DE69211945T2

DE69211945T2 - Magnetisches Aufzeichnungsmedium

Info

Publication number: DE69211945T2
Application number: DE69211945T
Authority: DE
Inventors: Tatsuya Hiwatashi; Mikio Murai; Masaru Odagiri; Yukikazu Ohchi; Kiyoshi Takahashi; Hideyuki Ueda
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Corp
Priority date: 1991-10-25
Filing date: 1992-10-22
Publication date: 1997-02-13
Anticipated expiration: 2012-10-23
Also published as: JP2830544B2; EP0538855A1; EP0538855B1; US5364690A; DE69211945D1; JPH05325175A

Description

Hintergrund der Erfindung

Die Erfindung betrifft allgemein ein metallisches ferromagnetisches Aufzeichnungsmedium und insbesondere ein magnetisches Aufzeichnungsmedium, bei dem die Leistungsfähigkeit einer harten Kohlenstoffschicht, die nach der Bildung einer magnetischen Schicht als Schutzschicht zur Verbesserung der Leistung in der Praxis aufgebracht wird, maximiert werden kann.
Bei metallischen ferromagnetischen Aufzeichnungsmedien, die nach einem Dünnschichtherstellungsverfahren wie Gasphasenabscheidung, Kathodenzerstäubung, Ionenimplantation usw. hergestellt werden, wobei im Vakuum Co, Ni oder Fe oder eine hauptsächlich aus Co, Ni und Fe bestehende Legierung auf ein Substrat aufgebracht werden, das aus einer Polymerfolie, beispielsweise aus Polyester, Polyimid usw., oder aus nichtmagnetischem Metall besteht, kann die Aufzeichnungsdichte im Vergleich zu bekannten beschichteten Magnetaufzeichnungsträgern wesentlich erhöht werden.
Zur Erhöhung der Aufzeichnungsdichte ist es mittlerweile Voraussetzung, nicht nur Aufzeichnungs- und Wiedergabefehler, sondern auch die Abstandsverringerung zwischen Magnetkopf und magnetischem Aufzeichnungsträger zu minimieren. Darüberhinaus muß das magnetische Aufzeichnungsmedium langlebig sein. Bei einem bekannten Verfahren wird, um diesen Anforderungen zu genügen, nach der Bildung einer Magnetschicht auf dieser Magnetschicht eine harte Schicht aus amorphem Kohlenstoff aufgebracht, die als Schutzschicht und als Schmierschicht dient. Im einzelnen schlägt die JP-A-1-245417 (1989) eine Anordnung vor, bei der auf eine metallische ferromagnetische Dünnschicht vor der Bildung einer harten Kohlenstoffschicht eine im Plasma polymerisierte Schicht aufgebracht wird, während die JP-A-3-19122 (1991) offenbart, daß auf einer metallischen ferromagnetischen Dünnschicht eine Graphitschicht aufgebracht wird. Die JP-A-3-83224 (1991) und die JP-A-3-116520 (1991) lehren außerdem, daß eine metallische Carbidschicht oder eine metallische Schicht mit diskontinuierlicher Kristalstruktur auf eine metallische ferromagnetische Dünnschicht aufgebracht wird.
Bei den Anordnungen nach dem Stand der Technik, bei denen auf die metallische ferromagnetische Dünnschicht eine im Plasma polymerisierte Schicht oder eine Graphitschicht aufgebracht wird, ist es jedoch unmöglich, eine hervorragende Haftung zwischen der Metalldünnschicht und der harten Kohlenstoffschicht zu erzielen. Werden die vorgenannten bekannten Anordnungen für Magnetbänder oder Magnetplatten verwendet, führt dies dazu, daß die Magnetbänder nicht lange haltbar sind, während die Magnetplatten den Nachteil haben, daß die harte Kohlenstoffschicht von der Metalldünnschicht abblättert.
Bei den bekannten Anordnungen, bei denen auf die ferromagnetische Metalldünnschicht eine Metallcarbidschicht oder eine metallische Schicht mit diskontinuierlicher Kristallstruktur aufgebracht wird, wird das Metall oder das Metallcarbid während der Bildung der harten Kohlenstoffschicht aufgesputtert, so daß es in die harte Kohlenstoffschicht gelangt und dadurch am Magnetkopf anhaftet. Werden die bekannten Anordnungen für Magnetbänder oder Magnetplatten verwendet, fällt bei den Magnetbändern die Leistung während Aufzeichnung und Wiedergabe ab, während es bei den Magnetplatten dazu kommt, daß sich der Magnetkopf festfrißt.

Zusammenfassung der Erfindung

Eine wesentliche Aufgabe der Erfindung ist es somit, im Hinblick auf die Beseitigung der erwähnten Nachteile des Standes der Technik einen Magnetaufzeichnungsträger zur Verfügung zu stellen, bei dem die Haftung zwischen der ferromagnetischen Metalldünnschicht und der harten Kohlenstoffschicht verbessert ist und verhindert wird, daß während der Bildung der harten Kohlenstoffschicht Metall etc. in die harte Kohlenstoffschicht gelangt.
Diese Aufgabe der Erfindung wird dadurch gelöst, daß ein magnetisches Aufzeichnungsmedium zur Verfügung gestellt wird, welches aufweist: ein nichtmagnetisches Substrat, eine auf dem nichtmagnetischen Substrat gebildete ferromagnetische Metalldünnschicht, eine auf der ferromagnetischen Metalldünnschicht gebildete erste Kohlenstoffschicht und eine auf der ersten Kohlenstoffschicht gebildete harte, amorphe zweite Kohlenstoffschicht, wobei die erste und die zweite Kohlenstoffschicht ein erstes bzw. ein zweites Raman-Spektrum aufweisen, die auf der Raman-Spektralphotometrie basieren, wobei, wenn das erste und das zweite Raman-Spektrum jeweils durch einen Graphen mit rechtwinkligen Koordinaten dargestellt wird, die eine Abszissenachse in cm&supmin;¹ und eine Ordinatenachse, auf der die Spektralintensität aufgetragen ist, aufweisen, und wenn das erste und das zweite Raman-Spektrum in ein erstes Band einer Gauß-Funktion mit einem Peak in der Nähe von 1380 cm&supmin;¹ und in ein zweites Band einer Gauß-Funktion mit einem Peak in der Nähe von 1550 cm&supmin;¹ aufgeteilt werden, wobei das Verhältnis eines Bereiches, der durch das erste Band und die Abszissenachse umschlossen ist, zu einem Bereich, der durch das zweite Band und die Abszissenachse umschlossen ist, eine "relative Intensität" wiedergibt, die erste Kohlenstoffschicht dann eine relative Intensität von 2 bis 20 aufweist, während die zweite Kohlenstoffschicht eine relative Intensität von 0,8 bis 3 aufweist und eine Vickers-Härte von nicht weniger als 1000 kg/mm² und eine Dicke von 50 bis 300 Å besitzt.
Durch den angegebenen Aufbau des erfindungsgemäßen magnetischen Aufzeichnungsmediums wird die Haftung zwischen der ferromagnetischen Metalldünnschicht und der harten, amorphen zweiten Kohlenstoffschicht erhöht, und es wird verhindert, daß Metall etc. in die zweite Kohlenstoffschicht gelangt.
Bei einem Praxistest eines Videomagnetbands zeigt sich deshalb, daß das Magnetband eine lange Festbildhaltbarkeit (still frame life) hat, was ein Maßstab für seine Langlebigkeit ist.
Da kein Metall etc. in die harte, amorphe zweite Kohlenstoffschicht gelangt, wird auch verhindert, daß Metall etc. am Magnetkopf anhaftet. Damit ist der Leistungsabfall während Aufzeichnung und Wiedergabe deutlich verringert.
Wird die Erfindung auf eine Magnetplatte angewendet, blättert außerdem die harte, amorphe zweite Kohlenstoffschicht nicht von der Metalldünnschicht ab, und es bleibt kein Metall etc. am Magnetkopf haften. Beim Kontakt-Start-Stop-Test (KSS) kommt es daher nicht zum Festfressen des Kopfes, so daß die Magnetplatte lange Zeit einsatzfähig ist.

Kurzbeschreibung der Zeichnungen

Aufgabe und Merkmale der Erfindung gehen aus nachfolgender Beschreibung anhand der bevorzugten Ausführungsformen unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen hervor. Es zeigen:
Fig. 1: einen Ausschnitt eines schematischen Schnittbilds eines Magnetbandes in einer ersten erfindungsgemäßen Ausführungsform;
Fig. 2: eine schematische Darstellung eines Geräts zur Herstellung des Magnetbandes von Fig. 1;
Fig. 3: einen Ausschnitt eines Schnittbilds einer Magnetplatte gemäß einer zweiten erfindungsgemäßen Ausführungsform;
Fig. 4: eine schematische Darstellung eines Geräts zur Herstellung der Magnetplatte von Fig. 3;
Fig. 5: eine graphische Darstellung des Ramanspektrums der ersten erfindungsgemäßen Kohlenstoffschicht; und
Fig. 6: eine graphische Darstellung des Ramanspektrums der zweiten erfindungsgemäßen Kohlenstoffschicht.
Es sei darauf hingewiesen, daß in allen Zeichnungen gleiche Teile jeweils mit demselben Bezugszeichen versehen sind.

Ausführliche Beschreibung der Erfindung

Fig. 1 zeigt ein Magnetband 20 gemäß einer ersten Ausführungsform der Erfindung. Das Magnetband 20 beinhaltet ein nichtmagnetisches Substrat 1, eine ferromagnetische Metalldünnschicht 2 auf einer Seite des Substrats 1, eine rückseitige Beschichtung 3 auf der anderen Seite des Substrats 1, eine filmartige oder körnige erste Kohlenstoffschicht 4 auf der Metalldünnschicht 2, eine harte, amorphe zweite Kohlenstoffschicht 5 auf der ersten Kohlenstoffschicht 4 und eine Schmierschicht 6 auf der zweiten Kohlenstoffschicht 5.
Das Substrat 1 ist 3 bis 20 µm dick und besteht aus einem Polyesterfilm. Die Metalldünnschicht 2 ist 0,1 bis 0,2 µm dick und wird durch rhombische Abscheidung einer Co-Ni-Legierung bei Einleitung von Sauerstoff gebildet. Die rückwärtige Beschichtung 3 wird durch Auftragen eines Gemischs von Polyesterharz, Kohlenstoff usw. auf das Substrat 1 gebildet. Die erste Kohlenstoffschicht 4 wird mit einem Dünnschichtherstellungsverfahren im Vakuum, beispielsweise Kathodenzerstäubung, Plasma-Gasphasenabscheidung (CVD) usw. gebildet. Die zweite Kohlenstoffschicht 5 wird durch Plasma-Gasphasenabscheidung usw. gebildet. Die Schmierschicht 6 wird durch Naßbeschichtung oder Abscheidung im Vakuum gebildet.
Fig. 2 zeigt ein Gerät zur Herstellung des Magnetbands 20 von Fig. 1. Das Gerät besitzt eine Vakuumkammer 34, die mit einer Vakuumpumpe 35 verbunden ist. In Fig. 2 ist mit dem Bezugszeichen 20a ein Magnetband bezeichnet, bei dem die ferromagnetische Metalldünnschicht 2 auf dem nichtmagnetischen Substrat 1 vorgesehen ist, während mit Bezugszeichen 20b ein Magnetband bezeichnet wird, bei dem die erste Kohlenstoffschicht 4 und die zweite Kohlenstoffschicht 5 auf der Metalldünnschicht 2 gebildet sind. Das Magnetband 20a ist auf eine Zuführrolle 21 gewickelt und wird von der Zuführrolle 21 durch Verstellung der Zugspannung des Magnetbands 20a abgewickelt. Die Führungsrollen 22 drehen sich im Kontakt mit dem Magnetband 20. Eine Hauptrolle 23 ist gegenüber einem Sockel des Geräts elektrisch isoliert und durch ein Kühlmittel oder ähnliches geerdet. Die Drehung der Hauptrolle 23 wird so gesteuert, daß das Magnetband 20 mit gleichbleibender Geschwindigkeit transportiert wird. Es ist eine Aufnahmerolle 25 vorgesehen, die das Magnetband 20b kontinuierlich aufnimmt. In gleicher Weise wie beim Magnetband 20a wird beim Magnetband 20b die Zugspannung eingestellt.
Das Gerät hat einen ersten Bereich R1 zur Bildung der ersten Kohlenstoffschicht 4 und einen zweiten Bereich R2 zur Bildung der zweiten Kohlenstoffschicht 5. Der erste Bereich R1 weist eine Kammer auf, die von einem Trennblech 29 umschlossen ist. Im ersten Bereich R1 ist ein Sputter-Target 26 mit einer Sputterenergiequelle 28 verbunden. Ausgehend von einer Gleichspannungsversorgung oder einer Wechselspannungsversorgung mit 50 Hz bis 30 MHz oder einer kombinierten Versorgung mit Gleichspannung und Wechsespannung kann die Sputterenergiequelle 28 an das Sputter-Target 26 eine Spannung von maximal -7 kV anlegen. Der Druck in der Kammer des ersten Bereichs R1 kann mittels der durch einen Gaseinlaß 27 in die Kammer eingeleiteten Gasmenge gesteuert werden. Wird durch den Gaseinlaß 27 reaktives Kohlenwasserstoffgas eingeleitet, können die Teile 26 bis 29 auch als Plasma-CVD-Vorrichtung verwendet werden. Die filmartige oder körnige erste Kohlenstoffschicht 4 wird von den Teilen 26 bis 29 gebildet.
Im zweiten Bereich R2 beherbergt eine Plasmadüse 30 zur Bildung der harten, amorphen zweiten Kohlenstoffschicht 5 eine Elektrode 31 zur Erzeugung eines Plasmas. Die Elektrode 31 ist mit einer Energiequelle 33 verbunden. Ausgehend von einer Gleichspannungsversorgung oder einer Wechselspannungsversorgung mit 50 Hz bis 30 MHz oder einer kombinierten Versorgung mit Gleichspannung und Wechselspannung kann die Energiequelle 33 an die Elektrode 31 eine Spannung von 0,05 bis 7 kV anlegen. Eingesetztes reaktives Gas wie H&sub2;, Ar oder ein Kohlenwasserstoff oder ein verdampftes Keton oder ein verdampfter Alkohol usw. wird über einen Gaseinlaß 32 mit einem Partialdruck von 0,5 bis 0,001 Torr in die Plasmadüse 30 eingeleitet. Die Teile 30 bis 33 bilden eine Plasma-CVD-Vorrichtung.
Die Arbeitsweise des Geräts mit dem oben beschriebenen Aufbau wird unter Bezugnahme auf Fig. 2 beschrieben. Zunächst wird die Vakuum kammer 34 mittels der Vakuumpumpe 35 bis zu einer vorgegebenen Vakuumstufe evakuiert. Dann wird das Magnetband 20a, bei dem die ferromagnetische Metalldünnschicht 2 gebildet ist, in engem Kontakt mit der Hauptrolle 23 geführt, so daß es kontinuierlich von der Zuführrolle 21 zur Aufnahmerolle 25 geführt wird. Wenn das Magnetband 20a zur Bildung der ersten Kohlenstoffschicht 4 in den ersten Bereich R1 gelangt, wird Kohlenstoff vom Sputter-Target 26 durch die Spannung der Sputterenergiequelle 28 auf das Magnetband 20a gesputtert sowie Ar-Gas aus dem Gaseinlaß 27. Die Kohlenstoffmoleküle gelangen somit auf die Metalldünnschicht 2, so daß die erste Kohlenstoffschicht 4 auf der Metalldünnschicht 2 gebildet wird. Da die erste Kohlenstoffschicht 4 die ferromagnetische Metalldünnschicht 2 in hochenergetischem Zustand erreicht, wird die erste Kohlenstoffschicht 4 nicht nur teilweise chemisch an die ferromagnetische Metalldünnschicht 2 gebunden, sondern auch stark mechanisch. Durch Einleiten von reaktivem Gas in die Kammer des ersten Bereichs R1 kann die erste Kohlenstoffschicht 4 auch mittels Plasma- Gasphasenabscheidung gebildet werden.
Wenn das Magnetband 20a anschließend zur Bildung der harten, amorphen zweiten Kohlenstoffschicht 5 in den zweiten Bereich R2 gelangt, wird ein Plasmaionenstrom erzeugt und durch das Rohgas aus dem Gaseinlaß 32 und die mit der Energiequelle 33 angelegte Spannung von der Elektrode 31 weg beschleunigt und gelangt auf die erste Kohlenstoffschicht 4 auf der Metalldünschicht 2, die der Elektrode 31 gegenüberliegt, sodaß die harte, amorphe zweite Kohlenstoffschicht 5 auf der ersten Kohlenstoffschicht 4 gebildet wird. Da die filmartige oder körnige erste Kohlenstoffschicht 4 und die harte, amorphe zweite Kohlenstoffschicht 5 über den Kohlenstoff chemisch miteinander verbunden sind, ist die zweite Kohlenstoffschicht 5 über die erste Kohlenstoffschicht 4 sehr stark mit der Metalldünnschicht 2 verbunden. Damit erhöht sich die Festbildhaltbarkeit des Magnetbandes 20 beträchtlich. Da außerdem kein Metall in die harte, amorphe zweite Kohlenstoffschicht 5 gelangt, kann kein Metall am Magnetkopf anhaften, so daß der Leistungsabfall bei Aufzeichnung und Wiedergabe deutlich zurückgeht.
Bei dem für die Praxiserprobung verwendeten Magnetband 20 wird ein etwa 10 µm dicker Polyesterfilm als nichtmagnetisches Substrat 1 verwendet, während die ferromagnetische Metalldünnschicht 2 etwa 1800 Å dick ist und hauptsächlich aus Co besteht. Dabei wird eine filmartige Kohlenstoffschicht mit einer relativen Intensität von 1,8 im 25 im Raman-Spektrum, einer Vickers-Härte von 40 bis 1100 kg/mm² und einer Dicke von 4 bis 350 Å oder eine körnige Kohlenstoffschicht mit einer Korngröße zwischen 15 und 350 Å, einer relativen Intensität von 1,8 bis 20 im Ramanspektrum, einer Vickers-Härte von 80 bis 1100 kg/mm² und einer Dicke von 20 bis 400 Å als erste Kohlenstoffschicht 4 verwendet. Der Begriff "relative Intensität im Raman-Spektrum" wird weiter unten unter Bezugnahme auf die Fig. 5 und 6 ausführlich erläutert. Die genannten Merkmale der ersten Kohlenstoffschicht 4 wie filmartige oder körnige Form, Korngröße, relative Intensität im Raman-Spektrum und Vickers-Härte werden erzielt, indem die Bedingungen wie Druck in der Kammer des ersten Bereichs R1, Spannung der Sputterenergiequelle 28, Abstand zwischen dem Sputter-Target 26 und dem Magnetband 20, Temperatur der Hauptrolle 23 zum Tragen des Magnetbands 20 usw. geändert werden. Außerdem hat die harte, amorphe zweite Kohlenstoffschicht 5 eine relative Intensität von etwa 1,2 im Raman-Spektrum, eine Vickers-Härte von 800 bis 4000 kg/mm² und eine Dicke von 30 bis 300 Å. Die Schmierschicht 6 hat eine Dicke von etwa 30 Å und besteht aus fluorhaltiger Carbonsäure.
Die Leistungen des erfindungsgemäßen Magnetbands 20 werden unter Bezugnahme auf die Tabellen 1 bis 3 beschrieben, in denen für die Prüfstücke 1 bis 20 des Magnetbands 20 und Magnetbänder der Vergleichsbeispiele 1 bis 4 unter Verwendung eines Videorecorders die praktische Leistung bezüglich Festbildhaltbarkeit und Leistungsabfall in einer Umgebung mit geringer Feuchtigkeit bewertet ist. Tabelle 1
In vorstehender Tabelle 1 bezeichnen die Buchstaben a, b und c jeweils die ungefähre relative Intensität im Raman-Spektrum, der Vickers-Härte und der Dicke der filmartigen ersten Kohlenstoffschicht 4. Der Buchstabe d bezeichnet die Festbildhaltbarkeit des Magnetbandes unter dreifacher Belastung bei 23 ºC und einer Feuchtigkeit von 10 %, und der Buchstabe e bezeichnet den Leistungsabfall des Magnetbandes bei 23 ºC und einer Feuchtigkeit von 70 %.
In Tabelle 1 weisen die erfindungsgemäßen Prüfstücke 1 bis 20 die filmartige erste Kohlenstoffschicht 4, die eine relative Intensität von 1,8 bis 25 im Raman-Spektrum, eine Vickers-Härte von 40 bis 1100 kg/mm² und eine Dicke von 4 bis 350 Å hat, sowie die harte, amorphe zweite Kohlenstoffschicht 5 auf, die eine relative Intensität von etwa 1,2 im Raman-Spektrum, eine Vickers-Härte von etwa 2500 kg/mm² und eine Dicke von etwa 100 Å hat. Bei dem Magnetband 20 können die relative Intensität im Raman-Spektrum und die Vickers-Härte wegen ihrer leichten Wechselbeziehung nicht stark verändert werden und werden deshalb im zulässigen Bereich verändert. Tabelle 2
Bei den Magnetbändern der Vergleichsbeispiele 1 bis 4 in vorstehender Tabelle 2 ist die erste Kohlenstoffschicht 4 der Erfindung jeweils durch eine im Plasma polymerisierte Schicht, eine Graphitschicht, eine Schicht aus Metallcarbid und eine Metallschicht mit diskontinuierlicher Kristaltruktur ersetzt, die jeweils eine Dicke von 60 Å haben, die harte, amorphe zweite Kohlenstoffschicht 5 und die Schmierschicht 6 jedoch sind in gleicher Weise vorhanden wie beim erfindungsgemäßen Magnetband 20. Tabelle 3 (Fortsetzung Tabelle 3)
In vorstehender Tabelle 3 bezeichnen die Buchstaben a bis e dieselben Merkmale wie bei Tabelle 1, und der Buchstabe f bezeichnet die ungefähre Korngröße der körnigen ersten Kohlenstoffschicht 4. In Tabelle 3 weisen die erfindungsgemäßen Prüfstücke 21 bis 48 die körnige erste Kohlenstoffschicht 4, die eine Korngröße von etwa 15 bis 350 Å, eine relative Intensität von etwa 1,8 bis 20 im Raman- Spektrum, eine Vickers-Härte von 80 bis 1100 kg/mm² und eine Dicke von etwa 20 bis 400 Å hat, sowie die harte, amorphe zweite Kohlenstoffschicht 5 auf, die eine relative Intensität von etwa 1,2 im Raman-Spektrum, eine Vickers-Härte von etwa 2500 kg/mm² und eine Dicke von etwa 100 Å hat.
Im folgenden wird ein Verfahren zur Bewertung der Praxisleistung des Magnetbandes beschrieben. Bei einem konkreten Verfahren zur Bewertung der Festbildhaltbarkeit des Magnetbandes wird von dem Magnetband ein etwa 10 m langer und 8 mm breiter Abschnitt abgeschnitten und mit einer Geschwindigkeit von 14 mm/s in Umlauf gebracht, so daß auf dem Abschnitt Videosignale mit einer relativen Geschwindigkeit von 3,8 m/s bei einem Spurabstand von etwa 20 µm, einer Umgebungstemperatur von 23 ºC und einer Feuchtigkeit von 70 % aufgezeichnet werden, wobei ein Videorecorder mit Drehzylinder verwendet wird, bei dem zwei Paar Magnetköpfe auf einem Drehzylinder montiert sind, der einen Außendurchmesser von 40 mm hat, so daß sie 30 µm vom Drehzylinder abstehen. Bei der anschließenden Messung der Festbildhaltbarkeit des Magnetbandes wird der Abschnitt bei einer Umgebungstemperatur von 23 ºC und einer Feuchtigkeit von 10 % einer dreimal höheren Belastung ausgesetzt als das Magnetband beim normalen Betrieb. Die Festbildhaltbarkeit des Magnetbandes 20 wird zu dem Zeitpunkt gemessen, zu dem wegen der Ausdehnung von Fehlstellen bis zur Metalldünnschicht 2 des Magnetbandes 20 keine Leistungsabgabe erfolgt.
Bei einem Verfahren zur Bewertung des Leistungsabfalls des Magnetbandes 20 erfolgt eine Aufzeichnung auf das Magnetband 20, das ein Aufnahmevermögen von 30 Minuten hat, wobei derselbe Videorecorder verwendet wird wie zur Messung der Festbildhaltbarkeit des Magnetbandes 20, und die Wiedergabe vom Magnetband 20 erfolgt in einer Umgebung mit einer Temperatur von 23 ºC und einer Feuchtigkeit von 70 %. Wenn zu Beginn der Wiedergabe die Ausgangsleistung des Magnetbands 20 auf 0 dB gestellt wird, wird der Leistungsabfall des Magnetbands 20 definiert als Wert der minimalen Ausgangseistung des Magnetbandes 20 während 100 Wiedergabezyklen.
Aus den Tabellen 1 und 2 ist zu ersehen, daß die Festbildhaltbarkeit des erfindungsgemäßen Magnetbandes 20 höher ist als bei den Magnetbändern der Vergleichsbeispiele 1 bis 4, wenn die filmartige erste Kohlenstoffschicht 4 des Magnetbandes 20 eine relative Intensität von 2 bis 20 im Raman-Spektrum, eine Vickers-Härte von 50 bis 1000 kg/mm² und eine Dicke von 5 bis 300 Å hat. Beim Vergleich mit den Magnetbändern der Vergleichsbeispiele 1 bis 4 zeigt sich, daß der Leistungsabfall beim erfindungsgemäßen Magnetband 20 im gesamten Bereich eine Verbesserung aufweist und die besten Werte erreicht, wenn die filmartige erste Kohlenstoffschicht 4 in etwa eine relative Intensität von 4 im Raman-Spektrum und eine Vickers-Härte von 600 kg/mm² hat.
Somit sollte bei dem Magnetband 20 von Tabelle 1 die filmartige erste Kohlenstoffschicht 4 vorzugsweise eine relative Intensität von 2 bis 20, eine Vickers-Härte von 50 bis 1000 kg/mm² und eine Dicke von 5 bis 100 Å haben. Unter Berücksichtigung eines Spielraums für die Festbildhaltbarkeit des Magnetbandes 20, eines Abstandsverlusts durch die Schutzschicht usw. sollte die filmartige erste Kohlenstoffschicht 4 stärker bevorzugt eine relative Intensität von 2 bis 15 im Raman- Spektrum, eine Vickers-Härte von 300 bis 800 kg/mm² und eine Dicke von 5 bis 150 Å haben.
Aus Tabelle 3 ist zu ersehen, daß die Festbildhaltbarkeit des Magnetbandes 20 hervorragend ist, wenn die körnige erste Kohlenstoffschicht 4 des Magnetbandes 20 eine Korngröße von 20 bis 300 Å, eine relative Intensität von 2 bis 15 im Raman-Spektrum und eine Vickers-Härte von 300 bis 1000 kg/mm² hat. Außerdem weist Tabelle 3 aus, daß der Leistungsabfall des Magnet bandes 20 zunimmt, wenn die körnige erste Kohlenstoffschicht 4 eine Korngröße nicht unter 300 Å und eine Dicke nicht unter 350 Å hat.
Somit sollte bei dem Magnetband 20 von Tabelle 3 die körnige erste Kohlenstoffschicht 4 vorzugsweise eine Korngröße von 20 bis 300 Å, eine relative Intensität von 2 bis 15 im Raman-Spektrum, eine Vickers-Härte von 100 bis 1000 kg/mm² und eine Dicke von 30 bis 350 Å haben. Unter Berücksichtigung eines Spielraums für die Festbildhaltbarkeit des Magnetbandes 20, des Wertes des Leistungsabfalls des Magnetbandes 20, eines Abstandsverlusts durch die Schutzschicht usw. sollte die körnige erste Kohlenstoffschicht 4 stärker bevorzugt eine Korngröße von 30 bis 200 Å, eine relative Intensität von 2 bis 10 im Raman-Spektrum, eine Vickers- Härte von 300 bis 800 kg/mm² und eine Dicke von 30 bis 150 Å haben.
Dabei sollten die relative Intensität im Raman-Spektrum und die Härte der filmartigen oder körnigen ersten Kohlenstoffschicht 4 so gewählt werden, daß die erste Kohlenstoffschicht 4 aktive Punkte aufweist, die eine chemische Bindung zwischen der ersten Kohlenstoffschicht 4 und der harten, amorphen zweiten Kohlenstoffschicht 5 während der Bildung der zweiten Kohlenstoffschicht 5 auf der ersten Kohlenstoffschicht 4 ermöglichen. Es wird angenommen, daß bei einer relativen Intensität der ersten Kohlenstoffschicht 4 im Raman-Spektrum nicht über 2 oder einer Vickers-Härte der ersten Kohlenstoffschicht 4 von mehr als 1000 kg/mm² die Oberflächenstabilität der ersten Kohlenstoffschicht 4 zunimmt, was eine abnehmende Haftfestigkeit der ersten Kohlenstoffschicht 4 zur Folge hat.
Aus dem Gesagten ergibt sich, daß die erste Kohlenstoffschicht 4, da sie die Metalldünnschicht 2 mit hoher Energie erreicht, nicht nur teilweise chemisch an die ferromagnetische Metalldünnschicht 2 gebunden wird, sondern daß sie an die ferromagnetische Metalldünnschicht 2 stark mechanisch gebunden wird. Da die erste Kohlenstoffschicht 4 und die harte, amorphe zweite Kohlenstoffschicht 5 über den Kohlenstoff chemisch aneinander gebunden sind, ist die zweite Kohlenstoffschicht 5 über die erste Kohlenstoffschicht 4 sehr stark an die Metalldünnschicht 2 gebunden. Aus diesem Grund erhöht sich die Festbildhaltbarkeit des Magnetbandes im praktischen Einsatz. Da kein Metall in die harte, amorphe zweite Kohlenstoffschicht 5 gelangt, kann kein Metall am Magnetkopf haften bleiben, wodurch sich der Leistungsabfall während Aufzeichnung und Wiedergabe deutlich verringert.
Bei den Prüfstücken 1 bis 48 von Tabelle 1 und 3 hat die harte, amorphe zweite Kohlenstoffschicht 5 eine relative Intensität von etwa 1,2 im Raman-Spektrum, eine Vickers-Härte von etwa 2500 kg/mm² und eine Dicke von etwa 100 Å, wünschenswert ist es jedoch, daß die zweite Kohlenstoffschicht 5 eine relative Intensität von 0,8 bis 3 im Raman-Spektrum, eine Vickers-Härte von 1000 kg/mm² oder darüber und eine Dicke von 70 bis 200 Å hat.
Fig. 3 zeigt den schematischen Aufbau einer Magnetplatte 40 gemäß einer zweiten Ausführungsform der Erfindung. Die Magnetplatte 40 weist ein nichtmagnetisches Substrat 1, die ferromagnetische Metalldünnschicht 2, die filmartige oder körnige erste Kohlenstoffschicht 4, die harte, amorphe zweite Kohlenstoffschicht 5 und die Schmierschicht 6 auf. Das Substrat 1 hat eine Dicke von etwa 1,2 mm und besteht aus Aluminium. Das Substrat 1 weist eine etwa 20 µm dicke Ni-P-Beschichtung 1a und eine etwa 2000 Å dicke Cr-Grundschicht 1b auf, die durch Kathodenzerstäubung gebildet wurden. Die Cr-Grundschicht 1b wird auf die Ni-P- Beschichtung 1 a aufgebracht, um die Ausrichtung der ferromagnetischen Metalldünnschicht 2 zu verbessern. Die ferromagnetische Metalldünnschicht 2 ist etwa 700 Å dick und wird durch Aufsputtern einer Co-Ni-Cr-Legierung o.ä. gebildet. Die Schmierschicht 6 wird nach einem Naßbeschichtungsverfahren gebildet. Da der übrige Aufbau der Magnetplatte 40 demjenigen des Magnetbandes 20 entspricht, wird im Interesse einer knappen Darstellung auf eine Beschreibung verzichtet.
Fig. 4 zeigt eine Vorrichtung zur Herstellung der Magnetplatte 40 von Fig. 3. Ein wesentlicher Unterschied zwischen den Vorrichtungen nach Fig. 2 und 4 liegt darin, daß der Zuführmechanismus von der Zuführrolle 21 zur Aufnahmerolle 25 der Vorrichtung nach Fig. 2 bei der Vorrichtung nach Fig. 4 durch eine Aufgeeinrichtung 51 ersetzt ist. Die Vorrichtung von Fig. 4 weist eine Beschickungskammer 53, eine erste Bearbeitungskammer 61 mit dem ersten Bereich R1 zur Bildung der ersten Kohlenstoffschicht 4, eine zweite Bearbeitungskammer 62 mit dem zweiten Bereich R2 zur Bildung der zweiten Kohlenstoffschicht 5 und eine Entnahmekammer 54 auf. In der Beschickungskammer 53 wird die Magnetplatte auf die Auflageeinrichtung 51 gelegt, während in der Entnahmekammer 54 die bearbeitete Magnetplatte von der Auflageeinrichtung 51 abgenommen wird. Zwischen den benachbarten Kammern 53, 61, 62 und 54 ist jeweils ein Scheusenschieber 52 vorgesehen, der als Vakuumdichtung dient. Da die übrigen Elemente der Vorrichtung von Fig. 4 denjenigen der Vorrichtung von Fig. 2 entsprechen, wird im Interesse einer knappen Darstellung auf eine Beschreibung verzichtet.
Die Arbeitsweise der wie beschrieben aufgebauten Vorrichtung wird unter Bezugnahme auf Fig. 4 beschrieben. Zunächst wird die Beschickungskammer 53 nach außen geöffnet, und es wird eine bis zur Metalldünnschicht 2 vorgefertigte Magnetplatte in der Beschickungskammer 53 auf die Aufgeeinrichtung 51 gelegt. Wenn die Beschickungskammer 53 mittels der Vakuumpumpe 35 bis auf eine vorgegebene Vakuumstufe evakuiert ist, wird der Schleusenschieber 52 zwischen der Beschickungskammer 53 und der ersten Bearbeitungskammer 61 freigegeben, so daß die Auflageeinrichtung 51, auf der die vorgefertigte Magnetplatte liegt, zum ersten Bereich R1 der ersten Bearbeitungskammer 61 bewegt wird. Da die filmartige oder körnige erste Kohlenstoffschicht 4 und die harte, amorphe zweite Kohlenstoffschicht 5 auf der vorgefertigten Magnetplatte auf genau die gleiche Weise gebildet werden wie bei der Vorrichtung von Fig. 2, wird im Interesse einer knappen Darstellung auf eine Beschreibung verzichtet.
Bei der für den Praxistest verwendeten Magnetplatte 40 wird dann auf einem 3,5"- Aluminiumsubstrat die etwa 20 µm dicke Ni-P-Beschichtung 1a gebildet, und auf der Ni-P-Beschichtung 1a wird durch Sputtern die etwa 2000 Å dicke Cr-Grundschicht 1b gebildet, während die etwa 700 Å dicke ferromagnetische Metalldünnschicht 2 durch Aufsputtern einer Co-Ni-Cr-Legierung o.ä. gebildet wird. Auf der Cr-Grundschicht 1b wird die filmartige erste Kohlenstoffschicht 4 mit einer relativen Intensität von 1,8 bis 25 im Raman-Spektrum, einer Vickers-Härte von 40 bis 1100 kg/mm² und einer Dicke von 8 bis 350 Å oder die körnige erste Kohlenstoffschicht 4 mit einer Korngröße von 20 bis 350 Å, einer relativen Intensität von 1,8 bis 25 im Raman-Spektrum, einer Vickers-Härte von 80 bis 1100 kg/mm² und einer Dicke von 30 bis 400 Å gebildet. Die Merkmale der ersten Kohlenstoffschicht 4 - filmartige oder körnige Form, Korngröße, relative Intensität im Raman-Spektrum und Vickers-Härte - werden durch Änderung der Bedingungen wie Druck in der ersten Bearbeitungskammer 61, Spannung der Sputterenergiequelle 28, Abstand zwischen dem Sputter-Target 26 und der Magnetplatte 40, Temperatur der Magnetplatte 40 usw. erzielt. Auf der ersten Kohlenstoffschicht 4 wird die harte, amorphe zweite Kohlenstoffschicht 5 mit einer relativen Intensität von etwa 1,2 im Raman-Spektrum, einer Vickers-Härte von 800 bis 4000 kg/mm² und einer Dicke von 30 bis 300 Å gebildet. Zusätzlich wird auf der zweiten Kohlenstoffschicht 5 die Schmierschicht 6, die eine Dicke von etwa 30 Å hat und aus fluorhaltiger Carbonsäure besteht, gebildet.
Die Wirkungen der erfindungsgemäßen Magnetplatte 40 werden unter Bezugnahme auf die Tabellen 4 bis 6 beschrieben, wobei unter Verwendung eines handelsüblichen Magnetplattenlaufwerks die Prüfstücke 51 bis 97 der erfindungsgemäßen Magnetplatte 40 und die Magnetplatten der Vergleichsbeispiele 5 bis 8 einem Kontakt-Start-Stop-Test (KSS-Test) unterzogen werden.
In nachstehender Tabelle 4 bezeichnen die Buchstaben a, b und c die gleichen Werte wie in Tabelle 1, und der Buchstabe g bezeichnet die Anzahl der Wiederholungen des KSS-Tests, der in einer Umgebung mit einer Temperatur von 5 ºC und 10 % Feuchtigkeit durchgeführt wird.
In Tabelle 4 weisen die Prüfstücke 51 bis 70 der erfindungsgemäßen Magnetplatte 40 die filmartige erste Kohlenstoffschicht 4 mit der relativen Intensität von 1,8 bis 25 im Raman-Spektrum, einer Vickers-Härte von 40 bis 1100 kg/mm² und einer Dicke von 8 bis 350 Å sowie die harte, amorphe zweite Kohlenstoffschicht 5 mit einer relativen Intensität von etwa 1,2 im Raman-Spektrum, einer Vickers-Härte von etwa 2500 kg/mm² und einer Dicke von etwa 200 Å auf. Bei der Magnetplatte 40 können die relative Intensität im Raman-Spektrum und die Vickers-Härte wegen ihrer schwachen Wechselbeziehung nicht stark verändert werden; sie werden somit im zulässigen Bereich verändert. Tabelle 4
Bei dem KSS-Test ist ein Gleitstück für die Magnetplatte aus dem sog. "Altic" ,d.h. aus einem keramischen Verbundmaterial aus Al&sub2;O&sub3; und TiC, und dieses ist so angeordnet, daß es in einem Zyklus von etwa 30 s auf die sich mit etwa 3600 min&supmin;¹ drehende Magnetplatte eine Last von etwa 10 gf ausübt. Die Anzahl 9 der Wiederholungen des KSS-Tests steht zu dem Zeitpunkt fest, zu dem der Magnetkopf durch Fehler der Magnetplatte festsitzt. Tabelle 5
Bei den Magnetplatten der Vergleichsbeispiele 5 bis 8 in vorstehender Tabelle 5 ist die erfindungsgemäße erste Kohlenstoffschicht 4 durch eine im Plasma polymerisierte Schicht, eine Graphitschicht, eine Schicht aus Metallcarbid und eine Metallschicht mit diskontinuierlicher Kristaltruktur, die jeweils eine Dicke von 150 Å haben, ersetzt, jedoch sind die harte, amorphe zweite Kohlenstoffschicht 5 und die Schmierschicht 6 in gleicher Weise vorhanden wie bei der erfindungsgemäßen Magnetplatte 40.
In nachstehender Tabelle 6 weisen die Prüfstücke 71 bis 97 der erfindungsgemäßen Magnetplatte 40 die körnige erste Kohlenstoffschicht 4 mit einer Korngröße von etwa 20 bis 350 Å, einer relativen Intensität von 1,8 bis 20 im Raman-Spektrum, einer Vickers-Härte von 80 bis 1100 kg/mm² und einer Dicke von 30 bis 400 Å sowie die harte, amorphe zweite Kohlenstoffschicht 5 mit einer relativen Intensität von etwa 1,2, einer Vickers-Härte von etwa 2500 kg/mm² und einer Dicke von etwa 200 Å auf. Tabelle 6 (Fortsetzung Tabelle 6)
In vorstehender Tabelle 6 hat der Buchstabe f dieselbe Bedeutung wie in Tabelle 3.
Aus den Tabellen 4 und 5 ist zu ersehen, daß die erfindungsgemäße Magnetplatte 40 beim KSS-Test den Magnetplatten der Vergleichsbeispiele 5 bis 8 überlegen ist, wenn die filmartige erste Kohlenstoffschicht 4 der Magnetplatte 40 eine relative Intensität von 2 bis 15 im Raman-Spektrum, eine Vickers-Härte von 100 bis 1000 kg/mm² und eine Dicke von 10 bis 300 Å hat.
Bei der Magnetplatte 40 sollte daher die filmartige erste Kohlenstoffschicht 4 vorzugsweise eine relative Intensität von 2 bis 15 im Raman-Spektrum, eine Vickers-Härte von 100 bis 1000 kg/mm² und eine Dicke von 10 bis 300 Å haben.
Unter Berücksichtigung eines Spielraums für die KSS-Kennwerte, eines Abstandsverlusts durch die Schutzschicht usw. sollte die filmartige erste Kohlenstoffschicht 4 besonders bevorzugt eine relative Intensität von 2 bis 10 im Raman-Spektrum, eine Vickers-Härte von 300 bis 800 kg/mm² und eine Dicke von 10 bis 200 Å haben.
Tabelle 6 weist aus, daß die KSS-Kennwerte der Magnetplatte 40 hervorragend sind, wenn die körnige erste Kohlenstoffschicht 4 der Magnetplatte 40 eine Korngröße von 20 bis 300 Å, eine relative Intensität von 2 bis 15 im Raman- Spektrum und eine Vickers-Härte von 100 bis 1000 kg/mm² hat. Wenn die körnige erste Kohlensvoffschicht 4 eine Korngröße nicht unter 300 Å und eine Dicke von nicht weniger als 350 Å hat, verschlechtern sich die KSS-Kennwerte der Magnetplatte 40.
Bei der Magnetplatte 40 sollte die körnige erste Kohlenstoffschicht 4 daher vorzugsweise eine Korngröße von 20 bis 300 Å, eine relative Intensität von 2 bis 15 im Raman-Spektrum, eine Vickers-Härte von 100 bis 1000 kg/mm² und eine Dicke von 30 bis 350 Å haben. Unter Berücksichtigung eines Spielraums für die KSS- Kennwerte, des Abstandsverlusts durch die Schutzschicht usw. sind für die körnige erste Kohlenstoffschicht 4 eine Teilchengröße von 30 bis 200 Å, eine relative Intensität von 2 bis 10 im Raman-Spektrum, eine Vickers-Härte von 300 bis 800 kg/mm² und eine Dicke von 30 bis 200 Å stärker bevorzugt.
Dabei sollten die relative Intensität im Raman-Spektrum und die Härte der filmartigen oder körnigen ersten Kohlenstoffschicht 4 so gewählt sein, daß die erste Kohlenstoffschicht 4 aktive Punkte hat, die bei der Bildung der zweiten Kohlenstoffschicht 5 auf der ersten Kohlenstoffschicht 4 eine chemische Bindung zwischen der ersten Kohlenstoffschicht 4 und der harten, amorphen zweiten Kohlenstoffschicht 5 ermöglichen. Es wird angenommen, daß die Oberflächenstabilität der ersten Kohlenstoffschicht 4 verbessert wird, wenn ihre relative Intensität im Raman-Spektrum nicht über 2 liegt oder wenn ihre Vickers-Härte 1000 kg/mm² übersteigt, was zu einer Abnahme der Haftkraft der ersten Kohlenstoffschicht 4 führt.
Aus dem Gesagten geht hervor, daß die erste Kohlenstoffschicht 4, weil sie die Metalldünnschicht 2 mit hoher Energie erreicht, nicht nur teilweise chemisch mit der ferromagnetischen Metalldünnschicht 2 verbunden ist, sondern auch stark mechanisch an die ferromagnetische Metalldünnschicht 2 gebunden ist. Da die erste Kohlenstoffschicht 4 und die harte, amorphe zweite Kohlenstoffschicht 5 über den Kohlenstoff chemisch miteinander verbunden sind, ist die zweite Kohlenstoffschicht 5 über die erste Kohlenstoffschicht 4 sehr stark an die Metalldünnschicht 2 gebunden. Daraus ergeben sich verbesserte KSS-Kennwerte der Magnetplatte. Da außerdem kein Metall in die harte, amorphe zweite Kohlenstoffschicht 4 gelangt, kommt es nicht zum Anhaften von Metall am Magnetkopf und damit nicht zum Festfressen des Magnetkopfs, was zu einer Verbesserung der KSS- Kennwerte der Magnetplatte führt.
Bei den Prüfstücken 51 bis 97 der Tabellen 4 und 6 hat die harte, amorphe zweite Kohlenstoffschicht 5 eine relative Intensität von ca. 1,2 im Raman-Spektrum, eine Vickers-Härte von ca. 2500 kg/mm² und eine Dicke von ca. 200 Å. Bei den Prüfstücken 51 bis 97 jedoch kann die zweite Kohlenstoffschicht 5 eine relative Intensität von 0,8 bis 3 im Raman-Spektrum, eine Vickers-Härte von nicht unter 1000 kg/mm² und eine Dicke von 100 bis 300 Å haben.
Sowohl bei der ersten als auch bei der zweiten Ausführungsform der Erfindung wird die erste Kohlenstoffschicht 4 durch Kathodenzerstäubung oder durch Plasma-Gasphasenabscheidung gebildet. Jedoch kann eine filmartige oder körnige Kohlenstoffschicht mit ähnlichen Eigenschaften wie die erste Kohlenstoffschicht 4 der ersten und der zweiten Ausführungsform der Erfindung auch durch das Aufbringen von Kohlenstoff mittels Ionenplattierung oder Ionendusterplattierung erzielt werden.
Fig. 5 und 6 sind graphische Darstellungen im rechtwinkligen Koordinatensystem mit der Abszisse X in cm&supmin;¹ und der Ordinate Y, auf der die Intensität im Spektrum aufgetragen ist. Ausgehend von einer Raman-Spektralphotometrie zeigt Fig. 5 das Raman-Spektrum S1 der körnigen ersten Kohlenstoffschicht 4 mit einer Vickers- Härte von ca. 600 kg/mm², während Fig. 6 das Raman-Spektrum S2 der harten, amorphen zweiten Kohlenstoffschicht 5 mit einer Vickers-Härte von ca. 2500 kg/mm² zeigt. In Fig. 5 ist das Raman-Spektrum S1 zerlegt in ein Band A einer Gauß-Funktion, die einen Peak in der Nähe von 1380 cm&supmin;¹ hat, und in ein Band B einer Gauß-Funktion, die einen Peak in der Nähe von 1550 cm&supmin;¹ hat. Wenn mit dem Buchstaben a ein Bereich bezeichnet wird, der vom Band A und der X-Achse umschlossen ist, und mit dem Buchstaben b ein Bereich, der vom Band B und der X-Achse umschlossen ist, hat das Verhältnis a/b annähernd den Wert 4,5. Dieses Verhältnis a/b drückt die im Vorstehenden häufig erwähnte "relative Intensität im Raman-Spektrum" aus. Somit hat das Raman-Spektrum S1 eine relative Intensität von etwa 4,5.
In gleicher Weise ist bei Fig. 6 das Raman-Spektrum S2 in die Bänder A und B zerlegt, und das Verhältnis a/b hat annähernd den Wert 1,2. Somit hat das Raman- Spektrum S2 eine relative Intensität von etwa 1,2.
Aus den Fig. 5 und 6 ergibt sich, daß mit zunehmender Härte der Kohlenstoffschicht die relative Intensität im Raman-Spektrum abnimmt und die Tetraedereigenschaft (sp³) der Kohlenstoffschicht zunimmt.

Claims

1. Magnetisches Aufzeichnungsmedium (20, 40), enthaltend:

ein nicht-magnetisches Substrat (1),

eine ferromagnetische, metallische Dünnschicht (2), die auf dem nicht-magnetischen Substrat (1) vorhanden ist,

eine erste Kohlenstoffschicht (4), die auf der ferromagnetischen metallischen Dünnschicht (2) vorhanden ist, und

eine harte, amorphe zweite Kohlenstoffschicht (5), die auf der ersten Kohlenstoffschicht (4) vorhanden ist,

wobei die erste und die zweite Kohlenstoffschicht (4, 5) ein erstes bzw. ein zweites Raman-Spektrum (S1, S2) aufweisen, die auf der Raman-Spektralphotometrie basieren,

wobei, wenn das erste als auch das zweite Raman-Spektrum (S1, S2) jeweils durch einen Graphen mit rechtwinkligen Koordinaten dargestellt wird, die eine Abszissenachse (X) in cm&supmin;¹ und eine Ordinatenachse (Y), auf der die Spektralintensität aufgetragen ist, aufweisen, und wenn das erste und das zweite Raman-Spektrum (S1, S2) in ein erstes Band (A) einer Gauß-Funktion mit einem Peak in der Nähe von 1.380 cm&supmin;¹ und in ein zweites Band (B) einer Gauß-Funktion mit einem Peak in der Nähe von 1.550 cm&supmin;¹ aufgeteilt werden, wobei das Verhältnis (a/b) eines Bereiches (a), der durch das erste Band (A) und die Abszissenachse (X) umschlossen ist, zu einem Bereich (b), der durch das zweite Band und die Abszissenachse (X) umschlossen ist, eine "relative Intensität" wiedergibt, die erste Kohlenstoffschicht (4) dann eine relative Intensität von 2 bis 20 aufweist, während die zweite Kohlenstoffschicht (5) eine relative Intensität von 0,8 bis 3 aufweist, eine Vickers-Härte von nicht weniger als 1.000 kg/mm² und eine Dicke von 50 bis 300 Å besitzt.

2. Magnetisches Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 1, bei dem die erste Kohlenstoffschicht (4) eine Vickers-Härte von 50 bis 1.000 kg/mm² aufweist.

3. Magnetisches Aufzeichnungsmedium (20, 40) nach Anspruch 1 oder 2, bei dem die erste Kohlenstoffschicht (4) eine Dicke von 5 bis 300 Å aufweist.

4. Magnetisches Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 1, bei dem die erste Kohlenstoffschicht (4) eine Granularschicht mit einer Partikelgröße von 20 bis 300 Å ist.

5. Magnetisches Aufzeichnungsmedium (20, 40) nach Anspruch 4, bei dem die erste Kohlenstoffschicht (4) eine relative Intensität von 2 bis 15 besitzt.

6. Magnetisches Aufzeichnungsmedium (20, 40) nach Anspruch 4 oder 5, bei dem die erste Kohlenstoffschicht (4) eine Vickers-Härte von 100 bis 1.000 kg/mm² aufweist.

7. Magnetisches Aufzeichnungsmedium (20, 40) nach einem der Ansprüche 4 bis 6, bei dem die erste Kohlenstoffschicht (4) eine Dicke von 30 bis 350 Å aufweist.