JPS63268127A - 磁気記憶体およびその製造方法 - Google Patents
磁気記憶体およびその製造方法Info
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- JPS63268127A JPS63268127A JP62099899A JP9989987A JPS63268127A JP S63268127 A JPS63268127 A JP S63268127A JP 62099899 A JP62099899 A JP 62099899A JP 9989987 A JP9989987 A JP 9989987A JP S63268127 A JPS63268127 A JP S63268127A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/72—Protective coatings, e.g. anti-static or antifriction
- G11B5/722—Protective coatings, e.g. anti-static or antifriction containing an anticorrosive material
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Y10S428/90—Magnetic feature
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は磁気記録装置に用いられている磁気ディスク、
磁気ドラム、磁気テープ等の磁気記憶体およびその製造
方法に関する。
磁気ドラム、磁気テープ等の磁気記憶体およびその製造
方法に関する。
［従来の技術］
近年、高密度磁気記憶体の記録媒体として磁性金属薄膜
を使用したハードディスク、フロッピーディスクが急速
に普及し、それに伴って磁気記録装置に対する高記録密
度化の要求は年々増大してきている。高記録密度を達成
する手段の一つに磁気ヘッドと磁性媒体間の分離長の低
減があり、磁気ヘッドの低浮上伍化や保護膜の薄膜化が
実用化に向けての重要な課題となっている。
を使用したハードディスク、フロッピーディスクが急速
に普及し、それに伴って磁気記録装置に対する高記録密
度化の要求は年々増大してきている。高記録密度を達成
する手段の一つに磁気ヘッドと磁性媒体間の分離長の低
減があり、磁気ヘッドの低浮上伍化や保護膜の薄膜化が
実用化に向けての重要な課題となっている。
磁性媒体上に設けられる保護膜には主に次のような性能
が求められている。一つは、記録装置の起動、停止時に
生じる磁気ヘッドとの摩擦接触に耐えるための耐摩耗性
であり、他の一つは磁性薄膜を腐食から守るための防食
性を有することである。このような特性を有する保護膜
として従来は５ｉ０２等の酸化膜（特公昭５８−１８５
０２９号公報）やカーボン等の固体潤滑膜（特公昭６０
−２３４０６号公報）が実用化されている。
が求められている。一つは、記録装置の起動、停止時に
生じる磁気ヘッドとの摩擦接触に耐えるための耐摩耗性
であり、他の一つは磁性薄膜を腐食から守るための防食
性を有することである。このような特性を有する保護膜
として従来は５ｉ０２等の酸化膜（特公昭５８−１８５
０２９号公報）やカーボン等の固体潤滑膜（特公昭６０
−２３４０６号公報）が実用化されている。
［発明が解決しようとする問題点］
近年の高記録密度磁気記憶体に対する社会的要請は前述
したように保護膜の著しい薄膜化を要求しており、５０
ＫＢＰＩ以上の記録密度を得るためには保護膜の膜厚を
少くとも５０ｎｍ以下にする必要があるとされている。
したように保護膜の著しい薄膜化を要求しており、５０
ＫＢＰＩ以上の記録密度を得るためには保護膜の膜厚を
少くとも５０ｎｍ以下にする必要があるとされている。
そ、のような低膜厚の保護膜によって機械的耐久性や耐
候性を保証することは技術的にみて著しい困難を伴うも
のであり、特に耐食性に問題のある金属薄膜を磁性媒体
に使用した磁気記憶体においては腐食に起因するビット
エラーの発生を完全に抑えることは現在の保護膜材料で
は至難の技ともいえる。
候性を保証することは技術的にみて著しい困難を伴うも
のであり、特に耐食性に問題のある金属薄膜を磁性媒体
に使用した磁気記憶体においては腐食に起因するビット
エラーの発生を完全に抑えることは現在の保護膜材料で
は至難の技ともいえる。
本発明は以上述べたような従来の問題点を解決するため
になされたもので、磁性媒体の防食性に優れ、かつ機械
的耐久性にも優れた保護膜を有する磁気記憶体およびそ
の製造方法を提供することを目的とする。
になされたもので、磁性媒体の防食性に優れ、かつ機械
的耐久性にも優れた保護膜を有する磁気記憶体およびそ
の製造方法を提供することを目的とする。
［問題点を解決するための手段］
本発明において上記の問題点を解決するための手段は、
下地体上に形成された磁性媒体上に、少なくとも１種の
非金属硬質化合物と弗化黒鉛との混合物よりなる層が形
成されてなることを特徴とする磁気記憶体であり、その
製造方、法は下地体上に形成された磁性媒体上に、少な
くとも１種の非金属硬質化合物と弗化黒鉛との混合物よ
りなる層を共スパッタ法により形成したことを特徴とす
る。
下地体上に形成された磁性媒体上に、少なくとも１種の
非金属硬質化合物と弗化黒鉛との混合物よりなる層が形
成されてなることを特徴とする磁気記憶体であり、その
製造方、法は下地体上に形成された磁性媒体上に、少な
くとも１種の非金属硬質化合物と弗化黒鉛との混合物よ
りなる層を共スパッタ法により形成したことを特徴とす
る。
また、本発明において上記の問題点を解決するためのも
う一つの手段は、下地体上に形成された磁性媒体上に、
少なくとも１種の非金属硬質化合物よりなる層と弗化黒
鉛よりなる層とが順次形成されてなることを特徴とする
磁気記憶体でおり、その！Ｉ！造方法は、下地体上に形
成された磁性媒体上に、少なくとも１種の非金属硬質化
合物よりなる層を形成し、次いで弗化黒鉛よりなる層を
スパッタ法により形成したことを特徴とする。
う一つの手段は、下地体上に形成された磁性媒体上に、
少なくとも１種の非金属硬質化合物よりなる層と弗化黒
鉛よりなる層とが順次形成されてなることを特徴とする
磁気記憶体でおり、その！Ｉ！造方法は、下地体上に形
成された磁性媒体上に、少なくとも１種の非金属硬質化
合物よりなる層を形成し、次いで弗化黒鉛よりなる層を
スパッタ法により形成したことを特徴とする。
本発明は作用の項に後述するような極めて安定した化学
的性質と良好な層間性を有する弗化黒鉛を保護膜材料の
主成分とすることにより磁気記憶体に優れた耐候性と摩
擦特性を付与することを特徴とするものである。
的性質と良好な層間性を有する弗化黒鉛を保護膜材料の
主成分とすることにより磁気記憶体に優れた耐候性と摩
擦特性を付与することを特徴とするものである。
また、弗化黒鉛が層間材料であるがゆえに必然的に比較
的低い機械的強度と耐摩耗性を示すことを考慮して、非
金属硬質化合物、たとえば無機酸化物、無機窒化物もし
くは無機炭化物を混合し、あるいは弗化黒鉛の下地層と
して設けることにより、優れた機械的耐久性をも有する
磁気記憶体を提供することを意図している。
的低い機械的強度と耐摩耗性を示すことを考慮して、非
金属硬質化合物、たとえば無機酸化物、無機窒化物もし
くは無機炭化物を混合し、あるいは弗化黒鉛の下地層と
して設けることにより、優れた機械的耐久性をも有する
磁気記憶体を提供することを意図している。
本発明の磁気記憶体を製造するに必たっては、弗化黒鉛
を含む、あるいは弗化黒鉛からなる層の形成を弗素ガス
を含有する雰囲気中で行うのが望ましい。
を含む、あるいは弗化黒鉛からなる層の形成を弗素ガス
を含有する雰囲気中で行うのが望ましい。
［作用］
弗化黒鉛、すなわち弗化炭素高分子体の主な性質を列挙
すると、（１）現在製造可能なあらゆる物質の中で最も
低い表面エネルギーを有すること、および（２）耐酸性
、耐アルカリ性等の面でポリテトラフロロエチレン（Ｐ
ＴＦＥ、商品名テフロン）に匹敵する化学的安定性を有
すると同時に、ＰＴＦＥを凌ぐ撥水性を有し、高湿度条
件下での磁性媒体 ゛の腐食を防止する保護作用が極め
て高いことが予想される。
すると、（１）現在製造可能なあらゆる物質の中で最も
低い表面エネルギーを有すること、および（２）耐酸性
、耐アルカリ性等の面でポリテトラフロロエチレン（Ｐ
ＴＦＥ、商品名テフロン）に匹敵する化学的安定性を有
すると同時に、ＰＴＦＥを凌ぐ撥水性を有し、高湿度条
件下での磁性媒体 ゛の腐食を防止する保護作用が極め
て高いことが予想される。
弗化黒鉛にはこのような優れた効果が期待できる反面、
層間材料でおり、Ｃ軸方向の結合力がファンデルワール
ス的であるために、高い機械的強度が得がたく、その結
果耐摩耗性、耐ヘッドクラツシユ性などの機械的耐久性
に問題がある。そこで、弗化黒鉛中に硬質化合物を分散
させることによって、あるいは、弗化黒鉛の下地に硬質
化合物層を設けることにより保護膜全体の機械的強度の
向上を達成し、それによって磁気ディスクの機械的耐久
性を向上せしめるものである。
層間材料でおり、Ｃ軸方向の結合力がファンデルワール
ス的であるために、高い機械的強度が得がたく、その結
果耐摩耗性、耐ヘッドクラツシユ性などの機械的耐久性
に問題がある。そこで、弗化黒鉛中に硬質化合物を分散
させることによって、あるいは、弗化黒鉛の下地に硬質
化合物層を設けることにより保護膜全体の機械的強度の
向上を達成し、それによって磁気ディスクの機械的耐久
性を向上せしめるものである。
「実施例」
次に本発明を実施例によって説明する。
第１図は本発明の一実施例でおる磁気ディスクの部分断
面図で必る。図中、１は下地体、２は磁性媒体層、３は
非金属硬質化合物と弗化黒鉛との混合物からなる混合物
層である。第２図は本発明のもう一つの実施例である磁
気ディスクの部分断面図であり、１は下地体、２は磁性
媒体層、４は硬質物層、５は弗化黒鉛層である。
面図で必る。図中、１は下地体、２は磁性媒体層、３は
非金属硬質化合物と弗化黒鉛との混合物からなる混合物
層である。第２図は本発明のもう一つの実施例である磁
気ディスクの部分断面図であり、１は下地体、２は磁性
媒体層、４は硬質物層、５は弗化黒鉛層である。
下地体１はディスク状のアルミニウム合金基板上に旧−
Ｐ非磁性合金を無電解めっき法により厚さ８０１ＪＩｎ
被覆し、このＮ１−Ｐ膜に研磨とポリシング加工を施す
ことにより表面粗さを約２０ｎｍとしたものである。そ
の上に磁性媒体層２として無電解Ｃ０−Ｎ ｒ −Ｐめ
つぎ合金を厚さ６０ｎｍ被覆した。以後に示す実施例で
は、すべてこの磁性媒体層２および下地体１としてのア
ルミニウム合金基板を使用した。
Ｐ非磁性合金を無電解めっき法により厚さ８０１ＪＩｎ
被覆し、このＮ１−Ｐ膜に研磨とポリシング加工を施す
ことにより表面粗さを約２０ｎｍとしたものである。そ
の上に磁性媒体層２として無電解Ｃ０−Ｎ ｒ −Ｐめ
つぎ合金を厚さ６０ｎｍ被覆した。以後に示す実施例で
は、すべてこの磁性媒体層２および下地体１としてのア
ルミニウム合金基板を使用した。
実施例１〜６
上記した基体上に、弗化黒鉛とＳ！０２のそれぞれ２枚
のターゲットを用いた共スパッタ法により弗化黒鉛と５
ｉ０２の混合物層を厚さ４０ｎｍ被覆した。
のターゲットを用いた共スパッタ法により弗化黒鉛と５
ｉ０２の混合物層を厚さ４０ｎｍ被覆した。
スパッタガスはアルゴン、メタンおよび弗素の混合気体
とした。同様にして表−１に示す弗化黒鉛と硬質物、お
よび膜厚の混合物層を形成し、実施例２〜６の磁気ディ
スクを製造した。硬質物との体積混合比はおおよそ１：
３で硬質物を多くした。
とした。同様にして表−１に示す弗化黒鉛と硬質物、お
よび膜厚の混合物層を形成し、実施例２〜６の磁気ディ
スクを製造した。硬質物との体積混合比はおおよそ１：
３で硬質物を多くした。
実施例７〜１２
下地体および磁性媒体層として上記と同様のものを用い
、保護膜構造を表−２に示す硬質物よりなる硬質物層お
よび弗化黒鉛層の二層構造とした磁気ディスクを製造し
た。その製造方法は、それぞれ表−２に示す硬質物層を
ＲＦマグネトロンスパッタ法により２０ｎｍ被覆した後
に、弗化熱８８層をやはりＲＦマグネトロンスパッタ法
により２０ｎ１１１被覆した。実施例７〜１２では、硬
質物層および弗化黒鉛層の膜厚は常に２０ｎｍとした。
、保護膜構造を表−２に示す硬質物よりなる硬質物層お
よび弗化黒鉛層の二層構造とした磁気ディスクを製造し
た。その製造方法は、それぞれ表−２に示す硬質物層を
ＲＦマグネトロンスパッタ法により２０ｎｍ被覆した後
に、弗化熱８８層をやはりＲＦマグネトロンスパッタ法
により２０ｎ１１１被覆した。実施例７〜１２では、硬
質物層および弗化黒鉛層の膜厚は常に２０ｎｍとした。
表−２
さらに、５ｉ０２をスパッタ法（比較試料１）とスピン
コード法（比較試′）ｆ４２ ＞により前述した下地体
上に膜厚５０ｎｍで成膜した磁気ディスクを作製し、比
較試料とした。また、比較試料３として磁性媒体上に弗
化黒鉛をスパッタ法により厚さ５０ｎｍ被覆した磁気デ
ィスクを作製した。
コード法（比較試′）ｆ４２ ＞により前述した下地体
上に膜厚５０ｎｍで成膜した磁気ディスクを作製し、比
較試料とした。また、比較試料３として磁性媒体上に弗
化黒鉛をスパッタ法により厚さ５０ｎｍ被覆した磁気デ
ィスクを作製した。
前記磁気ディスクを温度８０’Ｃ１相対湿度８５％の環
境試験器内に２５０時間放置し、耐食性試験前接のビッ
トエラー数を測定することにより本発明による弗化黒鉛
系の保護膜の防食性を調べた。表−３に一括してその結
果を示す。
境試験器内に２５０時間放置し、耐食性試験前接のビッ
トエラー数を測定することにより本発明による弗化黒鉛
系の保護膜の防食性を調べた。表−３に一括してその結
果を示す。
（以下余白）
表−３
次に、各磁気ディスクについてＣ８Ｓ （コンタクト・
スタート・ストップ）試験を行い、保護膜の機械的耐久
性を比較した。Ｃ３Ｓ試験は、アルミナとチタンカーバ
イトの硬質セラミック製スライダーからなる磁気ヘッド
を使用し、磁気ヘッドの押付は荷３１８９、ヘッド浮上
ｆｆ１Ｏ，１２１ＩＩｒｔの条件下で行もだ。比較試料
１および２は５千回のＣ３Ｓ試験で摩耗粉の発生が認め
られ、比較試料３は２千回で弗化黒鉛層の保護膜に著し
い損傷が認められた。
スタート・ストップ）試験を行い、保護膜の機械的耐久
性を比較した。Ｃ３Ｓ試験は、アルミナとチタンカーバ
イトの硬質セラミック製スライダーからなる磁気ヘッド
を使用し、磁気ヘッドの押付は荷３１８９、ヘッド浮上
ｆｆ１Ｏ，１２１ＩＩｒｔの条件下で行もだ。比較試料
１および２は５千回のＣ３Ｓ試験で摩耗粉の発生が認め
られ、比較試料３は２千回で弗化黒鉛層の保護膜に著し
い損傷が認められた。
一方、本発明に基づいた磁気ディスクは潤滑剤を塗布す
ることなく、すべて３万回以上のＣ３Ｓ試験に耐えるこ
とから、弗化黒鉛と硬質物の混合やその下地層に硬質膜
を設けることが耐久性の向上に極めて有効であることが
分かった。
ることなく、すべて３万回以上のＣ３Ｓ試験に耐えるこ
とから、弗化黒鉛と硬質物の混合やその下地層に硬質膜
を設けることが耐久性の向上に極めて有効であることが
分かった。
［発明の効果］
以上説明したように、本発明は従来の磁気ディスクの保
護膜に比較して磁性媒体の防食性が高く、しかも弗化黒
鉛の固体潤滑性と硬質成分の耐摩耗効果によりその機械
的耐久性も著しく向上している。
護膜に比較して磁性媒体の防食性が高く、しかも弗化黒
鉛の固体潤滑性と硬質成分の耐摩耗効果によりその機械
的耐久性も著しく向上している。
第１図および第２図はそれぞれ本発明の一実施例を示す
磁気ディスクの模式的部分断面図である。 １・・・下地体 ２・・・磁性媒体層３・・
・混合物層 ４・・・硬質物層５・・・弗化黒
鉛層
磁気ディスクの模式的部分断面図である。 １・・・下地体 ２・・・磁性媒体層３・・
・混合物層 ４・・・硬質物層５・・・弗化黒
鉛層
Claims (4)
- （１）下地体上に形成された磁性媒体上に、少なくとも
１種の非金属硬質化合物と弗化黒鉛との混合物よりなる
層が形成されてなることを特徴とする磁気記憶体。 - （２）下地体上に形成された磁性媒体上に、少なくとも
１種の非金属硬質化合物と弗化黒鉛との混合物よりなる
層を共スパッタ法により形成したことを特徴とする磁気
記憶体の製造方法。 - （３）下地体上に形成された磁性媒体上に、少なくとも
１種の非金属硬質化合物よりなる層と弗化黒鉛よりなる
層とが順次形成されてなることを特徴とする磁気記憶体
。 - （４）下地体上に形成された磁性媒体上に、少なくとも
１種の非金属硬質化合物よりなる層を形成し、次いで弗
化黒鉛よりなる層をスパッタ法により形成したことを特
徴とする磁気記憶体の製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62099899A JPH0827940B2 (ja) | 1987-04-24 | 1987-04-24 | 磁気記憶体およびその製造方法 |
| US07/181,232 US4839244A (en) | 1987-04-24 | 1988-04-13 | Magnetic recording medium with protective layer using graphite fluoride and method of producing same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62099899A JPH0827940B2 (ja) | 1987-04-24 | 1987-04-24 | 磁気記憶体およびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63268127A true JPS63268127A (ja) | 1988-11-04 |
| JPH0827940B2 JPH0827940B2 (ja) | 1996-03-21 |
Family
ID=14259619
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62099899A Expired - Lifetime JPH0827940B2 (ja) | 1987-04-24 | 1987-04-24 | 磁気記憶体およびその製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4839244A (ja) |
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