JPS60138720A - 垂直磁気記録媒体 - Google Patents

垂直磁気記録媒体

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JPS60138720A
JPS60138720A JP58249983A JP24998383A JPS60138720A JP S60138720 A JPS60138720 A JP S60138720A JP 58249983 A JP58249983 A JP 58249983A JP 24998383 A JP24998383 A JP 24998383A JP S60138720 A JPS60138720 A JP S60138720A
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Japan
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film
recording medium
magnetic recording
reproduced output
perpendicular magnetic
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JP58249983A
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Tomohisa Komoda
智久 薦田
Mamoru Ishizuka
守 石塚
Shuhei Tsuchimoto
修平 土本
Mitsuhiko Yoshikawa
吉川　光彦
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 く技術分野〉 本発Ｆ３Ａハ垂直磁気記録媒体の構造の改良に関する。
〈従来技術〉 近年、記録媒体の厚み方向に残留磁化を形成する垂直磁
気記録媒体の研究が活発に行なわれている。この垂直磁
気記録媒体を用いれば、従来の一般的な記録方式である
水平記録方式に比べ高密度な記録が可能である。上記垂
直磁気記録媒体としてハ、フィルムベース或いはアルミ
ベース上にＣｏ−Ｃ斤スパッタ法あるいはＥ、Ｂ、蒸着
法等にて作成したものが知られている。しかしながら、
現在知られる垂直磁気記録媒体においては磁気ヘッドと
記録媒体との摺動性が悪く、その為記録媒体あるいは磁
気ヘッドの損傷をまねき、耐久性の面で問題があった。
従来では垂直磁気記録媒体のＣｏ　−Ｃｒ金属薄膜を保
護する為に、メッキ、スパッタ、蒸着法等により作成し
ｉＮｉ、　Ｎｉ　−Ｐ、　５ｉＣＬ　５ｉｎ２．貴金属
（Ａｕ、Ｒｈ、Ｐｔ、Ａｇ等）の保護層を形成したり、
Ｃｏ−Ｃｒ金属薄膜の表面に酸化物、窒化物等を形成し
たり、有機シリコン系の化合物等を塗布したりしていた
。しかし上記した保護層の厚さが厚い場合はこれがスペ
ーシングロスとして大きく影響し、垂直磁気記録媒体の
記録密度の低下及び再生出力の低下を引き起こした。一
方上記した保護層の厚さが薄い場合は記録密度を上げる
ことは可能であるものの記録媒体あるいは磁気ヘッドに
損傷が生じ易く、耐久性に問題があった。
く目的〉 本発明は以上の従来問題点を考慮してなされたものであ
り、耐久性と記録密度の向上との両方の条件を充足する
新規な垂直磁気記録媒体を提供することを目的とする。
〈実施例〉 以下、本発明に係る垂直磁気記録媒体の一実施例を図面
を用いて詳細に説明する。第１図は本発明に係る垂直磁
気記録媒体の一実施例の一部側面断面図である。１はフ
ィルスペース、アルミベース等の基板であり、該基板１
上にＲＦスパッタ等によりＣｏ−Ｃｒ垂直磁化膜２が形
成されている。
３は上記Ｃｏ−Ｃｒ垂直磁化膜２に対して３００℃〜４
００℃の温度範囲で１０　’　〜１Ｏ−３Ｔｏｒｒの酸
素雰囲気中での２時間和度の熱処理によって形成された
Ｃｒ酸化物膜である。このＣｒ酸化物膜３の膜の膜厚は
非常に薄く５０Ａ程度である。４は上記Ｃｒ酸化物膜３
上に形成されたＳｉＯ３膜である。このＳ　ｉ　Ｏ２膜
４の膜厚は約２００Ａ程度である。
以上の本発明に係る垂直磁気記録媒体の一実施例と、熱
処理を行なわずに保護層Ｓ　ｚ　０２の厚さを夫々変え
た垂直磁気記録媒体Ａ、　Ｂ、　Ｃ，Ｄ及び熱処理だけ
を行ない保護層ＳｉＯ□を設けなかった垂直磁気記録媒
体Ｅとに対してヘッドを摺動させた時の走行状態を調べ
た結果を次の第１表に示す。
第１表 上記第１表において「エンベロープ」トハヘッドから得
られた再生出力信号のピーク値の変化状態を示すもので
あム　「エンベロープ」が良好であるとは再生出力信号
のピーク値が一定であって安定した再生出力が得られて
いることを示す０第１表の結果から理解される如く、熱
処理を行なっていない記録媒体Ａ〜Ｄの場合、保護層５
ｉ０２の膜厚は厚い程ヘッドの走行状態が良く耐久性が
優れており、保護層ＳｉＯ２の膜厚が１０００λの記録
媒体Ａでは４０万パス以上のヘッド走行後においても再
生出力は良好であった。しかし保護層５ｉ０２をつけて
いない記録媒体りではヘッドの走行状態は非常に悪かっ
た。以上の点から熱処理を行なっていない記録媒体で十
分−な耐久性を得る為には保護層５１０２の厚さは少な
くとも７００Ａ程度は必要であることが判る。一方熱処
理だけを行ない保護層ＳｉＯ□を設けなかった記録媒体
Ｅではヘッド走行状態において時間の経過とともに記録
媒体とヘッド間で摺動音が発生し再生出力のエンベロー
プが乱れると共に再生出力が低下した。これは熱処理に
よって形成されたＣｒの酸化物の耐久性が十分でない為
と思われる。
これに対して本発明の一実施例の記録媒体では保護層５
１０２が非常に薄いにもかかわらず記録媒体と磁気ヘッ
ド間の摺動音が無く、傷もつかず、再生出力のエンベロ
ープも良好であった。又耐久性についても上記した厚い
保護層ＳｉＯ□をつけた記録媒体と同程度であり、非常
に優れていた。これは保護層ＳｉＯ□とＣｒ酸化層の両
方の効果によるものと考えられる。
次に本発明に係る垂直磁気記録媒体の一実施例と、熱処
理を行なわずに１０００′Ａの厚い保護層ＳｉＯ３を設
けた垂直磁気記録媒体Ａとの間のギャップ長０．７μｍ
のリングヘッドを用いた時の記録密度特性の比較を行な
う。第２図に画記録媒体の記録密度特性のグラフ図を示
す。同図に示される如く記録媒体Ａでは保護層５１０２
の膜厚が厚い為にスペーシングロスの影響を大きく受け
、高域特性が劣化していることが判る。面、保護層５Ｉ
Ｏ２の膜厚が厚い程再生出力値は記録密度の上昇に従っ
て早く立ち下がり、セカンドピーク（同図のＳ）は高さ
が低いことが判明している０記録媒体Ａではセカンドピ
ークはほとんど観測されなかった。
−力木発明に係る垂直磁気記録媒体の一実施例では保護
層ＳｉＯ２及びＣｒ酸化物の膜厚の合計値が薄い為スペ
ーシングロスの影響が小さく、高域特性が記録媒体Ａに
比べて優れている。又セカンドピークも高い値を得た。
以上の様に耐久性では本発明の一実施例の記録媒体と記
録媒体Ａとは同等であったが、記録特性では本発明の一
実施例の記録媒体の方が遥かに優れていた。
本発明に係る垂直磁気記録媒体におめて、上記耐久性と
記録特性の両方を充分満足させる為にはＣｒ酸化物膜の
膜厚ヲ２０〜２００Ａとし、Ｃｒ酸化物膜とその上に被
覆したＳ　１０２膜の合計の膜厚をば極めて良好である
。即ちこの膜厚の程度で非常に硬いＣｒ酸化物膜とＳ　
ｉｏ　２膜との両方の効果によって充分な耐久性を得る
ことができ、又Ｃｒ酸化物膜と５ｔ０２膜の合計の膜厚
は薄いのでスペーシングロスの影響が少なく記録密度及
び再生特性を良好に保持することができるものである。
ここでＳ　ｉＯ２膜の代わりにＳｉＯ膜、ＳＩ３Ｎ４膜
等他の保護膜を使用することも有用である。
尚、Ｃｏ−Ｃｒ垂直磁化膜の表面にＣｒ酸化物膜を形成
すればＣｏ−Ｃｒ垂直磁化膜の垂直磁気異方性が向ｔ＋
ることか知られており、この点で高記録密度とすること
が可能なものである。
〈効果〉 本発明によれば垂直磁気記録媒体の耐久性と記録密度の
向上との両方の効果を得ることができるものである。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明に係る垂直磁気記録媒体の一実施例の一
部側面断面図、第２図は記録密度特性のグラフ図である
０ 図中、ｌ：基板　２：Ｃｏ−Ｃｒ垂直磁化膜　３：Ｃｏ
酸化物膜　４：５ｔ０２膜

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １、基板上にＣｏ−Ｃｒ垂直磁化膜、Ｃｒ酸化物膜、Ｓ
    　ｉｏ　２膜等の保護層をこの順にて積層してなること
    を特徴とする垂直磁気記録媒体。
JP58249983A 1983-12-27 1983-12-27 垂直磁気記録媒体 Pending JPS60138720A (ja)

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