DE3543251C2 - - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein piezoelektrisches Festkörper­ bauelement gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.

Die Fig. 10 und 11 zeigen eine perspektivische Ansicht und einen Querschnitt durch ein in der US 43 56 421 als bekannt beschriebenes konventionelles platten­ artiges piezoelektrisches Element 1, bei dem räumliche bzw. Volumenschwingungen auftreten. Ein polarisiertes piezoelektrisches Keramikelement 2 besitzt an seiner oberen und an seiner unteren Fläche jeweils eine Elektrode 3 und 4, so daß gewünschte räumliche bzw. Volumenschwingungen, die auch zu Zählzwecken verwendet werden können, beim Anlegen einer Spannung an die Elektroden 3 und 4 erhalten werden. Bei einem derartigen plattenförmigen piezoelektrischen Element 1 kann die Resonanzfrequenz im allgemeinen dadurch eingestellt werden, daß die Endflächen des Elementes geläppt werden, also im vorliegenden Fall die äußeren Randumfangsflächen.

Das in den Fig. 10 und 11 dargestellte piezo­ elektrische Element 1 eignet sich jedoch nicht zur Ver­ bindung beispielsweise mit einem zweiten Resonator zur Bildung einer Filterkette bzw. eines symmetrischen Kettenleiters (Abzweigfilter), dessen Impedanz relativ klein sein muß.

Aus der OS-US 35 90 287 ist ein piezoelektrisches Festkörper­ bauelement bekannt, das einen aus mehreren in einer Stapelrich­ tung übereinandergeschichteten und auf ihren Hauptflächen Elek­ troden tragenden Keramikplatten sowie durch Brennen der so er­ haltenen Struktur gebildeten gesinterten Körper aufweist. Wei­ terhin sind zwei wenigstens teilweise innerhalb des gesinterten Körpers liegende Elektrodengruppen vorhanden, von denen die er­ ste eine Mehrzahl von elektrisch untereinander verbundenen und übereinanderliegenden ersten Elektroden und von denen die zwei­ te eine Mehrzahl von elektrisch untereinander verbundenen und übereinanderliegenden zweiten Elektroden besitzt, wobei die Elektroden beider Elektrodengruppen in Stapelrichtung abwech­ selnd angeordnet sind. Weiterhin sind erste und zweite Verbin­ dungselemente zur elektrischen Verbindung der jeweils die erste bzw. zweite Elektrodengruppe bildenden ersten bzw. zweiten Elektroden vorhanden. Ein Bearbeiten der im Bereich der äußeren Umfangsflächen angeordneten Elektroden zum exakten Einstellen der Resonanzfrequenz des piezoelektrischen Festkörperbauele­ ments ist nicht möglich, da die auf der Außenseite liegenden Verbindungselemente beim Bearbeitungsvorgang leicht zerstört werden.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein piezo­ elektrisches Festkörperbauelement der zuletzt genannten Art so weiterzubilden, daß seine Resonanzfrequenz leicht und zuverlässig eingestellt werden kann.

Die Lösung der gestellten Aufgabe ist im kennzeichnenden Teil des Patentanspruchs 1 angegeben.

Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind den Unteransprüchen zu entnehmen.

Das piezoelektrische Festkörperbauelement nach der vorliegenden Erfindung zeichnet sich dadurch aus, daß die Verbindungselemen­ te erste und zweite elektrisch leitfähige Elemente innerhalb von Durchgangslöchern, die sich im gesinterten Körper befinden, aufweisen, die jeweiligen ersten Elektroden der ersten Elektro­ dengruppe im Bereich der Durchgangslöcher so ausgebildet sind, daß sie nicht in elektrischem Kontakt mit dem zweiten leitfähi­ gen Element und die jeweiligen zweiten Elektroden der zweiten Elektrodengruppe im Bereich der Durchgangslöcher so ausgebildet sind, daß sie nicht in elektrischem Kontakt mit dem ersten leit­ fähigen Element stehen.

Die genannten Keramikplatten können beispielsweise in noch unbehandeltem bzw. ungesintertem Zustand übereinander­ geschichtet werden und tragen als Elektroden dienende Elektrodenmuster, die beispielsweise auf die Keramik­ platten aufgedruckt worden sind. Die übereinanderge­ schichteten Keramikplatten werden gegeneinander gepreßt und gebrannt, so daß ein gesinterter Körper erhalten wird.

Innerhalb des gesinterten Körpers sind zwei Durchgangslöcher vorhanden. Durch jeweils ein Durchgangsloch werden die zu einer Elektrodengruppe gehörenden Elektroden elektrisch untereinander verbunden. Es sind daher keine äußeren Elektroden im Bereich der Umfangsflächen des gesinterten Körpers zur elektrischen Verbindung der innerhalb des ge­ sinterten Körpers vorhandenen Elektroden erforderlich. Die Umfangsflächen können daher geläppt bzw. poliert werden, so daß eine einfache und sichere Einstellung der Resonanz­ frequenz des piezoelektrischen Festkörperbauelementes möglich ist. Da die Elektroden der ersten und zweiten Elektrodengruppe durch die genannten Durchgangslöcher verbunden werden, können gleichzeitig mehrere piezo­ elektrische Festkörperbauelemente hergestellt werden, so daß eine effektive Fertigung bei geringen Herstellungs­ kosten möglich ist.

Nach einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung sind die Durchgangslöcher in schwingungsarmen Bereichen des gesinterten Körpers bzw. der Keramikplatten angeordnet. Vorzugsweise befinden sich die Durchgangslöcher im Bereich von Schwingungsknotenpunkten des gesinterten Körpers bzw. der Keramikplatten, oder in der Nähe der Schwingungsknotenpunkte. Die Durchgangslöcher können sich aber auch in den Eckbereichen der jeweiligen Keramikplatten befinden.

Nach einer anderen vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung umfassen die Elektroden der ersten und zweiten Elektroden­ gruppe elektrodenfreie Bereiche, in denen die Durchgangs­ löcher liegen. Die jeweiligen ersten und zweiten leit­ fähigen Elemente innerhalb der Durchgangslöcher stehen dabei mit den Elektroden über geeignet ausgebildete Vor­ sprünge in Kontakt, die sich von den Elektroden in einen elektrodenfreien Bereich bis zu einem Durchgangsloch hinein erstrecken.

Vorteilhafterweise sind die ersten und zweiten leitfähigen Elemente elektrisch leitfähige Schichten, die an der inneren Umfangsfläche der Durchgangslöcher angeordnet sind. Die ersten und zweiten leitfähigen Elemente können aber auch durch elektrisch leitfähiges Material gebildet sein, das in die Durchgangslöcher eingefüllt ist bzw. diese ausfüllt.

Die durch Brennen zu dem gesinterten Körper miteinander verbundenen Keramikplatten bzw. Keramikschichten sind abwechselnd in oder entgegengesetzt zur Stapelrichtung polarisiert.

Die Zeichnung stellt Ausführungsbeispiele der Erfindung dar. Es zeigen:

Fig. 1 eine schematische Frontansicht eines ersten Ausführungsbeispiels nach der vorliegenden Anmeldung,

Fig. 2 eine perspektivische Ansicht des in Fig. 1 dargestellten ersten Ausführungsbeispiels,

Fig. 3 ein Diagramm zur Erläuterung der Herstel­ lung des piezoelektrischen Festkörperbau­ elementes nach den Fig. 1 und 2,

Fig. 4 eine Draufsicht auf noch unbehandelte bzw. ungesinterte Keramikplättchen für das in den Fig. 1 und 2 dargestellte piezo­ elektrische Festkörperbauelement,

Fig. 5 eine Draufsicht auf die Hauptflächen der Keramikplättchen, die mit Durchgangslöchern versehen sind und auf ihren Hauptflächen Elektrodenmuster tragen,

Fig. 6 einen Querschnitt durch ein Keramik­ plättchen im Bereich einer Durchgangsöffnung,

Fig. 7 eine perspektivische Explosionsdarstellung zur Erläuterung der Lage der übereinander angeordneten Elektroden des piezoelektrischen Festkörperbauelementes,

Fig. 7A eine Draufsicht auf ein Keramikplättchen mit einem abgewandelten Elektrodenmuster,

Fig. 8 den Zusammenhang zwischen Impedanz und Frequenz bei einem konventionellen platten­ artigen piezoelektrischen Element,

Fig. 9 den Zusammenhang zwischen Impedanz und Frequenz bei dem in den Fig. 1 und 2 dargestellten piezoelektrischen Festkörper­ bauelement,

Fig. 10 und 11 eine perspektivische und eine Querschnitts­ ansicht des konventionellen plattenartigen piezoelektrischen Elementes, und

Fig. 12 eine Querschnittsansicht durch ein kon­ ventionelles piezoelektrisches Festkörper­ bauelement.

In der Fig. 1 ist eine Frontansicht des piezoelektrischen Festkörperbauelementes nach der vorliegenden Anmeldung schematisch dargestellt. Das monolithische piezo­ elektrische Element 21 (piezoelektrisches Festkörper­ bauelement) besitzt plattenförmige Keramikschichten 21a bis 21c, die übereinandergeschichtet angeordnet sind. Dabei liegen sich die Hauptflächen bzw. großen Schichtoberflächen jeweils gegenüber. Zwischen den Keramikschichten liegen Elektroden 22b und 22c, die ebenfalls als dünne Schichten bzw. Filme ausgebildet sind.

Auf der äußeren Oberfläche der oberen Keramikschicht 21a und auf der äußeren Oberfläche der unteren Keramikschicht 21c liegt darüber hinaus jeweils eine weitere Elektrode 22a bzw. 22d. Auch diese weiteren Elektroden 22a und 22d sind als dünne Schichten bzw. Filme ausgebildet. Die Elektroden 22a und 22c des piezoelektrischen Festkörperbauelementes 21 sind elektrisch miteinander verbunden, und zwar durch ein Durchgangsloch 25 hindurch, das an seiner inneren Randumfangsfläche eine erste leitfähige Schicht trägt, die in Fig. 1 nicht eingezeichnet ist. Das Durchgangsloch 25 befindet sich sowohl in der Keramikschicht 21a als auch in der Keramikschicht 21b. Weiterhin sind die Elektroden 22b und 22d elektrisch miteinander verbunden, und zwar durch ein weiteres Durchgangsloch 26, das an seiner inneren Umfangsfläche eine zweite leitfähige Schicht trägt. Dieses zweite Durchgangsloch 26 befindet sich sowohl in der Keramikschicht 21b als auch in der Keramikschicht 21c.

Die Elektroden 22a und 22c bilden daher eine erste Elektrodengruppe, während die Elektroden 22b und 22d eine zweite Elektrodengruppe bilden. Die jeweiligen Durch­ gangslöcher 25 und 26 sind im Bereich von Schwingungs­ knotenpunkten des piezoelektrischen Festkörperbauelementes 21 oder in deren Nähe angeordnet, wie nachfolgend noch genauer beschrieben wird. Es sind daher keine äußeren Elektroden an den Endflächen bzw. Randumfangsflächen des piezoelektrischen Festkörperbauelementes 21 erforderlich, um die jeweiligen Elektroden 22a bis 22d in der angegebenen Weise zu verbinden. Die Resonanzfrequenz des piezo­ elektrischen Festkörperbauelementes kann daher in einfacher Weise durch Läppen dieser Endflächen bzw. Randumfangs­ flächen des piezoelektrischen Festkörperbauelementes 21 eingestellt werden. Die Durchgangslöcher 25 und 26 können auch mit leitfähigem Material aufgefüllt werden, um die Elektroden 22a bis 22d, wie beschrieben, miteinander zu verbinden.

Wie bereits erwähnt, werden die Durchgangslöcher 25 und 26 vorzugsweise im Bereich von Schwingungsknotenpunkten oder in deren Nähe angeordnet, da in diesen Bereichen eine mechanische Unterstützung des piezoelektrischen Fest­ körperbauelementes erfolgt. Die Durchgangslöcher 25 und 26 können aber auch in geeigneten anderen Bereichen ange­ ordnet sein.

Im Nachfolgenden wird die Herstellung des piezoelektrischen Festkörperbauelementes nach den Fig. 1 und 2 anhand der Fig. 3 näher erläutert. Zunächst werden unbehandelte bzw. ungesinterte Keramikplatten 21a bis 21c hergestellt, wie sie in Fig. 4 abgebildet sind. Die Fig. 4 zeigt dabei jeweils Draufsichten auf die Hauptoberfläche der Keramikplatten. Die jeweiligen Keramikplatten 21a bis 21c bilden schließlich die Keramikschichten 21a bis 21c in Fig. 1, und sind deswegen mit den gleichen Bezugs­ zeichen versehen.

In die Keramikplatten 21a bis 21c werden Durchgangs­ öffnungen 25a, 25b, 26b und 26c eingebracht , die alle dieselbe Größe besitzen. Durch die genannten Durchgangs­ öffnungen 25a, 25b, 26b und 26c werden die bereits erwähnten Durchgangslöcher 25 und 26 erhalten.

Im Anschluß daran werden auf den Hauptflächen der je­ weiligen Keramikplatten 21a bis 21c Elektrodenmuster 22a bis 22d aufgedruckt, wie in Fig. 5 gezeigt ist. Die Elektrodenmuster können auch durch andere geeignete Ver­ fahren auf den Keramikplatten gebildet werden. Das Elektro­ denmuster 22d befindet sich auf der rückseitigen Fläche der Keramikplatte 21c, wie die Fig. 1 erkennen läßt. Allerdings verläuft die Blickrichtung auf das Elektroden­ muster 22d in Fig. 5 ausgehend vom Elektrodenmuster 22c, das auf der anderen bzw. Oberseite der Keramikplatte 21c liegt, um die Lage der Durchgangsöffnung 26c besser darstellen zu können. Wie der Fig. 5 zu entnehmen ist, befinden sich im Zentrum der Keramikplatten 21b und 21c bzw. der zugeordneten Elektrodenmuster 22b und 22c elektrodenfreie Bereiche 27 und 28. Das Elektrodenmuster 22b besitzt ferner einen Vorsprung 29b, der sich in Richtung der Durchgangsöffnung 26b in den elektrodenfreien Bereich 27 hineinerstreckt und bis zur Durchgangsöffnung 26b reicht. Auf diese Weise wird der Rand der Durchgangs­ öffnung 26b elektrisch mit dem Elektrodenmuster 22b über den Vorsprung 29b verbunden. In ähnlicher Weise besitzt das Elektrodenmuster 22c einen Vorsprung 29c, der sich jedoch nicht bis zu einer Durchgangsöffnung innerhalb der Keramikplatte 21c erstreckt. Der Vorsprung 29c aus leit­ fähigem Material endet vielmehr an einer Position, an der das Durchgangsloch 25b in der oberen Keramikplatte 21 liegt, wenn alle Keramikplatten 21a bis 21c über­ einandergeschichtet sind.

Nach Bildung der jeweiligen Elektrodenmuster 22a bis 22d werden die inneren Randbereiche der Durchgangsöffnungen 25a, 25b, 26b und 26c mit elektrisch leitfähigen Schichten versehen. Dieser Zustand ist in Fig. 6 dargestellt, die einen Querschnitt entlang der Linie VI-VI in Fig. 5 zeigt.

Wie der Fig. 6 klar zu entnehmen ist, liegt eine leit­ fähige Schicht 31 am inneren Randbereich der Durchgangs­ öffnung 25a innerhalb der Keramikplatte 21a an, die auf ihrer oberen Fläche das Elektrodenmuster 22a trägt. Die leitfähige Schicht 31 kann beispielsweise durch Aufdrucken leitfähigen Materials an beiden Seiten der Durchgangsöffnung 25a bzw. an beiden Oberflächen der Keramikplatte 21a hergestellt werden. In ähnlicher Weise werden leitfähige Schichten in den Durchgangslöchern 25b, 26b und 26c erzeugt.

Die mit den Elektrodenmustern 22a bis 22d versehenen Keramikplatten 21a bis 21c werden dann übereinanderge­ schichtet, wie in Fig. 5 gezeigt ist. Anschließend werden sie dann gegeneinander gedrückt. In diesem Stadium sind die Durchgangsöffnungen 25a und 25b aufeinander ausgerichtet, während gleichzeitig die Durchgangsöffnungen 26b und 26c aufeinander ausgerichtet sind. Das Elektrodenmuster 22a und das Elektrodenmuster 22c sind daher elektrisch mitein­ ander verbunden, und zwar über die leitfähigen Schichten in den inneren Randbereichen der Durchgangsöffnungen 25a und 25b. Das durch die Durchgangsöffnungen 25a und 25b gebildete Durchgangsloch 25 sowie die leitfähige Schicht in seinem inneren Randbereich stellen ein erstes Verbindungsele­ ment gemäß der vorliegenden Anmeldung dar. In gleicher Weise stellen das durch die Durchgangsöffnungen 26b und 26c gebildete Durchgangsloch 26 und die zweite leitfähige Schicht an seinem inneren Randbereich ein zweites Verbindungs­ element gemäß der vorliegenden Anmeldung dar, um die Elektrodenmuster 22b und 22d miteinander zu verbinden.

In der Fig. 7 sind in Form einer perspektivischen Explosionsdarstellung die übereinanderliegenden Elektroden 22a bis 22d des piezoelektrischen Festkörperbauelementes 21 nach den Fig. 1 und 2 dargestellt, wobei Frontbereiche der Elektroden 22a bis 22d entfernt sind. Nicht gezeigt sind in Fig. 7 die Keramikplatten 21a bis 21c. Wie anhand der Fig. 7 zu erkennen ist, ist die Elektrode 22a elektrisch mit dem Vorsprung 29c der Elektrode 22c über das Durch­ gangsloch 25 verbunden, während der Vorsprung 29b der Elektrode 22b mit der Elektrode 22d über das Durchgangs­ loch 26 elektrisch verbunden ist.

Wie in Fig. 7A zu erkennen ist, können zusätzlich Durch­ gangslöcher 35 und 36 in der Nähe der Ecken von Keramik­ platten 31b vorhanden sein. In diesem Fall ist beispiels­ weise ein Vorsprung 39b mit einer Elektrode 32b verbunden, wobei andere Elektroden in entsprechender Weise ausge­ bildet sein können.

Nach dem Zusammendrücken der genannten Keramikplatten wird die erhaltene Anordnung unter vorbestimmten Sinterbe­ dingungen gebrannt, so daß ein piezoelektrisches Fest­ körperbauelement erhalten wird, wie es bereits in den Fig. 1 und 2 beschrieben worden ist.

Entsprechend dem Weg (a) in Fig. 3 wird der gesinterte Körper polarisiert, indem eine Spannung an die Elektroden 22a und 22d angelegt wird, die auf der oberen und der unteren Fläche des piezoelektrischen Festkörperbau­ elementes 21 nach den Fig. 1 und 2 liegen. Die Keramik­ platten 21a bis 21c werden somit in Richtung der Pfeile in Fig. 1 polarisiert.

Danach werden die Endflächen zur Frequenzeinstellung poliert. Die zuvor beschriebenen Schritte können nicht nur zur Herstellung eines einzelnen piezoelektrischen Festkörperbauelementes durchlaufen werden, sondern auch dann, wenn gleichzeitig eine größere Anzahl von piezo­ elektrischen Festkörperbauelementen hergestellt werden soll. Im zuletzt genannten Fall wird der gesinterte Körper so unterteilt, beispielsweise zersägt, daß einzelne piezoelektrische Festkörperbauelemente erhalten werden.

Es wird dann eine erneute Messung vorgenommen, um eine gewünschte Zentrumsfrequenz einzustellen, während dabei gleichzeitig die Endflächen des vorliegenden piezo­ elektrischen Festkörperbauelementes poliert werden.

Entsprechend dem zuvor beschriebenen Ausführungs­ beispiel sind die Elektroden 22a bis 22d elektrisch miteinander über die Durchgangslöcher 25 und 26 ver­ bunden, so daß keine Verbindungselektroden an den End­ flächen bzw. Randumfangsflachen vorhanden sein müssen. Diese Endflächen können daher zur Einstellung der Zentrumsfrequenz geläppt bzw. poliert werden.

In der Fig. 9 ist die Impedanz in Abhängigkeit der Frequenz bei dem in den Fig. 1 und 2 dargestellten Ausführungsbeispiel nach der vorliegenden Anmeldung aufgetragen. Fig. 8 zeigt dagegen das Impedanz-Frequenz­ verhalten des in Fig. 10 dargestellten konventionellen plattenartigen piezoelektrischen Elementes 1. Sowohl das zur Messung verwendete piezoelektrische Festkörperbauelement nach der Fig. 1 als auch das plattenförmige piezo­ elektrische Element nach Fig. 10 besaßen eine Flächen­ ausdehnung von 7×7 mm und eine Dicke von 0,5 mm. Wie ein Vergleich der Fig. 8 und 9 unmittelbar erkennen läßt, besitzt das piezoelektrische Festkörperbauelement nach der Fig. 1 eine wesentlich kleinere Impedanz, während bei ihm gleichzeitig unerwünschte Störschwingungen auf­ grund von Oberwellenschwingungen erheblich reduziert sind. Im Vergleich zum konventionellen plattenartigen piezo­ elektrischen Element 1 nach Fig. 10 werden darüber hinaus aber auch die Störschwingungen vermindert, die durch Dickenexpansions-Modenschwingungen hervorgerufen werden.

Das in den Fig. 1 und 2 dargestellte piezoelektrische Festkörperbauelement besteht lediglich aus drei Keramik­ schichten bzw. Keramikplatten und vier Elektrodenschichten. Selbstverständlich kann es auch aus mehr als drei Keramikplatten und vier Elektrodenschichten bestehen und entsprechend der beschriebenen Art hergestellt sein. Keramikplatten und Elektroden bzw. das Element selbst können kreisförmig ausgebildet sein, um die genannten Ausdehnungs- bzw. Volumenschwingungen zu erzeugen. Darüber hinaus kann ein piezoelektrisches Festkörperbauelement der genannten Art auch eine gerade Anzahl von Keramikplatten besitzen, zum Beispiel vier oder sechs Platten.

Im allgemeinen werden die Elektroden 22a und 22d auf die Keramikplatten 21a und 21c aufgebracht, bevor diese übereinandergeschichtet werden. Die genannten Elektroden 22a und 22d können auf die Keramikplatten 21a und 21c aber auch aufgebracht werden, nachdem die aufeinanderge­ schichteten Keramikplatten 21a bis 21c zur Bildung des gesinterten Körpers gebrannt worden sind. Dieser Weg ist in der Fig. 3 mit (b) bezeichnet. In der Praxis hat sich diese Vorgehensweise als vorteilhaft erwiesen.

Claims (8)

1. Piezoelektrisches Festkörperbauelement mit

• - einem aus mehreren in einer Stapelrichtung übereinanderge­ schichteten und auf ihren Hauptflächen Elektroden tragenden Keramikplatten (21a-21c) sowie durch Brennen der so erhal­ tenen Struktur gebildeten gesinterten Körper (21),
• - zwei wenigstens teilweise innerhalb des gesinterten Körpers (21) liegenden Elektrodengruppen,
  • - von denen die erste eine Mehrzahl von elektrisch unterein­ ander verbundenen und übereinanderliegenden ersten Elektroden (22a, 22c) und
  • - von denen die zweite eine Mehrzahl von elektrisch unter­ einander verbundenen und übereinanderliegenden zweiten Elek­ troden (22b, 22d) besitzt,
  • - wobei die Elektroden beider Elektrodengruppen in Stapel­ richtung abwechselnd angeordnet sind, und
• - ersten und zweiten Verbindungselementen zur elektrischen Verbindung der jeweils die erste bzw. zweite Elektrodengruppe bildenden ersten bzw. zweiten Elektroden,

dadurch gekennzeichnet, daß

• - die Verbindungselemente erste und zweite elektrisch leitfä­ hige Elemente innerhalb von Durchgangslöchern (25a, 25b; 26b, 26c), die sich im gesinterten Körper (21) befinden, aufwei­ sen,
• - die jeweiligen ersten Elektroden (22a, 22c) der ersten Elektrodengruppe im Bereich der Durchgangslöcher (25a, 25b; 26b, 26c) so ausgebildet sind, daß sie nicht in elektrischem Kontakt mit dem zweiten leitfähigen Element und
• - die jeweiligen zweiten Elektroden (22b, 22d) der zweiten Elektrodengruppe im Bereich der Durchgangslöcher (25a, 25b; 26b, 26c) so ausgebildet sind, daß sie nicht in elektrischem Kontakt mit dem ersten leitfähigen Element stehen.

2. Piezoelektrisches Festkörperbauelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Durchgangslöcher (25a, 25b; 26b, 26c) in schwingungsarmen Bereichen des gesinterten Körpers (21) bzw. der Keramik­ platten (21a-21c) angeordnet sind.

3. Piezoelektrisches Festkörperbauelement nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Durchgangslöcher (25a, 25b; 26b, 26c) in Schwingungsknoten­ punkten des gesinterten Körpers bzw. der Keramikplatten oder in der Nähe von Schwingungsknotenpunkten angeordnet sind.

4. Piezoelektrisches Festkörperbauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Elektroden der ersten und zweiten Elektrodengruppe elektrodenfreie Bereiche (27, 28) umfassen, in denen die Durchgangslöcher (25a, 25b; 26b, 26c) liegen.

5. Piezoelektrisches Festkörperbauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die ersten und zweiten leitfähigen Elemente elektrisch leitfähige Schichten sind, die an der inneren Umfangsfläche der Durchgangslöcher (25a, 25b; 26b, 26c) angeordnet sind.

6. Piezoelektrisches Festkörperbauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die ersten und zweiten leitfähigen Elemente durch elektrisch leitfähiges Material gebildet sind, das in die Durchgangslöcher (25a, 25b; 26b, 26c) einge­ füllt ist bzw. diese ausfüllt.

7. Piezoelektrisches Festkörperbauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die durch Brennen zu dem gesinterten Körper (21) miteinander verbundenen Keramikplatten (21a-21c) abwechselnd in oder entgegengesetzt zur Stapel­ richtung polarsisiert sind.