JPH0240129A - 高硬度スライダ用磁気ディスク - Google Patents
高硬度スライダ用磁気ディスクInfo
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- JPH0240129A JPH0240129A JP18990588A JP18990588A JPH0240129A JP H0240129 A JPH0240129 A JP H0240129A JP 18990588 A JP18990588 A JP 18990588A JP 18990588 A JP18990588 A JP 18990588A JP H0240129 A JPH0240129 A JP H0240129A
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Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、磁気ディスク装置に搭載される磁気ディス
ク、特に高硬度スライダ用磁気ディスクに関するもので
ある。
ク、特に高硬度スライダ用磁気ディスクに関するもので
ある。
図面は例えば２文献（１’−Ｍａｇｎｅｔｉｃ Ｒｅｃ
ｏｒｄｉｎｇＶｏｌｕｍｅｌ ：Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ
Ｊ Ｃ！、Ｄｅｎｉｓ、Ｍｅｅ、Ｅｒ１ｃ、Ｄ、Ｄａｎ
ｉｅｌ、ＭｃＧｒｏｗ−Ｈｉｌｌ ｂｏｏｋ Ｏｏ、Ｐ
、１９４〜Ｐ、１９８）に記載された従来の薄膜磁気デ
ィスクを示す断面図である。図において、（１）は通常
ＡＩを主成分とする基材に下地硬化層を付けた基板、（
２）は金属磁性材料或は酸化鉄よシ成る磁気記録媒体層
、（３）は８１０２等の飯化部やスパッタおよびＯＶＤ
カーボン、またはＲｈ等の金属から成る保護層、（４）
は潤滑層である。
ｏｒｄｉｎｇＶｏｌｕｍｅｌ ：Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ
Ｊ Ｃ！、Ｄｅｎｉｓ、Ｍｅｅ、Ｅｒ１ｃ、Ｄ、Ｄａｎ
ｉｅｌ、ＭｃＧｒｏｗ−Ｈｉｌｌ ｂｏｏｋ Ｏｏ、Ｐ
、１９４〜Ｐ、１９８）に記載された従来の薄膜磁気デ
ィスクを示す断面図である。図において、（１）は通常
ＡＩを主成分とする基材に下地硬化層を付けた基板、（
２）は金属磁性材料或は酸化鉄よシ成る磁気記録媒体層
、（３）は８１０２等の飯化部やスパッタおよびＯＶＤ
カーボン、またはＲｈ等の金属から成る保護層、（４）
は潤滑層である。
最近の磁気ディスク装置では、ディスク回転・停止時に
は磁気へラドスライダは磁気ディスクに接触しておシ２
回転を始めると、磁気ディスク表面と摺動しながら浮上
するいわゆるａＳＳ（コンタクト・スタート・ストップ
）方式がとられている。
は磁気へラドスライダは磁気ディスクに接触しておシ２
回転を始めると、磁気ディスク表面と摺動しながら浮上
するいわゆるａＳＳ（コンタクト・スタート・ストップ
）方式がとられている。
従来の磁気ディスクは以上のように磁気へラドスライダ
と摺動するので、磁気ディスクおよび磁気へラドスライ
ダに傷つきや摩耗が生じるという問題点があった。従来
例の保護層（３）も傷つきや摩耗の起こりやすい磁気記
録媒体層（２）を保役するために設けられたものである
。
と摺動するので、磁気ディスクおよび磁気へラドスライ
ダに傷つきや摩耗が生じるという問題点があった。従来
例の保護層（３）も傷つきや摩耗の起こりやすい磁気記
録媒体層（２）を保役するために設けられたものである
。
一般に、薄膜ヘッドのスライダには人工２０３−ＴｉＣ
が用いられて因る。このＡｌ２Ｏ３−ＴｉＣは硬度が高
−（ビッカース硬度２０００） ため。
が用いられて因る。このＡｌ２Ｏ３−ＴｉＣは硬度が高
−（ビッカース硬度２０００） ため。
媒体の方を傷付げやすい。したがって、媒体の保護層の
硬度としては、スライダ材料と同等またはそれ以上の硬
度をもつものが望ましい。このような硬質の保護層とな
る材料としては、従来からスパッタ５ｉ０２及びスパッ
タカーボン等の硬質薄膜が用因られてきた。これらの材
質は、高い硬度は持つものの（スパッタ５１０２ のビ
ッカース硬度８００．スパッタカーボンのビッカース硬
度１３００ ）、スライダ羽村のＡｘ２ｏ３− ＴｉＯ
と比較するとまだまだ硬度は低く、保護層が摩耗しやす
い。実際、これらのスライダと磁気ディスクの組み合わ
せでａＳＳ試験を行なうと、保護層（３）が摩耗するた
めに媒体の表面形状が変化し、摩擦係数が上がったシ、
摩耗粉が出ることによシ、摩耗粉をかみ込むことによる
傷つきやヘッドクラッシュを起こした夛することがある
・ この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、磁気ディスクの磁気記録媒体層（２）の傷つ
きや摩耗を防止することができる高硬度スライダ用磁気
ディスクを得ることを目的とする。
硬度としては、スライダ材料と同等またはそれ以上の硬
度をもつものが望ましい。このような硬質の保護層とな
る材料としては、従来からスパッタ５ｉ０２及びスパッ
タカーボン等の硬質薄膜が用因られてきた。これらの材
質は、高い硬度は持つものの（スパッタ５１０２ のビ
ッカース硬度８００．スパッタカーボンのビッカース硬
度１３００ ）、スライダ羽村のＡｘ２ｏ３− ＴｉＯ
と比較するとまだまだ硬度は低く、保護層が摩耗しやす
い。実際、これらのスライダと磁気ディスクの組み合わ
せでａＳＳ試験を行なうと、保護層（３）が摩耗するた
めに媒体の表面形状が変化し、摩擦係数が上がったシ、
摩耗粉が出ることによシ、摩耗粉をかみ込むことによる
傷つきやヘッドクラッシュを起こした夛することがある
・ この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、磁気ディスクの磁気記録媒体層（２）の傷つ
きや摩耗を防止することができる高硬度スライダ用磁気
ディスクを得ることを目的とする。
この発明に係る高硬度スライダ用磁気ディスクは、基板
に形成された磁気記録媒体層と、硬質窒化ホウ素よりな
り上記磁気記録媒体層を保護する保護層とを備えたもの
である。
に形成された磁気記録媒体層と、硬質窒化ホウ素よりな
り上記磁気記録媒体層を保護する保護層とを備えたもの
である。
この発明における保護層は、硬度がビッカース硬度２０
００〜８０１３０と高イｆｔ）６． Ａ Ｉ ２０５
Ｔｉｅのような硬質のスライダ材料との組み合わせに卦
いても摩耗しにくい。このため、摩耗を原因として摩擦
力が上がったシ、摩耗粉のかみ込みによる媒体の傷つき
やヘッドクラッシュを起こしにくい。なお、硬質窒化ホ
ウ素のビッカース硬度については２例えば文献（精密工
学会誌５３／１０／１９８γ）に示されている。
００〜８０１３０と高イｆｔ）６． Ａ Ｉ ２０５
Ｔｉｅのような硬質のスライダ材料との組み合わせに卦
いても摩耗しにくい。このため、摩耗を原因として摩擦
力が上がったシ、摩耗粉のかみ込みによる媒体の傷つき
やヘッドクラッシュを起こしにくい。なお、硬質窒化ホ
ウ素のビッカース硬度については２例えば文献（精密工
学会誌５３／１０／１９８γ）に示されている。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。図面
に示した従来例と同じ構成の８インチの磁気ディスクを
作成した。基板（１）はＡｌ−Ｍｇ合金にＮｉ−０ｕ−
Ｐメツキ膜から成る下地硬化層を１０μｍ設けたもので
ある。磁気記録媒体層（２）は膜厚１５００Ａのスパッ
タγ−Ｆｅ２０３から成る。この媒体上に硬質窒化ホウ
素（ＢＮ）からなる保護層（３）を５００Ａ成膜した。
に示した従来例と同じ構成の８インチの磁気ディスクを
作成した。基板（１）はＡｌ−Ｍｇ合金にＮｉ−０ｕ−
Ｐメツキ膜から成る下地硬化層を１０μｍ設けたもので
ある。磁気記録媒体層（２）は膜厚１５００Ａのスパッ
タγ−Ｆｅ２０３から成る。この媒体上に硬質窒化ホウ
素（ＢＮ）からなる保護層（３）を５００Ａ成膜した。
保護層（３）の成膜は、いわゆるプラズマイオンビーム
で行なった。
で行なった。
すなわち、 Ｂ２Ｈ６，ＮＨ３ガスをそれぞれ別のプ
ラズマ室に導入する。プラズマ室は熱フィラメントを有
しておシ、これよ如発生する熱電子によシガスはイオン
化または解離を起こす。一対のアパーチャ電極によシこ
れを加速し、同時に基板に当ててＢＮ膜を形成する。チ
ャンバの真空度は０．０１〜ｊＱｍＴｏｒｒ に保つ様
に調整し、アパーチャ電極の加速電圧は３〜１ＱＫＶ、
ガスの流量比Ｂ ２ Ｈ６／ Ｎ Ｈ３け１／２〜１で
ある。
ラズマ室に導入する。プラズマ室は熱フィラメントを有
しておシ、これよ如発生する熱電子によシガスはイオン
化または解離を起こす。一対のアパーチャ電極によシこ
れを加速し、同時に基板に当ててＢＮ膜を形成する。チ
ャンバの真空度は０．０１〜ｊＱｍＴｏｒｒ に保つ様
に調整し、アパーチャ電極の加速電圧は３〜１ＱＫＶ、
ガスの流量比Ｂ ２ Ｈ６／ Ｎ Ｈ３け１／２〜１で
ある。
他方、同一条件でＳｉウエノ・上にＢＮ薄膜を約１μｍ
成膜し、硬度測定を行なった。ヌープ硬度および特殊々
針を用いたひつかき試験の結果、この薄膜はビッカース
硬度Ｈｖで２５００〜３０００の硬度を有することが分
かった。また、この試料のＦＴ工Ｒ（フーリエ変換赤外
吸収）スペクトルを測定したところ、１０５０ｃｍ
のダイヤモンドの次に硬いＣＢＮのピークのほかに１３
８０−’および７８０−１ の軟らかｂが潤滑性が大き
いｈＢＮの吸収が見られ２両成分が混在していると考え
られる。なお、この磁気ディスクについては図面に示す
潤滑層（４）は設けなかった。また１表面粗さは基板（
１１に同心円状のテクスチャといわれる凹凸を設けてい
るため、保護層（３）上で約５００〜１０００Ａである
。
成膜し、硬度測定を行なった。ヌープ硬度および特殊々
針を用いたひつかき試験の結果、この薄膜はビッカース
硬度Ｈｖで２５００〜３０００の硬度を有することが分
かった。また、この試料のＦＴ工Ｒ（フーリエ変換赤外
吸収）スペクトルを測定したところ、１０５０ｃｍ
のダイヤモンドの次に硬いＣＢＮのピークのほかに１３
８０−’および７８０−１ の軟らかｂが潤滑性が大き
いｈＢＮの吸収が見られ２両成分が混在していると考え
られる。なお、この磁気ディスクについては図面に示す
潤滑層（４）は設けなかった。また１表面粗さは基板（
１１に同心円状のテクスチャといわれる凹凸を設けてい
るため、保護層（３）上で約５００〜１０００Ａである
。
比較のため、Ｉｓ体層（２）以下は同一構成で、保護層
（３）をスパッタ５１０２ で５００Ａ成膜した。この
磁気ディスクについてはフロロカーボン系の液体潤滑剤
（４）を塗布した。
（３）をスパッタ５１０２ で５００Ａ成膜した。この
磁気ディスクについてはフロロカーボン系の液体潤滑剤
（４）を塗布した。
スパッタ５１０２についても、やけシＳ１ ウェハに１
μｍ同一条件で成膜した膜につき硬度を測定したところ
、ビッカース硬度で約８００であつた。
μｍ同一条件で成膜した膜につき硬度を測定したところ
、ビッカース硬度で約８００であつた。
これらの磁気ディスクについて種々の特性を調べた結果
を次頁の表に示す。？ｌ１１１定はそれぞれ３枚のディ
スクで行なった。潤滑処理がなりにもかかわらず２本発
明の一実施例による磁気ディスクは動摩擦係数が小さく
安定していた。これに対し。
を次頁の表に示す。？ｌ１１１定はそれぞれ３枚のディ
スクで行なった。潤滑処理がなりにもかかわらず２本発
明の一実施例による磁気ディスクは動摩擦係数が小さく
安定していた。これに対し。
５１０２を保護膜としたものは、動摩擦係数が所々大き
い場所があシ、安定しなかった。さらに。
い場所があシ、安定しなかった。さらに。
Ｃ８Ｓ後の磁気ディスクおよび磁気へラドスライダ上の
損傷を観察すると（表中○は損傷・付着物が顕微鏡でほ
とんど見られないもの、Δはわずかに見られるものを示
す）、５ｉｏ２ を保護膜としたものでは所々に保護
膜および媒体の剥離が見られるものがあった。さらに、
磁気ディスクおよび磁気へラドスライダの付着物はＳｉ
Ｏ２を保護膜としたものでは磁気ディスク・磁気へラド
スライダ共に付着物が見られたが９本発明による磁気デ
ィスクではスライダにわずかに見られる程度であった。
損傷を観察すると（表中○は損傷・付着物が顕微鏡でほ
とんど見られないもの、Δはわずかに見られるものを示
す）、５ｉｏ２ を保護膜としたものでは所々に保護
膜および媒体の剥離が見られるものがあった。さらに、
磁気ディスクおよび磁気へラドスライダの付着物はＳｉ
Ｏ２を保護膜としたものでは磁気ディスク・磁気へラド
スライダ共に付着物が見られたが９本発明による磁気デ
ィスクではスライダにわずかに見られる程度であった。
なお、上記実施例では窒化ホウ素膜（３）はｃＢＮとｈ
ＢＮとの混合物である場合について示したが。
ＢＮとの混合物である場合について示したが。
ｃＢＮのみであっても良い。また、窒化ホウ素膜（３）
は、成膜時に加速電圧を上げる。あるいはガス流量を下
げることによってその硬度を上げることができる。
は、成膜時に加速電圧を上げる。あるいはガス流量を下
げることによってその硬度を上げることができる。
また、上記実施例では基板（１１としてＡニーＭｇ基材
基板にＮｉ−０ｕ−Ｐ合金をめっきしたものを用いた場
合を示したが、同様の基材にＮ１−Ｐ合金をめっきした
ものや９表面をアルマイト処理したものを用いてもよい
。
基板にＮｉ−０ｕ−Ｐ合金をめっきしたものを用いた場
合を示したが、同様の基材にＮ１−Ｐ合金をめっきした
ものや９表面をアルマイト処理したものを用いてもよい
。
また、上記実施例では磁気記録媒体層（２）としてγ−
Ｆｅ２Ｏ３から成るスパッタ膜を用いた場合を示したが
、これに限るものではなく１例えばＣｏ−Ｎｉや他の磁
性材料でもよい。
Ｆｅ２Ｏ３から成るスパッタ膜を用いた場合を示したが
、これに限るものではなく１例えばＣｏ−Ｎｉや他の磁
性材料でもよい。
さらに、保護層（３）の上に潤滑層（４）を設けてもよ
い。
い。
以上のように、この発明によれば、基板に形成された磁
気記録媒体層と、硬質窒化ホウ素よりなり上記磁気記録
媒体層を保護する保護層とを備えたので、高硬度スライ
ダとの組み合わせにおいても磁気記録媒体層の傷つきや
摩耗を防止することができる効果がある。
気記録媒体層と、硬質窒化ホウ素よりなり上記磁気記録
媒体層を保護する保護層とを備えたので、高硬度スライ
ダとの組み合わせにおいても磁気記録媒体層の傷つきや
摩耗を防止することができる効果がある。
図面は一般的な磁気ディスクを示す断面図である。
図におして、（１）は基板、（２）は磁気記録媒体層。
（３）は保護層、（４）は潤滑層である。
Claims (1)
- 始動時と静止時に接触する磁気ヘッドスライダにより情
報の記録・再生を行なうコンタクト・スタート・ストッ
プ方式の高硬度スライダ用磁気ディスクにおいて、基板
に形成された磁気記録媒体層と、硬質窒化ホウ素よりな
り上記磁気記録媒体層を保護する保護層とを備えたこと
を特徴とする高硬度スライダ用磁気ディスク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18990588A JPH0240129A (ja) | 1988-07-29 | 1988-07-29 | 高硬度スライダ用磁気ディスク |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18990588A JPH0240129A (ja) | 1988-07-29 | 1988-07-29 | 高硬度スライダ用磁気ディスク |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0240129A true JPH0240129A (ja) | 1990-02-08 |
Family
ID=16249165
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18990588A Pending JPH0240129A (ja) | 1988-07-29 | 1988-07-29 | 高硬度スライダ用磁気ディスク |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0240129A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0601839A1 (en) * | 1992-12-10 | 1994-06-15 | International Business Machines Corporation | Process for coating magnetic recording device or medium |
| US5525392A (en) * | 1992-12-10 | 1996-06-11 | International Business Machines Corporation | Magnetic recording medium having a fluorinated polymeric protective layer formed by an ion beam |
-
1988
- 1988-07-29 JP JP18990588A patent/JPH0240129A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0601839A1 (en) * | 1992-12-10 | 1994-06-15 | International Business Machines Corporation | Process for coating magnetic recording device or medium |
| US5525392A (en) * | 1992-12-10 | 1996-06-11 | International Business Machines Corporation | Magnetic recording medium having a fluorinated polymeric protective layer formed by an ion beam |
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