JPS58111127A - 耐摩耗性磁気記録体の製造法 - Google Patents

耐摩耗性磁気記録体の製造法

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JPS58111127A
JPS58111127A JP56207996A JP20799681A JPS58111127A JP S58111127 A JPS58111127 A JP S58111127A JP 56207996 A JP56207996 A JP 56207996A JP 20799681 A JP20799681 A JP 20799681A JP S58111127 A JPS58111127 A JP S58111127A
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    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、磁性膜面に高級脂肪酸又はその金属塩を真空
蒸着させて耐摩耗性を向上させた磁気記録体の製造法に
関する。
最近、斜め蒸着磁性膜％ａ・−０ｒｌｉ直磁性膜１０　
ｏ−Ｍ　Ｌ　−Ｐ　Ｉ　５”Ｐ　ＩＩ、ｒ−’Ｉ　＠　
＠　０１　Ｘ　／（７＃　膜、１ａｏ−ＩＦ・、０．ス
パッタ展など金属や金属酸化物の磁性膜を合成樹脂製等
の非磁性基材上に形成した高密度記録特性の優れた磁気
テープ−磁気デスク略の磁気記録体が知られて居り１そ
の磁性膜の耐摩耗性動向上せしめるため、高級脂肪酸又
はその金属塩を真空蒸着によりその磁性膜面にその蒸着
膜を肉薄に且つ強固に形成した耐摩耗性磁気記録体の製
造法ｅｚ案した・　（特願昭５３−１？４１５号、仝＠
＆−４２２７９号１本発明者はへ該磁性膜の表面状１に
より、その高級脂肪酸又はその金属塩の蒸着粒子の密着
強度が微妙に影響し％特に、一旦外気等に触れて磁性膜
表面に水分、Ｍ、、塵埃その他の汚染物質が付着した状
態の會−これに高級脂肪酸又はその金属塩を真空蒸着１
ｉ曽ても、その密着性が１その部分で劣化し、全体とし
て剥離し易い即ち、密着性の弱い換言すれば、耐摩耗性
の劣る耐摩耗性磁気記録体が得られることが側められた
。
本発明は、か−る不都合がなく、磁性膜面に強幽に密着
し、耐摩耗性の向上した磁気記録体を確実に得る方法を
提供したもので、真空容器内に於て磁気記録体用基材面
に磁性膜を形成後引続きその真空容器内に於てその磁性
膜面に高級脂肪酸又はその金属塩の蒸着を行なうことを
特徴とする。
即ち、本発明方法によれば、真空蒸着されて未だ外部に
取り出されてない磁性膜は、その表面が極めて活性化し
て層り、他物で汚染されて居ないので、従来のよう＆：
ｌｉ品として外部に取り出すことなく、その真空容器内
においたま一引続き直ちにその磁性膜面に高級脂肪酸又
はその金属塩を真空蒸着せしめれば、該磁性膜に対し極
めて大きい化学的吸着力で結合せしめることができる。
次に本発明実施例を添付図面に関纏し説明する。
第１ＷＪは、本発明を実施する装置の１４Ｒな示し一ム
は真空蒸着装置−（１）はその容−１（２）（２）は真
空容器（１１内の上部に左右に配設した四−ル、（３）
は該胃−ル（２）（２）の１方にイルトを介し接続の駆
動毫−ターを示し１該駆動モーター（３）により所定速
度で＠ｗ−−ル（２）（２）間にかけて張設したテープ
状基材（４）を移行させるようにした０該基材（４）は
２５声鳳厚のポリエステルフィルムから成るテープで１
例えば図面で右側の關−ル（２）にロール状に装着され
左側のロール（２）に看き取られるようにするが、この
間の走行は、ロール＋２）　１２）の中間下方に配した
大径の１転型円形ドラム（５）の周面で支持され円弧状
に移行するようにした。該日影ド〉ム（５）の下方には
−ドラム面との間にスペース通路を存し乍ら左右の空間
を仕切る防着板（６）を設けると共にその右側の空間を
磁性物質の蒸発用の電子ビー＾薫尭源（７）を下方に設
けた磁性物質の蒸発用空間（１＆）とし、その左側の空
間を高級脂肪酸又はその金属塩の蒸発用加熱器（８）を
下方【設けた潤滑剤ｓｊＩ用空間（ｌｂ）枠瞬とした。
該電子ビー＾ａｎ源（７」は−その上面の凹部に０ｏ−
８０％　１１等の磁性物質（９）を収容し、電子ビーム
により加熱されて一物質（９）は蒸発し、前記■−ル（
２）より下降するテープ基材（４）面に斜めに入射蒸着
した磁性膜が形成されるようにした。該加熱器（８）は
、中空円筒状の内周面にコイル状の加熱線−）を備え、
その中心の上面開数の空間内に収容したるつばｒＡｏ内
の前記潤滑剤叡υを加熱蒸発させそのドラム（６）の最
下部の円弧状面に走行してきた既に磁性膜を形成された
磁気テープ畠の該磁性膜面に；−＠潤滑剤１１Ｉｌｌち
、高級脂肪酸又はその金属塩の蒸着が行なわれるように
した。図面で０は赤外ｌｌｌヒーターを示し、これによ
り１磁気テープａｌを適当に加熱して潤滑剤が過剰に蒸
着しないように防止した。０は、テープ基材表面の温度
を測定するための熱電対、０４（Ｉ４はロール（２）（
２）へ蒸発物質が付着しないようにその下方に夫々水平
に設けた遮蔽板％四は排気口を示す・ 次に上記装置による本発明実施例を説明する０真空容器
（１）内を例えばｌＸ１０　　）−ル以下とした状態で
、１１Ｉの曹−ラー（２）より轡き解され２０（Ｊ／分
の速度で移行させ、該ドラム（５３Ｉｔに沿い円弧状に
下降するテープ基材（４）の傾斜面にその直下の電子ビ
ーム蒸発＊　（７）より加熱蒸発し上昇するＧｏ−５Ｏ
％ＭＬ等の磁性金属粒子が２０００ム／分の割合で蒸着
し、かくして該基材（４）　ＩＩに斜め蒸着の磁性膜を
もったいわゆる磁気テープａが生成する。この磁性膜の
厚さは、例えば２５ＯＩＡ、飽和磁化１０４００Ｇ、保
磁力？００ｏ・につ（られる。次で該磁気テープ１は該
仕切板（６）の前壁の遮蔽ａｍ（４＆）とドラム（５）
との間のスペース通路を通り潤滑剤蒸発用空間（１ｂ）
内に入り１　ドラム＜５７Ｉ面に沿い移行するとき、そ
の直下の加熱１ｔ（８）により加熱されて蒸発上昇する
高級脂肪酸又はその金属塩■の蒸発粒子は、先に形成さ
れた磁性膜面に１０ロム／分の割合で蒸着し１その表面
には敞ム〜数百ム程度のＩｉＨの極めて薄いその蒸着層
が密着形成し、かくして耐摩耗性磁気記録テープとなっ
て他側の一一ル（２）に巻き取られて５ｕｉｔ完了する
。
上記の製造に於て、該赤外線ヒーターａ−により磁気テ
ープａの磁性膜ｇｉｌｄ）℃以上に加熱し乍ら、前記潤
滑剤の蒸着管行なうときは密着性が良く且つ過剰に蒸着
することな（、極めて肉藩の蒸着膜に形成できる。該潤
滑剤の蒸着に当り、磁性膜の表面が酸化している場合１
その蒸着が一層強固に行なわれ、耐摩耗性が一層向上し
た磁気記録体が得られることが比較試験により知見した
。即ち、磁性金属の蒸着膜でなく、磁性金属の酸化物を
蒸着した磁性膜の場合は必要でないが、磁性金属の蒸着
膜の場合は、１ＩｌｙｌＩ滑剤の蒸着前にその表面を酸
化することが必要となる。上記の実施例に於ける連続処
理工程の間に、酸化処理工程を介在せしめることが必要
となる。その好ましい実施を行なう装置を第２図に示す
。
第２図に於て％ｊｌ１１ｗＪ示の実施例装置の全ての構
成＆：ＩＫＩえ１特に下記のよう６ＳＩＩ化処理装置を
設けた。即ち１電子ビ一ム蒸発源（７）と潤滑剤蒸尭用
加熱＊　（８）との間に酸化懺置舖を介在せしめた。該
酸化装置は、酸素等の酸化性ガス供給管（ｌηとイオン
ボンバード用電極羨置軸とから成り、該供給管ａηの先
端はドラム（５）下面に沿い開拡開口した放出室（１７
ｍ）としその放出室（１ｍ）内にステンレスメツシュ状
の電極（１８ｍ）が収容されそのドラム（５７下面紀沿
い対面して居り、その外部の直流電源（１８ｂ）により
電極に例えば−５００Ｖの直流電圧を印加し、該供給管
仁υから放出室（１７ａ）に放出される例えば２Ｘ１０
　　　）−ルの酸素ガスに、そのイオンボンバードを生
せしめるようにし−これにより走行する磁気テープａの
金属磁性膜面を酸化層を形成せしめ、次でその前方に移
行してその膜面はその酸化層面に潤滑剤蒸発用加熱源（
８）からの高級脂肪酸又はその金属塩の蒸着がなされる
ようにした。図画で０は、ガス供給管鰭に介入させたパ
ルプを示し、これによりガスの導入量の関節を行なうよ
うにした。
かくして１真空容器内に於て連続して、磁性膜の生成工
程、その酸化工程、高級脂肪酸又はその金属塩の蒸着工
程を行なうことができるので、耐摩耗性の極めて優れた
磁気記録体を簡単に能率良く製造できる。
次に１本発明製法による特徴を下表の比較試験結果によ
り明らかにする。
上記表から明らかなように一本法により製造のものがそ
の耐摩耗性が着しく向上し、特に磁性金属に鹸化層を形
成後潤滑剤を蒸着したものは更に良好であった。
本発明の方法は、上記では、基材細に斜め入射蒸層掴磁
性膜について詳述したが、僑直蓋磁性展その他の製法で
つくられた各種薯義金属又は金属鹸化物の磁性膜にも仝
様に適用でき又テープに限らずディスクその他の形状の
各種基材が使用できることは云うまでもない。
このように本発明によるときは、基材面に真空容器内で
磁性膜を形成して磁気記録体としたものを外部にとり出
すことなく、その真空容器内に磁気記録体を収容したま
一ダ１続き高級脂肪酸又はその金属塩をその磁性膜面に
蒸着するようにしたので１その蒸着膜の磁性膜に対する
化学的吸着密着は極めて強固に得られ、耐摩耗性の向上
した磁気記録体が得られ１又磁性金属酸化物の磁性膜で
ある場合はその酸化層を介して該潤滑剤の化学的吸着は
一層＊ｉｉｉであるが、特に磁性金属の磁性膜の場合は
１これを基材面に形成後引続き酸化ガスによるイオンメ
ンパートを行ないその１１面に酸化層を形成したｍ１ｌ
ｌ潤滑剤の蒸着を行なうことにより、一層強固な化学的
吸着を得られる効果を有する。
【図面の簡単な説明】
ｇｔ図は本性な実施する装置の１例の截断側面図、第２
図はその他鋼の截断側面図を示す。 ム・・・真空蒸着装置　（１；・・・真空容ＩＩ　　（
２）　（２１・・・ロール　（３）・・・駆動モーター
　（４）・・・テープ基材′　ａ・・・磁気テープ　（
６）・・・防着板　（７）・・・電子ビーム蒸発Ｉｌｌ
　　（８）・・・潤滑剤の蒸発用加熱器　（９）・・・
磁性物質（１（１・・・高級脂肪酸又はその金属塩　収
υ・・・磁性物質ａ峙・・・酸化装置　（Ｉ？）・・・
酸化性ガス供給管　ａ樽用イオンボンバード用電極 外２名 第１図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、　真空容器内に於て磁気記録体用基材面に磁性膜を
    形＊＊引続きその真空容器内に於てそのｉ性裏面に高級
    脂肪酸又はその金属塩の蒸着を行なうことを特徴とする
    耐摩耗性磁気記録体の製造法。 １　真空容器内に贅で磁気記録体用基材面に金属磁性膜
    を彫成後引続きその真空容器内に於て酸化性ガスによる
    イオンボンバードによる磁性膜表面の酸化を行なった後
    その酸化磁性膜面上に高級脂肪酸又はその金属塩の真空
    蒸着を行なうことな特徴とする耐摩耗性磁気記録体の製
    造法。
JP56207996A 1981-12-24 1981-12-24 耐摩耗性磁気記録体の製造法 Granted JPS58111127A (ja)

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