JPS59154642A - 耐摩耗性磁気記録体並にその製造法 - Google Patents

耐摩耗性磁気記録体並にその製造法

Info

Publication number
JPS59154642A
JPS59154642A JP58028466A JP2846683A JPS59154642A JP S59154642 A JPS59154642 A JP S59154642A JP 58028466 A JP58028466 A JP 58028466A JP 2846683 A JP2846683 A JP 2846683A JP S59154642 A JPS59154642 A JP S59154642A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
metal oxide
thin film
vapor
oxide layer
metal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP58028466A
Other languages
English (en)
Inventor
Kyuzo Nakamura
久三 中村
Yoshifumi Oota
太田 賀文
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ulvac Inc
Original Assignee
Ulvac Inc
Nihon Shinku Gijutsu KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ulvac Inc, Nihon Shinku Gijutsu KK filed Critical Ulvac Inc
Priority to JP58028466A priority Critical patent/JPS59154642A/ja
Publication of JPS59154642A publication Critical patent/JPS59154642A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/62Record carriers characterised by the selection of the material
    • G11B5/72Protective coatings, e.g. anti-static or antifriction
    • G11B5/725Protective coatings, e.g. anti-static or antifriction containing a lubricant, e.g. organic compounds

Landscapes

  • Lubricants (AREA)
  • Magnetic Record Carriers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 近年8 mmmビデ中2014月−デイオ宿において高
密LC5−記録の要求が高まってきている。この要求に
応するため、Oo、 NfXFeやこれらの合金の金属
磁性薄膜を、メツ・Vや、蒸着、スパッタ法等により、
基利面上に形成した磁気記録体が開発された。この金属
磁性薄膜は、磁気モーメントが大きく、又高い保磁力を
得ることができるので、高密度記録牛1性はすぐねてい
るが、耐1;り純性において欠点があり、記録再生時に
、ヘッドと接触しろ゛がら走行Jると、すりきすが発生
したり、磁性膜が脱落したりすと)。特にヒゲオデーブ
として応用する場合、スヂル再生寿命が極めて虐−く、
実用−1−の障害になっている。
発明者等は、こね」Eで、か\る欠点を改善するため、
磁性薄膜の表面に、高級脂肪酸、その金用塩、ンーミド
、ニスフルこれらの誘導体のようなit;6級脂肪酸系
ii’:j ?ff剤を、真空蒸着法によりその蒸着膜
を形成したものを提案し、た。
又その後、磁性薄膜の表面を酸化させた後その表面に高
級脂肪酸系潤滑剤の蒸着膜を形成せしめることににす、
該潤滑剤蒸着膜の磁性薄膜に対する化学吸着力を増大せ
しめ、密着性が改善され、耐摩耗性等の優れた磁気記録
体を提案した。然し乍ら、特に、後者の場合、その磁性
薄膜の表面酸化は、特に、磁気テープの連続製造の場合
に、その走行Jる磁性薄膜の表面に、酸化性カスを当て
て、薄膜の表面全面を完全に酸化物層でお−うたぬには
、長時間を要し2、その最産性に問題がある。
本発明はか\る問題を解消し、迅速確実に磁性薄膜の表
面に完全にl’l÷化物層で被七Nされた此lFi+(
耐掌耗性磁気記録体を提供するもので、基1(面に形成
した金属磁性薄膜1jji Lに、金属酸化物層を形成
(−2、その金属酸化物層表面に高級脂肪酸系潤滑剤の
蒸着膜を形成して成る。
更に、本発明は、上記の磁気記録体の該潤滑剤の蒸着膜
を清浄な金に一4酸化物層面に形成してその化学吸着性
を良好にし、密着性、従って耐Ir耗性の優れたものを
製造する方法を提供するもので、基拐面上に金属磁性薄
膜を形成することと、該金属磁性薄膜面−1;に金属酸
化物層を重合形成することと、該金属酸化物E1表面に
高級脂肪酸系潤滑剤の蒸着膜を形成することとを連続的
に真空ドに於て行なうことを特徴とする。
次に本発明の実施例を添付図面につき説明する。
図面で(1)は、内部をスリット(2)をもつ区劃壁(
3)の2枚で3つの室(4) +51 (6)に区劃さ
れた真空処理容器示し、これら室(4)(5)(6)は
夫々の排気D +7) (81(9)を介して夫々の真
空ポンプ(図示しない)に接続されている。
00)は各排気口に内在させた調節弁を示す。
図面で右端の室(4)は、その内部に1一部右側に巻き
出しローラー(11)と、中間中央部に水冷キャン(1
,2+と、下部右側偏位さセて、電子ビーム蒸発源03
)により加熱蒸発される強磁性金属aを収容したるつぼ
(14)とを配設した磁性金属真空蒸着用室に構成した
。中間の室(5)は、その内部に、中間中央部に水冷キ
ャン(151とその泊−トにこねに対向1.でSi 0
2 、 A 1.2 (llx 、 S i (1等の
金属酸化物すから成るターゲットをもつスバ゛′タリシ
ク゛装置(1G)を配設し、金JIT”J酸化物のスパ
ッタリング室に構成した。左端の室(6)は、上部左側
に巻き゛取りローラ(17)社、中間中央部に水冷ギヤ
> (+8+とその水冷キャン(laの直下に内部に高
級脂肪酸系4“・4滑剤Cを収容し7た加熱;(装置(
1翅を配設置、潤滑剤貞空蒸着用室に+1・ν成した3
、翰は、各室(41f5) (+1+内に人々N数個配
設し、たテ一一−7+行用ガイドローラーを示す〇上記
の]し2置を使用り、、本発明の(磁気記録体例えば磁
気7−ブを製41fする場合る一1悦明−する。
該室(4)の巻き出しローラー(1pには、合rJ9、
樹脂製テープ基材(,411を隋きf=Iけ川()、1
7、その1端を導出し、水晶キー\・ン(12)の周面
を回動走行した後区劃壁(コ3)のスリツl−+21を
通り’:’1% (Eilに入りその水冷キャン((5
)の円周面を回動移行後、次の区劃壁(3)のスリット
(2)を通り室(6)の水冷ギ−\□>(18)の周面
を同$J)移行し、た後、巻き取りrJ−−チー(開に
巻き取られるように張π・)′する。
かくしで、各室(4+ +51 +61を夫)くのJl
、c空ポンプで排気真空しその各室(4)(5)(6)
の真空度を夫々1×101〜5×10□4 ト −ル、
 IXl[]’・−5X10−2トール、1〉ぐ10″
″″〜1×10’!−−−ルの範囲に設定する。か<b
−r、先づ室(4)においては、巻き解し70− チー
旧)より送り出される見料テーブ01)は、イ」着して
いるしん俟や水分等は除去され清浄面で水冷・)′ヤン
(I2)に送られ、その回動−1−降の過程でその表面
に、磁性金属蒸気aが斜め入射蒸着してその斜め入射蒸
着の金属′11′薄膜Aが形成される。この蒸着作業中
の真う′)フIO−け1ゝ<in’X〜5X11.1 
’ )−ルの範囲で行な−)た。次に水冷・トヤン(1
1)を回動材fi’ する金属A’f IIQ Aをも
−)71にt4ブーツ゛(21)は、ン欠の室(5)の
水21′)キ〜゛ンqω+;’、+面に導かわ、その回
動移行する間に、スパッタリングにより:ヘパツタされ
た金jCi4陪什物のbをイの金属磁性薄膜への表向全
面に薄層に堆積付着1,5、その金属酸化物層Bを形成
される。その後見料テーブ(21jは、次の室(6)に
導入され、その水冷片ヤン(18)の周而4回IT!I
J科二?■1−1ぞの間(、そ17)1力がらt、: 
pi L−。
で来る潤11′)剤の蒸9f、がその全邑酬化物層)3
の表面に(’J)?7 L7、そσ)5款着膜Cが形成
され5る3、この喝含、全村1ゼ化’l’qIM n 
Ci予め↓′J空トで形+1’、”、きね、その表面は
、潤滑剤の蒸′((、の密着11:をl(l[’i!i
ずイ)異′11すがt「いので、その蒸、(〆、 Mf
;sの該金九酸化1′1層表向にη1する化学+”+I
r を段着が良好で、’=1’ *’i性、而1L)、
・、耗・+7+□の優れた蒸オニt’ I11!、’L
が被覆形成されることと411′る0、かくして、その
製品磁’yj、 ’j’ −ブ■゛が該巻き取り)−、
+ +−チー(17)にイ()ら才[る 。
4r)、2図は(の製品1〆(5、し−フープPを示す
本発明によ才1ば、1:ζ金!+(鶴↑′1:ダ、l、
i 1lAj l;j、上記実施例のようi、−、、斜
めな5)”′I膜に限らず、ル”4空蒸3″F ?、1
4やスバパ・クリング法により垂直薄11・(に形Tr
’;、 t、、てもよい。又、;イタ金属1!n:p什
物層も、」−記イ1(11法に代えスバツ々リング法に
よる他、蒸着法や反応性〃くオ′1法に71、り形成し
、てもJ、い。又−1−記のfli、′l i)、+:
t、、↓゛l空−1・で仕叙ヨー1に作成し、−貫1で
!4 ’A〜(、−触ねさ−t* itいで製造する最
も好ましい手段であるが、必ずし7もこねに限らず、不
iす(続で外気に触れさ・ぜても酸化物層が、金属磁t
’l:薄膜の表面全面6゛被覆形成(7たものが迅速、
確実にでき、本発明の目的とする構成の磁気記録体を1
d産できることは云うまでもない。
次に、−り記第1図の装置を使用12.9 II m厚
のPK“1゛基何テープ−F−にpo−,50,N、1
合金を、15 D D Aの厚さに斜め蒸着し、その蒸
着膜の」−向に種々の酸化物を使用し、厚さを変えて夫
々の酸化物J:+7を形成し、次いでその酸化物層の表
向に2 +ttf類の潤滑剤を厚さを変えてその夫]こ
の蒸着膜を形成した各種の本発明磁気テープにつき、弓
イン千幅にスリットしてVH8H8家庭用ビデタデツギ
り、スチル担止スず命を測定した。スチル再生寿命とし
ては、最初の担止出力が半分になる士での時間を測定し
た。
比較のため、酸化物層及び潤滑剤蒸着膜又はいづれか1
方を欠いた夫々の磁気テープ酸化物層の代りに金属粒子
の層と(また磁気・ンーーーブ0、−□ぎ、[司(X:
 kニスづル(種牛に命を・1llli定した。
そσ)結果を1・゛記表1に示す。
表1 ゛  X 庖13を基準値OdBとしたl、l、、の相
対値り記から明r:)かな通り、本発明に係る磁気テー
プは、ぞのスチル再生h゛命が著しく優れている。イー
σ)再生出力は、そのM’74滑剤蒸着膜を備えた場合
酸化物Jfjの膜ルfが500λ;上では減少が認めら
れなかった。これは潤滑剤蒸着膜を欠(Or酸化物層の
厚さ500Xの再生出力が−4clBであるサンプル煮
12と対比(−7で明らかなように、潤滑剤の蒸着膜を
設けた/、−めヘッドとのなじみが改善され、その担止
出力が10が維持されるものと考かられる。従って、一
般に本発明ではそのjlyさ約5ooX以下であること
が好まし2い。、 又、比較のためサンプル煮1の本発明の蒸着膜に代えぞ
の塗布膜とするときは、そのスチル再生寿命は3m1n
であり、効果がなかった。
このように本発明に、1、る々きは、見料面上に金属磁
性薄膜を形成し、/、・7ものの而−にに金属酸化物層
を積層形成し、その金属酸化物層の[−面に高級脂肪酸
系潤滑剤の蒸着11’Jを形成し。
た磁気記録体としたので、そのスチル再生寿命は著しく
向上し、その製造は、金属酸化層で金属磁性薄膜全面を
迅速確実に被覆t7たものが迅速に得らね、犬hL生産
が可能であり、、走行性、耐摩耗性が良好である等の効
果を有する。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の磁気記録体の製造法を実施する装置の
1部を截除した側面線図、第2図はその製品の1部を截
除した斜面図を示す。 (1)・・・貞望処理容器 f41 (5) f61・・・室 a・・・磁性金属 1)・・・金属酸化物 C・・・品級脂R1酸系潤渭剤 121+・・・左利 d・・・製品 A・・・磁性金属薄膜 11・・・金属酸化物層 C・・・潤滑剤蒸着膜 外2名

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 、、1 基材面に形成した金属磁性薄膜面上に、金属酸
    化物層を形成し、その金属酸化物層表面に高級脂肪酸系
    潤滑剤の蒸着膜を形成し7て成る耐摩耗性磁気記録体。 2 該金属酸化物層の厚ざは、約500A以下である訪
    3′I錆求の範囲1項に記載の耐摩耗性磁気記録体。 3 基材向上に金属磁性薄膜を形成することと該金属磁
    性薄膜面上に金属酸化物バ・1をf(i合形成オること
    ど、該金属酸化物層表面に高級脂肪酸系潤滑剤の蒸着膜
    を形成することとを連続的に真空下に於て行なうことを
    特徴とする耐摩4:1巳性磁気記録体の製ili法。
JP58028466A 1983-02-24 1983-02-24 耐摩耗性磁気記録体並にその製造法 Pending JPS59154642A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP58028466A JPS59154642A (ja) 1983-02-24 1983-02-24 耐摩耗性磁気記録体並にその製造法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP58028466A JPS59154642A (ja) 1983-02-24 1983-02-24 耐摩耗性磁気記録体並にその製造法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS59154642A true JPS59154642A (ja) 1984-09-03

Family

ID=12249427

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP58028466A Pending JPS59154642A (ja) 1983-02-24 1983-02-24 耐摩耗性磁気記録体並にその製造法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS59154642A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61115229A (ja) * 1984-11-12 1986-06-02 Toshiba Corp 磁気記録媒体
JPS61204832A (ja) * 1985-03-06 1986-09-10 Matsushita Electric Ind Co Ltd 磁気記録媒体
JPS62120630A (ja) * 1985-11-20 1987-06-01 Nec Corp 磁気記憶体およびその製造方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5255603A (en) * 1975-10-31 1977-05-07 Nec Corp Magnetic memory element and production of same

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5255603A (en) * 1975-10-31 1977-05-07 Nec Corp Magnetic memory element and production of same

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61115229A (ja) * 1984-11-12 1986-06-02 Toshiba Corp 磁気記録媒体
JPS61204832A (ja) * 1985-03-06 1986-09-10 Matsushita Electric Ind Co Ltd 磁気記録媒体
JPH0465446B2 (ja) * 1985-03-06 1992-10-20 Matsushita Electric Ind Co Ltd
JPS62120630A (ja) * 1985-11-20 1987-06-01 Nec Corp 磁気記憶体およびその製造方法
JPH0534727B2 (ja) * 1985-11-20 1993-05-24 Nippon Electric Co

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4581245A (en) Method of manufacturing of abrasion resisting magnetic recording product
JP2572745B2 (ja) 耐摩耗・耐腐触性の磁気記録膜の作成方法
JPH0319613B2 (ja)
JPS59154642A (ja) 耐摩耗性磁気記録体並にその製造法
JPS5935580Y2 (ja) スパツタリング装置
JPH03193872A (ja) 高周波スパッタ法および磁気記録媒体の製造方法
JPS6057533A (ja) 磁気記録媒体
JPH01264632A (ja) 磁気記録媒体の製造方法および製造装置
JPS60179925A (ja) 磁気記録媒体およびその製造方法
JPS59124035A (ja) 磁気記録媒体の製造方法
TWI477616B (zh) 被覆件及其製造方法
JPS6076025A (ja) 磁気記録媒体の製造法
JPS60160027A (ja) 磁気記録媒体
JPS58143435A (ja) 磁気記録媒体の製造方法
JPS5868229A (ja) 磁気記録媒体
JPH0370290B2 (ja)
JPS5913071A (ja) スパツタリング装置
JPH0785467A (ja) 磁気記録媒体の製造方法及びその装置
JPH10162356A (ja) 磁気記録媒体の製造方法及び製造装置
JPH02277768A (ja) スパッタリング方法
JPS63251925A (ja) 磁気記録媒体の製造方法
JPH0198120A (ja) 磁気ディスク基板の製造方法
JPS61278027A (ja) 磁気記録媒体の製造方法
JPH04328324A (ja) 磁気記録媒体の製造方法
JPS63145765A (ja) 酸化物薄膜の形成方法