JP3286816B2 - 大気圧グロ−放電プラズマ処理法 - Google Patents
大気圧グロ−放電プラズマ処理法Info
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Description
が困難なアルゴン、又はアルゴンを主体とする混合ガス
に水蒸気を混合し、該気体雰囲気下でグロ−放電プラズ
マを発生させ、プラスチックや繊維類に親水性を与える
プラズマ処理法に関する。
ガス中で高真空下グロ−放電を行い、その際、高真空下
中に微量に発生するアルゴンイオンを利用して被処理体
の表面処理を行うことが実用化され、電子産業に応用さ
れている。しかし、このプラズマ処理方法は高真空を必
要とするため被処理体の供給装置、取り出し装置等一連
の付帯設備と共に高真空下に置くか、或は、大気圧下の
供給装置から真空のプラズマ反応装置にいたるまで気体
密度を徐々に変化させる極めて長いシ−ル部分が必要と
なり、設備コスト、または作業性を考えるとき、プラス
チック類や織物等の低価格の被処理体に対する表面処理
方法としては使用することができなかった。
を克服するために、ヘリウムガス等の不活性ガスをプラ
ズマ発生装置内に導入し、大気圧下でグロ−放電を行っ
てプラズマ励起させて被処理体の表面処理を行うことに
成功したが、不活性ガスとしてアルゴンを使用した場合
には大気圧下でのグロ−放電は困難であった。しかし、
更に研究の結果、アルゴンに微量のケトンを混合した混
合ガスの存在下では安定したグロ−放電を発生し、各種
プラスチックや合成繊維などの被処理体の表面処理を行
うことが出来、これら被処理体の表面を親水性にするこ
とを見出した(特公平4−74525号)。
であり、添加量は少なくても処理した後、系外に放出す
る場合には活性炭によって吸着するか、或は水に未反応
のケトンやプラズマ励起によって生じたケトン分解物を
吸収させなければならなかった。殊にケトンの分解物は
臭気が強く被処理物にも臭気が残るため、処理後乾燥袋
中に入れて加熱乾燥して臭気を除去する等の手間が必要
であった。
は、アルゴン中でグロ−放電を行うために必須であるケ
トン類を使用することによって生じる上記の欠点を除去
し、経済性にすぐれた大気圧プラズマ処理方法について
種々検討した結果、本発明を完成したもので、本発明の
目的は大気圧下で安定にグロ−放電プラズマ励起を行っ
て被処理体の表面処理を行い、親水性を付与する大気圧
グロ−放電プラズマ処理方法を提供するものである。
る電極の少なくとも一方の電極の表面に固体誘電体を配
設したプラズマ発生装置にアルゴンガスまたはアルゴン
ガスにヘリウム又は水素を混合した混合ガスに、室温ま
たは規定された温度で水蒸気又は水蒸気とケトン類とを
添加して得たガスを導入し、大気圧下で高周波電圧を印
加してグロ−放電を発生させプラズマ励起を行い、プラ
ズマ発生装置内の電極間に位置せしめたプラスチック類
又は繊維類の表面処理を行うことを特徴とする大気圧グ
ロ−放電によるプラズマ表面処理方法である。
放電が起こりにくく、起こっても無声放電か火花放電に
しかならないが、このアルゴンガスを、例えば水を入れ
たガス洗浄瓶に送りバブリングによって水蒸気を飽和さ
せ、これをプラズマ反応容器に入れて空気と置換し、高
周波電圧を印加することによって、大気圧グロ−放電を
起こさせ、電極間に位置せしめた被処理物をプラズマ表
面処理を施すのである。完全にアルゴンガスと水蒸気と
の混合ガスによって反応器内の空気を置換した時、上下
電極間に3000Hz、5000Vの電圧を印加すると
淡い紫色のきれいなグロ−放電が起こる。このときの上
下電極の間隙は1〜50mmであり、好ましくは6〜1
5mmである。1mmより狭くなると処理材料の厚みが
限定され、50mm以上では放電を起す電圧が高くな
り、電源トランスが大きくなる。
マ処理に使用するには必ず乾燥したものを使用しなけれ
ばならず、そのためシリカゲル管やモレキュラシ−ブの
中を通過させて使用するのが常識であった。そして、真
空プラズマに使用する不活性ガスは真空度が悪くなるか
ら更に十分乾燥したガスが必要である。しかし、不活性
ガスとして、アルゴンガスを使用した場合には、水蒸気
含有アルゴン、或は水蒸気含有のアルゴン主体の混合ガ
スとすることによってグロ−放電となるのであって、こ
の現象は、ヘリウムでは逆でグロ−放電が不安定となっ
て消えてしまうのである。
を増加させた時、更にグロー放電の出力が増大し通常出
力が60Wのものを200Wまで上げる事が出来る。ま
た、飽和にすることなく単にガス洗浄壜に水を入れたも
のの水上にガスを通過させ、水蒸気を含有させるだけで
も稍、放電開始まで時間がかかるだけで完全なグロー放
電となる。水蒸気の含有量と放電との関係を湿度計で調
べた結果を図4に示す。図4は、ガス洗浄壜中に水を入
れ、水中及び水の上をガスを通過させた場合の通過時間
(横軸)に対する湿度(縦軸)の関係を示した図で、湿
度は精密級湿度計を使用して測定した。線Aは、ガス洗
浄壜中に110ミリリットルの水を入れ、その中を1ミ
リリットル/分の流速でバブリングを、また、線Bガス
洗浄壜中に20リットルの水を入れ、その上を1ミリリ
ットル/分の流速で通過させた場合、30℃のプラズマ
容器内の湿度を示す。なお、ガス洗浄壜中の水の温度は
21℃であった。図に示されている放電開始湿度とは、
この点より湿度が大となると、電圧を印加した場合グロ
ー放電を開始する点である。即ち、湿度の少ない状態で
は放電しないが、ある湿度に到達すると急にグロー放電
が発生する。この時の湿度を放電開始湿度と言う。
ン、メチルエチルケトンを少量混合した水蒸気をアルゴ
ン又はアルゴンとヘリウム、又はアルゴンと水素の混合
ガスに混在せしめても全く問題無くグロ−放電を起こ
し、かつ、分解生成物の臭気が著しく軽減される。次
に、本発明を図面をもって具体的に説明する。図1にお
いて、プラズマ反応容器(1)中の下部電極(3)の上
に誘電体(4)をおき、その上にテフロン(FEP)フ
イルム(5)を載せ、アルゴンガスをボンベ(10)か
らガス調整器(9)を経て湯浴(7)にて温度30℃に
保たれた水の中にガス流量1リットル/分で送り、バブ
リングさせて水蒸気を飽和状態に含有させる。(8)は
流量計である。この混合ガスを反応容器(1)に導入し
て空気を置換し、3000Hz、4000Vの高周波電
圧を掛けグロ−放電を起こす。その状態で30秒処理を
行いテフロンフイルムを取り出して表面の濡れ性をダイ
ン指示薬で調べた結果54ダインであった。これを10
0℃の雰囲気中に1時間放置した時、50ダインでわず
か4ダインの低下にとどまった。比較のためにグロ−放
電が安定なアルゴンとヘリウム50部ずつの混合ガスの
み使用して同じテフロンフイルムを処理した結果は、処
理直後50ダイン、100℃に1時間放置後は45ダイ
ンとなり水蒸気を含有した方がより良い結果を示したの
である。
水蒸気の含有量も増加するが反応容器の方が温度が低い
時は霧が発生して曇ったり、水滴が壁面につく。したが
って反応容器も同じ程度の温度に上げておくのが好まし
い。しかし霧が発生してもグロ−放電によるプラズマ励
起は十分行う事が出来、阻害される事はない。
にガスを通過させるだけで反応容器中に導入してもグロ
−放電が起こり、全く同様にプラスチック、繊維等の表
面処理ができる。
ルゴンガスとヘリウムガスを混合して不活性ガスとす
る。これはヘリウムが放電しやすく、かつ、放電開始電
圧が低いので行われるが、アルゴンを主体にすると放電
しにくくなりアルゴンガスが70%以上では安定したグ
ロ−放電にならず無声放電を行う。このような場合でも
水蒸気を含有させることにより完全なグロ−放電とな
り、スム−スなプラズマ処理が出来るようになる。本発
明では、アルゴンとヘリウムの混合ガスの比率はアルゴ
ン60部から100部、ヘリウム40部から0部で充分
である。
全く同様に使用する事が出来る。すなわち、アルゴンと
水素との混合割合が、アルゴンガスが50%以上であれ
ば、アルゴンとヘリウムとの混合ガスの場合と同様であ
るが、水素ガスは危険性を伴うので、水素の混合率はア
ルゴンに対して5%までが好ましい。この程度の混合率
ではグロ−放電が起こらずアルゴンと同じように無声放
電になる。しかし、この混合ガスに水蒸気を飽和させる
とすべてグロ−放電となり、アルゴン/ヘリウムの場合
と同様に使用する事が出来る。なお、グロ−放電に差し
支えない限り窒素ガス、ネオンガス、クリプトンガス等
の不活性ガスを混入しても良い。
温であるが、図3のように不活性ガスをガス導入口(1
1)よりヒ−タ−(12)を有する水蒸気発生器(1
3)に送り発生した水蒸気とガスの混合ガスをヒ−タ−
(15)によって加熱された金属管コイル(14)を通
過させて100℃以上に過熱したものを、予め加熱され
た反応容器中に導入しても安定なグロ−放電が起こる。
このことから、被処理物として、プラスチック、繊維以
外の無機物、例えばガラス、シリコンウエハのプラズマ
処理が可能になる。以上はすべて水蒸気のみであるが、
次に水に溶け易いケトン、例えばアセトンを水の中に2
0%程度混合し図2の方法で不活性ガス中にアセトンと
水蒸気の両方を混在せしめても、全く問題無くグロ−放
電が起こる。そして従来のようにアセトンのみの場合と
比較して臭気が著しく軽減され被処理品を加熱乾燥して
臭気をとる手間を省く事が出来る。
れるものではないが、好ましくは200〜100,00
0Hz、より好ましくは500〜50,000Hz、最
も好ましくは1,000〜10,000Hzである。周
波数が200Hz未満と低すぎては、放電が不安定とな
りグロ−状態とならないため好ましくなく、一方10
0,000Hzを極めて高すぎては発熱が大となり耐熱
性のないフィルム等は変形を起こすので好ましくない。
グロ−放電を行う際の電圧、電流、出力等の条件は被処
理体の性質に応じて適宜選択されるが、一般に電圧は2
000〜4000V、電流は10〜80mA、出力は1
0W〜500Wが好適である。被処理体がプラズマ処理
される時間も被処理体の性質に応じて適宜選択される
が、一般に0.1〜600秒、好ましくは5〜120秒
の処理時間が採用される。
ば、従来の真空プラズマ表面処理法に較べて格段に簡略
化された装置を用い連続的に迅速に表面処理を行うこと
ができるので、工業的に極めて大きな技術的飛躍を成し
遂げるものである。しかも、本発明の大気圧プラズマ処
理法による被処理体の表面改質効果、例えば材質が疎水
性のプラスチックの被処理体の場合、その表面に優れた
親水性を容易に付与することができ、しかもその親水性
の持続性が極めて大きい。例えば、従来法のコロナ放電
処理により得られる親水性は殆んど半日で消失するが、
本発明により得られる親水性は、繊維布の場合、20回
以上洗濯を繰り返しても消失することがない。
理法ではプラズマ表面処理中の発熱量が少ないので、耐
熱性の無い被処理体にも適用できるという更なる長所を
有する。本発明による大気圧プラズマ表面処理法は上記
のような優れた長所を有するのでプラスチックシ−ト、
プラスチックフィルム、合成繊維布、合成繊維等の合成
重合体成形品の表面改質に好適に応用される。このよう
な成形品としてはポリプロピレン、ポリエチレン、塩化
ビニ−ル等の熱収縮性フィルム、ポリプロピレン、ポリ
エチレン、塩化ビニ−ル、ナイロン、ポリエステル、ポ
リイミド、弗素樹脂、ポリ P・フェニルテレフタルア
ミドの如きアラミド樹脂、酢ビエチレン等の一般フィル
ム及びシ−ト並びにポリエステル、ポリプロピレン、ナ
イロン、アクリル、アセテ−ト等の合成繊維や化学繊
維、これ等繊維の布、織布、不織布更には上記合成繊維
及び/または化学繊維及び/又は天然繊維を混紡した
布、織布、不織布等を挙げることができる。
れた熱収縮性ポリプロピレンフィルムは表面が親水性と
なるので、従来適用できなかった水性インキによるフレ
キソ印刷によって表面に容易に印刷ができ、一方本発明
の大気圧プラズマ表面処理を施されたポリエステル織布
は優れた親水性を付与されるので、吸湿性が大巾に改善
されて肌着にも用いることができる等の優れた実用性を
有するものである。本発明を実施例により更に詳しく説
明する。
整器を通し流量を制御したアルゴンガスを予め水を入れ
温度を40℃に設定したガス洗浄瓶を経て容器に導入し
中の空気を置換する。容器中の下部電極の上にポリエス
テルの布を置き、上下電極間に3KHz 4000Vの
電圧を印加すると淡い紫色のグロ−放電が起こりプラズ
マ励起される。30秒後ポリエステルの布を取り出し、
水の上に浮かべると処理された部分はただちに水に濡れ
て透明となる。他の部分は全く濡れないからその差は極
めて大きい。濡れる迄の時間は次の通りである。 ポリエステルの白布の未処理品 >30分 実施例1の処理品 <1秒
し、水素はアルゴン中2%添加した混合ガスを使用し
た。ポリプロピレンフィルムを容器中の下部電極の上に
置き、同様に処理を行った。ダイン指示薬で測定した結
果は54ダイン以上を示し、未処理のものは38ダイン
以下である。この場合も100℃で1時間放置しても5
0ダイン以上を保ち濡れ性の低下はほとんど見られな
い。
気圧下、グロ−放電しにくいアルゴンガス中に水蒸気も
しくは水蒸気とケトン類を添加、混合することによって
安定したグロ−放電を行い、その結果両電極間に位置せ
しめた被処理体の表面に親水性を付与する大気圧グロ−
放電プラズマ処理を行うことが出来、従来の大気圧グロ
−放電プラズマ処理方法に比して経済性にすぐれた大気
圧グロ−放電プラズマ処理を行うことができた。
す説明図
を示す説明図
を示す説明図
示す
Claims (6)
- 【請求項1】 相対する電極の少なくとも一方の電極の
表面に固体誘電体を配設したプラズマ発生装置にアルゴ
ンガスまたはアルゴンガスにヘリウム又は水素を混合し
た混合ガスに、室温または規定された温度で水蒸気又は
水蒸気とケトン類とを添加して得たガスを導入し、大気
圧下で高周波電圧を印加してグロ−放電を発生させプラ
ズマ励起を行い、プラズマ発生装置内の電極間に位置せ
しめたプラスチック類又は繊維類の表面処理を行うこと
を特徴とする大気圧グロ−放電によるプラズマ表面処理
方法。 - 【請求項2】 アルゴンとヘリウムの混合ガスの比率は
アルゴン60部から100部、ヘリウム40部から0部
である請求項1記載のアルゴンとヘリウムの混合ガス。 - 【請求項3】 アルゴンと水素の混合ガスの比率はアル
ゴン95部から100部、水素5部から0部である請求
項1記載のアルゴンと水素の混合ガス。 - 【請求項4】 水蒸気の混合比率はアルゴン、アルゴン
/ヘリウム、アルゴン/水素に含有される水蒸気が1%
から飽和迄である請求項1記載の水蒸気。 - 【請求項5】 水蒸気の温度が室温から200℃である
請求項1記載の温度範囲。 - 【請求項6】 ケトンは水溶性のケトンである範囲項第
1項記載のケトン類。
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DE69321088T DE69321088T2 (de) | 1992-12-24 | 1993-12-20 | Verfahren zur Plasmabehandlung mittels einer Glimmentladung bei Atmosphärendruck |
US08/427,687 US5543017A (en) | 1992-12-24 | 1995-04-24 | Atmospheric pressure glow discharge plasma treatment method |
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Families Citing this family (39)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3014334B2 (ja) * | 1996-11-29 | 2000-02-28 | キヤノン販売株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
US5972176A (en) * | 1997-10-03 | 1999-10-26 | 3M Innovative Properties Company | Corona treatment of polymers |
US6545121B1 (en) * | 1998-01-28 | 2003-04-08 | Ube Industries, Ltd. | Polyimide film having denatured surface |
US6106653A (en) * | 1998-03-31 | 2000-08-22 | Exxon Research And Engineering Co. | Water vapor plasma treatment of glass surfaces |
US6117401A (en) * | 1998-08-04 | 2000-09-12 | Juvan; Christian | Physico-chemical conversion reactor system with a fluid-flow-field constrictor |
WO2000010703A1 (en) * | 1998-08-20 | 2000-03-02 | The University Of Tennessee Research Corporation | Plasma treatment of polymer materials for increased dyeability |
TW442992B (en) * | 1998-10-06 | 2001-06-23 | Toshiba Battery | Separator used for battery, its manufacturing method and alkaline secondary battery installed with the separator |
TW200510790A (en) * | 1999-04-15 | 2005-03-16 | Konishiroku Photo Ind | Manufacturing method of protective film for polarizing plate |
EP1125972A1 (fr) * | 2000-02-11 | 2001-08-22 | L'air Liquide Société Anonyme pour l'étude et l'exploitation des procédés Georges Claude | Procédé de traitement de surface de subtrats polymères |
EP1326718B2 (en) * | 2000-10-04 | 2007-09-05 | Dow Corning Ireland Limited | Method and apparatus for forming a coating |
JP4254236B2 (ja) * | 2000-12-12 | 2009-04-15 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | 薄膜形成方法 |
US6764658B2 (en) | 2002-01-08 | 2004-07-20 | Wisconsin Alumni Research Foundation | Plasma generator |
GB0208261D0 (en) * | 2002-04-10 | 2002-05-22 | Dow Corning | An atmospheric pressure plasma assembly |
TW200409669A (en) * | 2002-04-10 | 2004-06-16 | Dow Corning Ireland Ltd | Protective coating composition |
TW200308187A (en) * | 2002-04-10 | 2003-12-16 | Dow Corning Ireland Ltd | An atmospheric pressure plasma assembly |
US7700500B2 (en) | 2002-12-23 | 2010-04-20 | Kimberly-Clark Worldwide, Inc. | Durable hydrophilic treatment for a biodegradable polymeric substrate |
GB0323295D0 (en) * | 2003-10-04 | 2003-11-05 | Dow Corning | Deposition of thin films |
JP2005223167A (ja) * | 2004-02-06 | 2005-08-18 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 親水性処理方法及び配線パターンの形成方法 |
EP2154937A2 (en) * | 2004-11-05 | 2010-02-17 | Dow Corning Ireland Limited | Plasma system |
GB0509648D0 (en) * | 2005-05-12 | 2005-06-15 | Dow Corning Ireland Ltd | Plasma system to deposit adhesion primer layers |
US7313310B2 (en) * | 2005-05-25 | 2007-12-25 | Honeywell International Inc. | Plasma directing baffle and method of use |
JP4930913B2 (ja) | 2005-09-12 | 2012-05-16 | 東レバッテリーセパレータフィルム合同会社 | 多孔性素材のプラズマ処理方法及び処理装置 |
JP2008084820A (ja) * | 2006-08-29 | 2008-04-10 | Toshiba Corp | 大気圧放電表面処理装置 |
WO2008060522A2 (en) * | 2006-11-10 | 2008-05-22 | The Regents Of The University Of California | Atmospheric pressure plasma-induced graft polymerization |
JP4261590B2 (ja) * | 2007-01-31 | 2009-04-30 | 株式会社日立エンジニアリング・アンド・サービス | 無接着剤アラミド−ポリエステル積層体、その製造方法及び製造装置 |
JP2008214491A (ja) * | 2007-03-05 | 2008-09-18 | Ulvac Japan Ltd | 表面処理方法 |
JP4402734B1 (ja) * | 2008-07-30 | 2010-01-20 | 株式会社日立エンジニアリング・アンド・サービス | 無接着剤アラミド−ポリフェニレンサルファイド積層体の製造方法、回転電機の絶縁部材及び絶縁構造 |
JP5118671B2 (ja) * | 2008-09-03 | 2013-01-16 | 日新製鋼株式会社 | 表面処理ステンレス鋼板の製造方法 |
JP5118593B2 (ja) * | 2008-09-18 | 2013-01-16 | 日新製鋼株式会社 | 表面処理Al系めっき鋼板の製造方法 |
US20110297532A1 (en) * | 2010-06-07 | 2011-12-08 | General Electric Company | Apparatus and method for producing plasma during milling for processing of material compositions |
KR102050029B1 (ko) * | 2011-08-26 | 2019-11-29 | 삼성디스플레이 주식회사 | 도너 기판, 도너 기판의 제조 방법, 유기 발광 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법 |
EP2985074A4 (en) | 2013-04-08 | 2017-02-01 | Okino, Akitoshi | Plasma treatment method, plastma treatment device and long plasma-treated object |
CN103804940A (zh) * | 2014-02-21 | 2014-05-21 | 福建农林大学 | 一种植物纤维的大气压冷等离子体改性方法及其在木塑复合材料中的应用 |
CN104695201B (zh) * | 2015-03-10 | 2016-09-21 | 渤扬复合面料科技(昆山)有限公司 | 翻转式电极组纺织品大气等离子处理机构及双面处理机构 |
KR101989843B1 (ko) * | 2017-12-06 | 2019-09-30 | 한국섬유개발연구원 | 다공성 섬유로 이루어진 섬유구조체의 제조방법 |
EP3585136A1 (en) | 2018-06-20 | 2019-12-25 | Masarykova Univerzita | A method and device for generating low-temperature electrical water-based plasma at near-atmospheric pressures and its use |
KR102243998B1 (ko) * | 2019-06-06 | 2021-04-23 | 박봄이 | 유수 분리 기재의 표면 처리 장치 |
US20220349093A1 (en) | 2019-06-11 | 2022-11-03 | Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. | Filament and fishing line |
WO2023190265A1 (ja) * | 2022-03-29 | 2023-10-05 | 東レ株式会社 | 二軸配向ポリエステルフィルム |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3632299A (en) * | 1969-09-19 | 1972-01-04 | Us Agriculture | Shrinkproofing of animal fibers by passing said through an electrical discharge zone containing ozone |
GB1326197A (en) * | 1969-11-26 | 1973-08-08 | Fydelor P J | Production of polymeric materials using electrical gas discharges |
US3779882A (en) * | 1971-04-01 | 1973-12-18 | Union Carbide Corp | Electrode method for the surface treatment of thermoplastic materials |
US4131691A (en) * | 1977-09-22 | 1978-12-26 | Surface Activation Corporation | Coating a substrate by glow discharge graft polymerization |
US4276138A (en) * | 1978-06-27 | 1981-06-30 | Agency Of Industrial Science & Technology | Method for reducing electrostatic charging on shaped articles of polyvinyl chloride resins |
JPS56831A (en) * | 1979-06-18 | 1981-01-07 | Shin Etsu Chem Co Ltd | Surface treatment of silicone resin molded product |
JPS56118430A (en) * | 1980-02-26 | 1981-09-17 | Toray Ind Inc | Vinyl chloride resin molded article in which surface is modified |
JPS59140233A (ja) * | 1983-01-31 | 1984-08-11 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 合成樹脂成形品の表面処理方法 |
JPS59218789A (ja) * | 1983-05-06 | 1984-12-10 | 信越化学工業株式会社 | フレキシブルプリント配線基板およびその製造方法 |
US4597843A (en) * | 1984-10-12 | 1986-07-01 | American Cyanamid Company | Enhanced bulk porosity of polymer structures via plasma technology |
DE3705482A1 (de) * | 1987-02-20 | 1988-09-01 | Hoechst Ag | Verfahren und anordnung zur oberflaechenvorbehandlung von kunststoff mittels einer elektrischen koronaentladung |
JP2990608B2 (ja) * | 1989-12-13 | 1999-12-13 | 株式会社ブリヂストン | 表面処理方法 |
JP3063769B2 (ja) * | 1990-07-17 | 2000-07-12 | イーシー化学株式会社 | 大気圧プラズマ表面処理法 |
US5316739A (en) * | 1991-08-20 | 1994-05-31 | Bridgestone Corporation | Method and apparatus for surface treatment |
GB9124467D0 (en) * | 1991-11-18 | 1992-01-08 | Health Lab Service Board | Optical coatings |
-
1992
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