DE3340535C2 - Magnetischer Aufzeichnungsträger sowie Verfahren zu seiner Herstellung - Google Patents

Magnetischer Aufzeichnungsträger sowie Verfahren zu seiner Herstellung

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Abstract

Bei einem Verfahren zur Herstellung eines magnetischen Aufzeichnungsmittels, vorzugsweise eines Magnetbandes, wird Wasserstoffgas in eine Vakuumbehandlungskammer (2) eingeführt. In einer Atmosphäre daraus wird ein magnetischer Film auf der Oberfläche eines Substrats (1) durch Bedampfung derart ausgebildet, daß im Vergleich mit einem Fall, in dem ein magnetischer Film ohne Einführung irgendeines Gases ausgebildet wird, ein magnetisches Aufzeichnungsmittel gewonnen wird, das in bezug auf die magnetische Haltekraft verbessert ist. Ein magnetisches Aufzeichnungsmittel, das in seiner magnetischen Haltekraft verbessert ist, kann selbst dann gewonnen werden, wenn der Einfallswinkel Θ der Bedampfungspartikel sehr klein gemacht wird. Dementsprechend kann die Ablagerungsrate des verdampften Materials ebenfalls erhöht werden. Außerdem kann ein Produkt, dessen magnetische Haltekraft so hoch wie die eines Produktes, das durch einen herkömmlichen Bedampfungsprozeß unter einem schiefen Einfallswinkel gewonnen werden kann, sogar durch vertikale Bedampfung gewonnen werden. Das erfindungsgemäße Produkt zeigt sehr viel bessere Werte in bezug auf Korrosionsbeständigkeitseigenschaften als eines, das durch einen Prozeß mittels Sauerstoffgaseinführung in die Behandlungskammer gewonnen wird.

Description

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Die Erfindung betrifft einen magnetischen Aufzeichnungsträger mit einem auf der Oberfläche eines Substrates ausgebildeten magnetischen Film sowie ein Verfahren zu dessen Herstellung gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 2.
Ein magnetischer Aufzeichnungsträger dieser Art ist aus der DE-OS 32 12 202 bekannt. Bei der Herstellung dieses bekannten magnetischen Aufzeichnungsträgers werden in einer Vakuumbehandlungskammer zur Ausbildung eines magnetischen Films magnetische Partikel an der Oberfläche eines Substrats angelagert, und zwar dadurch, daß unter schrägem Einfallswinkel aufgedampft wird. Das Vakuum liegt zwischen ca. 2 χ 10-4 und 6 χ 10~6 mbar. Bei dem bekannten Verfahren wird zur Erreichung eines magnetischen Aufzeichnungsträgers mit hoher Verschleißfähigkeit und guten Laufeigenschaften eine Schicht aus einem organischen Polymer auf die Oberfläche eines magnetischen Films aufgedampft, wobei anschließend eine weitere Schicht aus einer höheren Fettsäure und/oder einem Ester einer solchen Fettsäure aufgedampft wird.
Bei magnetischen Aufzeichnungsträgern für Video-Magnetbandgeräte, für FCM-Aufzeichnung oder dergleichen, wird zunehmend hohe magnetische Koerzitivfeldstärke gefordert. Um dies zu erreichen, wird das eingangs genannte Verfahren verwendet. Allerdings ist als notwendig anzusehen, daß ein Partikelstrom verwendet wird, der einen vergleichsweise großen minimalen Einfallswinkel aufweist, was nachteilig ist, da die Anlagerungsrate der Bedampfungspartikel auf der Oberfläche des Substrats niedrig ist. Deshalb wird ein vergleichsweise kleiner minimaler Einfallswinkel verwendet
Um den Forderungen der magnetischen Koerzitivfeldstärke von 43,79 bis 47,77 χ 103 A/m bei Audio-Magnetbändern und von 71,65 bis 70,60 χ 103 A/m bei Video-Magnetbändern zu genügen, muß der minimale Einfallswinkel daher oberhalb etwa 40° bzw. 50° liegen. Bei einem minimalen Einfallswinkel unter diesen Werten, beispielsweise etwa 20°, kann nur ein Produkt mit einer magnetischen Koerzitivfeldstärke Hc von etwa 27,87 χ 103 A/m erhalten werden, was für den praktischen Gebrauch ungeeignet ist.
Es ist auch schon versucht worden, einen magnetischen Film derart zu bilden, daß Sauerstoffgas in eine Vakuumbedampfungsvorrichtung eingeführt wird. Der dabei gebildete Film hat nur geringe Korrosionsbeständigkeit, wobei die Sättigungsmagnetisierung unmittelbar nach der Herstellung und nach etwa einer Woche um etwa 20—30% unterschiedlich sind.
Andererseits ist bei dem eingangs genannten Verfahren nachteilig, daß zusätzliche Schichten aufgebracht werden, um die Verschleißfestigkeit zu erhöhen.
Es ist daher Aufgabe der Erfindung, einen magnetischen Aufzeichnungsträger anzugeben, der bei ausreichender Korrosionsbeständigkeit mittels eines einfachen Verfahrens herstellbar ist. Es ist ferner Aufgabe der Erfindung, ein solches einfaches Verfahren zur Herstellung eines magnetischen Aufzeichnungsträgers anzugeben.
Die Aufgabe wird bei einem magnetischen Aufzeichnungsträger der eingangs genannten Art dadurch gelöst, daß Wasserstoffatome zu dem magnetischen Film beigemengt sind und der Beimengungsanteil der Wasserstoffatome 0,01 bis 7 Atomprozent beträgt.
Die Aufgabe wird bei dem Verfahren durch die kennzeichnenden Merkmale des Anspruchs 2 gelöst und durch die Merkmale der Unteransprüche weitergebildet.
Dazu ergibt sich als besonderer Vorteil, daß für den praktischen Gebrauch geeignete magnetische Aufzeichnungsträger auch bei minimalen Einfallswinkeln θ erreicht werden können, die bisher zur Herstellung solcher für den praktischen Gebrauch geeigneter magnetischer Aufzeichnungsträger nicht ausreichten. Dabei ist das anmeldungsgemäße Verfahren vergleichsweise einfach, da im Prinzip lediglich ein einziger Verfahrensschritt erforderlich ist.
Im folgenden wird die Erfindung anhand von in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispielen näher erläutert. Es zeigt
Fig. 1 in Seitenansicht — teilweise im Schnitt — ein Ausführungsbeispiel einer Vakuumbedampfungsvorrichtung zum Durchführen des erfindungsgemäßen Verfahrens,
Fig. 2 im Diagramm die Beziehungen des partiellen Wasserstoffdruckes zu der magnetischen Koerzitivfeldstärke und zu dem Wasserstoffbeimengungsanteil in einem magnetischen Film,
Fig.3 ein Vergleichsdiagramm der Beziehung des Eintritts von Wasserstoff unter verschiedenen Einfallswinkeln zu der magnetischen Koerzitivfeldstärke,
F i g. 4 ein Vergleichsdiagramm betreffend die Korrosionsbeständigkeitseigenschaften.
Wie bereits erläutert, zeigt F i g. 1 ein Ausführungsbeispiel einer Vakuumbedampfungsvorrichtung zum Durchführen eines Verfahrens zum Herstellen eines magnetischen Aufzeichnungsträgers gemäß der vorliegenden Erfindung.
Ein bandförmiges Substrat 1. das aus einem Poly-
esterharzfilm hergestellt ist, wird auf eine Abwiekelrolle 3, die auf einer Seite des oberen Bereiches des Inneren einer Vakuumbehandlungskammer 2 vorgesehen ist, angebracht und derart angeordnet, daß es mit konstanter Geschwindigkeit über die Umfangsfläche eines wassergekühlten Behälters 4 nach Art einer zylindrischen Trommel läuft, und von einer Aufwickelrolle 5, die an der anderen Seite der Kammer angeordnet ist, aufgewickelt wird. Ein elektronenstrahlerhitzter Bedamnfungsquellenbf hälter 6, der auf seiner offenen, hohl ausgebildeten Oberseite ein geeignetes magnetisches Material a enthält, ist unterhalb des wassergekühlten Behälters 4 vorgesehen. Eine bewegbare Bedampfungsabschirmplatte 7, die sich horizontal erstreckt, ist nahe der Unterseite des wassergekühlten Behälters 4 so angeordnet, daß sie — wie durch einen Doppelpfeil angedeutet — vorwärts und rückwärts bewegbar ist, so daß durch das vordere Ende der Bedampfungsabschirmplatte 7 der minimale schiefe Einfallswinkel Θ, unte.· dem Bedampfungswinkel, d. h. magnetische Partikel, die aus dem Bedampfungsquellenbehälter 6 in Richtung auf die Oberfläche des Substrats 1 an der Unterseite des wassergekühlten Behälters 4 verdampft werden, angelagert werden, nach Bedarf vorbestimmt werden kann. Stationäre Bedampfungsabschirmplatlen 8 sind beiderseits des wassergekühlten Behälters 4 vorgesehen. Diese sollen verhindern, da3 die Abwickelrolle 3 bzw. die Aufwickelrolle 5 oder die diese umgebenden Bereiche von dem Bedampfungsquellenbehälter 6 bedampft werden. Eine Evakuierungsöffnung 9 ist über ein die öffnung··- bzw. Schließstellung steuerndes Ventil 10 mit einer Vakuumpumpe (nicht gezeigt) verbunden.
Ein Wasserstoffgas-Einführungsrohr 11 ist in die Vakuumbehandlungskammer 2 derart eingesetzt, daß es ins innere mündet, so daß in der Vakuumbehandlungskammer 2 eine Atmosphäre mit einem genau bemessenen Wasserstoffgas-Partialdruck dadurch geschaffen werden kann, daß die Vakuumbehandlungskammer 2 mit Wasserstoffgas über das Wasserstoffgas-Einführungsrohr 11 beschickt wird, während durch die Evakuierungsöffnung 9 evakuiert wird. Das Wasserstoffgas-Einführungsrohr 11 ist derart angeordnet, daß ein offenes Ende entweder einfach in das Innere der Vakuumbehandlungskammer 2 mündet, wie dies durch Vollinien gezeigt ist, oder daß das offene Ende nahe der Oberfläehe des Substrats 1 mündet, wie dies durch Strichpunktlinien dargestellt ist. Ein Regelventil 12 ist in das Wasserstoffgas-Einführungsrohr 11 eingefügt.
Ein magnetischer Aufzeichnungsträger wird durch die zuvor beschriebene Vorrichtung beispielsweise wie folgt hergestellt:
Nachdem das Innere der Vakuumbehandlungskammer 2 soweit evakuiert worden ist, daß ein Restdruck von 1 χ ΙΟ-5 mbar besteht, wird Wasserstoffgas in die Vakuumbehandlungskammer 2 über das Wasserstoffgas-Einführungsrohr 11, das in Vollinien dargestellt ist, eingeführt. Dessen Partialdruck wird auf 10~3 mbar gehalten. Die bewegbare Bedampfungsabschirmplatte 7 ist zuvor so eingestellt worden, daß der minimale Einfallswinkel θ der Bedampfungspartikel des Bedampfungsmaterials in bezug auf die Oberfläche des vorbeilaufenden bandförmigen Substrats 1, welches zu behandeln ist, einen konstanten Wert von 55° einnehmen kann. Es wird als Beispiel eine Co-30% Ni-Legierung durch Elektronenstrahlheizung aus dem Bedampfungsquellenbehälter 6 verdampft. Die magnetischen Bedampfungspartikel werden auf der Oberfläche des vorbeilaufenden bandförmigen Substrats 1 unter dem zuvor erläuterten minimalen Einfallswinkel θ angelagert. Im vorliegenden Fall wird die Laufgeschwindigkeit des bandförmigen Substrats 1 von der Abwickelrolle 3 so eingestellt, daß darauf ein Besehichtungsfilm ausgebildet wird, der eine konstante Dicke von 150 nm aufweist. Auf diese Weise wird Wasserstoffgas in Berührung mit den verdampften Partikeln des magnetischen Materials gebracht, und es wird ein magnetischer Film, in dem Spurenmengen von Wasserstoffatomen vorhanden sind, auf der Oberfläche des Substrats 1 ausgebildet. Das hergestellte Magnetband P wird auf der Aufwickelrolle 5 erhalten.
Im Zusammenhang mit diesem Herstellungsprozeß sind Untersuchungen in bezug auf eine Änderung der magnetischen Koerzitivfeldstärke Hc von Magnetband, das gefertigt wurde, und eine Änderung des Beimengungsanteils (in Atomprozente) der Wasserstoffatome in dem ausgebildeten magnetischen Film unter der Bedingung durchgeführt worden, daß der Einfallswinkel θ auf einem konstanten Wert von 55° gehalten wurde, während der Wasserstoff-Partialdruck innerhalb eines Bereiches von 10~3 mbar bis 10-' bis 10~5 mbar variiert wurde. Es wurden die Ergebnisse erzielt, die in F i g. 2 gezeigt sind. Wie aus der die magnetische Koerzilivfeldstärke charakterisierende Kurve A klar hervorgeht, wird die magnetische Koerzitivfeldstärke Hc durch das Einführen des Wasserstoffgases in Vergleich mit dem Fall verbessert, in dem kein Wasserstoffgas eingeführt wird. Der maximale Wert wird innerhalb des Bereiches von 10-: bis 10-2mbar erzielt. Der Wasserstoffatom-Beimengungsanteil in dem magnetischen Film wird mittels der sog. SIMS-Methode analysiert. Die Relation einer den Beimengungsanteil charakterisierenden Kurve B zu dem Wasserstoff-Partialdruck und zu der magnetischen Koerzitivfeldstärke wurden untersucht. Dabei wurde festgestellt, daß der Beimengungsanteil entsprechend erhöht wird, wenn der Wasserstoff-Partialdruck erhöht wird, und daß die magnetische Koerzitivfeldstärke mit der Erhöhung des Beimengungsanteüs solange erhöht wird, wie der Wasserstoff-Partialdruck ΙΟ-5 bis 10~2 mbar beträgt. Bei einem Pegel von ΙΟ-5 mbar ist der Erhöhungseffekt für die magnetische Koerzitivfeldstärke selbst mit einem kleinen Beimengungsanteil vor. Wasserstoffatomen von unter einen Atomprozent groß, und ein maximaler Anteil von 5 Atomprozenten kann in einem Bereich von 10~3 bis 10-2mba erreicht werden. Die magnetische Koerzitivfeldstärke dieses maximalen Wertes beträgt ungefähr 103,50 χ 103 A/m und ist außergewöhnlich stark gegenüber der magnetischen Koerzitivfeldstärke von 71,65 χ 103 A/m in dem Fall verbessert, in dem kein Wasserstoffgas eingeführt wird. Selbst dann, wenn der Wasserstoff-Partialdruck von 10~2 mbar auf 10-' mbar erhöht wird, zeigt sich indessen eine Tendenz, daß der Beimengungsanteil der Wasserstoffatome und die magnetische Koerzitivfeldstärke nicht erhöht, sondern vielmehr erniedrigt werden.
Von diesen magnetischen Filmen wurden Schnitte mittels eines Durchstrahlungs-Elektronenmikroskops betrachtet, und es wurde herausgefunden, daß akkumulierte Partikel in Form einer Säule, die auf der Substratoberfläche ausgebildet ist, feiner sind und eine direkte Berührung zwischen diesen Partikeln geringer wird. Durch Betrachtung mit dem bloßen Auge wurde herausgefunden, daß die Schwärze der Magnetfilme erhöht ist. Diese erhöhte Schwärze stützt die zuvor festgestellte Tatsache, daß die abgelagerten Partikel in ihrer Größe feiner als solche gemäß einem herkömmlichen Pro-
zeß sind. Als Ergebnis zahlreicher Untersuchungen wurde herausgefunden, daß bei einem Wasserstoff-Partialdruck über 10~2 mbar die magnetischen Bedampfungspartikel durch Wasserstoffmoleküle zerstreut werden, bevor sie auf der Substratoberfläche angelagert werden, so daß ein vorbestimmter schräger Einfalleffekt herabgesetzt wird. Folglich wird die magnetische Koerzitivfeldstärke herabgesetzt. Außerdem wurde herausgefunden, daß wenn der Druck oberhalb 10-' mbar liegt, die abgelagerten Partikel zu einer Anhäufung eines superfeinen Pulvers werden und daß dadurch der magnetische Film in seiner mechanischen Festigkeit beeinträchtigt wird. Aus den oben genannten Tatsachen kann geschlossen werden, daß der Wasserstoff-Partialdruck sich vorzugsweise innerhalb des Bereiches von 10~5 bis 10"2 mbar bewegen sollte und daß eine Verbesserung der magnetischen Koerzitivfeldstärke dadurch erreicht werden kann, daß der Beimengungsanteil 0,01 bis 5 Atomprozente der Wasserstoffatome in dem magnetischen Film beträgt.
Für den Fall, daß das offene Ende des Wasserstoffgas-Einführungsrohrs 11 nahe der Oberfläche des bandförmigen Substrats 1 mündet, wie dies durch Strichpunktlinien angedeutet ist. und Wasserstoffgas in Richtung auf diese Oberfläche austritt, so daß die Bedampfung unter der Bedingung ausgeführt werden kann, daß in der Nachbarschaft der Oberfläche, die zu bedampfen ist, eine verhältnismäßig starke Konzentration von Wasserstoffgas erzeugt wird (jedoch die umgebende Wasserstoffatmosphäre des Gases in der Vakuumbehandlungskammer 2 innerhalb des Bereiches von 10~5 bis 10-' mbar des Wasserstoff- Partialdruckes gehalten wird), wurden eine die magnetische Koerzitivfeldstärke charakterisierende Kurve A' und eine den Wasserstoffatom-Beimengungsanteil charakterisierende Kurve B', wie sie in F i g. 2 gezeigt sind, ermittelt. Es wurde in diesem Fall herausgefunden, daß im Vergleich mit dem vorhergehenden Fall der einfachen Wasserstoffeinführung die magnetische Koerzitivfeldstärke weiter merklich innerhalb des Bereiches des Wasserstoff-Partialdruckes von 10~5 bis 10~2mbar insgesamt verbessert wurde. Die maximale magnetische Koerzitivfeldstärke ist auf etwa 111,46 χ 103 A/m erhöht, und der maximale Beimengungsanteil der Wasserstoffatome beträgt ungefähr 5 Atomprozente in dem Bereich von i0~3 bis ΙΟ-2 mbar.
Als nächstes wurden in bezug auf den Einlaß der Einführung von Wasserstoffgas unter einem minimalen Einfallswinkel θ und die magnetische Koerzitivfeldstärke Untersuchungen unter der Bedingung durchgeführt, daß der Wasserstoff-Partialdruck konstant gehalten wird, beispielsweise bei 1 χ 10~3 mbar. Die Ergebnisse dieser Untersuchungen sind in F i g. 3 gezeigt In dieser Figur stellen A-I eine die magnetische Koerzitivfeldstärke charakterisierende Kurve in einem Fall, in dem das Wasserstoffgas einfach eingeführt wird, A'-\ eine die magnetische Koerzitivfeldstärke charakterisierende Kurve in einem Fall, in dem das Wasserstoffgas unter der Bedingung eingeführt wird, daß das Wasserstoffgas-Einführungsrohr 11 nahe der Substrat-Oberfläche mündet und C eine die magnetische Koerzitivfeldstärke charakterisierende Kurve in dem Fall eines herkömmlichen Prozesses, bei dem kein Wasserstoffgas eingeführt wird, dar. Das verdampfte Metall ist Co-30% Ni, und die Filmdicke hat einen konstanten Wert von 150 nm. Aus F i g. 3 wird klar, daß wenn Wasserstoffgas eingeführt wird, die magnetische Koerzitivfeldstärke bei jedem von unterschiedlichen minimalen Einfallswinkeln θ im Vergleich mit der, die durch einen herkömmlichen Prozeß gewonnen wird, verbessert ist. Die deutlichste Verbesserung wird durch einen Prozeß auf die Weise erreicht, daß das Wasserstoffgas-Einführungsrohr 11 nahe der Substrat-Oberfläche mündet. Insbesondere kann ein Produkt bei einem minimalen Einfallswinkel Θ, bei dem ein Produkt, das für einen praktischen Gebrauch geeignet ist, durch den herkömmlichen Prozeß nicht erzielt, werden kann, für den praktischen Gebrauch gewonnen
ίο werden. Bei dem herkömmlichen Prozeß liegt nämlich die magnetische Koerzitivfeldstärke unterhalb von 31,84 χ 103AZm, falls der minimale Einfallswinkel θ unterhalb 20° liegt. Auf diese Weise kann ein Audio-Magnetband, das für den praktischen Gebrauch geeignet ist, nicht gewonnen werden. Dagegen kann jedoch ein Produkt, das eine verbesserte magnetische Koerzitivfeldstärke von 39,80 bis 43,79 χ WA/m aufweist, die für den praktischen Gebrauch geeignet ist, gemäß dem vorliegenden Herstellungsverfahren gewonnen werden.
Von dem Standpunkt aus betrachtet, daß die Bedampfungsrate in dem Maße entsprechend erhöht werden kann, wie der minimale Einfallswinkel θ kleiner gemacht wird, kann zum Herstellen von Produkten, die dieselbe magnetische Koerzitivfeldstärke von 71,65 χ 103 A/m haben, beispielsweise dann, wenn ein minimaler Einfallswinkel θ verlangt wird, der oberhalb nahezu 55° in dem herkömmlichen Prozeß liegt, dieser indessen auf nahezu 40° in dem erfindungsgemäßen Prozeß herabgesetzt werden, so daß ein Produkt durch die Ablagerungsrate erzielt werden kann, die um dieses Ausmaß verbessert ist Dies führt zu dem Vorteil, daß eine wirtschaftliche Herstellung durchgeführt werden kann. Im Falle der Wasserstoffeinführung kann sogar dann, wenn der minimale Einfallwinkel θ unter 0° gebracht wird und die Bedampfung nahezu vertikal oder bei irgendeinem Einfallswinkel in der umgekehrten Richtung, wie in F i g. 3 gezeigt, bewirkt wird, ein Produkt erzielt werden, das eine magnetische Koerzitivfeldstärke von etwa 39,80 χ 103 A/m aufweist
Bei dem zuvor erläuterten Ausführungsbeispiel wurde eine Bedampfungsbehandlung durch Elektronenstrahlerhitzung angewendet. Die vorliegende Erfindung kann jedoch auch auf jeden beliebigen gewünschten Magnetfilmbildungsprozeß, beispielsweise einen lonenbeschichtungsprozeß, einen Sputtering-Prozeß oder irgendeinen anderen gewünschten Filmbildungsprozeß angewendet werden, und es können gewünschte Ergebnisse erzielt werden. Als magnetisches Material wurde in dem vorhergehenden Beispiel eine Co-30% Ni-Legierung verwendet Nahezu die gleichen Versuche wurden in bezug auf Co, Ni, Fe durchgeführt, und es wurde herausgefunden, daß nahezu das gleiche Ansteigen der magnetischen Koerzitivfeldstärke bei diesen Materialien erreicht werden kann. Als Substrat kann außer dem Band ein »hartes« Substrat oder dergl. aus einem Kunstharz, einem anorganischen Material u. a. m. selektiv in Übereinstimmung mit dem betreffenden Verwendungszweck verwendet werden.
Bei dem erfindungsgemäßen magnetischen Aufzeichnungsträger, der wie zuvor beschrieben hergestellt wurde, wurden Korrosionsbeständigkeitsprüfungen vorgenommen. Es wurde hierbei eine Erniedrigung der Sättigungsmagnetisierung gemessen, wenn das Produkt einer Atmosphäre mit 90%-Feuchtigkeit und einer Temperatur von 60° C ausgesetzt wurde. Die Ergebnisse dieser Untersuchungen sind in Fig.4 gezeigt In dieser Figur sind relative Werte dargestellt, wobei der Wert für die Sättigungsmagnetisierung unmittelbar nach der
Herstellung des Produktes durch die Zahl 1,0 repräsentiert ist. In F i g. 4 stellen D eine die Sättigungsmagnetisierung charakterisierende Kurve des erfindungsgemäßen Magnetbandes, E die vergleichbare charakterisierende Kurve eines herkömmlichen Magnetbandes, das ohne Einführung irgendeines Gases hergestellt worden ist, und F die vergleichbare charakterisierende Kurve eines herkömmlichen Magnetbandes, das mit Einführung von Sauerstoffgas hergestellt worden ist, dar. Aus der Figur geht klar hervor, daß das erfindungsgemäße Magnetband zusätzlich auch in bezug auf die Korrosionsbeständigkeitseigenschaften am besten liegt.
Gemäß der vorliegenden Erfindung können sogar auch dann gute Magnetbänder gewonnen werden, wenn die Substratoberfläche Raumtemperatur hat oder in geeigneter Weise, beispielsweise auf 60°C, aufgeheizt ist. Außerdem wurde herausgefunden, daß sogar dann, wenn das Produkt beispielsweise auf 60°C erhitzt worden ist, keinerlei Wasserstoffgas abgegeben wird. Die magnetischen Eigenschaften werden nicht verändert. Auf diese Weise ist der magnetische Aufzeichnungsträger auch gegenüber Hitze beständig.
Hierzu 2 Blatt Zeichnungen
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55
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65

Claims (4)

Patentansprüche:
1. Magnetischer Aufzeichnungsträger, mit einem auf der Oberfläche eines Substrates ausgebildeten magnetischen Film, dadurch gekennzeichnet, daß Wasserstoffatome zu dem magnetischen Film beigemengt sind und der Beimengungsanteil der Wasserstoff a tome 0,01 bis 7 Atomprozent beträgt.
2. Verfahren zur Herstellung eines magnetischen Aufzeichnungsträgers, bei dem in einer Vakuumbehandlungskammer zur Ausbildung eines magnetischen Films magnetische Partikel an der Oberfläche eines Substrats angelagert werden, dadurch gekennzeichnet, daß Wasserstoffgas in die Behandlungskammer eingeführt wird und das Anlagern der magnetischen Partikel in einer Wasserstoffgasatmosphäre derart durchgeführt wird, daß der ausgebildete magnetische Film 0,01 bis 7 Atomprozent als Beimengungsanteil der Wasserstoffatome enthält
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das in die Vakuumbehandlungskammer eingeführte Wasserstoffgas einen Partialdruck im Bereich von 1,3 χ 10-5 bis 10-2mbar aufweist.
4. Verfahren nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Einführung des Wasserstoffgases so durchgeführt wird, daß ein Wasserstoffgas-Einführungsrohr (11) nahe einem Oberflächenabschnitt des Substrats mündet, das der Vakuumbedampfung mit dampfförmigen magnetischen Partikeln unterworfen ist.
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