder propiedades
químicas del material usado para formar el revestimiento. Por lo
tanto una ventaja importante de la presente invención radica en que
las propiedades químicas del material que forma el revestimiento son
sustancialmente retenidas en el revestimiento formado. Por ejemplo,
en el caso en el que se usa ácido acrílico como material que forma
el revestimiento, la funcionabilidad del ácido carboxílico es
sustancialmente mantenida en el revestimiento formado.
La presente invención proporciona también un
método para producir un sustrato que tiene un revestimiento
multicapa mediante los procedimientos descritos anteriormente. En
este caso una capa del revestimiento se aplica en cada pase que se
repite del sustrato a través de la descarga luminosa de plasma
atmosférico. Preferiblemente en un caso de ese tipo el sustrato
puede ser revestido de un modo continuo al ser transportado a través
de una descarga luminosa de plasma atmosférico por medio de un
procedimiento de carrete a carrete en el que el sustrato se desplaza
desde un primer carrete, a través de la descarga luminosa y sobre un
segundo carrete a una velocidad constante para garantizar que todo
el sustrato tiene un tiempo de residencia predeterminado dentro de
la descarga luminosa. Cada sustrato puede ser sometido a uno o más
pases a través de la descarga luminosa por lo que el carrete primero
o de suministro en el primer pase se convierte en el carrete de
recogida en el segundo pase y el carrete de recogida de sustrato del
primer pase pasa a su vez a ser el carrete de suministro en el
segundo pase, intercambiándose los dos carretes al final de cada
pase. Alternativamente el sustrato puede hacerse pasar a través de
una serie de cámaras de descarga luminosa atmosférica.
Usos preferidos de los revestimientos de los
sustratos revestidos de acuerdo con la presente invención incluyen
adhesivos estratificados, barreras al oxígeno y/o la humedad para
aplicaciones de empaquetado de alimentos y como un componente en o
sobre dispositivos de diodos de emisión luminosa orgánicos, por
ejemplo, en presentaciones de panel plano.
La presente invención se ilustrará a continuación
detalladamente con referencia al dibujo que se acompaña, en el que
la figura 1 muestra una realización del aparato según la presente
invención.
El aparato según la presente invención mostrado
en la figura 1 comprende medios para generar una descarga de plasma
a la presión atmosférica (designados en general con 10), y un
atomizador (designado en general con 12) conectado a una bomba 14 de
jeringa para suministrar un material de formación de revestimiento
al atomizador 12. Los medios para generar la descarga 10 incluyen un
suministro 20 de potencia de corriente alterna de 15 kHz de alta
tensión, suministrado a través de dos electrodos 22 y 24 de aluminio
espaciados 12 mm entre sí, con el electrodo activo inferior 22
apantallado por una placa 26 dieléctrica de vidrio. El atomizador 12
incluye una tobera ultrasónica 30 Sono-tek
8700-120 (Sono-tek Corporation,
Milton, Nueva York 12547, EE.UU.), y está conectado a un generadoor
ultrasónico 32 de banda ancha Sono-tek
06-05108. El atomizador 12 está asentado dentro del
electrodo 24 de tierra sobre un anillo tórico 24. El sustrato 40 que
ha de ser revestido se coloca sobre la placa dieléctrica 26 de
vidrio entre los electrodos 22 y 24.
El aparato descrito anteriormente con referencia
a la figura 1 fue usado para todos los procedimientos que se
describen más adelante.
Una pieza de sustrato de película de polietileno
fue lavada ultrasónicamente en una mezcla 1:1 de alcohol
isopropílico y cicloexano y fue colocada sobre una placa de vidrio.
Después de la evacuación del gas residual, fue introducido el gas de
descarga de plasma con un caudal de 1900 sccm y una presión de 1,02
\times10^{5} Nm^{-2}. Fueron usados dos gases de descarga,
helio y una mezcla de 99% de helio y un 1% de oxígeno. Después de 10
minutos de purga, la bomba 13 de jeringa fue conectada y se permitió
que el material de formación de revestimiento circulase con un
régimen de 3\times10^{-5} mls^{-1}. Fueron usados dos
materiales para formar el revestimiento, el
octametilciclotetrasiloxano (denominado en esta memoria en adelante
"D_{4}") y el tetrametilciclotetrasiloxano (denominado en
esta memoria en adelante "D_{4}H"). Cuando el material de
formación de revestimiento alcanzó la tobera ultrasónica, el
generador ultrasónico fue conectado (2,5 W) para iniciar la
atomización del material de formación del revestimiento, y la
descarga de plasma a la presión atmosférica fue encendida para
aplicar 1,5 kV a través de los electrodos. Se permitió que la
deposición de material para formar el revestimiento continuase
durante 10 minutos, después de lo cual el sustrato fue retirado y
sometido al vacío durante 20 minutos para eliminar cualquier
material inestable.
Los resultados del procedimiento anterior se
muestran en la Tabla 1 más adelante. Fue usado un análisis
espectroscópico fotoelectrónico de rayos X (Kratos ES300) para
realizar un análisis elemental de la superficie de sustrato, y fue
usado un espectrofotómetro (Instrumentos Aquila
nkd-6000) para determinar el espesor de la película.
Fueron hechas mediciones del ángulo de contacto usando un aparato de
captura de vídeo (Productos AST VCA2500XE) usando gotitas de 2
\mul sésiles de agua desionizada.
Las mediciones de filtración de gas de la
superficie del sustrato fueron tomadas usando un espectrómetro de
masas, y los resultados se muestran en la Tabla 2. El Factor de
Mejora de Barrera se calcula como [filtración de gas de sustrato
revestido]/[filtración de gas de muestra de referencia].
Estudios de ATR-FTIR de las
superficies de sustrato mostraron que la polimeración abierta de
anillo de los materiales para formar el revestimiento D_{4} y
D_{4}H se había producido para formar polisiloxano sobre la
superficie de sustrato. En particular, los estudios
ATR-FTIR sobre el último mostraron que el
revestimiento de polisiloxano retenía mucha de la funcionalidad del
D_{4}H Si-H.
Estudios de NMR de un preparado de revestimiento
como se describe anteriormente sobre una superficie de vidrio
mostraron que el polisiloxano formado sobre la superficie de
sustrato por polimerización de los materiales de formación de
revestimiento de D_{4} y D_{4}H comprendían unidades de
(CH_{3})_{2}SiO_{2/2} trivalentes, es decir el
polisiloxano es resinoso.
El método del Ejemplo 1 anterior fue repetido
usando un sustrato de vidrio y ácido acrílico como material para
formar el revestimiento, y helio solamente como gas de descarga. El
revestimiento fue retirado del sustrato anterior para análisis.
El análisis de FTIR y el NMR de estado sólido del
revestimiento confirmaron que el ácido acrílico se había
polimerizado para formar ácido poliacrílico. Los datos de FTIR y NMR
mostraron consumo del enlace C=C no saturado.
El método del Ejemplo 2 fue repetido, pero usando
sustratos de nailon y polietileno.
Una comparación del análisis de FTIR del
revestimiento con el ácido poliacrílico disponible comercialmente
confirmó que el material de formación de revestimiento de ácido
acrílico se había polimerizado para formar un revestimiento de ácido
poliacrílico sobre las superficies del sustrato.
El análisis espectroscópico fotoelectrónico de
rayos X, análisis de espesor de película, y mediciones del ángulo de
contacto fueron realizados para el Ejemplo 1 anterior. Los
resultados se muestran en la Tabla 3 más adelante.
El transporte de gas a través de la película de
polietileno revestida fue determinado mediante el espectrómetro de
masas, y el factor de mejora de barrera fue calculado para el
Ejemplo 1 anterior sobre un sustrato de polietileno no tratado y
ácido poliacrílico disponible comercialmente. Los resultados se
muestran en la Tabla 4 más adelante.
Un ensayo de desgarramiento del recubrimiento fue
realizado en los sustratos de nailon como sigue. Las caras opuestas
de los sustratos de nailon fueron superpuestas para crear una junta
que cubría 1 cm^{2}, y los sustratos fueron curados bajo 2 kg de
peso a 70ºC durante 60 minutos. La resistencia adhesiva de cada
junta fue determinada entonces tirando para separar los sustratos
con un régimen de 5 mm por minuto usando un tensímetro (Instron), y
registrando la carga máxima alcanzada antes de la rotura. Los
sustratos revestidos resistieron una carga máxima de 74\pm11
Ncm^{-2} antes de la rotura. Las uniones de comparación hechas de
nailon no revestido no mostraron propiedades adhesivas.
El método del Ejemplo 2 fue repetido usando un
sustrato de vidrio y
1H,1H,2H-perfluor-1-octeno
(CF_{3}(CF_{2}
\hbox{) _{5} }CH=CH_{2}) como el material de formación de revestimiento.
El análisis espectroscópico fotoelectrónico de
rayos X, análisis de FTIR y mediciones del ángulo de contacto (con
agua y decano) fueron realizados para el Ejemplo 1 anterior, y los
resultados se muestran en la Tabla 5 más adelante. El análisis de
XPS y FTIR mostró que el revestimiento de sustrato de vidrio era
rico en CF_{2} y CF_{3} y los ángulos de contacto para el agua y
el decano fueron determinados como para el ejemplo 1.
Los resultados de la medición del ángulo de
contacto muestran que el sustrato de vidrio ha sido rendido
sustancialmente hidrófobo y oleófobo mediante el revestimiento.
Claims (22)
1. Un método para formar un revestimiento sobre
un sustrato, cuyo método comprende introducir un material de
formación de revestimiento líquido y/o sólido atomizado en una
descarga de plasma a la presión atmosférica y/o una corriente de gas
ionizado resultante de la misma, y exponer el sustrato al material
de formación de revestimiento atomizado sometido a condiciones de
presión atmosférica.
2. Un método según la reivindicación 1, en el que
el material de formación de revestimiento se introduce mediante
inyección directa.
3. Un método según las reivindicaciones 1 ó 2, en
el que el material de formación de revestimiento es un material que
contiene silicio.
4. Un método según la reivindicación 3, en el que
el material de formación de revestimiento es seleccionado de un
dimetilsiloxano y un siloxano que tiene enlaces
silicio-hidrógeno.
5. Un método según cualquiera de las
reivindicaciones precedentes en el que el plasma es generado en una
atmósfera que contiene oxígeno.
6. Un método según las reivindicaciones 1 ó 2 en
el que el material de formación de revestimiento es un material
orgánico u organometálico.
7. Un método según la reivindicación 6, en el que
el material de formación de revestimiento es seleccionado entre el
ácido acrílico y un perfluoroalqueno.
8. Un método según cualquiera de las
reivindicaciones precedentes, en el que el sustrato comprende metal,
cerámica, plásticos, fibras tejidas y no tejidas, fibras naturales,
fibras sintéticas, material celulósico y polvo.
9. Un método según cualquier de las
reivindicaciones precedentes, en el que el revestimiento aumenta las
propiedades adhesivas, de liberación, de barrera de gases,
hidrófila, hidrófoba, y/o oleófoba del sustrato.
10. Un método para producir un sustrato que tiene
un revestimiento multicapa según cualquiera de las reivindicaciones
precedentes, mediante el cual el revestimiento se aplica
repetidamente haciendo pasar dicho sustrato a través de la descarga
luminosa de plasma atmosférico o haciendo pasar dicho sustrato a
través de una serie de cámaras de descarga luminosa
atmosféricas.
11. Un método según una cualquiera de las
reivindicaciones 1 a 4, 6 ó 7, en el que las propiedades químicas
del líquido atomizado y/o material que forma el revestimiento sólido
son sustancialmente retenidas en el revestimiento resultante
formado.
12. Un método de acuerdo con cualquiera de las
reivindicaciones precedentes, en el que el sustrato es revestido de
modo continuo mediante la utilización de un aparato de carrete a
carrete.
13. Un método de acuerdo con cualquiera de las
reivindicaciones precedentes, en el que el sustrato es pretratado
mediante exposición al plasma antes de la introducción del material
de formación de revestimiento.
14. Un método de acuerdo con cualquiera de las
reivindicaciones precedentes, en el que el revestimiento formado
sobre el sustrato es tratado posteriormente mediante exposición al
plasma.
15. Un método de acuerdo con las reivindicaciones
13 ó 14, en el que el plasma es aplicado por medio de una descarga
luminosa a la presión atmosférica.
16. Un método de acuerdo con la reivindicación
15, en el que se añade un material que contiene oxígeno al
plasma.
17. Un método de acuerdo con la reivindicación
16, en el que los materiales que contienen oxígeno son seleccionados
del grupo de oxígeno gaseoso y agua.
18. Un método de acuerdo con la reivindicación 1,
en el que el material de formación de revestimiento se compone de
materiales monómeros, y dichos materiales monómeros después de haber
sido atomizados, son copolimerizados mediante la exposición a una
descarga de plasma a la presión atmosférica.
19. Aparato para formar un revestimiento sobre
una sustancia bajo condiciones de presión atmosférica, cuyo aparato
comprende medios para generar una descarga luminosa de plasma a la
presión atmosférica dentro de la cual, en uso, se coloca el
sustrato, un atomizador para proporcionar un material de formación
de revestimiento líquido y/o sólido atomizado dentro de la descarga
de plasma, y medios para suministrar dicho material de formación de
revestimiento al atomizador.
20. Aparato de acuerdo con la reivindicación 19,
en el que el atomizador es una tobera ultrasónica.
21. Aparato según las reivindicaciones 19 ó 20,
en el que el sustrato se fija a un aparato de carrete a carrete para
lograr un revestimiento continuo del sustrato.
22. Utilización de un sustrato revestido formado
de acuerdo con el método de una cualquiera de las reivindicaciones 1
a 17 como un adhesivo estratificado, una barrera de oxígeno y/o
humedad o en dispositivos de diodos de emisión de luz orgánicos.
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GB0024230A GB0024230D0 (en) | 2000-10-04 | 2000-10-04 | Method and apparatus for forming a coating |
GB0024230 | 2000-10-04 | ||
GB0114877 | 2001-06-19 | ||
GB0114877A GB0114877D0 (en) | 2001-06-19 | 2001-06-19 | Method and apparatus for forming a coating |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
ES2214444T3 true ES2214444T3 (es) | 2004-09-16 |
ES2214444T5 ES2214444T5 (es) | 2008-02-16 |
Family
ID=26245097
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
ES01969976T Expired - Lifetime ES2214444T5 (es) | 2000-10-04 | 2001-09-25 | Metodo y aparato para formar un recubrimiento. |
Country Status (17)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7455892B2 (es) |
EP (1) | EP1326718B2 (es) |
JP (1) | JP5349726B2 (es) |
KR (1) | KR100823858B1 (es) |
CN (1) | CN1261233C (es) |
AT (1) | ATE257412T1 (es) |
AU (1) | AU2001290097A1 (es) |
BR (1) | BR0114200B1 (es) |
DE (1) | DE60101747T3 (es) |
DK (1) | DK1326718T3 (es) |
EA (1) | EA006831B1 (es) |
ES (1) | ES2214444T5 (es) |
MX (1) | MXPA03002988A (es) |
PT (1) | PT1326718E (es) |
TR (1) | TR200400076T4 (es) |
TW (1) | TW562708B (es) |
WO (1) | WO2002028548A2 (es) |
Families Citing this family (139)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB9712338D0 (en) | 1997-06-14 | 1997-08-13 | Secr Defence | Surface coatings |
WO2002028548A2 (en) | 2000-10-04 | 2002-04-11 | Dow Corning Ireland Limited | Method and apparatus for forming a coating |
US6821379B2 (en) | 2001-12-21 | 2004-11-23 | The Procter & Gamble Company | Portable apparatus and method for treating a workpiece |
TW200409669A (en) * | 2002-04-10 | 2004-06-16 | Dow Corning Ireland Ltd | Protective coating composition |
GB0208261D0 (en) * | 2002-04-10 | 2002-05-22 | Dow Corning | An atmospheric pressure plasma assembly |
TW200308187A (en) * | 2002-04-10 | 2003-12-16 | Dow Corning Ireland Ltd | An atmospheric pressure plasma assembly |
GB0208263D0 (en) * | 2002-04-10 | 2002-05-22 | Dow Corning | Protective coating composition |
GB0211354D0 (en) | 2002-05-17 | 2002-06-26 | Surface Innovations Ltd | Atomisation of a precursor into an excitation medium for coating a remote substrate |
GB0212848D0 (en) | 2002-06-01 | 2002-07-17 | Surface Innovations Ltd | Introduction of liquid/solid slurry into an exciting medium |
US20060196424A1 (en) * | 2003-01-31 | 2006-09-07 | Frank Swallow | Plasma generating electrode assembly |
DE10319058A1 (de) * | 2003-04-25 | 2004-12-02 | Carl Freudenberg Kg | Silikonisierte Einlagestoffe, Verfahren zu deren Herstellung und deren Verwendung |
US7431989B2 (en) * | 2003-05-06 | 2008-10-07 | Tribofilm Research, Inc. | Article with lubricated surface and method |
US20060162741A1 (en) * | 2005-01-26 | 2006-07-27 | Cerionx, Inc. | Method and apparatus for cleaning and surface conditioning objects with plasma |
US20060272675A1 (en) * | 2005-06-02 | 2006-12-07 | Cerionx, Inc. | Method and apparatus for cleaning and surface conditioning objects using plasma |
US20060162740A1 (en) * | 2005-01-21 | 2006-07-27 | Cerionx, Inc. | Method and apparatus for cleaning and surface conditioning objects using non-equilibrium atmospheric pressure plasma |
US20060272674A1 (en) * | 2005-06-02 | 2006-12-07 | Cerionx, Inc. | Method and apparatus for cleaning and surface conditioning objects using plasma |
US8092644B2 (en) * | 2003-06-16 | 2012-01-10 | Ionfield Systems, Llc | Method and apparatus for cleaning and surface conditioning objects using plasma |
US8092643B2 (en) * | 2003-06-16 | 2012-01-10 | Ionfield Systems, Llc | Method and apparatus for cleaning and surface conditioning objects using plasma |
US8366871B2 (en) * | 2003-06-16 | 2013-02-05 | Ionfield Holdings, Llc | Method and apparatus for cleaning and surface conditioning objects using plasma |
CA2528194A1 (en) * | 2003-06-16 | 2005-01-06 | Cerionx, Inc. | Atmospheric pressure non-thermal plasma device to clean and sterilize the surface of probes, cannulas, pin tools, pipettes and spray heads |
GB2419358B (en) * | 2003-08-28 | 2008-01-16 | Surface Innovations Ltd | Apparatus for the coating and/or conditioning of substrates |
GB0323295D0 (en) * | 2003-10-04 | 2003-11-05 | Dow Corning | Deposition of thin films |
US7893182B2 (en) | 2003-10-15 | 2011-02-22 | Dow Corning Corporation | Manufacture of resins |
JP2007508135A (ja) | 2003-10-15 | 2007-04-05 | ダウ・コーニング・アイルランド・リミテッド | 粒子の官能基化 |
CA2549925A1 (en) * | 2003-12-16 | 2005-06-30 | Sun Chemical Corporation | Method of forming a radiation curable coating and coated article |
GB0406049D0 (en) | 2004-03-18 | 2004-04-21 | Secr Defence | Surface coatings |
EP1582270A1 (en) * | 2004-03-31 | 2005-10-05 | Vlaamse Instelling voor Technologisch Onderzoek | Method and apparatus for coating a substrate using dielectric barrier discharge |
GB2418379A (en) * | 2004-09-23 | 2006-03-29 | Reckitt Benckiser | Cleansing wipes |
GB0410749D0 (en) * | 2004-05-14 | 2004-06-16 | Dow Corning Ireland Ltd | Coating apparatus |
US20060060085A1 (en) * | 2004-09-22 | 2006-03-23 | Ptak Thaddeus J | Composite filter media |
EP1650254A1 (de) | 2004-10-22 | 2006-04-26 | Carl Freudenberg KG | Dichtung mit reduziertem Drehmoment, Verfahren zur Herstellung, deren Verwendung als Dichtung für Klappenventile und Klappenventil |
DE102004051781A1 (de) * | 2004-10-22 | 2006-04-27 | Carl Freudenberg Kg | Dichtung mit reduziertem Drehmoment, Verfahren zu deren Herstellung, deren Verwendung als Dichtung für Klappenventile und Klappenventil |
GB0423685D0 (en) * | 2004-10-26 | 2004-11-24 | Dow Corning Ireland Ltd | Improved method for coating a substrate |
KR20070072900A (ko) * | 2004-10-29 | 2007-07-06 | 다우 글로벌 테크놀로지스 인크. | 플라즈마 강화 화학 기상 증착에 의한 내마모성 코팅 |
KR101212967B1 (ko) * | 2004-11-05 | 2012-12-18 | 다우 코닝 아일랜드 리미티드 | 플라즈마 시스템 |
GB0424532D0 (en) * | 2004-11-05 | 2004-12-08 | Dow Corning Ireland Ltd | Plasma system |
JP4926394B2 (ja) * | 2004-11-30 | 2012-05-09 | 株式会社ブリヂストン | トラバース塗装工程の前処理方法およびトラバース塗装方法 |
GB0504384D0 (en) * | 2005-03-03 | 2005-04-06 | Univ Durham | Method for producing a composite coating |
GB0506051D0 (en) * | 2005-03-24 | 2005-04-27 | Univ Durham | A method for producing an aldehyde functionalised surface |
US20060237030A1 (en) * | 2005-04-22 | 2006-10-26 | Cerionx, Inc. | Method and apparatus for cleaning and surface conditioning objects with plasma |
GB0509648D0 (en) * | 2005-05-12 | 2005-06-15 | Dow Corning Ireland Ltd | Plasma system to deposit adhesion primer layers |
EP1741826A1 (en) | 2005-07-08 | 2007-01-10 | Nederlandse Organisatie voor Toegepast-Natuuurwetenschappelijk Onderzoek TNO | Method for depositing a polymer layer containing nanomaterial on a substrate material and apparatus |
EP1785198A1 (en) * | 2005-11-14 | 2007-05-16 | Vlaamse Instelling voor Technologisch Onderzoek | A method for atmospheric plasma deposition of conjugated polymer coatings |
GB2434368B (en) * | 2006-01-20 | 2010-08-25 | P2I Ltd | Plasma coated laboratory consumables |
GB2434369B (en) | 2006-01-20 | 2010-08-25 | P2I Ltd | Plasma coated electrical or electronic devices |
US7250195B1 (en) | 2006-02-27 | 2007-07-31 | Ionic Fusion Corporation | Molecular plasma deposition of colloidal materials |
US20090300939A1 (en) | 2006-05-02 | 2009-12-10 | John Kennedy | Fluid Replacement System |
US8281734B2 (en) | 2006-05-02 | 2012-10-09 | Dow Corning Ireland, Ltd. | Web sealing device |
JP5043394B2 (ja) * | 2006-09-29 | 2012-10-10 | 東京エレクトロン株式会社 | 蒸着装置およびその運転方法 |
GB0621520D0 (en) | 2006-10-28 | 2006-12-06 | P2I Ltd | Novel products |
GB0703172D0 (en) * | 2007-02-19 | 2007-03-28 | Pa Knowledge Ltd | Printed circuit boards |
SI1978067T1 (sl) * | 2007-04-02 | 2010-04-30 | Nitto Europe Nv | Protisprijemna obloga |
EP1978038A1 (en) * | 2007-04-02 | 2008-10-08 | Vlaamse Instelling Voor Technologisch Onderzoek (Vito) | A method for producing a coating by atmospheric pressure plasma technology |
GB0713830D0 (en) | 2007-07-17 | 2007-08-29 | P2I Ltd | Novel products method |
EP2192997A2 (fr) * | 2007-09-06 | 2010-06-09 | Université Libre de Bruxelles | Procédé pour déposer une couche fluorée à partir d'un monomère précurseur |
WO2009085553A1 (en) * | 2007-12-21 | 2009-07-09 | 3M Innovative Properties Company | Liquid filtration systems |
FR2925911A1 (fr) * | 2007-12-27 | 2009-07-03 | Bmuestar Silicones France Sas | Silicones-autoadhesifs, procede de fabrication, complexes les utilisant et applications |
WO2009143090A2 (en) * | 2008-05-22 | 2009-11-26 | Dow Corning Corporation | Process and composition for fabricating non-sewn seams |
GB0810326D0 (en) * | 2008-06-06 | 2008-07-09 | P2I Ltd | Filtration media |
JP2011526536A (ja) * | 2008-07-04 | 2011-10-13 | アーベーベー・リサーチ・リミテッド | ワークピースを静電的に被覆するための装置及びそのコンタミネイションを減らす方法 |
EP2251455B1 (en) | 2009-05-13 | 2017-09-06 | SiO2 Medical Products, Inc. | PECVD coating using an organosilicon precursor |
US7985188B2 (en) | 2009-05-13 | 2011-07-26 | Cv Holdings Llc | Vessel, coating, inspection and processing apparatus |
US20120089084A1 (en) | 2009-06-16 | 2012-04-12 | O'keeffe Joe | Wound healing device |
US9458536B2 (en) | 2009-07-02 | 2016-10-04 | Sio2 Medical Products, Inc. | PECVD coating methods for capped syringes, cartridges and other articles |
GB2475685A (en) | 2009-11-25 | 2011-06-01 | P2I Ltd | Plasma polymerization for coating wool |
JP2011144412A (ja) | 2010-01-13 | 2011-07-28 | Honda Motor Co Ltd | プラズマ成膜装置 |
GB201000538D0 (en) | 2010-01-14 | 2010-03-03 | P2I Ltd | Liquid repellent surfaces |
US8445074B2 (en) | 2010-04-01 | 2013-05-21 | The Goodyear Tire & Rubber Company | Atmospheric plasma treatment of tire cords |
US20110241269A1 (en) * | 2010-04-01 | 2011-10-06 | The Goodyear Tire & Rubber Company | Atmospheric plasma treatment of reinforcement cords and use in rubber articles |
US11624115B2 (en) | 2010-05-12 | 2023-04-11 | Sio2 Medical Products, Inc. | Syringe with PECVD lubrication |
JP2011252085A (ja) | 2010-06-02 | 2011-12-15 | Honda Motor Co Ltd | プラズマ成膜方法 |
EP2596688A1 (en) | 2010-07-21 | 2013-05-29 | Dow Corning France | Plasma treatment of substrates |
US9878101B2 (en) | 2010-11-12 | 2018-01-30 | Sio2 Medical Products, Inc. | Cyclic olefin polymer vessels and vessel coating methods |
US8771782B2 (en) | 2010-12-13 | 2014-07-08 | Enbio Limited | Implantable medical devices |
US9272095B2 (en) | 2011-04-01 | 2016-03-01 | Sio2 Medical Products, Inc. | Vessels, contact surfaces, and coating and inspection apparatus and methods |
KR20140037097A (ko) | 2011-04-27 | 2014-03-26 | 다우 코닝 프랑스 | 기판의 플라즈마 처리 |
EP2532716A1 (en) | 2011-06-10 | 2012-12-12 | Eppendorf AG | A substrate having hydrophobic moiety-repelling surface characteristics and process for preparing the same |
GB201112369D0 (en) | 2011-07-19 | 2011-08-31 | Surface Innovations Ltd | Polymeric structure |
GB201112516D0 (en) | 2011-07-21 | 2011-08-31 | P2I Ltd | Surface coatings |
DE102011052306A1 (de) | 2011-07-29 | 2013-01-31 | Jokey Plastik Sohland Gmbh | Verfahren zur Erzeugung einer permeationshemmenden Beschichtung von Kunststoffbehältern und Beschichtungsanlage |
GB201113610D0 (en) | 2011-08-08 | 2011-09-21 | Surface Innovations Ltd | Product and method |
EP2777367A1 (en) * | 2011-11-09 | 2014-09-17 | Dow Corning France | Plasma treatment of substrates |
US8778462B2 (en) | 2011-11-10 | 2014-07-15 | E I Du Pont De Nemours And Company | Method for producing metalized fibrous composite sheet with olefin coating |
US11116695B2 (en) | 2011-11-11 | 2021-09-14 | Sio2 Medical Products, Inc. | Blood sample collection tube |
CN103930595A (zh) | 2011-11-11 | 2014-07-16 | Sio2医药产品公司 | 用于药物包装的钝化、pH保护性或润滑性涂层、涂布方法以及设备 |
US8741393B2 (en) | 2011-12-28 | 2014-06-03 | E I Du Pont De Nemours And Company | Method for producing metalized fibrous composite sheet with olefin coating |
ME01889B (me) * | 2012-02-01 | 2014-12-20 | Bioenergy Capital Ag | Obloga od hidrofllne plazme |
WO2013113875A1 (en) * | 2012-02-02 | 2013-08-08 | Centre De Recherche Public Henri Tudor | Superamphiphobic surfaces by atmospheric plasma polymerization |
US8545951B2 (en) * | 2012-02-29 | 2013-10-01 | Kimberly-Clark Worldwide, Inc. | Endotracheal tubes and other polymer substrates including an anti-fouling treatment |
CA2887352A1 (en) | 2012-05-09 | 2013-11-14 | Sio2 Medical Products, Inc. | Saccharide protective coating for pharmaceutical package |
CN104619907B (zh) | 2012-06-24 | 2017-08-11 | 盖茨公司 | 用于经增强的橡胶产品的碳帘线和产品 |
US9133412B2 (en) | 2012-07-09 | 2015-09-15 | Tribofilm Research, Inc. | Activated gaseous species for improved lubrication |
WO2014025774A1 (en) | 2012-08-09 | 2014-02-13 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Improved barrier fabrics |
US9441325B2 (en) | 2012-10-04 | 2016-09-13 | The Goodyear Tire & Rubber Company | Atmospheric plasma treatment of reinforcement cords and use in rubber articles |
US9433971B2 (en) | 2012-10-04 | 2016-09-06 | The Goodyear Tire & Rubber Company | Atmospheric plasma treatment of reinforcement cords and use in rubber articles |
CN104854257B (zh) | 2012-11-01 | 2018-04-13 | Sio2医药产品公司 | 涂层检查方法 |
US9903782B2 (en) | 2012-11-16 | 2018-02-27 | Sio2 Medical Products, Inc. | Method and apparatus for detecting rapid barrier coating integrity characteristics |
WO2014085348A2 (en) | 2012-11-30 | 2014-06-05 | Sio2 Medical Products, Inc. | Controlling the uniformity of pecvd deposition on medical syringes, cartridges, and the like |
US9764093B2 (en) | 2012-11-30 | 2017-09-19 | Sio2 Medical Products, Inc. | Controlling the uniformity of PECVD deposition |
EP2945994B1 (en) | 2013-01-18 | 2018-07-11 | Basf Se | Acrylic dispersion-based coating compositions |
EP2961858B1 (en) | 2013-03-01 | 2022-09-07 | Si02 Medical Products, Inc. | Coated syringe. |
JP6160498B2 (ja) * | 2013-03-08 | 2017-07-12 | 住友金属鉱山株式会社 | 被覆はんだ材料およびその製造方法 |
US9937099B2 (en) | 2013-03-11 | 2018-04-10 | Sio2 Medical Products, Inc. | Trilayer coated pharmaceutical packaging with low oxygen transmission rate |
WO2014164928A1 (en) | 2013-03-11 | 2014-10-09 | Sio2 Medical Products, Inc. | Coated packaging |
CA2896773C (en) | 2013-03-13 | 2017-12-19 | Celanese Acetate Llc | Smoke filters for reducing components in a smoke stream |
US20160017490A1 (en) | 2013-03-15 | 2016-01-21 | Sio2 Medical Products, Inc. | Coating method |
CN104069968B (zh) * | 2013-03-28 | 2017-01-04 | 株式会社Enjet | 喷雾嘴和使用该喷雾嘴的涂敷系统 |
ITMI20130855A1 (it) * | 2013-05-27 | 2014-11-28 | Univ Milano Bicocca | Metodo di rivestimento con film polimerico di un substrato mediante deposizione e successiva polimerizzazione per trattamento a plasma di una composizione monomerica. |
US9988536B2 (en) | 2013-11-05 | 2018-06-05 | E I Du Pont De Nemours And Company | Compositions for surface treatments |
WO2015095019A1 (en) | 2013-12-17 | 2015-06-25 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Nonwoven fabric with low ice adhesion |
CN103794462B (zh) * | 2013-12-24 | 2016-11-23 | 苏州市奥普斯等离子体科技有限公司 | 一种超声波雾化等离子体处理装置 |
GB201403558D0 (en) | 2014-02-28 | 2014-04-16 | P2I Ltd | Coating |
KR101485980B1 (ko) * | 2014-03-03 | 2015-01-27 | 주식회사 기가레인 | 코팅 장치 |
DE102014103025A1 (de) * | 2014-03-07 | 2015-09-10 | Ernst-Moritz-Arndt-Universität Greifswald | Verfahren zur Beschichtung eines Substrates, Verwendung des Substrats und Vorrichtung zur Beschichtung |
EP3124166B1 (en) | 2014-03-25 | 2019-10-23 | Sumitomo Metal Mining Co., Ltd. | Coated solder material and method for producing same |
EP3693493A1 (en) | 2014-03-28 | 2020-08-12 | SiO2 Medical Products, Inc. | Antistatic coatings for plastic vessels |
WO2015159371A1 (ja) * | 2014-04-15 | 2015-10-22 | 住友金属鉱山株式会社 | 被覆膜、被覆膜の形成方法ならびに発光ダイオードデバイス |
WO2015171727A1 (en) | 2014-05-07 | 2015-11-12 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Polyimide web separator for use in an electrochemical cell |
US10566106B2 (en) | 2014-08-18 | 2020-02-18 | The Boeing Company | Conjugated polymer coatings and methods for atmospheric plasma deposition thereof |
KR101532883B1 (ko) * | 2014-09-02 | 2015-07-02 | 성균관대학교산학협력단 | 전이금속 디칼코게나이드 박막의 형성 방법 |
EP3224405B1 (en) * | 2014-11-27 | 2020-01-01 | Construction Research & Technology GmbH | Inorganic binder composition comprising surface-modified polyolefin fibres |
BE1023839B1 (nl) | 2015-06-09 | 2017-08-09 | P2I Ltd | Coating |
TW201710411A (zh) | 2015-06-09 | 2017-03-16 | P2I有限公司 | 塗層 |
MX2017015916A (es) | 2015-06-09 | 2018-08-21 | P2I Ltd | Mejoras relacionadas con recubrimientos. |
CA3204930A1 (en) | 2015-08-18 | 2017-02-23 | Sio2 Medical Products, Inc. | Pharmaceutical and other packaging with low oxygen transmission rate |
CN108367970A (zh) * | 2015-10-02 | 2018-08-03 | 康宁股份有限公司 | 可除去的玻璃表面处理以及用于降低颗粒附着的方法 |
US11772126B2 (en) | 2016-02-01 | 2023-10-03 | Theradep Technologies Inc. | Systems and methods for delivering therapeutic agents |
DE102016124209A1 (de) | 2016-12-13 | 2018-06-14 | Jokey Plastik Wipperfürth GmbH | Beschichtungsvorrichtung und Beschichtungsverfahren für Kunststoffbehälter |
EP4289520A3 (en) | 2017-08-23 | 2024-03-13 | Molecular Plasma Group SA | Soft plasma polymerization process for a mechanically durable superhydrophobic nanostructured coating |
CN108080228B (zh) * | 2017-10-26 | 2021-06-01 | 中国船舶重工集团公司第七二五研究所 | 一种线路板防水防腐涂层及其制备方法 |
US11690998B2 (en) | 2017-10-31 | 2023-07-04 | Theradep Technologies, Inc. | Methods of treating bacterial infections |
FR3077821B1 (fr) * | 2018-02-09 | 2020-12-18 | Coating Plasma Ind | Film de protection a base de silicium pour adhesif, son procede de fabrication et ses utilisations |
CN109267037A (zh) * | 2018-11-21 | 2019-01-25 | 新疆大学 | 常压等离子体增强化学气相沉积方法及采用该方法的设备 |
EP3799964A1 (fr) * | 2019-10-02 | 2021-04-07 | ETA SA Manufacture Horlogère Suisse | Procdede de fabrication d'une piece mecanique epilamee |
EP3881941A1 (en) * | 2020-03-17 | 2021-09-22 | Molecular Plasma Group SA | Plasma coating method and apparatus for biological surface modification |
CN111519168B (zh) * | 2020-06-09 | 2022-06-14 | 江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司 | 一种保护涂层及其制备方法 |
EP3940106A1 (de) * | 2020-07-15 | 2022-01-19 | TI Automotive Engineering Centre (Heidelberg) GmbH | Verfahren zum beschichten einer rohrleitung und rohrleitung |
EP4136974A1 (en) | 2021-08-20 | 2023-02-22 | Fixed Phage Limited | Plasma treatment process and apparatus therefor |
CN114460114B (zh) * | 2022-04-13 | 2022-06-21 | 季华实验室 | 样品分析方法、装置、设备及存储介质 |
Family Cites Families (70)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4212719A (en) * | 1978-08-18 | 1980-07-15 | The Regents Of The University Of California | Method of plasma initiated polymerization |
JPS59160828A (ja) * | 1983-03-01 | 1984-09-11 | Fuji Photo Film Co Ltd | 磁気記録媒体 |
US4588641A (en) * | 1983-11-22 | 1986-05-13 | Olin Corporation | Three-step plasma treatment of copper foils to enhance their laminate adhesion |
JPH0753764B2 (ja) | 1986-03-28 | 1995-06-07 | ト−メ−産業株式会社 | ビニルモノマ−の重合法 |
DE3705482A1 (de) † | 1987-02-20 | 1988-09-01 | Hoechst Ag | Verfahren und anordnung zur oberflaechenvorbehandlung von kunststoff mittels einer elektrischen koronaentladung |
GB8713986D0 (en) * | 1987-06-16 | 1987-07-22 | Shell Int Research | Apparatus for plasma surface treating |
DE3827628A1 (de) † | 1988-08-16 | 1990-03-15 | Hoechst Ag | Verfahren und vorrichtung zur oberflaechenvorbehandlung eines formkoerpers aus kunststoff mittels einer elektrischen koronaentladung |
DE3925539A1 (de) * | 1989-08-02 | 1991-02-07 | Hoechst Ag | Verfahren und vorrichtung zum beschichten eines schichttraegers |
JP2811820B2 (ja) * | 1989-10-30 | 1998-10-15 | 株式会社ブリヂストン | シート状物の連続表面処理方法及び装置 |
US5185132A (en) * | 1989-12-07 | 1993-02-09 | Research Development Corporation Of Japan | Atomspheric plasma reaction method and apparatus therefor |
JP2990608B2 (ja) * | 1989-12-13 | 1999-12-13 | 株式会社ブリヂストン | 表面処理方法 |
JP2897055B2 (ja) * | 1990-03-14 | 1999-05-31 | 株式会社ブリヂストン | ゴム系複合材料の製造方法 |
US5366770A (en) * | 1990-04-17 | 1994-11-22 | Xingwu Wang | Aerosol-plasma deposition of films for electronic cells |
US5206463A (en) * | 1990-07-24 | 1993-04-27 | Miraco, Inc. | Combined rigid and flexible printed circuits and method of manufacture |
JP3194148B2 (ja) * | 1991-01-21 | 2001-07-30 | イーシー化学株式会社 | 金属の表面処理方法 |
GB9102768D0 (en) | 1991-02-09 | 1991-03-27 | Tioxide Group Services Ltd | Coating process |
JPH04295818A (ja) | 1991-03-26 | 1992-10-20 | Seiko Epson Corp | コンタクトレンズの製造方法 |
DE4111384C2 (de) * | 1991-04-09 | 1999-11-04 | Leybold Ag | Vorrichtung zur Beschichtung von Substraten |
JP3283889B2 (ja) * | 1991-07-24 | 2002-05-20 | 株式会社きもと | 防錆処理方法 |
JP3286816B2 (ja) * | 1992-12-24 | 2002-05-27 | イーシー化学株式会社 | 大気圧グロ−放電プラズマ処理法 |
JP3445632B2 (ja) | 1993-02-26 | 2003-09-08 | 科学技術振興事業団 | 薄膜の製造方法とその装置 |
JPH06330326A (ja) | 1993-03-26 | 1994-11-29 | Shin Etsu Chem Co Ltd | シリカ薄膜の製造方法 |
US5414324A (en) * | 1993-05-28 | 1995-05-09 | The University Of Tennessee Research Corporation | One atmosphere, uniform glow discharge plasma |
JPH0762546A (ja) | 1993-08-25 | 1995-03-07 | Shinko Electric Co Ltd | 大気圧プラズマ表面処理装置 |
FR2713511B1 (fr) * | 1993-12-15 | 1996-01-12 | Air Liquide | Procédé et dispositif de création d'une atmosphère d'espèces gazeuses excitées ou instables. |
US6342275B1 (en) * | 1993-12-24 | 2002-01-29 | Seiko Epson Corporation | Method and apparatus for atmospheric pressure plasma surface treatment, method of manufacturing semiconductor device, and method of manufacturing ink jet printing head |
JP3064182B2 (ja) | 1994-06-14 | 2000-07-12 | 松下電工株式会社 | 大気圧プラズマ粉体処理方法及びその装置 |
FI103647B1 (fi) * | 1994-06-17 | 1999-08-13 | Valmet Paper Machinery Inc | Menetelmä ja sovitelma paperiradan päällystämiseksi |
JP3508789B2 (ja) | 1994-07-04 | 2004-03-22 | セイコーエプソン株式会社 | 基板の表面処理方法 |
US5540959A (en) * | 1995-02-21 | 1996-07-30 | Howard J. Greenwald | Process for preparing a coated substrate |
US6086710A (en) * | 1995-04-07 | 2000-07-11 | Seiko Epson Corporation | Surface treatment apparatus |
DE19525453A1 (de) * | 1995-07-13 | 1997-01-16 | Eltex Elektrostatik Gmbh | Vorrichtung zum Ablösen der gasförmigen laminaren Grenzschicht |
DE19546187C2 (de) * | 1995-12-11 | 1999-04-15 | Fraunhofer Ges Forschung | Verfahren und Einrichtung zur plasmagestützten Oberflächenbehandlung |
AUPN820396A0 (en) | 1996-02-21 | 1996-03-14 | Commonwealth Scientific And Industrial Research Organisation | Method for reducing crazing in a plastics material |
US5876753A (en) | 1996-04-16 | 1999-03-02 | Board Of Regents, The University Of Texas System | Molecular tailoring of surfaces |
CA2205817C (en) | 1996-05-24 | 2004-04-06 | Sekisui Chemical Co., Ltd. | Treatment method in glow-discharge plasma and apparatus thereof |
JP3624566B2 (ja) | 1996-07-11 | 2005-03-02 | 日新電機株式会社 | イオン照射装置 |
WO1998010116A1 (en) | 1996-09-05 | 1998-03-12 | Talison Research | Ultrasonic nozzle feed for plasma deposited film networks |
EP0851720B1 (de) * | 1996-12-23 | 1999-10-06 | Sulzer Metco AG | Indirektes Plasmatron |
JP3899597B2 (ja) | 1997-01-30 | 2007-03-28 | セイコーエプソン株式会社 | 大気圧プラズマ生成方法および装置並びに表面処理方法 |
US6014235A (en) | 1997-06-03 | 2000-01-11 | Lucent Technologies Inc. | Optical-loop buffer that enhances the extinction ratio of the buffered signal |
JP3478068B2 (ja) | 1997-06-11 | 2003-12-10 | 富士ゼロックス株式会社 | 定着装置 |
GB9715508D0 (en) * | 1997-07-24 | 1997-10-01 | Scapa Group Plc | Industrial fabrics and method of treatment |
DE19732901C1 (de) † | 1997-07-30 | 1998-11-26 | Tdz Ges Fuer Innovative Oberfl | Vorrichtung zur Koronabehandlung der Oberfläche eines Substrats |
IL125545A0 (en) | 1997-08-08 | 1999-03-12 | Univ Texas | Devices having gas-phase deposited coatings |
GB9717368D0 (en) * | 1997-08-18 | 1997-10-22 | Crowther Jonathan | Cold plasma metallization |
DE19742619C1 (de) † | 1997-09-26 | 1999-01-28 | Siemens Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Einbringung pulverförmiger Feststoffe oder Flüssigkeiten in ein induktiv gekoppeltes Plasma |
US6746721B1 (en) * | 1998-02-05 | 2004-06-08 | Eidgenossische Materialprufungs-Und Forschungsanstalt Empa | Polar polymeric coating |
US6368665B1 (en) * | 1998-04-29 | 2002-04-09 | Microcoating Technologies, Inc. | Apparatus and process for controlled atmosphere chemical vapor deposition |
DE19826550C2 (de) † | 1998-06-15 | 2001-07-12 | Siemens Ag | Verfahren und Vorrichtung zum Erzeugen eines Pulveraerosols |
US6705127B1 (en) * | 1998-10-30 | 2004-03-16 | Corning Incorporated | Methods of manufacturing soot for optical fiber preforms and preforms made by the methods |
JP3704983B2 (ja) | 1998-12-25 | 2005-10-12 | セイコーエプソン株式会社 | 表面処理装置 |
JP2000212753A (ja) | 1999-01-22 | 2000-08-02 | Sekisui Chem Co Ltd | 表面処理品の製造方法 |
JP4096454B2 (ja) | 1999-05-11 | 2008-06-04 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | プラスティック支持体の表面処理装置及びプラスティック支持体の表面処理方法 |
US20020129902A1 (en) * | 1999-05-14 | 2002-09-19 | Babayan Steven E. | Low-temperature compatible wide-pressure-range plasma flow device |
DE19924108B4 (de) | 1999-05-26 | 2007-05-03 | Robert Bosch Gmbh | Plasmapolymerbeschichtung und Verfahren zu deren Herstellung |
US6331689B1 (en) * | 1999-06-15 | 2001-12-18 | Siemens Aktiengesellschaft | Method and device for producing a powder aerosol and use thereof |
JP2001074907A (ja) * | 1999-09-06 | 2001-03-23 | Sekisui Chem Co Ltd | ディスプレイ用反射防止フィルム及びその製造方法 |
JP3399887B2 (ja) | 1999-09-22 | 2003-04-21 | パール工業株式会社 | プラズマ処理装置 |
DE29919142U1 (de) * | 1999-10-30 | 2001-03-08 | Agrodyn Hochspannungstechnik G | Plasmadüse |
JP2001158976A (ja) * | 1999-12-02 | 2001-06-12 | Showa Aluminum Kan Kk | 大気圧低温プラズマにより処理したdi缶及びその製造方法 |
FR2801814B1 (fr) * | 1999-12-06 | 2002-04-19 | Cebal | Procede de depot d'un revetement sur la surface interne des boitiers distributeurs aerosols |
IES20010113A2 (en) | 2000-02-11 | 2001-09-19 | Anthony Herbert | An atmospheric pressure plasma system |
DE10011276A1 (de) * | 2000-03-08 | 2001-09-13 | Wolff Walsrode Ag | Verwendung eines indirrekten atomosphärischen Plasmatrons zur Oberflächenbehandlung oder Beschichtung bahnförmiger Werkstoffe sowie ein Verfahren zur Behandlung oder Beschichtung bahnförmiger Werkstoffe |
DE10017846C2 (de) * | 2000-04-11 | 2002-03-14 | Fraunhofer Ges Forschung | Verfahren zum Abscheiden einer Polymerschicht und Verwendung derselben |
JP2002057440A (ja) | 2000-06-02 | 2002-02-22 | Sekisui Chem Co Ltd | 放電プラズマ処理方法及びその装置 |
FR2814382B1 (fr) * | 2000-09-28 | 2003-05-09 | Cebal | Procede de depot d'un revetement interne dans un recipient en matiere plastique |
WO2002028548A2 (en) | 2000-10-04 | 2002-04-11 | Dow Corning Ireland Limited | Method and apparatus for forming a coating |
JP2004526276A (ja) | 2000-10-26 | 2004-08-26 | ダウ・コーニング・アイルランド・リミテッド | 大気圧プラズマアッセンブリ |
TW531801B (en) * | 2000-11-14 | 2003-05-11 | Sekisui Chemical Co Ltd | Normal plasma processing method and processing device |
-
2001
- 2001-09-25 WO PCT/GB2001/004272 patent/WO2002028548A2/en active IP Right Grant
- 2001-09-25 AU AU2001290097A patent/AU2001290097A1/en not_active Abandoned
- 2001-09-25 CN CNB018167527A patent/CN1261233C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2001-09-25 US US10/381,690 patent/US7455892B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2001-09-25 JP JP2002532368A patent/JP5349726B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2001-09-25 DK DK01969976T patent/DK1326718T3/da active
- 2001-09-25 BR BRPI0114200-3A patent/BR0114200B1/pt not_active IP Right Cessation
- 2001-09-25 KR KR1020037004782A patent/KR100823858B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2001-09-25 MX MXPA03002988A patent/MXPA03002988A/es active IP Right Grant
- 2001-09-25 DE DE60101747T patent/DE60101747T3/de not_active Expired - Lifetime
- 2001-09-25 TR TR2004/00076T patent/TR200400076T4/xx unknown
- 2001-09-25 PT PT01969976T patent/PT1326718E/pt unknown
- 2001-09-25 ES ES01969976T patent/ES2214444T5/es not_active Expired - Lifetime
- 2001-09-25 EP EP01969976A patent/EP1326718B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2001-09-25 EA EA200300440A patent/EA006831B1/ru not_active IP Right Cessation
- 2001-09-25 AT AT01969976T patent/ATE257412T1/de not_active IP Right Cessation
- 2001-10-04 TW TW090124519A patent/TW562708B/zh not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20030068543A (ko) | 2003-08-21 |
CN1468154A (zh) | 2004-01-14 |
DE60101747D1 (de) | 2004-02-12 |
EA006831B1 (ru) | 2006-04-28 |
KR100823858B1 (ko) | 2008-04-21 |
JP2004510571A (ja) | 2004-04-08 |
AU2001290097A1 (en) | 2002-04-15 |
DE60101747T3 (de) | 2008-04-03 |
US20040022945A1 (en) | 2004-02-05 |
PT1326718E (pt) | 2004-04-30 |
BR0114200A (pt) | 2003-12-09 |
ES2214444T5 (es) | 2008-02-16 |
EP1326718B2 (en) | 2007-09-05 |
EP1326718B1 (en) | 2004-01-07 |
WO2002028548A3 (en) | 2002-10-17 |
TW562708B (en) | 2003-11-21 |
CN1261233C (zh) | 2006-06-28 |
ATE257412T1 (de) | 2004-01-15 |
US7455892B2 (en) | 2008-11-25 |
WO2002028548A2 (en) | 2002-04-11 |
TR200400076T4 (tr) | 2004-02-23 |
JP5349726B2 (ja) | 2013-11-20 |
DE60101747T2 (de) | 2004-10-14 |
EP1326718A2 (en) | 2003-07-16 |
MXPA03002988A (es) | 2004-12-06 |
EA200300440A1 (ru) | 2003-08-28 |
DK1326718T3 (da) | 2004-04-13 |
BR0114200B1 (pt) | 2011-05-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
ES2214444T3 (es) | Metodo y aparato para formar un recubrimiento. | |
ES2253671T3 (es) | Montaje de plasma a presion atmosferica. | |
ES2336329T3 (es) | Conjunto de electrodos que genera plasma. | |
US7678429B2 (en) | Protective coating composition | |
ES2260621T3 (es) | Composicion de revestimiento protectora. | |
KR20070072899A (ko) | 향상된 증착 속도의 플라즈마 강화 화학 기상 방법 | |
KR20120037028A (ko) | 플라즈마 시스템 | |
JP2005523349A (ja) | ゲルおよび粉体の調製法 | |
CA2986357A1 (en) | Coated electrical assembly | |
CN103609203A (zh) | 基材的等离子体处理 | |
CN104025719A (zh) | 基材的等离子体处理 | |
US10533114B2 (en) | Polymeric film coating method on a substrate by depositing and subsequently polymerizing a monomeric composition by plasma treatment | |
EP2275598B1 (en) | Surface coatings | |
Carton et al. | Atmospheric Pressure Plasmas: Polymerization | |
Loyer | Study of nanopulsed discharges for plasma-polymerization: experimental characterization and theoretical understanding of growth mechanisms in the deposition of functional polymer thin films | |
RU2791710C2 (ru) | Способ плазменной полимеризации в мягких условиях для механически устойчивого супергидрофобного наноструктурированного покрытия | |
Lovascio | Cold Plasma deposition of organosilicon films with different monomers in a dielectric-barrier discharge | |
Goodwin et al. | Atmospheric pressure liquid deposition—A new route to high performance coatings | |
JP2018030785A (ja) | 銅含有組成物およびその製造方法 | |
Fotouhiardakani | Coating of fluoropolymers by atmospheric pressure plasma: A strategy to improve hydrophilicity | |
Abessolo Ondo | Plasma Initiated Chemical Vapour Deposition-from the Growth Mechanisms to Ultrathin Low-k Polymer Insulating Layers |