DE2758772A1 - Verfahren und einrichtung zur herstellung magnetischer aufzeichnungsmedien - Google Patents
Verfahren und einrichtung zur herstellung magnetischer aufzeichnungsmedienInfo
- Publication number
- DE2758772A1 DE2758772A1 DE19772758772 DE2758772A DE2758772A1 DE 2758772 A1 DE2758772 A1 DE 2758772A1 DE 19772758772 DE19772758772 DE 19772758772 DE 2758772 A DE2758772 A DE 2758772A DE 2758772 A1 DE2758772 A1 DE 2758772A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- substrate
- ferromagnetic
- cylindrical rotatable
- recording media
- magnetic recording
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F41/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties
- H01F41/14—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for applying magnetic films to substrates
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
- C23C14/562—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks for coating elongated substrates
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
- G11B5/851—Coating a support with a magnetic layer by sputtering
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
DR. BEPG DIPL ING. STAPF DIPL-ING. SCHWABE DR. DR SANDMAIR
29. Dez. 1977
Matsushita Electric Industrial Co. Ltd., Osaka, Japan
Verfahren und Einrichtung zur Herstellung magnetischer Aufzeichnungsmedien
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Einrichtung» die optimal zur Herstellung magnetischer Aufzeichnungsbänder geeignet ist, deren Substrat aus einer hochmolekularen
Verbindung hergestellt ist, und insbesondere ein Verfahren und eine Einrichtung, um einen dünnen ferromagnetischen PiIm
98 2^/0 98
911273 VIlZVIiIZS BERGSTAFFPATENT Manchen (BLZ JDBX)Ol!) Swift Cod« HYPO DE MM
in einer solchen Dick*: abzulagern, daß eine erhöhte Koerzitivkraft
und auch eine gewünscht«; Remanenz erhalten werden
können.
Anstelle der Magnetbänder vom bestrichenen Typ, bei denen
die nadeiförmigen jt'erromagnetischen Kristalle aus y-FegO,»
das am häufigsten ist; mit einem geeigneten Bindemittel gemischt
werden und auf ein Substrat aufgestrichen werden, wurden die Verfahren und Einrichtungen um einen dünnen ferromagneti3chen
Film durch Versehen mit einem galvanischen überzug
oder durch Vakuumablagerung oder Aufdampfen zu bilden, entwickelt,
um die Dichte der auf den Magnetbändern aufgenommenen Signale zu steigern. Diese Untersuchungen wurden für
eine lange Zeit fortgesetzt, und es wurden einige Ergebnisse berichtet, die nahelegen» daß Magnetbänder durch Vakuumaufdampfen
hergestellt werden können. Der Hauptgrund, warum das Vakuumbedampfen nicht praktisch bei der Herstellung von Magnetbändern
iTiit hoher Koerzitivkraft angewandt wird, ist, daß
die dünne Schicht sich sehr langsam bildet. Dünne ferromagnetische Schichten können durch die sog. geneigte Vakuumbedampfung,
die in der US 5 31*? 652 beschrieben und in Pig. I
gezeigt ist, gebildet werden. Jedoch bei einem dünnen Substrat von weniger als 20 ^um Dicke, das aus einer hochmolekularen
Verbindung hergestellt ist, i3t die Bildungsgeschwindigkeit
der dünnen Schicht äußerst langsam wegen der unten be-
schriebenen Gründe.
Die Dicke der Schicht auf Polyäthylenterephthalat in Pig. I,
das als Substrat für Magnetbänder weithin benutzt wird, wird wegen der ungünstigen Wärmezerstörung des Substrats aufgrund der
Strahlungswärme von einer Verdampfungsquelle, der latenten Wärme des verdampften, ferromagnetischen Stoffes usw.durch dieses
Fördersystem auf ungefähr 200 8 (20 nm) begrenzt, wenn Fe abge·^
lagert wird. Um eine für audiomagnetische Aufnahme und Wiedergabe ausreichende Remanenz zu erhalten, müssen die Schritte zur
Ablagerung einer dünnen ferromagnetischen Schicht 10 bis 15mal
zyklisch wiederholt werden. Eine wiederholte Ablagerung führt zu Beschichtungslöchern und Rauschen, das die audiomagnetische
Aufnahme und Wiedergabe ungünstig beeinflußt.
Im Hinblick darauf will die Erfindung ein Verfahren und eine Einrichtung zur Herstellung magnetischer Aufnahmebänder, die
eine hohe Koerzitivkraft haben und bei audiomagnetischer Aufnahme und Wiedergabe sehr befriedigend arbeiten, schaffen.
Dementsprechend schafft die vorliegende Erfindung ein Verfahren zur Herstellung von Magnetbändern, bei dem innerhalb einer
verdünnten Atmosphäre mit Sauerstoff und Argon eine zylindrische, drehbare Dose und eine Verdampfungsquelle einander gegenüber so angeordnet sind, daß eine Normale, die im Zentrum
8098 2V 0983
der Verdampfungsoberfläche der Verdampfungsquelle errichtet
wird, die Achse der zylindrischen drehbaren Dose nicht
schneidet, und bei dem der Strahl verdampfenden, ferromagnetischen
Stoffes aul' nin Substrat, das aus einer hochmolekularen Verbindung bestellt und entlang der zylindrischen Dose
transportiert wird, im rechton Winkel zur Transportrichtung
des Substrats gerichtet und dagegen geschleudert wird, wodurch eine dünne ferromagnetische Schicht gebildet
wird. Darüber hinaus schafft die Erfindung eine Einrichtung zur Herstellung magnetischer Bänder, in der ein Vakuumgefäß
oder -kammer in drei Räume geteilt wird, die im wesentlichen gegeneinander abgeschlossen sind und in einer Reihe
angeordnet sind, d.h. senkrecht, ein Mechanismus zum Abwickeln eines flexiblen Substrates, ein Mechanismus zum Aufwickeln
des Substrats, und eine Mehrzahl von Einrichtungen zum Behandeln mit elektrischen Entladungen sind in dem oberen Raum
angeordnet, zwei Paare, von denen jedes aus einer zylindrischen drehbaren Dose, deren Drehrichtung umgekehrt
werden kann,und einer Verdampfungsquelle besteht, sind einander
gegenüber in dem mittleren Raum angeordnet, ein Paar einer zylindrischen drehbaren Dose und eine Bedampfungsquelle, die
der drehbaren Dose gegenüber angeordnet ist, ist in dem unteren Raum angeordnet; unabhängige Systeme zur Einführung von
Gas sind an den oberen bzw. mittleren bzw. unteren Raum angeschlossen.
8098 2V0983
■f-
Gemäß der Erfindung werden also in einer Vakuumatmosphäre, die Sauerstoff enthält, eine zylindrische, drehbare Dose
und eine Verdampfungsquelle einander gegenüber derart angeordnet, daß eine Normale, die in der Mitte der Verdampfungsoberfläche
der Bedampfungsquelle errichtet wird, die Achse der zylindrischen, drehbaren Dose nicht schneidet. Der Strahl
verdampfender ferromagnetischer Substanz wird auf das Substrat, das entlang der drehbaren Dose befördert wird, im rechten
Winkel zur Transportrichtung gerichtet und dagegen geschleudert.
Nachfolgend wird die Erfindung anhand der beigefügten Zeichnungen näher erläutert, wobei auf die Zeichnungen wegen deren
großer Klarheit und Übersichtlichkeit bezüglich der Offenbarung ausdrücklich hingewiesen wird.
Es zeigen
Fig. 1 einen senkrechten Querschnitt eines herkömmlichen Gerätes zur Vakuumablagerung einer dünnen ferromagnetischen
Schicht auf einem Substrat;
Pig. 2 einen schematischen senkrechten Schnitt einer ersten Ausführungsform der Erfindung;
Fig. 3 und Ί Ansichten zu deren Erläuterung;
80982^/0983 _ $ _
Pig. 5 eine graph ι ?; uhe uaL'si;el.luji£,j die das Verhältnis zwischen
der Koerzitivkraft Oe und dem Abstand χ aus Fig. 3 zeigt;
Fig. 6 einen achtmal !,schon Henkrechten Schnitt einer zweiten
AusfUhrungsform der Erfindung;
Fig. 7 einen schemat; is eher» senkrechten Schnitt einer dritten
AusfUhrungsform der Erfindung;
Fig. 8 einen schematischen senkrechten Schnitt einer vierten Ausführungsform der Erfindung;
Fig. 9 einen schematischen senkrechten Schnitt einer fünften AusfUhrungsform der Erfindung;
Fig. 10 einen schematischen senkrechten Schnitt einer sechsten AusfUhrungsform der Erfindung; und
Fig. 11 das Verhältnis zwischen der Koerzitivkraft und dem Partialdruck des Sauerstoffs, wenn Magnetbänder mit
dem Gerät aus Fig. 10 hergestellt werden.
Vor der Beschreibung der bevorzugten Ausführungsformen der
Erfindung wird kurz eine herkömmliche Methode zur Herstel lung magnetischer Schichten beschrieben. Ein Beil-Gefäß
80982^/0983 - 7 -
--Γι -6
wird durch ein KvakuiersysLom 2 auf 10 bis 10 torr evakuiert, und ein Substrat 3 wird von einer Vorratsrolle 4 über
Metallrollen 5 km einer Aufnähmerolle 6 in der durch einen
Pfeil angezeigten Richtung transportiert. Ein zu verdampfendes Mittel 7, das aus einor ferromagnetischen Substanz be^
steht, wird durch die Joute'schr Wärme, die durch eine über
isolierte Anschlüsse 13 an eine Stromquelle 12 angeschlossene
Heizeinrichtung 8 erzeugt wird, verdampft, und der Strahl 11 verdampften Metalls, der durch eine öffnung 10 in einer Maske
oder einem Schirm 9 gesteuert wird, wird gegen das Substrat 3 in einem geneigten Winkel geschleudert. Der Ausdruck "geneigte
Verdampfung" bezieht sich auf ein Verfahren, bei dem der Winkel zwischen einer Normalen, die auf dem Substrat 3 errichtet
wird, und dem einfallenden Strahl verdampfenden Metalls größer als 30° ist, aber diese Definition ist undeutlich, da manchmal die Verdampfungsverfahren, bei denen der Strahl verdampften
Metalls auf das Substrat in irgendeinem anderen Winkel als 90° auffällt, ebenfalls als "geneigte Verdampfungsverfahren11
bezeichnet werden.
Es ist jedoch wohlbekannt, daß die gewünschte Verbesserung der Koerzitivkraft einer dünnen ferromagnetischen Schicht erreicht
wird, wenn der Winkel des Dampfeinfalls größer als 30° ist.
- 8 -e0982>/0983
-Jr-
stellung von Magnetbändern, die für· Audio-Aufnahme und -Wiedergabe
sehr befriedigend sind und hohe Koerzitivkräfte aufweisen, in dem der Strahl verdampfenden Metalls auf das Substrat
in einem Winkel kleiner als 30° auffällt.
Die Erfindung wird in Verbindung mit der Ablagerung von ferromagnetischen
Stoffen beschrieben, aber es wird ersichtlich werden, daß im Falle der Herstellung magnetischer Schichten mit
Mehrschichtaufbau, die Erfindung nicht im Hinblick auf Verfahren zur Bildung von Schichten, die keine ferromagnetischen,
dünnen Filme sind, beschränkt ist, und daß die Erfindung in Verbindung mit herkömmlichen Verfahren zur Herstellung von mehrschichtigen
Magnetbändern verwandt werden kann. Erste Ausführungsform, Fig. 2, 3, *<
und 5 In einer Vakuumkammer I^ wird ein Substrat 15 aus einer hochmolekularen
Verbindung oder einer Kunststoffolie von einer Vorratsrolle 22 über Metallrollen 23 zu einer Aufnahmerolle
25 so transportiert, daß das Substrat 15 in sehr engem Kontakt mit dem Umfang einer zylindrischen, drehbaren Dose 2Ί
gebracht werden kann, die durch ein geeignetes Heizmittel oder Kühlmittel, das durch die drehbare Dose 24 zirkuliert,in
geeigneter Weise geheizt oder gekühlt wird. In Gegenüberläge
zum Ablagerungsbereich der drehbaren Dose 2Ί ist eine Bedampf
ungsquelle eines Bedampfungsmittels 18, wie Co, Pe, Ni usw. angeordnet, die einen wassergekühlten, kupfernen Schmelz-
8 0 9 8 2V 0 9 8 3
raum l6, eine Elektronenkanone 17 und ein Ablenkungs- und
ein Scanning-System (beide nicht gezeigt) aufweist. Der Schmelzraum 16 ist so angeordnet, daß die Hauptachse seiner
Verdampfungsoberfläche senkrecht zur Transportrichtung des Substrats 15 liegt. Die Elektronenkanone 17 erzeugt den
Elektronenstrahl 19» der das Bedämpfungsmittel 18 bombardiert,
um es zu heizen und zu verdampfen und bildet dadurch den Strahl 20 verdampfender Metalle. Der Auffall des Strahls 20 verdamp-
's
fender Metalle auf das Substrat 15 auf der drehbaren Dose 24 wird durch eine Maske oder eine Blende 21 gesteuert. Das
Vakuumgefäß 14 wird auf 10~5 bis io"6 torr durch ein Evakuiersystem 26 evakuiert, und wenn nötig, wird ein geeignetes Atmosphärengas wie Sauerstoff in die Vakuumkammer 14 eingeführt.
Eine drehbare Dose 24 mit einem Durchmesser von 50 cm und einer Breite von 50 cm wurde benutzt. Die Nebenachse der Verdampfungsoberfläche betrug 3 cm, während die Hauptachse 40 cm
betrug, und die Entfernung Substrat - Quelle war 30 cm. Die Vakuumkammer 14 wurde auf 5 χ 10~* torr evakuiert, und das
Verdampfungsmaterial Co wurde durch die Elektronenkanone 17 von 50 kW geheizt und verdampft, so daß ein magnetischer dünner Film von 1200 Ä (120 nm) auf dem Substrat 15 oder Polyesterfilm von 40 cm Breite (das Polyesterfilmsubstrat war vor-
- 10 -80982V0983
her mit einem Aluminiumdtlunfi Lm von 500 ft (50 nm) Dicke beschichtet
worden. Der so beschichtete Film wurde in Magnetbänder
von 3,8 mm Breite geschnitten, und ein Signal von IkHz wurde auf dem Magnetband aufgenommen und wiedergegeben. Im
Vergleich mit den herkömmlichen magnetischen Bändern mit entsprechendem
ferromagnetJsehen Dünnfilm, war der Ausgang
bei der Wiedergabe um 1J bis 6 dB verbessert. Diese magnetische
Eigenschaft ist sehr wirkungsvoll, um die Aufnahmedichte pro Volumeneinheit zu verbessern, d.h. für die Herstellung
von Magnetbändern mit langer Aufnahmezeit. Dieses sehr günstige magnetische Verhalten wird durch die genaue Verteilung
der Koerzitivkräfte erhalten, die wiederum durch die Maske 21 erreicht wird, die den Dampfstrahl, der auf das Substrat
15 unter einem Winkel größer als 22° auffällt, kontrolliert.
Ein weiteres wichtiges Merkmal der Erfindung liegt darin, daß eine Normale, die im Zentrum der Verdampfungsoberfläche
errichtet wird, die Achse 0 der drehbaren Dose, wie in Fig. 3 gezeigt ist, nicht schneidet. Dieses Merkmal unterscheidet
die Erfindung völlig von den herkömmlichen Verfahren, bei denen die Bedampfungsquelle unmittelbar unterhalb der drehbaren
Büchse angeordnet ist. Die durch diese Anordnung erzielten Wirkungen werden im einzelnen weiter unten beschrieben. Die Anordnungen,
Abmessungen und dgl. der drehbaren Dose und der
Verdampfungsquelle schwanken in Abhängigkeit von den Magnet-
- 11 -
8098 2^/09 8 3
bändern mit gewünschten Eigenschaften. Wenn das Substrat aus einer hochmolekularen Verbindung hergestellt ist, wird die
Entfernung .1 (siehe Fig. 3) Substrat/Bedampf ungsquelle so kurz
wie möglich gemacht, soweit die Beschädigung des Substrates aufgrund der Strahlungshitze von der Br.dampfungsquelle 18 vermieden
werden kann, und der Abstand χ (zwischen der Senkrechten durch
die Achse der drehbaren Dose 2k und der Normalen auf der Mitte der Bedampfungsquelle 18 seitlich versetzt zur Vorratsrolle 22)
wird so lang wie möglich gemacht. Dann können höchst erwünschte Wirkungen erzielt werden.
Im Allgemeinen ist die Verdampfungsoberfläche nicht flach, so daß
in dieser Beschreibung der Terminus "Verdampfungsoberfläche" sich
auf eine Projektion auf eine Ebene, wie in Fig. 4 gezeigt, bezieht,
und eine senkrechte Linie gj wird im Mittelpunkt konstruiert.
Fig. 5 zeigt ein Beispiel von durch die erste Ausfuhrungsform
erzielten Wirkungen; d.h., das Verhältnis zwischen der Koerzitivkraft Oe und dem Abstand x, wenn die Entfernung 1 (siehe
Fig. 3) 250 mm beträgt. Es ist ersichtlich, daß die Koerzitivkraft um beinahe das Zweifache im Vergleich mit herkömmlichen
Verfahren steigt; d.h., der Koerzitivkraft, wenn die Entfernung χ gleich Null ist. Demzufolge vermag die Erfindung eine
der wichtigsten Bedingungen zu erfüllen, die für die Herstellung von Magnetbändern, die mit extrem hoher Dichte aufnehmen
können, gestellt werden.
80982>/0983 "12~
Die Verdampfungssubstanzen, die in der Erfindung benutzt werden, schließen Co, Fe, Ni und Legierungen davon mit geeigneten zusätzlichen Elementen ein. Die magnetischen Aufnahmemedien, die gemäß der· vorliegenden Erfindung hergestellt werden, zeigen hohe Koerzitivkräfte und ausgezeichnete quadratische Hystereseverhältnisse und eignen sich für die Massenproduktion. Die Erfindung ist also sehr nützlich.
ein (nicht gezeigtes)"Leak"-Ventil geeignet eingestellt wird
und das/Einlaßeingänge (nicht gezeigt) geeignet angeordnet werden, so daß geeignete Gasströme in der Nähe des Bereiches des
Substrats, in dem der ferromagnetische dünne Film abgelagert wird, gebildet werden können. Das Gas ist vorzugsweise Sauerstoff oder Op ♦ Ar oder 0_ ♦ H_, wie für den Fachmann ersichtlich, aber es wird bemerkt, daß die erzwungene Einführung von
Sauerstoff in die Vakuumkammer im Bereich der Erfindung liegt. Die Anordnungen, Abmessungen und Stellungen der Gaseinlaßeingänge sind so festgelegt, daß die Sauerstoffströme in der Nähe
des Substrats in einem Gleichgewichtszustand gebildet werden können. Die Faktoren, die die Auslegung der Oaseinlaßeingänge beeinflussen, sind daher die Breite des Substrate,
der Durchmesser der Drehdose, die Entfernung Substrat/Quelle, die Lage der Gaseinlaßeingänge im Verhältnis zum Evakuierungssystem, die Kapazität des Evakuierungsystems usw.
- 13 -
8098 2^/098 3
Eine drehbare Trommel mit einem Durchmesser von 300 mm und ein Substrat mit der Breite von 150 mm und eine Elektronenstrahlkanone von 12 kW wurden benutzt. Der kleinste Abstand
zwischen dem Substrat und der Bedampfungsquelle wurde bei 250 mm gehalten; der kleinste Abstand zwischen dem Substrat
und dem Einlaß für das Gas 5 mm; und der kleinste Abstand zwischen der Bedampfungsquelle und dem Gaseinlaß 275 mm. Eine
Unterdruckkammer mit einem Volumen von 100 1 wurde benutzt. Der Abstand von der Mitte der Absaugöffnungen zur Bedampfungsquelle betrug 400 mm, und der Abstand von der Mitte der Absaugöffnung zu dem Gaseinlaß betrug 600 mm. Das Bedampfungsmittel
war Co (98 %) und Ni (2 %) oder Co (95 %) und V (5 S ). Das
Substrat war ein Polyäthylenterephthalatfilm von 15 /Um Dicke,
der durch Vakuumverdampfung bei 1 χ 10"' torr mit Kupfer von
300 8 Dicke beschichtet war.
Der Vergleich der magnetischen Eigenschaften der Magnetbänder, die gemäß der Erfindung hergestellt wurden, mit den Magnetbändern, die nach herkömmlichen Verfahren hergestellt wurden,
ist in Tabelle I gezeigt.
80982^0983
ta
•σ
ς-. U ω
Xi
ti s
Herstellungsbedingungen
Magnetisches Material
Co98*Ni2*
Co98SNi2*
Einführung v.jVerrückungs-Sauerstoff
geschwindigkeit des Substrats
NO,
0,05 l/min
12 m/min
0,09 1/ram
0,12 l/mir.
0,05 1/raln
0,09 l/min Ar 0,09 /min
keiner
0,2 l/min vom Ventil Magnetische Eigen- ' Ausgang , Korrosionsbeschaften
d.Bandes : ständigkeit
Koerzitiv- Quadr.
kraft j Hysterese-
Verhältnis
Oe
0,91 Oe Oe Oe Oe
Oe
Oe
Oe
0,92
0s90
0,1
0,86
0,5
0,6
0,55
Geschwindigk. ! Rost nach
4,75 cm/s i Stunden
OdB j
Ware C-120 I ^__
+ 1 - 2 dB
keiner
+ 2 - 3 dB
+ 2 - 4 dB
+ 1 - 3 dB + 2 dB
- 15 dB
- 18 dB
Fleckiger Rost v. 2-3 / cnr
- 19 dB
Fleckiger Rost v. 0,5 / cm2
Fleckiger Rost v. 0,1-0,5/cm2
Aus Tabelle I ist ersichtlich, daß die magnetischen Eigenschaften« die Ausgänge und die Korrosionsbeständigkeit der gemäß der Erfindung hergestellten Magnetbänder denen der nach herkömmlichen Nethoden hergestellten Magnetbänder bei weitem Überlegen sind.
Anstelle der Beschießung mit einem Elektronenstrahl kann das Widerstands- oder das Induktionsheizen angewandt werden. Und»
wie an anderer Stelle beschrieben, kann eine hohle zylindrische Drehdose benutzt werden, so daß das Heiz- oder das Kühlmittel durch die Drehbüchse zirkulieren kann, um deren Temperatur
zu steuern, wodurch eine zuverlässige Steuerung der Koerzitivkraft und der Remanenz erreicht werden können.
Die Erfindung wird auch durch die zweite Ausführungsform verwirklicht, bei der das Substrat 15 eine Mehrzahl von zylindrischen Drehdosen 2ΊΑ - · 2^D passiert. Da jede der drehbaren
Dosen 2iA - 2Ί D unabhängig von den anderen temperaturgesteuert ist, können die ferromagnetisehen dünnen Schichten
bei der gleichen Temperatur gebildet werden. Es ist sehr wichtig, das Substrat 15 auf der gleichen Temperatur zu halten,
so daß die Magnetbänder die gleichen magnetischen Eigenschaften haben können. In Fig. 6 bezeichnet das Bezugszeichen 27
eine Stromquelle; 28 eine Heizeinrichtung; 29 isolierte An-
80982^/0983
acr
Schlüsse; 30 ein Evakuiersystem; und 31 eine Maske. Dritte Ausführungsform, Fig, 7
Die dritte Ausführungsform in Fig. 7 ist im wesentlichen im
Aufbau der ersten Ausführungsform, die in Fig. 2 gezeigt ist,ähnlich
außer daß eine zusätzliche Maske 31' vorgesehen ist, so daß der Strahl verdampfender ferromagnetischer Substanz von der
Quelle 18 in zwei Strahlen aufgeteilt wird, die gegen das Substrat 15 auf der Drehdose 2k aufschlagen, um die ferromagnetische
dünne Schicht zu bilden.
Das Verdampfungsmittel kann durch geeignete übliche Methoden
geheizt und verdampft werden, wie z.B. das Beschießen mit einem Elektronenstrahl, je nach den gewünschten magnetischen Eigenschaften.
Wenn nötig, kann ein Reaktionsgas eingeführt werden.
Anstelle den Strahl verdampfenden Metalls in zwei Strahlen aufzuteilen, kann er in eine Mehrzahl von Strahlen aufgeteilt
werden, aber es ist vorzuziehen, den Strahl verdampfenden ferromagnetischen Materials wie in Fig. 7 gezeigt aufzuspalten,
da die magnetischen Eigenschaften der ferromagnetischen dünnen Schichten die so abgelagert werden verbessert werden
können.
98 2^/0 98 3 - 17 -
Darüber hinaus kann eine Mehrzahl von Drehdosen vorgesehen werden, so daß der Ablagerungswirkungsgrad (das Verhältnis der
Menge der auf dem Substrat abgelagerten ferromagnetischen Substanz zur Menge der verdampften ferromagnetischen Substanz)
erhöht werden kann, wie im einzelnen unter Bezugnahme auf Fig. 8 im folgenden beschrieben werden wird.
In der vierten Ausführungsform, die in Fig. 8 gezeigt ist, wird
das Substrat 15 an einer Mehrzahl von Drehdosen 21A, 24· und
24" vorbeigeführt und den Strahlen verdampfenden ferromagnetischen Stoffes ausgesetzt, die durch die Masken 31', 31" und 31*n
abgespalten worden sind. Die Temperatur der drehbaren Dosen 24, 24* und 24" wird jeweils unabhängig in der oben beschriebenen Weise gesteuert. Dadurch können die magnetischen Eigenschaften der ferromagnetischen dünnen Schichten weiter verbessert und stabilisiert werden. Z.B. werden die Temperaturen, der
drehbaren Dosen 24, 24' und 24" auf -10°C bzw. -15°C bzw.
-250C gesteuert eingestellt, so daß eine Temperaturerhöhung
des Substrats 15 vermieden werden kann. Daher kann die ferromagnetische Substanz bei der gleichen Temperatur abgelagert
werden, so daß eine gleichmäßige Verteilung der Koerzitivkräfte sichergestellt werden kann und das quadratische Hystereseverhältnis verbessert werden kann*
- 18 -80982^0983
Die Anordnungen und Abmessungen der Masken 31'» 31" und 31'"
können nach Bedarf gewählt werden.
Die Vakuumbedampfungseinrichtung der in Fig. 7 gezeigten Art
wurde benutzt. Der Durchmesser der Drehdose 2k betrug 500 mm,
und die Maske 31' war 70 mm breit. Co wurde durch Widerstandsheizung
bei 15 kW in der auf 5 χ ΙΟ'·3 torr evakuierten Unterdruckkammer
geheizt und verdampft und auf die Polyäthylenterephthalatschicht bis zur Dicke von 1.500 S (150 nm) abgeschieden.
Das quadratische Hystereseverhältnis betrug 0,87; die Koerzitivkraft betrug ?90 Oe und die gesättigte Flußdichte
17 000 Gauß.
Der Ablagerungswirkungsgrad ist ungefähr 30 % mit der in Fig.
7 gezeigten und ungefährt kO % mit der in Fig. 8 gezeigten Einrichtung.
Verglichen mit dem durch herkömmliche Verfahren erreichbaren Ablagerungswirkungsgrad beträgt der Ablagerungswirkungsgrad
der Erfindung mehr als das lOfache. Daher sind Verfahren und Einrichtung gemäß der Erfindung bei der tatsächlichen
Herstellung verwendbar.
Wie an anderer Stelle beschrieben, sind das Verfahren und die
Einrichtung zur Vakuumbedampfung gemäß der Erfindung zur Bildung
dünner ferromagnetischer Schichten verträglich mit ande-
- 19 -
80982^0983
ren Vakuumbedampfungsverfahren und Einrichtungen, um mehrschichtige magnetische Schichten zu bilden. Hierzu kann eine
Mehrzahl verschiedener Bedampfungsquellen in Gegenüberlage zur Dreh dose angeordnet werden. Es können auch Paare aus
einer Dreh dose und einer Bedampfungsquelle angeordnet werden. Die Erfindung offenbart auch ein Gerät, das optimal geeignet ist, um Nagnetbänder mit einer gleichmäßigen Verteilung von Mehrfachschichten herzustellen.
In Fig. 9 ist eine Unterdruckkammer 3*· durch Trennwände 35 und
36 in drei Räume 37, 38 und 39 aufgeteilt, die im wesentlichen unabhängig voneinander sind und bis zu einem gewünschten Vakuum durch unabhängige Evakuiersysteme 37', 38* und 39* evakuiert werden. Die Anordnungen dieser Evakuiertsystenestehen in
sehr enger Beziehung mit weiter unten zu beschreibenden Systemen zur Einführung von Gas. Der obere Raum 37 muß von oben
evakuiert werden; der mittlere Raum 38 muß um die Vertikale symmetrisch evakuiert werden; und der untere Raum 39 muß vom
Boden her evakuiert werden.Aufbau und Kapazität der Evakuiersysteme sind natürlich durch das Volumen und Material des Vakuumgefäßes 34 bestimmt und schränken den Bereich der vorliegenden Erfindung nicht ein.
^ - 20 -
8 0 9 8 2 Ϋ/ 0 9 8 3
rollen ^l und *»2 für das Substrat und eine Vorrichtung zur
Behandlung mit elektrischen Entladungen ^3 angeordnet. Die
Vorrats- und Aufwickelrollen '!1 und U2 werden gedreht, wenn
die Drehdosen M, ^5 und Ί6 in entweder die Richtung A oder
B gedreht werden. Nach Bedarf kann eine Einrichtung, um ein
dünnes und breites Substrat zickzackförmig zu transportieren,
vorgesehen sein und beschränkt den Bereich der Erfindung nicht. Die Vorrichtung zur Behandlung mit elektrischen Entladungen
ist über einen isolierten Anschluß *»7 an eine Spannungsquelle
48 angeschlossen, die eine Gleichstrom- oder eine Wechselstromquelle
sein kann. Vorzugsweise wird Wechselstrom oder Hochfrequenz-Glimmspannung benutzt. Darüber hinaus wird vorzugsweise
ein Gas, das Sauerstoff enthält, eingeführt, anstatt nur Argongas, wie beim Stande der Technik, in den oberen Raum 37
einzuführen, da die Bindekraft zwischen der dünnen Schicht und dem Substrat beträchtlich verbessert werden kann.
Der Raum in der Nähe der Vorrichtungen zur Behandlung mit elektrischen Entladungen ^3 kann teilweise abgeschlossen sein,
und ein Gas kann in diesen Raum eingeführt werden. Diese Anordnung geht nicht über die Einteilung eines Raumes gemäß der
Erfindung hinaus und ist in der Entladungsvorrichtung eingeschlossen.
In dem mittleren Raum 38 sind zylindrische Drehdosen ^H und
1JS, die in der Richtung A oder B drehbar sind, und Verdampf ungs-
- 21 -
98 2^/0 98 3
quellen 49 und 50 (natürlich können mehr als zwei Quellen
vorgesehen sein) in jeweiliger Gegenüberlage zu den Drehdösen 44 und 45, angeordnet, 51 ist eine Maske, und 69 ist
ein Träger der Bedampfungsquelle.
Die Bedampfungsquellen sind schematisch als vom Elektronenstrahltyp gezeigt, aber sie können von jeder geeigneten üblichen Art sein. 52 und 53 sind wassergekühlte Kupferschmelzräume, und 54 und 55 zeigen schematisch Elektronenkanonen.
In dem unteren Raum 39 ist eine zylindrische Drehdose 46
und eine Bedampfungsquelle 56 in Gegenüberlage zur Drehdose 46 angeordnet. Die Bedampfungsquelle besteht aus einer Elektronenkanone 57 und einem wassergekühlten Schmelzraum aus Kupfer
und heizt und vadampft ein Bedampfungsmittel 56.
Ein System zur Einführung von Gas besteht aus einer Trockeneinrichtung, einem Reservoir und einem Druckregulator, die
alle nicht gezeigt sind und von der üblichen Art sind. Der wichtige Punkt in der vorliegenden Erfindung ist der Gasfluß,
der von der Gaseinlaßöffnung und der Auslaßöffnung abhängt. Gewünschte Gase 64, 65, 66, 67 und 68 werden in die Unterdruckkammer oder die oberen, mittleren und unteren Räume 37,
38 und 39 durch Nadelventile 59» 60, 6l, 62 und 63 eingeführt.
- 22 -
809827/0983
Die relative Anordnung zwischen der Gaseinlaßöffnung und der
Auslaßöffnung des oberen Raumes 37 wird die grundlegenden Eigenschaften der dünnen Schichten, die durch das in Fig. 9 gezeigte
Gerät hergestellt weufcn nicht entscheidend beeinflussen, aber
die relativen Anordnungen zwischen ihnen im mittleren und unteren Raum 38 bzw. 39 sind sehr wichtig. Wenn die Richtung des
Substrates umgekehrt wird, wenn ein mehrschichtiger dünner Film
darauf abgelagert wird^ ist die Symmetrie sehr wichtig. Vom
unten zu beschreibenden Beispiel wird man sofort die Wichtigkeit der Tatsache erkennen, daß die Auslaßöffnung unterhalb angeordnet
ist, während die Einlaßöffnung oberhalb angeordnet ist.
Mit der Einrichtung der in Fig, 2 gezeigten Art wurde eine dünne
Cr-Schicht der Dicke 350 K und eine dünne Fe-Schicht der Dicke 500 A0 (50 nm) abwechselnd auf ein Substrat oder einen
Polyäthylenterephthalatfilm von 15 /Um Dicke abwechselnd abgelagert,
um ein magnetisches Aufzeichnungsmedium oder ein magnetisches Band mit einer Schichtdicke von 1700 8 zu bilden. Um
die Adhäsionskraft der dünnen Schicht zu prüfen, wurden Klebebänder benutzt, und es ergab sich, daß das Gewicht nach der Prüfung
zwischen 50 und 20 % schwankt. Die Variation im Ausgang (Empfindlichkeit) bei Wiedergabe in der Längsrichtung war ♦ 3 dB.
Das obige waren die Ergebnisse, wenn dae Magnetband über die
ganze Länge von 2 500 m geprüft wurde.
- 23 -
80982^/0983
Mit der Einrichtung der in Piß, 9 gezeigten Art wurde das
magnetische Aufzeichnungsmedium oder das Magnetband mit den gleichen Spezifikationen wie oben beschrieben unter den folgenden Bedingungen hergestellt:
(1) Durch das Nadelventil 59 wird 0- in der Menge 0,2 1 pro
min eingeführt, während Argon in der Menge von 0,2 1 pro min eingeführt wird.
(2) Entladungsbehandlung: HF 50 kHz, Ausgang 250 W Anodenspannung: 1,2 kV
(3) Dosentemperaturs O0C
Wenn das Substrat in der Richtung B gefördert wird, wird kontinuierlich O2 in der Menge 0,1 1 pro min durch das Nadelventil 61 eingeführt, während Argon in der Menge von
0,03 1 pro min eingeführt wird.
Ein (nicht gezeigtes) Ventil im Evakuier- oder Auslaßsystem 38" wird geschlossen.
Die Bedampfungsquelle Ί9 wird erregt, um eine dünne Cr-Schicht auf dem Substrat 40 zu bilden.
80982^0983
Danach wird durch das Nadelventil 62 kontinuierlich O2
in der Menge von 0,05 1 pro min eingeführt.
Die Bedampfungsquelle 56 wird erregt, um eine dünne Fe-Schicht aui' der dünnen Cr-Schicht abzulagern.
Wenn das Substrat in der Richtung A transportiert wird, werden 0_ und Ar durch das Nadelventil in Mengen von 0,:
pro min und 0,03 1 pro min kontinuierlich eingeführt.
Ein Ventil in dem Evakuier- oder Auslaßsystem 381 wird
geschlossen.
Die Bedampfungsquelle 50 wird erregt, um eine dünne Cr-Schicht auf der dünnen Fe-Schicht abzulagern.
Durch das Nadelventil 63 wird kontinuierlich O2 in der
Menge von 0,05 1 pro min eingeführt.
Die Bedampfungsquelle 56 wird erregt, um eine dünne Fe-Schicht
über der dünnen Cr-Schicht zu bilden.
Die obigen Schritte wurden wiederholt, um abwechselnd dünne Cr- und Fe-Schichten auf dem Substrat 1IO zu bilden,
- 25 -
809 8 2^/09
Anstelle von (4) aus I., d.h. Fe, wurden Co (50 %) und Pe
benutzt.
Es wurde nach Verfahren II. vorgegangen, aber im Falle der
Ablagerung von Fe, (1I) von I,, wurde O2 kontinuierlich in der
Menge von 0,1 1 pro min durch das Nadelventil 63 eingeführt, wenn das Substrat in der Richtung B transportiert wurde, und
O2 wurde kontinuierlich in der Menge von 0,1 1 pro min durch
das Nadelventil 62 eingeführt, wenn das Substrat in der Richtung A transportiert wurde.
das Gas wurde in den oberen Raum eingeführt.
Klebebandtests wurden durchgeführt, um die Bindekraft der ferromagnetischen dünnen Schicht an das Substrat zu bestimmen. IV.
gab das schlechteste Ergebnis mit Bereichen von 70 bis 50 JE, aber unter den Bedingungen von I., II. und III. waren die Ergebnisse zwischen 100 und 90 t.
Die Variationen beim Ausgang bei der Wiedergabe wurden über
die ganze Länge von 3 600 m gemessen. Alle unter den Bedingun-
- 26 -80982^/0983
gen I. bis IV, hergestellten Bänder zeigten Variationen kleiner
als 1 dB. Die Messungen wurden mit einem Signal mit der Wellenlänge von 1J Mikron durchgeführt.
Diese Ergebnisse sind vergleichbar mit denen der Magnetbänder vom beschichteten Typ,, die auf dem Markt sind. Daher ist das
in Fig. 9 gezeigte Gerät vorteilhaft bei der Herstellung von Magnetbändern mit mehreren dünnen Schichten, die eine gleichmäßige
Verteilung magnetischer Eigenschaften in der Längsrichtung haben.
Die in Fig. 10 gezeigte Einrichtung ist geeignet, die Bindekraft der dünnen Schicht an das Substrat zu erhöhen. Eine
Vakuumkammer 71 wird durch ein Evakuiersystem 72 bis zu einem gewünschten Vakuumgrad evakuiert und Sauerstoff wird durch ein
einstellbares MLeak"-Ventil bis zu einem gewünschten Partialdruck
eingeführt. Eine zylindrische Dose 7*», um die ein Substrat
75 herumgeht und eine Bedampfungsquelle einer ferromagnetischen
Substanz 76 sind einander gegenüber angeordnet. In
dieser Ausführungsform ist die Bedampfungsquelle vom Widerstandsheizungstyp
und besteht aus einem Schiffchen 77, isolierten Ai Schlüssen 78 und einer Spannungsquelle 79, aber es ist klar,
daß jegliche Übliche Heizungssysteme, wie Elektronenkanonenbe-
- 27 -
8 0 9 8 2\/ 0 9 8 3
schuß, Induktionsheizung usw, natürlich angewendet werden können.
Eine schirmgitterartige Elektrode 80 ist zwischen dem Substrat 75 und der Bedampfungsquellc angeordnet. Aufbau und Anordnung dieser Elektrode 80 sind in das Belieben des Fachmanns
gestellt und begrenzen den Bereich der Erfindung nicht. Auch ohne die Benutzung der schirmgitterartigen Elektrode 80 können
die Wirkungen der Erfindung gleichermaßen erreicht werden. Die Elektrode 80 ist durch einen isolierten Anschluß 78 an eine
Spannungsquelle 81 angeschlossen und wird auf einer vorbestimmten Spannung gehalten. Masken 82 sind angeordnet, um das
Auftreffen des Strahls verdampfender ferromagnetischer Substanzen gegen das Substrat zu steuern. Eine Entladungselektrode
ist über einen isolierten Anschluß an eine Hochfrequenzspannungsquelle 84 angeschlossen. Das Substrat 75 wird von einer
Vorratsrolle 75* zu einer Aufwickelrolle 75" transportiert.
Gemäß der sechsten Ausfuhrungsform wird ein Teil des Strahls
aus verdampfendem ferromagnetischen Stoff ionisiert. In Fig.
10 wird die Ionisation durch Kochfrequenzglimmentladung bewirkt, aber jegliche geeignete Entladungen,wie Glühkathodenentladung, die im Vakuum der Größenordnung von 10 torr aufrechterhalten werden kann,können benutzt werden. Die grundlegenden Wirkungen, die erhalten werden, sind die gleichen.
- .»8 -80982^/0 98 3
In der Erfindung bezieht sieh die Bezeichnung "Substrat" auch auf ein Substrat, das aus einer hochmolekularen Verbindung
hergestellt und mit einer dünnen n5chtferromagnetischen Schicht,
die durch Vakuumbedampfung abgelagert ist, beschichtet ist. Wenn
Magnetbänder mit abwechselnden nichtferromagnetischen dünnen
Schichten und ferromagnetischen dünnen Schichten hergestellt werden, muß das Gerät entsprechend entworfen und aufgebaut werden.
Die ferromagnetischen dünnen Schichten werden gemäß der vorliegenden Erfindung gebildet und eine Einrichtung, die die
Stufe zur Herstellung der ferromagnetischen dünnen Schichten gemäß der vorliegenden Erfindung enthält, liegt daher im Bereich
der vorliegenden Erfindung.
Das Substrat 75 wird um die zylindrische Dose 74 herumgeführt,
und es ist eine der wichtigen Bedingungen, daß der Partialdruck des Sauerstoffs unterhalb 8 χ 10 torr gehalten wird, wie aus
Fig. 11 erkannt werden wird. (Der optimale Bereich liegt zwischen 8 χ 10~ und 2 χ 10~ , und die Stabilität der Entladung
kann bei einem Druck, der geringer als 2 χ 10"5 torr ist, nicht
sichergestellt werden. Nur venn die oben angegebenen Bedingungen erfüllt sind, kann das ausgezeichnete magnetische Aufzeichnungsmedium,
das Signale mit hoher Dichte aufzeichnen kann, geliefert werden.
Eine Dose mit einem Durchmesser von 300 mm und eine Elektro-
- 29 -
8 0 9 8 7\l 0 9 8 3
nenkanone von 12 kW wurden benutzt, um eine ferromagnetische
Substanz aus Co (90 JIi) und Ni (10 %) zu heizen und zu verdampfen. Der Mindestabstand Substrat/Quelle wurde auf 28 cm gehalten. Dünne Schichten von 1 200 bis 1 400 R (120 bis 140 nm)
wurden gebildet. Die Gleichstrom-Magnetisierungscharakteristiken in der Längsrichtung oder das Verhältnis zwischen der Koerzitivkraft und dem Partialdruck des Sauerstoffs sind in Fig. 11
gezeigt.
Die Substrate waren Polyäthylenterephthalatfilme von 15 /
Dicke und Polyamidfilme von 10 ^um Dicke ("Buton"k Beide
Filme waren durch Vakuumbedampfüng mit einer dünnen 350 8
dicken Ti-Schicht beschichtet.
Es wurde bestätigt, daß, um eine hohe Koerzitivkraft und ein hohes quadratisches Hystereseverhältnis zu erhalten, ferromagnetische Substanzen wie Co (100 JJ), Fe, Ni und ihre Legierungen
mit geeigneten Elementen bei ihren jeweiligen optimalen Säuerst of fpartialdruckbereichen erhitzt und verdampft werden müssen.
Die Olühentladung wurde bei 13,56 MHz und 300 W durchgeführt,
und die schirmgitterartige Elektrode war geerdet. Die magnetischen Charakteristiken ähnlieh den in Fig.1 gezeigten, können
ohne die Benutzung einer Olühentladung, die den Strahl verdampfender ferromagnetischer Substanz positiv ionisiert, erhalten
- 30 -
80982^0983
werden. D.h., der Dampf der verdampfenden ferromagnetischen Substanz, der teilweise ionisiert wird, wenn die Substanz verdampft
wird, wird durch die schirmgitterartige Elektrode hindurchgeführt,
die bei 100 bis 3000 V Gleichstrom gehalten wird. Diese Anordnung liegt ebenfalls im Bereich der Erfindung. Dementsprechend
ist dlo vorliegende Erfindung sehr nützlich, unabhängig davon, oh die GlUhentladung benutzt wird oder nicht.
Wie oben beschrieben } wird der Strahl der verdampfenden ferromagnetischen
Substanz aus der Bedampfungsquelle, der von der senkrechten Linie, die durch die Achse der zylindrischen Drehdose
geht, abgelenkt wird, innerhalb der Vakuumatmosphäre, die Sauerstoff enthält, gegen das Substrat senkrecht zu dessen
Förderrichtung entlang der zylindrischen Drehdose geschleudert, wodurch die dünne ferromagnetische Schicht gebildet wird.
Daher wird die Ablagerung begonnen während der Dampfstrahl gegen die Vorratsrolle geneigt ist, dann während der Dampfstrahl
senkrecht auf das Substrat einfällt und schließlich während der Dampfstrahl gegen die Aufwickelrolle geneigt ist und einschließlich
der Dampfbestandteile, die in der Richtung des Substrattransportes fließen. So können ferromagnetische dünne Schichten
mit hoher Koerzitivkraft gebildet werden und deswegen können magnetische Aufnahmebänder mit verbesserten magnetischen Eigenschaften
in der Längsrichtung, die fähig sind, die Signale mit hoher Dichte aufzunehmen, in einfacher Weise hergestellt werden.
Daher ist die vorliegende Erfindung in der Industrie sehr nützlich.
Patentansprüche
8 0 9 8 2V 098 3
Claims (8)
- Patentansprüchey Verfahren zur Herstellung magnetischer Aufnahmemedien, dadurch gekennzeichnet, daß innerhalb einer Vakuumatmosphäre, die Oaue wie Sauerstoff und Argon enthält, eine zylindrische drehbare Dose (24) und eine Bedampfungsquelle (18, 56, 76) derart angeordnet werden, daß die zylindrische drehbare Dose und die Bedampfungsquelle sich zueinander in Gegenüberläge befinden und daß die in der Verdampfungsquelle errichtete Normale , die Achse der zylindrischen drehbaren Dose nicht schneidet, und daß der Strahl (20) der verdampfenden ferromagnetischen Substanz auf ein Substrat (15), das aus einer hochmolekularen Verbindung hergestellt ist und entlang der zylindrischen drehbaren Dose transportiert wird, in rechten Winkeln zur Richtung des Transportes des Substrates gerichtet wird, wodurch er eine ferromagnetische dünne Schicht Über das Substrat bildet.
- 2. Verfahren zur Herstellung magnetischer Aufnahmemedien nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine Mehrzahl zylindrischer drehbarer Dosen (21, 24·, 24" j 44, 45, 46) angeordnet sind.- 32 .8 0 9 B 2^/ Ü 9 8 3ORIGINAL INSPECIiD
- 3. Verfahren zut Herstellung magnetischer Aufzeichnungsmedien nach Anspruch 2 , d ρ d u r > h gekennzeichnet, daß die Temperatur 0 leset- Mehrzahl von zylindrischen drehbaren Dosen (?'!^"ι ;''i· } ?'["; Hh, I15, 46; 74) unabhängig voneinander gesteuert wird,
- 4. Verfahren zur Herstellung magnetischer Aufzeichnungsmedien, nach Anspruch 1 „ d a d 11 r c h gekennzeichnet, daß der Strahl verdampfender f'erroir.agnetischer Substanz aus der Bedampfungsquelle (l8) in eine Mehrzahl von Strahlen (20) aufgeteilt wird, die gegen das Substrat (15, 40, 75) prallen.
- 5. Verfahren zur HersteJlung nu^-netisuher Aufzeichnungsmedien nach Anspruch 1 oder 5, dadurch gekennzeich net, daß eine Mehrzahl zylindrischer drehbarer Dosen (2Ί; 2't, 2Jl1, 24"; 4Ί, '15, Ί6; 7h) angeordnet sind, und daß der Strah] verdampfender ferromagnetische*1 Substanz aus der Bedampfungsquelle (18) in eine Mehrzahl von Strahlen (20) aufgespalten ist, die gegen das Substrat (15, 4ü, 75), das entlang dieser Mehrzahl von zylindrischen drohbaren Dosen transportiert wird, geschleudert wird.
- 6. Verfahren zur Herstellung magnetischer Aufzeichnungsmedien nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Strahl (20) verdampfender ferromagnetischer Substanz, der durch das Heizen und die Verdampfung einer ferromagnetischen8098 2^/098- 33 -Substanz erzeugt wird, aiii o.xn Substrat (15, 40, 75) gerichtet und dagegen geschleudert t/j.rd, das entlang der zylindrischen drehbaren Dose (24; 24, 2*4·, 24"; 44, 1)5, 46; 74) in der Vakuumatmosphäre transportiert wird, so daß eine ferromagnetische dünne Schicht; auf iJem Substrat in Gegenwart von Strömungen von Sauerstoffgas in der Nähe des Substrates gebildet werden kann.
- 7. Verfahren zur Herstellung magnetischer Aufzeichnungsmedien nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Strahl (20) verdampfender ferromagnetischer Substanz, der durch Heizung und Verdampfen einer ferromagnetischen Substanz erzeugt wird, teilweise ionisiert wird und gegen das Substrat (15, 40, 75) gerichtet wird, das entlang der zylindrischen drehbaren Dose (24; 2'!, 24», 24"; 44, 45, 46; 74) innerhalb der Vakuumatmosphäre, iπ der der Partialdruck des Sauer--4Stoffs kleiner als 8 χ 10 torr ist, transportiert wird, wodurch eine ferromagnetische dünne Schicht über dem Substrat gebildet wird.
- 8. Einrichtung zur Vakuumaufd{ upfuug dünner Schichten dadurch gekennzeichnet, daß ein Vakuumgefäß oder eine -kammer (34) in drei Räume (37, 38, 39) unterteilt ist, die im wesentlichem gegeneinander abgeschlossen sind; daß die Räume in einer Reihe angeordnet sind; daß die Räume unabhängigen Evakuiersystemen (37*, 381, 39·) angeschlos-8 Π 9 R 2^f/ 0 9 8 3-34 -sen sind; daß ein Mechanismus (1»1) r.um Abwickeln eines flexiblen Substrates (1^U), ein Mechanismus (^2) zum Aufwickeln des flexiblen Substrates (^O) und eine Mehrzahl von Einrichtungen (O) zur Behandlung mit elektrischen Entladungen in dem oberen Raum (37) angeordnet sind; daß zwei Paare aus einer zylindrischen drehbaren Dose (M; k'j), deren Drehrichtung umgekehrt werden kann und einer Bedampfungsquelle C<9; 50) in Gegenüberläge in dem mitt3f;rtui Raum (3Ü) angeordnet sind; daß ein Paar aus einer zylindrischen drehbaren Dose Cj6), deren Drehrichtung umgekehrt werden kann und einer Bedampfungsquelle (56) in dem unteren Raum (39) angeordnet ist; und daß unabhängige Gaseinführsysteme ( ü9j 60, 61; (>?, 63) an den oberen (37), mittleren (38) und unteren (39) Raum angeschlossen sind.9. Einrichtung zur Vakuumaufdampfung dünner Schichten nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß das Evakuiersystem (37') an das Oberteil des oberen Raums (37) angeschlossen ist; daß das Evakuiersystem (381) an beide seitlichen Seiten des mittleren Raums (38) angeschlossen ist; und daß das Evakuiersystem (39') an den Boden des unteren Raums (39) angeschlossen ist.8 0 9 8 2Tf-/ 0 9 8 3
Applications Claiming Priority (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15959176A JPS5383709A (en) | 1976-12-29 | 1976-12-29 | Preparation of magnetic recording medium |
JP274677A JPS5387706A (en) | 1977-01-12 | 1977-01-12 | Manufacture of magnetic recording medium |
JP52074702A JPS6010370B2 (ja) | 1977-06-22 | 1977-06-22 | 磁気記録媒体の製造方法 |
JP8385177A JPS5419199A (en) | 1977-07-12 | 1977-07-12 | Magnetic recording medium porcess |
JP8637177A JPS5421309A (en) | 1977-07-18 | 1977-07-18 | Production of magnetic recording media |
JP12036277A JPS5453685A (en) | 1977-10-05 | 1977-10-05 | Forming apparatus for film in vacuum |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2758772A1 true DE2758772A1 (de) | 1978-07-06 |
DE2758772C2 DE2758772C2 (de) | 1982-09-30 |
Family
ID=27547724
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2758772A Expired DE2758772C2 (de) | 1976-12-29 | 1977-12-29 | Verfahren zur Herstellung eines bandförmigen, magnetischen Aufzeichnungsträgers |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4220117A (de) |
CA (1) | CA1096968A (de) |
DE (1) | DE2758772C2 (de) |
FR (1) | FR2376485A1 (de) |
GB (1) | GB1596385A (de) |
NL (1) | NL181059C (de) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3046564A1 (de) * | 1979-12-10 | 1981-09-17 | Fuji Photo Film Co., Ltd., Minami-Ashigara, Kanagawa | "verfahren und vorrichtung zur vakuum-bedampfung" |
JPS5753539A (en) * | 1980-09-17 | 1982-03-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Method and apparatus for forming coating film in vacuum |
EP0053811A1 (de) * | 1980-12-05 | 1982-06-16 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Magnetische Aufzeichnungsmedien |
DE3214827A1 (de) * | 1981-04-24 | 1982-11-11 | Fuji Photo Film Co., Ltd., Minami-Ashigara, Kanagawa | Verfahren zur herstellung eines magnetischen aufzeichnungstraegers und vorrichtung zur durchfuehrung dieses verfahrens |
DE3503309A1 (de) * | 1984-02-02 | 1985-08-08 | Victor Company Of Japan, Ltd., Yokohama, Kanagawa | Magnetisches aufzeichnungsmedium mit einer im vakuum abgeschiedenen magnetschicht aus einem magnetisierbaren material und einem wolframoxid und verfahren zur herstellung des mediums |
CN1103685C (zh) * | 1998-02-27 | 2003-03-26 | 松下电器产业株式会社 | 层压体的制造方法 |
Families Citing this family (43)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4301765A (en) * | 1979-01-10 | 1981-11-24 | Siemens Aktiengesellschaft | Apparatus for generating layers on a carrier foil |
AU531847B2 (en) * | 1979-02-23 | 1983-09-08 | Sekisui Kagaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Magnetic recording medium + process for production thereof |
JPS6033289B2 (ja) * | 1979-07-18 | 1985-08-02 | 松下電器産業株式会社 | 金属薄膜型磁気記録媒体 |
US4403002A (en) * | 1979-12-10 | 1983-09-06 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Vacuum evaporating apparatus |
DE3173689D1 (en) * | 1980-03-07 | 1986-03-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Method of producing a magnetic recording medium |
JPS6037527B2 (ja) * | 1980-03-10 | 1985-08-27 | 積水化学工業株式会社 | 磁気記録媒体の製造方法 |
JPS56163526A (en) * | 1980-05-20 | 1981-12-16 | Fuji Photo Film Co Ltd | Production of magnetic recording medium |
JPS56165932A (en) * | 1980-05-26 | 1981-12-19 | Tdk Corp | Production of magnetic recording medium |
JPS573223A (en) * | 1980-06-03 | 1982-01-08 | Tdk Corp | Magnetic recording medium |
JPS5736437A (en) * | 1980-08-14 | 1982-02-27 | Fuji Photo Film Co Ltd | Producing device of magnetic recording medium |
US4547398A (en) * | 1981-05-15 | 1985-10-15 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method for manufacturing magnetic recording medium |
US4450186A (en) * | 1981-08-20 | 1984-05-22 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method and device for manufacturing magnetic recording medium |
US4477489A (en) * | 1981-09-03 | 1984-10-16 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Method of making magnetic recording medium |
JPS58111127A (ja) * | 1981-12-24 | 1983-07-02 | Ulvac Corp | 耐摩耗性磁気記録体の製造法 |
JPS5961014A (ja) * | 1982-09-29 | 1984-04-07 | Fuji Photo Film Co Ltd | 磁気記録媒体 |
JPS59148137A (ja) * | 1983-02-14 | 1984-08-24 | Fuji Photo Film Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
JPS59160828A (ja) * | 1983-03-01 | 1984-09-11 | Fuji Photo Film Co Ltd | 磁気記録媒体 |
EP0122030B1 (de) * | 1983-03-08 | 1987-08-26 | Nihon Shinku Gijutsu Kabushiki Kaisha | Magnetisches Aufzeichnungsmedium und Herstellungsverfahren für ein derartiges Medium |
JPS59203238A (ja) * | 1983-04-30 | 1984-11-17 | Tdk Corp | 磁気記録媒体の製造方法 |
US4575475A (en) * | 1983-07-12 | 1986-03-11 | Tdk Corporation | Magnetic recording medium |
JPH0610856B2 (ja) * | 1984-08-04 | 1994-02-09 | ティーディーケイ株式会社 | 磁気記録媒体 |
JPS6173875A (ja) * | 1984-09-17 | 1986-04-16 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 流路幅調整板付き真空蒸着装置 |
EP0263880B1 (de) * | 1986-03-12 | 1992-09-30 | Tobi Co., Ltd. | Kontinuierliche plattierungsanordnung eines schnell bewegenden films |
JPH0734332B2 (ja) * | 1986-03-12 | 1995-04-12 | 株式会社ト−ビ | 透明導電性フイルムの製造方法 |
DE3738722C2 (de) * | 1987-11-14 | 1995-12-14 | Leybold Ag | Vorrichtung zum beidseitigen Beschichten von Bändern |
KR940000259A (ko) * | 1992-06-12 | 1994-01-03 | 게리 리 그리스월드 | 테이프 지지체상에서의 다층 필름 제조 시스템 및 방법 |
DE4221620C2 (de) * | 1992-07-01 | 2001-05-23 | Emtec Magnetics Gmbh | Verfahren zum Aufbringen einer dünnen Metallschicht auf ein polymeres Trägermaterial |
DE4227588C2 (de) * | 1992-08-20 | 2001-05-03 | Emtec Magnetics Gmbh | Verfahren zum Aufbringen einer dünnen Metallschicht auf ein polymeres Trägermaterial |
IT1261918B (it) * | 1993-06-11 | 1996-06-04 | Cetev Cent Tecnolog Vuoto | Struttura per deposizione reattiva di metalli in impianti da vuoto continui e relativo processo. |
KR100239102B1 (ko) * | 1993-10-20 | 2000-01-15 | 모리시타 요이찌 | 자기기록매체의 제조방법 |
JP3933346B2 (ja) * | 1999-05-26 | 2007-06-20 | 正路 朝本 | イオンプレーティングを用いる成膜体の製造方法及び製造装置 |
WO2002086188A1 (en) * | 2001-04-20 | 2002-10-31 | N.V. Bekaert S.A. | Apparatus and method for the deposition of metal or metal oxide coatings on an elongated substrate |
BRPI0709199A2 (pt) * | 2006-03-26 | 2011-06-28 | Lotus Applied Technology Llc | sistema e método para depositar uma pelìcula fina em um substrato flexìvel |
ATE492662T1 (de) * | 2007-03-09 | 2011-01-15 | Panasonic Corp | Beschichtungsvorrichtung und verfahren zur herstellung einer folie mithilfe der beschichtungsvorrichtung |
CN101932748B (zh) * | 2008-02-08 | 2012-02-22 | 松下电器产业株式会社 | 蒸镀膜的形成方法 |
DE102008029379A1 (de) * | 2008-06-23 | 2009-08-13 | Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh | Anordnung zum Beschichten bandförmiger Foliensubstrate |
US8726492B2 (en) * | 2009-09-09 | 2014-05-20 | Cochlear Limited | Insulated conductive element having a substantially continuous barrier layer formed through multiple coatings |
US8545926B2 (en) * | 2009-09-09 | 2013-10-01 | Cochlear Limited | Method of forming insulated conductive element having substantially continuously coated sections separated by uncoated gaps |
US8460746B2 (en) * | 2009-09-09 | 2013-06-11 | Cochlear Limited | Method of forming insulated conductive element having a substantially continuous barrier layer formed via relative motion during deposition |
JP5706903B2 (ja) | 2009-10-14 | 2015-04-22 | ロータス アプライド テクノロジー エルエルシーLotus Applied Technology, Llc | 分離した前駆体ゾーン間の過剰な前駆体の運搬を抑えた原子層堆積システム |
JP5641877B2 (ja) * | 2010-10-29 | 2014-12-17 | 株式会社神戸製鋼所 | プラズマcvd装置 |
TWI565820B (zh) * | 2015-08-06 | 2017-01-11 | 行政院原子能委員會核能研究所 | 卷對卷模組化電漿複合製程設備 |
JP2023528469A (ja) * | 2020-06-04 | 2023-07-04 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 気相堆積装置及び真空チャンバ内で基板をコーティングするための方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3342632A (en) * | 1964-08-05 | 1967-09-19 | Ibm | Magnetic coating |
DE2146008A1 (de) * | 1971-09-15 | 1973-03-22 | Ibm Deutschland | Verfahren zur herstellung einer magnetischen schicht |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2925062A (en) * | 1953-05-15 | 1960-02-16 | Heraeus Gmbh W C | Coating apparatus |
-
1977
- 1977-12-20 GB GB53072/77A patent/GB1596385A/en not_active Expired
- 1977-12-26 FR FR7739205A patent/FR2376485A1/fr active Granted
- 1977-12-28 CA CA294,014A patent/CA1096968A/en not_active Expired
- 1977-12-29 DE DE2758772A patent/DE2758772C2/de not_active Expired
- 1977-12-29 NL NLAANVRAGE7714538,A patent/NL181059C/xx not_active IP Right Cessation
-
1979
- 1979-01-31 US US06/008,083 patent/US4220117A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3342632A (en) * | 1964-08-05 | 1967-09-19 | Ibm | Magnetic coating |
DE2146008A1 (de) * | 1971-09-15 | 1973-03-22 | Ibm Deutschland | Verfahren zur herstellung einer magnetischen schicht |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3046564A1 (de) * | 1979-12-10 | 1981-09-17 | Fuji Photo Film Co., Ltd., Minami-Ashigara, Kanagawa | "verfahren und vorrichtung zur vakuum-bedampfung" |
JPS5753539A (en) * | 1980-09-17 | 1982-03-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Method and apparatus for forming coating film in vacuum |
JPS6046182B2 (ja) * | 1980-09-17 | 1985-10-15 | 松下電器産業株式会社 | 真空内被膜形成方法ならびに装置 |
EP0053811A1 (de) * | 1980-12-05 | 1982-06-16 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Magnetische Aufzeichnungsmedien |
DE3214827A1 (de) * | 1981-04-24 | 1982-11-11 | Fuji Photo Film Co., Ltd., Minami-Ashigara, Kanagawa | Verfahren zur herstellung eines magnetischen aufzeichnungstraegers und vorrichtung zur durchfuehrung dieses verfahrens |
DE3503309A1 (de) * | 1984-02-02 | 1985-08-08 | Victor Company Of Japan, Ltd., Yokohama, Kanagawa | Magnetisches aufzeichnungsmedium mit einer im vakuum abgeschiedenen magnetschicht aus einem magnetisierbaren material und einem wolframoxid und verfahren zur herstellung des mediums |
US4626480A (en) * | 1984-02-02 | 1986-12-02 | Victor Company Of Japan, Limited | Magnetic recording medium comprising a vacuum-deposited magnetic film of a magnetic material and a tungsten oxide and method for making the same |
CN1103685C (zh) * | 1998-02-27 | 2003-03-26 | 松下电器产业株式会社 | 层压体的制造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB1596385A (en) | 1981-08-26 |
NL181059C (nl) | 1987-06-01 |
US4220117A (en) | 1980-09-02 |
FR2376485A1 (fr) | 1978-07-28 |
CA1096968A (en) | 1981-03-03 |
NL181059B (nl) | 1987-01-02 |
NL7714538A (nl) | 1978-07-03 |
DE2758772C2 (de) | 1982-09-30 |
FR2376485B1 (de) | 1981-12-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2758772A1 (de) | Verfahren und einrichtung zur herstellung magnetischer aufzeichnungsmedien | |
DE3113559C2 (de) | ||
DE3302900C2 (de) | ||
DE3212202C2 (de) | Magnetisches Aufzeichnungsmedium | |
DE3854307T2 (de) | Hohlkathodenkanone und Vorrichtung zur Materialablagerung durch Ionenbeschichtung. | |
DE2435887C2 (de) | Vorrichtung zur kontinuierlichen Herstellung eines Magnetaufzeichnungsbandes | |
DE3121910A1 (de) | Magnetisches aufzeichnungsmedium | |
DE3415794A1 (de) | Magnetisches aufzeichnungsmedium und verfahren zu seiner herstellung | |
DE3214827C2 (de) | Verfahren zur Herstellung eines magnetischen Aufzeichnungsträgers und Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens | |
DE3641718A1 (de) | Verfahren zum herstellen von wickeln aus im vakuum leitfaehig beschichteten isolierstoff-folien | |
DE19540794A1 (de) | Vorrichtung zum Beschichten eines Substrats von einem elektrisch leitfähigen Target | |
DE3545794C2 (de) | Verfahren zur Herstellung eines Magnetaufzeichnungsmediums | |
DE3539724C2 (de) | ||
DE4106579A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur vakuumverdampfung | |
DE3132106A1 (de) | Vorrichtung zur herstellung eines magnetischen aufzeichungsmediums | |
DE3120988A1 (de) | Verfahren zur herstellung eines magnetischen aufzeichnungsmediums | |
DE3527259C2 (de) | Vorrichtung zur Herstellung von Dünnschichten | |
DE3335165C2 (de) | ||
DE3340535C2 (de) | Magnetischer Aufzeichnungsträger sowie Verfahren zu seiner Herstellung | |
DE3046564C2 (de) | ||
DE69123299T2 (de) | Verfahren zur Herstellung eines magnetischen Aufzeichnungsträgers | |
DE10129507C2 (de) | Einrichtung zur plasmaaktivierten Bedampfung großer Flächen | |
DE69103072T2 (de) | Verfahren zur Herstellung eines funktionellen Dünnfilms. | |
DD219354A1 (de) | Verfahren zur regelung der plasmaparameter in vakuumbeschichtungseinrichtungen mit bogenentladungen | |
DE69419054T2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines magnetischen Aufzeichnungsträgers |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OAP | Request for examination filed | ||
OD | Request for examination | ||
D2 | Grant after examination | ||
8363 | Opposition against the patent | ||
8328 | Change in the person/name/address of the agent |
Free format text: SCHWABE, H., DIPL.-ING. SANDMAIR, K., DIPL.-CHEM. DR.JUR. DR.RER.NAT., PAT.-ANW., 8000 MUENCHEN |
|
8331 | Complete revocation |