DE3241775C2 - - Google Patents

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Description

Die Erfindung betrifft einen magnetischen Aufzeichnungs­ träger nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
Magnetische Aufzeichnungsträger vom Beschichtungstyp finden breite Anwendung. Derartige magnetische Aufzeichnungs­ träger werden dadurch hergestellt, daß man magnetische Teilchen in einem Bindemittel dispergiert, die erhaltene Dispersion auf Schichtträger aufträgt und diese Dispersion trocknet. Bei den magnetischen Aufzeichnungsträgern dieses Typs kann nicht auf die Verwendung des Bindemittels ver­ zichtet werden, und es gibt eine untere Grenze für die Verminderung der Dicke des Aufzeichnungsträgers, um ihn für eine Aufzeichnung mit hoher Aufzeichnungsdichte ver­ wenden zu können.
In jüngerer Zeit haben magnetische Aufzeichnungsträger vom sogenannten bindemittelfreien Typ, bei denen keine Binde­ mittel verwendet werden, Aufmerksamkeit erregt, da sie in der Lage sind, das starke Bedürfnis nach einer Aufzeich­ nung mit hoher Aufzeichnungsdichte zu befriedigen. Die magnetischen Aufzeichnungsträger dieses Typs weisen magnetische Aufzeichnungsschichten auf, die aus dünnen ferro­ magnetischen Metallschichten bestehen, die unter Anwendung eines Aufdampfverfahrens wie Vakuumverdampfen oder unter Anwendung eines elektrochemischen Verfahrens wie Galvani­ sieren oder stromloses Metallieren gebildet wurden. Es wurden dabei verschiedene Anstrengungen unternommen, magnetische Aufzeichnungsträger vom bindemittelfreien Typ zu entwickeln, die für die praktische Verwendung geeignet sind.
Dabei ist insbesondere das Verfahren zum Bedampfen im Vakuum vorteilhaft, da bei ihm im Gegensatz zu einem Galva­ nisier-Verfahren keine Abwasserbehandlung erforderlich ist, da ferner das Verfahren zur Herstellung des Aufzeich­ nungsträgers einfach ist und da auch die Geschwindigkeit der Abscheidung der dünnen Schicht höher ist als bei jedem anderen Verfahren.
Wenn ein magnetisches Band, das eine durch Vakuumaufdampfen einer dünnen ferromagnetischen Schicht gebildete Auf­ zeichnungsschicht aufweist, mit einem üblichen Magnetband vom Beschichtungstyp verglichen wird, so weist ein Band der zuerst genannten Art eine außerordentlich viel höhere Wiedergabe-Leistung auf, und die Wiedergabe-Leistungs-Fre­ quenz-Kennwerte erstrecken sich weit zur Seite der kurzen Wellenlängen. Um gute magnetische Kennwerte eines durch Vakuumaufdampfen hergestellten Magnetbandes zu erhalten, wurde vorgeschlagen, das Aufdampfen durchzuführen, während man Sauerstoff in die Vakuumkammer einführt. Dieses vorge­ schlagene Verfahren ist jedoch nicht völlig befriedigend, wenn man die Haltbarkeit der erhaltenen Magnetbänder und die Haftung zwischen der dünnen ferromagnetischen Schicht und dem Schichtträger betrachtet.
Aus "Japan Abstracts", Kakai, Nr. 53-1505 ist ein magnetischer Aufzeichnungsträger bekannt, bei dem ein magnetisches Metall, das ein nicht magnetisches Metalloxid bildet, zur Bildung einer magnetisch trennenden Schicht zwischen zwei magnetischen Schichten verwendet wird. Im wesent­ lichen die gleiche Struktur ist "Japan Abstracts", Kakai, Nr. 53-85 404 zu entnehmen.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Aufzeich­ nungsträger mit hoher Wiedergabe-Leistung, guter Haltbar­ keit sowie hervorragender Haftung zwischen Aufzeichnungs­ schicht und Schichtträger bereit zu stellen.
Dies wird erfindungsgemäß mit dem in Anspruch 1 gekenn­ zeichneten magnetischen Aufzeichnungsträger erreicht. In den Unteransprüchen sind vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung wiedergegeben.
Der erfindungsgemäße magnetische Aufzeichnungsträger weist eine ausreichend hohe Wiedergabe-Leistung auf und zeigt magnetische Kennwerte im Bereich kurzer Wellenlängen, die die entsprechenden Werte üblicher Magnetbänder vom Be­ schichtungstyp weit übertreffen. Außerdem weist der magne­ tische Aufzeichnungsträger eine gute Haltbarkeit auf und zeigt eine gute Haftung zwischen der Aufzeichnungsschicht und dem Schichtträger.
Bei der vorliegenden Erfindung liegt das Verhältnis der Sauerstoffatome zu den Atomen des magnetischen Metalls in der Nachbarschaft des Schichtträgers im Bereich zwischen 10% bis 40%, vorzugsweise zwischen 15% und 25%, und das Verhältnis in der Nachbarschaft der Oberfläche der Auf­ zeichnungsschicht (wiederum ein Bereich in unmittelbarer Nähe der Oberfläche mit einer Dicke von einigen nm ausge­ nommen) liegt im Bereich zwischen 5% und 20%, vorzugsweise zwischen 5% und 15%. Es wird angenommen, daß ein erfindungsgemäßer magnetischer Auf­ zeichnungsträger deshalb eine verbesserte Haltbarkeit und Haftung zwischen der Aufzeichnungsschicht und dem Schichtträger zeigt, während eine hohe Wiedergabe-Lei­ stung erhalten bleibt, weil die Aufzeichnungsschicht den oben beschriebenen Aufbau aufweist und die Rest-Mag­ netflußdichte, die zu der Wiedergabe-Leistung beiträgt, in Richtung der Oberfläche der Aufzeichnungsschicht, die während der magnetischen Aufzeichnung und Wieder­ gabe in der Nähe eines Magnetkopfs angeordnet ist, zu­ nimmt. In dem Bereich der Aufzeichnungsschicht, der in unmittelbarer Nähe ihrer Oberfläche angeordnet ist (der Bereich mit einer Dicke von einigen 10teln nm unter ihrer Oberfläche), kommt es unvermeidlich zu einer Ad­ sorption von Sauerstoffmolekülen infolge des Kontakts der Oberfläche mit der Umgebungsluft, wobei sich eine an Sauerstoffatomen reiche Schicht bildet. Die Dicke dieser an Sauerstoffatomen reichen Schicht beträgt jedoch im allgemeinen nur einige nm und beeinträchtigt die Aufzeichnungs- und Wiedergabe-Schritte nicht.
Das als aufgedampftes Material gemäß der vorliegenden Erfindung verwendete magnetische Metall kann ein Metall wie Fe, Co oder Ni oder eine Legierung wie Fe-Co, Fe-Ni, Co-Ni, Fe-Co-Ni, Fe-Rh, Fe-Cu, Co-Cu, Co-Au, Co-Y, Co-La, Co-Pr, Co-Gd, Co-Sm, Co-Pt, Ni-Cu, Mn-Bi, Mn-Sb, Mn-Al, Fe-Cr, Co-Cr, Ni-Cr, Fe-Co-Cr, Ni-Co-Cr oder Fe-Co-Ni-Cr sein. Eine Legierung, die 60 Gew.-% oder mehr Co enthält, oder eine Legierung, die 60 Gew.-% oder mehr Co und 2 Gew.-% oder mehr Ni enthält, wird besonders bevorzugt.
Gemäß der vorliegenden Erfindung kann die Aufzeichnungs­ schicht des magnetischen Aufzeichnungsträgers eine einzige dünne magnetische Schicht umfassen, oder zwei oder mehr Schichten, die übereinander angeordnet sind. Es ist auch möglich, eine nicht-magnetische Schicht zwischen dem Schichtträger und der Aufzeichnungsschicht und/oder zwischen den dünnen magnetischen Schichten in der Auf­ zeichnungsschicht anzuordnen.
Die Sauerstoffverteilung über die Dicke der Aufzeichnungs­ schicht kann sich kontinuierlich oder stufenweise ändern. Daher kann dann, wenn die Aufzeichnungsschicht eine Vielzahl von dünnen magnetischen Schichten umfaßt, die dem Schichtträger nächste erste Schicht den maximalen Gehalt an Sauerstoff aufweisen, und der Sauerstoffgehalt kann schrittweise in den weiter vom Schichtträger ent­ fernten Schichten abnehmen.
Nachfolgend wird die Erfindung unter Bezugnahme auf die Figuren noch näher erläutert. Es zeigt
Fig. 1 bis 3 schematische Darstellung von ver­ schiedenen Ausführungsformen von er­ findungsgemäßen magnetischen Auf­ zeichnungsträgern;
Fig. 4 und 5 schematische Darstellungen von Auf­ dampfvorrichtungen zur Herstellung von Magnetbändern, die mit einer dünnen sauerstoffhaltigen ferromagnetischen Schicht versehen sind;
Fig. 6 eine graphische Darstellung, die die Veränderung des Anteils der Sauerstoff­ atome über die Dicke der in Beispiel 1 beschriebenen magnetischen Aufzeichnungs­ träger zeigt; und
Fig. 7 eine graphische Darstellung, die die Ver­ änderung des Anteils der Sauerstoffatome über die Dicke der in Beispiel 2 beschriebenen magnetischen Aufzeichnungsträger zeigt.
Fig. 1 zeigt eine Ausführungsform des erfindungsgemäßen magnetischen Aufzeichnungsträgers, bei dem auf einem nicht-magnetischen Schichtträger 1 eine einzige dünne magnetische Schicht 2 ausgebildet ist. In der dünnen magnetischen Schicht 2 sind Sauerstoffatome so ver­ teilt, daß deren Verhältnis kontinuierlich von der Nachbarschaft zum Schichtträger 1 zur oberen Oberfläche der magnetischen Schicht 2 abnimmt.
Fig. 2 zeigt eine andere Ausführungsform des erfindungs­ gemäßen magnetischen Aufzeichnungsträgers, bei dem die magnetische Aufzeichnungsschicht dünne magnetische Schichten 3 und 4 umfaßt. Bei den jeweiligen dünnen mag­ netischen Schichten 3 bzw. 4 sind die Sauerstoffatome so verteilt, daß deren Anteil kontinuierlich von der Seite, die dem Schichtträger 1 näher ist, zu der Seite, die von diesem weiter entfernt ist, abnimmt.
Fig. 3 zeigt eine weitere Ausführungsform eines er­ findungsgemäßen magnetischen Schichtträgers, bei dem die magnetische Aufzeichnungsschicht dünne magnetische Schichten 5 bis 8 aufweist, die auf dem Schichtträger 1 übereinander angeordnet sind. In den dünnen magnetischen Schichten 5 bis 8 sind die Sauerstoffatome innerhalb einer jeden Schicht annähernd gleichförmig verteilt, wobei jedoch ihr Anteil von Schicht zu Schicht unterschiedlich ist. Und zwar ist der Gehalt an Sauerstoffatomen in der dünnen magnetischen Schicht 5, die dem Schichtträger 1 am nächsten ist, am größten, und er nimmt in den dünnen magnetischen Schichten 6 bis 8, die weiter vom Schicht­ träger 1 weg angeordnet sind, schrittweise ab.
Die Dicke der Aufzeichnungsschicht, d. h. die Dicke der dünnen magnetischen Schicht 2 oder die Gesamtdicke der dünnen magnetischen Schichten 3 und 4 oder 5 bis 8 wird im allgemeinen so gewählt, daß sie im Bereich zwischen etwa 0,02 µm und 5,0 µm, vorzugsweise zwischen 0,05 µm und 2,0 µm liegt, um eine ausreichende elektromagnetische Leistung zu sichern und eine Aufzeichnung mit hoher Auf­ zeichnungsdichte zu ermöglichen. Wenn die Aufzeichnungs­ schicht von 2 oder mehr dünnen magnetischen Schichten gebildet wird, können die dünnen magnetischen Schichten eine Dicke aufweisen, die bei allen Schichten gleich ist, oder die dünne magnetische Schicht oder die dünnen mag­ netischen Schichten, die nicht die dem Schichtträger nächste Schicht sind, können eine Dicke aufweisen, die im Bereich der Dicke der dem Schichtträger nächsten Schicht ±50% liegt.
Das zur Verwirklichung der vorliegenden Erfindung durch­ geführte Verfahren umfaßt nicht nur das übliche Vakuum­ aufdampfverfahren, wie es in der US-PS 33 42 632 be­ schrieben ist, sondern auch die Verfahren zur Erzeugung einer dünnen Schicht auf einem Schichtträger unter Ver­ fahrensbedingungen, bei denen die mittlere freie Weg­ länge der verdampften Moleküle groß ist, durch Ioni­ sieren oder Beschleunigen des Dampfstroms unter Verwen­ dung eines elektrischen Feldes, eines magnetischen Feldes oder eines Elektronenstrahls, z. B. das Aufdampfverfahren unter Anwendung eines elektrischen Feldes, wie es in der offengelegten japanischen Patentanmeldung 51(1976)- 1 49 008 beschrieben ist, oder das unter Ionisierung ab­ laufende Aufdampfverfahren, wie es in den JP-PS 43(1968)-11 545, 46(1971)-20 484, 47(1972)-26 579 und 49(1974)-45 439 oder in den offengelegten japanischen Patent­ anmeldungen 49(1974)-33 890, 49(1974)-34 483 und 49(1974)-54 235 beschrieben ist. Das Verfahren zur Be­ dampfung mit schrägem Einfallswinkel, wie es bei­ spielsweise in der US-PS 33 42 632 beschrieben ist, ist dabei ganz besonders vorteilhaft.
Der Sauerstoff kann in die dünne magnetische Schicht oder in die dünnen magnetischen Schichten des erfindungs­ gemäßen magnetischen Aufzeichnungsträgers unter Anwendung irgendeines bekannten Verfahrens eingelagert werden, bei dem ein magnetisches Metall oder eine magnetische Legierung in einer sauerstoffhaltigen Atmosphäre verdampft und auf einem nicht-magnetischen Schichtträger abge­ schieden wird.
Um den Gehalt des Sauerstoffs über die Dicke der Auf­ zeichnungsschicht kontinuierlich zu verändern, ist es möglich, das Verfahren anzuwenden, wie es in der japa­ nischen Patentanmeldung No. 56(1981)-1 39 095 beschrieben ist.
Nachfolgend wird die Erfindung anhand von Ausführungs­ beispielen weiter erläutert.
Beispiel 1
Magnetbänder wurden dadurch hergestellt, daß in einer Aufdampfvorrichtung vom Aufwickeltyp, wie sie in den Fig. 4 und 5 gezeigt ist, auf einer 15 µm dicken Polyethylenterephthalatfolie eine dünne magnetische Kobaltschicht ausgebildet wurde. Wie in den Fig. 4 und 5 dargestellt ist, wurde dabei ein bandartiger Schicht­ träger 13 in Richtung der Pfeile 13 über eine zylindrische Kühltrommel 11 bewegt, die in einer Vakuumkammer S1 angeordnet ist, die nur teilweise gezeigt ist. Eine Verdampfungsquelle 14, die ein aufzudampfendes mag­ netisches Material enthält, wurde unter der zylindrischen Kühltrommel 11 angeordnet, und der Dampfstrom aus dem ab­ zuscheidenden magnetischen Material wurde mit schräger Einfallsrichtung unter Verwendung einer Maske 15 auf dem sich bewegenden Schichtträger 12 abgeschieden. Das Aufdampfen wurde durchgeführt, während sich der Ein­ fallswinkel des Dampfstroms bezüglich des Schichtträgers 12 kontinuierlich von R max bis R min verändert, während sich der Schichtträger 12 über die Kühltrommel 11 bewegt. Aus einem Einlaßabschnitt 16 für ein oxidierendes Gas wurde ein oxidierendes Gas zugeführt, wobei die Zu­ führung in der Nachbarschaft des Abschnitts erfolgte, der wie in Fig. 4 gezeigt in der Nachbarschaft des Teils des Dampfstroms angeordnet war, in dem dieser unter dem Winkel R max auftraf, oder aus einem Zu­ führabschnitt 16′ für ein oxidierendes Gas, der in der Wand der Vakuumkammer S1 in Fig. 5 angeordnet war.
Die Verdampfungsquelle 14 war vom Elektronenstrahl-be­ heizten Typ, und während des Aufdampfens wurde der Sauerstoff-Partialdruck auf einen Wert von 1,333×10-2 Pa (1×10-4 Torr) eingestellt. Jede erhaltene magnetische Schicht wies eine Dicke von 150 nm (1500 Å) auf, und ihre Koerzitivkraft betrug 71 622 A/m (900 Oe). Die Zusammensetzung der magnetischen Schichten, wie sie durch Auger-Spektroskopie bestimmt wurde, war wie in Fig. 6 gezeigt, wobei die Probe A das Magnetband war, das unter Verwendung der Vorrichtung gemäß Fig. 4 hergestellt worden war, und Probe B das Magnetband war, das unter Verwendung der Vorrichtung gemäß Fig. 5 hergestellt worden war. In Fig. 6 beruhen die Zunahmen des Sauerstoff­ gehalts in der Nähe der Oberflächen der magnetischen Schichten der Proben A und B auf der Adsorption von Sauerstoff, der in der Umgebungsluft enthalten ist, an den Oberflächen der magnetischen Schicht. Die Haftung zwischen den magnetischen Schichten und den Schicht­ trägern, die Haltbarkeit und die elektromagnetischen Übertragungs-Kennwerte der erhaltenen Magnetbänder wurden unter Verwendung eines Video-Bandgeräts vom VHS-Typ bestimmt. Die erhaltenen Ergebnisse sind in Tabelle 1 gezeigt, in der die Wiedergabe-Leistung so angegeben wurde, daß die eines Magnetbandes vom Beschichtungstyp als O dB angenommen wurde.
Tabelle 1
Die Haftung zwischen den magnetischen Schichten und den Schichtträgern wurde in Abziehversuchen unter Verwen­ dung von klebenden Cellophanbändern bestimmt.
Beispiel 2
Die Magnetbänder gemäß den Proben C und D wurden da­ durch hergestellt, daß man 3 Kobalt-Nickel-Schichten (Ni: 20 Gew.-%) mit einer Gesamtdicke von 120 nm (1200 Å) auf Schichtträgern in der in Fig. 5 gezeigten Vorrichtung erzeugte. Bei der Herstellung der Probe C wurden die erste Schicht, die zweite Schicht und die dritte Schicht bei einer am Schichtträger beginnenden Zählung bei Sauerstoffpartialdrucken von 1,87×10-2 Pa (1,4×10-4 Torr), 1,60×10-2 Pa (1,2×10-4 Torr) und 1,33×10-2 Pa (1,0×10-4 Torr) abgeschieden. Bei der Herstellung der Probe D wurden alle drei Schichten bei einem Sauerstoffpartialdruck von 1,60×10-2 Pa (1,2×10-4 Torr) aufgedampft. Die Sauerstoffverteilungen über die Dicke der Schichten, wie sie durch Auger-Analyse erhalten wurden, war dabei so wie in Fig. 7 gezeigt. In Fig. 7 beruhen die erhöhten Sauerstoffgehalte in der Nähe der Oberflächen der Aufzeichnungsschichten mit den drei magnetischen Schichten bei den Proben C und D auf der Adsorption von Sauerstoff aus der Umgebungs­ luft an den Oberflächen der Aufzeichnungsschichten.
Tabelle 2
Die elektromagnetischen Übertragungs-Kennwerte der Proben C und D, wie sie unter Verwendung eines Video- Bandgerätes vom VHS-Typ bestimmt wurden, waren wie in Tabelle 2 wiedergegeben. Außerdem zeigten Haftversuche, die genau wie im Fall von Beispiel 1 durchgeführt wurden, daß die Probe C eine bessere Haftung aufwies als die Probe D.

Claims (11)

1. Magnetischer Aufzeichnungsträger mit einer magnetischen Aufzeichnungsschicht, die Sauerstoffatome enthält, in dem ein ferromagnetisches Metall oder eine ferromagnetische Legierung in einer sauerstoffhaltigen Atmosphäre verdampft und auf einen nicht-magnetischen Schichtträger abgeschieden wird, dadurch gekennzeichnet, daß der Anteil der Sauerstoffatome sich in Richtung von der dem Schichtträger nächsten Seite zu der Oberfläche des Aufzeichnungsträgers allmählich vermindert, ausgenommen den in unmittelbarer Nähe der Oberfläche der Aufzeich­ nungsschicht liegenden Bereich.
2. Magnetischer Aufzeichnungsträger nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Aufzeichnungsschicht nach einem Verfahren unter Aufdampfen mit einem schrägen Ein­ fallswinkel gebildet wurde.
3. Magnetischer Aufzeichnungsträger nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Aufzeichnungsschicht in der Hauptsache aus Kobalt, Nickel und Sauerstoff zu­ sammengesetzt ist.
4. Magnetischer Aufzeichnungsträger nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Aufzeichnungsschicht in der Hauptsache aus Kobalt und Sauerstoff zusammenge­ setzt ist.
5. Magnetischer Aufzeichnungsträger nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Aufzeichnungsschicht eine Vielzahl von abgeschiedenen dünnen magnetischen Schichten (3, 4; 5, 6, 7, 8) umfaßt.
6. Magnetischer Aufzeichnungsträger nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß jede abgeschiedene magne­ tische Schicht Sauerstoffatome in einer solchen Weise enthält, daß der Anteil der Sauerstoffatome sich in der Richtung von der dem Schichtträger nächsten Seite zu der vom Schichtträger abgewandten Seite allmählich vermindert.
7. Magnetischer Aufzeichnungsträger nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Sauerstoffatome in jeder abgeschiedenen magnetischen Schicht etwa gleich­ mäßig verteilt sind, und daß eine abgeschiedene magne­ tische Schicht, die näher am Schichtträger angeordnet ist, einen höheren Gehalt an Sauerstoffatomen aufweist.
8. Magnetischer Aufzeichnungsträger nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Verhältnis von Sauer­ stoffatomen zu Atomen des magnetischen Metalls in der Nachbarschaft des Schichtträgers im Bereich zwischen 10% und 40% liegt, und daß das Verhältnis in der Nach­ barschaft der Oberfläche der Aufzeichnungsschicht mit Ausnahme des Bereichs dieser Aufzeichnungsschicht, der in unmittelbarer Nähe ihrer Oberfläche liegt, im Bereich zwischen 5% und 20% liegt.
9. Magnetischer Aufzeichnungsträger nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß das Verhältnis in der Nach­ barschaft des Schichtträgers im Bereich zwischen 15% und 25% liegt, und daß das Verhältnis in der Nachbar­ schaft der Oberfläche der Aufzeichnungsschicht, einen Bereich der Aufzeichnungsschicht in unmittelbarer Nähe ihrer Oberfläche ausgenommen, im Bereich zwischen 5% und 15% liegt.
10. Magnetischer Aufzeichnungsträger nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Aufzeichnungsschicht eine Dicke im Bereich zwischen etwa 0,02 µm und 5,0 µm aufweist.
11. Magnetischer Aufzeichnungsträger nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Aufzeichnungsschicht eine Dicke im Bereich zwischen etwa 0,05 µm und 2,0 µm aufweist.
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Families Citing this family (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5958804A (ja) * 1982-09-28 1984-04-04 Matsushita Electric Ind Co Ltd 磁気記録媒体
JPS59201221A (ja) * 1983-04-29 1984-11-14 Tdk Corp 磁気記録媒体およびその製造方法
JPS59203238A (ja) * 1983-04-30 1984-11-17 Tdk Corp 磁気記録媒体の製造方法
JPS60154323A (ja) * 1984-01-20 1985-08-14 Sony Corp 磁気記録媒体
CA1235485A (en) * 1984-01-20 1988-04-19 Kenji Yazawa Magnetic recording medium
JPH0766507B2 (ja) * 1984-02-16 1995-07-19 コニカ株式会社 磁気記録媒体
CA1235808A (en) * 1984-03-22 1988-04-26 Tetsuo Oka Vertical magnetic recording medium and process for preparation thereof
JPS6126925A (ja) * 1984-07-17 1986-02-06 Matsushita Electric Ind Co Ltd 磁気記録媒体
JPH0778865B2 (ja) * 1984-10-15 1995-08-23 株式会社東芝 磁気記録媒体及びその製造方法
KR890004257B1 (ko) * 1984-10-29 1989-10-28 니뽕 빅터 가부시끼가이샤 자기 기록매체 및 그 제조법
JPS61122925A (ja) * 1984-11-19 1986-06-10 Matsushita Electric Ind Co Ltd 記録媒体の製造方法
JPH0610871B2 (ja) * 1984-12-25 1994-02-09 ティーディーケイ株式会社 磁気記録媒体
JPH0777018B2 (ja) * 1985-05-27 1995-08-16 住友金属鉱山株式会社 磁気記録媒体
DE3685219D1 (de) * 1985-06-21 1992-06-11 Sumitomo Metal Mining Co Magnetisches speichermedium.
CA1315612C (en) * 1986-03-18 1993-04-06 Shogo Nasu Perpendicular magnetic storage medium
JPS63152017A (ja) * 1986-12-16 1988-06-24 Fuji Photo Film Co Ltd 磁気記録媒体
JPH0654535B2 (ja) * 1987-03-30 1994-07-20 富士写真フイルム株式会社 磁気記録媒体
US4904543A (en) * 1987-04-23 1990-02-27 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Compositionally modulated, nitrided alloy films and method for making the same
DE3803000A1 (de) * 1988-02-02 1989-08-10 Basf Ag Flaechenfoermiges, mehrschichtiges magneto-optisches aufzeichnungsmaterial
US5316631A (en) * 1989-02-16 1994-05-31 Victor Company Of Japan, Ltd. Method for fabricating a magnetic recording medium
JP2516064B2 (ja) * 1989-02-28 1996-07-10 日本ビクター株式会社 磁気記録媒体とその製造方法
JP2554277B2 (ja) * 1989-03-31 1996-11-13 富士写真フイルム株式会社 磁気記録媒体
US5066552A (en) * 1989-08-16 1991-11-19 International Business Machines Corporation Low noise thin film metal alloy magnetic recording disk
JP2913684B2 (ja) * 1989-08-28 1999-06-28 ソニー株式会社 磁気記録媒体
US5062938A (en) * 1990-01-16 1991-11-05 International Business Machines Corporation High coercivity low noise cobalt alloy magnetic recording medium and its manufacturing process
JP2700215B2 (ja) * 1990-11-24 1998-01-19 株式会社エース電研 パチンコゲーム機
US6413608B1 (en) 1999-06-18 2002-07-02 International Business Machines Corporation Seed layer and underlayer with high and low oxygen concentration portions for hand disk magnetic recording medium on a glass substrate
US9127365B2 (en) * 2008-02-16 2015-09-08 HGST Netherlands B.V. Generation of multilayer structures in a single sputtering module of a multi-station magnetic recording media fabrication tool

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1599161A (en) * 1976-07-15 1981-09-30 Matsushita Electric Ind Co Ltd Magnetic recording medium and method of making the same

Also Published As

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JPS5883328A (ja) 1983-05-19

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