DE404295T1 - Kondensatoren fuer integrierte schaltungen. - Google Patents
Kondensatoren fuer integrierte schaltungen.Info
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Claims (20)
- R835-1-T 91 DE/EP 16. Juli 1991Tu/loPatentansprüche,Q 1. Verfahren zur Herstellung eines Kondensators auf einem Substrat für eine integrierte Schaltung, gekennzeichnet durchdie Ausbildung erster und zweiter durch ein dielektrisches Material voneinander getrennter.c Elektroden und durch die Ausbildung von Mehrfach-schichten für eine der Elektroden, wobei eine der Mehrfachschichten eine an die dielektrische Schicht angrenzende Plattenschicht umfaßt.
- 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,daß die eine Elektrode ausgebildet wird durch
Einrichtung einer Adhäsionsschicht und
Einrichtung einer an die dielektrische Schicht angrenzenden und oberhalb der Adhäsionsschichtangeordneten Plattenschicht.
25 - 3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,
daß die Einrichtungsschritte die Einrichtung einer unteren Schicht und einer darüberliegenden Plattenschicht umfassen und dann die Rückwirkung derunteren Schicht zur Ausbildung der Adhäsionsschicht.. - 4. Verfahren zu Herstellung eines mehrschichtigen Elektrodenkondensators auf einerr^ integriertenSchaltkreis, das die Schritte umfaßt:
35Herstellen einer ersten mehrschichtigen Elektrodedurch die Schritte (a) eine Adhäsionsschicht auf einem Substrat auszubilden, (b) eine Diffusionsbar-riere auf der Adhäsionsschicht auszubilden, (c)einen elektrischen Leiter auf der Diffusionsbarriere auszubilden und (d) eine Platten- und eine Kristallisationsschicht auf dem elektrischen Leiter auszubilden;Herstellen einer zweiten mehrschichtigen Elektrode durch (a) Ausbilden einer zweiten Plattenschicht auf dem Dielektrikum, (b) Ausbilden einer zweiten Diffusionsbarriere auf der zweiten Elektrode und (c) Ausbilden einer zweiten elektrischen Leitungsschicht auf der zweiten Diffusionsbarriere. - 5. Kondensator für einen integrierten Schaltkreis mit: ersten und zweiten Elektroden und einem zwischen den Elektroden angeordnetem Dielektrikum, wobeieine der Elektroden eine an dem Dielektrikum angrenzende Plattenschicht und eine weitere Schicht aufweist.
- 6. Kondensator nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die weitere Schicht eine Diffusionsbarriere umfaßt.
- 7. Kondensator nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die weitere Schicht eine elektrische Kontaktschicht umfaßt.
- 8. Kondensator nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die weitere Schicht eine Adhäsionsschicht umfaßt.
- 9. Kondensator nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die eine Elektrode eine Plattenschicht und zwei weitere Schichten umfaßt.
- 10. Kondensator nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet,daß die eine Elektrode wenigstens drei charakteristische Schichten umfaßt.
- 11. Kondensator nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet,daß die andere der Elektroden eine zweite Plattenschicht und eine zweite weitere Schicht umfaßt.
- 12. Kondensator nach Anspruch 10, dadurch gekennzeich- Anet,daß eine der Elektroden die Plattenschicht, eine elektrisch leitende Schicht, eine Adhäsionsschicht IQ und Diffusionsbarriere, umfaßt.
- 13. Kondensator nach Anspruch 5 mit:einer Adhäsionsschicht auf einem Substrat;
einer Diffusionsbarriere und einem elektrischen . c Kontakt, die beide zwischen der Plattenschicht unddem Substrat angeordnet sind. - 14. Kondensator nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die weitere Schicht der einen Elektrode eineelektrische Kontaktschicht und eine Diffusionsbar-20riere umfaßt.
- 15. Kondensator nach Anspruch 14, gekennzeichnet durch eine Adhäsionsschicht.
- 16. Kondensator nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet,daß die weitere Schicht Titan oder Titanstickstoff aufweist.
- 17. Kondensator für eine integrierte Schaltung mit:
30ersten und zweiten Elektroden; undeinem zwischen den Elektroden angeordnetem Dielektrikum, wobei eine der Elektroden eine an das ' Dielektrikum grenzende Plattenschicht und eineweitere Schicht aufweist, wobei die weitere Schicht * 35eine Schicht aus Titan und eine Schicht aus Titanstickstoff umfaßt. - 18. Kondensator nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet,daß die weitere Schicht des weiteren eine Schicht aus Aluminium aufweist.
- 19. Verfahren zur Herstellung eines Kondensators aufeiner integrierten Schaltung, das die Schritte umfaßt:Ausbilden durch ein dielektrisches Material IQ getrennter erster und zweiter Elektroden, wobeieine der Elektroden hergestellt wird durch (a) Ausbilden wenigstens einer Schicht, (b) Ausbilden einer Plattenschicht -auf der einen Schicht und (c) Oxidieren der einen Elektrode, wobei die wenigstens&eegr; _ eine Schicht oxidiert ist und die Plattenschicht andie dielektrische Schicht angrenzt.
- 20. Verfahren nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, daß die andere der Elektroden hergestellt wirddurch die Schritte: (a) Ausbilden einer zweiten 20Plattenschicht, (b) Ausbilden wenigstens einer weiteren Schicht und (c) Oxidieren der anderen Elektrode, wobei die weitere Schicht oxidiert ist und die zweite Plattenschicht an die dielektrischeSchicht angrenzt.
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