JPH0229919A - 磁気デイスク媒体保護膜 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、磁気ディスク媒体を保護する保護膜に関す
るものである。

〔従来の技術〕

磁気ディスク媒体の表面には回転開始時、停止時及び高
速回転時のヘッドによる摩擦や摩耗等の機械的特性を保
持するために高級脂肪酸やシリコーンオイル、フッ素系
オイルなどの潤滑剤を塗布していた。ところが、これら
の潤滑剤は蒸発やスピンオフによって減少しやす（、こ
のため磁気ディスクの長時間の運転に対する十分な高信
頼性が確保できなかった。

これに対し、薄膜合金スパッタ形、磁性合金めっき形及
びフェライト薄膜形磁気ディスクには。

磁気ヘッドとの耐摩耗性を付与するための種々な保護膜
が検討されている（特公昭５７−８１７７号公報参照）
。

図面は一般的な磁気ディスクを示す断面図である。図に
おいて、（ＩＩは基板、（叫は硬化下地層、（３）は磁
性層、（４）は保護膜である。磁気ディスクは外径２３
　Ｑ　〜２８　Ｑｓａａ、内径ＩＱＧ〜１２０ｍ、厚さ
１．５〜２．５■ぐらいの形状で、基板口）は非磁性体
により形成され、用いられる材質としてはアルミニウム
合金、セラミック、ガラス等がある。これら材質の中に
はヘッドが接触した時に起こる機械的なダメージに対し
て硬度が不十分なものもある。例えば４９６のマグネシ
ウム入りのアルミニウム合金の基材（１）に対しては、
基板（１）の表面硬度を上げるために無電解メツキによ
りＮ１−ＰやＮｉ　−Ｃｕ−Ｐ、或は硫酸処理によるア
ルマイトなどの硬化下地層（２）が１０〜２０μｍ程度
形成される。この例では硬化下地層（２）を持つ基板１
１１上に薄膜合金スパッタ、磁性合金めっき、フェライ
ト薄膜等の磁性膜層（３１を形成し、その上に保護膜（
４）が設けられている。

磁気ディスク媒体の保護膜（４）はそれ自身が摩擦や摩
耗等の機械的特性・密着を十分薯ζ満足されなければな
らない。すなわち、保護膜（４）は動摩擦係数が小さく
、シかも硬度がヘッド材料と同程度か。

それ以上が必要である。

保護膜付ディスクは以下のような利点がある。

１、保護膜によりヘッドとのなじみがよ（ディスク、ヘ
ッドとも傷がつかない。このためコンタクト・スタート
・ストップ（ＣＳ　Ｓ）寿命が大幅に延びる。

λ　保護膜は耐摩耗、耐摩擦等の機械的特性が良好であ
るため、ヘッドとディスクの吸着が起こり難い。

λ　保護膜は動摩擦係数が小さいため、潤滑剤を必要と
しない。

従って１種々な保護膜が検討されており、−例としては
湿式法で形成した５ｉ０２保護膜があるが。

これは磁性膜層の保護と潤滑の両方を兼ね備えたものと
して、まだ充分満足できるものではなかった。

〔発明が解決しようとする課題〕

従来の磁気ディスク保護膜は１以上のように構成されて
いるので、５ｉ０２保護膜では、Ｃ８８２万回試験や摺
動３万パス試験を行なうと、磁気ディスクや磁気ヘッド
に傷付が生じたり、付着物が見られた。さらにこれらが
ひどくなると、ヘッドクラッシュという致命的な現象を
引き起すという問題点があった。

この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、硬度が太き（、かつ動摩擦係数を小さくでき
、このため耐摩線番耐摩耗等の機械的特性・密着力を良
好にできる磁気ディスク媒体保護膜を得ることを目的と
するものである。

〔課題を解決するための手段〕

この発明に係る磁気ディスク媒体保護膜は、ラマン散乱
分光測定により得られるラマンスペクトルにおけるラマ
ンシフトが１５５０〜１６００（Ｉｎ−’と１３５０〜
１４００ｃｍ　　　にピークを有し、かつそのピーク強
度比（１３５０〜１４００／１５５Ｇ〜１６００）が０
．４〜０．１のカーボン膜である。

〔作　用〕

この発明における磁気ディスク媒体保護膜は。

硬度が太き（、かつ耐摩擦・耐摩耗等の機械的特性・密
着力を良好にするため、動摩擦係数を小さくするような
カーボン保護膜である。

〔実施例〕

以下、この発明の一実施例を説明する。この発明の一実
施例による磁気ディスクの構成は図面に示すものと同様
である。

実施例１ 磁気ディスク基板＋１１としてＡ３０ｇ５Ｐ（Ｊ　Ｉ　
Ｓ規格のアルミニウム合金）を用い、外径２２４ｍ。

内径１００ｍ、厚さ２關の大きさで表面をＲｚでｔｏｏ
ｏλ以下の表面粗さに研磨した基板口】に硬化下地層（
２）として無電解メツキによりＮ１−Ｃｕ−Ｐを１０〜
２０μｍ施した。その後、再度表面粗さをＲｚで２００
Ａ以下に研磨した。しかる後。

Ｆｅ−Ｃｕ−Ｃｏ　　合金ターゲットを用い、ＲＦ−Ｆ
グネトロンスバッタによりＦＩＪＯ４を１６００Ａ成膜
し９次に空気中で３００℃、３時間加熱してｒ−Ｆ・２
０３の磁性膜層（３）を形成する。この磁性膜（３）の
上に例えばプラズマＣｖＯ法によってカーボンによる保
護膜を形成する。このプラズマＣＶＯ法は、メタンと水
素の混合ガスを高周波放電により形成し、これを原料と
する。この時の条件は。

例えば出力ｓｏｏｗ、基板温度１５０℃り圧力１０−３
ｔｏｒｒ、　　混合ガス流量１０　ＳＣＣＭで約１５分
間行ない、膜厚４５０λのカーボン膜を得た。

これにより形成した磁気ディスク媒体保護膜（４）のラ
マン散乱分光測定の結果として、得られるラマンスペク
トルにおけるラマンシフト、ピーク強度比、膜厚を第１
表に示す。

第１表 第１表のようなカーボン保護膜付ディスクを用いてコン
タクト・スタート・ストップ（ＣＳ　Ｓ）試験（回数；
２万回）を行った。比較例として保護膜なし及びカーボ
ン保護膜付でラマンスペクトルにおける２つのピーク強
度比が０．１のものの結果も合せて第２表１ζ示す。こ
の実施例における保護膜が極めて良いＣＳＳ特性を示す
ことが明らかである。

第２表 第２表において、◎は優秀、Ｏは良好、Δは不安定、×
は不良を示している。

この結果は、約２万回のＣ８Ｓを行なった後。

摩擦力、ＡＥ比出力ディスク傷、ディスク付着物。

ヘッド傷、ヘッド付着物を調べたものである。

実施例２ 実施例１と同じディスク基板１１）、及び磁性膜層（３
）上に第３表に示すようなカーボン保護膜（４）を形成
し、摺動試験（０６ｍ／ｓｅａ　　３万バス）を行った
。比較例としては第２表と同じ仕様のディスクを使用し
た。結果を第４表に示す。

第３表 第４表 第４表において、◎は優秀、Ｏは良好、Δは不安定、×
は不良を示している。

第表に示す結果も、第２表に示した結果と同様に、　　
０．６　ｍ／　Ｓ・Ｃで３万パスの摺動試験を行った後
、摩擦力、ＡＥ比出力ディスク傷、ディスク付着物、ヘ
ッド傷、ヘッド付着物を調べたものである。

以上、実施例１，２の結果により、この発明のカーボン
保護膜付磁気ディスクはＣＳＳ試験及び摺動試験におい
て、ディスクのみならずヘッドにも極めて良い結果をも
たらすことが示され、磁気ディスク装置の高信頼性が確
保できた。

なお、このラマンシフトが１５５０〜１６００ａａ−’
のみだと保護膜としては硬すぎる。また、ピーク強度比
（１３５０〜１４００／１５５Ｑ　〜１６００）　　が
０．４より小さい時は保護膜として軟かすぎ、ｏＴより
大きいと硬すぎるという結果を得ている。また。

膜厚は１００〜１０００λの保護膜が好ましく、ｔｏｏ
Ｘの保護膜が好ましくｔ　　１００λより薄いと充分な
強度が得られず、　　１０００λより厚いと磁気ディス
クの機能上問題があった。

〔発明の効果〕

以上のように、この発明によれば、基板上の磁性膜層を
保護する磁気ディスク媒体保護膜において、ラマン散乱
分光測定により得られるラマンスペクトルにおけるラマ
ンシフトが１５５０〜１６００ｃｍ−’と１３５０〜１
４００ｃＩｔ　　にピークを有し、かつそのピーク強度
比（１３５Ｇ−１４００／１５５０〜１６０Ｇ）が０．
４〜０．７のカーボン膜であることにより、硬度が太き
（、かつ動摩擦係数が小さ（できるため。

耐摩擦・摩耗等の機械的特性・密着力を良好にすること
のできる磁気ディスク媒体保ｍｓを得ることができる効
果がある。

【図面の簡単な説明】

図面は一般的な保護膜を備えた磁気ディスク媒体を示す
断面図である。 Ｉｌ＋・・・基板、（３）・・・磁性膜層、（４）・・
・磁気ディスク媒体保ｉｉａ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 基板上の磁性膜層を保護する磁気ディスク媒体保護膜に
   おいて、ラマン散乱分光測定により得られるラマンスペ
   クトルにおけるラマンシフトが１５５０〜１６００ｃｍ
   ＾−＾１と１３５０〜１４００ｃｍ＾−＾１にピークを
   有し、かつそのピーク強度比（１３５０〜１４００／１
   ５５０〜１６００）が０．４〜０．７のカーボン膜であ
   ることを特徴とする磁気ディスク媒体保護膜。