DE60021997T2 - Magnetischer MRAM Speicher mit einer darin integrierten Halbleiteranordnung - Google Patents

Magnetischer MRAM Speicher mit einer darin integrierten Halbleiteranordnung Download PDF

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Description

  • Gebiet der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich im Allgemeinen auf Speicherzellen und im Besonderen auf eine magnetische Schreib-/Lesespeicherzelle.
  • Eine Vielfalt von magnetischen Materialien und Strukturen sind verwendet worden, um Magnetoresistenzmaterialien für nicht-flüchtige Speicherelemente, Sensoren, Lese-/Schreibköpfe für Diskettenlaufwerke und andere magnetartige Anwendungen zu bilden. Ein Magnetoresistenzelement nach dem Stand der Technikverwendete ein Magnetoresistenzmaterial, das über zwei magnetische Schichten verfügt, die durch eine Leitungsschicht getrennt sind. Die Magnetisierungsvektoren der zwei magnetischen Schichten sind in der Abwesenheit eines magnetischen Feldes typischerweise antiparallel zueinander angeordnet. Die Magnetisierungsvektoren einer der Schichten zeigen in eine Richtung und die Magnetisierungsvektoren der anderen Schicht zeigen immer in die entgegengesetzte Richtung. Die magnetischen Merkmale solcher magnetischer Materialien erfordern typischerweise eine Breite, die größer als ein Mikrometer ist, um die Ausrichtung der Magnetisierungsvektoren entlang der Breite der Zelle aufrecht zu erhalten. Das große Breitenerfordernis begrenzt die Dichte von Speichern, die solche Materialien verwenden. Zusätzlich erfordert ein Lesen des Zustandes solcher Speicher typischerweise einen zweiphasigen Lesevorgang, der zu sehr langen Lesezyklen führt. Der zweiphasige Lesevorgang erfordert außerdem eine zusätzliche Schaltung, um den Zustand des Speichers zu bestimmen, wodurch die Kosten solcher Speicher ansteigen. Ein Beispiel eines solchen magnetischen Materials und Speichers wird in dem US-Patent Nr. 4,780,848, erteilt an Daughton et al. am 25. Oktober 1988, offenbart.
  • Ein anderes Material nach dem Stand der Technik verwendet mehrschichtige Riesenmagnetoresistenzmaterialien und eine Submikron-Breite, um die Dichte zu erhöhen. In dieser Struktur sind die zwei magnetischen Schichten außerdem durch eine Leitungsschicht getrennt und die Magnetisierungsvektoren sind parallel zu der Länge des magnetischen Materials angeordnet. In einer Ausführungsform wird der Magnetisierungsvektor einer magnetischen Materialschicht immer in einer Richtung aufrechterhalten, während der Magnetisierungsvektor der zweiten magnetischen Schicht zwischen einer parallelen und antiparallelen Ausrichtung zu dem ersten Vektor schaltet.
  • In diesen zwei oben beschriebenen Materialien leiten Elektronen, die über einen spezifischen "Spin" (Magnetisierungsvektor zeigt in eine bestimmte Richtung) verfügen, auf gleicher Ebene durch den Stapel der zwei magnetischen Schichten und einer Leitungsabstandsschicht. Wenn der Spin der zwei magnetischen Schichten der selbe ist, wandern die Elektronen mit einer geringen Streuung durch den Stapel, was in einem niedrigen Widerstand resultiert. Wenn der Spin einer der magnetischen Schichten entgegengesetzt zu der anderen magnetischen Schicht ausgerichtet ist, kann das Elektron mit einem gegebenen Spin nicht einfach zu der anderen magnetischen Schicht wandern. Dies resultiert in einer erhöhten Elektronenstreuung und daher kann ein größerer Widerstand gemessen werden.
  • Um den logischen Zustand einer Speicherzelle zu bestimmen, die diese Materialien verwendet, verfügt die Speicherzelle über eine Referenzzelle und eine aktive Zelle. Die Referenzzelle stellt immer eine Spannung zur Verfügung, die sich auf einen Zustand bezieht (entweder immer eine "1" oder immer eine "0"). Die Ausgabe der Referenzzelle wird mit der Ausgabe der aktiven Zelle verglichen, um den Zustand der Speicherzelle zu bestimmen. Das Erfordernis einer aktiven Zelle und einer Referenzzelle verringert die Dichte eines Speichers, der solche Elemente verwendet. Ein Beispiel eines solchen magnetischen Materials und Speichers wird in dem US-Patent Nr. 5,343,422, erteilt an Kung et al. am 30. August 1994, offenbart.
  • Noch ein anderes Material nach dem Stand der Technik, das mehrschichtige Riesenmagnetoresistenzmaterialien mit einer Submikron-Breite verwendet, umfasst zwei magnetische Schichten, die stattdessen durch eine Isolierzwischenschicht (bekannt als ein Tunnelübergang) getrennt werden. In einer Ausführungsform wird der Magnetisierungsvektor eines magnetischen Materials immer in einer Richtung aufrechterhalten, während der Magnetisierungsvektor der zwei ten magnetischen Schicht zwischen einer parallelen und einer antiparallelen (parallelen aber entgegengesetzten) Ausrichtung zu dem ersten Vektor schaltet.
  • In diesem Tunnelübergang tunneln Elektronen, die über einen spezifischen "Spin" (Magnetisierungsvektor zeigt in eine spezifische Richtung) verfügen, von einer magnetischen Schicht durch die Isolierzwischenschicht zu der anderen magnetischen Schicht. Wenn der Spin der empfangenen magnetischen Schicht derselbe wie der des Elektrons ist, tunnelt das Elektron leicht in die magnetische Schicht und daher wird ein geringer Widerstand gemessen. Wenn der Spin der empfangenen magnetischen Schicht dem des Elektrons entgegengesetzt ist, kann das Elektron nicht einfach zu der zweiten magnetischen Schicht tunneln und es wird ein größerer Widerstand gemessen.
  • Um den logischen Zustand einer Speicherzelle zu messen, die dieses Material verwendet, wird ein Widerstandsunterschied zwischen den zwei Möglichkeiten detektiert. Ein Beispiel eines solchen magnetischen Materials und Speichers wird in dem US-Patent Nr. 5,734,605, erteilt an Zhu et al. am 31. März 1998, offenbart.
  • Ein magnetischer Schreib-/Lesespeicher (MRAM) ist ein nicht-flüchtiger Speicher, der im Wesentlichen eines dieser Materialien, eine aktive Vorrichtung, die ein Transistor oder eine mit einer Messleitung verbundenen Diode sein kann, und eine Wortleitung umfasst. Der MRAM setzt den Magnetoresistenzeffekt ein, um Speicherzustände zu speichern. Magnetische Vektoren in einer oder allen magnetischen Schichten des Materials werden sehr schnell von einer Richtung in eine entgegengesetzte Richtung geschaltet, wenn dem Material ein magnetisches Feld über einem bestimmten Schwellenwert zugeführt wird. Entsprechend der Ausrichtung der magnetischen Vektoren in dem Material werden Zustände gespeichert, zum Beispiel kann eine Ausrichtung als eine logische "0" und eine andere Ausrichtung als eine logische "1" definiert werden. Das Material erhält diese Zustände aufrecht, sogar ohne dass ein magnetisches Feld zugeführt wird. Die Zustände in dem Material können dadurch, dass ein Strom in der Messleitung durch die Zelle geleitet wird, aufgrund des Unterschiedes zwischen den Widerständen der zwei magnetischen Zustände gelesen werden. Ein Beispiel eines solchen magnetischen Materials und Speichers wird in der US 5,838,608 offenbart.
  • Jedes der oben beschriebenen Speicherelemente erfordert eine Diode oder einen Transistor, um den Strom durch das Element zu steuern. Die Diode oder der Transistor ist mit dem Material, zum Beispiel Drain, Gate, Source, magnetische Schicht, Isolator (oder Leiter) und magnetische Schicht, in Reihe geschaltet. Dieser Transistor für jede Speicherzelle erhöht die Kosten des Speichers und verringert die Dichte des Chips. Ein Beispiel einer solchen Schaltungsanordnung wird in der US 5,734,605 offenbart.
  • Zusätzlich wird der Widerstand des Elementes in den Speicherelementen basierend auf eine Leitungszwischenschicht hauptsächlich durch den Widerstand der Leitungszwischenschicht gesteuert, der gering ist. In dem Falle einer Isolierzwischenschicht hängt der Widerstand des Elementes exponentiell von der Dicke der Isolierzwischenschicht ab und ist groß und schwierig, gleichförmig und reproduzierbar zu steuern. Außerdem ist der Widerstand umgekehrt proportional zu der Größe (Bereich) des magnetischen Bits; daher nimmt der Widerstand zu, wenn die Zellengröße für eine höhere Speicherdichte abnimmt.
  • Die WO-A-98 25263 offenbart eine magnetoelektronische Vorrichtung, die ein Substrat umfasst, auf dem ein erster Aufbau und ein zweiter Aufbau aus einem magnetischen Material zur Verfügung gestellt wird, wobei die Magnetisierung mindestens des zweiten Aufbaus nicht fest ist, wobei die zwei Aufbauten im Wesentlichen planparallel angeordnet und gemeinsam isoliert sind und gemeinsam über eine Schicht aus Halbleitermaterial verbunden sind, in der ein quasizweidimensionales Elektronengas erzeugt werden kann.
  • Die DE-A-43 20 514 offenbart ein magnetooptisches Speichersystem mit zwei oder drei ferromagnetischen Schichten mit dazwischen liegenden Halbleiterschichten.
  • Zusammenfassung der Erfindung
  • In einem ersten Aspekt stellt die vorliegende Erfindung eine magnetische Speicherzelle gemäß Anspruch 1 zur Verfügung.
  • Weitere Aspekte werden in den abhängigen Ansprüchen dargelegt.
  • Kurze Beschreibung der Zeichnungen
  • 1 ist eine vereinfachte Seitenansicht einer mehrschichtigen magnetischen Speicherzelle gemäß der vorliegenden Erfindung;
  • 2 ist eine vereinfachte Explosionsansicht einer in 1 dargestellten mehrschichtigen magnetischen Speicherzelle;
  • 3 ist eine vereinfachte Schnittansicht einer Speichereinheit einschließlich der mehrschichtigen magnetischen Speicherzelle von 1;
  • 4 ist eine schematische Darstellung eines Arrays von in 3 dargestellten Zellen;
  • 5 ist eine schematische Darstellung einer anderen Ausführungsform eines Arrays von Zellen, ähnlich den in 3 dargestellten.
  • Ausführliche Beschreibung der bevorzugten Ausführungsform
  • Es wird auf 1 Bezug genommen, darin umfasst eine Speicherzelle gemäß der vorliegenden Erfindung eine magnetische Speicherzelle 10, die über eine erste ferromagnetische Schicht 11 und eine zweite ferromagnetische Schicht 13 verfügt, die durch eine Halbleiterschicht 12 getrennt sind. Die erste und zweite ferromagnetische Schicht 11 beziehungsweise 13 kann zum Beispiel jeweils aus einzelnen Schichten von ferromagnetischen Materialien bestehen, wie zum Beispiel Nickel, Eisen, Kobalt oder deren Legierungen. Als ein anderes Beispiel können die ferromagnetischen Schichten 11 und 13 eine zusammengesetzte ferromagnetische Schicht bilden, wie zum Beispiel eine Schicht aus Nickel-Eisen-Kobalt, die eine Schicht aus Kobalt-Eisen bedeckt, oder dreischichtige Strukturen bilden, die Schichten aus Kobalt-Eisen und Nickel-Eisen-Kobalt und Kobalt-Eisen mit Kobalt-Eisen an der Schnittstelle zu benachbarten Schichten umfassen.
  • Als ein anderes Beispiel kann eine der ferromagnetischen Schichten 11 beziehungsweise 13 durch eine Schicht von antiferromagnetischem manganbasiertem Material, wie Ei sen-Mangan, Nickel-Mangan, Platin-Mangan, Iridium-Mangan oder einem ähnlichen Pinning-Material tauschgepinnt sein.
  • Materialien, die für die Halbleiterschicht 12 geeignet sind, umfassen zum Beispiel die meisten Halbleitermaterialien, wie zum Beispiel Germanium, Silizium oder Galliumarsenid. Die erste und zweite ferromagnetische Schicht 11 beziehungsweise 13 umfassen typischerweise unterschiedliche Materialien und/oder unterschiedliche Dicken, oder dass eine Schicht tauschgepinnt ist, wodurch eine deutliche Widerstandsänderung in Abhängigkeit von dem magnetischen Zustand zur Verfügung gestellt wird.
  • Obwohl in der vorliegenden Ausführungsform gezeigt wird, dass die magnetische Zelle 10 über zwei ferromagnetische Schichten verfügt, ist klar, dass sie über zusätzliche, obenauf gestapelte Schichten verfügen kann, die mehrere Zellen bilden. Zum Beispiel kann ein anderes Halbleitermaterial (nicht gezeigt) über der zweiten ferromagnetischen Schicht 13 und eine dritte ferromagnetische Schicht (nicht gezeigt) obenauf der zweiten Halbleiterschicht angeordnet sein.
  • Es ist außerdem klar, dass es eine Grenzflächenschicht aus einem anderen Material zwischen der ferromagnetischen Schicht und der Halbleiterschicht geben kann, um das Injizieren des Elektrons in eine ferromagnetische Schicht und aus einer ferromagnetischen Schicht in eine Halbleiterschicht zu verbessern.
  • Es wird nun auf 2 Bezug genommen, darin wird eine vergrößerte Explosionsansicht der Zelle 10 dargestellt. Teile der 2, die über die selben Bezugszeichen wie 1 verfügen, sind die selben wie die entsprechenden Elemente in 1. In der bevorzugten Ausführungsform sind die ferromagnetischen Schichten 11 und 13 rechtwinklig und werden so gebildet, dass sich die Easy-Magnetisierungsachse entlang einer Länge 27 und nicht entlang einer Breite 26 befindet. Die ferromagnetischen Schichten 11 und 13 verfügen beide über Magnetisierungsvektoren 21, die im Wesentlichen entlang der Länge 27 angeordnet sind, das heißt im Wesentlichen parallel zu der Länge 27. Zusätzlich wird die Breite 26 so gebildet, dass sie kleiner als die Breite der Wände der magnetischen Domainen oder die Übergangsbreite in den Schichten 11 und 13 ist. Folglich können die Vektoren 21 nicht parallel zu der Breite 26 sein. Typischerweise führen Breiten von weniger als 1,0 bis 1,2 Mikrometer zu einer solchen Beschränkung. In der bevorzugten Ausführungsform ist die Breite 26 kleiner als ein Mikrometer und ist so klein, wie aufgrund der Herstellungstechnologie möglich, und die Länge 27 größer als die Breite 26, im Allgemeinen fünf mal größer oder größer.
  • Wie in 1 dargestellt, stellen die Vektoren 21 und 22 in den ferromagnetischen Schichten 11 und 13 zwei verschiedene Magnetisierungszustände in der Zelle 10 dar. In dieser Ausführungsform ist der magnetische Vektor 21 in der ferromagnetischen Schicht 11 durch eine magnetische Schicht (später beschrieben) in eine Richtung "gepinnt". Eine andere Ausführungsform kann umfassen, dass die ferromagnetische Schicht 11 sowohl über den Vektor 21 als auch 22 verfügt. Es ist klar, dass dies die selben Vektoren sind und dass ihnen nur verschiedene Zahlen gegeben werden, um unterschiedliche Zustände anzuzeigen. Ein Zustand wird als eine logische "0" bezeichnet und der andere Zustand ist eine logische "1". Obwohl dem Fachmann auf dem Gebiet klar ist, dass beiden Zuständen jede beliebige logische Definition zugewiesen werden kann, befindet sich die Zelle 10 in diesem Beispiel, wenn die Vektoren 21 der ferromagnetischen Schichten 11 und 13 in 1 jeweils nach links zeigen, in einem logischen "0"-Zustand und, wenn sich der Vektor 22 in der ferromagnetischen Schicht 13 in der entgegengesetzten Ausrichtung befindet, in einem logischen "1"-Zustand. Somit zeigen die Magnetisierungsvektoren in den beiden Schichten 11 und 13 für einen ersten Zustand in eine erste Richtung und für einen zweiten Zustand in die entgegengesetzte Richtung. Die magnetischen Vektoren zeigen nur entgegengesetzte Richtungen (antiparallel) wenn der Zelle 10 spezifische magnetische Felder zugeführt werden, wie sogleich ausführlicher erklärt werden wird.
  • Die Zelle 10 kann so konstruiert sein, dass eine der ferromagnetischen Schichten 11 oder 13 dünner als die andere ist, so dass ein kleineres magnetisches Feld die Magnetisierungsvektoren der dünneren Schicht schaltet, als erforderlich ist, um den Magnetisierungsvektor der anderen Schicht zu schalten. Eine andere Art und Weise, dieses Ergebnis zu erreichen, besteht darin, eine Schicht aus einem magnetischen Material zu bilden, das ein stärkeres magnetisches Feld benötigt, um die Magnetisierungsvektoren zu schalten.
  • Die Bereitstellung der Halbleiterschicht 12 zwischen den ferromagnetischen Schichten 11 und 13 erzeugt ein Mittel, das einen Stromfluss (Elektronendrift) senkrecht durch die Halbleiterschicht 12 erlaubt, von der ferromagnetischen Schicht 11 zu der ferromagnetischen Schicht 13 (oder umgekehrt). Zum Beispiel wird in dieser Struktur in Abhängigkeit von der Polarisation des ferromagnetischen Materials 11 ein größerer Anteil von Elektronen mit einem gegebenen Spin (aufwärts oder abwärts) in das Halbleitermaterial injiziert. Die Elektronen halten dann ihre Spin-Polarisation während des Transportes durch das Halbleitermaterial aufrecht und driften zu dem anderen ferromagnetischen Kontakt 13. Wenn die Polarisation des anderen ferromagnetischen Kontaktes 13 die selbe ist, wie die des injizierenden ferromagnetischen Kontaktes 11, dann driften die Elektronen mit einem minimalen Widerstand zu dem ferromagnetischen Kontakt 13. Wenn die Polarisation des anderen ferromagnetischen Kontaktes 13 zu dem injizierenden ferromagnetischen Kontakt 11 entgegengesetzt ist, sind einige der Elektronen nicht in der Lage zu dem ferromagnetischen Kontakt 13 zu driften. Daher ist der Widerstand der Zelle höher. Wenn die Magnetisierungsvektoren in den Schichten 11 und 13 antiparallel sind, bleibt der Widerstand der Zelle 10 sehr hoch. Wenn die Magnetisierungsvektoren in den ferromagnetischen Schichten 11 und 13 parallel sind, dann fällt der Widerstand der Zelle 10 merklich.
  • 3 ist eine vereinfachte Schnittansicht einer Zelle 30, ähnlich der in 1 dargestellten, die in einer ersten Ausführungsform verbunden ist. Es ist natürlich klar, dass 4 der Einfachheit halber nur eine einer einzelnen Reihe von Zellen in einem Array darstellt und dass sich das Array in das Blatt Papier hinein und heraus sowie nach links und rechts ausdehnt. Die Zelle 30 umfasst die erste und zweite ferromagnetische Schicht 11 beziehungsweise 13 mit einer dazwischenliegenden Schicht des Halbleitermaterials 12.
  • In dieser Ausführungsform ist eine antiferromagnetische Schicht 34 in einem elektrischen Kontakt mit der ferromagnetischen Schicht 11 angeordnet, für ein Pinning des magnetischen Vektors 21 in eine spezifische Richtung. Die magnetische Schicht 34 kann zum Beispiel Eisen-Mangan oder Nickel-Mangan oder Platin-Mangan oder Iridium-Mangan oder ein ähnliches Pinning-Material umfassen. Ein elektrisch leitendes Material, gekennzeichnet durch eine Ziffernleitung 35, befindet sich in einem elektrischen Kontakt mit der ferromagnetischen Schicht 34. Ein anderes elektrisch leitendes Material, gekennzeichnet durch eine Bitleitung 36, befindet sich in einem elektrischen Kontakt mit der ferromagnetischen Schicht 13.
  • In der vorliegenden Erfindung sind die Gatekontakte 37 optional. Ohne die Gatekontakte 37 dient die Halbleiterschicht 12 als eine Diode, wobei sie entweder eine Schottky- oder eine pn-Übergangsdiode sein kann. In diesem Falle hängt die Elektronenladungsleitung von der Richtung der Vorspannung ab, die zwischen den Kontakten 35 und 36 zugeführt wird. Mit einem Gate 37 dient der Halbleiter als ein Transistor, wobei die Elektronenleitung durch einen Kanal abläuft und die Elektronenladung durch das Gate moduliert wird. Das Gate kann gemäß dem US-Patent Nr. 5,943,574, erteilt an Tehrani et al. am 24. August 1999, gebildet werden.
  • Es wird auf 4 Bezug genommen, darin wird eine Ausführungsform eines Arrays 40 von Zellen, ähnlich der Zelle 30, dargestellt, wobei die Zellen 30 in Zeilen und Spalten angeordnet sind. Der Einfachheit halber werden nur die vier Zellen 30a bis 30d dargestellt, aber es ist klar, dass jede gewünschte Zahl von Zellen, die praktischerweise hergestellt werden kann, eingesetzt werden kann. Es werden die vier Dioden 41 bis 44 dargestellt, die jeweils mit den Zellen 30a30d verknüpft sind. In dieser Ausführungsform sind die Widerstände der Zellen 30a30d und der Dioden 4144 jeweils in der Halbleiterschicht 12 inhärent.
  • Es wird weiter auf 4 Bezug genommen, darin ist die ferromagnetische Schicht 13 der Zelle 30 mit der Bitleitung 36 und die ferromagnetische Schicht 11 der Zelle 30 durch die ferromagnetische Schicht 34 mit der Ziffernleitung 35 verbunden. Somit wird die Zelle 30 durch ein Auswählen der Bitleitung 36 und der Ziffernleitung 35 eindeutig adressiert. Jede Änderung des Widerstandes der Zelle 30 kann leicht und schnell durch ein Verbinden einer Messvorrichtung zwischen der Bitleitung 36 und der Ziffernleitung 35 erfasst werden. Die Diodenwirkung der Halbleiterschicht 12 begrenzt den Stromfluss durch die Zelle 30 und verhindert im Wesentlichen, dass irgend ein Strompfad in dem Array 40 gebildet wird.
  • Es wird auf 5 Bezug genommen, darin wird eine andere Ausführungsform eines Arrays 50 von Zellen, ähnlich der Zelle 30, dargestellt, wobei die Zellen in Zeilen und Spalten angeordnet sind. Der Einfachheit halber werden nur die vier Zellen 30e bis 30h dargestellt, aber es ist klar, dass jede gewünschte Zahl von Zellen, die praktischerweise hergestellt werden kann, eingesetzt werden kann. Es wird eine Mehrzahl von Transistoren 51 bis 54 gezeigt, die jeweils mit den Zellen 30e bis 30h verknüpft sind. In dieser Ausführungsform sind die Widerstände der Zellen 30e30h und der Transistoren 5154 jeweils in der Halbleiterschicht 12 inhärent. Für jede Zelle 30e30h ist die erste ferromagnetische Schicht 11 zwischen der Bitleitung 36 und dem entsprechenden Transistor 5154 und die zweite ferromagnetische Schicht 13 zwischen der Ziffernleitung 35 und dem entsprechenden Transistor 5154 gekoppelt. Die Gates der Transistoren 51 bis 54 umfassen zum Beispiel ein Polysiliziummaterial. Das Gate eines jeden Transistors 51 bis 54 dient als ein Schalter zum Auswählen einer (eines) besonderen zu lesenden Zelle (Bits). Diese Anordnung, bei der die Diode oder der Transistor in der Speicherzelle enthalten sind, gewährleistet eine gegenüber dem Stand der Technik erhöhte Dichte.
  • Wie oben gezeigt, ist nun eine aktive Vorrichtung in dem Speicherelement integriert. Dies resultiert in einem einfacheren Speicherelement und verringert die Kosten des Speichers und erhöht die Dichte des Chips.
  • Zusätzlich kann der Widerstand des Elementes leicht durch die Dicke und/oder Dotierung der Halbleiterzwischenschicht gesteuert werden. Dies resultiert in einer guten Steuerung des Widerstandes, um einen Speicher mit hoher Ausbeute und niedrigen Kosten zu erhalten. Zusätzlich kann der leicht steuerbare Widerstand des Elementes verwendet werden, um den Widerstand des Elementes abzustimmen, um die integrierte Hochgeschwindigkeitsschaltung zu erhalten.
  • Zusätzlich braucht die Dicke der Halbleiterschicht, anders als in dem Tunnelungsfall, nicht sehr dünn zu sein, da der Widerstand durch die Dotierung in dem Halbleiter gesteuert wird. Daher kann die Neelsche Kopplung zwischen den magnetischen Schichten verringert und eine symmetrische Hysterese-Schleife erreicht werden.

Claims (7)

  1. Magnetische Speicherzelle (300), in der eine erste ferromagnetische Schicht (11) und eine zweite ferromagnetische Schicht (13) zur Verfügung gestellt werden, gekennzeichnet durch: eine Halbleiterschicht (12), die zwischen der ersten und zweiten ferromagnetischen Schicht angeordnet ist, wobei die Halbleiterschicht einen pn-Übergang mit der ersten und/oder der zweiten ferromagnetischen Schicht bildet.
  2. Magnetische Speicherzelle gemäß Anspruch 1, wobei die Halbleiterschicht einen Schottky-Übergang mit der ersten und/oder der zweiten ferromagnetischen Schicht bildet.
  3. Magnetische Speicherzelle gemäß Anspruch 1, die weiterhin umfasst: eine Ziffernleitung (35), die mit der ersten ferromagnetischen Schicht elektrisch verbunden ist; und eine Bitleitung (36), die mit der zweiten ferromagnetischen Schicht elektrisch verbunden ist,
  4. Magnetische Speicherzelle gemäß Anspruch 4, die weiterhin eine magnetische Schicht (34) umfasst, die zwischen der ersten ferromagnetischen Schicht und der Ziffernleitung für das Pinning eines magnetischen Vektors in der ersten ferromagnetischen Schicht angeordnet ist.
  5. Magnetische Speicherzelle gemäß Anspruch 1, die weiterhin einen Gatekontakt (37) umfasst, der mit einem Abstand von der Schicht aus Halbleitermaterial zum Steuern des Elektronenflusses durch die Halbleiterschicht angeordnet ist.
  6. Magnetische Speicherzelle gemäß Anspruch 5, die weiterhin umfasst: eine Ziffernleitung (35), die mit der ersten ferromagnetischen Schicht elektrisch verbunden ist; und eine Bitleitung (36), die mit der zweiten ferromagnetischen Schicht elektrisch verbunden ist.
  7. Magnetische Speicherzelle gemäß Anspruch 6, die weiterhin eine magnetische Schicht (34) umfasst, die zwischen der ersten ferromagnetischen Schicht und der Ziffernleitung für das Pinning eines magnetischen Vektors in der ersten ferromagnetischen Schicht angeordnet ist.
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