JPS61131231A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPS61131231A JPS61131231A JP25305984A JP25305984A JPS61131231A JP S61131231 A JPS61131231 A JP S61131231A JP 25305984 A JP25305984 A JP 25305984A JP 25305984 A JP25305984 A JP 25305984A JP S61131231 A JPS61131231 A JP S61131231A
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- JP
- Japan
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- thin film
- magnetic
- layer
- recording medium
- magnetic recording
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は磁気記録媒体に係り、特に潤滑層を有する磁
気記録媒体に関する。
気記録媒体に関する。
近年、情報処理技術の発達に伴ってメモリ装置が担う情
報量は飛躍的に増加し、フロッピーディスク等の磁気記
録媒体に対する大容量化の要求もますます高まっている
。この要求に応えるため、高密度記録の可能な磁気記録
媒体、特に最近では膜面に垂直な方向の磁化を利用して
記録を行なう垂直磁気記録用の磁気記録媒体の研究・開
発が活発になされている。垂直磁気記録用磁気記録媒体
は垂直磁気異方性を有する記録磁性層を備えた媒体であ
り、現在実用されている面内記録用の磁気記録媒体の多
くを構成している塗布型媒体よりも、記録磁性層として
Co−Qr系合金等の金属薄膜をスパッタや蒸着により
形成した金属薄膜型媒体、あるいはBaフェライトやS
rフエモライト等のマグネトプラム型結晶構造を有する
酸化物薄膜型媒体が高密度記録に適した媒体として有望
視されている。
報量は飛躍的に増加し、フロッピーディスク等の磁気記
録媒体に対する大容量化の要求もますます高まっている
。この要求に応えるため、高密度記録の可能な磁気記録
媒体、特に最近では膜面に垂直な方向の磁化を利用して
記録を行なう垂直磁気記録用の磁気記録媒体の研究・開
発が活発になされている。垂直磁気記録用磁気記録媒体
は垂直磁気異方性を有する記録磁性層を備えた媒体であ
り、現在実用されている面内記録用の磁気記録媒体の多
くを構成している塗布型媒体よりも、記録磁性層として
Co−Qr系合金等の金属薄膜をスパッタや蒸着により
形成した金属薄膜型媒体、あるいはBaフェライトやS
rフエモライト等のマグネトプラム型結晶構造を有する
酸化物薄膜型媒体が高密度記録に適した媒体として有望
視されている。
ところで、塗布型媒体では磁性粉をバインダ等と混ぜて
基体上に塗布することにより記録磁性層が形成されるた
め、磁性層中に潤滑剤を混入させることが容易であり、
それによって媒体と磁気ヘッドとの間の潤滑性を維持し
、媒体およびヘッドの耐久性を十分に得ることができる
。
基体上に塗布することにより記録磁性層が形成されるた
め、磁性層中に潤滑剤を混入させることが容易であり、
それによって媒体と磁気ヘッドとの間の潤滑性を維持し
、媒体およびヘッドの耐久性を十分に得ることができる
。
これに対し、金属薄膜型媒体や酸化物薄膜型媒体では記
録磁性層中に潤滑剤を混入させることが困難であるため
、フェライト製などの硬い材質の磁気ヘッドが媒体上を
走行すると、媒体表面やヘッドの表面にスクラッチ等の
損傷が生じ易くなる。
録磁性層中に潤滑剤を混入させることが困難であるため
、フェライト製などの硬い材質の磁気ヘッドが媒体上を
走行すると、媒体表面やヘッドの表面にスクラッチ等の
損傷が生じ易くなる。
この場合には、媒体およびヘッドの耐久性が損われるば
かりでなく、媒体やヘッドの摩耗粉の付着により媒体・
ヘッド間の距離が増大してスペーシング・ロスが大きく
なり、周波数特性の劣化や、再生時の出力低下および出
力変動の要因となる。
かりでなく、媒体やヘッドの摩耗粉の付着により媒体・
ヘッド間の距離が増大してスペーシング・ロスが大きく
なり、周波数特性の劣化や、再生時の出力低下および出
力変動の要因となる。
そこで、金属薄膜型媒体の場合には記録磁性層上に潤滑
剤を塗布することが考えられるが、スパッタリング等に
より形成された膜は表面性が非常に良好であるため、潤
滑剤のぬれ性およびその保持能力が低く、従ってこの上
に潤滑剤を十分な付着力で、かつ均一に塗布することは
困難であり、上述した問題は依然として解決されない。
剤を塗布することが考えられるが、スパッタリング等に
より形成された膜は表面性が非常に良好であるため、潤
滑剤のぬれ性およびその保持能力が低く、従ってこの上
に潤滑剤を十分な付着力で、かつ均一に塗布することは
困難であり、上述した問題は依然として解決されない。
また、垂直磁気記録方式は本質的に記録密度が面内磁気
記録方式よりもはるかに高く記録波長を知くできるので
あるが、そのためにはヘッド・媒体間の距離を極度に小
さく抑える必要があり、従って保護層および潤滑層の厚
さも制限される。ところが、保護層および潤滑層の厚さ
をこのように垂直磁気記録媒体としての十分な性能を引
出せる程度に薄くした場合には、耐久性の向上効果はあ
まり期待できなくなる。
記録方式よりもはるかに高く記録波長を知くできるので
あるが、そのためにはヘッド・媒体間の距離を極度に小
さく抑える必要があり、従って保護層および潤滑層の厚
さも制限される。ところが、保護層および潤滑層の厚さ
をこのように垂直磁気記録媒体としての十分な性能を引
出せる程度に薄くした場合には、耐久性の向上効果はあ
まり期待できなくなる。
この発明の目的は、記録磁性層を金属薄膜や酸化物薄膜
で形成した場合でも潤滑層を十分な付着力で均一に形成
することが可能であって、媒体自身および磁気ヘッドの
耐久性を著しく高めることができ、記録再生特性も良好
な磁気記録媒体を提供することである。
で形成した場合でも潤滑層を十分な付着力で均一に形成
することが可能であって、媒体自身および磁気ヘッドの
耐久性を著しく高めることができ、記録再生特性も良好
な磁気記録媒体を提供することである。
この発明に係る磁気記録媒体は、垂直磁気異方性を有す
る記録磁性層上に保護層として、シリコン、窒素および
酸素を含む薄膜(以下、5i−N−0系薄膜という)を
形成し、この薄膜上に潤滑層を形成したことを特徴とし
ている。この5i−N−0系薄膜は非晶質であることが
より望ましい。
る記録磁性層上に保護層として、シリコン、窒素および
酸素を含む薄膜(以下、5i−N−0系薄膜という)を
形成し、この薄膜上に潤滑層を形成したことを特徴とし
ている。この5i−N−0系薄膜は非晶質であることが
より望ましい。
この発明によれば、記録磁性層の上に5i−N−0系薄
膜を介して潤滑層が形成されていることにより、潤滑層
が良好に、かつ均一に形成された磁気記録媒体が提供さ
れる。
膜を介して潤滑層が形成されていることにより、潤滑層
が良好に、かつ均一に形成された磁気記録媒体が提供さ
れる。
すなわち、5i−N−0系薄膜はその上に形成される潤
滑層のぬれ性およびその保持能力が他の保護層と比べ優
れているため、この上に形成される潤滑層により媒体と
ヘッドとの摩擦を効果的に減少させることができる。従
って、co−cr合金薄膜のような金属薄膜や、酸化物
薄膜を記録磁性層とした磁気記録媒体においても、媒体
と磁気ヘッドとの間の潤滑作用が十分に得られるように
なるので、媒体やヘッドの摩耗・損傷が著しく減少し、
耐久性が大幅に向上する。しかも、3i−N−0系薄膜
は特にco−cr系合金薄膜等からなる垂直磁気異方性
を有する記録磁性層とのなじみも良く、かつビッカース
硬度が約1400Kg/TItと非常に硬質であるため
、膜厚が比較的薄くとも記録磁性層を磁気ヘッドとの接
触による損傷から機械的に保護し、耐食性をも向上させ
るという効果を持つ。また、S+−N−0系薄膜に対す
る潤滑層のぬれ性が良好であるということは、潤滑層を
薄くかつ均一な厚さに形成できるということであり、そ
の結果スペーシング・ロスが減少して周波数特性が向上
し、再生出力の低下および出力変動も小さくなり、エラ
ー率も減少する。
滑層のぬれ性およびその保持能力が他の保護層と比べ優
れているため、この上に形成される潤滑層により媒体と
ヘッドとの摩擦を効果的に減少させることができる。従
って、co−cr合金薄膜のような金属薄膜や、酸化物
薄膜を記録磁性層とした磁気記録媒体においても、媒体
と磁気ヘッドとの間の潤滑作用が十分に得られるように
なるので、媒体やヘッドの摩耗・損傷が著しく減少し、
耐久性が大幅に向上する。しかも、3i−N−0系薄膜
は特にco−cr系合金薄膜等からなる垂直磁気異方性
を有する記録磁性層とのなじみも良く、かつビッカース
硬度が約1400Kg/TItと非常に硬質であるため
、膜厚が比較的薄くとも記録磁性層を磁気ヘッドとの接
触による損傷から機械的に保護し、耐食性をも向上させ
るという効果を持つ。また、S+−N−0系薄膜に対す
る潤滑層のぬれ性が良好であるということは、潤滑層を
薄くかつ均一な厚さに形成できるということであり、そ
の結果スペーシング・ロスが減少して周波数特性が向上
し、再生出力の低下および出力変動も小さくなり、エラ
ー率も減少する。
さらに、このように5i−N−○系薄膜および潤滑層の
厚さが共に薄くてよくヘッド媒体間の実効的距離が小さ
くなることから、スペーシング・ロスが減少するのみな
らず、短波長・高密度記録という垂直磁気記録特性の特
長が最大限に発揮されるという利点がある。
厚さが共に薄くてよくヘッド媒体間の実効的距離が小さ
くなることから、スペーシング・ロスが減少するのみな
らず、短波長・高密度記録という垂直磁気記録特性の特
長が最大限に発揮されるという利点がある。
また、5i−N−0系薄膜は特に非晶質の場合、粒界等
の微視的な不均一性も存在せず、極めて均一であるため
、対候性の飛躍的改善を図ることもできる。
の微視的な不均一性も存在せず、極めて均一であるため
、対候性の飛躍的改善を図ることもできる。
第1図はこの発明の一実施例の磁気記録媒体を示す断面
図である。図において基体1は樹脂製のフィルム状基体
であり、この基体1の両面上に記録磁性層として例えば
直流マグネトロンスパッタリングにより厚さ0.5μm
のCo−Cr系合金薄膜2がそれぞれ形成されている。
図である。図において基体1は樹脂製のフィルム状基体
であり、この基体1の両面上に記録磁性層として例えば
直流マグネトロンスパッタリングにより厚さ0.5μm
のCo−Cr系合金薄膜2がそれぞれ形成されている。
このCo−Cr系合金薄膜2は膜面に垂直方向に磁化容
易軸を持つように配向され、いわゆる垂直磁気異方性を
有する。そして、Co−Cr系合金薄膜2上に厚さ20
0人程m05i−N−0系薄膜3がそれぞれ形成され、
さらにこの5i−N−0系薄膜3の上に、潤滑層4とし
て好ましくはフロロカーボン系の液体潤滑層が塗布・形
成されている。
易軸を持つように配向され、いわゆる垂直磁気異方性を
有する。そして、Co−Cr系合金薄膜2上に厚さ20
0人程m05i−N−0系薄膜3がそれぞれ形成され、
さらにこの5i−N−0系薄膜3の上に、潤滑層4とし
て好ましくはフロロカーボン系の液体潤滑層が塗布・形
成されている。
S 1−N−0系薄膜3は例えば窒化シリコンターゲッ
トを用いた高周波スパッタリングにより形成される。こ
の場合、スパッタ用真空室を予め10−7Torr程度
まで真空に引き、残留した不純物ガスを十分に取除いた
後、アルゴンガスおよび酸素ガスを10〜2程度まで導
入してスパッタを行なった。なお、5i−N−○光薄膜
3の形成にはその他、シリコンターゲットを用いた反応
性スパッタリングを使用することもできる。この5i−
N−0系薄膜3中のシリコン、窒素、酸素およびその他
の不純物の割合は、成膜速度、スパッタガス圧の酸素分
圧等によって制御される。こうして形成された5i−N
−0系薄膜3は一般に非晶質であり、co−Cr系合金
薄膜2とのなじみ、密着性が良く、しかもフロロカーボ
ン系潤滑剤からなる潤滑層4のぬれ性、保持能力が優れ
ているため、潤滑層4を垂直磁気記録特性を損わない程
度に薄く、かつ均一な厚みに塗布することができる。ま
た、窒化珪素薄膜3と潤滑層4との結合力も十分に得ら
れる。
トを用いた高周波スパッタリングにより形成される。こ
の場合、スパッタ用真空室を予め10−7Torr程度
まで真空に引き、残留した不純物ガスを十分に取除いた
後、アルゴンガスおよび酸素ガスを10〜2程度まで導
入してスパッタを行なった。なお、5i−N−○光薄膜
3の形成にはその他、シリコンターゲットを用いた反応
性スパッタリングを使用することもできる。この5i−
N−0系薄膜3中のシリコン、窒素、酸素およびその他
の不純物の割合は、成膜速度、スパッタガス圧の酸素分
圧等によって制御される。こうして形成された5i−N
−0系薄膜3は一般に非晶質であり、co−Cr系合金
薄膜2とのなじみ、密着性が良く、しかもフロロカーボ
ン系潤滑剤からなる潤滑層4のぬれ性、保持能力が優れ
ているため、潤滑層4を垂直磁気記録特性を損わない程
度に薄く、かつ均一な厚みに塗布することができる。ま
た、窒化珪素薄膜3と潤滑層4との結合力も十分に得ら
れる。
従って、磁気記録媒体自身およびこれに接触して走行す
る磁気ヘッドの耐久性向上に大きく寄与することができ
る。そしてこの場合、媒体やヘッドの摩耗粉の付着が少
ないことと、窒化珪素薄膜3および潤滑層4の厚さが比
較的薄くて済むことから、媒体・ヘッド間の実効的距離
が小さく抑えられる。これによりスペーシング・ロスが
小さくなり、周波数特性が良好で、再生時における出力
低下および出力変動を少なくできるとともに、良好な垂
直磁気記録特性が得られる。
る磁気ヘッドの耐久性向上に大きく寄与することができ
る。そしてこの場合、媒体やヘッドの摩耗粉の付着が少
ないことと、窒化珪素薄膜3および潤滑層4の厚さが比
較的薄くて済むことから、媒体・ヘッド間の実効的距離
が小さく抑えられる。これによりスペーシング・ロスが
小さくなり、周波数特性が良好で、再生時における出力
低下および出力変動を少なくできるとともに、良好な垂
直磁気記録特性が得られる。
第1表および第2表はCo−Cr系合金薄膜上に高周波
スパッタリングにより種々の保護層を形成した磁気記録
媒体について、耐久性を調べた実験結果を示したもので
ある。但し、実験は上述した構成の磁気記録媒体をフロ
ッピーディスクの形態に作製し、このディスクを毎分3
00回転で回転走行させながら、フェライト磁気ヘッド
をディスク上の同一トラックに接触させて行なった。こ
こで、耐久性は媒体(ディスク)およびヘラどの少なく
とも一方が著しい損傷を受けるまでの走行回数(パス)
である。著しい損傷とは媒体の場合、保護層および記録
層の少なくとも一部がけずれて、基体の表面が露出した
状態をいう。
スパッタリングにより種々の保護層を形成した磁気記録
媒体について、耐久性を調べた実験結果を示したもので
ある。但し、実験は上述した構成の磁気記録媒体をフロ
ッピーディスクの形態に作製し、このディスクを毎分3
00回転で回転走行させながら、フェライト磁気ヘッド
をディスク上の同一トラックに接触させて行なった。こ
こで、耐久性は媒体(ディスク)およびヘラどの少なく
とも一方が著しい損傷を受けるまでの走行回数(パス)
である。著しい損傷とは媒体の場合、保護層および記録
層の少なくとも一部がけずれて、基体の表面が露出した
状態をいう。
第1表
この第1表に示すように、S 1−N−0系薄膜上にフ
ロロカーボン系潤滑層を形成したこの発明に基く磁気記
録媒体では、保護層である5i−N−〇系薄膜および潤
滑層を垂直磁気記録に適した薄い厚さに抑えながら、酸
化アルミニウム膜や炭化タングステン膜あるいは窒化シ
リコン薄膜等を保護層として用いた従来の磁気記録媒体
に比べて耐久性の著しい改善を示すことが明らかである
。
ロロカーボン系潤滑層を形成したこの発明に基く磁気記
録媒体では、保護層である5i−N−〇系薄膜および潤
滑層を垂直磁気記録に適した薄い厚さに抑えながら、酸
化アルミニウム膜や炭化タングステン膜あるいは窒化シ
リコン薄膜等を保護層として用いた従来の磁気記録媒体
に比べて耐久性の著しい改善を示すことが明らかである
。
第2図はこの発明の他の実施例の磁気記録媒体を示すも
ので、非磁性基体11上に蒸着法により下地軟磁性層1
2と、記録磁性層としてのCo−Cr系合金薄膜13が
形成され、その上に3i−N−〇光薄膜14が例えばマ
グネトロンスパッタリングにより形成され、さらにその
上に好ましくはフロロカーボン系潤滑剤からなる固体潤
滑層15がスパッタリングにより形成されている。下地
軟磁性層12は例えばパーマロイ薄膜、C0−Z゛系合
金薄膜またはセンダ2ト合金薄膜等が使 。
ので、非磁性基体11上に蒸着法により下地軟磁性層1
2と、記録磁性層としてのCo−Cr系合金薄膜13が
形成され、その上に3i−N−〇光薄膜14が例えばマ
グネトロンスパッタリングにより形成され、さらにその
上に好ましくはフロロカーボン系潤滑剤からなる固体潤
滑層15がスパッタリングにより形成されている。下地
軟磁性層12は例えばパーマロイ薄膜、C0−Z゛系合
金薄膜またはセンダ2ト合金薄膜等が使 。
用される。5t−N−0系薄膜14は、例えば酸素を少
量含むアルゴン雰囲気中でスパッタリング形成される。
量含むアルゴン雰囲気中でスパッタリング形成される。
このように形成された磁気記録媒体においても、前記実
施例で説明した磁気記録媒体と同様に優れた耐久性が得
られる。
施例で説明した磁気記録媒体と同様に優れた耐久性が得
られる。
この発明は上述した実施例に限定されるものではなく、
その要旨を逸脱ない範囲で種々変形実施することが可能
である。例えば記録磁性層としてはC0−Cr−Ni合
金薄膜のようなCo、 Cr以外の成分を含むCo−C
r系合金薄膜や、金属酸化物薄膜等でもよく、特にこの
発明は表面に潤滑層を形成する必要のある金属薄膜また
は金属酸化物薄膜を記録磁性層とする磁気記録媒体に有
効である。また、基体および潤滑層の材質も種々選択す
ることができる。さらに、実施例では基体の両面側に記
録磁性層および潤滑層が形成されている磁気記録媒体に
ついて述べたが、片面にのみこれらが形成されている媒
体にも本発明を適用することができるのは勿論である。
その要旨を逸脱ない範囲で種々変形実施することが可能
である。例えば記録磁性層としてはC0−Cr−Ni合
金薄膜のようなCo、 Cr以外の成分を含むCo−C
r系合金薄膜や、金属酸化物薄膜等でもよく、特にこの
発明は表面に潤滑層を形成する必要のある金属薄膜また
は金属酸化物薄膜を記録磁性層とする磁気記録媒体に有
効である。また、基体および潤滑層の材質も種々選択す
ることができる。さらに、実施例では基体の両面側に記
録磁性層および潤滑層が形成されている磁気記録媒体に
ついて述べたが、片面にのみこれらが形成されている媒
体にも本発明を適用することができるのは勿論である。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の一実施例に係る磁気記録媒13一
体の断面図、第2図はこの発明の他の実施例に係る磁気
記録媒体の断面図である。 1・・・樹脂製フィルム状基体、2・・・Co−Cr系
合金薄膜(記録磁性層)、3・・・5i−N−〇系薄膜
、4・・・液体潤滑層、11・・・非磁性基体、12・
・・・・・下地軟磁性層、13・・・Co−Cr系合金
薄膜(記録磁性層)、14・・・S i −N−0系薄
膜、15・・・固体潤滑層。
記録媒体の断面図である。 1・・・樹脂製フィルム状基体、2・・・Co−Cr系
合金薄膜(記録磁性層)、3・・・5i−N−〇系薄膜
、4・・・液体潤滑層、11・・・非磁性基体、12・
・・・・・下地軟磁性層、13・・・Co−Cr系合金
薄膜(記録磁性層)、14・・・S i −N−0系薄
膜、15・・・固体潤滑層。
Claims (5)
- (1)垂直磁気異方性を有する記録磁性層を備えた磁気
記録媒体において、前記記録磁性層上にシリコン、窒素
および酸素を含む薄膜が形成され、さらにこの薄膜上に
潤滑層が形成されていることを特徴とする磁気記録媒体
。 - (2)シリコン、窒素および酸素を含む薄膜が非晶質で
あることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の磁気
記録媒体。 - (3)潤滑層がフロロカーボン系潤滑剤からなることを
特徴とする特許請求の範囲第1項記載の磁気記録媒体。 - (4)記録磁性層がCo−Cr系合金薄膜であることを
特徴とする特許請求の範囲第1項記載の磁気記録媒体。 - (5)該磁気記録媒体がフロッピーディスクであること
を特徴とする特許請求の範囲第1項記載の磁気記録媒体
。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25305984A JPS61131231A (ja) | 1984-11-30 | 1984-11-30 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25305984A JPS61131231A (ja) | 1984-11-30 | 1984-11-30 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61131231A true JPS61131231A (ja) | 1986-06-18 |
Family
ID=17245912
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP25305984A Pending JPS61131231A (ja) | 1984-11-30 | 1984-11-30 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61131231A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63168831A (ja) * | 1986-12-31 | 1988-07-12 | バスフ アクチェンゲゼルシャフト | 磁気記録担体及びその製造方法 |
JPS6442039A (en) * | 1987-08-07 | 1989-02-14 | Alps Electric Co Ltd | Magneto-optical recording medium |
US5023739A (en) * | 1988-02-15 | 1991-06-11 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Tape cassette with a trapping layer having a corrosiveness which is equal to or higher than that of the magnetic recording layer on the tape |
US5235486A (en) * | 1990-04-04 | 1993-08-10 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Tape cassette for adsorbing and trapping corrosive gases |
-
1984
- 1984-11-30 JP JP25305984A patent/JPS61131231A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63168831A (ja) * | 1986-12-31 | 1988-07-12 | バスフ アクチェンゲゼルシャフト | 磁気記録担体及びその製造方法 |
JPS6442039A (en) * | 1987-08-07 | 1989-02-14 | Alps Electric Co Ltd | Magneto-optical recording medium |
US5023739A (en) * | 1988-02-15 | 1991-06-11 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Tape cassette with a trapping layer having a corrosiveness which is equal to or higher than that of the magnetic recording layer on the tape |
US5235486A (en) * | 1990-04-04 | 1993-08-10 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Tape cassette for adsorbing and trapping corrosive gases |
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