DE3046564C2 - - Google Patents
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- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Vakuumbe
dampfung von Trägerbändern, bei dem Trägerband durch
mindestens einen Bereich entlang zweier Kreisbögen un
ter Bildung eines Spaltes, in dem Trägerbandoberflä
chen einander gegenüberliegen, transportiert und das
Bedampfungsmaterial von einer Seite des Spaltes her auf
die Trägerbandoberflächen aufgedampft wird, sowie eine
Vorrichtung zur Vakuumbedampfung eines Trägerbandes
mit mindestens einem Paar drehbarer, einen Spalt be
grenzender Führungswalzen, die das Trägerband umschlingt,
sowie einem, das Bedampfungsmaterial enthaltenden Ver
dampfer, der auf einer Seite des Spaltes derart ange
ordnet ist, daß beidseitig des Spaltes Bedampfungsma
terial auf die Trägerbandoberflächen aufgedampft wird,
zur Durchführung des Verfahrens.
Ein solches Verfahren und eine solche Vorrichtung sind
aus der US-PS 26 64 853 bekannt. In dieser Druck
schrift ist sehr allgemein der Aufbau einer Vorrichtung
zur Vakuumbedampfung eines Trägerbandes beschrieben.
Ins Einzelne gehend, wird eine Dampfquelle beschrieben,
die zur Bedampfung des Trägerbandes mit Metall, ins
besondere Aluminium, geeignet ist. Ausführungen feh
len darüber, auf welche Weise eine wirkungsvolle Be
dampfung des Trägerbandes erhalten werden kann.
Aus der DE-OS 27 58 772 ist eine Vorrichtung zur Va
kuumbedampfung von Trägerbändern bekannt. Das Trä
gerband wird über eine Walze geführt, unter der ein
Verdampfer derart versetzt angeordnet ist, daß die
auf diesem errichtete Normale nicht durch den Mittel
punkt der Walze hindurchgeht. Die Versetzung wird der
art gewählt, daß der von der Normalen auf den Ver
dampfer und der Normalen am Bedampfungspunkt auf dem
Trägerband eingeschlossene Winkel kleiner als 30° ist.
Dadurch wird bei der Herstellung von Magnetbändern
eine Erhöhung der Koerzitivkraft verglichen mit der Be
dampfung, bei der der genannte Winkel Null ist, er
reicht. In dieser Druckschrift ist auch angegeben, daß
ein Trägerband um mehrere Walzen geführt werden kann,
unter denen jeweils ein Verdampfer angeordnet ist, um
das Trägerband mit Bedampfungsmaterial zu bedampfen.
Damit kann eine mehrschichtige Bedampfung erzielt wer
den.
Die Forderung nach magnetischen Aufzeichnungsmitteln
hoher Speicherdichte hat in jüngster Zeit zugenommen.
Gleichzeitig wurde ein besonderes Augenmerk auf hoch
magnetische Metallschichten gelegt, die durch Verfahren
wie Vakuumbedampfung, Aufstäubung, Ionenbeschichtung
oder ähnliches, gebildet worden sind, die kein Bin
demittel benötigen und als bindemittelfrei magneti
sche Aufzeichnungsmedien bezeichnet werden. Es wurden
Anstrengungen unternommen, solche bindemittelfreien
Arten von Aufzeichnungsmedien in den Handel zu bringen.
Von den vorgeschlagenen Verfahren zur Bedampfung bin
demittelfreier Aufzeichnungsmedien wurde wegen sei
ner Einfachheit ein Schrägbedampfungsverfahren be
vorzugt.
Wenn Bedampfungsmaterial unter einem spitzen Winkel
auf ein Trägerband aufgedampft wird, so nimmt der Auf
dampfungswirkungsgrad umso stärker ab, je größer der
Winkel zwischen der Normalen auf der Trägerband und
der Bedampfungsrichtung ist. Der Grund hierfür be
steht darin, daß sich die Enddicke der aufgedampf
ten Schicht mit dem Kosinus des Winkels zwischen der
Normalen auf das Trägerband und der Bedampfungs
richtung ändert.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfah
ren und eine Vorrichtung der eingangs genannten Art
derart weiter zu bilden, daß durch eine entsprechende
Bandführung trotz Schrägbedampfung eine größere Schicht
dicke pro Zeiteinheit erhalten werden kann.
Diese Aufgabe wird in bezug auf das Verfahren dadurch
gelöst, daß die Bedampfung von einer Stelle außerhalb
des Winkelbereiches, den die beiden durch den Spalt
hindurchgehenden, gemeinsamen Tangenten an die Kreis
bögen begrenzen, ausgeführt wird.
Im Hinblick auf die Vorrichtung wird diese Aufgabe
dadurch gelöst, daß der Verdampfer außerhalb des Win
kelbereiches angeordnet ist, den die beiden durch den
Spalt hindurchgehenden, gemeinsamen Tangenten an die
Führungswalzen begrenzen.
In vorteilhafter Weise wird durch die Erfindung der
Bedampfungswirkungsgrad stark erhöht, da eine Bedamp
fung gleichzeitig auf beide Abschnitte des durch den
Spalt geführten Trägerbands erfolgt. Ferner wird
der Schrägbedampfungseffekt, der auf dem Trägerband
abschnitt der von der Seite des Verdampfers her in den
Spalt einläuft, praktisch kompensiert, wenn dieser
Trägerbandabschnitt aus diesem Spalt heraus wieder
ausläuft.
Vorteilhafte Weiterbildungen des Erfindungsgegenstandes
ergeben sich aus den Unteransprüchen.
Der Erfindungsgegenstand wird im folgenden anhand von
Ausführungsformen unter Bezugnahme auf die Zeichnun
gen näher erläutert. Es zeigt
Fig. 1 eine Schnittdarstellung einer Ausführungs
form einer Aufdampfungsvorrichtung mit
Schrägbedampfung nach der Erfindung,
Fig. 2 eine Schnittdarstellung einer anderen Aus
führungsform einer Aufdampfungsvorrichtung
mit Schrägbedampfung nach der Erfindung, und
Fig. 3 eine Schnittdarstellung eines Trägerbandes,
bei dem zusätzlich eine Zwischenschicht
aufgedampft wurde.
Fig. 1 zeigt eine Schnittdarstellung einer Aufbedamp
fungsvorrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform nach
der Erfindung, wobei eine Vakuumkammer in eine obere
Kammer 1 mit einem Unterdruck und eine untere Kam
mer 2 mit einem Unterdruck unterteilt ist, der einen
kleineren Wert als derjenige in der oberen Kammer auf
weist. Durch nichtdargestellte Teilungswände sind die
beiden Kammern 1 und 2 voneinander getrennt. In der
oberen Kammer sind Vorrats- und Aufwickelwalzen, die
nicht dargestellt sind, für das Trägerband 3 vorge
sehen. Zwei zylinderförmige Führungswalzen 4 und 5
sind im wesentlichen horizontal nebeneinander unter
Begrenzung eines Spaltes 7 und auf etwas unterschied
lichen Höhen angeordnet. Die Mitten der benachbarten
Führungswalzen 4 und 5 sind in senkrechter Richtung
versetzt. Das Trägerband 3 wird längs der Führungs
walze 4, einer Umlenkwalze 8 und der Führungswalze
5 gefördert.
Da der Spalt 7 zwischen den beiden Führungswalzen 4 und
5 ausgebildet ist, gibt es zwischen ihnen zwei gemein
same Tangenten A und B. Die gemeinsame Tangente A
berührt die Führungswalze 4 an einer hohen Stelle und
die Führungswalze 5 an einer niederen Stelle, wohin
gehend die gemeinsame Tangente B die Führungswalze 5
an einer hohen Stelle und die Führungswalze 4 an einer
niederen Stelle berührt. Eine Dampfquelle 9 ist unter
halb des Spalts 7 angeordnet und gleichzeitig ist ein
Auslaß 78 der Dampfquelle 9 außerhalb eines Bereiches
positioniert, der durch die vorhergehend angegebenen,
gemeinsamen Tangenten A und B begrenzt ist, d. h. der
schraffierte Bereich in Fig. 1. Insbesondere ist der
Auslaß 78 der Dampfquelle 9 an der Seite der gemein
samen Tangente A, wo sich die Führungswalze 5 be
findet, unterhalb des Spaltes 7 positioniert. Die
Schrägbedampfung des Trägerbandes 3 wird durch die
Blenden 10′ und 11′ hindurch durchgeführt.
Der Bedampfungswirkungsgrad ist besonders groß, weil
beide Oberflächen des Trägerbandes 3 gleichzeitig be
dampft werden. Da der Auslaß 78 der Dampfquelle 9
außerhalb des vorhergehend angegebenen, schraffierten
Bereiches positioniert ist, wird verhindert, daß der
Dampfstrahl durch den Spalt 7 nach oben hindurchtritt.
Wie bereits angegeben wurde, wird der Dampfstrahl
von der Dampfquelle 9 nach oben ausgesandt, da die
Dampfverteilung durch eine cos n -Verteilung (n < 1)
beschrieben wird. Dadurch wird der nach oben gerichte
te Dampfstrahl äußerst wirkungsvoll ausgenutzt. Wenn
ein magnetisches Aufzeichnungsmedium hergestellt wer
den soll, sollte die Dicke des aufgedampften, magne
tischen Materials im allgemeinen 0,2 µm bis 3,0 µm
und vorzugsweise 0,05 µm bis 1,0 µm betragen.
Die folgenden Materialien werden zur Herstellung einer
dünnen, magnetischen Schicht vorzugsweise verwendet:
Reine Metalle, Fe, Co, Ni oder ähnliches, ferromagneti sche Legierungen unter Einschluß von Fe-Co, Fe-Ni, Co-Ni, Fe-Co-Ni, Fe-Rh, Fe-Cu, Co-Cu, Co-Au, Co-Y, Co-La, Co-Pr, Co-Gd, Co-Sm, Co-Pt, Ni-Cu, Mn-Bi, Mn-Sb, Mn-Al, Fe-Cr, Co-Cr, Ni-Cr, Fe-Co-Cr und Fe- Co-Ni-Cr oder ähnliches. Da eine magnetische Schicht dick sein muß, um bei einem magnetischen Aufzeichnungs medium ein ausreichend großes Ausgangssignal zu erhal ten und dünn sein muß, um mit großer Dichte aufzu zeichnen, sollte die Dicke des aufgedampften magneti schen Materials im allgemeinen 0,05 µm bis 1,0 µm und vorzugsweise 0,1 µm bis 0,4 µm betragen. Ein Kunststoff träger wie z. B. Polyäthylenterephthalat, Polyimid, Polyamid, Polyvinylchlorid, Cellulose-Triacetat, oder ähnliches, oder ein Metall streifen, wie z. B. aus Al, Aluminiumlegierung, Ti, Titanlegierung, nichtrostender Stahl oder ähnliches kann als flexibler Träger verwandt werden.
Reine Metalle, Fe, Co, Ni oder ähnliches, ferromagneti sche Legierungen unter Einschluß von Fe-Co, Fe-Ni, Co-Ni, Fe-Co-Ni, Fe-Rh, Fe-Cu, Co-Cu, Co-Au, Co-Y, Co-La, Co-Pr, Co-Gd, Co-Sm, Co-Pt, Ni-Cu, Mn-Bi, Mn-Sb, Mn-Al, Fe-Cr, Co-Cr, Ni-Cr, Fe-Co-Cr und Fe- Co-Ni-Cr oder ähnliches. Da eine magnetische Schicht dick sein muß, um bei einem magnetischen Aufzeichnungs medium ein ausreichend großes Ausgangssignal zu erhal ten und dünn sein muß, um mit großer Dichte aufzu zeichnen, sollte die Dicke des aufgedampften magneti schen Materials im allgemeinen 0,05 µm bis 1,0 µm und vorzugsweise 0,1 µm bis 0,4 µm betragen. Ein Kunststoff träger wie z. B. Polyäthylenterephthalat, Polyimid, Polyamid, Polyvinylchlorid, Cellulose-Triacetat, oder ähnliches, oder ein Metall streifen, wie z. B. aus Al, Aluminiumlegierung, Ti, Titanlegierung, nichtrostender Stahl oder ähnliches kann als flexibler Träger verwandt werden.
Die Erhitzung der Verdampfungsquelle kann mittels
einer Widerstandserwärmung, mit Hilfe eines Laser
strahls, mittels einer Hochfrequenzinduktionsheizung,
mittels eines Elektronenstrahls oder ähnliches erfolgen.
Um das Verdampfungsmaterial zuzuführen, wird vorzugs
weise das Material in der Form eines Drahtes oder
ähnlichem zugeführt.
Fig. 2 zeigt eine andere Ausführungsform einer Vorrich
tung zur Vakuumbedampfung nach der Erfindung. In ei
ner Vakuumkammer 111 sind Führungswalzen 112, 113 und
114 horizontal und unter Bildung jeweils eines Spal
tes 115 und 116 angeordnet. Die Führungswalze 113 ist
relativ zu den Führungswalzen 112 und 114 nach unten
verschoben. Zu beschichtendes Trägerband 105 wird von
einer nichtdargestelltenVorratsrolle zugeführt und
nach Durchlaufen der Vorrichtung zur Vakuumbedampfung
einer nichtgezeigten Aufwickelrolle zugeführt. Durch
Drehung der Führungswalzen 112 bis 114 wird das Trä
gerband 105 längs der Umfangsflächen der Führungs
walzen 112 bis 114 gefördert. In dem Spalt 115 wird
das Trägerband 105 längs der Führungswalze 112 nach
oben und längs der Führungswalze 113 jedoch nach unten
bewegt. In der gleichen Weise wird das Trägerband im
Spalt 116 längs der Führungswalze 113 nach oben und
längs der Führungswalze 114 wiederum nach unten bewegt.
Unterhalb der Spalte 115 und 116 sind Verdampfer 137
bzw. 117 angeordnet. Die Auslässe der Verdampfer 137
und 117 sind außerhalb der Bereiche positioniert, die
durch die gemeinsamen Tangenten C und D bzw. E und F,
nämlich die in Fig. 2 schraffierten Bereiche, begrenzt
sind. Gleichzeitig sind die Auslässe der Verdampfer
auf der Seite der Führungswalze 113 positioniert.
Ferner sind oberhalb der Spalte 115 und 116 zweite
Verdampfer 120 bzw. 121 angeordnet. Die Bedampfung
erfolgt auf das Trägerband 105, welches sich von der
Führungswalze 112 über eine Umlenkwalze 122, längs ei
ner Führungswalze 118 bzw. auf das Trägerband 105,
welches sich von der Führungswalze 113 über eine Um
lenkwalze 123 längs der Führungswalze 119 bewegt.
Jeder bedampfte Abschnitt des Trägerbandes 105 bewegt
sich von der Führungswalze 118 bzw. 119, über eine
Umlenkwalze 124 bzw. 125 zu der Führungswalze 113 bzw.
114. Wenn erforderlich, sind unterhalb der Führungs
walzen 112 und 114 weitere Verdampfer 126 bis 128
angeordnet. Eine Vielzahl geeigneter Blenden 129
bis 136 ist vorgesehen, wie es in der Fig. 2 dargestellt
ist, um eine unerwünschte Bedampfung anderer Teile zu
vermeiden.
Auf diese Weise läßt sich ohne weiteres eine mehrschich
tige Beschichtung, die eine Vielzahl magnetischer
Schichten aufweist, durch die Schrägbedampfung mittels
der Quellen 137 und 117 und eine Vielzahl von Zwi
schenschichten zwischen ihnen herstellen. Die hier be
schriebene Vorrichtung ist sehr kompakt und einfach.
Beispielsweise wird, wenn ein magnetisches Aufzeich
nungsmedium mittels Vakuumaufdampfung hergestellt wer
den soll, magnetisches Material in die Verdampfer
137 und 117 eingebracht, um dadurch die Schrägbe
dampfung auf das Trägerband zu erzielen. Ein Bedamp
fungsmaterial für eine Unterschicht wird in den Ver
dampfer 126 eingebracht, und Bedampfungsmaterialien
für Zwischenschichten werden in die Verdampfer 120,
121 und 127 eingebracht, und ein Bedampfungsmaterial
für eine Schutzschicht wird in den Verdampfer 128
eingebracht.
Als Material für eine Unterschicht oder eine Zwi
schenschicht wird Cr, Si, Al, Mn, Bi, Ti, Sn, Pb,
In, Zn, Cu, deren Oxide oder Nitride verwandt. Als
Material für eine Schutzschicht wird Rh, Cu, Cr, Cr-
Oxid, Si, Si-Oxid, Al, Al-Oxid, Pt, Au, Pb, Ti, Bn,
Ni-Cr, In, In-Oxid, Ti, Ti-Oxid, MgF2 oder andere or
ganische Materialien verwandt.
Vorzugsweise hat der Verdampfer die Form eines Schiff
chens, eines Schmelztiegels oder eine ähnliche Form.
Es ist möglich, einen bessere Richtungseigenschaften
für den Dampfstrom aufweisenden Verdampfer zu verwen
den, wie er in dem JP-GM 56/4 124, der JP-PS 63/24 220
oder der JP-OS 75/1 081 angegeben ist.
Die schraffierten Bereiche, die durch die gemeinsamen
Tangenten A und B, C und D und E und F entsprechend
den Spalten 7, 115 und 116 begrenzt sind, können, wenn
dieses erwünscht ist, durch Änderung des Durchmessers
einen der gegenüberliegenden Führungswalzen verändert
werden.
Fig. 3 zeigt im größeren Maßstab eine Schnittdarstellung
eines Beispiels eines magnetischen Aufzeichnungsmediums,
welches mehrere Aufdampfungsschichten 62, 63 und 64 auf
weist, die auf ein Trägerband 61 aufgebracht sind, wel
ches aus einem hochmolekularen Material wie z. B. einer
Polyäthylenterephthalatfolie besteht. Ein magnetisches
Material, wie z. B. Co, Ni, Fe oder eine Legierung
davon, wird z. B. in den Verdampfer 137 der in Fig. 2
dargestellten Vorrichtung eingebracht. Wenn das Träger
band längs der Führungswalze 112 gefördert wird, er
folgt eine Schrägbedampfung, durch die eine magneti
sche Schicht 62 aufgedampft wird. Ein nichtmagneti
sches Material wie z. B. Al, Cr, Cu oder ähnliches,
kann in den zweiten Verdampfer 120 eingebracht werden,
der der Führungswalze 118 gegenüberliegt. Das von der
Führungswalze 118 wieder in den Ausgangsspalt zurück
laufende und durch die Führungswalze 113 geförderte
Trägerband wird im Spaltbereich erneut mit dem Be
dampfungsmaterial aus dem Verdampfer 137 schräg be
dampft, wodurch eine weitere magnetische Schicht 64
ausgebildet wird. Da die jeweiligen durch den Spalt
bereich bewegten Trägerbandabschnitte eine entgegen
gesetzte Bewegungsrichtung aufweisen, ist die Rich
tungsstruktur der Schicht 62 zu derjenigen der Schicht
64 entgegengesetzt.
Es ist offensichtlich, daß z. B. mit der in Fig. 2 dar
gestellten Vorrichtung eine Vielzahl von magnetischen
Schichten und Zwischenschichten wiederholt erzeugt
werden kann, so daß eine Mehrschichtausbildung erhal
ten wird. Auch kann statt einer Vakuumaufdampfung ein
Ionenbeschichtungsverfahren o. ä. verwendet werden, um
die Zwischenschicht auszubilden.
Claims (10)
1. Verfahren zur Vakuumbedampfung von Trägerbändern,
bei dem Trägerband durch mindestens einen Bereich ent
lang zweier Kreisbögen unter Bildung eines Spaltes,
in dem Trägerbandoberflächen einander gegenüberliegen,
transportiert und das Bedampfungsmaterial von einer
Seite des Spaltes her auf die Trägerbandoberflächen
aufgedampft wird, dadurch gekennzeichnet,
daß die Bedampfung von einer Stelle außerhalb des
Winkelbereiches, den die beiden durch den Spalt hin
durchgehenden, gemeinsamen Tangenten an die Kreisbö
gen begrenzen, ausgeführt wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, daß das Trägerband unter Berüh
rung der einander gegenüberliegenden Oberflächen
durch den Spalt transportiert wird und daß die einander
gegenüberliegenden Trägerbandoberflächen in der
gleichen Richtung durch den Spalt bewegt werden.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, daß sich die einander gegenüber
liegenden Trägerbandoberflächen in entgegengesetzte
Richtung durch den Spalt bewegen und daß das aus dem
Spalt herauslaufende Trägerband derart über parallele Wal
zen mit in der Höhe versetzten Mittelachsen geführt
wird, daß ein direkter Durchtritt des Dampfstrahls
durch den Spalt verhindert wird.
4. Verfahren nach Anspruch 1 bis 3, dadurch ge
kennzeichnet, daß das Trägerband zwischen
dem Herauslaufen aus dem Spalt und dem erneuten Ein
treten in denselben Spalt mit einem Zwischenschicht
material bedampft wird.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4,
dadurch gekennzeichnet, daß das Trä
gerband durch mehrere Spalte geführt wird, in denen
sich die Trägerbandoberflächen jeweils in entgegenge
setzte Richtung bewegen, und daß für jeden Spalt
ein eigener Verdampfer für das Bedampfungsmaterial
verwendet wird.
6. Vorrichtung zur Vakuumbedampfung eines Träger
bandes mit mindestens einem Paar drehbarer, einen Spalt
begrenzender Führungswalzen, die das Trägerband um
schlingt, sowie einem das Bedampfungsmaterial ent
haltenden Verdampfer, der auf einer Seite des Spal
tes derart angeordnet ist, daß beidseitig des Spal
tes Bedampfungsmaterial auf die Trägerbandoberflä
chen aufgedampft wird, nach den Ansprüchen 1 bis 5,
dadurch gekennzeichnet, daß der Ver
dampfer (137, 117) außerhalb des Winkelbereiches
angeordnet ist, den die beiden durch den Spalt (115, 116)
hindurchgehenden, gemeinsamen Tangenten (C, D; W, F)
an die Führungswalzen (112, 113, 114) begrenzen.
7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch ge
kennzeichnet, daß nebeneinander mehrere,
von dem Trägerband (105) umschlungene, drehbare Füh
rungswalzen (112, 113, 114) unter Bildung eines Spaltes
(115, 116) zwischen jeweils benachbarten Führungswalzen
(112, 113 und 113, 114) angeordnet sind, daß auf
der gleichen Seite der Spalte (115, 116) für jeden
Spalt (115, 116) ein Verdampfer (137, 117) vorgesehen
ist.
8. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch ge
kennzeichnet, daß der Winkel, der von
dem aus dem Spalt (7) herauslaufenden und in den
selben Spalt (7) einlaufenden Trägerbandes (3) ein
geschlossen und von den gemeinsamen Tangenten A und B
begrenzt ist, außerhalb der Austrittsöffnung der Dampf
quelle (9) liegt.
9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6 und 7,
dadurch gekennzeichnet, daß das aus
einem Spalt (115; 116) auslaufende Trägerband (105)
an einem weiteren Verdampfer (120; 121) vorbeiführ
bar ist, durch den auf das Trägerband (105) ein Zwi
schenschichtmaterial aufdampfbar ist.
10. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch ge
kennzeichnet, daß die Spalten so bemessen
sind, daß sich in den Spalten die zueinander weisen
den Trägerbandoberflächen berühren und daß das sich
durch einen Spalt bewegende Trägerband in dem Spalt
die gleiche Bewegungsrichtung aufweist.
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16010379A JPS608305B2 (ja) | 1979-12-10 | 1979-12-10 | 真空蒸着法 |
JP16010279A JPS608304B2 (ja) | 1979-12-10 | 1979-12-10 | 真空蒸着法 |
JP4717480A JPS6043915B2 (ja) | 1980-04-10 | 1980-04-10 | 真空蒸着方法 |
JP6997080A JPS6043916B2 (ja) | 1980-05-26 | 1980-05-26 | 真空蒸着法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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DE3046564C2 true DE3046564C2 (de) | 1987-10-22 |
Family
ID=27462003
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19803046564 Granted DE3046564A1 (de) | 1979-12-10 | 1980-12-10 | "verfahren und vorrichtung zur vakuum-bedampfung" |
Country Status (1)
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JP2523279B2 (ja) * | 1986-05-02 | 1996-08-07 | ティーディーケイ株式会社 | 磁気記録媒体およびその製造方法 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |