DE4134418A1 - Basisplatten-foerdereinrichtung - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Basisplatten- Fördereinrichtung für eine Filmaufklebe-Einrichtung, insbesonde­ re auf eine Basisplatten-Fördereinrichtung, die automatisch die Basisplatte in eine vorgeschriebene Position zwischen zwei Pro­ zeßeinheiten plaziert.

Eine konventionelle Basisplatten-Fördereinrichtung mit einem Me­ chanismus zur Seitwärtsbewegung der Basisplatte wird für eine Filmaufklebe-Einrichtung, eine Filmabtragungs-Einrichtung oder ähnlichem verwendet.

Mit der kürzlich eingeführten Technik, Basisplatten mit Mehr­ fachschichten zu versehen, haben die Dicken der Platten und die Schwierigkeiten der Leitungsführungen auf den Platten zugenom­ men. Es wurde eine automatische Filmaufklebungs-Einrichtung vor­ geschlagen, die eine Basisplatten-Fördereinrichtung aufweist und die einen photoresistenten Film auf beiden Seiten oder einer Seite der Basisplatte aufträgt. Ferner wurde ebenfalls eine automatische Filmabhebungs-Einrichtung vorgeschlagen, die eine Basisplatten-Fördereinrichtung aufweist und die den Abdeckfilm eines aufgetragenen photoresistenten Films von der Basisplatte abhebt. Wenn in dieser Einrichtung die Basisplatte zu der vorge­ schriebenen Position geführt wird, werden synchron die unteren und oberen Filmbearbeitungs-Glieder auf und ab von ihren ur­ sprünglichen Positionen in Richtung der Basisplatte bewegt, um die unteren und oberen Filme der Basisplatte zu bearbeiten. In der automatischen Filmauftragungs-Einrichtung sind die Filmauf­ tragungs-Glieder Walzen oder ähnliches. In der automatischen Filmabhebungs-Einrichtung sind die Bearbeitungsglieder Filmlö­ sungs-Glieder.

Wenn die Förderebene der Basisplatten-Fördereinrichtung der automatischen Filmauftragungs- oder -abtragungs-Einrichtung auf eine Position 0,5 mm unter dem Zentralpunkt zwischen dem oberen und unteren Filmbearbeitungsglied im voraus gesetzt ist, so daß das Zentrum der Dicke einer 1 mm dicken Basisplatte beispiels­ weise mit dem Zentralpunkt koinzidiert, weicht das Zentrum der Dicke der Basisplatte von 11 mm um eine Distanz von 5 mm vom Zentralpunkt ab. Deshalb wird die Distanz zwischen einer oberen Oberfläche der Basisplatte und dem oberen Prozeßglied, wie bei­ spielsweise einer oberen Druck ausübenden Rolle der filmauftra­ genden Einheit, einer oberen Filmabtragungs-Klinke der automati­ schen Filmabtragungs-Einrichtung, die in der U.S.P 48 67 836 of­ fenbart ist, und einer oberen Vibrationsfeder der automatischen Filmabtragungs-Einrichtung, die in der U.S.P 47 70 737 offenbart ist, unterschiedlich von der Distanz zwischen der unteren Ober­ fläche der Basisplatte und dem unteren Prozeßglied. Dieses birgt ein Problem dahingehend in sich, daß die Bearbeitung der Filme an der Basisplatte nicht genau unter den gleichen Bedingungen für beide Seiten der Basisplatte ausgeführt werden können. Um dieses Problem zu lösen, muß die Position der Basisplatten-För­ dereinrichtung als Ganzes oder die Höhe der Basisplatten-Füh­ rungsebene der Fördereinrichtung justierbar sein, so daß das Zentrum der Dicke der geförderten Basisplatte justiert werden kann, um mit dem Zentralpunkt zwischen dem oberen und dem unte­ ren Filmbearbeitungsglied übereinzustimmen.

Die vorliegende Erfindung wurde erstellt, um dieses Problem zu lösen. Dementsprechend ist es Aufgabe der vorliegenden Erfin­ dung, eine Einrichtung bereitzustellen, die automatisch das Zen­ trum der Basisplatte positioniert, um mit dem Zentralpunkt zwi­ schen der Prozeßeinheit übereinzustimmen, unabhängig von der Dicke der Basisplatte.

Ein weiterer Aspekt der vorliegenden Erfindung ist es, eine Ein­ richtung bereitzustellen, die automatisch das Zentrum der Basis­ platte positioniert, um mit dem Zentralpunkt zwischen der oberen und der unteren Filmprozeßeinheit einer automatischen Filmauf­ tragungs- oder -abhebungs-Einrichtung übereinzustimmen, wenn die Basisplatte durch die Basisplatten-Fördereinrichtung gefördert wird.

Ein weiterer Aspekt der vorliegenden Erfindung ist es, eine Ap­ paratur bereitzustellen, die präzise photoresistente Filme auf beiden Seiten einer Basisplatte unter den gleichen Bedingungen aufbringt.

Es ist ferner ein weiteres Anliegen der vorliegenden Erfindung, eine Einrichtung bereitzustellen, mit der ein Luftblasen verhin­ derndes Wirkmittel zur Verbesserung der Haftfähigkeit der Filme auf der Basisplatte auf beiden Seiten der Basisplatte angewendet wird, bevor die Filme auf der Basisplatte aufgetragen werden.

Die oben erwähnten und weitere Aspekte und neue Merkmale der vorliegenden Erfindung werden durch das Studium der Beschreibung der vorliegenden Erfindung und der beigefügten Zeichnungen er­ sichtlich.

Gemäß der vorliegenden Erfindung werden die oben erwähnten Auf­ gaben und Aspekte mit den folgenden Merkmalen erzielt.

Die erfindungsgemäße Basisplatten-Fördereinrichtung zum Trans­ port einer Basisplatte von einem Einführungsförderband, das die Basisplatte an einem Stützpunkt der einen Oberfläche der Basis­ platte zu einer Prozeßeinheit transportiert, die die Basisplatte am Stützpunkt des Zentrums der Dicke der Basisplatte bearbeitet, ist charakterisiert durch eine Basisplatten-Halterung zur Nie­ derhaltung der Basisplatte, die auf dem Einführungsförderband positioniert ist, und einer Basisplatten-Positions-Korrekturein­ richtung zum Festklemmen der Basisplatte von beiden Seiten der Basisplatte, damit das Zentrum der Dicke der Basisplatte mit dem Zentrum der Prozeßeinheit übereinstimmt. Als Ergebnis kann, un­ abhängig von der Dicke der Basisplatte das Zentrum der Dicke der Basisplatte automatisch positioniert werden, so daß es mit dem Zentrum der Prozeßeinheit übereinstimmt.

Die Basisplatten-Halterung beinhaltet vorzugsweise eine Halte­ rolle, um die Basisplatte von einer Seite der Basisplatte nie­ derzudrücken, und einen Zylinder, um die Halterolle in Richtung der Basisplatte zu bewegen und um die Basisplatte niederzuhal­ ten. Dies stellt eine einfache Konstruktion der Basisplatten- Halterung dar.

Die Halterolle besteht vorzugsweise aus einer Gummirolle mit einer Zugfunktion, so daß eine weitere Zugrolle überflüssig wird.

Die Basisplatten-Positions-Korrektureinrichtung beinhaltet vor­ zugsweise wenigstens ein Paar von Klemmrollen zum Festklemmen der Basisplatte von beiden Seiten der Basisplatte und synchron laufende Antriebseinrichtungen zur synchronen Bewegung der Klemmrollen von beiden Seiten der Basisplatte in Richtung der Basisplatte, um die Basisplatte niederzuhalten. Dieses stellt eine einfache Konstruktion der Basisplatten-Positions-Korrektur­ einrichtung dar.

Wenigstens eine der Klemmrollen dient vorzugsweise als Halterol­ le der Basisplatten-Halterung, so daß eine separate Halterolle überflüssig wird.

Die Klemmrolle der Halterolle ist vorzugsweise an einer Seite der Prozeßeinheit angebracht. Als Resultat dessen, kann, selbst wenn die Basisplatte klein in ihren Ausdehnungen ist, die kleine Basisplatte transportiert zu einem nächsten Prozeßschritt gezo­ gen werden, während sie niedergehalten wird.

Die Halterung und die Korrektureinrichtung operieren vorzugswei­ se derart, daß die Klemmrolle, die der Halterolle dient, in Richtung der Basisplatte bewegt wird, um die Basisplatte während des Transports durch das Einführungsförderband niederzuhalten, und dann werden alle der Klemmrollen nebst der Klemmrolle, die der Halterolle dient, synchron in Richtung der Basisplatte von beiden Seiten der Basisplatte bewegt, damit das Zentrum der Dicke der Basisplatte mit dem Zentrum der Prozeßeinheit koinzi­ diert, während die Niederhaltekraft der Klemmrolle, die der Halterolle dient, erniedrigt wird. Als Ergebnis dessen kann das Halten der Basisplatte und die Korrektur der Position der Basis­ platte sicher mit einfachen Operationen durchgeführt werden.

Rollenunterstützungsglieder, die die Klemmrollen unterstützen und synchron die Klemmrollen von beiden Seiten der Basisplatte in Richtung der Basisplatte in dem Basisplatten-Positions-Kor­ rekturzustand niederhält, ist vorzugsweise so ausgebildet, daß eine Bewegung der Klemmrolle, die der Halterolle in Richtung der Basisplatte dient, wenn die Klemmrolle für die Halterolle arbei­ tet, möglich ist. Eine Interferenz zwischen der Basisplatten- Halterung und der Basisplatten-Positions-Korrektur kann mit einer einfachen Konstruktion verhindert werden.

Die synchron laufende Antriebseinrichtung weist vorzugsweise eine pneumatische Hilfshand eines Gestells vom parallelen Typ auf, so daß die synchrone Bewegung der pneumatischen Hand leicht ausgeführt werden kann.

Die Rollen werden vorzugsweise durch ein Zahnband angetrieben, um zu rotieren. Selbst wenn die Positionen der Rollen für die Basisplatten-Halteoperation geändert werden und die Basisplat­ ten-Positions-Korrekturoperation geändert wird, kann die Rolle sicher angetrieben werden.

Die Position des Zentrums der Prozeßeinheit ist ferner vom Ein­ führungsförderband entfernt als das Zentrum der Dicke der dick­ sten Basisplatte, die auf dem Einführungsförderband positioniert ist.

Die Einrichtung zur Seitwärtsbewegung der Basisplatte zum Trans­ port der Basisplatte in deren Öffnungsrichtung und die Positio­ nierung der Basisplatte an einer passenden Position zur Nieder­ haltung der Basisplatte durch die Basisplatten-Halterung ist vorzugsweise stromaufwärts der Einrichtung relativ zu der Basis­ platten-Halterung angebracht. Mit dieser Anordnung kann die Ba­ sisplatten-Seitwärtsbewegungsoperation leicht ausgeführt werden. Im Gegensatz dazu, wenn die Basisplatten-Seitwärtsbewegungsope­ ration ausgeführt wird, nachdem die Basisplatte niedergehalten wird, wird diese Operation kompliziert.

Die Prozeßeinheit bearbeitet vorzugsweise beide Oberflächen der Basisplatte gleichzeitig. Als Ergebnis dessen kann die Bearbei­ tung auf beiden Seiten der Basisplatte gleichzeitig durchgeführt werden. Somit kann die Arbeitseffizienz erhöht werden.

Die Prozeßeinheit kann eine Walze zur Druckklebung des Films an die Basisplatte sein. Da das Zentrum der Dicke der Basisplatte korrekt positioniert ist, um mit dem Zentrum der Walze (Laminator) übereinzustimmen, d. h. das Zentrum zwischen oberer und unterer Preß-Klebe-Rolle, können die Filme sicher an beiden Oberflächen der Basisplatte unter den gleichen Bedingungen für beide Oberflächen aufgebracht werden.

Vorzugsweise ist eine Einrichtung zur Verhinderung von Leerstel­ len durch die Anwendung eines Wirkmittels auf der Basisplatte vorgesehen, bevor der Film auf der Basisplatte aufgebracht wird. Als Ergebnis dessen kann der Film auf der Basisplatte aufgeklebt werden, ohne Runzeln und Leerräume zu bilden. Zusätzlich wird die Einrichtung zur Anwendung eines Wirkmittels zur Verhinderung von Leerstellen wahlweise im Ein- und Aus-Zustand betrieben, um den Verschleiß der Einrichtungen herabzusetzen.

Die Prozeßeinheit kann ein Schälgerät zur Abhebung eines auf der Basisplatte aufgeklebten Films sein. Da das Zentrum der Dicke der Basisplatte, auf der die Filme aufgebracht sind, korrekt po­ sitioniert ist, um mit dem Zentrum des Schälgeräts übereinzu­ stimmen, d. h. das Zentrum der oberen und unteren Filmende-Abhe­ bungsklaue und/oder das Zentrum der oberen und unteren Vibrati­ onsfedern, so daß die Filme von der Basisplatte unter den glei­ chen Bedingungen für beide Oberflächen der Basisplatte abge­ schält werden können.

Eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird nun im fol­ genden im einzelnen mit Bezug auf die Zeichnungen beschrieben. Es zeigen

Fig. 1 eine perspektivische schematische Ansicht des Einfüh­ rungsförderbandes, der in einem automatischen Filmabhe­ bungs-Einrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung ver­ wendet wird und einen Seitwärts-Bewegungsmechanismus beinhaltet;

Fig. 2 eine schematische Ansicht der Einrichtung;

Fig. 3 eine Planansicht der Fördereinrichtung;

Fig. 4 eine Seitenansicht der Fördereinrichtung in Richtung des Pfeiles R in Fig. 3;

Fig. 5 eine Ansicht der Fördereinrichtung in Richtung des Pfeiles F in Fig. 3;

Fig. 6 eine Ansicht der Fördereinrichtung entlang der X-X-Li­ nie, die in Fig. 4 gezeigt ist;

Fig. 7 eine Ansicht der Fördereinsicht entlang der Linie Y-Y, die in Fig. 5 gezeigt ist;

Fig. 8 eine schematische Ansicht der Fördereinrichtung, um die Bewegungskraft der Transmission zu verdeutlichen;

Fig. 9 eine herausgehobene perspektivische Ansicht der Förder­ einrichtung;

Fig. 10 eine Teilschnittansicht, die eine pneumatische Hand der vorliegenden Erfindung zeigt;

Fig. 11 eine Ansicht zur Erläuterung einer Ausführungsform, in der die vorliegende Erfindung für eine Filmabhebungs­ Einrichtung angewendet wird; und

Fig. 12 eine Querschnittsansicht, die eine Basisplatte zeigt, die für ein gedrucktes Schaltboard verwendet wird, be­ vor die dort aufgebrachten Filme durch die Filmabhe­ bungs-Einrichtung entfernt werden.

Wie in Fig. 2 gezeigt wird, werden geschichtete Filme 1, die je­ der für sich aus drei Schichten bestehen, einem lichtdurchlässi­ gen Harzfilm, einer photosensitiven Harzschicht und einem ande­ ren lichtdurchlässigen Harzfilm, kontinuierlich auf den oberen und unteren Lieferrollen 2 im voraus gewickelt. Jeder der ge­ schichteten Filme 1 wird durch einen Filmseparator 3 in den lichtdurchlässigen Harzfilm 1A, der ein Schutzfilm darstellt, geteilt und in einen geschichteten Film 1B, der aus dem anderen lichtdurchlässigen Harzfilm und der photosensitiven Harzschicht besteht, die auf der Seite aufgebracht ist, die auf die Basis­ platte 22 aufzubringen ist, wie weiter unten beschrieben wird. Jeder der lichtdurchlässigen Harzfilme 1A wird von dem geschich­ teten Film 1B separiert und auf eine Wickelrolle 4 gerollt, wäh­ rend der geschichtete Film 1B gleichzeitig in Richtung der Ba­ sisplatte 22 geführt wird. Die obere Lieferrolle 2 und die Wickelrolle 4 sind oberhalb der Basisplatten-Führungspassage I-I angeordnet, während die entsprechende untere Lieferrolle 2 und die Wickelrolle 4 unterhalb der Basisplatten-Führungspassage I-I angebracht sind.

Die Führungsecke jedes der geschichteten Filme 1B, die von dem lichtdurchlässigen Harzfilm 1A separiert wurden, wird zu der Hauptvakuum-Ansaugplatte 6 entlang einer Spannrolle 5 geführt, wie dies in Fig. 2 gezeigt wird. Die obere und untere Hauptva­ kuum-Ansaugplatte 6 haben jeweils ein Führungsteilende 6D. Ein Eliminator 18 zur Aufhebung der statischen Elektrizität des ge­ schichteten Films 1B ist nahe jeder der Hauptvakuum-Ansaugplat­ ten 6 angebracht. Die Platten 6 sind in vertikaler Richtung be­ weglich, in Richtung und weg von der Filmauftragungs-Position, wie weiter unten diskutiert wird. Aus diesem Grunde ist jede der Platten 6 gleitend auf einer Schiene 7 angeordnet, die an der Hauptvakuum-Ansaugsupportplatte 8 befestigt ist, die mit einem Gestell (nicht gezeigt) ausgestattet ist. Antriebsräder 10, die durch einen Montierrahmen, der an dem Körperrahmen der Filmauf­ tragungs-Einrichtung angebracht ist, sind rotierbar gehaltert. Das obere Antriebsrad 10 steht mit dem Rack 9 in Eingriff, das am Ende des Supportplatten-Verbindungsstabes 32 angebracht ist. Das andere Ende des Verbindungsstabs 32 ist an einem Kupplungs­ stab-Befestigungsteil 33 angebracht, das mit der unteren Sup­ portplatte 8 in Verbindung steht. Das untere Antriebsrad 10 ver­ bindet die untere Supportplatte 8 mit einem Antriebsmotor 11. Somit treibt der Antriebsmotor 11 sowohl die obere als auch die untere Supportplatte 8 in vertikaler Richtung an.

Ein Filmhalteglied 12 zum Halten des geschichteten Films 1B an der Führungsecke ist mit jeder der Hauptvakuum-Ansaugplatten- Supportplatten 8 verbunden und ist gleitend an Führungsschienen (nicht gezeigt) angeordnet, die sich von der Vorderfront zur Rückseite erstrecken. Ein Kopplungsglied ist an jeder der Film­ halterungsteile 12 vorgesehen. Ein Kopplungsriegel 13 ist in dem Kopplungsteil eingepaßt und ist an einem festen Schneidesupport­ teil 14 angebracht, das eine feste Schneidvorrichtung 15 stützt. Eine Rotationsschneidvorrichtung 17 ist rotierbar durch ein Rotierschneide-Supportteil 16 gestützt und hat eine Schneid­ kante, die sich unter einem vorgeschriebenen Winkel erstreckt. Luftblasedüsen 19 und 20 sind oberhalb und unterhalb des Rotier­ schneide-Supportteils 16 vorgesehen, um Luft an den geschichte­ ten Film 1B zu blasen.

Druckklebe-Rollenunterstützungsteile 40 sind im Zentrumsteil des Apparates oberhalb und unterhalb der Basisplatten-Führungspassa­ ge I-I angebracht, die sich von rechts nach links in Fig. 2 er­ strecken. Die Welle jeder Druckkleberolle 21 ist in dem ent­ sprechenden Druckkleberollen-Supportteil 40 an dessen einem Ende angebracht. Ein pneumatischer Zylinder 41 zur Bewegung der obe­ ren und unteren Druckkleberollen 21 in Auf- und Abrichtung ist an dem Druckkleberollen-Supportteil 40 an dessen anderem Ende befestigt, so daß es dazwischen liegt. Wischrollen 27, zum Abwi­ schen der Druckkleberollen 21 werden durch pneumatische Zylinder 28 nahe der Druckkleberollen gehaltert.

Die oberen und unteren Basisplatten-Wischrollen 30 werden durch Halterungsteile 29 nahe der Basisplatten-Führungspassage I-I ge­ haltert, so daß die Rollen in Verbindung mit allen anderen auf und nieder bewegt werden können. Ein Zylinder 31 für die Basis­ platten-Wischrollen 30 ist an der unteren Basisplatten-Wischrol­ le angebracht. Ein Basisplatten-Niederhaltungsteil 24 mit einem pneumatischen Zylinder ist stromabwärts der oberen Basisplatten- Wischrolle 30 in Führungsrichtung der Basisplatte 22 vorgesehen.

Die Einführungs-Fördereinrichtung ist am Frontteil des Körper­ rahmens des Filmklebeapparats vorgesehen und enthält eine Viel­ zahl von Antriebs-Führungsrollen 23A, eine Vielzahl von Leer­ lauf-Führungsrollen 23B, Basisplatten-Niederhaltungsteilen 24B mit pneumatischen Zylindern, die an der Frontseite der Einfüh­ rungseinrichtung angebracht sind und Naßrollen-Niederhaltungs­ teile 24A mit pneumatischen Zylindern die vor den Basisplatten- Niederhaltungsteilen angebracht sind.

Wie in den Fig. 1 und 3 bis 7 gezeigt wird, werden die rech­ ten und linken Rahmenteile 50 der Einführungseinrichtung durch ein Basisteil 51 mit daran befestigten Lenkrädern 52 unter­ stützt. Zusätzlich sind Hilfslenkräder-Supportteile 119R und 119L an dem Basisteil 51 an der rechten und linken Seite befe­ stigt. Hilfsräder-Befestigungsteile 121R und 121L sind an den Hilfslenkräder-Supportteilen 119R und 119L vorgesehen, so daß der Befestigungsteil vorwärts und rückwärts bewegt werden und in verschiedene Positionen mittels justierender Kurbelhebel 120 ge­ bracht werden kann. Die Hilfslenkräder 52 sind an den Befesti­ gungsteilen 121R und 121L angebracht.

Die rechten und linken Rahmenteile 50 haben entgegengesetzte Durchgangslöcher. Die Wellen der Antriebsförderrollen 23A sind rotierbar in Lagern in den Durchgangslöchern angebracht. Wie in den Fig. 1 und 3 gezeigt wird, sind gezahnte Keilriemenschei­ ben 113 an den Wellen der Antriebsführungsrollen 23A an beiden Enden angebracht. Die Wellen der Rollen 23A sind abwechselnd zu­ einander an den rechten und linken Enden der Schäfte durch Zahn­ riemen 114 verbunden, die mit den gezahnten Keilriemenscheiben 113 im Eingriff stehen, wie es am besten in der Fig. 3 illu­ striert ist. Mit Bezug auf Fig. 7 ist ein Zahnkranz 82, durch 82A in Fig. 8 bezeichnet, mit dem linken Ende der Welle einer der Antriebsführungsrollen 23A (in Führungsrichtung der Basis­ platte 22 gesehen) befestigt und ist mit den Zahnkränzen 80 und 81 durch einen Zahnriemen 83 gekoppelt. Der Zahnkranz 80 ist auf der Welle eines Antriebsmotors 78 befestigt, während der Zahn­ kranz 81 auf der Welle eines Rotiercodierers 79 befestigt ist. Der Motor 78 und der Codierer 79 sind an dem Antriebsmotor-Befe­ stigungsteil 77 angebracht und mit dem Rahmenteil 50 der Einfüh­ rungseinrichtung befestigt. Wie in Fig. 6 gezeigt wird, ist ein Zahnkranz 82B an der Welle der Antriebsführungsrollen 23A an der linken Seite des anderen Zahnkranzes 82A befestigt und ist mit dem Zahnkranz 123L mittels eines Zahnriemens 85 gekoppelt. Der Zahnkranz 123L ist auf der Welle der Gummirolle 118UN an dem linken Ende der Welle befestigt, gesehen aus der Führungsrich­ tung der Basisplatte. Wie in Fig. 7 gezeigt wird, ist die Welle der Antriebsführungsrolle 23A, an der die Zahnkränze 82 befe­ stigt sind mit einem Zahnrad 75 an dem rechten ende der Welle angepaßt. Das Zahnrad 76 ist über dem Zahnrad 75, mit dem es in Eingriff steht, angeordnet. Das Zahnrad 76 und der Zahnkranz 122 sind auf der Welle rotierbar in einem Lager mittels eines Zahn­ supportteils gelagert.

Wie in den Fig. 1, 3, 5 bis 7 und 9 gezeigt wird, sind Klemmabschnitts-Supportteile 57R und 57L entsprechend den rech­ ten und den linken Rahmenteilen 50 der Einführungseinrichtung angebracht. Pneumatische Hände 58R und 58L sind ebenso an den Supportteilen 57R und 57L angebracht und weisen Klemmabschnitts- Supportteile 59R und 59L auf, die ebenfalls dort angebracht sind. Pneumatische Hände 60R und 60L sind an den Klemmab­ schnitts-Supportteilen 59R bzw. 59L befestigt. Jeder der oben erwähnten pneumatischen Hände 58R, 58L, 60R und 60L ist ein Rah­ men oder ähnliches und umfaßt einen Grundkörper 201, ein Paar Kolbenstangen 202 und 203, die sich in dem Grundkörper 201 auf und nieder bewegen, ein Zahnrad 204, das in dem zentralen Teil des Grundkörpers 201 untergebracht ist und mit den beiden Rah­ men, die entsprechend am inneren Teil der Seite der Kolbenstan­ gen 202 und 203 ausgebildet sind, im Eingriff steht, eine untere Hand 206, die durch einen Bolzen 205 an dem unteren Teil der Kolbenstange 202 befestigt ist, eine obere Hand 208, die mit Hilfe eines Bolzens 207 an dem oberen Teil der Kolbenstange 203 befestigt ist, und Stangenabdeckungen 209 und 210, was im Detail in Fig. 10 gezeigt ist. In Fig. 10 bezeichnen die Bezugszeichen 219, 220 und 221 ein Lager, ein Dichtteil und einen O-Ring. In dieser pneumatischen Hand wird der obere Teil der Kolbenstange 202 und der unter Teil der Kolbenstange 203 synchron in den Grundkörper 201 aufgrund des Zahnkranzes 204 zurückgezogen, so daß die untere Hand 206 und die obere Hand 208 angetrieben wer­ den, um voneinander weg bewegt zu werden. Andererseits wird, wenn Luft in den rechten Zylinder 231 geleitet wird, der obere Teil der Kolbenstange 202 und der untere Teil der Kolbenstange 203 synchron aus dem Grundkörper 201 herausgeschoben, so daß die untere Hand 206 und die obere Hand 208 angetrieben werden, um sich dicht aufeinander zuzubewegen. Ein Rollenunterstützungsteil 62 ist an beiden Enden mit den unteren Teilen der pneumatischen Hände 58R und 58L befestigt. Die Basisplatten-Niederhalteteile 24A sind an den rechten und linken Teilen der Spitze des pneuma­ tischen Zylinderunterstützungsteils 61 angebracht, das eine Sen­ soranbringungsplatte 71 aufweist und an dessen Zentralteil befe­ stigt ist. Zusätzlich sind Rollenunterstützungsteile 70 an den Stangen der Basisplatten-Niederhaltungsteile 24A angebracht. Ein Basisplatten-Eckenführungssensor 72 ist an der Sensorbefesti­ gungsplatte 71 angebracht.

Die Welle der Gummirolle 118UP ist rotierbar mit einem Lager durch die rechte und die linke Rollenunterstützungsteile 70 ge­ lagert. Rollenunterstützungsteile 63UP sind mit dem Grund des pneumatischen Zylinderunterstützungsteils 61 an dessen beiden Enden befestigt und haben Durchgangslöcher, in denen die Welle einer der Leerlaufführungsrollen 23B mit Lagern rotierbar gela­ gert. Die Rollenunterstützungsteile 63UP sind zur Niederhal­ tungsbewegung der Gummirolle 118UP in Richtung der Basisplatte während der Klemmaktion vorgesehen. Die Rollenunterstützungstei­ le 63UP und 63UN werden synchron an beiden Seiten der Basisplat­ te angetrieben. U-förmige Aussparungen sind auf den Seiten der Rollenunterstützungsteile 63UP gebildet, um die Bewegung der Gummirolle 118UP in Richtung der Basisplatte zu gestatten, wenn die Gummirolle 118UP als Niederhalterolle verwendet wird. Die Welle der Gummirolle 118UP ist so angepaßt, um von den Ausspa­ rungen geführt zu werden. Die anderen Rollenunterstützungsteile 63UN sind an der Spitze des Rollenunterstützungsteils 62 an de­ ren beiden Enden befestigt. Jeder der Rollenunterstützungsteile 63UN weist zwei Durchgangslöcher auf, in denen die Welle der Gummirolle 118UN und der Antriebsführungsrollen 23A entsprechend rotierbar mittels Lager gelagert sind.

Die pneumatischen Zylinderbefestigungsteile 64R und 64L sind an den oberen Teilen der pneumatischen Hände 60R und 60L ange­ bracht. Die Niederhalteteile 64B mit den pneumatischen Zylindern sind am oberen Ende der pneumatischen Zylinderbefestigungsteile 64R und 64L befestigt. Die Wellenführungsteile 69R und 69L für die Naßrollen weisen U-förmige Aussparungen auf und sind am un­ teren Ende der Befestigungsteile 64R und 64L angebracht. Die Naßrollen-Supportteile 66UP sind an Stangen der Niederhaltungsteile 24B befestigt. Ferner ist die Welle der Naßrolle 26UP ro­ tierbar durch die Supportteile 66UP der Naßrolle gelagert und weist eine gezahnte Keilriemenscheibe 123R auf, die auf der Welle des rechten Endes der Welle angebracht ist, gesehen aus der Förderrichtung der Basisplatte 22. Die Naßrolle 26UP ist mit einer gezahnten Keilriemenscheibe 113 mittels eines gezahnten Keilriemens 85R gekoppelt, wie es in Fig. 3 gezeigt ist. Die ge­ zahnte Keilriemenscheibe 113 ist auf der Welle einer Leerlauf­ führungsrolle 23B angebracht.

Die Naßrollen-Supportteile 65R und 65L sind an den unteren Tei­ len der pneumatischen Hände 60R und 60L befestigt. Zusätzliche Naßrollen-Supportteile 66UN sind am oberen Ende der Naßrollen- Supportteile 65R und 65L zur rotierbaren Lagerung der Welle der Naßrollen 26UN befestigt. Die Befestigungsplatten 68 für die Schüssel zur Aufnahme der Befeuchtungsflüssigkeit, an denen die Schüssel 67 zur Aufnahme der Befeuchtungsflüssigkeit an beiden Enden befestigt ist, sind an den Naßrollen-Supportteilen 65R und 65L angebracht. Der Lichtreflektor 73 für den Basisplatten- Eckenführungssensor ist an der Schüssel 67 in der Nähe ihres Zentrums angebracht. Eine gezahnte Keilriemenscheibe 123L ist auf der Welle der Naßrolle 26UN am linken Ende des Schaftes be­ festigt, gesehen aus der Förderrichtung der Basisplatte 22, und ist mit einer gezahnten Keilriemenscheibe 113 mittels eines ge­ zahnten Keilriemens 85L gekoppelt. Die gezahnte Keilriemenschei­ be 113 ist auf der Welle einer der Antriebsführungsrollen 23A befestigt.

Die Reflektorbefestigungsplatte 90 ist mit deren Enden an beiden Seiten mit der Spitze der rechten und linken Rahmenteile 50 der Einlaßeinrichtung in der Nähe der Klemmabschnitts-Supportteile 57R und 57L befestigt. Der Sensor-Lichtreflektor 91R für die Aufnahme der Seitwärtsbewegung der Basisplatte, eine Sensor- Lichtreflektor 92 zur Aufnahme der Basisplatten-Zugecke und ein Sensor-Lichtreflektor 91L zur Aufnahme der Basisplatten-Seit­ wärtsbewegung sind im Zentrum der Spitze der Reflektorbefesti­ gungsplatte 90 angebracht und entsprechend in einer rechten und linken zentralen Position angebracht, gesehen aus der Füh­ rungsrichtung der Basisplatte 22. Die Abstufungen 93A zur Anzei­ ge der Bewegung der Seitwärtsbewegungs-Zentrumsindikationsplatte 93, die an dem Seitwärtsbewegungspol angebracht ist, sind an der Reflektorbefestigungsplatte 90 an deren rechten Enden vorgesehen.

Wie in Fig. 5 gezeigt wird, ist eine Befestigungsplatte 98 des Unterstützungsteils an deren beiden Enden mit den Rahmenteilen 5 der Einführungseinrichtung in der Nähe des Antriebsmotors 78 be­ festigt. Ferner sind die Sensorstützteile 88 und 89 an der Befe­ stigungsplatte 98 in deren Zentrum angebracht und ein Seitwärts­ bewegungssensor 86R und 86L und ein Sensor 87 zur Aufnahme der Zugecke der Basisplatte sind an den Sensorunterstützungsteilen 88 und 98 angeordnet.

Wie in den Fig. 1, 3, 4 und 5 gezeigt wird, ist die Gleitbasis 54R und 54L an den rechten und linken Teilen 56 des Grundrahmens des Filmauftragungs-Gerätes befestigt und umfaßt eine Vielzahl von Nockenstangen 55. Positionierteile 97R und 97L sind an der Gleitbasis 54R und 54L befestigt und ein Förderein­ richtungs-Positioniersensor 94 ist am oberen Ende der Gleitbasis 54R angebracht. Eine Aufnehmerplatte 95 für den Fördereinrich­ tungs-Positioniersensor 94 ist unter dem rechten Rahmenteil 50 der Einführungseinrichtung angebracht und eine Führungsplatte 53 ist an dem Basisteil 51 der Einführungseinrichtung vorgesehen. Die Haken 96R und 96L sind unter der Führungsplatte 58 an deren beiden Enden vorgesehen.

Wie in Fig. 1 gezeigt ist, haben jedes der Rahmenteile 50 der Einlaßeinrichtung zwei Durchgangslöcher unter den zentralen An­ triebsführungsrollen 23A, in die die Wellen 101 gleitend einge­ paßt sind. Ein rechtes Wellenunterstützungsteil 100R und ein linkes Wellenunterstützungsteil (nicht gezeigt) sind an den Wel­ len 101 an deren beiden Enden befestigt. Ein Unterstützungsteil 109, das die Seitwärtsbewegung des Antriebsabschnitts unter­ stützt, ist mit dem Wellenunterstützungsteil 100R befestigt und ein Antriebsmotor 108 zum Antrieb der Seitwärtsbewegung ist an dem linken Ende des Unterstützungsteils 109 vorgesehen, gesehen aus der Führungsrichtung der Basisplatte 22, und ist an eine ge­ zahnte Keilriemenscheibe 107L angepaßt. Eine andere gezahnte Keilriemenscheibe, die mit 107R in Fig. 8 bezeichnet ist, ist rotierbar auf der rechten Seite des Unterstützungsteils 109 ge­ lagert und ist mit der gezahnten Keilriemenscheibe 107L mittels eines gezahnten Keilriemes 106 gekoppelt.

Rechte lineare Hülsen (nicht gezeigt) und linke lineare Hülsen 102L sind gleitend an die Wellen 101 angepaßt. Ein rechtes festes Teil (nicht gezeigt) und ein linkes festes Teil 105 ist an den linearen Hülsen 102R und 102L an einem Ende jeder der fe­ sten Teile vorgesehen und sind mit deren anderen Enden der obe­ ren und unteren Teile des gezahnten Keilriemens 106 entsprechend verbunden.

Ein Zentrierungsblock 124 ist mit dem Unterstützungsteil 109 für den Seitwärtsbewegungs-Antriebsabschnitt an dessen Zentrum ver­ bunden und weist Gewinde-Durchgangslöcher auf, mit denen eine Zentrierungsschraube 112 im Eingriff steht. Kopplungswellen 110R und 110L sind an einem Ende mit der Zentrierungsschraube 112 mittels Kupplungsteilen 111R und 111L verbunden. Ein rechtes Handrad 99R zur seitlichen Zentrums-Positionierbewegung und ein linkes Handrad 99L zur seitlichen Zentrums-Positionierbewegung (nicht gezeigt) sind an der Kopplungswelle 110R und 110L an de­ ren anderen Enden angebracht. Die Kopplungswellen 110R und 110L sind in der Nähe der Handräder 99R und 99L mit den Rahmenteilen 50 der Einführungseinrichtung mittels Unterstützungsteilen (nicht gezeigt) befestigt. Unterstützungsteile 103R und 103L zur Stützung der rechten und linken Seitwärtsbewegungspole sind an die rechten und linken Seitwärtsbewegungspole 104R und 104L an­ gepaßt und sind am oberen Teil der rechten und linken linearen Hülsen 102R und 102L entsprechend befestigt. Das Unterstützungs­ teil 103R zur Stützung des rechten Seitwärtsbewegungspols und der rechte Seitwärtsbewegungspol 104R sind nicht in den Zeich­ nungen gezeigt.

Die Operation der Einführungseinrichtung zur Führung der Basis­ platte 22 wird weiter unten mit Bezug auf die Fig. 8 beschrie­ ben. Wenn das Filmauftragungs-Gerät automatisch arbeitet, dreht sich der Antriebsmotor 78 entgegen dem Uhrzeigersinn, wie es in Fig. 8 gezeigt ist, so daß die motorische Kraft auf die gezahnte Keilriemenscheibe 81, auf die Welle des Rotations-Codierers 79 und der gezahnten Keilriemenscheibe 82A auf die Welle der An­ triebsführungsrolle 23A mittels eines gezahnten Keilriemens 83 übertragen wird. Da die Antriebsführungsrolle 23A so in Rotation versetzt wird, wird die motorische Kraft sequenziell durch die anderen gezahnten Keilriemenscheiben und die anderen gezahnten Keilriemen übertragen, so daß alle Antriebsführungsrollen 23A rotieren. Die motorische Kraft wird in ähnlicher Weise auf die Gummirolle 118 UN und die Naßrolle 26UN übertragen. Da der Zahn­ kranz 75 an der Antriebsführungsrolle 23A mit der gezahnten Keilriemenscheibe 82A mit dem anderen Zahnkranz 76 im Eingriff steht, wird die motorische Kraft auf die gezahnte Keilriemen­ scheibe 122, die auf derselben Welle wie letzterer Zahnkranz be­ festigt ist, übertragen, so daß die Leerlaufführungsrolle 23B, die Gummirolle 118UP und die Naßrolle 26UP, die alle miteinander mit Hilfe der gezahnten Keilriemenscheiben und dem gezahnten Keilriemen in Rotation versetzt werden.

Zusätzlich wird die Basisplatte 22 in die Einführungseinrichtung von einem vorangegangenen Prozeß plaziert, so daß die Basisplat­ te mit Hilfe der Antriebsführungsrollen 23A transportiert wird. Wenn die Basisplatte 22 durch einen der Seitwärtsbewegungssenso­ ren 86R und 86L aufgenommen wird, wird ein Aufnahmesignal er­ zeugt, so daß der Seitwärtsbewegungs-Antriebsmotor 108 im Uhr­ zeigersinn in Rotation versetzt wird, wie es in Fig. 8 gezeigt ist. Als Ergebnis dessen wird die motorische Kraft durch die ge­ zahnte Keilriemenscheibe 107 und den gezahnten Keilriemen 106 übertragen, so daß die Basisplatte 22 rechtsseitig oder links­ seitig mit Hilfe der Seitwärtsbewegungspole 104, die an dem Un­ terstützungsteil 103 der Seitwärtsbewegungspole befestigt sind, bewegt. Die Basisplatte 22 wird somit zentriert.

Ein erster Zähler (nicht gezeigt) wird durch das Aufnehmersignal gestartet, um die Anzahl der Pulssignale von dem Rotations-Co­ dierer 79 zu zählen. Wenn die Zählrate einen gesetzten Wert er­ reicht, wird Kompressionsluft in die Basisplatten-Niederhal­ tungsteile 24A und die Naßrollen-Niederhaltungsteile 24B gelei­ tet, die pneumatische Zylinder sind, so daß die Basisplatte 22 durch die Gummirolle 118UP und die Naßrolle 26UP niedergehalten wird. In diesem Zustand befinden sich die untere Rolle 118UN und die Naßrolle 26UN in einer festen Position auf dem gleichen Ni­ veau in der Aufwärts- und Abwärtsrichtung wie die Antriebsrollen 23A der Einführungseinrichtung. Dies stellt die leichte Positio­ nierung der Basisplatte in der vorläufigen Klebung des Filmes auf die Basisplatte vor der Druckklebung dar. Wenn die Führungs­ ecke der Basisplatte 22 durch den Basisplatten-Führungseckensen­ sor 72 aufgenommen ist, wird ein Aufnahmesignal erzeugt, so daß ein zweiter Zähler (nicht gezeigt) gestartet wird, um die Anzahl der Pulssignale von dem Rotations-Codierer 79 zu zählen. Wenn die gezählte Anzahl durch den zweiten Zähler einen gesetzten Wert erreicht hat, wird der Antriebsmotor 78 gestoppt, so daß der Transport der Basisplatte 22 unterbrochen wird. Gleichzeitig beginnt die obere und die untere Hauptvakuum-Ansaugplatte 6 des Filmauftragungs-Geräts, das in Fig. 2 gezeigt ist, sich in Rich­ tung der Basisplatte 22 zu bewegen, um vorläufig die geschichte­ ten Filme 1B auf die Basisplatte unter Druck aufzubringen. Beim Start der Bewegung der Ansaugplatten 6 wird ein erster Zeitneh­ mer (nicht gezeigt) aktiviert. Wenn die gesetzte Zeit des Zeit­ nehmers abgelaufen ist, werden die obere und die untere Hauptva­ kuum-Ansaugplatte 6 von der Basisplatte 22 weg bewegt. Ein Si­ gnal, das als Resultat dieser Bewegung erzeugt wurde, aktiviert die pneumatischen Hände 58R, 58L, 60R und 60L zu einer Klemmak­ tion. Gleichzeitig wird die Kompressionsluft von den Basisplat­ ten-Niederhaltungsteilen 24A und den Naßrollen-Niederhaltungs­ teilen 24B entfernt, um das Halten der Basisplatte 22 zu stop­ pen. Dies geschieht deswegen, weil das Festklemmen der Basis­ platte durch die pneumatische Hand leicht in einem nächsten Schritt ausgeführt werden kann. Da die pneumatischen Hände 58R, 58L, 60R und 60L aktiviert sind, wird die Basisplatte 22 durch die oberen und unteren Gummirollen 118UP und 118UN, der Antrieb und die Leerlaufführungsrollen 23A und 23B und die oberen und die unteren Naßrollen 26UP und 26UN, die in Fig. 8 gezeigt sind, ergriffen, so daß das Zentrum der Dicke der Basisplatte in der Führungsebene der Einführungseinrichtung zu dem Klemmzentrum be­ wegt wird, das sich in einer vorgeschriebenen Höhe befindet, un­ abhängig von der Dicke. Die Einführungs-Fördereinrichtung und andere Teile des Filmauftragungs-Geräts sind vorher installiert, so daß das Zentrum der Dicke der Basisplatte 22 automatisch in der vorgeschriebenen Höhe positioniert wird, unabhängig von der Dicke der Basisplatte, wie bereits oben erwähnt wurde.

Wenn ein Luftblasen verhinderndes Wirkmittel nicht auf die Ba­ sisplatte 22 angewendet wird, werden die oberen und die unteren Naßrollen 26UP und 26UN so gesteuert, daß sie nicht die Basis­ platte festklemmen, so daß sie nicht unnötig abgenutzt werden. Das Festklemmen der Basisplatte 22 durch die Komponenten der Einführungs-Fördereinrichtung kann durch Steuerung ausgeführt werden, bevor die geschichteten Filme 1B vorläufig auf die Ba­ sisplatte mit Hilfe der oberen und der unteren Vakuum-Ansaug­ platten 6 aufgeklebt sind. Wenn die Zugecke der Basisplatte 22 durch den Basisplatten-Zugeckensensor 87 aufgenommen ist, wird ein Signal erzeugt, so daß ein zweiter Zeitnehmer (nicht ge­ zeigt) aktiviert wird. Wenn die gesetzte Zeit des zweiten Zeit­ nehmers abgelaufen ist, werden die pneumatischen Hände 58R und 58L an ihre ursprünglichen Positionen zurück geführt. Auch wenn das Passieren der Zugecke der Basisplatte 22 durch den Basis­ platten-Führungseckensensor 72 aufgenommen wurde, wird ein Si­ gnal erzeugt, so daß die pneumatischen Hände 60R und 60L zu ih­ ren ursprünglichen Positionen zurückgeführt werden.

Im nun folgenden wird eine Ausführungsform der vorliegenden Er­ findung kurz beschrieben, die als Filmabtragungs-Gerät in der U.S.P 47 70 737 offenbart wurde.

Fig. 12 zeigt eine Querschnittsansicht einer Basisplatte 301, die für ein gedrucktes Schaltkreisboard verwendet wird. Wie in Fig. 11 gezeigt ist, besteht der Führungsmechanismus für die Ba­ sisplatte 301 in dem Schälgerät hauptsächlich aus Führungsan­ triebsrollen 302 zum Transport des gedruckten Schaltkreisboards 301. Entlang der Transportpassage A-A in dem Transportmechanis­ mus sind Filmenden-Aufnehmeeinrichtungen 303 des Vibrationsfe­ dertyps, Luftblaseeinrichtungen 304, Schälwinkel-Setzplatten 305, die dem Abschälen der Filme dienen, und Film-Herausfüh­ rungseinrichtungen 306 dargestellt. Wie in Fig. 12 gezeigt ist, wird ein Isolationsteil 301A der Basisplatte 301 auf beiden Sei­ ten oder einer Seite mit leitenden Schichten 301B aus Kupfer oder ähnlichem gebildet. Schichtfilmteile mit lichtempfindlichen Harzschichten 301C und lichtdurchlässigen Harzfilmen (Schutzfilmen) werden unter Druck auf die leitenden Schichten 301B aufgeklebt. Der lichtsensitive Film 301C wurde bereits durch die Belichtung der Filme mit einem vorgeschriebenen Lei­ terplan behandelt. Wie in Fig. 11 gezeigt wird, ist die Basis­ platte 301 mit Hilfe von Beförderungsantriebsrollen 302 in eine Richtung transportiert, die durch den Pfeil A (Basisplatten-Füh­ rungsrichtung) entlang des Basisplatten-Förderungsweges A-A ge­ kennzeichnet ist. Eine Niederhaltungs- und Klemmvorrichtung 310 gemäß der vorliegenden Erfindung ist in dem Raum vorgesehen, der begrenzt ist durch die Antriebsrolle 302 und die Einführungsvor­ richtung und durch die Schälwinkel-Setzplatte 305 und die Film- Ausgabeeinrichtung 306. In Fig. 11 bezeichnet das Bezugszeichen 302A eine Klemmrolle. Die Referenznummern 307A und 307B bezeich­ nen einen Container, der die abgeschälten Filme aufbewahrt, die von der Basisplatte in Richtungen, die durch die Pfeile M bzw. O angedeutet sind, stammen. Andere Konstruktionsarten und Arbeits­ weisen mit Bezug auf das Filmabhebungs-Gerät sind im Detail in der U.S.P 47 70 737 offenbart, so daß auf eine detaillierte Er­ klärung verzichtet wird.

Die Arbeitsweise eines Filmbearbeitungs-Geräts, das eine Einfüh­ rungseinrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung umfaßt und eine Filmauftragungs- oder -abhebe-Einrichtung darstellt, wird wie folgt zusammengefaßt:

• 1) Die Führungsecke einer Basisplatte in ihrer Transportrich­ tung wird aufgenommen. Die Basisplatte wird seitwärts be­ wegt, als Antwort auf ein Führungsecken-Aufnehmersignal. Da­ nach wird die Basisplatte niedergehalten und für eine vorge­ schriebene Länge in der Transportrichtung der Platte bewegt. Die Basisplatte wird dann automatisch auf oder ab bewegt, um mittig zwischen die Prozeßeinheit des Filmbearbeitungs-Ge­ räts gesetzt zu werden. Das Zentrum der Dicke der Basisplat­ te kann somit automatisch mittig zwischen die Prozeßeinhei­ ten positioniert werden, unabhängig von der Dicke.
• 2) Für den Fall, daß der Filmbearbeitungs-Apparat ein Filmauf­ tragungs-Gerät in einem Prozeß ist, in dem die Basisplatte niedergehalten und mit einer vorgeschriebenen Länge in der Transportrichtung der Platte bewegt wird, kann ein Film vor­ läufig auf die Basisplatte geklebt werden, die Basisplatte automatisch auf und nieder bewegt werden, um mittig zwischen den Prozeßeinheiten zu liegen, und der Film stufenweise auf der Basisplatte angeklebt werden, während die Platte in der Transportrichtung bewegt wird. Aus diesem Grunde kann der Film auf die Basisplatte geklebt werden, ohne daß Falten im Film und Luftblasen zwischen dem Film und der Basisplatte entstehen.
• 3) Für den Fall, daß der Filmbearbeitungs-Apparat ein Filmabhe­ bungs-Gerät darstellt: Nachdem die Basisplatte niedergehal­ ten und durch die vorgeschriebene Distanz in Transportrich­ tung bewegt wurde und die Basisplatte automatisch auf und ab bewegt wurde, um mittig zwischen den Prozeßeinheiten zu lie­ gen, kann der Film stufenweise von der Basisplatte abgehoben werden, während die Platte in Transportrichtung bewegt wird. Aus diesem Grunde kann der Film sicher von der Basisplatte abgeschält werden.
• 4) Die Filme können von beiden Seiten der Basisplatte aufge­ bracht oder abgehoben werden, um die Effizienz des Bearbei­ tungsprozesses der Filme zu beschleunigen.
• 5) Die Einlaß-Fördereinrichtung, die die Basisplatte zu einer vorbestimmten Position durch Rollen transportiert, während die Basisplatte seitwärts bewegt wird, umfaßt eine Basis­ platten-Niederhaltungseinrichtung die rotierbar ist und die für die Niederhaltung der Basisplatte nach der Seitwärtsbe­ wegung der Platte dient, und eine Basisplatten-Positionier­ einrichtung, die eine automatische Positionierung der Basis­ platte mittig zwischen die Prozeßeinheiten bewirkt, während die Basisplatte durch die Niederhaltungseinrichtung herun­ tergehalten bleibt. Aus diesem Grunde kann die Position der Basisplatte automatisch justiert werden, um mit der Mittel­ punktsdistanz zwischen den Prozeßeinheiten übereinzustimmen, ohne Rücksicht auf die Dicke.
• 6) Die Basisplatten-Positioniereinrichtung umfaßt eine Basis­ platten-Klemmvorrichtung, um die Basisplatte auf oder ab zu bewegen, so daß sie mittig zwischen den Prozeßeinheiten liegt und die Basisplatte an ihren beiden Seiten festge­ klemmt ist. Aus diesem Grunde kann das Zentrum der Dicke der Basisplatte justiert werden, um mit dem Mittelpunkt zwischen der oberen und der unteren Filmprozeßeinheit der Apparatur übereinzustimmen, und photoresistente Filme können auf bei­ den Seiten der Basisplatte unter denselben Bedingungen für beide Seiten aufgebracht werden.
• 7) Die Naßroller, die aus Schwammrollen zur Anwendung eines Luftblasenverhinderungs-Wirkstoffes auf beiden Seiten der Basisplatte, können die Basisplatte in einer Weise festklem­ men, die der Basisplatten-Positioniereinrichtung ähnlich ist. Wenn der Prozeß, in dem der Luftblasenverhinderungs­ Wirkstoff nicht angewendet wird, auf die Basisplatten ge­ wählt wird, werden die Naßroller davon abgehalten, die Ba­ sisplatte festzuklemmen, so daß dadurch eine unnötige Ab­ nutzung der Basisplatte vermieden wird.

Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die beschriebenen Aus­ führungsbeispiele beschränkt, vielmehr können verschiedene Aus­ führungsformen oder Praktiken auf anderen verschiedenen Wegen gewählt werden, ohne den wesentlichen Grundgedanken und Charak­ ter der vorliegenden Erfindung zu verlassen.

Claims (16)

1. Basisplatten-Fördereinrichtung zur Förderung und Einführung einer Basisplatte von einem Einlaßförderband zu einer Pro­ zeßeinheit, wobei das Einlaßförderband, welches die Basis­ platte am Stützpunkt einer Seite der Basisplatte führt und die Prozeßeinheit, die die Basisplatte am Stützpunkt des Zentrums der Dicke der Basisplatte bearbeitet, enthält:

• - eine Basisplatten-Halterung zum Halten der Basisplatte, die auf dem Einlaßförderband positioniert ist; und
• - eine Basisplatten-Positions-Korrektureinrichtung zum Festklemmen der Basisplatte auf beiden Seiten, so daß das Zentrum der Dicke der Basisplatte mit dem Zentrum der Prozeßeinheit übereinstimmt.

2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich­ net, daß die Basisplatten-Halterung eine Halterolle zur Halterung der einen Oberfläche der Basisplatte und einen Zylinder zur niedergedrückten Bewegung der Halterollen in Richtung der einen Oberfläche der Basisplatte aufweist.

3. Einrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeich­ net, daß die Halterolle eine Gummirolle ist, die eine Zug­ funktion ausübt.

4. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich­ net, daß die Basisplatten-Positions-Korrektureinrichtung wenigstens ein Paar Klemmrollen zum Festklemmen der Basis­ platte und synchrone Antriebseinrichtungen, um synchron die Klemmrollen der beiden Seiten der Basisplatte in Richtung der Basisplatte im niedergedrückten Zustand zu bewegen, aufweist.

5. Einrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeich­ net, daß die Basisplatten-Halterung eine Halterolle zum Halten der einen Oberfläche der Basisplatte aufweist und wenigstens eine der Klemmrollen der Halterolle dient.

6. Einrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeich­ net, daß wenigstens eine Klemmrolle, die der Halterolle dient, an einer Seite der Prozeßeinheit angebracht ist.

7. Einrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeich­ net, daß wenigstens eine Klemmrolle, die der Halterolle dient, an die Basisplatte gepreßt wird, die auf dem Einlaß­ förderband positioniert ist und dann alle der Klemmrollen im niedergedrückten Zustand, synchron auf die Basisplatte bewegt wird, damit das Zentrum der Dicke der Basisplatte mit dem Zentrum der Prozeßeinheit übereinstimmt, während die Niederdrückungskraft auf wenigstens eine der Klemmrol­ len, die der Halterolle dient, erniedrigt wird.

8. Einrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Basisplatten-Positions-Kor­ rektureinrichtung ferner Rollen aufweist, die Glieder un­ terstützen, die die Klemmrollen unterstützen und synchron die Klemmrollen zum Festklammern der Basisplatte bewegen, und die Basisplatten-Halterung ferner Aussparungen auf­ weist, die auf dem rollenunterstützenden Glied gebildet sind, um eine Bewegung der wenigstens einen Klemmrolle in Richtung der Basisplatte zu gestatten, wenn die wenigstens eine Klemmrolle die Basisplatte festhält.

9. Einrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeich­ net, daß die Synchron-Antriebseinrichtung einen pneumati­ schen Greifarm des parallelen Typus aufweist.

10. Einrichtung nach einem der Ansprüche 2 und 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Halterolle und die Klemmrol­ len mittels eines Zahnriemens in Rotation versetzt werden.

11. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich­ net, daß eine Abweichung vom Zentrum der Prozeßeinheit von der Oberfläche der Basisplatte, die auf dem Einlaßförder­ band positioniert ist, größer ist als die Abweichung des Zentrums der Dicke der Basisplatte, die darauf positioniert ist, von der Oberfläche der Basisplatte, die daran positio­ niert ist.

12. Einrichtung nach Anspruch 1, die ferner enthält:

• - eine Basisplatten-Seitwärts-Bewegungseinrichtung, die stromaufwärts an dem Einlaßförderband positioniert ist, relativ zu der Basisplatten-Halterung zur Fortbewegung der Basisplatte in der Spannweitenrichtung und die die Basisplatte in eine vorgeschriebene Position positio­ niert, die geeignet ist, die Basisplatte durch die Ba­ sisplatten-Halterung zu halten.

13. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich­ net, daß die Prozeßeinheit simultan beide Oberflächen der Basisplatte bearbeitet.

14. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 oder 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Prozeßeinheit eine Film-Auf­ bringungseinrichtung mit Druck-Haftungsrollen, zur Druck­ klebung von Filmen auf beide Oberflächen der Basisplatte aufweist.

15. Einrichtung nach Anspruch 14, die ferner beinhaltet:

• - eine Leerstellen-Verhinderungseinrichtung, zur Anwendung eines Wirkstoffes auf beiden Oberflächen der Basisplatte bevor die Filme unter Druck auf beiden Oberflächen der Basisplatte aufgeklebt werden.

16. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 oder 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Prozeßeinheit eine Filmabtra­ gungs-Einrichtung zum Abheben der Filme, die auf beiden Seiten der Basisplatte aufgeklebt sind, ist.