DE2758772C2

DE2758772C2 - Verfahren zur Herstellung eines bandförmigen, magnetischen Aufzeichnungsträgers

Info

Publication number: DE2758772C2
Application number: DE2758772A
Authority: DE
Inventors: Koichi Kobe Hyogo Shinohara
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1976-12-29
Filing date: 1977-12-29
Publication date: 1982-09-30
Also published as: US4220117A; CA1096968A; NL181059C; GB1596385A; FR2376485B1; DE2758772A1; FR2376485A1; NL7714538A; NL181059B

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines bandförmigen, magnetischen Aufzeichnungsträgers durch Schräg-Bedampfung eines Suostrates mit einer magnetischen Schicht.

Aus der DE-OS 21 46 008 ist ein Verfahren zur Herslellung einer magnetischen Schicht bekannt, bei dem Elsen in einer Sauerstoffatmosphäre auf ein Substrat aufgedampft wird. Dadurch kann eine aus Eisenoxid bestehende, ferromagnetische Schicht auf dem Substrat abgelagert werden.

Ein Verfahren zur Herstellung eines bandförmigen, magnetischen Aufzeichnungsträgers der angegebenen Gattung ist aus der US-PS 33 42 632 bekannt und soll im folgenden unter FI g. 1 näher erläutert werden, die einen senkrechten Querschnitt durch die entsprechende Vorrichtung zur Aufdampfung einer dünnen ferromagnetlschen Schicht auf ein Substrat zeigt. Ein Beil-Gefäß 1 wird durch eine Vakuumpumpe 2 auf 1,33 χ ΙΟ"³ PA bi. 1,33 χ 10"* PA evakuiert; das zu bedampfende Substrat wird von einer Vorratsrolle 4 über Metallrollen 5 zu einer Aufnahmerolle 6 In der durch den Pfeil angedeuteten Richtung transportiert. Die auf das Substrat 2 aufzudampfende, ferromagnetische Substanz wird durch die Joule'sche Wärme, die durch eine über Isolierte Anschlüsse 13 mit einer Stromquelle 12 verbundene Heizeinrichtung 8 erzeugt wird, verdampft, so daß der über eine ötfnung 10 In einer Maske 9 gesteuerte Strahl 11 der verdampften ferromagnetlschen Substanz In einem Winkel auf das Substrat 3 auftrifft. Bei dieser „Schräg-Bedampfung" handelt es sich also um ein Verfahren, bei dem der Winkel zwischen der Normalen auf dem Substrat 3 und dem einfallenden Strahl der verdampften Substanz größer als 30° 1st; diese Definition wird jedoch nicht streng gehandhabt, da manchmal auch Verfahren als ,,Schräg-Bedampfung" bezeichnet werden, bei denen der verdampfte Strahl in einem von 90° abweichenden Winkel auf das Substrat auftrifft.

Nachteilig ist bei diesem bekannten Verfahren, daß die magnetische Schicht nur relativ langsam gebildet werden kann. Denn bei Verwendung von Polyethylenterephthalat als Material für das Substrat können bei der Aufdampfung von Eisen nur Schichten mit einer Dicke von ungefähr 20 mm hergestellt werden, da bei der weiteren Aufdampfuüg das Substrat aufgrund der von der Heizeinrichtung erzeugten Wärme zerstört wird. Um eine für die audiomagnetische Aufnahme und Wiedergabe ausreichende Remanenz zu erhalten, muß dieser Arbeitsgang zur Herstellung der 20 mm dicken magnetischen Schicht 10- bis ISmal wiederholt werden, bis eine ausreichende Schichtdicke erreicht ist. Die Unterbrechung und Wiederaufnahme der Bedampfung führt jedoch zu Löchern in der Schicht und damit zu Rauschen bei der Wiedergabe, so daß die auf diese Welse hergestellten magnetischen Aufzeichnungsträger nicht die angestrebte hohe Qualität haben.

Der Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Herstellung eines bandförmigen, magnetischen Aufzeichnungsträgers zu schaffen, mit dem auch relativ dicke magnetische Schichten in kurzer Zelt, insbesondere ohne Unterbrechung der Aufdampfung, aufgebracht werden können.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die Bedampfung auf das an einer heiz- oder kühlbaren Trommel anliegende Substrat erfolgt, wobei die Bedampfungsquelle so angeordnet wird, daß die Verdampfernormale die Trommelachse nicht schneidet.

Gemäß einem alternativen Verfahren wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß die Bedampfung auf das an einer heiz- oder kühlbaren Trommel anliegende Substrat erfolgt, wobei die Bedampfungsquelle so angeordnet wird, daß die Verdampfernormale die Trommelachsen schneidet, und wobei In der Verdampfernormale eine Blende vorgesehen wird.

Die mit der Erfindung erzielten Vorteile beruhen insbesondere darauf, daß die Aufdampffu'.che des Substrates nicht frei zwischen zwei Stützrollen geführt wird, wie es bei dem bekannten Verfahren nach der US-PS 33 42 632 der Fall war, sondern daß das Substrat an einer heiz- oder kühlbaren Trommel anliegt.

In Abhängigkeit von den jeweils gewünschten Bedampfungsbedlngungen kann also das Substrat durch entsprechende Beaufschlagung der Trommel entweder geheizt oder gekühlt werden, um beispielsweise die oben erläuterte Wärmewirkung der Heizeinrichtung zu verringern oder ganz auszuschalten. Das Substrat und damit auch die magnetische Schicht werden also immer auf einer Temperatur gehalten, die die Aufbringung einer gleichmäßigen Schicht ermöglicht. Es 1st insbesondere nicht mehr erforderlich, die Bedampfung wegen einer zu starken Erwärmung des Substrates zu unterbrechen, so daß In einem einzigen, relativ kurzen Arbeitsgang auch relativ dicke magnetische Schichten aufgebracht werden können.

Dadurch lassen sich wiederum die erwähnten Löcher und Hohlräume In der magnetischen Schicht vermelden, die auf die Unterbrechung der Bedampfung zurückzuführen sind.

Der.für die Schrägbedampfung erforderliche Winkel zwischen dem auf das Substrat auftreffenden Strahl und der Normalen auf der Substratoberfläche kann gemäß der Variante nach Anspruch 1 dadurch erreicht werden, daß die Bedampfungsquelle so angeordnet wird, daß die Verdampfernormale die Trommelachse nicht schneidet.

Gemäß der Variante nach Anspruch 2 ist In der Verdampfernormale eine Blende vorgesehen, die den senkrechten Einfall des Strahls auf die Trommeloberfläche verhindert.

Die Erfindung wird im folgenden anhand von Ausführungsbeisplelen unter Bezugnahme auf die beiliegenden schematischen Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen

Fig. 2 einen senkrechten Schnitt durch eine erste Ausführungsform einer Vorrichtung zur Durchführung des erflndungsgemäßim Verfahrens,

Fig. 3 und 4 zur Erläuterung der Funktionswelse der Vorrichtung nach Flg. 2,

Fig. 5 eine grafische Darstellung des Verhältnisses zwischen der Koerzitivkraft Oe und dem Abstand χ für die Ansicht nach F i g. 3,

Fig. 6 einen senkrechten Schnitt durch sine zweite Ausführungsform einer Vorrichtung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens,

F i g. 7 einen senkrechten Schnitt durch eine dritte Ausführungsform einer Vorrichtung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens, und

Fig. 8 einen senkrechten Schnitt durch eine vierte Ausführungsform einer Vorrichtung zur Dur.hführung des erfindungsgemäßen Verfahrens.

Wie man aus den Figuren 2 und 3 erkennen kann, wird ein Substrat S aus einer hochmolekularen Verbindung, beispielsweise einer Kunststoff-Folie, von einer Vorratsrolle 22 über Metallrollen 23 zu einer Aufnahmerolle 25 transportiert und dabei über einen großen Teil der Transportstrecke in Anlage an dem Umfang einer drehbaren Trommel 24 gehalten, in der ein geeignetes Heiz- oder Kühlmittel umgewälzt wird, um die Trommel 24 und damit auch das Substrat 15 zu erwärmen oder abzukühlen.

Gegenüber dem Aufdampfbereich des Substrates 15, gemäß der Darstellung In Fl g. 2 also gegenüber dem tiefsten Punkt der Trommel 24, Ist eine Bedampfungsquelle für eine magnetische Substanz 18, wie beispielsweise CO, Fe, Ni, angeordnet, die einen wassergekühlten Schmelzraum 16 aus Kupfer, eine Elektronenkanone 17 und ein Ablenkungs- und Abtastsystem (nicht dargestellt) enthält. Der Schmelzraum 16 1st so angeordnet, daß die Hauptachse seiner Verdampfungsoberfläche senkrecht zur Transportrichtung des Substrates 15 an der Trommel 24 liegt.

Die Elektronenkanone 17 erzeugt einen Elektronenstrahl 19, dei auf die zu verdampfende, magnetische Substanz 18 auftrifft und diese dadurch bis zur Verdampfung erwärmt, wodurch ein Strahl 20 aus der magnetischen Substanz entsteht. Die Einfallsrichtung des Strahls 20 aus der verdampften magnetischen Substanz auf das Substrat 15 auf der drehbaren Trommel 24 wird durch eine Blende 21 gesteuert. Das Vakuumgefäß 14 wird durch eine Vakuumpumpe 26 auf einen Druck von 1,33 χ 10° PA bis 1,33χ10·⁴ΡΑ evakuiert; bei Bedarf wird in dem Vakuumgefäß noch eine geeignete Gasatmosphäre, beispielsweise eine Sauerstoff-Atmosphäre, hergestellt.

In einer Realisierung der Ausführungsform nach Flg. 2 wurde eine drehbare Trommel 24 mit einem Durchmesser von 50 cm und einer Breite von 50 cm benutzt, Die Nebenachse der Verdampfungsoberfläche betrug 3 cm und die Hauptachse 40 cm; das Substrat 15 hatte einen Abstand von 30 cm von der Bedampfungsquelle. Das Vakuumgefäß 14 wurde auf 6,65 χ ία³ PA evakuiert und CO durch eine kW-Elektronenkanone 17 aufgeheizt und verdampft, so daß eine dünne magnetische Schicht von 120nm auf einem als Substrat 15 dienenden Polyesterfilm von <·Λ cm Breite hergestellt wurde.

(Der Polyesterfilm wurde vorher mit einer dünnen AIumlniumschlcht von 50 ,im Dicke beschichtet.)

Der auf diese Welse Hergestellte bandförmige, magnetische Aufzeichnungsträger wurde in Magnetbänder von 3,80 mm Breite geschnitten, auf die Signale von 1 kHz aufgenommen und wiedergegeben wurden. Im Vergleich mit herkömmlichen magnetischen Aufzeichnungsträgern mit entsprechenden dünnen ferromagnetischen Schichten, die mit dem bekannten Verfahren hergestellt worden waren, hatte das Ausgangssignal bei der Wiedergabe eine Verbesserung von 4 bis 6 dB. Dieser magnetische Aufzeichnungsträger hat also eine sehr hohe Aufnahmedichte pro Volumeneinheit, d. h., dieses Verfahren ist insbesondere für die Herstellung von Magnetbändern mit langer Aufnahmezeit geeignet. Dieses sehr günstige magnetische Verhalten wird durch die genaue Verteilung der Koerzitivkräfte erreicht, die wiederum auf die Verwendung der Blende 21 zurückzuführen Ist, die den Strahl des verdampften Materials so einstellt, daß er unter einem Winkel von mehr als 22° auf das Substrat 15 fällt.

Wie man in Fig. 3 erkennen kann, schneidet eine im Zentrum der Verdampfungsoberfläche errichtete Normale die Achse O der drehbaren Trommel nicht. Die räumliche Anordnung und die Abmessungen der drehbaren Trommel und der Bedampfungsquelle können in Abhängigkeit von den angestrebten Eigenschaften der magnetischen Aufzeichnungsträger variiert werden. Wenn das Substrat ajs einer hochmolukularen Verbindung besteht, sollte der Abstand /' (siehe Fig. 3) zwischen dem Substrat und der Bedampfungsquelle so klein wie möglich gemacht werden, wobei selbstverständlich eine Beschädigung des Substrates aufgrund der Strahlungshitze der Verdampfungsquelle 16 vermieden werden muß; andererseits sollt der Abstand χ zwischen der Senkrechten durch die Achse der drehbaren Trommel 24 und der Normalen auf der Mitte der Bedampfungsquetie 18 seitlich versetzt zur Vorratsrolle 22 hin (siehe Fig. 3) so groß wie in der Praxis möglich gemacht werden.

Bei den hier beschriebenen Ausführungsformen Ist die Verdampfungsoberfläche im allgemeinen nicht so flach, so 0 JJ sich der Begriff ,,Verdampfungsoberfläche" allgemein auf eine Projektion auf eine Ebene bezieht, wie man in Fi g. 4 erkennen kann. Dabei wird dit Senkrechte g, der Verdampfungsoberfläche im Mittelpunkt dieser Ebene konstruiert.

Flg. 5 zeigt ein Beispiel der mit der ersten Ausführungsform des Verfahrens erzielten Wirkung, nämlich das Verhältnis zwischen der Koerzitivkraft Oe und dem Abstand x, wenn die Entfernung / (siehe Fig. 3) 250 mm beträgt. Es läßt sich erkennen, daß die Koerzitivkraft im Vergleich mit einem Verfahren, bei dem der Abstand x = 0 Ist, um nahezu das Zweifache ansteigt.

Bei Bedarf kann ein nicht dargestelltes Einlaßventil vorgesehen werden, um Ströme geeigneter Gase in die Nähe des Bereiches des Substrates zu bringe,1, In dem die dünne ferromagnetische Schicht abgelagert wird. Ais-Gase können beispielsweise Sauerstoff, O₂ + Ar oder O₂ + H₂ verwendet werden.

Die räumliche /.nordnung, die Abmessung und die Einstellung des Gaselnlasses werden so ausgelegt, daß die Gasströme in der Nähe des Substrates den Gleichgewichtszustand erreichen. Die Auslegung djr Gaseinlässe hängt also von der Breite des Substrates, dem Durchmesser der Trommel, der Entfernung Substrat/Verdampfungsquelle, der Lage der Gaseinlässe Im Verhältnis zum Pumpensystem und von der Kapazität des Pumpensystems ab.

Bei einer weiteren Realisierung der Vorrichtung nach I'lg I wurde eine drehbare Trommel mit einem Durchmesser von 300 mm ein Substrat mil einer Breite von l50nm und eine 12 kW Elektronenkanone verwendet. Der kleinste Abstand zwischen dem Substrat und der Bedampfungsquelle lap hei 250 mm: der kleinste Absland /wischen dem Substrat und dem Einlaß für das Gas betrug 5 mm. der kleinste Abstand zwischen der Bedampfungsquelle und dem Gaseinlaß war 275 mm. f^:.s wurde eine Vakuumkammer mit einem Volumen von IOC I benutzt. Der Abstand von der Mitte der Auslaßöffnungen zur Bedampfungsquelle betrug 400 mm. und der Abstand \on der MiHe der Auslaßöffnungen zum Ciaseinlaß betrug 600 mm. Als magnetische Substanz wurde eine Mischung aus CO (¹JS V.) und Ni (2'i>) oder CO (95 ) und V (5' ) verwendet Als Substrat wurde ein

Tabelle I

I'olyethylentherepthalal-Fllm mit einer Dicke von 15 [im eingesetzt, auf dem im Vakuum durch Bedampfen bei 1.33 χ 10' I¹A eine Kupferschicht von 30 nm hergestellt worden war.

Die folgende Tabelle 1 /clgt einen Vergleich der magnetischen Eigenschaften der magnetischen Aufzeichnungsträger, die mit dieser Vorrichtung hergestellt worden sind, mit magnetischen Aufzeichnungsträgern, die mit herkömmlichen Verfahren hergestellt wurden.

Aus Tabelle I Ist ersichtlich, daß die magnetischen Eigenschaften, die bei der Wiedergabe erzeugten Ausgang.sslgnale und die Korrosionsbeständigkeit der mit dem erflndungsgemaßen Verfahren hergestellten magnetischen Aufzeichnungsträgern den entsprechenden lilgenschaften der herkömmlichen magnetischen Aufzeichnungsträger überlegen sind.

Eigenschaften

des Bandes

Magnetische-. i.inliihrung von Verrückungs- Koerzitiv Quadr.

Material Sauerstoff geschwindigkeit kraft llyste- Cieschwintligkeit

des Substrats rese-Ver- 4.75 cm/s OdB

hältnis Ware C-120

Co 98' Ni 2\ NO-,

0.05 1/miii 12 m/min

a, Co 98 Ni 2% NO-.

J 0.09 l/min 12 m/min

■f Co 98¹¹.. Ni 2"λ NO>

— 0.12 l/min 12 m/min

Co 45" V 5¹O NO-.

(1.05 l/min 12 m/min

Co 95\ V 5'" NO.·.

0.09 l/min 12 m/min

Ar 0.09 /min

^. Co 48 Ni 2' keiner 12 m/min

I Co 48 - Ni 2 0.2 l/min vom 12 m/min
;= Ventil

^ Co 95 V 5":· 0.2 l/min vom 12 m/min
Ventil

Die Aufheizung des zu verdampfenden Materials muß nicht mit einem Elektronenstrahl, sondern kann auch mit einer Widerstands- oder Induktionsheizung erfolgen.

Wie bereits erwähnt wurde, wird durch die hohle Trommel 24 ein Heiz- oder Kühlmittel im Umlauf geführt, um die Temperatur der Trommeloberfläche und damit des Substrates einzustellen, wodurch die Koerzitivkraft und die Remanenz der erzeugten magnetischen Schicht exakt gesteuert werden kann.

In Fig. 6 ist eine zweite Ausführungsform einer Vorrichtung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens dargestellt, bei der das Substrat 15 um mehrere zylindrische Trommeln 24A-24D herumgeführt wird. Da die Temperatur jeder einzelnen drehbaren Trommel 24A-24D unabhängig von der Temperatur der anderen Trommeln sesicuert werden kann, lassen sich die ferrorn2°netischen dünnen Schichten bei der gleichen Temperatur ausbilden. Es Ist sehr wesentlich, das Substrat 15 wäh-1 Oe =
.τ
A/m

Oe 0.91

Oe 0.92

Oe 0.90

Oe 0,88

Oe 0.86

Oe 0.5

Oe 0.6

Oe

0.55

+ 1-2 dB
+ 2-3 dB
+ 2-4 dB
+ 1-3 dB
+ 2 dB

- 15 dB

- 18 dB

- 19 dB

bestancligkeit

Reist nach IfKl Stunden

keiner
keiner
keiner
keiner
keiner

Fleckiger Rost
v. 2-3 / cm-¹

Fleckiger Rost
v. 0.5 / cm²

Fleckiger Rost
v. 0.1-0.5/cm²

rend der gesamten Bedampfung auf der gleichen Temoeratur zu halten, damit magnetische Aufzeichnungsträger mit identischen magnetischen Eigenschaften erzeugt werden können. In Fig. 6 sind außerdem eine Stromquelle 27 for eine Heizeinrichtung 28, isolierte Anschlüsse 29 für die Verbindung der Stromquelle 27 mit der Heizeinrichtung 28, ein Pumpensystem 30 und mehrere Blenden zu erkennen, die sich zwischen der Bedampfungsquelle und den verschiedenen Trommeln befinden und verhindern, daß der Strahl senkrecht auf die Trommeloberfläche auftrifft.

In Fig. 1 ist eine dritte Ausführungsform einer Vorrichtung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens dargestellt, deren Aufbau im wesentlichen dem der ersten Ausführungsform nach Fig. 1 ähnelt, wobei jedoch eine zusätzliche Blende 3V vorgesehen ist, so daß der von der Bedampfungsquelle abgegebene Strahl in zwei getrennte Strahlen 20 aufgeteilt wird, die an der

Blende b/w. Maske .11" vorbei schriig auf die Oberfläche des Substrates 15 auf der Trommel 24 aufircffcn und die dünne magnetische Schicht bilden.

Selbstverständlich Ist es bei einer Modifikation tier Vorrichtung nach Fl g. 7 auch möglich, den von der "· Bedampfungsquelle erzeugten Strahl In mehr als zwei Teilstrahlen 20 aufzuteilen; die Aufteilung In nur zwei Strahl; 1 20 wird jedoch bevorzugt verwendet, da so die magnetischen Figenschaften der abgelagerten, dünnen ferromagnetlsehen Schichten verbessert werden können, ι«

Der Ablagerungsgrad, d. h. das Verhältnis der Menge der auf dem Substrat abgelagerten l'erromaunetIschen Substanz zur Menge der verdampften fermmagnellsehcn Substanz, kann dadurch verbessert werden, dall mehrere drehbare Trommeln vorgesehen werden, wie Im elnzcl- ι, nen unter Bezugnahme auf Flg. S beschrieben wird, die eine vierte Ausfilliningsform einer Vorrichtung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens zeigt, liei dieser Auslührurmsform wi- I das Substrat 15 nn mehreren drehbaren Trommeln 24, 24" und 24" :<> vorbelgeführt und den Strahlen der verdampften. ferromagnetischen Substanz ausgesetzt, die durch Blenden .M'. .11" und .T" In mehrere Teilstrahlen 20 aufgeteilt worden sind. Die Temperaturen der verschiedenen drehbaren Trommeln 24. 24" und 24" werden jeweils unab- y, hangig voneinander eingestellt. Dadurch können die magnetischen Eigenschaften der erzeugten ferromagnetischen Schichten welter verbessert und stabilisiert werden. Beispielswelse werden die Temperaturen der drehbaren Trommel 24, 24' und 24" auf - 10" C. - 15' C bzw in -25' Γ eingestellt, so daß sich die Temperatur des Substrates 15 praktisch nicht erhöht. Dadurch kann die ferromagnetische Substanz bei der gleichen Temperatur aulgebracht werden, so daß eine gleichmüßige Verteilung der kocrzltlvkrafte gewährleistet Ist und das quadratische Hysterese-Verhältnis verbessert werden kann.

Bei einer praktischen Realisierung der Vorrichtung naih Fig. 7 betrug der Durchmesser der drehbaren Trommel 24 500 mm. während die Blende 3Γ eine Breite von 70 mm hatte. CO wurde durch eine 15 kW Widerstandsheizung In einer Vakuumkammer mit einem Unterdruck von 6,65XlO¹FA erwärmt und verdampft und dadurch auf ein Polyethylcnterephthalat-Substrat mit einer Dicke von 150 nm abgeschieden. Das quadratische Hysterese-Verhältnis der hergestellten magnetischen Schicht betrug 0.87, tile Koerzitivkraft .11.0.1 >-10'A/m und die nachgesältlgte Flußdichte I." lesla.

Dei der Vorrichtung nach I⁷Ig. 7 beträgt der Ablagerungswirkungsgrad ungefähr .10'V und ungefähr 40^[v. bei der Vorrichtung nach Flg. S. Im Vergleich mit dem Ablagerungswirkungsgrad herkömmlichen Verfahrens rrL'lht siih eine Vprhpsspmnt' um mehr ;ils rl.'S /rhn. lache.

Mit der Hinrichtung der in I ι g. 2 gezeigten Art wurde eine dünne Cr-Sehieht mit einer Dicke von .15 nm und eine dünne Fc-Schlcht mit einer Dicke von 50 nm abwechselnd auf ein Substrat (Polyelhylentcrphthalat-IiIm) von Ι5μπι Dicke abgelagert, um ein magnetisches Band mit einer Schichtdicke von l70nm zu bilden. Um die Adhäsionskraft der dünnen Schicht zu prüfen, wurden Klebebänder bi-nutzt: es ergab sich, daß das Gewicht nach der Prüfung .'wischen 50 und 20^ schwankt. Die Variation im Ausgang (Empfindlichkeit) bei Wiedergabe in I iincsrichtung war - .IdB. Diese Ergebnisse wurden erhalten, wenn das Magnetband über die ganze Länge von 2 500 m geprüft wurde.

Hierzu 5 Blatt Zcichnuncen

Claims

Patentansprüche:

1. Verfahren zur Herstellung eines bandförmigen, magnetischen Aufzeichnungsträgers durch Schräg-Bedampfung eines Substrates mit einer magnetischen Schicht, dadurch gekennzeichnet, daß die Bedampfung auf das an einer heiz- oder kühlbaren Trommel anliegende Substrat erfolgt, wobei die Bedampfungsquelle so angeordnet wird, daß die Verdampfernormale die Trommelachse nicht schneidet.

2. Verfahren zur Herstellung eines bandförmigen, magnetischen Aufzeichnungsträgers durch Schräg-Bedampfung eines Substrates mit einer magnetischen Schicht, dadurch gekennzeichnet, daß die Bedampfung auf das an einer heiz- oder kühlbaren Trommel anliegende Substrat erfolgt, wobei die Bedampfungsquelle so angeordnet wird, daß die Verdampfernormale die Trommelachse schneidet, und wobei In der Verdampfernormale eine Blende vorgesehen wird.

3. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß mehret ε drehbare Trommeln verwendet werden, deren Temperatur unabhänigig voneinander gesteuert wird.

4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Bedampfung bei Anwesenheit eines Sauerstoff enthaltenden Gasstroms in der Nähe des Substrates durchgeführt wird.

5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß das verdampfte magnetische Material teilweise ionisiert wird.