JPS5834903A - 磁気記録媒体 - Google Patents

磁気記録媒体

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Publication number
JPS5834903A
JPS5834903A JP56134650A JP13465081A JPS5834903A JP S5834903 A JPS5834903 A JP S5834903A JP 56134650 A JP56134650 A JP 56134650A JP 13465081 A JP13465081 A JP 13465081A JP S5834903 A JPS5834903 A JP S5834903A
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JP
Japan
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film
magnetic recording
recording medium
added
vertical
Prior art date
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Pending
Application number
JP56134650A
Other languages
English (en)
Inventor
Kazumasa Fukuda
一正 福田
Yoshimi Kitahara
北原　善見
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TDK Corp
Original Assignee
TDK Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by TDK Corp filed Critical TDK Corp
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Priority to US06/397,236 priority patent/US4454195A/en
Priority to DE19823228403 priority patent/DE3228403A1/de
Publication of JPS5834903A publication Critical patent/JPS5834903A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
    • G11B5/851—Coating a support with a magnetic layer by sputtering
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10S428/90—Magnetic feature
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/26—Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension
    • Y10T428/263—Coating layer not in excess of 5 mils thick or equivalent
    • Y10T428/264—Up to 3 mils
    • Y10T428/265—1 mil or less
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/31504—Composite [nonstructural laminate]
    • Y10T428/31678—Of metal
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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    • Y10T428/31504—Composite [nonstructural laminate]
    • Y10T428/31678—Of metal
    • Y10T428/31681—Next to polyester, polyamide or polyimide [e.g., alkyd, glue, or nylon, etc.]

Landscapes

  • Magnetic Record Carriers (AREA)
  • Thin Magnetic Films (AREA)
  • Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 特開昭５２−１３４７０６に開示された垂直型磁気記録
は、近い将来実用化されるに違いない超高密度記録方式
として各方面で精力的に研究が行なわれている。
係る垂直型磁気記録に用いる記録媒体としては、スパッ
タ法により作成したＣｏ−Ｃｒ膜が、きわめて適してい
るというのが定説である。
我々は、量産化・実用化の観点から％Ｃ０−Ｃｒ膜につ
いて研究を行なって来たが、その過程でひとつの問題が
あることに気付いた０すなわち、製造コストを低減化す
るために成膜速度（スパッタ速度）を上昇させると、保
磁力（Ｈｅ（１））が、それに伴なって増加し、実際に
ディジタル記録を行なった場合に充分なオーバーライド
特性が得られないという点であった。
大きくとも６０００ｅ以下でなければならなかった。
成膜速度（スパッタ速度）の低い領域（〈数百Ａ／ｍ１
ｎ）では１．基板の冷却方法を工夫することによシ、Ｈ
ｃ（１）　＜　６０００ｅのＣｏ　−Ｃｒ膜を作成する
ことも可能であったが、これでは製造コストが著しく高
くなシ、工業化ベースにのせるととは、不可能であった
。
工業化可能な成膜速度（〉数千Ａ／ｍ１ｎ）では、どの
ように、基板の冷却効率をあげても、保磁力（Ｈｃ（１
））は６０００ｅ以上となり、はなはだしい時には２０
０００ｅに達することもあった。
本発明は、このような状況に鑑てなされたものである。
本発明ではｓ　７５〜９０ｗｔ　％のＣｏに５ｗｔ％以
下のＣｒを添加し、残余の部分をＶで構成する〇本発明
によるＣｏ−Ｖ−Ｃｒ膜では、垂直記録媒体として最も
重要な特性である垂直異方性の目安であるＸ線（００２
”）反射ロッキングカーブの半値幅（Δθ５０）紘、５
°以内とＣｏ　−Ｃｒ膜と同等であり、シかも数千Ａ／
ｍｉｎ以上の高速で成膜（スパッタ）シテも、保磁力（
Ｈｃ（−Ｌ）は、６０００ｅをこえることなく、充分な
オーバーライド特性（＞２５ｄＢ）を得ることができた
。
以下に、実施例に従って本発明を説明する○実施例 高速スパッタ装置を用いて％　Ｃｏ−Ｖ−Ｃｒの成分比
率を変化させて成膜を行ない、得られた膜のΔθ５０　
ｔ　Ｈｅ　（よ）、オーバーライド特性を測定した。ス
パッタ条件は、アルゴンガス圧５、ＯＸ　１Ｏ−３Ｔｏ
ｒｒ　を投入電力３〜５ｍｔ電極間距離１００簡である
。結果を比較例と合わせて、表１に示す。
表１ これから、本発明によるＣｏ−Ｖ−Ｃｒ膜が、高成膜速
度という製造コスト上の要求と、オーバーライド特性と
いう実用上の要求を同時に満足させた、優れた垂直磁気
記録媒体であることが判る。
本発明に於けるＣｏの比率は７５ｗｔ％から９０ｗ１％
までであるが、これはｓ　７５ｗｔＴｏ以下では非磁性
となってしまうこと、また９０ｗｔ１以上では垂直磁化
膜に要求される基本特性である爪≧４πＭｓ　（Ｈｋ　
：異方性磁界９Ｍ８：飽和磁化）を満足しなくなること
による。またＣｒの比率は０〜５ｗｔ　％であるが、こ
れは、図１に示したように、我々が工業化に必要な最低
の成膜速度として考えている３０００Ａ／ｍｉｎで、保
磁力（Ｈｃ（１））が６００　Ｑｅをこえないための条
件、すなわち、オーバーライド特性が、許容範囲がある
２５　ｄＢ以上となるための条件である。
【図面の簡単な説明】
図１は、成膜速度を３０００Ａ／ｍｉｎにした時のＣｒ
の成分比と、保磁力（１）の関係を示すグラフである。 特許出願人　　東京電気化学工業株式会社代表者素野福
次部 ロ　　１ 手続補正書 １　事件の表示 昭和５６年特許願　第１３４６５０号 ２　発明の名称 磁気記Ｍ媒体 ３　補正をする者 本件との関係　　特許出願人 東京都中央区日本橋−丁目１３番１号 ５、補正の対象 願書楕付の明細書 ６、補正の内容 特許請求の範囲を別紙のように訂正する。 ７、添付書類の目録 特許請求の範囲 ７５〜９０ｗｔ％のＣＯと、　　５ｗｔ％までのＣｒか
ら成り、残りの部分に■を含むことを特徴とする、膜面
に対して垂直方向に磁化容易軸を持つ磁気記録媒体

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）　　Ｃｏ　−Ｖ−Ｃｒから構成され、夫々の成分
    比が、ｃｏ７５〜９０Ｗｔｔｓ、０１０〜５ｗｔ％、残
    余の部分がＶであシ、膜面に対して垂直方向に磁化容易
    軸を持つ磁気記録媒体。
JP56134650A 1981-08-27 1981-08-27 磁気記録媒体 Pending JPS5834903A (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP56134650A JPS5834903A (ja) 1981-08-27 1981-08-27 磁気記録媒体
US06/397,236 US4454195A (en) 1981-08-27 1982-07-12 Magnetic recording medium
DE19823228403 DE3228403A1 (de) 1981-08-27 1982-07-29 Magnetisches aufzeichnungsmedium

Applications Claiming Priority (1)

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JP56134650A JPS5834903A (ja) 1981-08-27 1981-08-27 磁気記録媒体

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JPS5834903A true JPS5834903A (ja) 1983-03-01

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ID=15133324

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JP56134650A Pending JPS5834903A (ja) 1981-08-27 1981-08-27 磁気記録媒体

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US (1) US4454195A (ja)
JP (1) JPS5834903A (ja)
DE (1) DE3228403A1 (ja)

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DE3228403A1 (de) 1983-03-10
US4454195A (en) 1984-06-12

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