DE3247197C2 - - Google Patents

Description

Die Erfindung geht aus von einer elektrisch programmierbare und löschbare Speicherzelle mit einem floating gate an einem Halbleiterbauelement mit einem Substrat von einem Leitfähigkeitstyp, wobei auf dem Substrat eine erste Source-Zone und eine Drain-Zone vom entgegengesetzten Leitfähigkeitstyp vorgesehen sind, die durch eine erste Kanalzone verbunden sind, und ein von allen diesen Zonen isolierter floating gate, von dem ein erster Teil die erste Kanalzone überlagert und von dem ein zweiter Teil zumindest die erste Source- und Drain-Zone in einem Überlappungsbereich überlagert, vorgesehen ist, wie sie aus der US-PS 42 03 158 bekannt ist.

Es sind bereits Halbleiter-Speicherzellen bekannt, bei denen Feldeffekttransistoren benutzt werden, die auf einem Substrat so ausgebildet sind, daß mit ihrer Hilfe der Stromfluß durch eine Kanalzone zwischen einer Source- und einer Drain-Zone gesteuert wird. Eine Steuergate-Zone oder -elektrode überlagert ein floating gate, die ihrerseits die Kanalzone überlagert. Um die Zelle zu lesen, wird die Steuergateelektrode aufgeladen (und zwar positiv im Falle einer N-Kanalvorrichtung), um Elektronen in den Kanal zu ziehen und den Stromfluß zu ermöglichen. Dieser Effekt kann jedoch durch das zwischen der Kanalzone und der Steuergate-Zone gelegene floating gate blockiert werden. Das floating gate beeinflußt den Stromfluß in dem Kanal als Funktion der auf dem floating gate festgehaltenen Ladung. Die Speicherzelle wird dadurch programmiert, daß Ladungsträger durch das Tunneloxid auf das floating gate oder von dieser weggebracht werden, und zwar mit Hilfe des Anlegens geeigneter elektrischer Felder, die an sorgfältig bemessenen dünnen Oxidschichten wirken, deren Dicke und Größe für eine richtige Arbeitsweise kritisch von Wichtigkeit sind.

Bei diesen Speicherzellen müssen zahlreiche Konstruktionserfordernisse eingehalten werden. Oft stehen diese Erfordernisse von Hause aus in einem Widerspruch zueinander. Zum Beispiel wirken das floating gate mit elektrischen Feldern auf den Kanal ein und müssen daher mit dem Kanal kapazitiv gekoppelt sein. Es ist wichtig, daß diese Kapazität wohlbekannt und voraussehbar ist, damit ein verläßlicher und stetiger Betrieb gewährleistet werden kann. Jedoch sind die dünnen Oxidschichten, wenn ein Tunnelvorgang stattfindet, in dieser Hinsicht notorisch und unberechenbar, weil sie außerordentlich dünn sind, in aller Regel noch dünner als 200 Å. Ihre Dünnheit verstärkt noch ihren Anteil an der Gesamtkapazität, während sie gleichzeitig die Größe dieses Anteils unberechenbar macht. Es kommt hinzu, daß die dünnen Oxidtunnelbereiche infolge ihrer Schwäche mechanisch sehr zerbrechlich sind, so daß leicht durch irgendwelche äußeren Beanspruchungen, die sie bei der Herstellung erfahren, Fehlerstellen auftreten können.

Eine solche bekannte Speicherzelle ist in dem der US-PS 41 62 504 beschrieben. In diesem Patent wird die Verwendung eines schmaleren floating gate vorgeschlagen, die sich nicht vollständig über den Kanalbereich erstreckt und auf diese Weise eine Ausrichtung mit den Rändern von Source- und Drain-Zone vermeidet. Die Gate-Zone wird dadurch von einem dünnen Gateoxid an dem Übergang getrennt, das durch heiße Elektronen durchtunnelt werden kann. Diese Lösung ist jedoch nicht befriedigend, weil eine ungenügende kapazitive Kopplung zwischen dem floating gate und der steuernden Gate-Zone bei den praktisch in Betracht kommenden Zellengrößen besteht. Auch erstreckt sich das dünne Oxid gemeinsam mit dem floating gate, was, wie noch zu erörtern sein wird, zu beanstanden ist.

In der US-PS 42 03 158 ist vorgeschlagen worden, die dünne Tunneloxidfläche auf einen kleinen Bruchteil der Gesamtfläche der Vorrichtung zu begrenzen, indem er in eine "dritte Zone" bewegt wird. Es werden noch verschiedene andere Ausführungsformen mit unterschiedlichen Lagen für diese dritte Zone vorgeschlagen, die aber alle mit einigen Schwierigkeiten verbunden sind. Zum Beispiel ist in Fig. 1 die dritte Zone 14a an einem PN-Übergang angeordnet, weswegen sie dem in der US-PS 41 62 504 erörterten Problem unterworfen ist, durch heiße Elektronen durchtunnelt zu werden. In Fig. 1 ist eine andere Stelle 36 für die dritte Zone in Betracht gezogen, aber wiederum an einem PN-Übergang, der möglicherweise einem lawinenartigen Durchbruch ausgesetzt sein kann. Außerdem würde diese Anordnung eine Vergrößerung der Zelle mit sich bringen. Wie angegeben, ist die Zelle nicht in der Lage, ausgelöscht zu werden, ohne eine vierte elektrische Verbindung zu der Zone 36 hinzuzufügen, welche die Zelle tatsächlich sehr groß machen würde. In den Fig. 3 und 4 wird die Möglichkeit noch einer anderen räumlichen Anordnung der dritten Zone vorgeschlagen, wiederum in einer räumlichen Lage nahe den beiden Übergängen sowie auch längs der Seiten des aktiven Kanals, der dem Feldoxid zunächst gelegen ist (Spalte 6, Zeilen 5-21) und damit in einer Lage, die gleichfalls, wie später noch näher zu erläutern sein wird, zu beanstanden ist. Schließlich beschreibt die US-PS 42 03 158 noch die bevorzugte und vielleicht schlechteste räumliche Anordnung der dritten Zone in Fig. 5, nämlich versetzt zu der Seite an der Zone 60. Die gegenüber einer Seite versetzte Zone 60 hat zur Folge, daß die ganze Speicherzelle bedeutend größer wird, womit die Dichte der Komponenten auf dem Plättchen verringert und größere Plättchen notwendig werden. Störend ist auch der Umstand, daß die Kanten der dünnen Oxidschicht durch die Kanten des Feldoxids (Spalte 7, Zeilen 63-67) bestimmt werden, was viele Probleme aufwirft. Zunächst ist die Kante der Feldoxidschicht ein Bereich hoher mechanischer Spannung, welche die zerbrechliche dünne Oxidschicht verschlechtern und Unsicherheiten der Leistungsfähigkeit einführen kann. Zweitens sind oft spurenartige Mengen von Siliziumnitrid an der Kante des Feldoxids von früheren Arbeitsvorgängen verblieben, wodurch die Qualität des dünnen Oxids an dieser Stelle verschlechtert wird. Drittens ist die tatsächliche Lage der Feldoxidkante schlechter kontrollierbar, worauf sich zusätzliche Unsicherheiten hinsichtlich der Größe der dünnen Oxidfläche ergeben.

Noch weitere Schwierigkeiten ergeben sich, wenn gemäß der US-PS 42 03 158 die beiden Polysiliziumschichten für die Gate-Linie 52 in Fig. 12 geätzt werden. Durch diesen Ätzvorgang werden unvermeidlich die Ränder der empfindlichen und zerbrechlichen dünnen Oxidschicht angegriffen. Dieses Problem ist so schwerwiegend, daß es sogar in Spalte 9 der US-PS 42 03 158 erwähnt wird, wo ein "blanket", also eine Decke vorgeschlagen wird, um die dünne Oxidschicht während der nachfolgenden Arbeitsgänge des Herstellungsverfahrens zu schützen. Durch die Erfindung werden alle vorstehend beschriebenen Schwierigkeiten vermieden.

Es ist daher Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Speicherzelle der eingangs genannten Art dahingehend zu verbessern, daß die Zelle klein und mit hoher Qualität hergestellt werden kann, wobei eine einfache Herstellung möglich sein soll.

Zur Lösung dieser Aufgabe wird eine Speicherzelle vorgeschlagen, wie sie im Patentanspruch 1 gekennzeichnet ist.

Erfindungsgemäß wird ein einstufiger Ätzprozeß vorgenommen, um eine dünne Oxidtunnelzone zu schaffen und räumlich zu bestimmen, deren Grenzen innerhalb der Grenzen beider Feldoxidschichten sowie der Ränder überlagernden Gate-Zonen liegen und diesen gegenüber versetzt sind. Diese innere räumliche Lage wird dadurch herbeigeführt, daß eine einzigartige kompakte "in line layout"-Geometrie mit zwei Teilen zu dem floating gate angewendet wird, wobei die beiden Teile miteinander auf zwei Wegen verbunden sind, die auf je einer Seite des Stromweges von der Source-Zone zu der Drain-Zone angeordnet sind.

Der eine Teil der Gate-Zone arbeitet oberhalb der Kanalzone als Speichertransistor, während der andere Teil die Tunnelzone enthält. Durch dieses layout wird eine hohe Zellenpackungsdichte und zugleich eine Trennung der dünnen Oxidzone von den Bereichen nachteiliger mechanischer und elektrischer Beanspruchung erreicht. Außerdem wird das dünne Oxid gegen spätere, die Ränder oder Kanten verschlechternde Ätzstufen geschützt. Weiterhin ist die absolute Größe der dünnen Oxidzone besser voraussagbar, wodurch ein höherer Produktionsausstoß und eine verbesserte Leistungsfähigkeit erreicht werden.

Vorteilhafte Ausführungsformen sind in den Unteransprüchen angegeben.

Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachstehend anhand der Zeichnungen näher erläutert. Es zeigt

Fig. 1 ein typisches Ausführungsbeispiel einer Speicherzelle gemäß der Erfindung,

Fig. 2 eine auseinandergezogene Grundrißansicht zweier Zellen von Fig. 1 bei Hervorhebung von deren unterschiedlichen Schichtelementen,

Fig. 2A und 2B Seitenschnittansichten des wesentlichen Aufbaues von Fig. 2 mit Blickrichtung auf die Schnittebenen A-A und B-B von Fig. 2,

Fig. 3A-8A zur Veranschaulichung die verschiedenen Stufen bei der Herstellung der Vorrichtung im Schnitt mit Blickrichtung auf die der Fig. 2A entsprechende Schnittebene und

Fig. 3B bis 6B die gleichen, entsprechend numerierten Stufen der Anordnung bei der Herstellung wie die Fig. 3A bis 6A, jedoch mit Blickrichtung auf die der Fig. 2B entsprechende Schnittebene.

In Fig. 1 ist schematisch eine typische Speicherzelle mit einer Source-Zone 10 vom N⁺-Typ und einer Drain-Zone 12 vom N⁺-Typ dargestellt, die voneinander durch eine Kanalzone 14 vom P-Typ getrennt sind. Die Zonen 10, 12 und 14 sind in Fig. 1 gestrichelt angedeutet. Der Stromfluß in dem Kanal 14 wird durch ein floating gate 16 beeinflußt, die mit einem ersten Teil 18 den Kanal 14 überlagert, so daß ein Speichertransistor gebildet wird und mit einem zweiten Teil 20 innerhalb dessen eine Oxiddünnschicht-Tunnelzone 22 angeordnet sein kann. Der Bereich, in welchem das floating gate 16 die Zone 12 überlappt, kann als Überlappungsbereich 23 bezeichnet werden, dessen Dimensionen in einer Richtung durch die Grenzen 24 eines Teils 20 des floating gate 16 und in der anderen Richtung durch Grenzen 26 der Drain-Zone 12 begrenzt sind. Die Grenzen der Oxiddünnschicht-Tunnelzone 22 werden so angeordnet, daß sie innerhalb der Grenzen 24 und 26 und versetzt zu diesen liegen, und zwar durch das nachstehend erläuterte Herstellungsverfahren.

Die Zone 12 dient auch als Source-Zone im Zusammenwirken mit einer Drain-Zone 27 vom N⁺-Typ, die sich in einem Abstand davon befindet, in welchem eine Kanalzone 28 vom P-Typ liegt, so daß ein Wahltransistor in Reihenschaltung mit dem Speichertransistor gebildet wird. Der Strom in dem Kanal 18 wird durch eine darüberliegende Wahlgate-Zone 29 gesteuert.

Die Teile 18 und 20 des floating gate 16 sind zu beiden Seiten des Kanals 14 miteinander verbunden, wodurch die Fläche des floating gate 16 vergrößert und ihre kapazitive Kopplung mit der überlagernden Steuergate-Zone 30, wie in Fig. 2 zu sehen, verstärkt wird.

Die Fig. 2, 2A und 2B zeigen zwei Speicherzellen der in Fig. 1 schematisch dargestellten Art. Die Source- Zonen 10 werden wie üblich auf der Oberfläche eines Substrats 11 ausgebildet und miteinander durch eine gemeinsame Source-Zone 17 mit einem geeigneten Kontakt 13 verbunden. Die Drain-Zonen 27 sind mit Kontakten 15 versehen. Jede Zelle hat ein eigenes floating gate 16 mit einem Teil 18 oberhalb des Kanals 14 und einem Teil 20 oberhalb der Zone 12. Eine einzige kontinuierliche Steuergate-Zone 30 liegt über sämtlichen floating gates 16 in der Reihe.

Eine einzelne Zelle wird gewählt und gelesen durch Anlegen einer Spannung an den jeweils richtigen Säulenkontakt 15 und auch an die Reihe, welche die jeweils richtige Steuergate-Zone 30 und Wahlgate-Zone 29 enthält. Wenn das floating gate 16 über der gewählten Zelle negativ geladen ist, kann die positive Spannung an der Steuergate-Zone 30 keinen Strom in den Kanal 14 fließen lassen. Wenn aber keine negative Ladung auf dem floating gate vorhanden ist, induziert die positive Spannung auf der Gate-Zone 30 eine Inversion in dem Kanal 14, und es fließt ein Strom in diesem. In gleicher Weise induziert die positive Spannung an der Wahlgate- Zone 29 einen Strom in dem Kanal 28. Das Vorhandensein eines Stromflusses von dem Kontakt 15 zu dem Kontakt 13 ist daher ein Indiz für das Nichtvorhandensein oder das Vorhandensein einer Ladung auf dem floating gate 16.

Das Gate 16 wird geladen oder programmiert mit Hilfe von Tunnelelektronen, die von der Zone 12 aus durch eine dünne Oxidschicht 22 fließen. Die dünne Oxidschicht 22 soll weniger als 200 Å dick sein und ist daher sehr schwer verläßlich und gleichmäßig herzustellen. Durch die Erfindung wird es jedoch möglich, eine gleichmäßig dünne Oxidschicht zu schaffen, und zwar dadurch, daß die Grenzen der Zone 22 innerhalb der Grenzen 24 und 26 gehalten und mit Hilfe des anhand der Fig. 3A bis 8A beschriebenen Verfahrens hergestellt werden.

Zunächst wird ein Substrat 11 von einem bestimmten Leitfähigkeitstyp, bei der gezeigten Ausführungsform vom P-Typ, maskiert und durch eine Reihe üblicher und bekannter Schritte implantiert, so daß darauf eine Zone 12 vom N⁺-Typ ausgebildet wird, die auf beiden Seiten, in der Source-Drain-Richtung, durch Zonen vom P-Typ (bei denen es sich um die Kanäle 28 und 14 im Endzustand der Vorrichtung handelt) flankiert und mit einer Oxidschicht 40, wie in Fig. 3A gezeigt, bedeckt wird. Die Oxidschicht 40 ist in den Bereichen auf beiden Seiten der Kanäle besonders dick und enthält eine Zone vom P⁺-Typ unterhalb davon, wie in Fig. 3B gezeigt. Als nächstes wird ein kleines, genau begrenztes Loch 42 in die Oxidschicht 40 eingeätzt, wie in den Fig. 4A und 4B zu sehen. Die Ränder des Loches 42 liegen gut innerhalb und in einer gewissen Entfernung von den Grenzen 26 des dicken Teils der Oxidschicht 40, wie in Fig. 4B zu sehen. Diese Trennung wird dadurch erreicht, daß eine besondere Trennstufe benutzt wird, um das Loch 42 in der genau richtigen Lage und Größe anzubringen, die benötigt werden, um die Ränder der dicken Oxidschicht zu vermeiden.

Wie in den Fig. 5A und 5B gezeigt, können nun die dünnen Oxidschichten 22 in dem Loch 42 gezogen werden, frei von den störenden Randeffekten der dicken Oxidschicht und unmittelbar bedeckt durch eine polykristalline Siliziumschicht 16. Die dünne Oxidschicht 22 wird nun dicht abgeschlossen innerhalb von und geschützt durch die Polysiliziumschicht 16. Sie wird dadurch von allen späteren Beanspruchungen, Ätzungen und anderen Verfahren, welche die zerbrechliche und empfindliche dünne Oxidschicht 22 beeinträchtigen könnten, abgeschirmt.

Nunmehr werden Schlitze in die Schicht 16 eingeätzt, um sie in die einzelnen schwimmenden Polysiliziumgate- Zonen 16 zu unterteilen, und es wird eine Zwischenpolyoxidschicht (interpoly oxide layer) 44 oberhalb der Gate- Zonen 16 ausgebildet, um diese vollständig zu isolieren. Dann wird eine zweite Polysiliziumschicht 30 über der Oxidschicht 44 ausgebildet, um eine leitende Schicht zu bilden, aus der die Steuergate-Anschlüsse 30 hergestellt werden können. Das Ergebnis und der Aufbau sind in den Fig. 6A und 6B dargestellt.

In Fig. 7A ist der in Fig. 6A und 6B dargestellte Aufbau maskiert und geätzt, wobei die Schlitze 46, 47 und 48 sowie ein Loch 50 geschaffen werden. Diese Ätzstufe bewirkt eine Ausrichtung des floating gate 16 mit der Steuergate-Zone 30, die Maskierung erfolgt dabei so, daß die Ränder 24 der Gate-Zonen außerhalb der dünnen Oxidzone 22 und gegenüber dieser versetzt liegen. Demzufolge ist die dünne Oxidschicht an ihren Rändern keinerlei Ätzwirkung ausgesetzt, welche sie leicht angreifen und beschädigen könnten.

In Fig. 7A ist zu sehen, daß die Schlitze 46 und 47 die Teile der Polysiliziumschichten 16 und 30 voneinander trennen, so daß eine Zweifach-Stapelgate-Zone 29 geschaffen wird. Durch die Ausbildung der Wahlgate-Zone 29 mittels einer sich selbst ausrichtenden Ätzstufe und als gestapelte Struktur kann die Wahlgate-Zone 29 dichter an den Speichertransistor herangerückt werden, womit eine höhere Zellendichte und eine geringere Plättchengröße erreicht werden. Die unteren und oberen Teile der Wahlgate- Zone 29 sind elektrisch miteinander durch einen geeigneten vergrabenen Kontakt oder eine andere an sich allgemein bekannte entsprechende Vorrichtung verbunden. Dies ist in der Zeichnung durch die Verbindung 52 (Fig. 7A) schematisch angedeutet.

Es kann nun eine Ionenimplantation durch die Öffnungen 46, 47, 48 und 50 (Fig. 7A) erfolgen, so daß die N⁺- Zone 12 ausgedehnt wird und die N⁺-Zonen 27 und 10, wie in Fig. 8A und 2A gezeigt, erzeugt werden. Die P-Zonen 28 und 14 erfahren gleichzeitig eine Verkleinerung ihrer Abmessungen und werden zu den Kanälen unterhalb des Wahltransistors bzw. des Speichertransistors, wie in Fig. 2 und 8A gezeigt. Fig. 8A zeigt auch wie die Vorrichtung durch Ausbildung einer anderen schützenden Isolierschicht 54 auf der Oberseite vervollständigt werden kann, wobei in der Schicht 54 Öffnungen an Kontaktstellen geschaffen und durch Metallisieren der Oberfläche Kontakte wie der Kontakt 15 hergestellt werden.

Die vorstehend beschriebene Ausbildung und das beschriebene Verfahren sind noch mit vielen weiteren Vorteilen verbunden. Durch Verlegen der Tunnel- oder Dünnschichtoxidzone zwischen den Wahltransistor und den Speichertransistor ergibt sich ein gestapelter Aufbau, der eine kleinere Gesamtzellgröße und eine größere Packungsdichte auf dem Plättchen erlaubt. Da die dünne Oxidschicht mit nur einer Ätzstufe ausgeführt zu werden braucht, können die Abmessungen kleiner, besser kontrollierbar und besser berechenbar sein. Dies wiederum bedeutet höhere Ausstoßziffern an brauchbaren Stücken. Das Ätzen des Loches 42 ist von vornherein ein besser steuerbarer Prozeß als das Ätzen des Feldoxids, und auch die Dünnschichtoxidfläche läßt sich besser kontrollieren. Da die Dünnschichtoxidfläche kleiner sein kann, wird auch ihr Beitrag zu der Kapazität zwischen dem floating gate 16 und der Zone 12 verringert. Außerdem ist das Gate 16 besser steuerbar durch die Steuergate-Zone 30.

Bei den Vorrichtungen der hier beschriebenen Art werden oft Materialien wie thermisches Nitrid und aufgedampftes Nitrid für die dünne Oxidschicht 22 und die Interpolyoxidschicht 44 substituiert. Wenn daher in der Beschreibung und den Ansprüchen von Oxid gesprochen wird, so ist zu beachten, daß darin auch Nitridmaterialien eingeschlossen sein sollen. In gleicher Weise können feuerfeste Metalle oder Silizide anstelle des Polysiliziums in den Gate-Zonen verwendet werden. Daher soll der Ausdruck Polysilizium in der Weise interpretiert werden, daß er auch diese Materialien mit einschließt, wenn er in der Beschreibung und den Ansprüchen erwähnt wird. Die Erfindung erstreckt sich ferner auch auf Vorrichtungen mit Kanälen vom P-Typ. Schließlich sind noch viele weitere Möglichkeiten zur Abwandlung und Anwendung der Erfindung gegeben, als sie hier im einzelnen beschrieben sind.

Claims (8)

1. Elektrisch programmierbare und löschbare Speicherzelle mit einem floating gate (16) an einem Halbleiterbauelement mit einem Substrat von einem Leitfähigkeitstyp, wobei auf dem Substrat eine erste Source-Zone (10) und eine Drain-Zone (12) vom entgegengesetzten Leitfähigkeitstyp vorgesehen sind, die durch eine erste Kanalzone (14) verbunden sind, und ein von allen diesen Zonen isolierter floating gate (16), von dem ein erster Teil (18) die erste Kanalzone (14) überlagert und von dem ein zweiter Teil (20) zumindest die erste Source- und Drain- Zone (10, 12) in einem Überlappungsbereich (23) überlagert, vorgesehen ist, dadurch gekennzeichnet, daß innerhalb dieses Überlappungsbereichs (23) eine Tunnelzone (22), deren Grenzen innerhalb von und versetzt zu den Grenzen (24, 26) des Überlappungsbereiches (23) verlaufen, angeordnet ist und daß ein leitender Steuergateanschluß (30), dem gegenüber das floating gate (16) isoliert ist, dieses überlagert.

2. Speicherzelle nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der erste Teil (18) und der zweite Teil (20) des floating gate (16) durch zwei auf entgegengesetzten Seiten der ersten Kanalzone (14) angeordnete Wege oder Strompfade verbunden sind.

3. Speicherzelle nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß je eine zweite Source- und Drain-Oberflächenzone vom entgegengesetzten Leitfähigkeitstyp auf dem Substrat vorgesehen sind, daß eine zweite Kanalzone (28) diese miteinander verbindet und daß eine Wahlgate- Zone (29) die zweite Kanalzone (28) überlagert und von dieser isoliert ist.

4. Speicherzelle nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Wahlgate-Zone (29) eine erste und eine zweite gestapelte Wahlgate-Zone, die elektrisch miteinander verbunden sind, aufweist, welche die zweite Kanalzone (28) überlagern.

5. Speicherzelle nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß der eine erstgenannte Leitfähigkeitstyp der P-Typ ist, daß das floating gate (16) und die Steuergate-Zone (30) aus polykristallinem Silizium bestehen und daß diese Gate-Zonen gegenüber dem Substrat und gegeneinander durch Oxid isoliert sind.

6. Speicherzelle nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß der eine erstgenannte Leitfähigkeitstyp der P-Typ ist, daß das floating gate (16) und die Wahlgate-Zone (29) sowie die Steuergate-Zone (30) aus polykristallinem Silizium bestehen und daß diese Gate-Zonen gegenüber dem Substrat und gegeneinander durch Oxid isoliert sind.

7. Speicherzelle nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Tunnelzone (22) eine dünne Oxidschicht aufweist, deren Dicke wesentlich kleiner ist als die des Rests des isolierenden Oxids im Überlappungsbereich (23).

8. Speicherzelle nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Überlappungsbereich (23) zwischen der ersten Kanalzone (14) und der zweiten Kanalzone (28) angeordnet und im wesentlichen mit diesem fluchtend ausgerichtet ist.