JPS6139920A - 磁気記録方法 - Google Patents
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- JPS6139920A JPS6139920A JP16269684A JP16269684A JPS6139920A JP S6139920 A JPS6139920 A JP S6139920A JP 16269684 A JP16269684 A JP 16269684A JP 16269684 A JP16269684 A JP 16269684A JP S6139920 A JPS6139920 A JP S6139920A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
工 発明の背景
技術分野
本発明は、磁気記録媒体、特に金属薄膜型の磁気記録媒
体と磁気記録方法に関する。
体と磁気記録方法に関する。
先行技術とその問題点
ビデオ用、オーディオ用等の磁気記録媒体として、テー
プ化して巻回したときのコンパクト性から、金属薄膜型
の磁性層を有するものの開発が活発に行われている。
プ化して巻回したときのコンパクト性から、金属薄膜型
の磁性層を有するものの開発が活発に行われている。
このような金属薄膜型の媒体の磁性層としては、特性上
、基体法線に対し所定の傾斜角にて蒸着を行う、いわゆ
る斜め蒸着法によって形成したCO系、Co−Ni系等
からなる蒸着膜が好適である。
、基体法線に対し所定の傾斜角にて蒸着を行う、いわゆ
る斜め蒸着法によって形成したCO系、Co−Ni系等
からなる蒸着膜が好適である。
このような媒体は、スペーシングロスによる特性低下が
大きいので、その表面をできるだけ平滑化する必要があ
る。
大きいので、その表面をできるだけ平滑化する必要があ
る。
しかし、あまり表面を平坦にすると、摩擦が十匁/ f
PLl 八−Vカ、、求 ↓仁需噛★瞭試由る。
PLl 八−Vカ、、求 ↓仁需噛★瞭試由る。
ところで、金属薄8111の媒体では、磁性層が0.0
5〜0.51Lmと非常にうすいため、媒体の表面性は
基板の表面性に依存する。 ′このため、基板表面に比
較的なだらかないわゆるしわ状、ミミズ状等の突起を設
ける旨の提案されている(特開昭53−118115号
等)。
5〜0.51Lmと非常にうすいため、媒体の表面性は
基板の表面性に依存する。 ′このため、基板表面に比
較的なだらかないわゆるしわ状、ミミズ状等の突起を設
ける旨の提案されている(特開昭53−118115号
等)。
また、特開昭53−88227号、同5B−11022
1号には、基体表面に微粒子を配設して、光学顕微鏡で
50〜400倍で観察でき、しかも触針式表面粗さ測定
装置で実測できる高さの凹凸を設ける旨が提案されてい
る。
1号には、基体表面に微粒子を配設して、光学顕微鏡で
50〜400倍で観察でき、しかも触針式表面粗さ測定
装置で実測できる高さの凹凸を設ける旨が提案されてい
る。
しかし、これらでも、走行摩擦 、耐久走行性、走行安
定性□等の物性や、電磁変換特性の点で未だ不十分であ
る。
定性□等の物性や、電磁変換特性の点で未だ不十分であ
る。
一方、特開昭53−88704号等には、強磁性金属薄
膜層表面に、直鎖の飽和脂肪酸からなるトップコート層
を設け、走行摩擦を低減する旨が提案されている・ しかし、脂肪酸を用いるときには、潤滑剤のヘッドへの
付着、ヘッド目づまりが発生し、実用上大きな問題とな
る。
膜層表面に、直鎖の飽和脂肪酸からなるトップコート層
を設け、走行摩擦を低減する旨が提案されている・ しかし、脂肪酸を用いるときには、潤滑剤のヘッドへの
付着、ヘッド目づまりが発生し、実用上大きな問題とな
る。
すなわち、現状では、走行摩擦を下げ、しかも走行面で
支障の出ない範囲で、ヘッド付着、ヘッド目づまりを解
消し、かつ電磁変換特性の面でも不都合の生じない技術
は未だ実現していない。
支障の出ない範囲で、ヘッド付着、ヘッド目づまりを解
消し、かつ電磁変換特性の面でも不都合の生じない技術
は未だ実現していない。
なお、現在のところ、金属薄膜型の媒体では、磁気ヘッ
ドとしてフェライトヘッドを用いれば十分であるとされ
ている。
ドとしてフェライトヘッドを用いれば十分であるとされ
ている。
そして、もっばらフェライトヘッドを用いたときの耐久
性、信頼性等の向上が図られている。
性、信頼性等の向上が図られている。
II 発明の目的
本発明の目的は、金属薄膜型の磁気記録媒体と、それを
用いた磁気記録方法において、摩擦、耐久性、走行安定
性等の物性を改良し、しかも物性面で支障のない範囲で
ヘッド付着や目づまりを解消し、かつ電磁変換特性の面
でも何ら不都合が生じないようにすることにある。
用いた磁気記録方法において、摩擦、耐久性、走行安定
性等の物性を改良し、しかも物性面で支障のない範囲で
ヘッド付着や目づまりを解消し、かつ電磁変換特性の面
でも何ら不都合が生じないようにすることにある。
このような目的は、下記の本発明によって達成される。
すなわち本発明は。
可とう性基板上にCoを主成分とする強磁性金属薄膜層
を設け、この強磁性金属薄膜層上にトップコート膜を設
けてなる磁気記録媒体において、 磁気記録媒体の強磁性金属薄膜層が酸素を含んでおり、 トップコート膜が、RCOOH(ここに、Rは炭素原子
数13〜21の直鎖のアルキル基を表わす)から形成さ
れており、しかもトップコート膜の水との接触角が60
〜11O@であり、 かつ磁気ヘッドのギャップ長をa終mとしたとき、磁気
記録媒体が表面に1 +*m2当り平均lQ ’5 /
a”’2個以上の突起を有し、しかも突起が30〜3
00人の高さを有することを特徴とす゛る磁気記録媒体
である。
を設け、この強磁性金属薄膜層上にトップコート膜を設
けてなる磁気記録媒体において、 磁気記録媒体の強磁性金属薄膜層が酸素を含んでおり、 トップコート膜が、RCOOH(ここに、Rは炭素原子
数13〜21の直鎖のアルキル基を表わす)から形成さ
れており、しかもトップコート膜の水との接触角が60
〜11O@であり、 かつ磁気ヘッドのギャップ長をa終mとしたとき、磁気
記録媒体が表面に1 +*m2当り平均lQ ’5 /
a”’2個以上の突起を有し、しかも突起が30〜3
00人の高さを有することを特徴とす゛る磁気記録媒体
である。
また、第2の発明は、
可とう性基板上にCOを主成分とする強磁性金属薄膜層
を設け、この強磁性金属薄膜層上にトップコート膜を設
けてなる磁気記録媒体を用い、少なくともギャップ部端
面を金属強磁性体で構成した磁気ヘッドを用いて記録再
゛生を行う磁気記録方法において、 磁気記録媒体の強磁性金属薄膜層が酸素を含んでおり、 トップコート膜が、RCOO)I’(ここに、Rは炭素
原子数13〜21の直鎖のアルキル基を表わす)から形
成されており、しかもトッップコート膜の水との接触角
が60−110’であり、 かつ磁気ヘッドのギャップ長をall、mとしたとき、
磁気記録媒体が表面に1 s+m2当り平均105/a
2個以上の突起を有し、しかも突起が30〜300人の
−高さを有することを特徴とする磁気記録方法である。
を設け、この強磁性金属薄膜層上にトップコート膜を設
けてなる磁気記録媒体を用い、少なくともギャップ部端
面を金属強磁性体で構成した磁気ヘッドを用いて記録再
゛生を行う磁気記録方法において、 磁気記録媒体の強磁性金属薄膜層が酸素を含んでおり、 トップコート膜が、RCOO)I’(ここに、Rは炭素
原子数13〜21の直鎖のアルキル基を表わす)から形
成されており、しかもトッップコート膜の水との接触角
が60−110’であり、 かつ磁気ヘッドのギャップ長をall、mとしたとき、
磁気記録媒体が表面に1 s+m2当り平均105/a
2個以上の突起を有し、しかも突起が30〜300人の
−高さを有することを特徴とする磁気記録方法である。
■ 発明の具体的構成
以下、本発明の具体的構成について詳細に説明する。
本発明における磁性層としての強磁性金属薄膜層は、C
Oを主成分とし、これにOを含み、さらに必要に応じN
iおよび/またはCrが含有される組成を有する。
Oを主成分とし、これにOを含み、さらに必要に応じN
iおよび/またはCrが含有される組成を有する。
すなわち、好ましい態様においては、CO単独からなっ
てもよく、COとNiからなってもよい、 Niが含ま
れる場合、Co/Niの重量比は、1.5以上であるこ
とが好ましい。
てもよく、COとNiからなってもよい、 Niが含ま
れる場合、Co/Niの重量比は、1.5以上であるこ
とが好ましい。
さらに、強磁性金属薄膜層中には、Crが含有されてい
てもよい。
てもよい。
Crが含有されると、電磁変換特性が向上し、出力およ
びS/N比が向上し、さらに膜強度も向上する。
びS/N比が向上し、さらに膜強度も向上する。
このような場合、Cr / CoあるいはCr/ (C
o+Ni) の重量比は0.001〜0.1.より好マ
シくは、o、oo5〜0.05であることが好ましい。
o+Ni) の重量比は0.001〜0.1.より好マ
シくは、o、oo5〜0.05であることが好ましい。
さらに、強磁性金属薄膜中には0が含有されるものであ
る。
る。
強磁性金属薄膜中の平均酸素量は、原子比、特にO/(
CoまたはCo+Nj)(7)jX子比で・ 0・5以
下、より好ましくは0.05〜0.5であることが好ま
しい。
CoまたはCo+Nj)(7)jX子比で・ 0・5以
下、より好ましくは0.05〜0.5であることが好ま
しい。
この場合、強磁性金属薄膜層の表面では、酸素が強磁性
金属(Co、Ni)と酸化物を形成している。
金属(Co、Ni)と酸化物を形成している。
すなわち、表面部、特に表面から50〜500人、より
好ましくは50〜200人の厚さの範囲には、オージェ
分光分析により、酸化物を示すピークが認められるもの
である。 そして、この酸化物層の酸素含有量は、原子
比で0.5〜t、o程度である。
好ましくは50〜200人の厚さの範囲には、オージェ
分光分析により、酸化物を示すピークが認められるもの
である。 そして、この酸化物層の酸素含有量は、原子
比で0.5〜t、o程度である。
なお、このような強磁性金属薄膜中には。
さらに他の微量成分、特に遷移元素、例えばFe、Mn
、V、Zr、Nb、Ta、Tf 。
、V、Zr、Nb、Ta、Tf 。
Z n 、 M o 、 W 、 Cu等が含まれてい
てもよい。
てもよい。
このような強磁性金属薄膜層は、好ましい態様において
、上記したCOを主成分とする柱状結晶粒の集合体から
なる。
、上記したCOを主成分とする柱状結晶粒の集合体から
なる。
この場合、強磁性金属薄膜層の厚さは、0.05〜0.
5.LLm、好ましくは、0.07〜0.31Lmとさ
れる。
5.LLm、好ましくは、0.07〜0.31Lmとさ
れる。
そして、柱状の結晶粒は、薄膜の厚さ方向のほぼ全域に
亘る長さをもち、その長子方向は、基体の主面の法線に
対して、lO〜70°の範囲にて傾斜していることが好
ましい。
亘る長さをもち、その長子方向は、基体の主面の法線に
対して、lO〜70°の範囲にて傾斜していることが好
ましい。
なお、酸素は、表面部の柱状の結晶粒の表面に前記のと
おり化合物の形で存在するものである。
おり化合物の形で存在するものである。
また、強磁性金属薄膜層の酸素の濃度勾配の回加には特
に制限はない。
に制限はない。
また、結晶粒の短径は、50〜500人程度の長さをも
つことが好ましい。
つことが好ましい。
このような強磁性金属薄膜層を形成する基板は、非磁性
のものでありさえすれば特に制限はないが、特に可とう
性の基板、特にポリエステル、ポリイミド等の樹脂製の
ものであることが好ま、しい。
のものでありさえすれば特に制限はないが、特に可とう
性の基板、特にポリエステル、ポリイミド等の樹脂製の
ものであることが好ま、しい。
また、その厚さは、種々のものであってよいが、特に5
〜20gmであることが好ましい。
〜20gmであることが好ましい。
この場合、基板の強磁性金属薄膜層形成面の裏面には、
公知の種々のバックコート層が形成されていてもよい。
公知の種々のバックコート層が形成されていてもよい。
また1強磁性金属薄膜層表面には、公知の種々のトップ
コート層が形成されていてもよい。
コート層が形成されていてもよい。
このように構成される本発明の磁気記録媒体の表面には
、微細な突起が所定の密度で設けられる。
、微細な突起が所定の密度で設けられる。
微細な突起は、30〜300人、より好ましくは50〜
250人の高さを有するものである。
250人の高さを有するものである。
すなわち1本発明の突起は、光学顕微鏡で観察でき、か
つ触針型表面粗さ計で測定できるものではなく、走査型
電子顕微鏡にて観察できる程度のものである。
つ触針型表面粗さ計で測定できるものではなく、走査型
電子顕微鏡にて観察できる程度のものである。
突起高さが300人をこえ、光学顕微鏡にて観察できる
ものとなると、電磁変換特性の劣化と、走行安定性の低
下をもたらす。
ものとなると、電磁変換特性の劣化と、走行安定性の低
下をもたらす。
また、50λ未満となると、物性の向上の実効がない。
そして、その密度は1 mm2あたり平均105/a2
個、より好ましくは2X106/a2〜l Q9 /
82個である。
個、より好ましくは2X106/a2〜l Q9 /
82個である。
この場合、aはBm単位にて、磁気ヘッドのギャップ長
を表わす。
を表わす。
そして、磁気ヘッド長のギャップ長は、0゜5pm以下
、特に0.1〜0.51Lm、より好ましくはO01〜
0.4ルmとされる。
、特に0.1〜0.51Lm、より好ましくはO01〜
0.4ルmとされる。
なお、突起密度が105/a2個/■2.より好ましく
は2 X 106 / a2個/mm2未満となると、
ノイズが増大し、スチル特性が低下する等物性の低下を
きたし、実用に耐えない。
は2 X 106 / a2個/mm2未満となると、
ノイズが増大し、スチル特性が低下する等物性の低下を
きたし、実用に耐えない。
また、l Q 9 / a2個/m+w2をこえると、
物性上の効果が少なくなってしまう。
物性上の効果が少なくなってしまう。
このような突起を設けるには、通常、基板上に微粒子を
配設すればよい。
配設すればよい。
微粒子径は、30〜300人、特に50〜250Aとす
ればよく、これにより微粒子径を対応した微細突起が形
成される。
ればよく、これにより微粒子径を対応した微細突起が形
成される。
用いる微粒子としては、通常コロイド粒子として知られ
ているものであって、例えばS i 02 (=+ロ
イグAyシリカ) 、 A 1203(アルミナゾル)
、MgO,TiO2。
ているものであって、例えばS i 02 (=+ロ
イグAyシリカ) 、 A 1203(アルミナゾル)
、MgO,TiO2。
ZnO,Fe2O3’、ジル:1−7.CdO。
NiO,CaWO4、CaCO3+
BaCO3、CoCO3、BaTiO3。
Ti(チタンブラック)、Au、Ag、Cu。
Ni、Fe、各種ヒドロシルや、樹脂粒子等が使用可能
である。 この場合、特に無機物質を用いるのが好まし
い。
である。 この場合、特に無機物質を用いるのが好まし
い。
このような微粒子は、各種溶媒を用いて塗布液とし、こ
れを基板状に塗布、乾燥してもよく、あるいは塗布液中
に各種水性エマルジョン等の樹脂分を添加したものを塗
布、乾燥してもよい。
れを基板状に塗布、乾燥してもよく、あるいは塗布液中
に各種水性エマルジョン等の樹脂分を添加したものを塗
布、乾燥してもよい。
なお、場合によっては、これら塗布液を基板上に配設す
るのではなく、トップコート層として配設することもで
きる。
るのではなく、トップコート層として配設することもで
きる。
また、樹脂分を用いる場合、これら微粒子にもとづく微
細突起に重畳してゆるやかな突起を設けることもできる
が、通常はこのようにする必要はない。
細突起に重畳してゆるやかな突起を設けることもできる
が、通常はこのようにする必要はない。
なお、基板と強磁性金属薄膜層との間には、必要に応じ
、公知の各種下地層を介在させることもできる。
、公知の各種下地層を介在させることもできる。
また、もし必要であるならば、強磁性金属薄膜層を複数
に分割して、その間に非強磁性金属薄膜層を介在させて
もよい。
に分割して、その間に非強磁性金属薄膜層を介在させて
もよい。
本発明において、磁性層の形成は電解蒸着、イオンブレ
ーティング等を用いることもできるが、いわゆる斜め蒸
着法によって形成されることが好ましい。
ーティング等を用いることもできるが、いわゆる斜め蒸
着法によって形成されることが好ましい。
この場合、基体法線に対する、蒸着物質の入射角の最小
値は、20″以上とすることが好ましい。
値は、20″以上とすることが好ましい。
入射角が20″未満となると、電磁変換特性が低下する
。
。
なお、蒸着雰囲気は、通常、アルゴン、ヘリ゛ウム、真
空等の不活性雰囲気に、酸素ガスを含む雰囲気とし、1
O−5XLOOPa程度の圧力とし、また、蒸着距離、
基体搬送方向、キャンやマスクの構造、配置等は公知の
条件と同様にすればよい。
空等の不活性雰囲気に、酸素ガスを含む雰囲気とし、1
O−5XLOOPa程度の圧力とし、また、蒸着距離、
基体搬送方向、キャンやマスクの構造、配置等は公知の
条件と同様にすればよい。
そして、酸素雰囲気での蒸着により、表面に金属酸化物
の被膜が形成される。 なお、金属酸化物が形成される
酸素ガス分圧は、実験から容易に求めることができる。
の被膜が形成される。 なお、金属酸化物が形成される
酸素ガス分圧は、実験から容易に求めることができる。
なお、表面に金属酸化物の被膜を形成するには、各種酸
化処理が可能である。
化処理が可能である。
適用できる酸化処理としては下記のようなものがある。
l)乾式処理
al、エネルギー粒子処理
特願昭58−78840号に記載したように、蒸着の後
期に、イオンガンや中性ガンにより酸素をエネルギー粒
子として磁性層にさしむけるもの。
期に、イオンガンや中性ガンにより酸素をエネルギー粒
子として磁性層にさしむけるもの。
b、グロー処理
02 、N20,02 +H20等とAr。
N2等の不活性ガスとを用い、これをグロー放電してプ
ラズマを生じさせ、このプラズマ中に磁性膜表面をさら
すもの。
ラズマを生じさせ、このプラズマ中に磁性膜表面をさら
すもの。
C8酸化性ガス
オゾン、加熱水蒸気等の酸化性ガスを吹きつけるもの。
d、加熱処理
加熱によって酸化を行うもの、 加熱温度は60〜15
0℃程度。
0℃程度。
2)湿式処理
a、陽極酸化
b、アルカリ処理
C6酸処理
クロム酸塩処理、過マンガン酸塩処理、リン酸塩処理等
を用いる。
を用いる。
d、酸化剤処理
H2O2等を用いる。
このような磁性層上には、RCOOHからなるトップコ
ート膜が形成され・る0、 ここに、Rは炭素原子数13〜21の直鎖のアルキル基
である。
ート膜が形成され・る0、 ここに、Rは炭素原子数13〜21の直鎖のアルキル基
である。
Rの炭素原子数が13未満になると、特に高温での走行
耐久性が悪化し、走行摩擦係数が増大する。
耐久性が悪化し、走行摩擦係数が増大する。
一方、21をこえると、蒸着効率が悪化し、トップコー
ト膜の均一性を保つことがむずかしくなる。 また、出
力低下も大きくなる。
ト膜の均一性を保つことがむずかしくなる。 また、出
力低下も大きくなる。
なお、炭素原子数は、13,15,17,19.21.
@に15,17.19が好適である。
@に15,17.19が好適である。
また、Rの炭素原子数を上記のような範囲とするだけで
なく、このような組成のトップコート膜の水との接触角
は、60〜110°としければならない。
なく、このような組成のトップコート膜の水との接触角
は、60〜110°としければならない。
この場合、接触角が60°未満では、走行摩擦が大きく
実用に耐えない、 また、走行耐久性も悪い。
実用に耐えない、 また、走行耐久性も悪い。
他方、110°をこえると、出力低下が増加し、実用に
耐えない。
耐えない。
なお、従来の直鎖脂肪酸を塗布してなるトップコート膜
では、水との接触角は60〜11O@とはならない。
では、水との接触角は60〜11O@とはならない。
このようなトップコート膜は、5〜100人の厚さとさ
れる。 このとき、特性のバランスが保たれる。
れる。 このとき、特性のバランスが保たれる。
そして、このようなトップコート膜は、蒸着、スパッタ
リングないしイオンブレーティング等の気相被着法、特
に蒸着によって形成することが好ましい。
リングないしイオンブレーティング等の気相被着法、特
に蒸着によって形成することが好ましい。
気相被着法によらず、塗布によることには、膜厚をうず
くして、しかも均一な厚さで設層することがむずかしい
。
くして、しかも均一な厚さで設層することがむずかしい
。
蒸着等に際しては、対応する脂肪酸を用いればよい。
なお、対応するアリキル基を有するリン酸アルキルエス
テル(モノ、ジ、トリ)ないしその塩を用い、蒸着ない
しスパッリングを行うこともできる。
テル(モノ、ジ、トリ)ないしその塩を用い、蒸着ない
しスパッリングを行うこともできる。
この場合、脂肪酸RCOOHは、蒸発源の分解生成物に
該当するものである。
該当するものである。
なお、蒸着に際してのRCOOHの生成埋積と、表面の
接触角は、基体温度、基体−ハース間隔、動作圧力等に
依存する。 そして、その条件は、製造装置ごとに容易
に実験的に求めることができる。
接触角は、基体温度、基体−ハース間隔、動作圧力等に
依存する。 そして、その条件は、製造装置ごとに容易
に実験的に求めることができる。
なお、通常は、基体−ハース間隔は1〜20c+w程度
、基体温度は30℃程度とする。
、基体温度は30℃程度とする。
そして、その磁性層形成面の裏面には、バックコート層
を設層することが好ましい。
を設層することが好ましい。
他方、用いる磁気ヘッドは、少なくともギャップ部端面
を金属強磁性体で構成したものであることが好ましい。
を金属強磁性体で構成したものであることが好ましい。
これにより、きわめて良好な電磁変換特性かえられ、し
かも走行性が良好となり、ヘッド付着やヘッド目づまり
も減少する。
かも走行性が良好となり、ヘッド付着やヘッド目づまり
も減少する。
この場合、コア全体を金属強磁性体から形成することも
でき、必要に応じ、ギャップ部端面を含むコアの一部を
金属強磁性体から形成することもできる。
でき、必要に応じ、ギャップ部端面を含むコアの一部を
金属強磁性体から形成することもできる。
第1図には、例えばフェライト等の強磁性体からなるコ
ア半休21.22のギャップ部端面に、1〜5ILi+
の厚さの金属強磁性体31,32をスパッタリング等に
より被着し、ガラス質等のギャップ4を介して、コア半
休21.22をつきあわせて磁気へラドlを構成した例
が示される。
ア半休21.22のギャップ部端面に、1〜5ILi+
の厚さの金属強磁性体31,32をスパッタリング等に
より被着し、ガラス質等のギャップ4を介して、コア半
休21.22をつきあわせて磁気へラドlを構成した例
が示される。
そして、その形状、構造等は公知のものであってよい。
ただ、ギャップ長aは、前記のとおり、通常、0.1〜
0.5JL閣、特に0.1−0.4経厘、またトラック
巾は1通常、10〜50ル謡、特に10〜20色厘とす
る。
0.5JL閣、特に0.1−0.4経厘、またトラック
巾は1通常、10〜50ル謡、特に10〜20色厘とす
る。
用いる金属強磁性体としては1種々のものが可能であり
、非晶質磁性合金、センダスト、ハードパーマロイ、パ
ーマロイ等の薄膜、薄板等はいずれも使用可能である。
、非晶質磁性合金、センダスト、ハードパーマロイ、パ
ーマロイ等の薄膜、薄板等はいずれも使用可能である。
ただ、これらのうちで、ヘッド目づまりないし付着が特
に少なく、電磁変換特性が良好なのは、COを主成分と
する非晶質磁性合金である。
に少なく、電磁変換特性が良好なのは、COを主成分と
する非晶質磁性合金である。
このような非晶質磁性合金としては、C。
70〜95at%、ガラス化元素として、Zr。
Nb、Ta、Hf、希土類元素、Si 、B。
P、C,AM等、特にZrおよび/またはNbを5〜2
0at%含有するものが好適である。
0at%含有するものが好適である。
あるいは、ガラス化元素として15〜35at%のSi
および/またはBを含むものも好適である。
および/またはBを含むものも好適である。
この場合、さらに10at%以下のFe、25at%以
下のNi、総計20at%以下のCr。
下のNi、総計20at%以下のCr。
T i 、 Ru 、 W 、 M o 、 M n等
の1種以上が含有されていてもよい。
の1種以上が含有されていてもよい。
これら非晶質磁性合金は、スパッタリングや高速急冷法
等を用いて、コア半体ないしギャップ部等として形成さ
れる。
等を用いて、コア半体ないしギャップ部等として形成さ
れる。
このような磁気ヘッドを用いて、前記した媒体に対して
記録再生を行うには、し1わゆるVH8方式、ベータ方
式、8謬閣ビデオ方式、U規格方式等公知のビデオ録画
システムに従えばよ■ 発明の具体的作用効果 本発明によれば、走行摩擦がきわめて小さくなり、かつ
安定化する。
記録再生を行うには、し1わゆるVH8方式、ベータ方
式、8謬閣ビデオ方式、U規格方式等公知のビデオ録画
システムに従えばよ■ 発明の具体的作用効果 本発明によれば、走行摩擦がきわめて小さくなり、かつ
安定化する。
また、走行耐久性が格段と向上し、多数回走行後も走行
摩擦の増大がなく、くりかえし録画、再生回数が格段と
向上し、スチル特性が格段と向上する。
摩擦の増大がなく、くりかえし録画、再生回数が格段と
向上し、スチル特性が格段と向上する。
そして、走行安定性も高く、高温高温から低温低湿まで
、巾広い条件下できわめて高い安定性を示す。
、巾広い条件下できわめて高い安定性を示す。
さらに、スペーシングロスにもとづく再生出力の低下も
きわめて小さい。
きわめて小さい。
また、ノイズもきわめて少ない。
そして、ヘッドの目づまりやヘッド付着もきわめて少な
い。
い。
■ 発明の具体的実施例
以下に、本発明の具体的実施例を示し、本発明をさらに
詳細に説明する。
詳細に説明する。
実施例1
実質的に微粒子を含まない平滑なポリエステルフィルム
(12pm厚)上にコロイダルシリカを塗布し、微、小
突起を有する基板を得た。
(12pm厚)上にコロイダルシリカを塗布し、微、小
突起を有する基板を得た。
この基板を真空槽中に設けた冷却用ロールに沿わせて走
行させなが゛ら、 Co/’Ntの重量比4/1のCoNi合金、およびC
o / N i / Cr ノ重量比が75/2015
のCoNiCr合金を用い、ポリエチレンテレフタレー
ト(PET)フィルム上に、それぞれ、斜め蒸着法によ
り、磁性層をo、zp腸厚にて形成し、サンプルAOお
よびBOを作製した。
行させなが゛ら、 Co/’Ntの重量比4/1のCoNi合金、およびC
o / N i / Cr ノ重量比が75/2015
のCoNiCr合金を用い、ポリエチレンテレフタレー
ト(PET)フィルム上に、それぞれ、斜め蒸着法によ
り、磁性層をo、zp腸厚にて形成し、サンプルAOお
よびBOを作製した。
斜め蒸着における入射角は45°とし、蒸着雰囲気は、
P Ar=2 X 10−” P a、P o 、、
= l X A O−’ P aとした。
= l X A O−’ P aとした。
得られた磁性層は、ともに対応する合金の組成をもち、
ともにO/ (Co+Nf)=0.2(原子比)であり
、基体主面法線に対し、約400傾斜゛した、短径0
、01’pmの厚さ方向全域に亘って成長した柱状結晶
粒子の集合体であった。
ともにO/ (Co+Nf)=0.2(原子比)であり
、基体主面法線に対し、約400傾斜゛した、短径0
、01’pmの厚さ方向全域に亘って成長した柱状結晶
粒子の集合体であった。
また、イオンエツチングを行いながらオージェ分光分析
を行ったところ、Coは表面近くで少なく、またOは化
学シフトしており、しかも表面近くに多いプロファイル
をもち、0が柱状粒子の表面に金属と結合した状態で存
在していることが確認された。
を行ったところ、Coは表面近くで少なく、またOは化
学シフトしており、しかも表面近くに多いプロファイル
をもち、0が柱状粒子の表面に金属と結合した状態で存
在していることが確認された。
次いで、上記A、およびBOの磁性層上に、対応する脂
肪酸を蒸発源として、 PAげ4X10−3Paの雰囲気にて、基体温度と基体
−蒸発源距離をかえ、50人Ho表1に示される水と接
触角をもつ脂肪酸トップコート膜を形成して、サンプル
A1〜A 15およびB1〜B3を得た。
肪酸を蒸発源として、 PAげ4X10−3Paの雰囲気にて、基体温度と基体
−蒸発源距離をかえ、50人Ho表1に示される水と接
触角をもつ脂肪酸トップコート膜を形成して、サンプル
A1〜A 15およびB1〜B3を得た。
本発明のサンプルでは、光学顕微鏡による観察および触
針型表面粗さ計による測定で、コロイダルシリカ塗布の
効果は検出されなかったが、走査型電子顕微鏡による高
倍率の観察では、磁性膜に突起がみられ、その大小は、
塗布したコロイダルシリカの大小に対応していた。
針型表面粗さ計による測定で、コロイダルシリカ塗布の
効果は検出されなかったが、走査型電子顕微鏡による高
倍率の観察では、磁性膜に突起がみられ、その大小は、
塗布したコロイダルシリカの大小に対応していた。
なお、特性、最短記録波長0.フル鵡の信号を用いて実
験を行った。
験を行った。
なお、これらの磁性層表面はオージェ分光分析の結果、
100〜200人の酸化物層で覆われていることが判明
した。
100〜200人の酸化物層で覆われていることが判明
した。
なお、サンプルCoは酸素を含まない雰囲気での蒸着に
よる、酸素を含まないCo−Ni磁性層のものである。
よる、酸素を含まないCo−Ni磁性層のものである。
また、用いた磁気ヘッドは、第1図に示されるものであ
り、ギャップ長0.251L■、トラック長20終履の
ものである。 この場合、17半体21.22はフェラ
イト製、ギャップ端面は、スパッタリングにより形成し
た3μl厚(7)GOo、8、Ni O,1、ZrO
,1(at%)であり、ギャップ材はガラスとした。
り、ギャップ長0.251L■、トラック長20終履の
ものである。 この場合、17半体21.22はフェラ
イト製、ギャップ端面は、スパッタリングにより形成し
た3μl厚(7)GOo、8、Ni O,1、ZrO
,1(at%)であり、ギャップ材はガラスとした。
なお、105/a2はり、S Xl0EI (s+w2
) −’である。
) −’である。
また、比較用の磁気ヘッドとして、フェライトヘッドを
用いた。
用いた。
なお、トップコート膜組成は、膜をアルコールで溶解し
て、抽出し、ガスクロマトグラムで同定した。
て、抽出し、ガスクロマトグラムで同定した。
これら各サンプルにつき、以下の測定を行った。
特性の測定方法は以下のとおりである。
1、突起観察
SEM(走査型電子顕微鏡)およびTEM(透過型電子
顕微鏡)を使用 2、スチル特性 5MHzで記録し、再生出力のスチル特性を測定する。
顕微鏡)を使用 2、スチル特性 5MHzで記録し、再生出力のスチル特性を測定する。
10分以上をOKレベルとする。
3、目づまり
20℃、相対湿度60%にて、50パス走行時の目づま
りを出力低下回数によって計測した。
りを出力低下回数によって計測した。
4、走行摩擦
サンプルの動摩擦係数路を、40℃、相対湿度80%で
、初期と50パス後に測定した。
、初期と50パス後に測定した。
5、走行耐久性
□各すンプルに対し、50パス試験を行い、4MHzの
信号の減少量(dB)を測定した。
信号の減少量(dB)を測定した。
これらの結果を表2に示す。
表1、表2に示される結果から、本発明による効果があ
きらかである。
きらかである。
なお、上記実施例では、無機微粒子としてコロイダルシ
リカを用いたが、他の物質例えばアルミナゾル、チタン
ブラック、ジルコニアあるいは各種ヒドロシル等を用い
ても、同等の結果を得た。
リカを用いたが、他の物質例えばアルミナゾル、チタン
ブラック、ジルコニアあるいは各種ヒドロシル等を用い
ても、同等の結果を得た。
また、Co−Fe−Ru−Cr−5i −B系非晶質を
用いて作製したヘッドを用いた場合も、同様の結果が得
られた。
用いて作製したヘッドを用いた場合も、同様の結果が得
られた。
なお、センダストを用いて作製したヘッドを用いた場合
、上記の場合に比べて効果が少なかった。
、上記の場合に比べて効果が少なかった。
第1図は、本発明に用いる磁気ヘッドの1例を示す正面
図である。 l・・・・磁気ヘッド。 21.22・・・・コア半休。 31.32・・・・金属強磁性体。 4・・・・ギャップ
図である。 l・・・・磁気ヘッド。 21.22・・・・コア半休。 31.32・・・・金属強磁性体。 4・・・・ギャップ
Claims (11)
- (1)可とう性基板上にCoを主成分とする強磁性金属
薄膜層を設け、この強磁性金属薄膜層上にトップコート
膜を設けてなる磁気記録媒体において、 磁気記録媒体の強磁性金属薄膜層が酸素を含んでおり、 トップコート膜が、RCOOH(ここに、Rは炭素原子
数13〜21の直鎖のアルキル基を表わす)から形成さ
れており、しかもトップコート膜の水との接触角が60
〜110°であり、 かつ磁気ヘッドのギャップ長をaμmとしたとき、磁気
記録媒体が表面に1mm^2当り平均10^5/a^2
個以上の突起を有し、しかも突起が30〜300Åの高
さを有することを特徴とする磁気記録媒体。 - (2)トップコート膜が、気相被着によって形成された
膜である特許請求の範囲第1項に記載の磁気記録媒体。 - (3)トップコート膜の厚さが、5〜100Åである特
許請求の範囲第1項または第2項に記載の磁気記録媒体
。 - (4)可とう性基板が高分子基板であり、この基板上に
径が30〜300Åの大きさを有する微粒子を配設し、
その上に強磁性金属薄膜層を設けてなる特許請求の範囲
第1項ないし第3項のいずれかに記載の磁気記録媒体。 - (5)強磁性金属薄膜が表面に強磁性金属の酸化物層を
有する特許請求の範囲第1項ないし第4項のいずれかに
記載の磁気記録媒体。 - (6)突起個数が1mm^2当り平均2×10^6/a
^2〜1×10^9/a^2個である特許請求の範囲第
1項ないし第5項のいずれかに記載の磁気記録媒体。 - (7)a≦0.5μmである特許請求の範囲第1項ない
し第6項のいずれかに記載の磁気記録媒体。 - (8)強磁性金属薄膜層が、CoとOからなるか、Co
とOとNiおよびCrのうちの1種または2種とからな
る特許請求の範囲第1項ないし第7項のいずれかに記載
の磁気記録媒体。 - (9)強磁性金属薄膜層のO/(CoまたはCo+Ni
)の原子比が0.5以下である特許請求の範囲第1項な
いし第8項のいずれかに記載の磁気記録媒体。 - (10)可とう性基板上にCoを主成分とする強磁性金
属薄膜層を設け、この強磁性金属薄膜層上にトップコー
ト膜を設けてなる磁気記録媒体を用い、少なくともギャ
ップ部端面を金属強磁性体で構成した磁気ヘッドを用い
て記録再生を行う磁気記録方法において、 磁気記録媒体の強磁性金属薄膜層が酸素を含んでおり、 トップコート膜が、RCOOH(ここに、Rは炭素原子
数13〜21の直鎖のアルキル基を表わす)から形成さ
れており、しかもトッップコート膜の水との接触角が6
0〜110°であり、 かつ磁気ヘッドのギャップ長をaμmとしたとき、磁気
記録媒体が表面に1mm^2当り平均10^5/a^2
個以上の突起を有し、しかも突起が30〜300Åの高
さを有することを特徴とする磁気記録方法。 - (11)金属強磁性体がCoを主成分とする非晶質磁性
合金である特許請求の範囲第10項に記載の磁気記録方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59162696A JPH0612566B2 (ja) | 1984-08-01 | 1984-08-01 | 磁気記録方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59162696A JPH0612566B2 (ja) | 1984-08-01 | 1984-08-01 | 磁気記録方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6139920A true JPS6139920A (ja) | 1986-02-26 |
| JPH0612566B2 JPH0612566B2 (ja) | 1994-02-16 |
Family
ID=15759556
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59162696A Expired - Lifetime JPH0612566B2 (ja) | 1984-08-01 | 1984-08-01 | 磁気記録方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0612566B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0258730A (ja) * | 1988-08-24 | 1990-02-27 | Nec Corp | 磁気ディスク基板 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5668928A (en) * | 1979-11-06 | 1981-06-09 | Hitachi Maxell Ltd | Magnetic recording medium |
| JPS58111127A (ja) * | 1981-12-24 | 1983-07-02 | Ulvac Corp | 耐摩耗性磁気記録体の製造法 |
| JPS58188329A (ja) * | 1982-04-26 | 1983-11-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体 |
-
1984
- 1984-08-01 JP JP59162696A patent/JPH0612566B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5668928A (en) * | 1979-11-06 | 1981-06-09 | Hitachi Maxell Ltd | Magnetic recording medium |
| JPS58111127A (ja) * | 1981-12-24 | 1983-07-02 | Ulvac Corp | 耐摩耗性磁気記録体の製造法 |
| JPS58188329A (ja) * | 1982-04-26 | 1983-11-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0258730A (ja) * | 1988-08-24 | 1990-02-27 | Nec Corp | 磁気ディスク基板 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0612566B2 (ja) | 1994-02-16 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |