DE3342533A1 - Aufstaeubung von permalloy-schichten - Google Patents
Aufstaeubung von permalloy-schichtenInfo
- Publication number
- DE3342533A1 DE3342533A1 DE19833342533 DE3342533A DE3342533A1 DE 3342533 A1 DE3342533 A1 DE 3342533A1 DE 19833342533 DE19833342533 DE 19833342533 DE 3342533 A DE3342533 A DE 3342533A DE 3342533 A1 DE3342533 A1 DE 3342533A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- sputtering
- gas
- permalloy
- nitrogen
- argon
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F41/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties
- H01F41/14—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for applying magnetic films to substrates
- H01F41/18—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for applying magnetic films to substrates by cathode sputtering
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Description
-ι.
Siemens Aktiengesellschaft Unser Zeichen
Berlin und München VPA S3 P 1 3 O
Aufstäubunq von Permalloy-Schichten.
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Erzeugung von
magnetisch anisotropen Permalloy-Schichten mit kleiner Koerzitivfeidstärke (H ) durch Aufstäuben.
10
Für Dünnfilm-Magnetköpfe werden mehrere Mikrometer dicke
Permalloy-Schichten (Ni/Fe ca. 80/20) benötigt, die vorzugsweise durch Kathodenzerstäubung aufgebracht werden.
Mit dem bisher üblichen Verfahren der Hochfrequenzdiodenzerstäubung
(RF. = radio frequency) werden Aufstäubraten von bis ca. 3 μΐη/h erreicht. Dabei wird Argon als Aufstäubgas
verwendet.
Aufstäubverfahren mit Magnetfeldunterstützung (Magnetron-Aufstäubung)
sind bisher nicht für Permalloy eingesetzt worden, da das magnetische Target das Ausbilden des Magnetronringes
infolge des magnetischen Kurzschlusses im Target unterbindet. Man kann aber durch gewisse Anlagenanpassungen
(Magnetron mit höherer Feldstärke als üblich und/oder Permalloy-Target mit Schlitzen, siehe IEEE Transactions
On Magnetics, Vol. MAG-18, No. 6, November 1982, S. 1080-1082) trotzdem eine Magnetronaufstäubung erzielen.
Damit werden Aufstäubraten bis ca. 9 μπι/h möglich.
Bei Permalloy-Schichten für Dünnfilm-Magnetköpfe wird unter anderem gefordert, daß die Schichten magnetische
Anisotropie aufweisen ("leichte", "schwere" Richtung). Dies wird dadurch erzielt, daß während der Schichterzeugung
ein stationäres Magnetfeld in "leichter" Richtung
Wed 1 Plr/31.10.1983
- ζ- VPA 83 P 1 δ Ο 4 DE
angelegt ist. Für die einwandfreie Schreib-ZLese-Funktion
des Kopfes ist es außerdem unbedingt erforderlich, daß die Koerzitivfeldstärke H (gemessen in "leichter" Riehtung,
nach dem üblichen induktiven Meßverfahren) einen bestimmten Wert, zum Beispiel <C 0,25 A/cm nicht überschreitet.
Bei bekannten Aufstäubverfahren ist das nicht reproduzierbar möglich.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, das eingangs
genannte Verfahren zu realisieren, das die Aufbringung magnetisch anisotroper Permalloy-Schichten mit kleinem H
reproduzierbar ermöglicht. Dies wird dadurch erreicht, daß dem Aufstäubgas (i. a. Argon) reaktives Gas zugesetzt
wird. Dadurch wird erreicht, daß dieses Verfahren auch bei Schleusenanlagen sowohl nach dem RF- als auch nach
dem Magnetron-Prinzip reproduzierbar eingesetzt werden kann.
Nach einer Weiterbildung der Erfindung wird als Aufstäubgas ein Argon-Stickstoffmischgas verwendet. Dabei kann
vorzugsweise dem Argon-Aufstäubgas 0,5 - 2 % Stickstoff zugesetzt werden. Die Verwendung des Verfahrens nach der
Erfindung ist sowohl in Anlagen mit RF-Diodenprinzip oder solchen mit Magnetronprinzip möglich.
Die Erfindung wird anhand von Ausführungsbeispielen erläutert.
Dabei wurden jeweils die üblichen Dünnfilm-Magnetkopfsubstrate
(Titancarbid mit Aluminiumoxid beschichtet) verwendet. Schichtaufbau ist jeweils 1 μιη Permalloy,
0,1 μ SiOp und 2 μιη Permalloy.
0,1 μ SiOp und 2 μιη Permalloy.
Ausführunqsbeispiel 1 :
35
35
Aufstäubanlage nach dem RF-Diodenprinzip mit Schleuse.
-y- VPA S3 P 1 S Q 4 DE
Ohne Stickstoff ergeben sich bei den genannten Substraten H -Werte bestenfalls von 0,4 A/cm während mit Stickstoffzugabe
0,2 A/cm erzielt werden.
(Standbeschichtung; Permalloy-Aufstäubrate 3 μπι pro
Stunde)
Halbautomatische Durchlaufanlage mit Schleuse; Aufstäuben
nach dem Magnetronprinzip.
Ohne Stickstoff 0,45 A/cm und mit Stickstoff 0,2 A/cm. (Standbeschichtung Permalloy-Aufstäubrate 6 μπι pro
Stunde)
4 Patentansprüche
Claims (4)
- VPA 83 P 1 S O h DEPatentansprüche11/. Verfahren zur Erzeugung von magnetisch anisotropen Permalloy-Schichten mit kleiner Koerzitivfeldstärke (H ) durch Aufstäuben, dadurch gekennzeichnet, daß dem Aufstäubgas ein reaktives Gas zugesetzt wird.
- 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch g e kennzeichnet , daß als Aufstäubgas ein Argon/Stickstoffmischgas verwendet wird.
- 3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet , daß dem Argon-Aufstäubgas 0,5 - 2 % Stickstoff zugesetzt werden.
- 4. Verwendung dieses Verfahrens sowohl in Anlagen mit RF-Diodenprinzip oder solchen mit Magnetronprinzip.
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19833342533 DE3342533A1 (de) | 1983-11-24 | 1983-11-24 | Aufstaeubung von permalloy-schichten |
DE8484113992T DE3476718D1 (en) | 1983-11-24 | 1984-11-19 | Sputtering of a permalloy layer |
EP84113992A EP0144851B1 (de) | 1983-11-24 | 1984-11-19 | Aufstäubung von Permalloy-Schichten |
JP59246962A JPS60133716A (ja) | 1983-11-24 | 1984-11-21 | 磁気異方性パーマロイ層の生成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19833342533 DE3342533A1 (de) | 1983-11-24 | 1983-11-24 | Aufstaeubung von permalloy-schichten |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3342533A1 true DE3342533A1 (de) | 1985-06-05 |
Family
ID=6215167
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19833342533 Withdrawn DE3342533A1 (de) | 1983-11-24 | 1983-11-24 | Aufstaeubung von permalloy-schichten |
DE8484113992T Expired DE3476718D1 (en) | 1983-11-24 | 1984-11-19 | Sputtering of a permalloy layer |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE8484113992T Expired DE3476718D1 (en) | 1983-11-24 | 1984-11-19 | Sputtering of a permalloy layer |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP0144851B1 (de) |
JP (1) | JPS60133716A (de) |
DE (2) | DE3342533A1 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3632611A1 (de) * | 1986-09-12 | 1988-04-07 | Sharp Kk | Verfahren zum herstellen eines weichmagnetischen films aus permalloy |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6324030A (ja) * | 1986-06-26 | 1988-02-01 | Res Dev Corp Of Japan | 異方性希土類磁石材料およびその製造方法 |
JP2778494B2 (ja) * | 1994-12-26 | 1998-07-23 | 日本電気株式会社 | 電極薄膜およびその電極薄膜を用いた磁気抵抗効果型ヘッド |
AU6733196A (en) * | 1995-08-30 | 1997-03-19 | Danfoss A/S | Method of producing magnetic poles on a base member, and rotor of an electrical machine |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2832620A1 (de) * | 1977-07-25 | 1979-02-15 | Motorola Inc | Verfahren und vorrichtung zur zerstaeubung von ferromagnetischem material |
DE3203918A1 (de) * | 1981-03-12 | 1982-09-23 | TDK Electronics Co., Ltd., Tokyo | Magnetisches aufzeichnungsmedium |
US4362767A (en) * | 1978-11-22 | 1982-12-07 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Magnetic thin film and method of making it |
DE3340535A1 (de) * | 1982-11-09 | 1984-05-10 | Nihon Shinku Gijutsu K.K., Chigasaki, Kanagawa | Magnetisches aufzeichnungsmittel und verfahren zu dessen herstellung |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4271232A (en) * | 1978-08-28 | 1981-06-02 | International Business Machines Corporation | Amorphous magnetic film |
-
1983
- 1983-11-24 DE DE19833342533 patent/DE3342533A1/de not_active Withdrawn
-
1984
- 1984-11-19 DE DE8484113992T patent/DE3476718D1/de not_active Expired
- 1984-11-19 EP EP84113992A patent/EP0144851B1/de not_active Expired
- 1984-11-21 JP JP59246962A patent/JPS60133716A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2832620A1 (de) * | 1977-07-25 | 1979-02-15 | Motorola Inc | Verfahren und vorrichtung zur zerstaeubung von ferromagnetischem material |
US4362767A (en) * | 1978-11-22 | 1982-12-07 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Magnetic thin film and method of making it |
DE3203918A1 (de) * | 1981-03-12 | 1982-09-23 | TDK Electronics Co., Ltd., Tokyo | Magnetisches aufzeichnungsmedium |
DE3340535A1 (de) * | 1982-11-09 | 1984-05-10 | Nihon Shinku Gijutsu K.K., Chigasaki, Kanagawa | Magnetisches aufzeichnungsmittel und verfahren zu dessen herstellung |
Non-Patent Citations (6)
Title |
---|
DE-Z: Elektronik Produktion u. Prüftechnik, März 1982, S.112-115 * |
DE-Z: VDI-Z 123, 1981, Nr.12, S.519-525 * |
US-Z: IBM Technical Disclosure Bulletin, 21, 1979,Nr.8, S.3432 * |
US-Z: IEEE Trans. on Magnetics, Vol. MAG 18, 1982,S.1080-1082 * |
US-Z: IEEE Transaction on Magnetics, Vol. MAG-18, No.6, November 1982, S.1119-1121 * |
US-Z: J. of Appl. Physics, 46, 1975, Nr.8, S.3381 bis 3384 * |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3632611A1 (de) * | 1986-09-12 | 1988-04-07 | Sharp Kk | Verfahren zum herstellen eines weichmagnetischen films aus permalloy |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0144851A2 (de) | 1985-06-19 |
EP0144851B1 (de) | 1989-02-08 |
DE3476718D1 (en) | 1989-03-16 |
JPS60133716A (ja) | 1985-07-16 |
EP0144851A3 (en) | 1985-07-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE69319038T2 (de) | Laminat und verschleissfester, auf solchem Laminat hergestellter Dünnfilmmagnetkopf | |
DE2924013C2 (de) | ||
DE3219780C2 (de) | ||
DE3434225C2 (de) | ||
DE3810244C2 (de) | Ferromagnetfilm und dessen Verwendung | |
DE2842609A1 (de) | Magnetisches aufzeichnungsmedium fuer senkrechte signalaufzeichnung | |
DE68919461T2 (de) | Herstellungsverfahren eines abgeschirmten magnetoresistiven Sensors. | |
DE3415794A1 (de) | Magnetisches aufzeichnungsmedium und verfahren zu seiner herstellung | |
EP0016404A1 (de) | Magnetischer Aufzeichnungsträger und Verfahren zu seiner Herstellung | |
DE2622597C2 (de) | Verfahren zur Herstellung eines magnetischen Aufzeichnungsmaterials | |
DE69114620T2 (de) | Magnetische Kodiereinrichtung. | |
DE2729486C3 (de) | Verfahren zur Herstellung einer magnetischen Dünnschicht | |
DE3882786T2 (de) | Magnetoresistiver Sensor mit antiferromagnetischem Film von gemischter Phase. | |
DE3787401T2 (de) | Magnetischer Film und denselben verwendender Magnetkopf. | |
DE1931003C3 (de) | Magnetkopf für ein Magnetspeichergerät | |
DE3440386C2 (de) | ||
DE3228044C2 (de) | Magnetisches Aufzeichnungsmaterial | |
DE68907681T2 (de) | Verfahren zur Herstellung eines dünnen Legierungsfilms mit hoher Sättigung der magnetischen Flussdichte. | |
DE3342533A1 (de) | Aufstaeubung von permalloy-schichten | |
EP0143433B1 (de) | Magnetischer Aufzeichnungsträger | |
DE3850824T2 (de) | Magnetplatte für waagerechte Aufnahme. | |
DE2841426C3 (de) | Verfahren zur Herstellung eines magnetischen Aufzeichnungsmediums | |
DE3616006C2 (de) | ||
DE3219778A1 (de) | Magnetisches aufzeichnungsmaterial | |
DE69420684T2 (de) | Herstellungsverfahren eines Dünnfilmmagnetkopfes und mittels dies Verfahrens hergestellter Magnetkopf |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OM8 | Search report available as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law | ||
8139 | Disposal/non-payment of the annual fee |