DE2758772A1

DE2758772A1 - Verfahren und einrichtung zur herstellung magnetischer aufzeichnungsmedien

Info

Publication number: DE2758772A1
Application number: DE19772758772
Authority: DE
Inventors: Koichi Shinohara
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1976-12-29
Filing date: 1977-12-29
Publication date: 1978-07-06
Also published as: FR2376485B1; NL181059C; CA1096968A; NL7714538A; DE2758772C2; GB1596385A; US4220117A; FR2376485A1; NL181059B

Description

DR. BEPG DIPL ING. STAPF DIPL-ING. SCHWABE DR. DR SANDMAIR

Postfach 8602 45 8000 München 86 Anwaltsakte 28 728

29. Dez. 1977

Matsushita Electric Industrial Co. Ltd., Osaka, Japan

Verfahren und Einrichtung zur Herstellung magnetischer Aufzeichnungsmedien

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Einrichtung» die optimal zur Herstellung magnetischer Aufzeichnungsbänder geeignet ist, deren Substrat aus einer hochmolekularen Verbindung hergestellt ist, und insbesondere ein Verfahren und eine Einrichtung, um einen dünnen ferromagnetischen PiIm

98 2^/0 98

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in einer solchen Dick*: abzulagern, daß eine erhöhte Koerzitivkraft und auch eine gewünscht«; Remanenz erhalten werden können.

Anstelle der Magnetbänder vom bestrichenen Typ, bei denen die nadeiförmigen jt'erromagnetischen Kristalle aus y-FegO,» das am häufigsten ist; mit einem geeigneten Bindemittel gemischt werden und auf ein Substrat aufgestrichen werden, wurden die Verfahren und Einrichtungen um einen dünnen ferromagneti3chen Film durch Versehen mit einem galvanischen überzug oder durch Vakuumablagerung oder Aufdampfen zu bilden, entwickelt, um die Dichte der auf den Magnetbändern aufgenommenen Signale zu steigern. Diese Untersuchungen wurden für eine lange Zeit fortgesetzt, und es wurden einige Ergebnisse berichtet, die nahelegen» daß Magnetbänder durch Vakuumaufdampfen hergestellt werden können. Der Hauptgrund, warum das Vakuumbedampfen nicht praktisch bei der Herstellung von Magnetbändern iTiit hoher Koerzitivkraft angewandt wird, ist, daß die dünne Schicht sich sehr langsam bildet. Dünne ferromagnetische Schichten können durch die sog. geneigte Vakuumbedampfung, die in der US 5 3¹*? 652 beschrieben und in Pig. I gezeigt ist, gebildet werden. Jedoch bei einem dünnen Substrat von weniger als 20 ^um Dicke, das aus einer hochmolekularen Verbindung hergestellt ist, i3t die Bildungsgeschwindigkeit der dünnen Schicht äußerst langsam wegen der unten be-

schriebenen Gründe.

Die Dicke der Schicht auf Polyäthylenterephthalat in Pig. I, das als Substrat für Magnetbänder weithin benutzt wird, wird wegen der ungünstigen Wärmezerstörung des Substrats aufgrund der Strahlungswärme von einer Verdampfungsquelle, der latenten Wärme des verdampften, ferromagnetischen Stoffes usw.durch dieses Fördersystem auf ungefähr 200 8 (20 nm) begrenzt, wenn Fe abge·^ lagert wird. Um eine für audiomagnetische Aufnahme und Wiedergabe ausreichende Remanenz zu erhalten, müssen die Schritte zur Ablagerung einer dünnen ferromagnetischen Schicht 10 bis 15mal zyklisch wiederholt werden. Eine wiederholte Ablagerung führt zu Beschichtungslöchern und Rauschen, das die audiomagnetische Aufnahme und Wiedergabe ungünstig beeinflußt.

Im Hinblick darauf will die Erfindung ein Verfahren und eine Einrichtung zur Herstellung magnetischer Aufnahmebänder, die eine hohe Koerzitivkraft haben und bei audiomagnetischer Aufnahme und Wiedergabe sehr befriedigend arbeiten, schaffen.

Dementsprechend schafft die vorliegende Erfindung ein Verfahren zur Herstellung von Magnetbändern, bei dem innerhalb einer verdünnten Atmosphäre mit Sauerstoff und Argon eine zylindrische, drehbare Dose und eine Verdampfungsquelle einander gegenüber so angeordnet sind, daß eine Normale, die im Zentrum

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der Verdampfungsoberfläche der Verdampfungsquelle errichtet wird, die Achse der zylindrischen drehbaren Dose nicht schneidet, und bei dem der Strahl verdampfenden, ferromagnetischen Stoffes aul' nin Substrat, das aus einer hochmolekularen Verbindung bestellt und entlang der zylindrischen Dose transportiert wird, im rechton Winkel zur Transportrichtung des Substrats gerichtet und dagegen geschleudert wird, wodurch eine dünne ferromagnetische Schicht gebildet wird. Darüber hinaus schafft die Erfindung eine Einrichtung zur Herstellung magnetischer Bänder, in der ein Vakuumgefäß oder -kammer in drei Räume geteilt wird, die im wesentlichen gegeneinander abgeschlossen sind und in einer Reihe angeordnet sind, d.h. senkrecht, ein Mechanismus zum Abwickeln eines flexiblen Substrates, ein Mechanismus zum Aufwickeln des Substrats, und eine Mehrzahl von Einrichtungen zum Behandeln mit elektrischen Entladungen sind in dem oberen Raum angeordnet, zwei Paare, von denen jedes aus einer zylindrischen drehbaren Dose, deren Drehrichtung umgekehrt werden kann,und einer Verdampfungsquelle besteht, sind einander gegenüber in dem mittleren Raum angeordnet, ein Paar einer zylindrischen drehbaren Dose und eine Bedampfungsquelle, die der drehbaren Dose gegenüber angeordnet ist, ist in dem unteren Raum angeordnet; unabhängige Systeme zur Einführung von Gas sind an den oberen bzw. mittleren bzw. unteren Raum angeschlossen.

8098 2V⁰⁹⁸³

■f-

Gemäß der Erfindung werden also in einer Vakuumatmosphäre, die Sauerstoff enthält, eine zylindrische, drehbare Dose und eine Verdampfungsquelle einander gegenüber derart angeordnet, daß eine Normale, die in der Mitte der Verdampfungsoberfläche der Bedampfungsquelle errichtet wird, die Achse der zylindrischen, drehbaren Dose nicht schneidet. Der Strahl verdampfender ferromagnetischer Substanz wird auf das Substrat, das entlang der drehbaren Dose befördert wird, im rechten Winkel zur Transportrichtung gerichtet und dagegen geschleudert.

Nachfolgend wird die Erfindung anhand der beigefügten Zeichnungen näher erläutert, wobei auf die Zeichnungen wegen deren großer Klarheit und Übersichtlichkeit bezüglich der Offenbarung ausdrücklich hingewiesen wird.

Es zeigen

Fig. 1 einen senkrechten Querschnitt eines herkömmlichen Gerätes zur Vakuumablagerung einer dünnen ferromagnetischen Schicht auf einem Substrat;

Pig. 2 einen schematischen senkrechten Schnitt einer ersten Ausführungsform der Erfindung;

Fig. 3 und Ί Ansichten zu deren Erläuterung;

80982^/0983 _ _$ _

Pig. 5 eine graph ι ?; uhe uaL'si;el.luji£,j die das Verhältnis zwischen der Koerzitivkraft Oe und dem Abstand χ aus Fig. 3 zeigt;

Fig. 6 einen achtmal !,schon Henkrechten Schnitt einer zweiten AusfUhrungsform der Erfindung;

Fig. 7 einen schemat; is eher» senkrechten Schnitt einer dritten AusfUhrungsform der Erfindung;

Fig. 8 einen schematischen senkrechten Schnitt einer vierten Ausführungsform der Erfindung;

Fig. 9 einen schematischen senkrechten Schnitt einer fünften AusfUhrungsform der Erfindung;

Fig. 10 einen schematischen senkrechten Schnitt einer sechsten AusfUhrungsform der Erfindung; und

Fig. 11 das Verhältnis zwischen der Koerzitivkraft und dem Partialdruck des Sauerstoffs, wenn Magnetbänder mit dem Gerät aus Fig. 10 hergestellt werden.

Vor der Beschreibung der bevorzugten Ausführungsformen der Erfindung wird kurz eine herkömmliche Methode zur Herstel lung magnetischer Schichten beschrieben. Ein Beil-Gefäß

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--^Γι -6

wird durch ein KvakuiersysLom 2 auf 10 bis 10 torr evakuiert, und ein Substrat 3 wird von einer Vorratsrolle 4 über Metallrollen 5 km einer Aufnähmerolle 6 in der durch einen Pfeil angezeigten Richtung transportiert. Ein zu verdampfendes Mittel 7, das aus einor ferromagnetischen Substanz be^ steht, wird durch die Joute'schr Wärme, die durch eine über isolierte Anschlüsse 13 an eine Stromquelle 12 angeschlossene Heizeinrichtung 8 erzeugt wird, verdampft, und der Strahl 11 verdampften Metalls, der durch eine öffnung 10 in einer Maske oder einem Schirm 9 gesteuert wird, wird gegen das Substrat 3 in einem geneigten Winkel geschleudert. Der Ausdruck "geneigte Verdampfung" bezieht sich auf ein Verfahren, bei dem der Winkel zwischen einer Normalen, die auf dem Substrat 3 errichtet wird, und dem einfallenden Strahl verdampfenden Metalls größer als 30° ist, aber diese Definition ist undeutlich, da manchmal die Verdampfungsverfahren, bei denen der Strahl verdampften Metalls auf das Substrat in irgendeinem anderen Winkel als 90° auffällt, ebenfalls als "geneigte Verdampfungsverfahren¹¹ bezeichnet werden.

Es ist jedoch wohlbekannt, daß die gewünschte Verbesserung der Koerzitivkraft einer dünnen ferromagnetischen Schicht erreicht wird, wenn der Winkel des Dampfeinfalls größer als 30° ist.

Die Erfindung schafft ein Verfahren und ein Gerät für die Her-

- 8 -e0982>/0983

-Jr-

stellung von Magnetbändern, die für· Audio-Aufnahme und -Wiedergabe sehr befriedigend sind und hohe Koerzitivkräfte aufweisen, in dem der Strahl verdampfenden Metalls auf das Substrat in einem Winkel kleiner als 30° auffällt.

Die Erfindung wird in Verbindung mit der Ablagerung von ferromagnetischen Stoffen beschrieben, aber es wird ersichtlich werden, daß im Falle der Herstellung magnetischer Schichten mit Mehrschichtaufbau, die Erfindung nicht im Hinblick auf Verfahren zur Bildung von Schichten, die keine ferromagnetischen, dünnen Filme sind, beschränkt ist, und daß die Erfindung in Verbindung mit herkömmlichen Verfahren zur Herstellung von mehrschichtigen Magnetbändern verwandt werden kann. Erste Ausführungsform, Fig. 2, 3, *< und 5 In einer Vakuumkammer I^ wird ein Substrat 15 aus einer hochmolekularen Verbindung oder einer Kunststoffolie von einer Vorratsrolle 22 über Metallrollen 23 zu einer Aufnahmerolle 25 so transportiert, daß das Substrat 15 in sehr engem Kontakt mit dem Umfang einer zylindrischen, drehbaren Dose 2Ί gebracht werden kann, die durch ein geeignetes Heizmittel oder Kühlmittel, das durch die drehbare Dose 24 zirkuliert,in geeigneter Weise geheizt oder gekühlt wird. In Gegenüberläge zum Ablagerungsbereich der drehbaren Dose 2Ί ist eine Bedampf ungsquelle eines Bedampfungsmittels 18, wie Co, Pe, Ni usw. angeordnet, die einen wassergekühlten, kupfernen Schmelz-

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raum l6, eine Elektronenkanone 17 und ein Ablenkungs- und ein Scanning-System (beide nicht gezeigt) aufweist. Der Schmelzraum 16 ist so angeordnet, daß die Hauptachse seiner Verdampfungsoberfläche senkrecht zur Transportrichtung des Substrats 15 liegt. Die Elektronenkanone 17 erzeugt den Elektronenstrahl 19» der das Bedämpfungsmittel 18 bombardiert, um es zu heizen und zu verdampfen und bildet dadurch den Strahl 20 verdampfender Metalle. Der Auffall des Strahls 20 verdamp-

's

fender Metalle auf das Substrat 15 auf der drehbaren Dose 24 wird durch eine Maske oder eine Blende 21 gesteuert. Das Vakuumgefäß 14 wird auf 10~⁵ bis io"⁶ torr durch ein Evakuiersystem 26 evakuiert, und wenn nötig, wird ein geeignetes Atmosphärengas wie Sauerstoff in die Vakuumkammer 14 eingeführt.

Beispiel

Eine drehbare Dose 24 mit einem Durchmesser von 50 cm und einer Breite von 50 cm wurde benutzt. Die Nebenachse der Verdampfungsoberfläche betrug 3 cm, während die Hauptachse 40 cm betrug, und die Entfernung Substrat - Quelle war 30 cm. Die Vakuumkammer 14 wurde auf 5 χ 10~* torr evakuiert, und das Verdampfungsmaterial Co wurde durch die Elektronenkanone 17 von 50 kW geheizt und verdampft, so daß ein magnetischer dünner Film von 1200 Ä (120 nm) auf dem Substrat 15 oder Polyesterfilm von 40 cm Breite (das Polyesterfilmsubstrat war vor-

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her mit einem Aluminiumdtlunfi Lm von 500 ft (50 nm) Dicke beschichtet worden. Der so beschichtete Film wurde in Magnetbänder von 3,8 mm Breite geschnitten, und ein Signal von IkHz wurde auf dem Magnetband aufgenommen und wiedergegeben. Im Vergleich mit den herkömmlichen magnetischen Bändern mit entsprechendem ferromagnetJsehen Dünnfilm, war der Ausgang

bei der Wiedergabe um ¹J bis 6 dB verbessert. Diese magnetische Eigenschaft ist sehr wirkungsvoll, um die Aufnahmedichte pro Volumeneinheit zu verbessern, d.h. für die Herstellung von Magnetbändern mit langer Aufnahmezeit. Dieses sehr günstige magnetische Verhalten wird durch die genaue Verteilung der Koerzitivkräfte erhalten, die wiederum durch die Maske 21 erreicht wird, die den Dampfstrahl, der auf das Substrat 15 unter einem Winkel größer als 22° auffällt, kontrolliert.

Ein weiteres wichtiges Merkmal der Erfindung liegt darin, daß eine Normale, die im Zentrum der Verdampfungsoberfläche errichtet wird, die Achse 0 der drehbaren Dose, wie in Fig. 3 gezeigt ist, nicht schneidet. Dieses Merkmal unterscheidet die Erfindung völlig von den herkömmlichen Verfahren, bei denen die Bedampfungsquelle unmittelbar unterhalb der drehbaren Büchse angeordnet ist. Die durch diese Anordnung erzielten Wirkungen werden im einzelnen weiter unten beschrieben. Die Anordnungen, Abmessungen und dgl. der drehbaren Dose und der Verdampfungsquelle schwanken in Abhängigkeit von den Magnet-

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bändern mit gewünschten Eigenschaften. Wenn das Substrat aus einer hochmolekularen Verbindung hergestellt ist, wird die Entfernung .1 (siehe Fig. 3) Substrat/Bedampf ungsquelle so kurz wie möglich gemacht, soweit die Beschädigung des Substrates aufgrund der Strahlungshitze von der Br.dampfungsquelle 18 vermieden werden kann, und der Abstand χ (zwischen der Senkrechten durch die Achse der drehbaren Dose 2k und der Normalen auf der Mitte der Bedampfungsquelle 18 seitlich versetzt zur Vorratsrolle 22) wird so lang wie möglich gemacht. Dann können höchst erwünschte Wirkungen erzielt werden.

Im Allgemeinen ist die Verdampfungsoberfläche nicht flach, so daß in dieser Beschreibung der Terminus "Verdampfungsoberfläche" sich auf eine Projektion auf eine Ebene, wie in Fig. 4 gezeigt, bezieht, und eine senkrechte Linie gj wird im Mittelpunkt konstruiert.

Fig. 5 zeigt ein Beispiel von durch die erste Ausfuhrungsform erzielten Wirkungen; d.h., das Verhältnis zwischen der Koerzitivkraft Oe und dem Abstand x, wenn die Entfernung 1 (siehe Fig. 3) 250 mm beträgt. Es ist ersichtlich, daß die Koerzitivkraft um beinahe das Zweifache im Vergleich mit herkömmlichen Verfahren steigt; d.h., der Koerzitivkraft, wenn die Entfernung χ gleich Null ist. Demzufolge vermag die Erfindung eine der wichtigsten Bedingungen zu erfüllen, die für die Herstellung von Magnetbändern, die mit extrem hoher Dichte aufnehmen können, gestellt werden.

80982>/0983 "¹²~

Die Verdampfungssubstanzen, die in der Erfindung benutzt werden, schließen Co, Fe, Ni und Legierungen davon mit geeigneten zusätzlichen Elementen ein. Die magnetischen Aufnahmemedien, die gemäß der· vorliegenden Erfindung hergestellt werden, zeigen hohe Koerzitivkräfte und ausgezeichnete quadratische Hystereseverhältnisse und eignen sich für die Massenproduktion. Die Erfindung ist also sehr nützlich.

Ein weiteres wichtiges Merkmal der Erfindung liegt darin, daß

ein (nicht gezeigtes)"Leak"-Ventil geeignet eingestellt wird

und das/Einlaßeingänge (nicht gezeigt) geeignet angeordnet werden, so daß geeignete Gasströme in der Nähe des Bereiches des Substrats, in dem der ferromagnetische dünne Film abgelagert wird, gebildet werden können. Das Gas ist vorzugsweise Sauerstoff oder Op ♦ Ar oder 0_ ♦ H_, wie für den Fachmann ersichtlich, aber es wird bemerkt, daß die erzwungene Einführung von Sauerstoff in die Vakuumkammer im Bereich der Erfindung liegt. Die Anordnungen, Abmessungen und Stellungen der Gaseinlaßeingänge sind so festgelegt, daß die Sauerstoffströme in der Nähe des Substrats in einem Gleichgewichtszustand gebildet werden können. Die Faktoren, die die Auslegung der Oaseinlaßeingänge beeinflussen, sind daher die Breite des Substrate, der Durchmesser der Drehdose, die Entfernung Substrat/Quelle, die Lage der Gaseinlaßeingänge im Verhältnis zum Evakuierungssystem, die Kapazität des Evakuierungsystems usw.

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Beispiel

Eine drehbare Trommel mit einem Durchmesser von 300 mm und ein Substrat mit der Breite von 150 mm und eine Elektronenstrahlkanone von 12 kW wurden benutzt. Der kleinste Abstand zwischen dem Substrat und der Bedampfungsquelle wurde bei 250 mm gehalten; der kleinste Abstand zwischen dem Substrat und dem Einlaß für das Gas 5 mm; und der kleinste Abstand zwischen der Bedampfungsquelle und dem Gaseinlaß 275 mm. Eine Unterdruckkammer mit einem Volumen von 100 1 wurde benutzt. Der Abstand von der Mitte der Absaugöffnungen zur Bedampfungsquelle betrug 400 mm, und der Abstand von der Mitte der Absaugöffnung zu dem Gaseinlaß betrug 600 mm. Das Bedampfungsmittel war Co (98 %) und Ni (2 %) oder Co (95 %) und V (5 S ). Das Substrat war ein Polyäthylenterephthalatfilm von 15 /Um Dicke, der durch Vakuumverdampfung bei 1 χ 10"' torr mit Kupfer von 300 8 Dicke beschichtet war.

Der Vergleich der magnetischen Eigenschaften der Magnetbänder, die gemäß der Erfindung hergestellt wurden, mit den Magnetbändern, die nach herkömmlichen Verfahren hergestellt wurden, ist in Tabelle I gezeigt.

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Tabelle

ta

•σ

ς-. U ω

Xi

ti s

Herstellungsbedingungen

Magnetisches Material

Co98*Ni2*

Co98SNi2*

Einführung v.jVerrückungs-Sauerstoff geschwindigkeit des Substrats

NO,

0,05 l/min

12 m/min

0,09 1/ram

0,12 l/mir.

0,05 1/raln

0,09 l/min Ar 0,09 /min

keiner

0,2 l/min vom Ventil Magnetische Eigen- ' Ausgang , Korrosionsbeschaften d.Bandes : ständigkeit

Koerzitiv- Quadr.

kraft j Hysterese-

Verhältnis

Oe

0,91 Oe Oe Oe Oe

Oe

0,92

0_s90

0,1

0,86

0,5

0,6

0,55

Geschwindigk. ! Rost nach

4,75 cm/s i Stunden

OdB j

Ware C-120 I ^__

+ 1 - 2 dB

keiner

+ 2 - 3 dB

+ 2 - 4 dB

+ 1 - 3 dB + 2 dB

- 15 dB

- 18 dB

Fleckiger Rost v. 2-3 / cnr

- 19 dB

Fleckiger Rost v. 0,5 / cm2

Fleckiger Rost v. 0,1-0,5/cm²

Aus Tabelle I ist ersichtlich, daß die magnetischen Eigenschaften« die Ausgänge und die Korrosionsbeständigkeit der gemäß der Erfindung hergestellten Magnetbänder denen der nach herkömmlichen Nethoden hergestellten Magnetbänder bei weitem Überlegen sind.

Anstelle der Beschießung mit einem Elektronenstrahl kann das Widerstands- oder das Induktionsheizen angewandt werden. Und» wie an anderer Stelle beschrieben, kann eine hohle zylindrische Drehdose benutzt werden, so daß das Heiz- oder das Kühlmittel durch die Drehbüchse zirkulieren kann, um deren Temperatur zu steuern, wodurch eine zuverlässige Steuerung der Koerzitivkraft und der Remanenz erreicht werden können.

Zweite Ausfflhrungsform, Fig. 6

Die Erfindung wird auch durch die zweite Ausführungsform verwirklicht, bei der das Substrat 15 eine Mehrzahl von zylindrischen Drehdosen 2ΊΑ - · 2^D passiert. Da jede der drehbaren Dosen 2iA - 2Ί D unabhängig von den anderen temperaturgesteuert ist, können die ferromagnetisehen dünnen Schichten bei der gleichen Temperatur gebildet werden. Es ist sehr wichtig, das Substrat 15 auf der gleichen Temperatur zu halten, so daß die Magnetbänder die gleichen magnetischen Eigenschaften haben können. In Fig. 6 bezeichnet das Bezugszeichen 27 eine Stromquelle; 28 eine Heizeinrichtung; 29 isolierte An-

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acr

Schlüsse; 30 ein Evakuiersystem; und 31 eine Maske. Dritte Ausführungsform, Fig, 7

Die dritte Ausführungsform in Fig. 7 ist im wesentlichen im Aufbau der ersten Ausführungsform, die in Fig. 2 gezeigt ist,ähnlich außer daß eine zusätzliche Maske 31' vorgesehen ist, so daß der Strahl verdampfender ferromagnetischer Substanz von der Quelle 18 in zwei Strahlen aufgeteilt wird, die gegen das Substrat 15 auf der Drehdose 2k aufschlagen, um die ferromagnetische dünne Schicht zu bilden.

Das Verdampfungsmittel kann durch geeignete übliche Methoden geheizt und verdampft werden, wie z.B. das Beschießen mit einem Elektronenstrahl, je nach den gewünschten magnetischen Eigenschaften.

Wenn nötig, kann ein Reaktionsgas eingeführt werden.

Anstelle den Strahl verdampfenden Metalls in zwei Strahlen aufzuteilen, kann er in eine Mehrzahl von Strahlen aufgeteilt werden, aber es ist vorzuziehen, den Strahl verdampfenden ferromagnetischen Materials wie in Fig. 7 gezeigt aufzuspalten, da die magnetischen Eigenschaften der ferromagnetischen dünnen Schichten die so abgelagert werden verbessert werden können.

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Darüber hinaus kann eine Mehrzahl von Drehdosen vorgesehen werden, so daß der Ablagerungswirkungsgrad (das Verhältnis der Menge der auf dem Substrat abgelagerten ferromagnetischen Substanz zur Menge der verdampften ferromagnetischen Substanz) erhöht werden kann, wie im einzelnen unter Bezugnahme auf Fig. 8 im folgenden beschrieben werden wird.

Vierte Ausführungsform, Fig. 8

In der vierten Ausführungsform, die in Fig. 8 gezeigt ist, wird das Substrat 15 an einer Mehrzahl von Drehdosen 2¹A, 24· und 24" vorbeigeführt und den Strahlen verdampfenden ferromagnetischen Stoffes ausgesetzt, die durch die Masken 31', 31" und 31*ⁿ abgespalten worden sind. Die Temperatur der drehbaren Dosen 24, 24* und 24" wird jeweils unabhängig in der oben beschriebenen Weise gesteuert. Dadurch können die magnetischen Eigenschaften der ferromagnetischen dünnen Schichten weiter verbessert und stabilisiert werden. Z.B. werden die Temperaturen, der drehbaren Dosen 24, 24' und 24" auf -10°C bzw. -15°C bzw. -25⁰C gesteuert eingestellt, so daß eine Temperaturerhöhung des Substrats 15 vermieden werden kann. Daher kann die ferromagnetische Substanz bei der gleichen Temperatur abgelagert werden, so daß eine gleichmäßige Verteilung der Koerzitivkräfte sichergestellt werden kann und das quadratische Hystereseverhältnis verbessert werden kann*

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Die Anordnungen und Abmessungen der Masken 31'» 31" und 31'" können nach Bedarf gewählt werden.

Beispiel

Die Vakuumbedampfungseinrichtung der in Fig. 7 gezeigten Art wurde benutzt. Der Durchmesser der Drehdose 2k betrug 500 mm, und die Maske 31' war 70 mm breit. Co wurde durch Widerstandsheizung bei 15 kW in der auf 5 χ ΙΟ'·³ torr evakuierten Unterdruckkammer geheizt und verdampft und auf die Polyäthylenterephthalatschicht bis zur Dicke von 1.500 S (150 nm) abgeschieden. Das quadratische Hystereseverhältnis betrug 0,87; die Koerzitivkraft betrug ?90 Oe und die gesättigte Flußdichte 17 000 Gauß.

Der Ablagerungswirkungsgrad ist ungefähr 30 % mit der in Fig. 7 gezeigten und ungefährt kO % mit der in Fig. 8 gezeigten Einrichtung. Verglichen mit dem durch herkömmliche Verfahren erreichbaren Ablagerungswirkungsgrad beträgt der Ablagerungswirkungsgrad der Erfindung mehr als das lOfache. Daher sind Verfahren und Einrichtung gemäß der Erfindung bei der tatsächlichen Herstellung verwendbar.

Wie an anderer Stelle beschrieben, sind das Verfahren und die Einrichtung zur Vakuumbedampfung gemäß der Erfindung zur Bildung dünner ferromagnetischer Schichten verträglich mit ande-

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ren Vakuumbedampfungsverfahren und Einrichtungen, um mehrschichtige magnetische Schichten zu bilden. Hierzu kann eine Mehrzahl verschiedener Bedampfungsquellen in Gegenüberlage zur Dreh dose angeordnet werden. Es können auch Paare aus einer Dreh dose und einer Bedampfungsquelle angeordnet werden. Die Erfindung offenbart auch ein Gerät, das optimal geeignet ist, um Nagnetbänder mit einer gleichmäßigen Verteilung von Mehrfachschichten herzustellen.

Fünfte Ausführungsform, Fig. 9

In Fig. 9 ist eine Unterdruckkammer 3*· durch Trennwände 35 und 36 in drei Räume 37, 38 und 39 aufgeteilt, die im wesentlichen unabhängig voneinander sind und bis zu einem gewünschten Vakuum durch unabhängige Evakuiersysteme 37', 38* und 39* evakuiert werden. Die Anordnungen dieser Evakuiertsystenestehen in sehr enger Beziehung mit weiter unten zu beschreibenden Systemen zur Einführung von Gas. Der obere Raum 37 muß von oben evakuiert werden; der mittlere Raum 38 muß um die Vertikale symmetrisch evakuiert werden; und der untere Raum 39 muß vom Boden her evakuiert werden.Aufbau und Kapazität der Evakuiersysteme sind natürlich durch das Volumen und Material des Vakuumgefäßes 34 bestimmt und schränken den Bereich der vorliegenden Erfindung nicht ein.

Innerhalb des oberen Raumes 37 sind Vorrats- und Aufwickel-

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rollen ^l und *»2 für das Substrat und eine Vorrichtung zur Behandlung mit elektrischen Entladungen ^3 angeordnet. Die Vorrats- und Aufwickelrollen '!1 und U2 werden gedreht, wenn die Drehdosen M, ^5 und Ί6 in entweder die Richtung A oder B gedreht werden. Nach Bedarf kann eine Einrichtung, um ein dünnes und breites Substrat zickzackförmig zu transportieren, vorgesehen sein und beschränkt den Bereich der Erfindung nicht. Die Vorrichtung zur Behandlung mit elektrischen Entladungen ist über einen isolierten Anschluß *»7 an eine Spannungsquelle 48 angeschlossen, die eine Gleichstrom- oder eine Wechselstromquelle sein kann. Vorzugsweise wird Wechselstrom oder Hochfrequenz-Glimmspannung benutzt. Darüber hinaus wird vorzugsweise ein Gas, das Sauerstoff enthält, eingeführt, anstatt nur Argongas, wie beim Stande der Technik, in den oberen Raum 37 einzuführen, da die Bindekraft zwischen der dünnen Schicht und dem Substrat beträchtlich verbessert werden kann.

Der Raum in der Nähe der Vorrichtungen zur Behandlung mit elektrischen Entladungen ^3 kann teilweise abgeschlossen sein, und ein Gas kann in diesen Raum eingeführt werden. Diese Anordnung geht nicht über die Einteilung eines Raumes gemäß der Erfindung hinaus und ist in der Entladungsvorrichtung eingeschlossen.

In dem mittleren Raum 38 sind zylindrische Drehdosen ^H und ¹JS, die in der Richtung A oder B drehbar sind, und Verdampf ungs-

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quellen 49 und 50 (natürlich können mehr als zwei Quellen vorgesehen sein) in jeweiliger Gegenüberlage zu den Drehdösen 44 und 45, angeordnet, 51 ist eine Maske, und 69 ist ein Träger der Bedampfungsquelle.

Die Bedampfungsquellen sind schematisch als vom Elektronenstrahltyp gezeigt, aber sie können von jeder geeigneten üblichen Art sein. 52 und 53 sind wassergekühlte Kupferschmelzräume, und 54 und 55 zeigen schematisch Elektronenkanonen.

In dem unteren Raum 39 ist eine zylindrische Drehdose 46 und eine Bedampfungsquelle 56 in Gegenüberlage zur Drehdose 46 angeordnet. Die Bedampfungsquelle besteht aus einer Elektronenkanone 57 und einem wassergekühlten Schmelzraum aus Kupfer und heizt und vadampft ein Bedampfungsmittel 56.

Ein System zur Einführung von Gas besteht aus einer Trockeneinrichtung, einem Reservoir und einem Druckregulator, die alle nicht gezeigt sind und von der üblichen Art sind. Der wichtige Punkt in der vorliegenden Erfindung ist der Gasfluß, der von der Gaseinlaßöffnung und der Auslaßöffnung abhängt. Gewünschte Gase 64, 65, 66, 67 und 68 werden in die Unterdruckkammer oder die oberen, mittleren und unteren Räume 37, 38 und 39 durch Nadelventile 59» 60, 6l, 62 und 63 eingeführt.

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Die relative Anordnung zwischen der Gaseinlaßöffnung und der Auslaßöffnung des oberen Raumes 37 wird die grundlegenden Eigenschaften der dünnen Schichten, die durch das in Fig. 9 gezeigte Gerät hergestellt weufcn nicht entscheidend beeinflussen, aber die relativen Anordnungen zwischen ihnen im mittleren und unteren Raum 38 bzw. 39 sind sehr wichtig. Wenn die Richtung des Substrates umgekehrt wird, wenn ein mehrschichtiger dünner Film darauf abgelagert wird^ ist die Symmetrie sehr wichtig. Vom unten zu beschreibenden Beispiel wird man sofort die Wichtigkeit der Tatsache erkennen, daß die Auslaßöffnung unterhalb angeordnet ist, während die Einlaßöffnung oberhalb angeordnet ist.

Beispiel:

Mit der Einrichtung der in Fig, 2 gezeigten Art wurde eine dünne Cr-Schicht der Dicke 350 K und eine dünne Fe-Schicht der Dicke 500 A⁰ (50 nm) abwechselnd auf ein Substrat oder einen Polyäthylenterephthalatfilm von 15 /Um Dicke abwechselnd abgelagert, um ein magnetisches Aufzeichnungsmedium oder ein magnetisches Band mit einer Schichtdicke von 1700 8 zu bilden. Um die Adhäsionskraft der dünnen Schicht zu prüfen, wurden Klebebänder benutzt, und es ergab sich, daß das Gewicht nach der Prüfung zwischen 50 und 20 % schwankt. Die Variation im Ausgang (Empfindlichkeit) bei Wiedergabe in der Längsrichtung war ♦ 3 dB. Das obige waren die Ergebnisse, wenn dae Magnetband über die ganze Länge von 2 500 m geprüft wurde.

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Mit der Einrichtung der in Piß, 9 gezeigten Art wurde das magnetische Aufzeichnungsmedium oder das Magnetband mit den gleichen Spezifikationen wie oben beschrieben unter den folgenden Bedingungen hergestellt:

(1) Durch das Nadelventil 59 wird 0- in der Menge 0,2 1 pro min eingeführt, während Argon in der Menge von 0,2 1 pro min eingeführt wird.

(2) Entladungsbehandlung: HF 50 kHz, Ausgang 250 W Anodenspannung: 1,2 kV

(3) Dosentemperaturs O⁰C

Wenn das Substrat in der Richtung B gefördert wird, wird kontinuierlich O₂ in der Menge 0,1 1 pro min durch das Nadelventil 61 eingeführt, während Argon in der Menge von 0,03 1 pro min eingeführt wird.

Ein (nicht gezeigtes) Ventil im Evakuier- oder Auslaßsystem 38" wird geschlossen.

Die Bedampfungsquelle Ί9 wird erregt, um eine dünne Cr-Schicht auf dem Substrat 40 zu bilden.

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Danach wird durch das Nadelventil 62 kontinuierlich O₂ in der Menge von 0,05 1 pro min eingeführt.

Die Bedampfungsquelle 56 wird erregt, um eine dünne Fe-Schicht aui' der dünnen Cr-Schicht abzulagern.

Wenn das Substrat in der Richtung A transportiert wird, werden 0_ und Ar durch das Nadelventil in Mengen von 0,: pro min und 0,03 1 pro min kontinuierlich eingeführt.

Ein Ventil in dem Evakuier- oder Auslaßsystem 38¹ wird geschlossen.

Die Bedampfungsquelle 50 wird erregt, um eine dünne Cr-Schicht auf der dünnen Fe-Schicht abzulagern.

Durch das Nadelventil 63 wird kontinuierlich O₂ in der Menge von 0,05 1 pro min eingeführt.

Die Bedampfungsquelle 56 wird erregt, um eine dünne Fe-Schicht über der dünnen Cr-Schicht zu bilden.

Die obigen Schritte wurden wiederholt, um abwechselnd dünne Cr- und Fe-Schichten auf dem Substrat ¹IO zu bilden,

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Anstelle von (4) aus I., d.h. Fe, wurden Co (50 %) und Pe benutzt.

Es wurde nach Verfahren II. vorgegangen, aber im Falle der Ablagerung von Fe, (¹I) von I,, wurde O₂ kontinuierlich in der Menge von 0,1 1 pro min durch das Nadelventil 63 eingeführt, wenn das Substrat in der Richtung B transportiert wurde, und O₂ wurde kontinuierlich in der Menge von 0,1 1 pro min durch das Nadelventil 62 eingeführt, wenn das Substrat in der Richtung A transportiert wurde.

Zusätzlich zu I. wurde die Entladebehandlung durchgeführt und

das Gas wurde in den oberen Raum eingeführt.

Klebebandtests wurden durchgeführt, um die Bindekraft der ferromagnetischen dünnen Schicht an das Substrat zu bestimmen. IV. gab das schlechteste Ergebnis mit Bereichen von 70 bis 50 JE, aber unter den Bedingungen von I., II. und III. waren die Ergebnisse zwischen 100 und 90 t.

Die Variationen beim Ausgang bei der Wiedergabe wurden über die ganze Länge von 3 600 m gemessen. Alle unter den Bedingun-

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gen I. bis IV, hergestellten Bänder zeigten Variationen kleiner als 1 dB. Die Messungen wurden mit einem Signal mit der Wellenlänge von ¹J Mikron durchgeführt.

Diese Ergebnisse sind vergleichbar mit denen der Magnetbänder vom beschichteten Typ,, die auf dem Markt sind. Daher ist das in Fig. 9 gezeigte Gerät vorteilhaft bei der Herstellung von Magnetbändern mit mehreren dünnen Schichten, die eine gleichmäßige Verteilung magnetischer Eigenschaften in der Längsrichtung haben.

Sechste Ausführungsform, Fig. 10

Die in Fig. 10 gezeigte Einrichtung ist geeignet, die Bindekraft der dünnen Schicht an das Substrat zu erhöhen. Eine Vakuumkammer 71 wird durch ein Evakuiersystem 72 bis zu einem gewünschten Vakuumgrad evakuiert und Sauerstoff wird durch ein einstellbares ^MLeak"-Ventil bis zu einem gewünschten Partialdruck eingeführt. Eine zylindrische Dose 7*», um die ein Substrat 75 herumgeht und eine Bedampfungsquelle einer ferromagnetischen Substanz 76 sind einander gegenüber angeordnet. In dieser Ausführungsform ist die Bedampfungsquelle vom Widerstandsheizungstyp und besteht aus einem Schiffchen 77, isolierten Ai Schlüssen 78 und einer Spannungsquelle 79, aber es ist klar, daß jegliche Übliche Heizungssysteme, wie Elektronenkanonenbe-

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schuß, Induktionsheizung usw, natürlich angewendet werden können.

Eine schirmgitterartige Elektrode 80 ist zwischen dem Substrat 75 und der Bedampfungsquellc angeordnet. Aufbau und Anordnung dieser Elektrode 80 sind in das Belieben des Fachmanns gestellt und begrenzen den Bereich der Erfindung nicht. Auch ohne die Benutzung der schirmgitterartigen Elektrode 80 können die Wirkungen der Erfindung gleichermaßen erreicht werden. Die Elektrode 80 ist durch einen isolierten Anschluß 78 an eine Spannungsquelle 81 angeschlossen und wird auf einer vorbestimmten Spannung gehalten. Masken 82 sind angeordnet, um das Auftreffen des Strahls verdampfender ferromagnetischer Substanzen gegen das Substrat zu steuern. Eine Entladungselektrode ist über einen isolierten Anschluß an eine Hochfrequenzspannungsquelle 84 angeschlossen. Das Substrat 75 wird von einer Vorratsrolle 75* zu einer Aufwickelrolle 75" transportiert.

Gemäß der sechsten Ausfuhrungsform wird ein Teil des Strahls aus verdampfendem ferromagnetischen Stoff ionisiert. In Fig. 10 wird die Ionisation durch Kochfrequenzglimmentladung bewirkt, aber jegliche geeignete Entladungen,wie Glühkathodenentladung, die im Vakuum der Größenordnung von 10 torr aufrechterhalten werden kann,können benutzt werden. Die grundlegenden Wirkungen, die erhalten werden, sind die gleichen.

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In der Erfindung bezieht sieh die Bezeichnung "Substrat" auch auf ein Substrat, das aus einer hochmolekularen Verbindung hergestellt und mit einer dünnen n5chtferromagnetischen Schicht, die durch Vakuumbedampfung abgelagert ist, beschichtet ist. Wenn Magnetbänder mit abwechselnden nichtferromagnetischen dünnen Schichten und ferromagnetischen dünnen Schichten hergestellt werden, muß das Gerät entsprechend entworfen und aufgebaut werden. Die ferromagnetischen dünnen Schichten werden gemäß der vorliegenden Erfindung gebildet und eine Einrichtung, die die Stufe zur Herstellung der ferromagnetischen dünnen Schichten gemäß der vorliegenden Erfindung enthält, liegt daher im Bereich der vorliegenden Erfindung.

Das Substrat 75 wird um die zylindrische Dose 74 herumgeführt, und es ist eine der wichtigen Bedingungen, daß der Partialdruck des Sauerstoffs unterhalb 8 χ 10 torr gehalten wird, wie aus Fig. 11 erkannt werden wird. (Der optimale Bereich liegt zwischen 8 χ 10~ und 2 χ 10~ , und die Stabilität der Entladung kann bei einem Druck, der geringer als 2 χ 10"⁵ torr ist, nicht sichergestellt werden. Nur venn die oben angegebenen Bedingungen erfüllt sind, kann das ausgezeichnete magnetische Aufzeichnungsmedium, das Signale mit hoher Dichte aufzeichnen kann, geliefert werden.

Beispiel

Eine Dose mit einem Durchmesser von 300 mm und eine Elektro-

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nenkanone von 12 kW wurden benutzt, um eine ferromagnetische Substanz aus Co (90 JIi) und Ni (10 %) zu heizen und zu verdampfen. Der Mindestabstand Substrat/Quelle wurde auf 28 cm gehalten. Dünne Schichten von 1 200 bis 1 400 R (120 bis 140 nm) wurden gebildet. Die Gleichstrom-Magnetisierungscharakteristiken in der Längsrichtung oder das Verhältnis zwischen der Koerzitivkraft und dem Partialdruck des Sauerstoffs sind in Fig. 11 gezeigt.

Die Substrate waren Polyäthylenterephthalatfilme von 15 / Dicke und Polyamidfilme von 10 ^um Dicke ("Buton"k Beide Filme waren durch Vakuumbedampfüng mit einer dünnen 350 8 dicken Ti-Schicht beschichtet.

Es wurde bestätigt, daß, um eine hohe Koerzitivkraft und ein hohes quadratisches Hystereseverhältnis zu erhalten, ferromagnetische Substanzen wie Co (100 JJ), Fe, Ni und ihre Legierungen mit geeigneten Elementen bei ihren jeweiligen optimalen Säuerst of fpartialdruckbereichen erhitzt und verdampft werden müssen.

Die Olühentladung wurde bei 13,56 MHz und 300 W durchgeführt, und die schirmgitterartige Elektrode war geerdet. Die magnetischen Charakteristiken ähnlieh den in Fig.1 gezeigten, können ohne die Benutzung einer Olühentladung, die den Strahl verdampfender ferromagnetischer Substanz positiv ionisiert, erhalten

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werden. D.h., der Dampf der verdampfenden ferromagnetischen Substanz, der teilweise ionisiert wird, wenn die Substanz verdampft wird, wird durch die schirmgitterartige Elektrode hindurchgeführt, die bei 100 bis 3000 V Gleichstrom gehalten wird. Diese Anordnung liegt ebenfalls im Bereich der Erfindung. Dementsprechend ist dlo vorliegende Erfindung sehr nützlich, unabhängig davon, oh die GlUhentladung benutzt wird oder nicht.

Wie oben beschrieben _} wird der Strahl der verdampfenden ferromagnetischen Substanz aus der Bedampfungsquelle, der von der senkrechten Linie, die durch die Achse der zylindrischen Drehdose geht, abgelenkt wird, innerhalb der Vakuumatmosphäre, die Sauerstoff enthält, gegen das Substrat senkrecht zu dessen Förderrichtung entlang der zylindrischen Drehdose geschleudert, wodurch die dünne ferromagnetische Schicht gebildet wird. Daher wird die Ablagerung begonnen während der Dampfstrahl gegen die Vorratsrolle geneigt ist, dann während der Dampfstrahl senkrecht auf das Substrat einfällt und schließlich während der Dampfstrahl gegen die Aufwickelrolle geneigt ist und einschließlich der Dampfbestandteile, die in der Richtung des Substrattransportes fließen. So können ferromagnetische dünne Schichten mit hoher Koerzitivkraft gebildet werden und deswegen können magnetische Aufnahmebänder mit verbesserten magnetischen Eigenschaften in der Längsrichtung, die fähig sind, die Signale mit hoher Dichte aufzunehmen, in einfacher Weise hergestellt werden. Daher ist die vorliegende Erfindung in der Industrie sehr nützlich.

Patentansprüche

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Claims

Patentansprüche

y Verfahren zur Herstellung magnetischer Aufnahmemedien, dadurch gekennzeichnet, daß innerhalb einer Vakuumatmosphäre, die Oaue wie Sauerstoff und Argon enthält, eine zylindrische drehbare Dose (24) und eine Bedampfungsquelle (18, 56, 76) derart angeordnet werden, daß die zylindrische drehbare Dose und die Bedampfungsquelle sich zueinander in Gegenüberläge befinden und daß die in der Verdampfungsquelle errichtete Normale , die Achse der zylindrischen drehbaren Dose nicht schneidet, und daß der Strahl (20) der verdampfenden ferromagnetischen Substanz auf ein Substrat (15), das aus einer hochmolekularen Verbindung hergestellt ist und entlang der zylindrischen drehbaren Dose transportiert wird, in rechten Winkeln zur Richtung des Transportes des Substrates gerichtet wird, wodurch er eine ferromagnetische dünne Schicht Über das Substrat bildet.
2. Verfahren zur Herstellung magnetischer Aufnahmemedien nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine Mehrzahl zylindrischer drehbarer Dosen (21, 24·, 24" j 44, 45, 46) angeordnet sind.

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ORIGINAL INSPECIiD
3. Verfahren zut Herstellung magnetischer Aufzeichnungsmedien nach Anspruch 2 , d ρ d u r > h gekennzeichnet, daß die Temperatur 0 leset- Mehrzahl von zylindrischen drehbaren Dosen (?'!^"ι ;''i· _} ?'["; Hh, I15, 46; 74) unabhängig voneinander gesteuert wird,
4. Verfahren zur Herstellung magnetischer Aufzeichnungsmedien, nach Anspruch 1 „ d a d 11 r c h gekennzeichnet, daß der Strahl verdampfender f'erroir.agnetischer Substanz aus der Bedampfungsquelle (l8) in eine Mehrzahl von Strahlen (20) aufgeteilt wird, die gegen das Substrat (15, 40, 75) prallen.
5. Verfahren zur HersteJlung nu^-netisuher Aufzeichnungsmedien nach Anspruch 1 oder 5, dadurch gekennzeich net, daß eine Mehrzahl zylindrischer drehbarer Dosen (2Ί; 2't, 2Jl¹, 24"; 4Ί, '15, Ί6; 7h) angeordnet sind, und daß der Strah] verdampfender ferromagnetische*¹ Substanz aus der Bedampfungsquelle (18) in eine Mehrzahl von Strahlen (20) aufgespalten ist, die gegen das Substrat (15, 4ü, 75), das entlang dieser Mehrzahl von zylindrischen drohbaren Dosen transportiert wird, geschleudert wird.
6. Verfahren zur Herstellung magnetischer Aufzeichnungsmedien nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Strahl (20) verdampfender ferromagnetischer Substanz, der durch das Heizen und die Verdampfung einer ferromagnetischen

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Substanz erzeugt wird, aiii o.xn Substrat (15, 40, 75) gerichtet und dagegen geschleudert t/j.rd, das entlang der zylindrischen drehbaren Dose (24; 24, 2*4·, 24"; 44, 1)5, 46; 74) in der Vakuumatmosphäre transportiert wird, so daß eine ferromagnetische dünne Schicht; auf iJem Substrat in Gegenwart von Strömungen von Sauerstoffgas in der Nähe des Substrates gebildet werden kann.
7. Verfahren zur Herstellung magnetischer Aufzeichnungsmedien nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Strahl (20) verdampfender ferromagnetischer Substanz, der durch Heizung und Verdampfen einer ferromagnetischen Substanz erzeugt wird, teilweise ionisiert wird und gegen das Substrat (15, 40, 75) gerichtet wird, das entlang der zylindrischen drehbaren Dose (24; 2'!, 24», 24"; 44, 45, 46; 74) innerhalb der Vakuumatmosphäre, iπ der der Partialdruck des Sauer-

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Stoffs kleiner als 8 χ 10 torr ist, transportiert wird, wodurch eine ferromagnetische dünne Schicht über dem Substrat gebildet wird.
8. Einrichtung zur Vakuumaufd{ upfuug dünner Schichten dadurch gekennzeichnet, daß ein Vakuumgefäß oder eine -kammer (34) in drei Räume (37, 38, 39) unterteilt ist, die im wesentlichem gegeneinander abgeschlossen sind; daß die Räume in einer Reihe angeordnet sind; daß die Räume unabhängigen Evakuiersystemen (37*, 381, 39·) angeschlos-

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sen sind; daß ein Mechanismus (1»1) r.um Abwickeln eines flexiblen Substrates (¹^U), ein Mechanismus (^2) zum Aufwickeln des flexiblen Substrates (^O) und eine Mehrzahl von Einrichtungen (O) zur Behandlung mit elektrischen Entladungen in dem oberen Raum (37) angeordnet sind; daß zwei Paare aus einer zylindrischen drehbaren Dose (M; k'j), deren Drehrichtung umgekehrt werden kann und einer Bedampfungsquelle C<9; 50) in Gegenüberläge in dem mitt3f;rtui Raum (3Ü) angeordnet sind; daß ein Paar aus einer zylindrischen drehbaren Dose Cj6), deren Drehrichtung umgekehrt werden kann und einer Bedampfungsquelle (56) in dem unteren Raum (39) angeordnet ist; und daß unabhängige Gaseinführsysteme ( ü9j 60, 61; (>?, 63) an den oberen (37), mittleren (38) und unteren (39) Raum angeschlossen sind.

9. Einrichtung zur Vakuumaufdampfung dünner Schichten nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß das Evakuiersystem (37') an das Oberteil des oberen Raums (37) angeschlossen ist; daß das Evakuiersystem (38¹) an beide seitlichen Seiten des mittleren Raums (38) angeschlossen ist; und daß das Evakuiersystem (39') an den Boden des unteren Raums (39) angeschlossen ist.

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