DE4005184C2 - - Google Patents
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Description
Die Erfindung betrifft ein piezoelektrisches Filter vom Energieeinfangtyp,
insbesondere befaßt sich die Erfindung mit einem monolithischen Filterbau
stein, der mit einer Oberschwingung der Dickenausdehnungs-Schwingungs
mode arbeitet.
Zur Erläuterung des Standes der Technik soll bereits hier auf Fig. 1 und
2 der Zeichnung Bezug genommen werden.
Fig. 1 zeigt einen schematischen Querschnitt eines Beispiels eines her
kömmlichen piezoelektrischen Filterbausteins, der als Energiefalle arbeitet
(Energieeinfangtyp). Bei dem Filterbaustein 1, im folgenden kurz Filter
bezeichnet, sind Elektroden 3 und 4 in vorgegebenem Abstand zueinander
auf der Oberfläche eines Substrats 2 aus piezoelektrischer Keramik ausgebil
det, das in Richtung seiner Dicke polarisiert wurde, und eine gemeinsame
Elektrode 5 ist so auf der Unterseite des Substrats 2 angeordnet, daß sie im
Grundriß mit den Elektroden 3 und 4 überlappt. Der Filterbaustein 1 wird als
Filter betrieben, indem eine der Elektroden 3 und 4 als Eingangselektrode
und die andere als Ausgangselektrode verwendet wird, während die gemein
same Elektrode 5 mit Masse verbunden ist.
Bei dem Filterbaustein 1 wird ein frequenzselektives Filter durch ein einziges
Element gebildet, das in zwei Schwingungsmoden, nämlich den in Fig. 1
durch gestrichelte Linien dargestellten Moden A und S, der Grundmode der
Dickenausdehnungs-Schwingung (im folgenden als Dehnungsschwingung be
zeichnet) arbeitet.
Damit die Energie der Grundmode der Dehnungsschwingung in dem platten
förmigen Substrat 2 eingefangen werden kann, darf die effektive Poissonzahl
σ des das Substrat 2 bildenden Materials nicht kleiner sein als 1/3. Wenn ein
Material des Pb(Zr,Ti)O3-Systems als Material mit einer solchen Poissonzahl
verwendet wird, so muß eine Zusammensetzung in der Nähe der morphotro
pen Phasengrenze (M.P.B. für "morphotropic phase boundary") gewählt wer
den, wie in Fig. 2 gezeigt ist.
Wie jedoch andererseits aus Fig. 2 hervorgeht, erhält man bei einer Mate
rialzusammensetzung des Pb(Zr, Ti)O3-Systems in der Nähe der morphotro
pen Phasengrenze ein Filter, das durch einen verhältnismäßig großen elektro
mechanischen Kopplungsfaktor kt, eine relativ große Dielektrizitätskonstante
εr und einen verhältnismäßig kleinen mechanischen Gütefaktor Qm gekenn
zeichnet ist.
Aus diesen Materialeigenschaften ergeben sich jedoch Beschränkungen bei
der Wahl der elektrischen Eigenschaften wie etwa der Bandbreite, der Selek
tivität oder der Anpaßimpedanz. Es ist deshalb sehr schwierig, ein Filter zu
schaffen, bei dem die Bandbreite, die Selektivität, die Anpaßimpedanz und
dergleichen entsprechend dem jeweiligen Verwendungszweck variiert wer
den können.
Die Frequenz des in Fig. 1 gezeigten Filters 1 wird eingestellt, indem man
das keramische Substrat 2 vor der Anbringung der Elektroden 3 bis 5 ab
schleift, um die Dicke auf die Dicke eines Standardproduktes zu reduzieren.
Wenn das Filter im Hochfrequenzbereich bei Frequenzen von 10 MHz oder
mehr eingesetzt werden soll, muß die Dicke des Substrats auf 200 µm oder
weniger reduziert werden. In diesem Fall besteht die Gefahr, daß das Substrat
beim Abschleifen Risse bekommt und zerbricht. Darüber hinaus ist es
äußerst schwierig, das Substrat 2 bei der Bearbeitung, beispielsweise beim
Aufbringen der Elektroden, physisch zu halten. Aufgrund dieser Probleme ist
bei dem Filter 1 mit dem in Fig. 1 gezeigten Aufbau die Mitten-Frequenz
nach oben auf etwa 10 MHz begrenzt.
In den japanischen Patentveröffentlichungen Japanese Patent Laid-Open Ga
zette 85 613/1983 und 85 614/1983 wird ein monolithisches Filter aus
piezoelektrischer Keramik beschrieben, bei dem mehrere Gruppen von Elek
troden mit mehreren Elektroden so in mehreren Lagen in dem piezoelektri
schen Substrat angeordnet sind, daß sie einander in der Richtung der Dicke
des Substrats überlappen. Bei diesem piezoelektrischen Filter wird nur eine
Oberschwingung der Dehnungsmode angeregt. Es ergibt sich so ein piezo
elektrisches Filter vom Energieeinfangtyp, das bei hohen Frequenzen einge
setzt werden kann und dessen Material eine effektive Poissonzahl von weni
ger als ¹/₃ hat. Bei diesem monolithischen Filter ist jedoch der Störpegel re
lativ hoch, und es ergibt sich eine Verzerrung der Wellenform.
Aus der DE 34 32 133 A1 ist ein piezoelektrisches Filter bekannt, das eine
Vielzahl übereinanderliegender und durch Schichten des piezoelektrischen
Materials voneinander getrenner Elektroden aufweist. Bei diesem Filter handelt
es sich jedoch nicht um ein Filter vom Energieeinfangtyp, und es wird
auch keine Oberschwingung der Dickenausdehnungsmode angeregt. Vielmehr
wird das piezoelektrische Material mit Hilfe einer Eingangselektrodengruppe
zu Volumenschwingungen angeregt, die sich durch das piezoelektrische
Material ausbreiten und von einer Ausgangselektrodengruppe empfangen
und wieder in ein elektrisches Signal umgesetzt werden.
Der Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, ein Filter der eingangs genannten
Gattung zu schaffen, das bei hohen Frequenzen eingesetzt werden
kann und dessen Eigenschaften auf einfache Weise an den jeweiligen Anwendungszweck
angepaßt werden können und das sich außerdem durch einen
niedrigen Störpegel auszeichnet.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch ein piezoelektrisches Fil
ter mit den in Patentanspruch 1 angegebenen Merkmalen.
Erfindungsgemäß sind wenigstens drei Elektrodenlagen so angeordnet, daß
sie einander in Richtung der Dicke des plattenförmigen Substrats aus piezo
elektrischem Material überlappen. Es werden somit wenigstens zwei zwi
schen den Elektrodenlagen eingefügte Schichten des piezoelektrischen Ma
terials zu Schwingungen angeregt. Folglich wird in dem plattenförmigen
Substrat eine Oberschwingung der Dehnungsmode eingefangen. Aufgrund der
Verwendung einer Oberschwingung der Dehnungsmode erhält man ein Filter,
das in einem größeren Frequenzbereich als herkömmliche Filter eingesetzt
werden kann.
Wenn bei einem mit der Grundschwingung der Dehnungsmode arbeitenden
piezoelektrischen Filter ein Material des Blei-Titanat-Systems und ein Mate
rial der tetragonalen Form des Blei-Titanat-Zirkonat-Systems verwendet
wird, kann die Energie nicht eingefangen werden. Das erfindungsgemäße Fil
ter hat dagegen einen Aufbau, wie er in der US-49 18 350
beschrieben wird. Aufgrund dieses Aufbaus läßt sich ein piezoelek
trisches Filter vom Energieeinfangtyp auch dann erhalten, wenn ein Material
mit einer Zusammensetzung verwendet wird, bei dem bisher kein Energie
einfang durch Frequenzherabsetzung erreicht werden konnte. Erfindungsge
mäß wird somit ein für Hochfrequenzanwendungen geeignetes Filter geschaf
fen, dessen Material eine niedrigere Dielektrizitätskonstante aufweist.
Bei Verwendung eines Materials mit einer effektiven Poissonzahl von weniger
als 1/3 ergibt sich ein mittlerer elektromechanischer Kopplungsfaktor kt,
eine niedrige Dielektrizitätskonstante εr und ein hoher mechanischer Güte
faktor Qm. Folglich ist es möglich, das Durchlaßband zu verengen, so daß man
auf einfache Weise ein schmalbandiges Filter für Hochfrequenzanwendungen
erhält.
Weiterhin wird bei dem erfindungsgemäßen Filter nicht nur das eigentliche
Schwingungsgebiet des Substrats, sondern auch das Gebiet in der Umgebung
des Schwingungsgebietes der Polarisationsbehandlung unterzogen. Hierdurch
wird eine wesentliche Verringerung der Störeffekte erreicht.
Vorteilhafte Weiterbildungen und Ausgestaltungen der Erfindung sind in den
Unteransprüchen angegeben.
Im folgenden werden bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand
der Zeichnungen näher erläutert.
Es zeigt
Fig. 1 ein Schnitt durch ein Beispiel eines herkömmlichen Filters;
Fig. 2 ein Diagramm zur Veranschaulichung der Beziehung zwischen
der Materialzusammensetzung des Pb(Zr, Ti)O3-Systems und
den Materialeigenschaften;
Fig. 3 einen Schnitt durch ein Filter gemäß einem ersten Ausfüh
rungsbeispiel der Erfindung;
Fig. 4 eine Explosionsdarstellung ungebrannter Keramikschichten,
und der Elektrodenanordnungen hierauf für das Filter gemäß Fig.
3;
Fig. 5A den Frequenzgang des Filters gemäß Fig. 3;
Fig. 5B den Frequenzgang eines Filters mit dem in Fig. 3 gezeigten
Aufbau, bei dem ein Gebiet in der Umgebung des Schwingungs
gebietes nicht polarisiert ist;
Fig. 6 einen Schnitt durch ein Filter gemäß einem zweiten Ausfüh
rungsbeispiel der Erfindung;
Fig. 7 einen Schnitt durch ein Filter gemäß einem dritten Ausfüh
rungsbeispiel der Erfindung;
Fig. 8 einen Schnitt durch ein Filter gemäß einem vierten Ausfüh
rungsbeispiel der Erfindung;
Fig. 9 einen Schnitt durch ein Filter gemäß einem fünften Ausfüh
rungsbeispiel der Erfindung;
Fig. 10 einen Schnitt zur Erläuterung eines Filters gemäß einem sech
sten Ausführungsbeispiel, bei dem mehrere Filterelemente auf
einem gemeinsamen Substrat gebildet sind;
Fig. 11 einen Schnitt durch ein mit einer dritten Oberschwingung ar
beitendes Filter gemäß einem siebten Ausführungsbeispiel der
Erfindung;
Fig. 12 eine Explosionsdarstellung eines Filters gemäß einem achten
Ausführungsbeispiel der Erfindung;
Fig. 13A den Frequenzgang eines Filters mit dem in Fig. 3 gezeigten
Aufbau, bei dem PbTiO3 als piezoelektrisches Material verwen
det wird; und
Fig. 13B den Frequenzgang eines Filters mit dem in Fig. 3 gezeigten
Aufbau, bei dem ein Gebiet in der Umgebung des Schwingungs
gebietes nicht polarisiert ist.
Gemäß Fig. 3 weist ein Filter 11 zwei getrennte Elektroden 13a und 13b auf
der oberen Oberfläche eines plattenförmigen Substrat 12 aus einem piezo
elektrischen Material des Pb(Zr, Ti)O3-Systems auf. Eine Erdungselektrode
14 ist so auf der unteren Oberfläche des Substrats 12 angeordnet, daß sie
den getrennten Elektroden 13a und 13b jenseits des Substrats gegenüber
liegt. Zusätzlich ist eine Elektrode 15 so im Inneren des Substrats mit den Elektroden
13a, 13b und der Elektrode 14 überlappt. Es werden somit insgesamt drei
Elektrodenlagen 13, 14 und 15 gebildet, wobei die Elektrodenlage 13 in zwei
getrennte Elektroden 13a und 13b aufgeteilt ist.
Das plattenförmige Substrat 12 ist in Richtung der in Fig. 3 gezeigten Pfeile
polarisiert. Im einzelnen sind piezoelektrische Keramikschichten 12a und
12b oberhalb und unterhalb der Elektrode 15 im Inneren des Substrats 12
gegensinnig in Richtung ihrer Dicke polarisiert. Die Gebiete außerhalb des
Grundrisses der Elektrodenlagen 13 bis 15 sind dagegen einheitlich in Rich
tung der Dicke polarisiert.
Folglich wird in den zwischen den Elektrodenlagen 13 bis 15 eingefügten
Keramikschichten 12a und 12b eine zweite Oberschwingung der Dehnungs
mode eingeschlossen, indem die Elektrode 13a als Eingangsklemme und die
Elektrode 13b als Ausgangsklemme geschaltet und die Elektrode 14 auf der
Unterseite des Substrats geerdet wird. Es wird somit ein Filter vom Energie
einfangtyp geschaffen, das in zwei Moden, nämlich in der A-Mode und der S-
mode (Fig. 1) arbeitet.
Bei dem Filter 11 gemäß dem oben beschriebenen Ausführungsbeispiel wird
in dem plattenförmigen Substrat 12 die zweite Oberschwingung der Deh
nungsmode eingefangen. Somit erhält man auf einfache Weise ein Filter, das
in einem höheren Frequenzbereich eingesetzt werden kann als ein her
kömmliches Filter mit einer einzigen Substrat-Platte gleicher Dicke. Wie wei
terhin aus der nachfolgenden Beschreibung von Versuchsbeispielen sowie aus
der US-49 18 350 hervorgeht, kann die zweite
Oberschwingung der Dehnungsmode auch dann eingefangen werden, wenn
ein Material mit einer effektiven Poissonzahl von weniger als ¹/₃ verwendet
wird. Infolgedessen können unterschiedliche Eigenschaften des Filters 11
erreicht werden, ohne daß die Wahl dieser Eigenschaften durch die Anforde
rungen an das Material des Substrats 12 eingeschränkt wird.
Nachfolgend soll ein spezielles Beispiel eines Versuchs mit einem Filter ge
mäß dem ersten Ausführungsbeispiel der Erfindung erläutert werden. Gemäß
Fig. 4 werden erste und zweite ungebrannte Keramikschichten (Grün
schichten) 21 und 22 vorbereitet, die nach dem Sintern jeweils eine Dicke
von 200 µm haben und jeweils Pb{(Zr0,38Ti0,52(Mn1/3Nb2/3)0,01}O3 als
eine Komponente enthalten. Eine Elektrodenpaste wird auf die obere Ober
fläche der ersten Grünschicht 21 aufgetragen, um Elektrodenbereiche 13a
und 13b und Leiterbahnen 16a und 16b zu bilden. (In der nachfolgenden Be
schreibung sollen der Einfachheit halber die mit Elektrodenpaste bedeckten
Flächenbereiche und die später hieraus gebildeten Elektroden mit den glei
chen Bezugszeichen bezeichnet werden.) Weiterhin wird Elektrodenpaste auf
die obere Oberfläche der zweiten Grünschicht 22 aufgetragen, um eine Elek
trode 15 und eine Leiterbahn 17 zu bilden. Auf der unteren Oberfläche der
zweiten Grünschicht 22 wird Elektrodenpaste zur Bildung einer Elektrode
14 und einer Leiterbahn 18 aufgetragen. Anschließend werden die ersten
und zweiten Grünschichten 21 und 22 übereinandergelegt und nach Druck
ausübung in Richtung ihrer Dicke gesintert, so daß sich die in Fig. 3 gezeig
te Struktur ergibt. Danach wird eine positive Spannung an die Elektrode 14
und eine negative Spannung an die getrennten Elektroden 13a und 13b ange
legt, und das gesamte plattenförmige Substrat 12 wird einheitlich in der
durch den Pfeil P in Fig. 3 angegebenen Weise polarisiert. Weiterhin wird
eine negative Spannung an die Elektroden 13a und 13b und an die Elektrode
14 auf der unteren Oberfläche angelegt, und eine positive Spannung wird an
die innere Elektrode 15 angelegt, so daß die piezoelektrischen Keramik
schichten 12a und 12b zwischen den Elektrodenlagen 13 bis 15 durch eine
Polarisationsbehandlung in den durch die Pfeile in Fig. 3 angegebenen Rich
tungen polarisiert werden. Es ergibt sich ein Filterbaustein 11 mit einer Kan
tenlänge von 3,5 mm × 3,5 mm und einer Dicke von 400 mm. Das Ergebnis ei
ner Messung des Frequenzgangs dieses Filterbausteins ist in Fig. 5A gezeigt.
Die Elektroden 14 und 15 haben Abmessungen von 1,5 mm × 1,5 mm, und
die getrennten Elektroden 13a und 13b haben Abmessungen von 0,7 mm ×
1,5 mm.
Wie aus Fig. 5A hervorgeht, hat das Filter eine Mitten-Frequenz von 10
MHz, obgleich die Dicke des Bauelements 400 µm beträgt. Die effektive Pois
sonzahl σ des oben beschriebenen piezoelektrischen Materials
Pb{Zr0,38Ti0,52(Mn1/3Nb2/3)0,10}O3 ist kleiner als ¹/₃. Zum Vergleich
zeigt Fig. 5B den Frequenzgang eines Filterbausteins, der exakt den glei
chen Aufbau wie der Filterbaustein gemäß Fig. 3 aufweist, mit der Ausnah
me, daß ein Gebiet in der Umgebung des eigentlichen Schwingungsgebietes
nicht polarisiert wurde.
Ein Vergleich der Fig. 5A und 5B zeigt, daß durch die Polarisationsbe
handlung des Gebietes in der Umgebung des Schwingungsgebietes die Stör
effekte oder Streuresonanzen wesentlich verringert werden.
Fig. 6 zeigt einen Schnitt durch ein Filter 21 gemäß einem zweiten Ausfüh
rungsbeispiel der Erfindung. Bei dem Filter 21 ist die im Inneren des
Substrats 12 gebildete Elektrodenlage 15 in zwei getrennte Elektroden 15a
und 15b aufgeteilt. Die Elektroden 15a und 15b liegen in einer gemeinsamen
Ebene und liegen den Elektroden 13a und 13b gegenüber. Die piezoelektri
schen Keramikschichten 12a und 12b beiderseits der getrennten Elektroden
15a und 15b sind gegensinnig polarisiert, wobei die Polarisationseinrichtungen
jeweils denen in Fig. 3 entgegengesetzt sind. Generell können die Keramik
schichten 12a und 12b wahlweise in der in Fig. 3 gezeigten Art oder in der
in Fig. 6 gezeigten Art polarisiert werden.
Fig. 7 zeigt einen Schnitt durch ein Filter 31 gemäß einem dritten Ausfüh
rungsbeispiel der Erfindung. Bei dem Filter 31 ist die untere Elektrodenlage
14 auf der unteren Oberfläche des plattenförmigen Substrats 12 in zwei ge
trennte Elektroden 14a und 14b aufgeteilt. Die Elektrodenlagen 13 und 15
auf der Oberseite und der Unterseite des Substrats 12 werden somit jeweils
durch getrennte Elektroden 14a und 14b aufgeteilt. Die Elektrodenlagen 13 und 15
auf der Oberseite und der Unterseite des Substrats 12 werden somit jeweils
durch getrennte Elektroden 13a und 13b bzw. 14a und 14b gebildet, wäh
rend die innere Elektrodenlage 15 als einheitliche Elektrode ausgebildet ist.
Bei dem Filter 31 sind die getrennten Elektroden 14a und 14b auf der unte
ren Oberfläche des Substrats über eine elektrische Leitung miteinander ver
bunden und auf Masse geschaltet. Die Wirkungsweise des Filters 31 ähnelt
somit derjenigen des Filters 11 nach dem ersten Ausführungsbeispiel.
Fig. 8 zeigt einen Schnitt durch ein Filter 41 gemäß einem vierten Ausfüh
rungsbeispiel. Bei dem Filter 41 sind jeweils getrennte Elektroden 13a, 13b
und 14a und 14b auf der Oberseite und der Unterseite des Substrats 12 ausgebil
det. Die Keramikschichten 12a und 12b sind gleichsinnig polarisiert. Bei die
sem Ausführungsbeispiel ist somit das gesamte Substrat einheitlich polari
siert, so daß bei der Herstellung nur eine einzige Polarisationsbehandlung er
forderlich ist.
Bei diesem Ausführungsbeispiel werden die einander auf den entgegengesetz
ten Oberflächen des Substrats gegenüberliegenden Elektroden 13a und 14a
gemeinsam als Eingangselektroden geschaltet, und die Elektroden 13b und
14b werden gemeinsam als Ausgangselektroden geschaltet. Die innere Elek
trode 15 ist über die in Fig. 8 als gestrichelte Linie dargestellte Leiterbahn
17 (Fig. 4) mit Masse verbunden.
Die elektrische Verbindung der zusammengehörenden Elektroden13a und
14a bzw. 13b und 14b kann durch außerhalb des Substrats 12 verlaufende
Leitungsdrähte oder über leitende Strukturen auf der Oberfläche des
Substrats erfolgen. Dies gilt sinngemäß auch für die nachfolgend beschriebe
nen Ausführungsbeispiele.
Fig. 9 zeigt ein Filter 51 gemäß einem fünften Ausführungsbeispiel. Das
Substrat 12 des Filters 51 ist einheitlich in Richtung seiner Dicke polarisiert,
und die beiden Elektrodenlagen auf der oberen und der unteren Oberfläche
des Substrats werden jeweils durch eine einzige Elektrode 13 bzw. 14 gebil
det. Die innere Elektrodenlage 15 ist in zwei Elektroden 15a und 15b aufge
teilt. Im Betrieb dient die Elektrode 15a als Eingangselektrode und die Elek
trode 15b als Ausgangselektrode. Die Elektroden 13 und 14 sind miteinander
verbunden und geerdet.
Während bei den oben beschriebenen Ausführungsbeispielen auf einem ein
zelnen Substrat-Körper 12 jeweils nur ein einziges Filterelement ausgebildet
ist, besteht auch die Möglichkeit, zwei oder mehrere Filterelemente 60a und
60b auf einem gemeinsamen plattenförmigen Substrat 12 anzuordnen und
kaskadenförmig miteinander zu verbinden, wie in Fig. 10 am Beispiel eines
Filters 61 gezeigt ist. Jedes der Filterelemente 60a und 60b in Fig. 10 hat
den bereits im Zusammenhang mit Fig. 3 beschriebenen Aufbau.
Fig. 11 zeigt als weiteres Ausführungsbeispiel ein Filter 71, bei dem mit der
dritten Oberschwingung gearbeitet wird. Bei diesem Filter sind zwei jeweils
durch eine einzige Elektrode 72 bzw. 73 gebildete Elektrodenlagen im Inne
ren des plattenförmigen Substrats 12 angeordnet, so daß drei abwechselnd
in entgegengesetzte Richtungen polarisierte Keramikschichten zwischen den
Elektrodenlagen gebildet werden. In ähnlicher Weise kann auch ein Filter
geschaffen werden, das mit der vierten oder einer höheren Oberschwingung
arbeitet, indem eine entsprechend größere Anzahl von Elektroden im Inne
ren des Substrats angeordnet wird.
Fig. 12 zeigt eine Explosionsdarstellung, die der Darstellung in Fig. 4 ent
spricht und ein achtes Ausführungsbeispiel der Erfindung illustriert.
Gemäß Fig. 12 wird in gleicher Weise wie bei dem ersten Ausführungsbei
spiel eine erste Grünschicht 21 präpariert und mit Elektrodenpaste auf ihrer
oberen Oberfläche versehen, so daß getrennte Elektroden 13a und 13b und
Leiterbahnen 16a und 16b für den Anschluß der Elektroden gebildet werden.
Auf der unteren Oberfläche der zweiten Grünschicht 22 wird Elektrodenpa
ste zur Bildung der Elektrode 14 und der Leiterbahn 18 aufgetragen. Inso
weit stimmen die Schritte zur Herstellung des Filters mit dem anhand der
Fig. 4 erläuterten Verfahren überein.
Auch die weiteren Herstellungsschritte entsprechen dem anhand der Fig. 4
erläuterten Verfahren, mit Ausnahme der Elektrodenkonfiguration auf der
oberen Oberfläche der zweiten Grünschicht 22. Bei dem achten Ausführungs
beispiel wird die Elektrodenpaste so auf die obere Oberfläche der zweiten
Grünschicht 22 aufgetragen, daß mehrere streifenförmige Elektrodenberei
che 91 gebildet werden, die sich von einer Kante 22a der Grünschicht aus
zur gegenüberliegenden Kante 22b erstrecken, ohne die letztere Kante zu er
reichen. Der Grund für diese Anordnung besteht darin, daß die streifenförmi
gen Elektrodenbereiche 91 mit den Anschluß-Leiterbahnen 16a, 16b und 18
überlappen würden, wenn sie über die Elektroden 13 und 14 hinaus zu der
Kante 22b verlängert würden, so daß unnötige oder unerwünschte Schwin
gungen erzeugt würden. Die Länge der Elektrodenbereiche 91 ist deshalb so
gewählt, daß sie nicht mit den Leiterbahnen 16a, 16b und 18 überlappen. Die
streifenförmigen Elektrodenbereiche 91 entsprechen der Elektrode 15 in
Fig. 4. Bei dem achten Ausführungsbeispiel bilden die streifenförmigen
Elektrodenbereiche 91 zusammen eine einzige Elektrode. Die getrennten
Elektroden 13a und 13b sowie die Elektrode 14 können bei diesem Ausfüh
rungsbeispiel auf einfache Weise so positioniert werden, daß die mit der in
neren Elektrode überlappen. Selbst wenn ein gewisser Versatz der Elektro
den auftritt, bleibt die Fläche konstant, auf der sich die Elektroden 13a und
13b und die Elektrode 14 im Grundriß mit den streifenförmigen inneren
Elektrodenbereichen 91 überlappen. Folglich wird die Ausrichtung der Elek
troden 13a, 13b und 14 in bezug auf die innere Elektrode 91 vereinfacht.
Während bei dem in Fig. 12 gezeigten Ausführungsbeispiel die streifenför
migen Elektrodenbereiche 91 geradlinig verlaufen, können diese Elektro
denbereiche auch einen gekrümmten Verlauf haben. Auch die Richtung, in
der sich die Elektrodenbereiche 91 erstrecken, ist nicht auf das gezeigte
Ausführungsbeispiel beschränkt. Beispielsweise können die streifenförmigen
Elektrodenbereiche 91 auch in einer anderen Richtung von der Kante 22a
ausgehen oder in einer geeigneten Richtung von einer der anderen Kanten
22c oder 22d ausgehen.
Bei den oben beschriebenen Ausführungsbeispielen wird das Pb(Zr, Ti)O3-Sy
stem als piezoelektrisches Material verwendet. Das plattenförmige Substrat
des Filters kann jedoch auch durch ein Material des Blei-Titanat-Systems ge
bildet werden. Fig. 13A zeigt den Frequenzgang eines Filters mit dem in Fig.
3 gezeigten Aufbau, bei dem das Substrat aus dem Material des Blei-Tita
nat-Systems gebildet wird. Zum Vergleich ist in Fig. 13B der Frequenzgang
eines Filters gezeigt, das ebenfalls den in Fig. 3 gezeigten Aufbau aufweist
und bei dem ebenfalls das Blei-Titanat-System als piezoelektrisches Material
verwendet wird, bei dem jedoch das Gebiet in der Umgebung des Schwin
gungsgebietes keiner Polarisationsbehandlung unterzogen wurde.
Ein Vergleich der Fig. 13A und 13B läßt erkennen, daß auch bei Verwen
dung dieses piezoelektrischen Materials eine wirksame Unterdrückung von
Störeffekten erreicht wird, wenn das Gebiet außerhalb des Schwingungsge
bietes in der in Fig. 3 gezeigten Weise polarisiert wird.
Claims (7)
1. Piezoelektrisches Filter vom Energieeinfangtyp, mit
- - einem plattenförmigen Substrat (12) aus piezoelektrischem Material und
- - Elektrodenlagen (13, 14, 15; 72, 73; 91), die so angeordnet sind, daß sie einander unter Zwischenfügung von Schichten (12a, 12b) des piezoelektrischen Materials in Richtung der Dicke des Substrats überlappen,
- - wobei wenigstens eine der Elektrodenlagen mehrere getrennte, in einer gemeinsamen Ebene liegende Elektroden (13a, 13b; 14a, 14b; 15a, 15b) bildet, von denen wenigstens eine (13a; 14a; 15a) eine Eingangsklemme und wenigstens eine andere Elektrode (13b; 14b; 15b) derselben Elektrodenlage eine Ausgangsklemme bildet,
dadurch gekennzeichnet, daß
- - wenigstens drei Elektrodenlagen vorhanden sind, so daß eine Oberschwingung der Dickenausdehnungs-Mode des piezoelektrischen Materials anregbar ist, und
- - ein außerhalb des Schwingungsgebietes, in dem sich die Elektroden überlappen, liegendes und dieses Schwingungsgebiet umgebendes Gebiet des Substrats (12) einheitlich in Richtung der Dicke des Substrats polarisiert ist.
2. Filter nach Anspruch 1, bei dem die zwischen den Elektrodenlagen lie
genden Schichten (12a, 12b) des piezoelektrischen Materials abwechselnd in
entgegengesetzter Richtung in Richtung ihrer Dicke polarisiert sind.
3. Filter nach Anspruch 1, bei dem die zwischen den Elektrodenlagen lie
genden Schichten (12a, 12b) des piezoelektrischen Materials in derselben
Richtung polarisiert sind.
4. Filter nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei dem das piezoelek
trische Material eine solche effektive Poissonzahl aufweist, daß es nicht zum
Einfang der Energie der Grundschwingung der Dickenausdehnungs-Mode
durch Herabsetzung der Resonanzfrequenz geeignet ist.
5. Filter nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei dem eine der nicht
in getrennte Elektroden zur Bildung der Eingangs- und Ausgangsklemmen
geteilten Elektrodenlagen durch eine Vielzahl in vorgegebenem Abstand zu
einander angeordneter streifenförmiger Elektrodenbereiche (91) gebildet
wird.
6. Filter nach Anspruch 5, bei dem die streifenförmigen Elektrodenberei
che (91) geradlinige Streifen sind.
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